JP2010217084A - 蛍光温度センサ及びその故障判定方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】蛍光温度センサが故障した際に、故障部位を区分・同定することができる蛍光温度センサ及びその故障判定方法を提供する。
【解決手段】励起光により蛍光を発する蛍光体4と、光源を点灯して蛍光体4に励起光を投光する投光部10と、蛍光体4の蛍光を受光する受光部12と、投光部10及び受光部12と蛍光体4間の導光を行う光ファイバ5と、受光部12の受光量に基づき、測定対象物の温度を算出する処理部13とを備えた蛍光温度センサ1において、処理部13は、受光部12における受光量と、投光部10の動作状態に応じて予め設定される閾値とを比較することにより当該蛍光温度センサ1の故障を判定する。
【選択図】図1

Description

この発明は、温度により蛍光特性が変化する蛍光体を用いて温度を測定する蛍光温度センサ及びその故障判定方法に関するものである。
温度センサとして、蛍光体を用いた蛍光温度センサが広く利用されている(例えば、特許文献1参照)。この蛍光温度センサは、温度により蛍光特性が変化する蛍光体を用いることにより温度を測定する。具体的には、光源からの励起光を蛍光体に照射して、蛍光体で発生した蛍光を検出する。そして、検出された蛍光の蛍光寿命などの蛍光特性の変化によって温度を測定する。
特開2002−71473号公報
上記のように構成される蛍光温度センサでは、蛍光温度センサが故障したとき、どこの部位が故障しているのかを判定する故障判定方法はなく、蛍光温度センサが壊れた場合には、その故障原因(故障部位)を特定するため、蛍光温度センサ全体を装置から取り外し、部品ごとに点検する必要があった。そのため、本来は取り外さなくてもよい部品まで取り外してしまうため、点検の効率が落ちてしまうという課題があった。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、稼働中に、蛍光温度センサが故障した際に、故障箇所を区分・同定することができる蛍光温度センサ及びその故障判定方法を提供することを目的としている。
この発明に係る蛍光温度センサは、励起光により蛍光を発する蛍光体と、光源を点灯して蛍光体に励起光を投光する投光部と、蛍光体の蛍光を受光する受光部と、投光部及び受光部と蛍光体間の導光を行う光ファイバと、受光部の受光量に基づき、測定対象物の温度を算出する処理部とを備えた蛍光温度センサにおいて、処理部は、受光部における受光量と、投光部の動作状態に応じて予め設定される閾値とを比較することにより当該蛍光温度センサの故障を判定するものである。
この発明によれば、上記のように構成したので、稼働中に、蛍光温度センサが故障した際に、故障箇所を素早く区分・同定することができ、交換すべき部品を早期に特定できるので、故障復旧までの時間を短縮することができる。
この発明の実施の形態1に係る蛍光温度センサの構成を示す図である。 この発明の実施の形態1における受光部の受光量及び閾値を説明するための図である。 この発明の実施の形態1に係る蛍光温度センサの故障判定方法を説明するためのフローチャートである。 この発明の実施の形態2に係る蛍光温度センサの構成を示す図である。 この発明の実施の形態1,2に係る蛍光温度センサの測定停止判定処理を説明するための図である。
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1に係る蛍光温度センサ1の構成を示す図である。
図1に示すように、蛍光温度センサ1は、被測定面に接触させ、温度に応じた蛍光を発光するためのセンサプローブ2と、センサプローブ2に励起光を投光し、センサプローブ2からの蛍光を受光し、その受光量から被測定面の温度測定を行うためのセンサモジュール3とにより構成される。
センサプローブ2は、図1に示すように、センサモジュール3より投光される励起光により蛍光を発光する蛍光体4と、センサモジュール3により投光される励起光を蛍光体4に導光し、蛍光体4が発する蛍光をセンサモジュール3に導光するため、センサモジュール3と蛍光体4間に接続される光ファイバ5と、センサプローブ2の先端に設けられ、蛍光体4を覆うカバー6と、光ファイバ5に傷が付かないように保護するための保護管7とにより構成される。ここで、光ファイバ5は光ファイバコネクタ8によりセンサモジュール3と接続される。
センサモジュール3は、図1に示すように、投光駆動部9により制御されて、センサプローブ2に設けられる蛍光体4に励起光を投光し、同時に受光部12に励起光を直接投光するための投光部10と、受光駆動部11により制御されて、センサプローブ2に設けられる蛍光体4が発する蛍光及び投光部10が直接する投光する励起光を受光するための受光部12と、受光部12が受光した受光量に基づいて、被測定面の温度を算出するための処理部13とにより構成される。ここで、投光部10及び受光部12はホルダ14内に収納される。
また、処理部13は、投光部10の動作状態に応じて予め設定される閾値と受光部12が受光する受光量を比較することにより蛍光温度センサ1の故障判定処理を行う。ここで、この処理部13による蛍光温度センサ1の故障判定処理は、温度測定の度に自動で行われるものである。
また、処理部13は蛍光温度センサ1の故障判定処理の結果に基づいて、外部接続されている報知部15に蛍光温度センサ1の故障情報を報知させるように構成される。
報知部15は、処理部13による蛍光温度センサ1の故障判定処理の結果に基づいて、使用者に蛍光温度センサ1の故障情報を報知するための音声及び表示を出力するものである。
次に、上記のように構成される蛍光温度センサ1の受光部12の受光量及び処理部13により予め設定される閾値について説明する。
図2はこの発明の実施の形態1における受光部12の受光量及び閾値を説明するための図である。この図2は、受光部12の受光量を表したものであり、横軸は時間であり、縦軸は光量である。
図2に示すように、投光部10が光源を点灯して蛍光体4に励起光を投光するのと同時に受光部12に励起光を直接投光した直後では、受光部12は投光部10から直接投光される励起光のみを受光する。その後、蛍光体4は投光部10から投光される励起光により蛍光を発光するため、受光部12はこの蛍光体4による蛍光も受光し、励起光及び蛍光の混合光を受光することで受光量は増加する。その後、投光部10が光源を点灯後所定時間経過した後では、蛍光体4による蛍光は飽和状態となり、受光部12が受光する励起光及び蛍光の混合光の光量も一定の値となる。その後、投光部10が光源を消灯した直後では、受光部12は投光部10から直接投光されていた励起光がなくなり、蛍光体4の発する蛍光のみを受光するため、受光部12の受光量は減少し、その後、蛍光体4の蛍光の消光に伴って受光部12の受光量は減少する。
処理部13では、図2に示すように、投光部10の光源の動作状態に応じて、投光部10が光源を点灯した直後に受光部12が受光する励起光量に対する第1の閾値V1、投光部10が光源を点灯後所定時間経過した後に受光部12が受光する励起光及び蛍光の混合した光量に対する第2の閾値V2及び投光部10が光源を消灯直後に受光部12が受光する蛍光量に対する第3の閾値V3が予め設定される。
次に、上記のように構成される蛍光温度センサ1の温度測定について説明する。
まず、蛍光温度センサ1のセンサプローブ2先端に設けられる蛍光体4が収納されるカバー6表面を被測定面に接触させる。次いで、投光部10から励起光が蛍光体4に投光される。この投光部10から投光された励起光により蛍光体4は蛍光を発光する。受光部12はこの蛍光体4が発光する蛍光を受光している。このときの受光部12が受光する受光量は、処理部13により逐一計測されている。次いで、投光部11は、蛍光体4への励起光の投光を停止する。これにより、蛍光体4は消光する。この蛍光体4の消光速度は温度が高くなるほど速くなる。この蛍光体4の消光速度を処理部13が計測することにより、被測定面の温度を計測する。
ここで、受光部12は蛍光体4が発光する蛍光の他に投光部10が直接投光する励起光も受光するが、投光部10の光源消灯後での受光部12の受光量は蛍光量のみとなるため、被測定面の温度測定を行うことができる。
次に、上記のように構成される蛍光温度センサ1の故障判定方法について説明する。
図3はこの発明の実施の形態1に係る蛍光温度センサ1の故障判定方法を説明するためのフローチャートである。
この発明の実施の形態1に係る蛍光温度センサ1では、蛍光温度センサ1の故障判定箇所は、センサモジュール3部分である「本体部」と、蛍光体4及び光ファイバ5部分である「センサ部」の2箇所として故障判定処理を実施する。
まず、故障判定処理では、投光部10は励起光を投光する(ステップST1)。すなわち、投光部10は蛍光体4に励起光を投光するのと同時に、受光部12に対しても励起光を直接投光する。受光部12は蛍光体4から発せられる蛍光及び投光部10から直接投光される励起光を受光し、この受光部12による受光量は処理部13に送られる。
ここで、このステップST1はこの発明の励起光投光ステップに対応する。
次いで、処理部13は投光部10の光源点灯直後での受光部12の受光量が第1の閾値V1以上であるかを判定する(ステップST2)。すなわち、処理部13は、投光部10の光源点灯直後における受光部12が受光する励起光量が、予め設定される第1の閾値V1以上であるかを判定する。
このステップST2により、蛍光温度センサ1の「本体部」についての故障判定を行う。すなわち、処理部13は、投光部10の光源点灯直後での受光部12の受光量が第1の閾値V1以上であると判定すると、「本体部」は正常であると判定してシーケンスはステップST3に進む。一方、投光部10の光源点灯直後での受光部12の受光量が第1の閾値V1未満であると判定すると、「本体部」が故障であると判定してシーケンスはステップST10に進む。このようにステップST2における比較処理に基づいて、蛍光温度センサ1に故障があるかを判定することができる。ここで、このステップST2はこの発明の第1比較ステップに対応する。
以下、蛍光温度センサ1の「センサ部」についての故障判定を行う。
上記ステップST2において、処理部13は、投光部10の光源点灯直後での受光部12の受光量が第1の閾値V1以上である、すなわち「本体部」は正常であると判定すると、次いで、投光部10の光源点灯後所定時間経過後での受光部12の受光量が第2の閾値V2以上であるかを判定する(ステップST3)。すなわち、処理部13は、投光部10の光源点灯後所定時間経過後における受光部12が受光する励起光及び蛍光が混合した光量が、予め設定される第2の閾値V2以上であるかを判定する。
このステップST3において、処理部13は、投光部10の光源点灯後所定時間経過後での受光部12の受光量が第2の閾値V2以上であると判定すると、次いで、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が第3の閾値V3以上であるかを判定する(ステップST4)。すなわち、処理部13は、投光部10の光源消灯直後における受光部12が受光した蛍光量が、予め設定される第3の閾値V3以上であるかを判定する。
このステップST4において、処理部13は、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が閾値V3以上であると判定すると、「センサ部」も正常であると判定し、蛍光温度センサ1は正常に動作していると判定する(ステップST5)。
一方、ステップST4において、処理部13は、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が閾値V3未満であると判定すると、蛍光体4周辺が高温すぎると判定し、報知部15に「温度測定範囲外(高温)」を示す音声及び表示を出力させる(ステップST6)。すなわち、投光部10の光源点灯後所定時間経過後での受光部12の受光量が第2の閾値V2以上、かつ投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が第3の閾値V3未満である場合は、蛍光体4周辺の温度が高温であるために蛍光体4が発光する蛍光の立ち上がり及び消光が早すぎることを示している。この場合、蛍光体4による蛍光の消光速度がサンプリングレートに対して速すぎるため、測定分解能が低下し、正確な蛍光寿命を測定することができず、「温度測定範囲外(高温)」と判定する。
上記ステップST3において、処理部13は、投光部10の光源点灯後所定時間経過後での受光部12の受光量が第2の閾値V2未満であると判定すると、次いで、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が第3の閾値V3以上であるかを判定する(ステップST7)。
このステップST7において、処理部13は、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が閾値V3以上であると判定すると、蛍光体4周辺が低温すぎると判定し、報知部15に「温度測定範囲外(低温)」を示す音声及び表示を出力させる(ステップST8)。すなわち、投光部10の光源点灯後所定時間経過後での受光部12の受光量が第2の閾値V2未満、かつ投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が第3の閾値V3以上である場合は、蛍光体4周辺の温度が低温であるために蛍光の立ち上がりが遅いことを示している。この場合、蛍光寿命を算出できるまでの蛍光強度に達していないため、正確な蛍光寿命を測定することができず、「温度測定範囲外(低温)」と判定する。
一方、ステップST7において、処理部13は、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が閾値V3未満であると判定すると、「センサ部」が故障であると判定し、報知部15に「センサ部不具合」を示す音声及び表示を出力させる(ステップST9)。
上記ステップST2において、処理部13は、投光部10の光源点灯直後での受光部12の受光量が第1の閾値V1未満である、すなわち「本体部」に不具合があると判定すると、次いで、投光部10の光源点灯後所定時間経過後での受光部12の受光量が第2の閾値V2以上であるかを判定する(ステップST10)。
このステップST10において、処理部13は、投光部10の光源点灯後所定時間経過後での受光部12の受光量が第2の閾値V2以上であると判定すると、次いで、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が第3の閾値V3以上であるかを判定する(ステップST11)。
このステップST11において、処理部13は、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が閾値V3以上であると判定すると、「センサ部」も故障であると判定し、報知部15に「全部位不具合」を示す音声及び表示を出力させる(ステップST12)。
一方、ステップST11において、処理部13は、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が閾値V3未満であると判定すると、「センサ部」も故障であり、かつ蛍光体4周辺が高温すぎると判定し、報知部15に「全部位不具合」及び「温度測定範囲外(高温)」を示す音声及び表示を出力させる(ステップST13)。
上記ステップST10において、処理部13は、投光部10の光源点灯後所定時間経過後での受光部12の受光量が第2の閾値V2未満であると判定すると、次いで、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が第3の閾値V3以上であるかを判定する(ステップST14)。
このステップST14において、処理部13は、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が閾値V3以上であると判定すると、「センサ部」も故障であり、かつ蛍光体4周辺が低温すぎると判定し、報知部15に「全部位不具合」及び「温度測定範囲外(低温)」を示す音声及び表示を出力させる(ステップST15)。
一方、ステップST14において、処理部13は、投光部10の光源消灯直後での受光部12の受光量が閾値V3未満であると判定すると、「センサ部」は正常であると判定し、報知部15に「本体部不具合」を示す音声及び表示を出力させる(ステップST16)。
このようにステップST2からステップST16における比較処理に基づいて、蛍光温度センサ1の故障箇所を特定することができる。ここで、ステップST3及びステップST10はこの発明の第2比較ステップに対応し、ステップST4、ステップST7、ステップST11及びステップST14はこの発明の第3比較ステップに対応する。
以上のように、この発明の実施の形態1によれば、投光部10の光源の点灯直後、点灯後所定時間経過後、消灯直後に対応する受光部12の受光量と第1の閾値から第3の閾値との比較処理により当該蛍光温度センサ1の故障部位を特定するように構成したので、稼働中に、蛍光温度センサ1の故障箇所をすばやく区分・同定することができ、交換すべき部品を早期に限定でき、故障復旧までの時間を短縮することができる。
実施の形態2.
この発明の実施の形態1に係る蛍光温度センサ1では、投光部10は蛍光体4に励起光を投光するのと同時に、受光部12に励起光を直接投光するように構成したが、この発明の実施の形態2に係る蛍光温度センサ1では、投光部10は受光部12には励起光を直接投光せず、蛍光体4と光ファイバ5との間に透光性反射体16を設けて、蛍光体4に投光される励起光の一部を受光部12に反射させるように構成したものである。
図4はこの発明の実施の形態2に係る蛍光温度センサ1の構成を示す図である。
以下、図1のこの発明の実施の形態1に係る蛍光温度センサ1と同一または同様の構成については、同一の符号を付しその説明を省略する。
投光部10は、投光駆動部9により制御されて、光ファイバ5を介して蛍光体4に励起光を投光する。この投光部10は投光部ホルダ14aに収納される。
透光性反射体16は、光ファイバ5により導光される励起光の一部を反射し、残りを透過させるためのものであり、図4に示すように、センサプローブ2の蛍光体4と光ファイバ5との間に設けられている。投光部10により投光される励起光は、この透光性反射体16により、一部が反射されて受光部12に導光され、残りは透過して蛍光体4に送られる。なお、言うまでもないことであるが、励起光の一部が透光性反射体16を透過して蛍光体4に送られるにあたって、透光性反射体16自体による若干の励起光の吸収・減衰は不可避であるため、前述の記載は透光性反射体16において反射されなかった励起光の全てが蛍光体4に送られることを示すものではない。
受光部12は、受光駆動部11により制御されて、蛍光体4が発する蛍光を受光し、また、透光性反射体16により反射された励起光を受光する。この受光部12は受光部ホルダ14bに収納される。
次に、上記のように構成される蛍光温度センサ1の故障判定方法について説明する。
この発明の実施の形態2に係る蛍光温度センサ1の故障判定方法は、図3のステップST1を除き、実施の形態1に係る蛍光温度センサ1の故障判定方法と同じである。以下では、この発明の実施の形態2に係る蛍光温度センサ1の故障判定方法についても図3を参照して説明する。
また、この発明の実施の形態2に係る蛍光温度センサ1では、蛍光温度センサ1の故障判定箇所は、センサモジュール3及び光ファイバ5部分である「本体部」と、蛍光体4部分である「センサ部」の2箇所として故障判定処理を実施する。
故障判定処理では、投光部10は励起光を投光する(ステップST1)。すなわち、投光部10は蛍光体4に励起光を投光する。この投光部10により投光された励起光は透光性反射体16により一部が受光部12に反射され、残りは透光性反射体16を透過し蛍光体4に送られる。受光部12は透光性反射体15により反射される励起光及び蛍光体4から発せられる蛍光を受光し、この受光部12による受光量は処理部13に逐一計測される。
以後のステップST2からステップST16における比較処理については、この発明の実施の形態1に係る蛍光温度センサ1の故障判定方法と同一であるため、その説明を省略する。
以上のように、この発明の実施の形態2によれば、投光部10から投光される励起光を蛍光体4と光ファイバ5との間に設けられる透光性反射体16により反射させて受光部12に送り、蛍光温度センサ1の故障判定処理を行うように構成しても、この発明の実施の形態1に係る蛍光温度センサ1と同様の効果を得ることができる。
また、この発明の実施の形態1,2に係る蛍光温度センサ1では、処理部13による故障判定処理は温度測定の度に自動で行われるものとして説明したが、これに限るものではなく、所定の命令を入力したときのみ処理部13に故障判定処理を実行させるように構成してもよく、また、所定の期間ごとに処理部13に故障判定処理を実行させるように構成してもよい。
また、この発明の実施の形態1,2において、処理部13は、故障判定処理により蛍光温度センサ1に不具合があると判定した場合に、さらに蛍光温度センサ1の温度測定を停止させるか否かを判定する測定停止判定処理を実施するように構成してもよい。
図5はこの発明の実施の形態1,2に係る蛍光温度センサ1の測定停止判定処理を説明するための図である。
この発明の実施の形態1,2に係る蛍光温度センサ1の故障判定方法により、処理部13は、蛍光温度センサ1に故障があると判定した場合、不図示のカウンタによりその故障判定回数をカウントし、そのカウント数及び蛍光温度センサ1を備えた装置の動作状態に応じて、蛍光温度センサ1の温度測定を停止させるか否かの判定処理を実施する。
図5に示すように、蛍光温度センサ1を備えた装置が停止中に蛍光温度センサ1の「センサ部」に故障があると判定された場合おいて、処理部13は、「センサ部」の故障判定回数がM回未満であれば温度測定を続行させ、「センサ部」の故障判定回数がM回以上であれば報知部15に「センサ部故障の恐れ」を示す音声及び表示を出力させる。
また、蛍光温度センサ1を備えた装置が動作を停止中に蛍光温度センサ1の「本体部」に故障があると判定された場合において、処理部13は、「本体部」の故障判定回数に関係なく蛍光温度センサ1の温度測定を停止させる。
また、蛍光温度センサ1を備えた装置が動作中に蛍光温度センサ1の「センサ部」に故障があると判定された場合において、処理部13は、「センサ部」の故障判定回数がM回未満であれば温度測定を続行させ、「センサ部」の故障判定回数がM回以上であれば報知部15に 「センサ部故障の恐れ」を示す音声及び表示を出力させる。
また、蛍光温度センサ1を備えた装置が動作中に蛍光温度センサ1の「本体部」に故障があると判定された場合において、処理部13は、「本体部」の故障判定回数がN回未満であれば報知部15に「本体部故障の恐れ」を示す音声及び表示を出力させ、故障判定回数がN回以上であれば蛍光温度センサ1の温度測定を停止させる。
以上のように、処理部13は故障判定回数をカウントし、その故障判定回数及び蛍光温度センサ1を備えた装置の動作状態に応じて、蛍光温度センサ1の温度測定を停止させるか否かを判定するように構成することで、蛍光温度センサ1を備えた装置の動作に影響を及ぼすことなく蛍光温度センサ1の温度測定を停止させることができる。
1 蛍光温度センサ
2 センサプローブ
3 センサモジュール
4 蛍光体
5 光ファイバ
6 カバー
7 保護管
8 光ファイバコネクタ
9 投光駆動部
10 投光部
11 受光駆動部
12 受光部
13 処理部
14 ホルダ
14a 投光部ホルダ
14b 受光部ホルダ
15 報知部
16 透光性反射体

Claims (7)

  1. 励起光により蛍光を発する蛍光体と、
    光源を点灯して前記蛍光体に励起光を投光する投光部と、
    前記蛍光体の蛍光を受光する受光部と、
    前記投光部及び前記受光部と前記蛍光体間の導光を行う光ファイバと、
    前記受光部の受光量に基づき、測定対象物の温度を算出する処理部と
    を備えた蛍光温度センサにおいて、
    前記処理部は、前記受光部における受光量と、前記投光部の動作状態に応じて予め設定される閾値とを比較することにより当該蛍光温度センサの故障を判定することを特徴とする蛍光温度センサ。
  2. 前記投光部は前記受光部に励起光を直接投光し、
    前記受光部は前記蛍光体からの蛍光を受光するのと同時に、前記投光部から投光される励起光を受光することを特徴とする請求項1記載の蛍光温度センサ。
  3. 前記蛍光体と前記光ファイバ間に配置され、前記光ファイバから導光される励起光の一部を反射し、残りを透過させる透光性反射体を備え、
    前記受光部は前記蛍光体からの蛍光を受光するのと同時に、前記透光性反射体により反射される前記投光部からの励起光を受光することを特徴とする請求項1記載の蛍光温度センサ。
  4. 前記処理部により故障があると判定された場合に外部に故障情報を音声及び表示により報知するための報知部を備えることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか1項記載の蛍光温度センサ。
  5. 前記処理部は、故障と判定された回数及び当該蛍光温度センサを備えた装置の動作状態に応じて、温度測定を停止させることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか1項記載の蛍光温度センサ。
  6. 請求項1から請求項5のうちいずれか1項記載の蛍光温度センサの故障判定方法において、
    前記投光部が励起光を投光する励起光投光ステップと、
    前記処理部が前記投光部の光源点灯直後における前記受光部の受光量と第1の閾値を比較する第1比較ステップとを有し、
    前記第1比較ステップにおける比較に基づいて、当該蛍光温度センサに故障があるかを判定することを特徴とする蛍光温度センサの故障判定方法。
  7. 前記処理部が前記投光部の光源点灯後所定時間経過後における前記受光部の受光量と第2の閾値を比較する第2比較ステップと、
    前記処理部が前記投光部の光源消灯直後における前記受光部の受光量と第3の閾値を比較する第3比較ステップとをさらに有し、
    前記第1比較ステップ、前記第2比較ステップ及び前記第3比較ステップにおける比較に基づいて、当該蛍光温度センサの故障箇所を特定することを特徴とする請求項6記載の蛍光温度センサの故障判定方法。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103703351A (zh) * 2011-05-16 2014-04-02 通用电气公司 用于多功能嵌入式传感器的方法和系统
CN105241575A (zh) * 2015-09-10 2016-01-13 南昌航空大学 基于宽带荧光光谱的强度比测温方法

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116448282B (zh) * 2023-06-16 2023-09-01 应急管理部沈阳消防研究所 一种荧光光纤测温传感器的故障自诊断方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1151784A (ja) * 1997-08-06 1999-02-26 Hitachi Cable Ltd 光ファイバ式多点型物理量検出装置
JP2000055747A (ja) * 1998-08-05 2000-02-25 Anritsu Keiki Kk 蛍光式光ファイバー温度計
JP3249820B2 (ja) * 1990-12-04 2002-01-21 ラクストロン コーポレイション ルミネッセンスを高速にディジタル信号処理するモジュール化された計測システム
JP2004296625A (ja) * 2003-03-26 2004-10-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置、熱処理装置および熱処理方法
JP2004341142A (ja) * 2003-05-15 2004-12-02 Seiko Epson Corp 画像形成装置およびセンサ汚れ判定方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58137723A (ja) * 1982-02-10 1983-08-16 Omron Tateisi Electronics Co 温度測定装置
US4652143A (en) * 1984-11-29 1987-03-24 Luxtron Corporation Optical temperature measurement techniques
JPS61202083A (ja) * 1985-03-02 1986-09-06 住友金属工業株式会社 測温装置の異常監視方法
JPH09178575A (ja) * 1995-12-26 1997-07-11 Anritsu Keiki Kk ファイバー温度計
JP2002071473A (ja) * 2000-09-04 2002-03-08 Anritsu Keiki Kk 蛍光式光ファイバー温度計

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3249820B2 (ja) * 1990-12-04 2002-01-21 ラクストロン コーポレイション ルミネッセンスを高速にディジタル信号処理するモジュール化された計測システム
JPH1151784A (ja) * 1997-08-06 1999-02-26 Hitachi Cable Ltd 光ファイバ式多点型物理量検出装置
JP2000055747A (ja) * 1998-08-05 2000-02-25 Anritsu Keiki Kk 蛍光式光ファイバー温度計
JP2004296625A (ja) * 2003-03-26 2004-10-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置、熱処理装置および熱処理方法
JP2004341142A (ja) * 2003-05-15 2004-12-02 Seiko Epson Corp 画像形成装置およびセンサ汚れ判定方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103703351A (zh) * 2011-05-16 2014-04-02 通用电气公司 用于多功能嵌入式传感器的方法和系统
US9482585B2 (en) 2011-05-16 2016-11-01 General Electric Company Method and system for multi-functional embedded sensors
US9551620B2 (en) 2011-05-16 2017-01-24 General Electric Company Method and system for multi-functional embedded sensors
CN105241575A (zh) * 2015-09-10 2016-01-13 南昌航空大学 基于宽带荧光光谱的强度比测温方法

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