JP2010223955A - Light focusing member and lighting unit, and optical inspection apparatus using them - Google Patents
Light focusing member and lighting unit, and optical inspection apparatus using them Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010223955A JP2010223955A JP2010038524A JP2010038524A JP2010223955A JP 2010223955 A JP2010223955 A JP 2010223955A JP 2010038524 A JP2010038524 A JP 2010038524A JP 2010038524 A JP2010038524 A JP 2010038524A JP 2010223955 A JP2010223955 A JP 2010223955A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- hole
- separating member
- lighting unit
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/302—Contactless testing
- G01R31/308—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
- G01R31/309—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation of printed or hybrid circuits or circuit substrates
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
- G01N2021/8887—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques
- G01N2021/8893—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges based on image processing techniques providing a video image and a processed signal for helping visual decision
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9511—Optical elements other than lenses, e.g. mirrors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Pathology (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Immunology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Toxicology (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Planar Illumination Modules (AREA)
Abstract
Description
本発明は、集光部材と照明ユニット、及びこれを利用する光学検査装置に関し、より詳細には光を集光する集光部材、集光部材を利用して検査対象物(印刷回路基板)に光を照射する照明ユニット、そして照明ユニットが照射する光を利用して検査対象物(印刷回路基板)に形成されたパターンを撮像し、撮像された影像情報を処理して検査対象物に形成されたパターンの欠陥有無を検査する光学検査装置に関するものである。 The present invention relates to a condensing member, an illumination unit, and an optical inspection apparatus using the condensing member. More specifically, the condensing member that condenses light and an inspection object (printed circuit board) using the condensing member. An illumination unit that emits light, and a pattern formed on an inspection object (printed circuit board) is imaged using light emitted from the illumination unit, and the image information that has been imaged is processed to form an inspection object. The present invention relates to an optical inspection apparatus for inspecting the presence or absence of defects in a pattern.
最近、液晶ディスプレイ装置の駆動集積回路(LCD Driver IC)、メモリー及びLSIなどの各種半導体集積回路及び超小型製品などに使用される主要材料の1つである印刷回路基板は、フィルム、テープなどの形態で製造されている。 Recently, a printed circuit board, which is one of the main materials used in liquid crystal display device driving integrated circuits (LCD Driver IC), various semiconductor integrated circuits such as memories and LSIs, and ultra-small products, such as films and tapes. Manufactured in a form.
このような印刷回路基板の中でTAB(Tape Automatic Bonding)又はCOF(Chip On Film)基板と総称される印刷回路基板が広く用いられている。このようなフィルム、テープの形態の印刷回路基板は、露光、現象、エッチングなどの製造工程によってパターンが形成され、このようなパターンは、半導体デバイスが徐々に超小型化されることに従って極微細化され、作業者の目を通じたパターン欠陥の検査が次第に不可能になっているというのが実情である。従って、印刷回路基板のパターンの欠陥を正確に検出することが自動光学検査装置の核心である検査信頼性向上に重要な要因になる。 Among such printed circuit boards, a printed circuit board generally called a TAB (Tape Automatic Bonding) or COF (Chip On Film) board is widely used. Printed circuit boards in the form of films and tapes are patterned by manufacturing processes such as exposure, phenomenon, and etching, and such patterns become extremely fine as semiconductor devices are gradually miniaturized. In reality, it is becoming increasingly impossible to inspect pattern defects through the eyes of workers. Therefore, accurate detection of a printed circuit board pattern defect is an important factor for improving inspection reliability, which is the core of an automatic optical inspection apparatus.
さらにフィルム、テープ形態の印刷回路基板の中でパターン幅が極微細化しているTAB、COF基板の検査において、既存の照明装置から発生する明るさの限界、及び検査領域内の光の均一度は、非常に重要である。しかし、既存の照明装置は、光源の光が検査対象物表面まで到達する前、光の損失が多く発生し、結局、光の損失の後に残った光の量だけがレンズを通じてイメージセンサーに伝達されるので、安定化するイメージを得ることが難しい。 In addition, in the inspection of TAB and COF substrates, where the pattern width is extremely fine among printed circuit boards in the form of films and tapes, the brightness limit generated by existing lighting devices and the uniformity of light within the inspection area are as follows: Is very important. However, in existing lighting devices, a large amount of light loss occurs before the light from the light source reaches the surface of the object to be inspected. Eventually, only the amount of light remaining after the light loss is transmitted to the image sensor through the lens. Therefore, it is difficult to obtain a stable image.
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、検査対象物(印刷回路基板)に照射される光の損失を最小化し、パターン表面に全体的により均一な輝度を得て検査信頼性を向上させることができる集光部材と照明ユニット、そしてこれを利用する光学検査装置とを提供することである。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and its purpose is to minimize the loss of light applied to the inspection object (printed circuit board) and to obtain an overall more uniform brightness on the pattern surface. It is another object of the present invention to provide a condensing member, an illumination unit, and an optical inspection apparatus using the light collecting member, which can improve inspection reliability.
本発明が解決しようとする課題は、ここに制限されず、言及されない他の課題は、以下の記載から当業者に明確に理解されるはずである。 The problem to be solved by the present invention is not limited here, and other problems not mentioned should be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
前記の課題を達成すべく本発明による照明ユニットは、光を放出する光源と、入射される光の方向に沿って光を反射、又は透過させる光分離部材と、前記光源から放出され、前記光分離部材によって反射される光を屈折させて照明対象に集光させ、前記照明対象から反射される光を前記光分離部材に案内する集光部材とを包含することを特徴とする。 In order to achieve the above object, an illumination unit according to the present invention includes a light source that emits light, a light separation member that reflects or transmits light along a direction of incident light, and the light emitted from the light source. And a light collecting member that refracts the light reflected by the separation member and focuses the light on the illumination target, and guides the light reflected from the illumination target to the light separation member.
前記のような構成を有する本発明による照明ユニットにおいて、前記集光部材は、前記光分離部材が光を反射する方向に前記光分離部材から離隔配置され、前記集光部材の中心部には、光が通過するホールが形成され、前記光分離部材と対向する前記集光部材の第1面と、前記第1面との反対面である第2面の何れか一面には、前記ホールを中心に対称になるように多数の傾斜面が提供されることができる。 In the illumination unit according to the present invention having the above-described configuration, the light collecting member is spaced apart from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light, and a central portion of the light collecting member includes: A hole through which light passes is formed, and one of the first surface of the light collecting member facing the light separating member and the second surface opposite to the first surface is centered on the hole. A number of inclined surfaces can be provided so as to be symmetrical.
前記傾斜面の傾斜角は、前記ホールに向って内側に行くほど小さくなり得る。 The inclination angle of the inclined surface may become smaller toward the inside toward the hole.
前記傾斜面は、前記ホールに向って内側に傾くように提供され得る。 The inclined surface may be provided so as to be inclined inward toward the hole.
前記傾斜面は、前記ホールを中心に外側に傾くように提供され得る。 The inclined surface may be provided so as to be inclined outwardly with respect to the hole.
前記集光部材は、前記光分離部材の長さに対応する長さを有し、前記傾斜面は、前記集光部材の長さ方向に沿って長く延長される。 The condensing member has a length corresponding to the length of the light separating member, and the inclined surface is extended long along the length direction of the condensing member.
前記傾斜面は、平面、或いは曲面であり得る。 The inclined surface may be a flat surface or a curved surface.
前記集光部材は、前記光分離部材が光を反射する方向に前記光分離部材から離隔配置され、前記光分離部材は、対向する前記集光部材の第1面の反対面である第2面が下に凸な模様の曲面であり得る。 The light collecting member is spaced apart from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light, and the light separating member is a second surface that is the opposite surface of the first surface of the light collecting member that faces the light separating member. May be a curved surface with a downwardly convex pattern.
前記集光部材は、前記光分離部材が光を反射する方向に前記光分離部材から離隔配置され、前記光分離部材と対向する前記集光部材の第1面の反対面である第2面の中心部は平面であり、前記第2面の周辺部は下に凸な模様の曲面であり得る。 The condensing member is spaced apart from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light, and is formed on a second surface that is opposite to the first surface of the condensing member facing the light separating member. The central portion may be a flat surface, and the peripheral portion of the second surface may be a curved surface having a downwardly convex pattern.
前記集光部材の前記第1面は、平面であり得る。 The first surface of the light collecting member may be a flat surface.
前記光源と前記光分離部材との間に位置し、前記光源が放出する光を平行光に変換する平行光変換部材をさらに包含することができる。 It may further include a parallel light conversion member that is positioned between the light source and the light separation member and converts light emitted from the light source into parallel light.
前記平行光変換部材の前記光源に向かう面は、凸な模様の曲面であり、前記平行光変換部材の前記光分離部材に向かう面は、平面であり得る。 The surface of the parallel light conversion member facing the light source may be a curved surface having a convex pattern, and the surface of the parallel light conversion member facing the light separation member may be a flat surface.
前記光分離部材と前記平行光変換部材との間に介在され、前記平行光変換部材を透過する前記平行光の光均一度が向上されるように前記平行光を拡散させる拡散部材をさらに包含することができる。 A diffusion member that is interposed between the light separation member and the parallel light conversion member and diffuses the parallel light so as to improve the light uniformity of the parallel light transmitted through the parallel light conversion member; be able to.
前記光分離部材は、ビームスプリッターであり得る。 The light separating member may be a beam splitter.
前記光分離部材は、ハーフミラーであり得る。 The light separating member may be a half mirror.
前記光分離部材と前記拡散部材との前記平行光に垂直な方向の長さは、同一であり得る。 The light separating member and the diffusing member may have the same length in a direction perpendicular to the parallel light.
前記光源、前記平行光変換部材、前記拡散部材、そして前記光分離部材は、光軸が水平方向に向かうように一列に配置され、前記集光部材は、前記光分離部材が光を反射する方向に前記光分離部材から離隔配置され得る。 The light source, the parallel light converting member, the diffusing member, and the light separating member are arranged in a line so that an optical axis is directed in a horizontal direction, and the light collecting member is a direction in which the light separating member reflects light. The light separating member may be spaced apart from the light separating member.
前記の課題を達成すべく本発明による照明ユニットは、第1方向に沿って水平的に一列に配置され、前記第1方向に垂直な第2方向に沿って上下に積層された複数個の光源と、長さの方向が前記第1方向に向かい、前記第1及び第2方向に垂直な第3方向に前記光源から離隔配置され、入射される光の方向に沿って光を反射、又は透過させる光分離部材と、長さの方向が前記第1方向に向かい、前記第2方向に沿って前記光分離部材の下に離隔配置され、前記光源から放出され、前記光分離部材によって反射される光を屈折させ、照明対象に集光させ、前記照明対象から反射される光を前記光分離部材に案内する集光部材とを包含することを特徴とする。 In order to achieve the above object, a lighting unit according to the present invention includes a plurality of light sources arranged in a row horizontally along a first direction and stacked vertically along a second direction perpendicular to the first direction. The length direction is directed to the first direction, the light source is spaced apart from the light source in a third direction perpendicular to the first and second directions, and reflects or transmits light along the direction of incident light. A light separating member to be moved, and a length direction thereof is directed to the first direction, and is spaced below the light separating member along the second direction, emitted from the light source, and reflected by the light separating member. And a light collecting member that refracts light, collects the light on the illumination target, and guides the light reflected from the illumination target to the light separation member.
上述するような構成を有する本発明による照明ユニットにおいて、前記光源と前記光分離部材との間に長さの方向が前記第1方向に向かい、前記第2方向に沿って上下に積層され、前記光源が放出する光を平行光に変換する平行光変換部材をさらに包含することができる。 In the illumination unit according to the present invention having the configuration as described above, a length direction is directed to the first direction between the light source and the light separating member, and is stacked vertically along the second direction, A parallel light conversion member that converts light emitted from the light source into parallel light can be further included.
前記光分離部材と前記平行光変換部材との間に長さの方向が前記第1方に向かうように介在され、前記平行光変換部材を透過する前記平行光の光均一度が向上されるように前記平行光を拡散させる拡散部材をさらに包含することができる。 A length direction is interposed between the light separating member and the parallel light converting member so as to be directed to the first direction, so that the light uniformity of the parallel light transmitted through the parallel light converting member is improved. A diffusion member that diffuses the parallel light can be further included.
前記光源、前記平行光変換部材、前記拡散部材、前記光分離部材、そして前記集光部材とは、ハウジングに収容されて1つのモジュール形態で提供され得る。 The light source, the parallel light converting member, the diffusing member, the light separating member, and the light collecting member may be housed in a housing and provided in one module form.
前記集光部材は、前記光分離部材に対応する長さを有する板形状で提供され、前記集光部材の中心部には、光が通過するホールが前記第1方向に沿って貫通形成され、前記光分離部材と対向する前記集光部材の上面には、前記ホールを中心に対称になり、前記ホールに向って内側の方に傾いた多数の傾斜面が提供され、前記傾斜面の傾斜角は、前記ホールに向って内側に行くほど小さくなり得る。 The light collecting member is provided in a plate shape having a length corresponding to the light separating member, and a hole through which light passes is formed through the central portion of the light collecting member along the first direction. The upper surface of the light collecting member facing the light separating member is provided with a plurality of inclined surfaces that are symmetrical about the hole and are inclined inward toward the hole, and the inclination angle of the inclined surface May become smaller as it goes inward toward the hole.
前記集光部材は、前記光分離部材に対応する長さを有する板形状で提供され、前記集光部材の中心部には、光が通過するホールが前記第1方向に沿って貫通形成され、前記光分離部材と対向する前記集光部材の上面には、前記ホールを中心に対称になり、前記ホールを中心に外側の方に傾いた多数の傾斜面が提供され、前記傾斜面の傾斜角は、前記ホールに向って内側に行くほど小さくなり得る。 The light collecting member is provided in a plate shape having a length corresponding to the light separating member, and a hole through which light passes is formed through the central portion of the light collecting member along the first direction. The upper surface of the light collecting member facing the light separating member is provided with a plurality of inclined surfaces that are symmetrical about the hole and inclined outward with respect to the hole, and the inclination angle of the inclined surface May become smaller as it goes inward toward the hole.
前記集光部材は、前記光分離部材に対応する長さを有する板形状で提供され、前記集光部材の中心部には、光が通過するホールが前記第1方向に沿って貫通形成され、前記集光部材の下面には、前記ホールを中心に対称になり、前記ホールに向って内側に傾いた多数の傾斜面が提供され、前記傾斜面の傾斜角は、前記ホールに向って内側に行くほど小さくなり得る。 The light collecting member is provided in a plate shape having a length corresponding to the light separating member, and a hole through which light passes is formed through the central portion of the light collecting member along the first direction. The lower surface of the light collecting member is provided with a large number of inclined surfaces that are symmetrical about the hole and inclined inward toward the hole, and the inclined angle of the inclined surface is inward toward the hole. It can get smaller as you go.
前記集光部材は、前記光分離部材に対応する長さを有する板形状で提供され、前記集光部材の中心部には、光が通過するホールが前記第1方向に沿って貫通形成され、前記集光部材の下面には、前記ホールを中心に対称になり、前記ホールを中心に外側の方に傾いた多数の傾斜面が提供され、前記傾斜面の傾斜角は、前記ホールに向って内側に行くほど小さくなり得る。 The light collecting member is provided in a plate shape having a length corresponding to the light separating member, and a hole through which light passes is formed through the central portion of the light collecting member along the first direction. The lower surface of the light collecting member is provided with a large number of inclined surfaces that are symmetrical about the hole and inclined outward with respect to the hole, and the inclination angle of the inclined surface is directed toward the hole. The smaller it goes inward, the smaller it can be.
前記集光部材は、前記光分離部材に対応する長さを有し、前記光分離部材に対向する前記集光部材の第1面は、平面であり、前記第1面の反対面である第2面は、下に凸する模様の曲面であり得る。 The condensing member has a length corresponding to the light separating member, and the first surface of the condensing member facing the light separating member is a flat surface and is a surface opposite to the first surface. The two surfaces may be curved surfaces that project downward.
前記集光部材は、前記光分離部材に対応する長さを有し、前記光分離部材に対向する前記集光部材の第1面は、平面であり、前記第1面の反対面である第2面の中心部は、平面であり、前記第2面の周辺部は、下に凸する模様の曲面であり得る。 The condensing member has a length corresponding to the light separating member, and the first surface of the condensing member facing the light separating member is a flat surface and is a surface opposite to the first surface. The central portion of the two surfaces may be a flat surface, and the peripheral portion of the second surface may be a curved surface having a downwardly convex pattern.
前記の課題を達成すべく本発明による光学検査装置は、検査対象物を一方向に移動させる移動ユニットと、前記検査対象物の移動経路上部に提供され、前記移動ユニットによって移動される前記検査対象物に光を照射する照明ユニットと、前記照明ユニットの光が照射される前記検査対象物を撮影する撮影ユニットと、を包含し、前記照明ユニットは、光を放出する光源と、入射される光の方向に沿って光を反射、又は透過させる光分離部材と、前記光源から放出され、前記光分離部材によって反射される光を屈折させ、照明対象に集光させ、前記照明対象から反射される光を前記光分離部材に案内する集光部材を包含することを特徴とする。 To achieve the above object, an optical inspection apparatus according to the present invention includes a moving unit that moves an inspection object in one direction, and an inspection object that is provided above the movement path of the inspection object and is moved by the moving unit. An illumination unit that emits light to an object; and an imaging unit that photographs the object to be inspected that is irradiated with light from the illumination unit, wherein the illumination unit emits light and incident light A light separating member that reflects or transmits light along the direction of the light, and refracts the light emitted from the light source and reflected by the light separating member, condenses it on the illumination object, and is reflected from the illumination object It includes a light collecting member for guiding light to the light separating member.
上述するような構成を有する本発明による光学検査装置において、前記集光部材は、前記光分離部材が光を反射する方向に前記光分離部材から離隔配置され、前記集光部材の中心部には、光が通過するホールが形成され、前記光分離部材と対向する前記集光部材の第1面と、前記第1面の反対面である第2面の何れか一面には、前記ホールを中心に対称になるように多数の傾斜面が提供され得る。 In the optical inspection apparatus according to the present invention having the above-described configuration, the light collecting member is spaced apart from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light, and the light collecting member is disposed at the center of the light collecting member. A hole through which light passes is formed, and the hole is centered on one surface of the first surface of the light collecting member facing the light separating member and the second surface opposite to the first surface. A large number of inclined surfaces can be provided so as to be symmetrical.
前記傾斜面の傾斜角は、前記ホールに向って内側に行くほど小さくなり得る。 The inclination angle of the inclined surface may become smaller toward the inside toward the hole.
前記傾斜面は、前記ホールに向って内側の方に傾くように提供され得る。 The inclined surface may be provided so as to be inclined inward toward the hole.
前記傾斜面は、前記ホールを中心に外側の方に傾くように提供され得る。 The inclined surface may be provided so as to be inclined outward with respect to the hole.
前記集光部材は、前記光分離部材の長さに対応する長さを有し、前記傾斜面は、前記集光部材の長さ方向に沿って長く延長され得る。 The light collecting member may have a length corresponding to the length of the light separating member, and the inclined surface may be extended along the length direction of the light collecting member.
前記傾斜面は、平面であり得る。 The inclined surface may be a flat surface.
前記傾斜面は、曲面であり得る。 The inclined surface may be a curved surface.
前記集光部材は、前記光分離部材が光を反射する方向に前記光分離部材から離隔配置され、前記光分離部材に対向する前記集光部材の第1面の反対面である第2面が下に凸する模様の曲面であり得る。 The light collecting member is spaced apart from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light, and a second surface that is the opposite surface of the first surface of the light collecting member facing the light separating member is The curved surface may be a downwardly convex pattern.
前記集光部材は、前記光分離部材が光を反射する方向に前記光分離部材から離隔配置され、前記光分離部材に対向する前記集光部材の第1面の反対面である第2面の中心部は、平面であり、前記第2面の周辺部は、下に凸する模様の曲面であり得る。 The light collecting member is spaced apart from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light, and is formed on a second surface that is opposite to the first surface of the light collecting member facing the light separating member. The central portion may be a flat surface, and the peripheral portion of the second surface may be a curved surface having a downwardly convex pattern.
前記集光部材の前記第1面は、平面であり得る。 The first surface of the light collecting member may be a flat surface.
前記光源と前記光分離部材との間に位置し、前記光源が放出する光を平行光に変換する平行光変換部材をさらに包含することができる。 It may further include a parallel light conversion member that is positioned between the light source and the light separation member and converts light emitted from the light source into parallel light.
前記平行光変換部材の前記光源に向かう面は、凸な模様の曲面であり、前記平行光変換部材の前記光分離部材に向かう面は、平面であり得る。 The surface of the parallel light conversion member facing the light source may be a curved surface having a convex pattern, and the surface of the parallel light conversion member facing the light separation member may be a flat surface.
前記光分離部材と前記平行光変換部材との間に介在され、前記平行光変換部材を透過する前記平行光の光均一度が増加されるように前記平行光を拡散させる拡散部材をさらに包含することができる。 A diffusion member that is interposed between the light separation member and the parallel light conversion member and diffuses the parallel light so as to increase a light uniformity of the parallel light transmitted through the parallel light conversion member; be able to.
前記光分離部材は、ビームスプリッターであり得る。 The light separating member may be a beam splitter.
前記光分離部材はハーフミラーであり得る。 The light separating member may be a half mirror.
前記光分離部材と前記拡散部材との前記平行光に垂直な方向の長さは、同一であり得る。 The light separating member and the diffusing member may have the same length in a direction perpendicular to the parallel light.
前記光源、前記平行光変換部材、前記拡散部材、前記光分離部材、そして前記集光部材は、ハウジングに収容されて1つのモジュール形態で提供され得る。 The light source, the parallel light converting member, the diffusing member, the light separating member, and the light collecting member may be housed in a housing and provided in one module form.
前記光源、前記平行光変換部材、前記拡散部材、そして前記光分離部材は、光軸が水平方向に向かうように一列で配置され、前記集光部材は、前記光分離部材が光を反射する方向に前記光分離部材から離隔配置され得る。 The light source, the parallel light converting member, the diffusing member, and the light separating member are arranged in a row so that the optical axis is in the horizontal direction, and the light collecting member is a direction in which the light separating member reflects light. The light separating member may be spaced apart from the light separating member.
前記撮影ユニットは、ラインスキャンカメラであり得る。 The photographing unit may be a line scan camera.
前記の課題を達成すべく本発明による集光部材は、光が通過するホールが長さ方向に沿って中心部に形成された板形状で提供され、上面と下面の中何れか1つの一面に前記ホールを中心に対称になるように多数の傾斜面が形成されることを特徴とする。 In order to achieve the above object, the light collecting member according to the present invention is provided in a plate shape in which a hole through which light passes is formed in the center along the length direction, and is provided on one of the upper surface and the lower surface. A large number of inclined surfaces are formed to be symmetric about the hole.
上述するような構成を有する本発明による集光部材において、前記傾斜面の傾斜角は、前記ホールに向って内側に行くほど小さくなり得る。 In the light condensing member according to the present invention having the above-described configuration, the inclination angle of the inclined surface may become smaller toward the inside toward the hole.
前記傾斜面は、前記ホールに向って内側に傾くように提供され得る。 The inclined surface may be provided so as to be inclined inward toward the hole.
前記傾斜面は、前記ホールを中心に外側に傾くように提供され得る。 The inclined surface may be provided so as to be inclined outwardly with respect to the hole.
前記傾斜面は、前記集光部材の長さ方向に沿って長く延長され得る。 The inclined surface may be extended long along the length direction of the light collecting member.
前記傾斜面は、平面であり得る。 The inclined surface may be a flat surface.
本発明によると、検査対象物(印刷回路基板)に照射される光の損失を最小化することが可能である。さらに、本発明によると、パターンの傾斜面の鮮明なイメージデータを獲得することが可能である。 According to the present invention, it is possible to minimize the loss of light applied to the inspection object (printed circuit board). Furthermore, according to the present invention, it is possible to acquire clear image data of the inclined surface of the pattern.
以下に説明する図面は、ただ一例の目的のためのもので本発明の範囲を限定するものではない。
以下、添付した図面を参照して本発明の好ましい実施形態に従う集光部材と照明ユニット、そしてこれを利用する光学検査装置に対して詳細に説明する。まず、各々の図面の構成要素に参照の符号を附加することにおいて、同一な構成要素に対しては、たとえ他の図面上に表示されてもできるだけ同一な符号を有するようにしていることに注意しなければならない。また本発明を説明することにおいて、関連する公知の構成または、機能に対する具体的な説明が本発明の要旨をぼかすと判断される場合は、その詳細な説明は、省略する。 Hereinafter, a light collecting member and an illumination unit according to a preferred embodiment of the present invention and an optical inspection apparatus using the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, by adding reference numerals to the components of each drawing, it is noted that the same components are given the same reference numerals as much as possible even if they are displayed on other drawings. Must. In the description of the present invention, if it is determined that a specific description of a related known configuration or function will obscure the gist of the present invention, a detailed description thereof will be omitted.
図1は、本発明による光学検査装置を概略的に示す図面であり、図2は、図1の“A”部分の平面図である。 FIG. 1 is a schematic view of an optical inspection apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a plan view of a portion “A” of FIG.
図1及び図2を参照すると、本発明による光学検査装置1は、移動ユニット100、照明ユニット200、そして撮影ユニット300とを含む。光学検査装置1の検査対象物10は、フィルム(Film)、又はテープ(Tape)タイプのフレキシブル印刷回路基板であり、光学検査装置1は、フレキシブル印刷回路基板に形成されたパターンの欠陥可否を検査する。
Referring to FIGS. 1 and 2, the
移動ユニット100は、検査対象物10を一方向に移動させる。照明ユニット200は、検査対象物10の移動経路の上部に提供され、移動ユニット100によって移動される検査対象物10に光を照射する。撮影ユニット300は、照明ユニット200の光が照射される検査対象物10を撮像し、検査対象物10に形成されたパターンのイメージデータを獲得する。
The moving
移動ユニット100は、巻出部(Feed Roller)110、案内ローラ120、そして巻取部(Winding Roller)130とを含む。巻出部110には、検査対象物10がリールに巻かれ、巻出部110から送出された検査対象物10は、案内ローラ120を経て巻取部130のリールに巻かれる。
The moving
移動ユニット100は、検査対象物10を一定距離ほど移動させた後、停止させるステップバイステップ(Step by Step )方式で検査対象物10を移動させ得る。検査対象物10が一時的に停止されている間、照明ユニット200は、検査対象物10の移送方向に垂直な方向に移動しながら、検査対象物10に光を照射することが可能である。さらに、撮影ユニット300は、照明ユニット200と共に対象物10の移送方向に垂直な方向に移動することが可能であり、照明ユニット200が照射する光を利用して検査対象物10に形成されたパターンを撮像する。移動ユニット100は、検査対象物10を一時的に停止させることなく継続的に移動させ得る。その時、照明ユニット200と撮影ユニット300は、複数個が提供される。
The moving
撮影ユニット300は、CCDラインセンサーと同一なイメージセンサー(図示せず)とレンズ(図示せず)とを有するCCDカメラとして、検査対象物10の表面(パターンなど)を撮影して検査対象物10に対する影像データを獲得する。獲得された影像データは、影像処理部(図示せず)に提供される。図示せずの光学検査装置1は、撮影ユニット300で撮影されたイメージが提供される影像処理部(図示せず)を有するのは、当然であり、影像処理部(図示せず)は、典型的なコンピュータシステム(マイコン)として具備され、自動光学検査に従う諸般の動作を制御し、処理する。例えば、撮影ユニット300としてラインスキャン(Line Scan)カメラが使用される。
The photographing
図3は、図1及び図2の照明ユニット200の構成を示す側断面図である。そして図4は、図3の光分離部材と集光部材との斜視図であり、図5は、図3の集光部材を拡大して示す図面である。
FIG. 3 is a side sectional view showing the configuration of the
図3乃至図5を参照すると、照明ユニット200は、ハウジング210、光源220、光分離部材230、平行光変換部材240、拡散部材250、そして集光部材260とを含む。光源220、光分離部材230、平行光変換部材240、拡散部材250、そして集光部材260とはハウジング210に収容され、1つのモジュールの形態で提供される。
3 to 5, the
ハウジング210は、概ねに六面体の形状で提供される。ハウジング210は、四角形形状の上部壁214と下部壁216とを有して、上部壁214のエッジと下部壁216とのエッジは、側壁212によって連結される。光源220、平行光変換部材240、拡散部材250、そして光分離部材230は、光軸が水平方向に向かうようにハウジング210の内に一列に配置され、集光部材260は、光分離部材230が光を反射する方向に光分離部材230から離隔配置され得る。ハウジング210の上部壁214には、光分離部材230が透過させる光が通過するようにホール215が形成され、ハウジング210の下部壁216には、集光部材260が透過させる光が通過するように開口部217が形成される。
The
光源220は、光を放出する。光源220としては、線型に配列された多数の発光ダイオード(LED)が使用でき、その他にも、線型チューブ蛍光ランプ、ハロゲンランプ、又はメタルハライドランプが光源220として使用できる。
The
光分離部材230は、入射される光の方向に沿って光を反射、又は透過させることが可能である。つまり、光分離部材230は、光源220から入射される光を、集光部材260に向かう方向に反射し、集光部材260から入射される光を、上部壁214のホール215に向かう方向に透過させることが可能である。光分離部材230としては、対角線方向にミラー232が提供されるビームスプリッター(Beam Spliter)が使用できる。
The
平行光変換部材240は、光源220と光分離部材230との間に位置し、光源220が放出する光を平行光に変換させる。平行光変換部材240の光源220に向かう面は、凸する模様の曲面に提供され得るし、平行光変換部材240の光分離部材230に向かう面は平面に提供され得る。
The parallel
拡散部材250は、光分離部材230と平行光変換部材240との間に位置し、平行光変換部材240を通過した平行光の光均一度が増えるように平行光を拡散させる。図3の平面上において平行光に対して垂直な方向に従う拡散部材250の長さは、光分離部材230の長さと同一なことができる。
The
集光部材260は、光源220から放出され、光分離部材230によって反射される光を屈折させ、検査対象物(照射対象)に集光させ、検査対象物(照射対象)から反射される光を光分離部材230に案内する。
The condensing
集光部材260は、光分離部材230に対応する長さを有する板形状に提供される。集光部材260の中心部には、光が通過するホール264が長さ方向に沿って貫通形成される。光分離部材230と対向する集光部材の第1面(上面)には、ホール264を中心に対称になるように多数の傾斜面262が提供され得る。傾斜面262は、集光部材260の長さ方向に沿って長く延長され得るし、傾斜面262は、平面、又は曲面に形成され得る。
The
傾斜面262は、ホール264に向って内側に傾くように形成され、傾斜面262の傾斜角は、ホール264に向って内側に行くほど小さくなり得る(θ1>θ2>θ3>θ4)。傾斜面262の傾斜角がホール264に向って内側に行くほど小さくなると、光が入射される部分の深さが小さくなり、光の屈折率が変化され得る。つまり、傾斜面262の中で大きい傾斜角θ1を有する外側傾斜面での光の屈折角φ1が、小さい傾斜角θ4を有する内側傾斜面での光の屈折角φ4より大きくなり得る。そのように光の屈折角が集光部材260の外側から内側に行くほど小さくなると(φ1>φ2>φ3>φ4)、集光部材260の第1面(上面)に入射される光が集光部材260を透過した後、一場所に集めることが可能である。
The
図6及び図7は、本発明による照明ユニットの動作状態を示す図面である。図6は、照明ユニットがパターンPの平面に光を照射する場合を示し、図7は、照明ユニットがパターンPのエッジ傾斜面に光を照射する場合を示す。 6 and 7 are views illustrating an operation state of the lighting unit according to the present invention. 6 shows a case where the illumination unit irradiates light on the plane of the pattern P, and FIG. 7 shows a case where the illumination unit irradiates light on the edge inclined surface of the pattern P.
図6及び図7を参照すると、光源220から放出された光は、平行光変換部材240を透過して平行光に変換される。平行光は、拡散部材250を透過して光均一度が向上されるように拡散され、光分離部材230に入射される。光分離部材230のミラー232は、入射された光を集光部材260に向かう方向に反射し、反射光は、集光部材260から入射される。集光部材260の中心領域に入射される光は、ホール264を通じて検査対象物10に形成されたパターンPに照射される。集光部材260の周辺領域に入射される光は、傾斜面262によって屈折され、検査対象物10に形成されたパターンPに集光される。検査対象物10のパターンPに照射された光は、パターンPによって反射された後、集光部材260のホール264を通じて光分離部材230に入射される。光分離部材230に入射される光は、ミラー232を透過し、撮影ユニット300に入射される。
Referring to FIGS. 6 and 7, the light emitted from the
このように、光分離部材230の下に集光部材260を具備し、光分離部材230によって反射される光を集光して検査対象物10に照射すると、集光部材260が具備されない従来の照明ユニットと異なり、光の損失を最小化することが可能である。また、損失が最少化された状態で光が検査対象物に照射されると、より鮮明なパターンのイメージデータを獲得することが可能である。
As described above, when the
図7の場合、照明ユニットは、パターンPのエッジ傾斜面に光を照射する。集光部材260が具備されない従来の照明ユニットの場合、照明ユニットの光は、エッジ傾斜面に向って垂直に下方に照射され、光がエッジ傾斜面によって反射された後、光分離部材に向かわずにパターンの外側に分散されるので、パターンのエッジ傾斜面の鮮明なイメージを獲得することができない。しかし、本発明の照明ユニットは、パターンPのエッジ傾斜面に傾いた方向から光を照射し、エッジ傾斜面によって反射された光が外側に分散されず、光分離部材230に入射されるので、パターンのエッジ傾斜面の鮮明なイメージを獲得することができる。
In the case of FIG. 7, the illumination unit irradiates the edge inclined surface of the pattern P with light. In the case of a conventional lighting unit that does not include the
図8乃至図12は、集光部材の他の実施形態を示す図面である。 8 to 12 are views showing another embodiment of the light collecting member.
図8に示すように、集光部材260の第1面(上面)に提供される傾斜面262_1は、ホールを中心に外側に傾くように提供され得るし、傾斜面262の傾斜角は、ホールに向って内側に行くほど小さくなることができる(θ1>θ2>θ3>θ4)。
As shown in FIG. 8, the inclined surface 262_1 provided on the first surface (upper surface) of the
図9及び図10に示すように、傾斜面262_2、262_3は、集光部材260の第2面(下面)に提供され得る。傾斜面262_2は、ホールに向って内側に傾くように提供され得るし(図9)、傾斜面262_3は、ホールを中心に外側に傾くように提供され得る(図10)。そして、傾斜面262_2、262_3は、ホールに向って内側に行くほど小さくなり得る(θ1>θ2>θ3>θ4)。
As illustrated in FIGS. 9 and 10, the inclined surfaces 262_2 and 262_3 may be provided on the second surface (lower surface) of the
図11に示すように、集光部材260’は、光分離部材に対向する第1面P1が平面になり、第1面P1の反対面である第2面S1が下に凸する模様の曲面を形成するように提供され得る。
As shown in FIG. 11, the condensing
図12に示すように、集光部材260”は、光分離部材に対向する第1面P1と、第1面P1の反対面である第2面の中心部P2とが平面になり、第2面の周辺部S1が下に凸する模様の曲面を形成するように提供され得る。
As shown in FIG. 12, the condensing
図13は、照明ユニットの他の実施形態を示す側断面図である。図13に示す照明ユニットは、図3に示した照明ユニットと同一な機能を遂行するから、その詳細な説明は省略し、以下には、構成要素の配置の構造上の差異点に対して主に説明する。 FIG. 13 is a side sectional view showing another embodiment of the lighting unit. Since the lighting unit shown in FIG. 13 performs the same function as the lighting unit shown in FIG. 3, a detailed description thereof will be omitted, and the following will mainly explain the structural differences in the arrangement of components. Explained.
図13を参照すると、照明ユニットは、ハウジング210、光源220−1、220−2、220−3、光分離部材230、平行光変換部材240−1、240−2、240−3、拡散部材250、そして集光部材260を包含する。光源220−1、220−2、220−3、光分離部材230、平行光変換部材240−1、240−2、240−3、拡散部材250、そして集光部材260とは、ハウジング210に収容されて1つのモジュール形態で提供され得る。
Referring to FIG. 13, the lighting unit includes a
ハウジング210は、概ねに六面体の形状に提供され得る。ハウジング210は、四角形形状の上部壁214と下部壁216とを有し、上部壁214のエッジと下部壁216のエッジとは、側壁212によって連結される。ハウジング210の上部壁214には、光分離部材230が透過させる光が通過するようにホール215が形成され、ハウジング210の下部壁216には、集光部材260が透過させる光が通過するように開口部217が形成される。
The
光源220−1、220−2、220−3は、図13の平面に垂直な第1方向に沿って水平的に複数個が1列に配置され、第1方向に垂直な第2方向に沿って上下に積層され得る。光分離部材230は、長さ方向が第1方向に向かい、第1及び第2方向に垂直な第3方向に光源220−1、220−2、220−3から離隔されるように配置され得る。集光部材260は、長さ方向が第1方向に向かい、第2方向に沿って光分離部材230の下に離隔配置され得る。平行光変換部材240−1、240−2、240−3は、光源220−1、220−2、220−3と光分離部材230との間に長さ方向が第1方向に向かい、第2方向に沿って上下に積層され得る。拡散部材250は、光分離部材230と平行光変換部材240−1、240−2、240−3との間に長さ方向が第1方向に向かうように介在され得る。
A plurality of light sources 220-1, 220-2, and 220-3 are horizontally arranged in a row along a first direction perpendicular to the plane of FIG. 13, and along a second direction perpendicular to the first direction. Can be stacked one above the other. The
以上は、光分離部材230としてビームスプリッター(Beam Spliter)が使用された場合を例として説明した。しかし、光分離部材としては、ビームスプリッター以外にも、図14に示すようにハーフミラー(Half Mirror)230’も使用できる。
The case where a beam splitter is used as the
本発明の説明は、本発明の技術思想を例示的に説明したことに過ぎないものであり、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者であれば本発明の本質的な特性から逸脱しない範囲で様々な修正及び変形が可能である。したがって、本発明に開示された実施形態は、本発明の技術思想を限定するためではなく説明するためのものであり、そのような実施形態によって本発明の技術思想の範囲が限定されるものではない。本発明の保護範囲は、下の請求範囲によって解釈しなければならないし、それと同等な範囲内にあるすべての技術思想は、本発明の権利範囲に包含されることとして解釈されなければならない。 The description of the present invention is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and any person having ordinary knowledge in the technical field to which the present invention belongs will depart from the essential characteristics of the present invention. Various modifications and variations are possible without departing from the scope. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to explain it, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by such an embodiment. Absent. The protection scope of the present invention shall be construed by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be construed as being included in the scope of the right of the present invention.
1 光学検査装置
100 移動ユニット
200 照明ユニット
210 ハウジング
220 光源
230 光分離部材
240 平行光変換部材
250 拡散部材
260 集光部材
262 傾斜面
264 ホール
300 撮影ユニット
DESCRIPTION OF
Claims (54)
入射される光の方向に沿って光を反射、又は透過させる光分離部材と、
前記光源から放出され、前記光分離部材によって反射される光を屈折させて照明対象に集光させ、前記照明対象から反射される光を前記光分離部材に案内する集光部材と、
を包含することを特徴とする照明ユニット。 A light source that emits light;
A light separating member that reflects or transmits light along the direction of incident light;
A light collecting member that refracts the light emitted from the light source and is reflected by the light separating member and focuses the light on the illumination target, and guides the light reflected from the illumination target to the light separating member;
A lighting unit comprising:
前記集光部材の中心部には、光が通過するホールが形成され、
前記光分離部材と対向する前記集光部材の第1面と、前記第1面の反対面である第2面の中、何れか一面には、前記ホールを中心に対称になるように多数の傾斜面が提供されることを特徴とする請求項1記載の照明ユニット。 The condensing member is spaced from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light,
A hole through which light passes is formed at the center of the light collecting member,
Among the first surface of the light collecting member facing the light separating member and the second surface that is the opposite surface of the first surface, any one of the surfaces is symmetric with respect to the hole. The lighting unit according to claim 1, wherein an inclined surface is provided.
前記傾斜面は、前記集光部材の長さ方向に沿って長く延長されることを特徴とする請求項4、又は請求項5記載の照明ユニット。 The light collecting member has a length corresponding to the length of the light separating member;
The lighting unit according to claim 4, wherein the inclined surface is extended long along a length direction of the light collecting member.
前記光分離部材は、対向する前記集光部材の第1面の反対面である第2面が下に凸な模様の曲面であることを特徴とする請求項1記載の照明ユニット。 The condensing member is spaced from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light,
The illumination unit according to claim 1, wherein the light separation member is a curved surface having a downwardly convex pattern on a second surface that is an opposite surface of the first surface of the condensing member that faces the light separation member.
前記光分離部材と対向する前記集光部材の第1面の反対面である第2面の中心部は、平面であり、前記第2面の周辺部は、下に凸な模様の曲面であることを特徴とする請求項1記載の照明ユニット。 The condensing member is spaced from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light,
The central portion of the second surface, which is the opposite surface of the first surface of the light collecting member facing the light separating member, is a flat surface, and the peripheral portion of the second surface is a curved surface having a downwardly convex pattern. The lighting unit according to claim 1.
前記集光部材は、前記光分離部材が光を反射する方向に前記光分離部材から離隔配置されることを特徴とする請求項14記載の照明ユニット。 The light source, the parallel light converting member, the diffusing member, and the light separating member are arranged in a line so that the optical axis is in the horizontal direction,
The illumination unit according to claim 14, wherein the light collecting member is spaced apart from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light.
長さの方向が前記第1方向に向かい、前記第1及び第2方向に垂直な第3方向に前記光源から離隔配置され、入射される光の方向に沿って光を反射、又は透過させる光分離部材と、
長さ方向が前記第1方向に向かい、前記第2方向に沿って前記光分離部材の下に離隔配置され、前記光源から放出され前記光分離部材によって反射される光を屈折させ、照明対象に集光させ、前記照明対象から反射される光を前記光分離部材に案内する集光部材と、を包含することを特徴とする照明ユニット。 A plurality of light sources arranged in a row horizontally along a first direction and stacked vertically along a second direction perpendicular to the first direction;
Light having a length direction toward the first direction and spaced apart from the light source in a third direction perpendicular to the first and second directions and reflecting or transmitting light along the direction of incident light A separating member;
A length direction is directed to the first direction, and is spaced below the light separation member along the second direction, refracting light emitted from the light source and reflected by the light separation member, A light condensing member for condensing and guiding light reflected from the illumination object to the light separating member.
前記光分離部材と対向する前記集光部材の上面には、前記ホールを中心に対称になり、前記ホールに向って内側の方に傾いた多数の傾斜面が提供され、前記傾斜面の傾斜角は、前記ホールに向って内側に行くほど小さくなることを特徴とする請求項19記載の照明ユニット。 The light collecting member is provided in a plate shape having a length corresponding to the light separating member, and a hole through which light passes is formed through the central portion of the light collecting member along the first direction.
The upper surface of the light collecting member facing the light separating member is provided with a plurality of inclined surfaces that are symmetrical about the hole and are inclined inward toward the hole, and the inclination angle of the inclined surface The lighting unit according to claim 19, wherein the lighting unit becomes smaller toward an inner side toward the hole.
前記光分離部材と対向する前記集光部材の上面には、前記ホールを中心に対称になり、前記ホールを中心に外側の方に傾いた多数の傾斜面が提供され、前記傾斜面の傾斜角は、前記ホールに向って内側に行くほど小さくなることを特徴とする請求項19記載の照明ユニット。 The light collecting member is provided in a plate shape having a length corresponding to the light separating member, and a hole through which light passes is formed through the central portion of the light collecting member along the first direction.
The upper surface of the light collecting member facing the light separating member is provided with a plurality of inclined surfaces that are symmetrical about the hole and inclined outward with respect to the hole, and the inclination angle of the inclined surface The lighting unit according to claim 19, wherein the lighting unit becomes smaller toward an inner side toward the hole.
前記集光部材の下面には、前記ホールを中心に対称になり、前記ホールに向って内側に傾いた多数の傾斜面が提供され、前記傾斜面の傾斜角は、前記ホールに向って内側に行くほど小さくなることを特徴とする請求項19記載の照明ユニット。 The light collecting member is provided in a plate shape having a length corresponding to the light separating member, and a hole through which light passes is formed through the central portion of the light collecting member along the first direction.
The lower surface of the light collecting member is provided with a large number of inclined surfaces that are symmetrical about the hole and inclined inward toward the hole, and the inclined angle of the inclined surface is inward toward the hole. The lighting unit according to claim 19, wherein the lighting unit becomes smaller as it goes.
前記集光部材の下面には、前記ホールを中心に対称になり、前記ホールを中心に外側の方に傾いた多数の傾斜面が提供され、前記傾斜面の傾斜角は、前記ホールに向って内側に行くほど小さくなることを特徴とする請求項19記載の照明ユニット。 The light collecting member is provided in a plate shape having a length corresponding to the light separating member, and a hole through which light passes is formed through the central portion of the light collecting member along the first direction.
The lower surface of the light collecting member is provided with a large number of inclined surfaces that are symmetrical about the hole and inclined outward with respect to the hole, and the inclination angle of the inclined surface is directed toward the hole. The lighting unit according to claim 19, wherein the lighting unit becomes smaller toward an inner side.
前記光分離部材に対向する前記集光部材の第1面は、平面であり、
前記第1面の反対面である第2面が下に凸する模様の曲面であることを特徴とする請求項19記載の照明ユニット。 The light collecting member has a length corresponding to the light separating member;
The first surface of the condensing member facing the light separating member is a flat surface,
The lighting unit according to claim 19, wherein the second surface, which is the opposite surface of the first surface, is a curved surface having a downwardly projecting pattern.
前記光分離部材に対向する前記集光部材の第1面は、平面であり、
前記第1面の反対面である第2面の中心部は、平面であり、前記第2面の周邊部は、下に凸する模様の曲面であることを特徴とする請求項19記載の照明ユニット。 The light collecting member has a length corresponding to the light separating member;
The first surface of the condensing member facing the light separating member is a flat surface,
20. The illumination according to claim 19, wherein a central portion of the second surface, which is the opposite surface of the first surface, is a flat surface, and a peripheral flange portion of the second surface is a curved surface having a downward projecting pattern. unit.
検査対象物を一方向に移動させる移動ユニットと、
前記検査対象物の移動経路上部に提供され、前記移動ユニットによって移動される前記検査対象物に光を照射する照明ユニットと、
前記照明ユニットの光が照射される前記検査対象物を撮影する撮影ユニットと、を包含し、
前記照明ユニットは、光を放出する光源と、
入射される光の方向に沿って光を反射、又は透過させる光分離部材と、
前記光源から放出され、前記光分離部材によって反射される光を屈折させ、照明対象に集光させ、前記照明対象から反射される光を前記光分離部材に案内する集光部材と、を包含することを特徴とする光学検査装置。 In optical inspection equipment,
A moving unit for moving the inspection object in one direction;
An illumination unit that is provided on an upper part of a movement path of the inspection object and irradiates light to the inspection object moved by the movement unit;
An imaging unit that images the inspection object irradiated with light from the illumination unit, and
The lighting unit includes a light source that emits light;
A light separating member that reflects or transmits light along the direction of incident light;
A light collecting member that refracts the light emitted from the light source and reflected by the light separating member, condenses the light on the illumination target, and guides the light reflected from the illumination target to the light separating member. An optical inspection device.
前記集光部材の中心部には、光が通過するホールが形成され、
前記光分離部材に対向する前記集光部材の第1面と、前記第1面の反対面である第2面との何れか一面には、前記ホールを中心に対称になるように多数の傾斜面が提供されることを特徴とする請求項29記載の光学検査装置。 The condensing member is spaced from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light,
A hole through which light passes is formed at the center of the light collecting member,
Any one of the first surface of the light collecting member facing the light separating member and the second surface opposite to the first surface has a large number of inclinations so as to be symmetrical about the hole. 30. The optical inspection apparatus of claim 29, wherein a surface is provided.
前記傾斜面は、前記集光部材の長さ方向に沿って長く延長されることを特徴とする請求項32、又は請求項33記載の光学検査装置。 The light collecting member has a length corresponding to the length of the light separating member;
34. The optical inspection apparatus according to claim 32, wherein the inclined surface extends long along a length direction of the light collecting member.
前記光分離部材に対向する前記集光部材の第1面の反対面である第2面が下に凸する模様の曲面であることを特徴とする請求項29記載の光学検査装置。 The condensing member is spaced from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light,
30. The optical inspection apparatus according to claim 29, wherein a second surface opposite to the first surface of the light condensing member facing the light separating member is a curved surface having a convex pattern.
前記光分離部材に対向する前記集光部材の第1面の反対面である第2面の中心部は、平面であり、前記第2面の周辺部は、下に凸する模様の曲面であることを特徴とする請求項29記載の光学検査装置。 The condensing member is spaced from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light,
The central portion of the second surface, which is the opposite surface of the first surface of the light condensing member, facing the light separating member is a flat surface, and the peripheral portion of the second surface is a curved surface with a downward projecting pattern. 30. The optical inspection apparatus according to claim 29.
前記集光部材は、前記光分離部材が光を反射する方向に前記光分離部材から離隔配置されることを特徴とする請求項46記載の光学検査装置。 The light source, the parallel light converting member, the diffusing member, and the light separating member are arranged in a row so that the optical axis is directed in the horizontal direction,
47. The optical inspection apparatus according to claim 46, wherein the light collecting member is spaced apart from the light separating member in a direction in which the light separating member reflects light.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090024237A KR101208573B1 (en) | 2009-03-21 | 2009-03-21 | Optical condensing member and illumination unit, and optical inspection apparatus using the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010223955A true JP2010223955A (en) | 2010-10-07 |
Family
ID=42742985
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010038524A Withdrawn JP2010223955A (en) | 2009-03-21 | 2010-02-24 | Light focusing member and lighting unit, and optical inspection apparatus using them |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010223955A (en) |
KR (1) | KR101208573B1 (en) |
CN (1) | CN101839426A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012225690A (en) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Ccs Inc | Light irradiation device |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI571628B (en) * | 2015-11-06 | 2017-02-21 | 艾斯邁科技股份有限公司 | Substrate detection device and method thereof |
KR102082204B1 (en) * | 2018-10-30 | 2020-02-27 | 이영우 | Apparatus for inspecting curved surface of cover glass |
KR20220045483A (en) * | 2020-10-05 | 2022-04-12 | (주)미래컴퍼니 | Illuminating apparatus for line scan and system including the same |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4494580B2 (en) | 2000-03-24 | 2010-06-30 | 日本信号株式会社 | Optical system of scanning projector / receiver |
JP2007155575A (en) | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Surface inspection apparatus and surface inspection method |
-
2009
- 2009-03-21 KR KR1020090024237A patent/KR101208573B1/en not_active IP Right Cessation
-
2010
- 2010-02-24 JP JP2010038524A patent/JP2010223955A/en not_active Withdrawn
- 2010-03-22 CN CN201010128964A patent/CN101839426A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012225690A (en) * | 2011-04-15 | 2012-11-15 | Ccs Inc | Light irradiation device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101839426A (en) | 2010-09-22 |
KR101208573B1 (en) | 2012-12-06 |
KR20100105816A (en) | 2010-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8228496B2 (en) | Defect inspection method and defect inspection apparatus | |
US7907270B2 (en) | Inspection apparatus and method, and production method for pattern substrates | |
KR100578560B1 (en) | Automated optical inspection machine | |
US20110141463A1 (en) | Defect inspection method, and defect inspection device | |
TW200842347A (en) | Pattern checking device and pattern checking mehtod | |
JP2010151479A (en) | Wiring pattern inspecting device | |
JP2010223955A (en) | Light focusing member and lighting unit, and optical inspection apparatus using them | |
JP2007279047A (en) | Optical inspection system | |
KR101895593B1 (en) | Optical inspection system and optical imaging system | |
KR20090083843A (en) | Method and apparatus for pattern inspection | |
JP5276833B2 (en) | Defect inspection method and defect inspection apparatus | |
JP2017102078A (en) | Visual inspection device and visual inspection method | |
JP2011106912A (en) | Imaging illumination means and pattern inspection device | |
CN107845584B (en) | Apparatus, system and method for detecting surface defects of a substrate | |
TW202343083A (en) | Integrated light source device and optical inspection system comprising thereof | |
JP6570084B2 (en) | Macro inspection device for inspecting the upper surface of protrusions on the stage surface | |
JP2004125644A (en) | Dome shape indirect illumination apparatus and pattern image pickup method | |
JP3102362U (en) | Mirror inspection equipment | |
JP4010726B2 (en) | Transparent panel inspection equipment | |
KR101442770B1 (en) | Substrate inspection apparatus | |
JP2007149908A (en) | Bump ic inspection device | |
JP2006010334A (en) | Inspection device, inspection method and method for manufacturing pattern substrate | |
JP2022045523A (en) | Defect inspection device | |
JP2021165707A (en) | Lens array inspection device | |
JP2023161113A (en) | Defect inspection device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20130507 |