JP2010218169A - 半導体集積回路のレイアウト装置、設計支援方法及び製造方法 - Google Patents
半導体集積回路のレイアウト装置、設計支援方法及び製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】半導体集積回路内の回路部分の配置及び配線を行う半導体集積回路のレイアウト装置において、ライブラリ、デザインルール、レイアウト、ネットリストを読み込む入力部と、ライブラリ、デザインルール、レイアウト、ネットリストの情報をもとに、表示部にレイアウト表示を行うための処理を行い、また、操作部からの操作により制御が行われる本体部と、本体部を制御するための操作を行う操作部と、表示画面においてレイアウト表示するとともに、表示画面には表示されないものであって、レイアウト表示されている配線と電気的に接続される回路情報を表示するための表示部を有することを特徴とする半導体集積回路のレイアウト装置を提供することにより上記課題を解決する。
【選択図】 図1
Description
12 本体部
13 表示部
14 制御部
15 表示画面
21 レイアウト画面
22、23、24 接続先の情報表示
25、26、27 接続先の入出力表示
31、32、33 接続先の回路図表示
Claims (7)
- 半導体集積回路内の回路部分の配置及び配線を行う半導体集積回路のレイアウト装置において、
ライブラリ、デザインルール、レイアウト、ネットリストを読み込む入力部と、
前記ライブラリ、前記デザインルール、前記レイアウト、前記ネットリストの情報をもとに、表示部にレイアウト表示を行うための処理を行い、また、操作部からの操作により制御が行われる本体部と、
前記本体部を制御するための操作を行う操作部と、
表示画面において前記レイアウト表示するとともに、前記表示画面には表示されないものであって、前記レイアウト表示されている配線と電気的に接続される回路情報を表示するための表示部と、
を有することを特徴とする半導体集積回路のレイアウト装置。 - 前記回路情報は、接続される回路図、配線長、入出力方向、前記表示画面の境界を基準としたセルまでの相対位置のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路のレイアウト装置。
- 半導体集積回路内の回路部分の配置及び配線を行う半導体集積回路の設計支援方法において、
ライブラリ、デザインルール、レイアウト、ネットリストを読み込む入力工程と、
前記ライブラリ、前記デザインルール、前記レイアウト、前記ネットリストの情報に基づき半導体集積回路のレイアウトを表示する表示工程と、
前記半導体集積回路のレイアウトをスクロールまたは拡大し部分的な表示を行う部分表示工程と、
前記部分表示工程により表示部の画面に表示された半導体集積回路のレイアウトにおける配線と電気的に接続される回路情報を取得する回路情報取得工程と、
前記取得された回路情報を表示する回路情報表示工程と、
を有することを特徴とする半導体集積回路の設計支援方法。 - 前記回路情報は、前記拡大表示工程において表示部の画面に表示された半導体集積回路のレイアウトと同一画面上に表示されることを特徴とする請求項3に記載の半導体集積回路の設計支援方法。
- 前記回路情報は、接続される回路図、前記回路図を構成するセル、配線長、入出力方向、前記表示画面の境界を基準としたセルまでの相対位置のいずれかであることを特徴とする請求項3または4に記載の半導体集積回路の設計支援方法。
- 前記接続される回路図または前記回路図を構成するセルを選択する選択工程と、
前記選択された前記接続される回路図または前記回路図を構成するセルにおける半導体集積回路のレイアウトを表示する選択先表示工程と、
を有することを特徴とする請求項5に記載の半導体集積回路の設計支援方法。 - 前記請求項3から6のいずれかに記載の半導体集積回路の設計支援方法により半導体集積回路を設計しレイアウトを作成する設計工程と、
前記設計工程により設計された半導体集積回路の前記レイアウトに基づき露光装置に用いられる露光用マスクを作製する露光マスク作製工程と、
前記露光マスクを用い、前記露光装置によりフォトレジストの塗布された半導体ウエハを露光し、前記半導体ウエハ上にレジストのパターンを形成するパターン形成工程と、
を有することを特徴とする半導体集積回路の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012114523A1 (ja) * | 2011-02-25 | 2012-08-30 | 富士通株式会社 | 設計装置、設計方法、及び設計プログラム |
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-
2009
- 2009-03-16 JP JP2009063578A patent/JP5407450B2/ja not_active Expired - Fee Related
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