JP2010214563A - Suction device and workpiece conveying device - Google Patents

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Akitada Narimatsu
明格 成松
Yuji Uchiumi
祐治 内海
Tetsuyuki Terauchi
哲行 寺内
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a suction device and a workpiece conveying device capable of shortening the time required for evacuating a suction pad to a predetermined degree of vacuum. <P>SOLUTION: The workpiece conveying device 1 includes the suction device 2 for gripping a workpiece w by vacuum drawing the suction pad 21 arranged in a surface of the workpiece w, the object to be conveyed, by a vacuum pump 22 and a structure member 3 having a cross bar 31 for supporting the suction pad 21, a driving arm 32 for moving the cross bar 31 and a supporting member 33 for movably supporting a driving arm 32. The suction device 2 includes a vacuum tank 4 formed in the supporting member 33, a first air intake flow passage 5 arranged between the vacuum tank 4 and the suction pad 21, a solenoid valve 6 arranged in the first air intake flow passage 5 and a second air intake flow passage 7 arranged between the vacuum tank 4 and the vacuum pump 22. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、吸着パッドを真空引きしてワークを把持する吸着装置及び該吸着装置を備えたワーク搬送装置に関する。   The present invention relates to a suction device that evacuates a suction pad and grips a work, and a work transfer device including the suction device.

例えば、自動車用パネルのように複雑な形状をなした製品は、複数の成形工程を必要とするため、複数のプレス機が一列に配置されたトランスファプレスやタンデムプレスにより成形されることが多い。かかるトランスファプレスやタンデムプレスでは、プレス機間に配置されたワーク搬送装置により被加工材であるワークを順次搬送している。かかるワーク搬送装置には、一般に吸着パッドを真空引きしてワークを把持する吸着装置が採用されている。吸着装置は、対象物の表面に配置される吸着パッドと、該吸着パッドに接続された吸気流路と、該吸気流路内を真空引きする真空ポンプと、を有している。吸着パッドは、吸盤やバキュームカップとも称され、ワークの上方に配置可能なクロスバーに接続される。また、クロスバーは、特許文献1〜特許文献3に記載された種々の方式により駆動され、ワークを搬送する。なお、吸着装置により吸着されるワークには、上述したプレス成形品の他に、ガラス基板その他の板状部材の場合もある。   For example, a product having a complicated shape such as an automotive panel requires a plurality of molding processes, and is often molded by a transfer press or a tandem press in which a plurality of presses are arranged in a row. In such transfer presses and tandem presses, workpieces as workpieces are sequentially conveyed by a workpiece conveyance device disposed between the press machines. Generally, a suction device that evacuates a suction pad and grips the workpiece is employed in such a workpiece transfer device. The suction device includes a suction pad disposed on the surface of the object, an intake passage connected to the suction pad, and a vacuum pump that evacuates the intake passage. The suction pad is also referred to as a suction cup or a vacuum cup, and is connected to a cross bar that can be disposed above the workpiece. Further, the crossbar is driven by various methods described in Patent Documents 1 to 3, and conveys the workpiece. In addition, the workpiece | work adsorbed | sucked with an adsorption | suction apparatus may be a glass substrate other plate-like member besides the press-molded product mentioned above.

特許文献1に記載されたワーク搬送装置は、振り子式に駆動されるアームの先端に吸着パッドを備えたクロスバーを配置したものである。特許文献2に記載されたワーク搬送装置は、フロッグレッグ式に駆動されるアームの先端に吸着パッドを備えたクロスバーを配置したものである。特許文献3に記載されたワーク搬送装置は、スイングアーム式の先端に吸着パッドを備えたクロスバーを配置したものである。その他、多間接ロボットの先端に吸着パッドを配置したワーク搬送装置も存在している。   The workpiece transfer device described in Patent Document 1 is a device in which a cross bar provided with a suction pad is disposed at the tip of an arm driven in a pendulum manner. The workpiece transfer device described in Patent Document 2 is a device in which a cross bar provided with a suction pad is arranged at the tip of an arm driven in a frog-leg type. The workpiece transfer device described in Patent Document 3 is a device in which a cross bar having a suction pad is disposed at the tip of a swing arm type. In addition, there is a work transfer device in which a suction pad is arranged at the tip of a multi-indirect robot.

特開2005−161406号公報JP-A-2005-161406 特開2007−216254号公報JP 2007-216254 A 米国特許第6223582号明細書US Pat. No. 6,223,582

上述した従来のワーク搬送装置に使用されている吸着装置では、吸着パッドに接続された吸気流路である真空配管は、クロスバー及びアームに沿って配置され、ワーク搬送装置の建屋等の構造部材に配置された真空ポンプに接続されている。したがって、真空配管の長さが長くなり易い。また、真空配管は駆動部に配置されるため、重量とスペースの制約から細くなり易い。その結果、真空引きの立ち上がりが悪く、吸着パッドを所定の真空度にする時間が長くなってしまうという問題がある。   In the suction device used in the above-described conventional workpiece transfer device, the vacuum pipe, which is an intake passage connected to the suction pad, is arranged along the crossbar and the arm, and is a structural member such as a building of the workpiece transfer device. Connected to a vacuum pump. Therefore, the length of the vacuum pipe tends to be long. Further, since the vacuum pipe is disposed in the drive unit, it is likely to be thin due to the limitations of weight and space. As a result, there is a problem that the rise of vacuuming is poor and the time for which the suction pad is set to a predetermined degree of vacuum becomes long.

本発明は上述した問題点に鑑み創案されたものであり、吸着パッドを所定の真空度にする時間を短縮することができる吸着装置及びワーク搬送装置を提供することを目的とする。   The present invention has been devised in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a suction device and a work transfer device that can shorten the time required for the suction pad to have a predetermined degree of vacuum.

本発明によれば、吸着対象物の表面に配置される吸着パッドを真空ポンプにより真空引きして前記対象物を把持する吸着装置であって、前記吸着パッドと前記真空ポンプとの間に存在する構造部材に形成された真空タンクと、該真空タンクと前記吸着パッドとの間に配置された第一吸気流路と、該第一吸気流路に配置された電磁弁と、前記真空タンクと前記真空ポンプとの間に配置された第二吸気流路と、を有することを特徴とする吸着装置が提供される。   According to the present invention, there is provided a suction device that grips the target object by evacuating a suction pad disposed on the surface of the target object with a vacuum pump, and exists between the suction pad and the vacuum pump. A vacuum tank formed in the structural member; a first intake passage disposed between the vacuum tank and the suction pad; an electromagnetic valve disposed in the first intake passage; the vacuum tank; There is provided an adsorption device including a second intake flow channel disposed between the vacuum pump and the second intake channel.

前記構造部材は、前記吸着パッドが連結される連結部材、該連結部材を移動させるアーム部材又は該アーム部材を支持する支持部材であることが好ましい。また、前記真空タンクは、前記吸着パッドの排気容積に対して10倍以上の容積であることが好ましい。また、前記構造部材に複数の真空タンクを形成し、真空タンクどうしを連結する第三吸気流路を配置するようにしてもよい。   The structural member is preferably a connecting member to which the suction pad is connected, an arm member for moving the connecting member, or a support member for supporting the arm member. Moreover, it is preferable that the said vacuum tank is a volume 10 times or more with respect to the exhaust volume of the said suction pad. In addition, a plurality of vacuum tanks may be formed in the structural member, and a third intake passage that connects the vacuum tanks may be disposed.

前記第一吸気流路は、前記第二吸気流路よりも短いことが好ましい。また、前記第一吸気流路は前記真空タンクの長手方向の一端部側に接続され、前記第二吸気流路は前記真空タンクの長手方向の他端部側に接続されていることが好ましい。   The first intake flow path is preferably shorter than the second intake flow path. Further, it is preferable that the first intake flow path is connected to one end side in the longitudinal direction of the vacuum tank, and the second intake flow path is connected to the other end side in the longitudinal direction of the vacuum tank.

また、本発明によれば、搬送対象物であるワークの表面に配置される吸着パッドを真空ポンプにより真空引きして前記ワークを把持する吸着装置と、少なくとも前記吸着パッドが連結されるクロスバーと該クロスバーを移動させる駆動アームとを有する構造部材と、を備えたワーク搬送装置であって、前記構造部材に形成された真空タンクと、該真空タンクと前記吸着パッドとの間に配置された第一吸気流路と、該第一吸気流路に配置された電磁弁と、前記真空タンクと前記真空ポンプとの間に配置された第二吸気流路と、を有することを特徴とするワーク搬送装置が提供される。なお、前記構造部材には、前記駆動アームを支持する支持部材を含むようにしてもよい。   Further, according to the present invention, a suction device that grips the workpiece by evacuating a suction pad arranged on the surface of the workpiece that is a conveyance target by a vacuum pump, and a crossbar to which at least the suction pad is connected A workpiece transfer device having a drive arm for moving the crossbar, and a vacuum tank formed on the structure member, and disposed between the vacuum tank and the suction pad. A work comprising: a first intake flow path; a solenoid valve disposed in the first intake flow path; and a second intake flow path disposed between the vacuum tank and the vacuum pump. A transport device is provided. The structural member may include a support member that supports the drive arm.

前記真空タンクは、前記吸着パッドの排気容積に対して10倍以上の容積であることが好ましい。また、前記クロスバー又は前記駆動アームに複数の真空タンクを形成し、真空タンクどうしを連結する第三吸気流路を配置するようにしてもよい。また、前記第一吸気流路は、前記第二吸気流路よりも短いことが好ましい。さらに、前記第一吸気流路は前記真空タンクの長手方向の一端部側に接続され、前記第二吸気流路は前記真空タンクの長手方向の他端部側に接続されていることが好ましい。   It is preferable that the vacuum tank has a volume 10 times or more the exhaust volume of the suction pad. Further, a plurality of vacuum tanks may be formed on the crossbar or the drive arm, and a third intake flow path connecting the vacuum tanks may be arranged. The first intake flow path is preferably shorter than the second intake flow path. Furthermore, it is preferable that the first intake flow path is connected to one end side in the longitudinal direction of the vacuum tank, and the second intake flow path is connected to the other end side in the longitudinal direction of the vacuum tank.

上述した本発明の吸着装置及びワーク搬送装置によれば、吸着装置又はワーク搬送装置に予め配置されている構造部材に真空タンクを形成することにより、吸着パッドを真空引きする距離を短くすることができ、吸着パッドを所定の真空度にする時間を短縮することができる。特に構造部材の空きスペースを真空タンク化しているため、別部材の真空タンクを配置する必要がなく、装置の大型化及び重量化を抑制することができる。また、第一吸気流路は従来の吸気流路よりも短いため、細い配管で流路を構成することができ、重量とスペースの制約から解放される。さらに、真空タンクを吸気流路の途中に形成したことにより、真空引き時に生じる脈動を抑制することができ、排気速度の低い真空ポンプを使用することもできる。   According to the suction device and the work transfer device of the present invention described above, the vacuum tank can be shortened by forming the vacuum tank in the structural member previously arranged in the suction device or the work transfer device. It is possible to shorten the time for the suction pad to have a predetermined degree of vacuum. In particular, since the empty space of the structural member is made into a vacuum tank, it is not necessary to arrange a vacuum tank as a separate member, and the size and weight of the apparatus can be suppressed. In addition, since the first intake flow path is shorter than the conventional intake flow path, the flow path can be configured by a thin pipe, which is free from weight and space restrictions. Furthermore, by forming the vacuum tank in the middle of the intake flow path, pulsation generated during evacuation can be suppressed, and a vacuum pump with a low exhaust speed can be used.

本発明に係るワーク搬送装置の第一実施形態を示す図であり、(A)は概略全体構成図、(B)は図1(A)におけるB−B概略断面図、を示している。It is a figure which shows 1st embodiment of the workpiece conveyance apparatus which concerns on this invention, (A) is a schematic whole block diagram, (B) has shown BB schematic sectional drawing in FIG. 1 (A). 第一実施形態の変形例を示す上面図である。It is a top view which shows the modification of 1st embodiment. 本発明に係るワーク搬送装置の第二実施形態を示す図であり、(A)は概略全体構成図、(B)は第二実施形態の変形例、を示している。It is a figure which shows 2nd embodiment of the workpiece conveyance apparatus which concerns on this invention, (A) is a schematic whole block diagram, (B) has shown the modification of 2nd embodiment. 本発明に係るワーク搬送装置の第三実施形態を示す図であり、(A)は概略全体構成図、(B)は第三実施形態の変形例、を示している。It is a figure which shows 3rd embodiment of the workpiece conveyance apparatus which concerns on this invention, (A) is a schematic whole block diagram, (B) has shown the modification of 3rd embodiment. 本発明に係るワーク搬送装置の第四実施形態を示す図であり、(A)は概略全体構成図、(B)は第四実施形態の変形例、を示している。It is a figure which shows 4th embodiment of the workpiece conveyance apparatus which concerns on this invention, (A) is a schematic whole block diagram, (B) has shown the modification of 4th embodiment. 本発明に係るワーク搬送装置の第五実施形態を示す図であり、(A)は概略全体構成図、(B)は第五実施形態の変形例を示す図6(A)におけるB矢視図、である。It is a figure which shows 5th embodiment of the workpiece conveyance apparatus which concerns on this invention, (A) is a schematic whole block diagram, (B) is a B arrow view in FIG. 6 (A) which shows the modification of 5th embodiment. .

以下、本発明の実施形態について図1〜図6用いて説明する。ここで、図1は、本発明に係るワーク搬送装置の第一実施形態を示す図であり、(A)は概略全体構成図、(B)は図1(A)におけるB−B概略断面図、を示している。また、図2は、第一実施形態の変形例を示す上面図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. Here, FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of a work transfer device according to the present invention, where (A) is a schematic overall configuration diagram, and (B) is a schematic cross-sectional view along BB in FIG. , Shows. FIG. 2 is a top view showing a modification of the first embodiment.

図1(A)に示した本発明のワーク搬送装置1は、搬送対象物であるワークwの表面に配置される吸着パッド21を真空ポンプ22により真空引きしてワークwを把持する吸着装置2と、吸着パッド21を支持するクロスバー31とクロスバー31を移動させる駆動アーム32と駆動アーム32を移動可能に支持する支持部材33とを有する構造部材3と、を備えており、前記吸着装置2は、支持部材33に形成された真空タンク4と、真空タンク4と吸着パッド21との間に配置された第一吸気流路5と、第一吸気流路5に配置された電磁弁6と、真空タンク4と真空ポンプ22との間に配置された第二吸気流路7と、を有する。   The workpiece transfer device 1 of the present invention shown in FIG. 1A is a suction device 2 that holds a workpiece w by evacuating a suction pad 21 disposed on the surface of the workpiece w that is a transfer target by a vacuum pump 22. And a structural member 3 having a cross bar 31 that supports the suction pad 21, a drive arm 32 that moves the cross bar 31, and a support member 33 that movably supports the drive arm 32. 2 includes a vacuum tank 4 formed on the support member 33, a first intake passage 5 disposed between the vacuum tank 4 and the suction pad 21, and an electromagnetic valve 6 disposed in the first intake passage 5. And a second intake flow path 7 disposed between the vacuum tank 4 and the vacuum pump 22.

前記ワーク搬送装置1は、例えば、タンデムプレスラインに配置され、隣接するプレス機8,8の間で被加工材であるワークwを順次搬送する装置である。具体的には、図1(A)に示したように、ワーク搬送装置1は、上流側のプレス機8のベッド81でプレス処理の終了したワークwを把持して、下流側のプレス機8のベッド82にワークwを搬送する。なお、図1(A)において、プレス機8のスライド等の上部構造物は省略してある。   The workpiece transfer device 1 is, for example, a device that is arranged in a tandem press line and sequentially transfers workpieces w as workpieces between adjacent press machines 8 and 8. Specifically, as illustrated in FIG. 1A, the workpiece transfer apparatus 1 holds the workpiece w that has been subjected to the pressing process by the bed 81 of the upstream press 8 and presses the downstream press 8. The work w is transported to the bed 82 of. In addition, in FIG. 1 (A), upper structures, such as a slide of the press machine 8, are abbreviate | omitted.

図1(A)及び図2に示したワーク搬送装置1は、いわゆるV型搬送機構を備えたものである。具体的には、このV型搬送機構は、V字形状の支持部材33と、支持部材33に配置された駆動モータ34,34と、駆動モータ34に連結されたボールねじ軸35,35と、ボールねじ軸35,35上に滑動可能に接続されたスライドブロック36,36と、スライドブロック36,36に回動可能に接続された駆動アーム32,32と、駆動アーム32,32に連結されたクロスバー31と、から構成されている。なお、図2に示すように、V型搬送機構はクロスバー31の両側に配置されており、クロスバー31は各駆動アーム32により両側から支持されている。そして、駆動モータ34,34を駆動させてスライドブロック36,36をボールねじ軸35,35上で移動させることにより、クロスバー31をベッド81からベッド82に移動できるように構成されている。また、クロスバー31をチルトさせる機構を駆動アーム32に先端部に配置するようにしてもよい。さらに、スライドブロック36,36の駆動機構は、タイミングベルト、液圧シリンダ、ラックアンドピニオン、リニアモータ等を利用したものであってもよい。   The workpiece transfer apparatus 1 shown in FIGS. 1A and 2 includes a so-called V-type transfer mechanism. Specifically, the V-shaped transport mechanism includes a V-shaped support member 33, drive motors 34 and 34 disposed on the support member 33, ball screw shafts 35 and 35 coupled to the drive motor 34, Slide blocks 36, 36 slidably connected to the ball screw shafts 35, 35, drive arms 32, 32 rotatably connected to the slide blocks 36, 36, and connected to the drive arms 32, 32 And a cross bar 31. As shown in FIG. 2, the V-type transport mechanism is disposed on both sides of the cross bar 31, and the cross bar 31 is supported from both sides by each drive arm 32. The cross bar 31 can be moved from the bed 81 to the bed 82 by driving the drive motors 34 and 34 to move the slide blocks 36 and 36 on the ball screw shafts 35 and 35. Further, a mechanism for tilting the cross bar 31 may be disposed at the tip of the drive arm 32. Furthermore, the drive mechanism of the slide blocks 36, 36 may use a timing belt, a hydraulic cylinder, a rack and pinion, a linear motor, or the like.

かかるV型搬送機構を備えたワーク搬送装置1において、真空タンク4を形成し得る構造部材3は、吸着パッド21が連結される連結部材であるクロスバー31、連結部材(クロスバー31)を移動させるアーム部材である駆動アーム32及びアーム部材(駆動アーム32)を支持する支持部材33である。したがって、その他の構造部材(例えば、支持部材33を支持する柱部材、油圧タンクや真空ポンプ22等を支持する建屋の構造部材等)に関しては、従来の装置と同様の構成であるため、ここでは図及び説明を省略する。   In the workpiece transfer apparatus 1 having such a V-type transfer mechanism, the structural member 3 that can form the vacuum tank 4 moves the cross bar 31 that is a connecting member to which the suction pad 21 is connected, and the connecting member (cross bar 31). It is the support member 33 which supports the drive arm 32 and the arm member (drive arm 32) which are arm members to be made to move. Accordingly, other structural members (for example, a column member that supports the support member 33, a structural member of a building that supports the hydraulic tank, the vacuum pump 22, and the like) have the same configuration as that of the conventional device. Illustration and description are omitted.

本発明において、吸着装置2は、上述したように、吸着パッド21、真空ポンプ22、真空タンク4、第一吸気流路5、電磁弁6及び第二吸気流路7により構成される。吸着パッド21は、図1(A)及び図2に示すように、例えば、クロスバー31の左右両側に交互に張り出すように複数配置されている。また、真空ポンプ22は、例えば、ワーク搬送装置1の建屋の構造部材上に配置される。そして、真空ポンプ22を作動させることにより吸着パッド21を真空引きしてワークwを吸着パッド21により把持する。このとき、真空ポンプ22は、吸着パッド21から離れた場所に置かざるを得ず、吸着パッド21と真空ポンプ22を連結する吸気流路が長くなり易い。吸気流路が長くなると真空引きする時間が長くなったり、容量の大きな真空ポンプ22が必要になったりしてしまう。そこで、本発明では、吸気流路中に真空タンク4を配置して、真空ポンプ22を大型化せずに真空引きする時間を短縮するようにしている。   In the present invention, the suction device 2 includes the suction pad 21, the vacuum pump 22, the vacuum tank 4, the first intake passage 5, the electromagnetic valve 6, and the second intake passage 7 as described above. As shown in FIG. 1A and FIG. 2, for example, a plurality of suction pads 21 are arranged so as to alternately protrude on the left and right sides of the cross bar 31. Moreover, the vacuum pump 22 is arrange | positioned on the structural member of the building of the workpiece conveyance apparatus 1, for example. Then, the suction pad 21 is evacuated by operating the vacuum pump 22 to grip the workpiece w by the suction pad 21. At this time, the vacuum pump 22 must be placed away from the suction pad 21, and the intake flow path connecting the suction pad 21 and the vacuum pump 22 tends to be long. If the intake flow path becomes longer, the time for evacuation becomes longer, or a vacuum pump 22 having a large capacity becomes necessary. Therefore, in the present invention, the vacuum tank 4 is arranged in the intake flow path, and the time for vacuuming is shortened without increasing the size of the vacuum pump 22.

前記真空タンク4は、例えば、図1(A)に示すように、支持部材33に形成される。支持部材33は、図1(B)に示すように、V型搬送機構の駆動モータ34やボールねじ軸35を支持する部材であり、断面角状の鋼管により形成されている。本発明は、この支持部材33の中空部を真空タンク4として利用することを特徴とする。このように既存設備を利用して真空タンク4を形成することにより、新たに別の真空タンク4を設置する必要がなく、装置の大型化及び重量化を抑制することができ、吸着パッド21を所定の真空度にする時間を短縮することができる。また、真空タンク4を吸気流路の途中に形成したことにより、真空引き時に生じる脈動を抑制することができ、排気速度の低い真空ポンプ22を使用することができる。   The vacuum tank 4 is formed on a support member 33, for example, as shown in FIG. As shown in FIG. 1B, the support member 33 is a member that supports the drive motor 34 and the ball screw shaft 35 of the V-type transport mechanism, and is formed of a steel pipe having a square cross section. The present invention is characterized in that the hollow portion of the support member 33 is used as the vacuum tank 4. By forming the vacuum tank 4 using the existing equipment in this way, there is no need to newly install another vacuum tank 4, and the increase in size and weight of the apparatus can be suppressed. The time required for a predetermined degree of vacuum can be shortened. Further, since the vacuum tank 4 is formed in the middle of the intake passage, the pulsation generated during evacuation can be suppressed, and the vacuum pump 22 having a low exhaust speed can be used.

また、真空タンク4の容積は、吸着パッド21の排気容積に対して10倍以上の容積であることが好ましい。吸着パッド21が複数配置されている場合には、その総和を基準として真空タンク4の容積が設定される。吸着パッド21の排気容積に対して真空タンク4の容積を十分大きくすることにより、効率的に吸着パッド21を真空引きすることができる。なお、真空タンク4を形成する構成部材(ここでは支持部材33)は、真空引きに耐える必要があり、負圧を受けても凹まないこと、負圧と搬送圧力を同時に受け続けても疲労破壊し難いこと等の条件を満たしていることが好ましい。   The volume of the vacuum tank 4 is preferably 10 times or more the exhaust volume of the suction pad 21. When a plurality of suction pads 21 are arranged, the volume of the vacuum tank 4 is set based on the sum of the suction pads 21. By making the volume of the vacuum tank 4 sufficiently larger than the exhaust volume of the suction pad 21, the suction pad 21 can be efficiently evacuated. In addition, the structural member (here, the support member 33) that forms the vacuum tank 4 needs to withstand evacuation and does not dent even when subjected to negative pressure. It is preferable to satisfy conditions such as difficulty.

また、支持部材33には、駆動モータ34の固定部材9等のように、鋼板を溶接した部位が形成される場合がある。かかる溶接部では、真空タンク4(支持部材33の中空部)を真空引きした場合に、高い応力が発生して変形してしまうおそれがある。そこで、本発明では、真空タンク4の内部に補強板41を設置している。補強板41は、真空タンク4の断面形状を有する板状部材であり、真空タンク4と連通する開口部42が形成されている。補強板41の形状、枚数、開口部42の大きさ等の条件は真空タンク4の容量、断面形状等の条件により適宜設計される。   Further, the support member 33 may be formed with a portion where a steel plate is welded, such as the fixing member 9 of the drive motor 34. In such a welded portion, when the vacuum tank 4 (the hollow portion of the support member 33) is evacuated, high stress may be generated and deformed. Therefore, in the present invention, the reinforcing plate 41 is installed inside the vacuum tank 4. The reinforcing plate 41 is a plate-like member having a cross-sectional shape of the vacuum tank 4, and an opening 42 communicating with the vacuum tank 4 is formed. Conditions such as the shape and number of the reinforcing plates 41 and the size of the opening 42 are appropriately designed according to conditions such as the capacity of the vacuum tank 4 and the cross-sectional shape.

前記第一吸気流路5は、真空タンク4と吸着パッド21とを連結する真空配管である。具体的には、第一吸気流路5は、真空タンク4から支持部材33、駆動アーム32及びクロスバー31に沿って吸着パッド21まで配置される。かかる第一吸気流路5は、支持部材33、駆動アーム32及びクロスバー31の外面に沿って配置してもよいし、内部に挿通して配置してもよい。第一吸気流路5と真空タンク4の接続部は、例えば、第一吸気流路5を構成する真空配管の先端を真空タンク4内に挿通して密封・固定できるように構成されている。また、第一吸気流路5を構成する真空配管の先端部又は外周面には開口部が形成されており、真空タンク4内を真空引きできるように構成されている。また、第一吸気流路5は従来の吸気流路よりも短いため、細い配管で流路を構成することができ、重量とスペースの制約から解放される。   The first intake passage 5 is a vacuum pipe that connects the vacuum tank 4 and the suction pad 21. Specifically, the first intake flow path 5 is arranged from the vacuum tank 4 to the suction pad 21 along the support member 33, the drive arm 32, and the cross bar 31. The first intake flow path 5 may be disposed along the outer surfaces of the support member 33, the drive arm 32, and the cross bar 31, or may be disposed through the inside. The connecting portion between the first intake flow path 5 and the vacuum tank 4 is configured so that, for example, the tip of the vacuum pipe constituting the first intake flow path 5 can be inserted into the vacuum tank 4 and sealed and fixed. In addition, an opening is formed at the tip or outer peripheral surface of the vacuum pipe constituting the first intake flow path 5 so that the inside of the vacuum tank 4 can be evacuated. In addition, since the first intake flow path 5 is shorter than the conventional intake flow path, the flow path can be constituted by a thin pipe, which is free from weight and space restrictions.

また、第一吸気流路5には流路の開閉を行う電磁弁6が配置されている。ここでは、第一吸気流路5と真空タンク4の接続部の近傍に電磁弁6を配置している。電磁弁6は、ワーク搬送装置1の制御装置(図示せず)に接続されており、所定のタイミングで開閉できるように構成されている。例えば、吸着パッド21がベッド81上のワークwの表面に配置されたタイミングで電磁弁6を開状態として真空ポンプ22により真空引きを行い、ワークwを吸着して把持した状態で電磁弁6を閉状態とし、ベッド82上にワークwを載置したタイミングで真空状態を破断して吸着パッド21からワークwを離脱させる。真空状態破断機構は、例えば、吸着パッド21に形成された開閉弁(図示せず)であり、真空状態の第一吸気流路5内を大気圧状態にすることができるように構成されている。   An electromagnetic valve 6 that opens and closes the flow path is disposed in the first intake flow path 5. Here, the electromagnetic valve 6 is disposed in the vicinity of the connection portion between the first intake flow path 5 and the vacuum tank 4. The electromagnetic valve 6 is connected to a control device (not shown) of the workpiece transfer device 1 and is configured to be opened and closed at a predetermined timing. For example, the electromagnetic valve 6 is opened at the timing when the suction pad 21 is disposed on the surface of the work w on the bed 81, the vacuum pump 22 is evacuated, and the electromagnetic valve 6 is sucked and gripped with the work w. The vacuum state is broken at the timing when the workpiece w is placed on the bed 82 and the workpiece w is detached from the suction pad 21. The vacuum state breaking mechanism is, for example, an on-off valve (not shown) formed in the suction pad 21 and is configured to be able to bring the inside of the first intake passage 5 in a vacuum state to an atmospheric pressure state. .

前記第二吸気流路7は、真空タンク4と真空ポンプ22とを連結する真空配管である。具体的には、第二吸気流路7は、真空タンク4から支持部材33及びワーク搬送装置1のその他の構造部材に沿って真空ポンプ22まで配置される。かかる第二吸気流路7は、支持部材33及びワーク搬送装置1のその他の構造物の外面に沿って配置してもよいし、内部に挿通して配置してもよい。第二吸気流路7と真空タンク4の接続部は、第一吸気流路5の接続部と同様に構成される。   The second intake passage 7 is a vacuum pipe that connects the vacuum tank 4 and the vacuum pump 22. Specifically, the second intake flow path 7 is arranged from the vacuum tank 4 to the vacuum pump 22 along the support member 33 and other structural members of the workpiece transfer device 1. The second intake flow path 7 may be disposed along the outer surface of the support member 33 and other structures of the workpiece transfer apparatus 1 or may be disposed through the inside. The connection portion between the second intake passage 7 and the vacuum tank 4 is configured in the same manner as the connection portion of the first intake passage 5.

ここで、第一吸気流路5は、第二吸気流路7よりも短く形成されていることが好ましい。第一吸気流路5が長い場合には、真空引きする時間の短縮効果が少ないため、真空タンク4の配置位置は、吸着パッド21と真空ポンプ22の中間部を一つの基準とし、中間部よりも吸着パッド21寄りにすることが好ましい。また、第一吸気流路5は、真空タンク4の長手方向の一端部側に接続され、第二吸気流路7は真空タンク4の長手方向の他端部側に接続されていることが好ましい。すなわち、真空タンク4の上流側に第二吸気流路7を接続し、下流側に第一吸気流路5を接続する。このように第一吸気流路5及び第二吸気流路7を真空タンク4に接続することにより、真空タンク4で真空配管を兼用することができ、第一吸気流路5及び第二吸気流路7に必要な真空配管の長さを短縮することができ、吸着装置2の構造を簡略化することができる。したがって、ワーク搬送装置1の構造部材の中から真空タンク4を形成する部材を選択する際には、真空配管を配置することができるスペースが少ない構造部材を選択することにより、本発明の効果をより発揮させることができる。   Here, the first intake passage 5 is preferably formed shorter than the second intake passage 7. When the first intake passage 5 is long, the effect of shortening the time for evacuation is small, and therefore, the arrangement position of the vacuum tank 4 is based on the middle part of the suction pad 21 and the vacuum pump 22 as one reference, and from the middle part Also, it is preferable to be close to the suction pad 21. The first intake flow path 5 is preferably connected to one end side in the longitudinal direction of the vacuum tank 4, and the second intake flow path 7 is preferably connected to the other end side in the longitudinal direction of the vacuum tank 4. . That is, the second intake passage 7 is connected to the upstream side of the vacuum tank 4 and the first intake passage 5 is connected to the downstream side. By connecting the first intake flow path 5 and the second intake flow path 7 to the vacuum tank 4 in this way, the vacuum tank 4 can also be used as a vacuum pipe, and the first intake flow path 5 and the second intake flow flow The length of the vacuum piping required for the path 7 can be shortened, and the structure of the adsorption device 2 can be simplified. Therefore, when selecting a member that forms the vacuum tank 4 from among the structural members of the work transfer device 1, the effect of the present invention can be achieved by selecting a structural member that has a small space in which the vacuum piping can be arranged. It can be made to show more.

例えば、図2に示した第一実施形態の変形例のように、真空タンク4はクロスバー31に形成してもよい。かかる変形例では、真空タンク4に各吸着パッド21が直に接続されており、複数の第一吸気流路5が配置されている。したがって、電磁弁6も各第一吸気流路5にそれぞれ配置されている。このようにクロスバー31に真空タンク4を形成すると、真空タンク4と吸着パッド21との距離、すなわち、第一吸気流路5の長さを最も短くすることができ、吸着パッド21の真空立ち上げに要する時間を効果的に短縮することができる。なお、その他の構成については、図1に示した第一実施形態と同様であるため、ここでは詳細な説明を省略する。   For example, the vacuum tank 4 may be formed on the cross bar 31 as in the modification of the first embodiment shown in FIG. In such a modification, each suction pad 21 is directly connected to the vacuum tank 4, and a plurality of first intake passages 5 are arranged. Therefore, the electromagnetic valve 6 is also arranged in each first intake passage 5. When the vacuum tank 4 is formed on the cross bar 31 in this way, the distance between the vacuum tank 4 and the suction pad 21, that is, the length of the first intake passage 5 can be minimized, and the suction pad 21 can be The time required for raising can be shortened effectively. Since other configurations are the same as those of the first embodiment shown in FIG. 1, detailed description thereof is omitted here.

次に、本発明を振り子式のワーク搬送装置1に適用した場合について説明する。ここで、図3は、本発明に係るワーク搬送装置の第二実施形態を示す図であり、(A)は概略全体構成図、(B)は第二実施形態の変形例、を示している。なお、第一実施形態と同じ構成部品については同じ符号を付し、重複した説明を省略する。   Next, the case where the present invention is applied to the pendulum type work transfer device 1 will be described. Here, FIG. 3 is a figure which shows 2nd embodiment of the workpiece conveyance apparatus which concerns on this invention, (A) is a schematic whole block diagram, (B) has shown the modification of 2nd embodiment. . In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the same component as 1st embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図3に示した本発明の第二実施形態は、本発明を振り子式のワーク搬送装置1に適用したものである。振り子式のワーク搬送装置1は、ワーク搬送装置1の柱部材やプレス機8等の構造部材に接続されたレール11と、レール11に移動可能に接続された台車12と、台車12に回動可能に接続された第一アーム37aと、第一アーム37aに回動可能に接続された第二アーム37bと、を有している。第二アーム37bは、クロスバー31に連結されている。そして、図3(A)に示した第二実施形態では、第二アーム37bに真空タンク4を形成している。勿論、第二アーム37bの代わりに第一アーム37aに真空タンク4を形成してもよい。また、図3(B)に示した変形例のように、第一アーム37aと第二アーム37bの両方に真空タンク4を形成し、真空タンク4どうしを連結する第三吸気流路43を配置してもよい。なお、図3(B)ではプレス機8の図を省略してある。さらに、クロスバー31や台車12に真空タンク4を形成してもよい。   The second embodiment of the present invention shown in FIG. 3 is one in which the present invention is applied to a pendulum type work transfer device 1. The pendulum type work transfer device 1 includes a rail 11 connected to a column member of the work transfer device 1 and a structural member such as a press 8, a carriage 12 movably connected to the rail 11, and a rotation to the carriage 12. It has the 1st arm 37a connected so that possible, and the 2nd arm 37b connected so that rotation to the 1st arm 37a was possible. The second arm 37 b is connected to the cross bar 31. In the second embodiment shown in FIG. 3A, the vacuum tank 4 is formed on the second arm 37b. Of course, the vacuum tank 4 may be formed in the first arm 37a instead of the second arm 37b. Further, as in the modification shown in FIG. 3B, the vacuum tank 4 is formed on both the first arm 37a and the second arm 37b, and the third intake passage 43 that connects the vacuum tanks 4 is disposed. May be. In addition, the figure of the press machine 8 is abbreviate | omitted in FIG.3 (B). Further, the vacuum tank 4 may be formed on the cross bar 31 or the carriage 12.

次に、本発明をスイングアーム式のワーク搬送装置1に適用した場合について説明する。ここで、図4は、本発明に係るワーク搬送装置の第三実施形態を示す図であり、(A)は概略全体構成図、(B)は第三実施形態の変形例、を示している。なお、第一実施形態と同じ構成部品については同じ符号を付し、重複した説明を省略する。   Next, a case where the present invention is applied to a swing arm type work transfer device 1 will be described. Here, FIG. 4 is a figure which shows 3rd embodiment of the workpiece conveyance apparatus which concerns on this invention, (A) is a schematic whole block diagram, (B) has shown the modification of 3rd embodiment. . In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the same component as 1st embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図4に示した本発明の第三実施形態は、本発明をスイングアーム式のワーク搬送装置1に適用したものである。スイングアーム式のワーク搬送装置1は、床面に立設されたI字形状の支持部材33と、支持部材33に回動可能に接続されたスイングアーム38と、支持部材33に配置された駆動モータ34と、駆動モータ34に連結されたボールねじ軸35と、ボールねじ軸35上に滑動可能に接続されたスライドブロック36と、スライドブロック36及びスイングアーム38に回動可能に接続された駆動アーム32と、を有している。スイングアーム38は、クロスバー31に連結されている。そして、図4(A)に示した第三実施形態では、支持部材33に真空タンク4を形成している。また、図4(B)に示した変形例のように、スイングアーム38に真空タンク4を形成してもよい。さらに、支持部材33とスイングアーム38の両方に真空タンク4を形成し真空タンク4どうしを連結する第三吸気流路を配置してもよいし、クロスバー31に真空タンク4を形成してもよい。   The third embodiment of the present invention shown in FIG. 4 is an application of the present invention to a swing arm type work transfer device 1. The swing arm type work transfer device 1 includes an I-shaped support member 33 erected on a floor surface, a swing arm 38 rotatably connected to the support member 33, and a drive disposed on the support member 33. A motor 34, a ball screw shaft 35 coupled to the drive motor 34, a slide block 36 slidably connected on the ball screw shaft 35, and a drive rotatably connected to the slide block 36 and the swing arm 38 Arm 32. The swing arm 38 is connected to the cross bar 31. In the third embodiment shown in FIG. 4A, the vacuum tank 4 is formed on the support member 33. Further, the vacuum tank 4 may be formed on the swing arm 38 as in the modification shown in FIG. Furthermore, the vacuum tank 4 may be formed on both the support member 33 and the swing arm 38, and a third intake passage for connecting the vacuum tanks 4 may be arranged, or the vacuum tank 4 may be formed on the cross bar 31. Good.

次に、本発明をフロッグレッグ式のワーク搬送装置1に適用した場合について説明する。ここで、図5は、本発明に係るワーク搬送装置の第四実施形態を示す図であり、(A)は概略全体構成図、(B)は第四実施形態の変形例、を示している。なお、第一実施形態と同じ構成部品については同じ符号を付し、重複した説明を省略する。   Next, the case where the present invention is applied to the frog-leg type work transfer device 1 will be described. Here, FIG. 5 is a figure which shows 4th Embodiment of the workpiece conveyance apparatus which concerns on this invention, (A) is a schematic whole block diagram, (B) has shown the modification of 4th Embodiment. . In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the same component as 1st embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図5に示した本発明の第四実施形態は、本発明をフロッグレッグ式のワーク搬送装置1に適用したものである。フロッグレッグ式のワーク搬送装置1は、ワーク搬送装置1の柱部材13,13に接続された梁部材14と、梁部材14に吊り下げられた支持部材15と、支持部材15に回動可能に接続された一対の第一アーム37a,37aと、各第一アーム37aに回動可能に接続された第二アーム37b,37bと、を有している。第二アーム37b,37bは、クロスバー31に連結されている。そして、図5(A)に示した第四実施形態では、各第二アーム37bに真空タンク4を形成している。また、真空ポンプ22は、柱部材13上に配置されており、真空ポンプ22から延出された第二吸気流路7は、各第一アーム37aに分岐して配置され、各真空タンク4から延出された第一吸気流路5はクロスバー31内で統合されるように配置されている。勿論、第二吸気流路7を分岐させずに、片方の第一アーム37aにのみ配置し、片方の第二アーム37bにのみ真空タンク4を形成するようにしてもよい。   The fourth embodiment of the present invention shown in FIG. 5 is an application of the present invention to a frog-leg type work transfer device 1. The frog-leg type work transfer device 1 is configured so that the beam member 14 connected to the pillar members 13 and 13 of the work transfer device 1, the support member 15 suspended from the beam member 14, and the support member 15 can be rotated. It has a pair of connected first arms 37a and 37a, and second arms 37b and 37b rotatably connected to the first arms 37a. The second arms 37 b and 37 b are connected to the cross bar 31. In the fourth embodiment shown in FIG. 5A, the vacuum tank 4 is formed on each second arm 37b. Further, the vacuum pump 22 is disposed on the column member 13, and the second intake flow path 7 extending from the vacuum pump 22 is disposed to be branched to each first arm 37 a, and from each vacuum tank 4. The extended first intake flow path 5 is disposed so as to be integrated in the cross bar 31. Of course, the second intake flow path 7 may not be branched but may be disposed only on one of the first arms 37a, and the vacuum tank 4 may be formed only on one of the second arms 37b.

また、図5(B)に示した変形例のように、第二アーム37bの両方に真空タンク4を形成してもよい。なお、図3(B)ではプレス機8の図を省略してある。ここでは、吸着装置2を左右に分割して構成し、各真空タンク4に対応した真空ポンプ22、第二吸気流路7、第一吸気流路5及び電磁弁6をそれぞれに配置している。勿論、第二吸気流路7及び第一吸気流路5の配置を図5(A)に示した第四実施形態と同様の構成にしてもよい。また、第一アーム37a及び第二アーム37bの両方に真空タンク4を形成して真空タンク4どうしを連結する第三吸気流路を配置してもよい。さらに、第一アーム37a又は第二アーム37bの内部に同調駆動のためのベルトやシャフト等の内装部材が配置されていて真空タンク4を形成する十分なスペースを確保できないような場合には、クロスバー31や支持部材15に真空タンク4を形成してもよい。   Moreover, you may form the vacuum tank 4 in both the 2nd arms 37b like the modification shown in FIG.5 (B). In addition, the figure of the press machine 8 is abbreviate | omitted in FIG.3 (B). Here, the adsorption device 2 is divided into left and right parts, and the vacuum pump 22, the second intake passage 7, the first intake passage 5 and the electromagnetic valve 6 corresponding to each vacuum tank 4 are respectively arranged. . Of course, the arrangement of the second intake passage 7 and the first intake passage 5 may be the same as that of the fourth embodiment shown in FIG. In addition, a third intake passage that connects the vacuum tanks 4 by forming the vacuum tank 4 in both the first arm 37a and the second arm 37b may be disposed. Furthermore, when an interior member such as a belt or a shaft for synchronous driving is arranged inside the first arm 37a or the second arm 37b and a sufficient space for forming the vacuum tank 4 cannot be secured, The vacuum tank 4 may be formed on the bar 31 or the support member 15.

次に、本発明を直動機構式のワーク搬送装置1に適用した場合について説明する。ここで、図6は、本発明に係るワーク搬送装置の第五実施形態を示す図であり、(A)は概略全体構成図、(B)は第五実施形態の変形例を示す図6(A)におけるB矢視図、である。なお、第一実施形態と同じ構成部品については同じ符号を付し、重複した説明を省略する。   Next, a case where the present invention is applied to a linear motion mechanism type workpiece transfer apparatus 1 will be described. Here, FIG. 6 is a diagram showing a fifth embodiment of the work transfer device according to the present invention, (A) is a schematic overall configuration diagram, and (B) is a diagram showing a modification of the fifth embodiment. It is a B arrow line view in A). In addition, the same code | symbol is attached | subjected about the same component as 1st embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図6に示した本発明の第五実施形態は、本発明を直動機構式のワーク搬送装置1に適用したものである。直動機構式のワーク搬送装置1は、プレス機8,8間に配置されたレール11と、レール11に移動可能に接続された台車12と、台車12にスライド可能に接続された直動アーム39と、直動アーム39にスライド可能に接続された滑走子30と、を有している。滑走子30は、クロスバー31に連結されている。そして、図6(A)に示した第五実施形態では、直動アーム39に真空タンク4を形成している。真空ポンプ22は、図示したようにレール11上に配置してもよいし、ワーク搬送装置1の建屋等の構造部材上に配置してもよい。   The fifth embodiment of the present invention shown in FIG. 6 is one in which the present invention is applied to a linear motion mechanism type work transfer device 1. A linear motion mechanism type work transfer device 1 includes a rail 11 disposed between presses 8, a carriage 12 movably connected to the rail 11, and a linear movement arm slidably connected to the carriage 12. 39 and a slider 30 slidably connected to the linear motion arm 39. The slider 30 is connected to a cross bar 31. In the fifth embodiment shown in FIG. 6A, the vacuum tank 4 is formed on the linear motion arm 39. The vacuum pump 22 may be disposed on the rail 11 as illustrated, or may be disposed on a structural member such as a building of the work transfer device 1.

直動機構式のワーク搬送装置1には、例えば、特願2007−234064等に開示されたものを使用することが好ましい。直動機構式のワーク搬送装置1では、レール11は、昇降機構により上下移動可能に構成されている。かかる昇降機構は、例えば、レール11上に立設されたラック16と、ワーク搬送装置1の建屋等の構造部材に配置された駆動モータ17と、駆動モータ17により駆動されラック16と噛合するピニオン18と、から構成される。また、台車12は、駆動モータにより駆動されるピニオン121を有し、レール11に形成されたラックと噛合して水平移動できるように構成されている。さらに、台車12は、駆動モータ123(図6(B)参照)により駆動されるピニオン122を有し、直動アーム39に形成されたラックと噛合して水平移動できるように構成されている。また、滑走子30は、ラック・ピニオン機構、ベルト駆動機構、チェーン駆動機構、リニアモータ機構等により直動アーム39に沿って水平移動できるように構成されている。このとき、滑走子30は、特願2007−234064に記載された倍速機構により水平移動させるようにしてもよい。なお、昇降機構、台車12の駆動機構及び直動アーム39の駆動機構は、ラック・ピニオン機構に代えて、油圧シリンダ機構、ベルト駆動機構、チェーン駆動機構、リニアモータ機構等により構成してもよい。   As the linear motion mechanism type work transfer device 1, for example, the one disclosed in Japanese Patent Application No. 2007-234064 is preferably used. In the linear motion type work transfer device 1, the rail 11 is configured to be movable up and down by an elevating mechanism. Such an elevating mechanism includes, for example, a rack 16 erected on the rail 11, a drive motor 17 disposed on a structural member such as a building of the work transfer device 1, and a pinion that is driven by the drive motor 17 and meshes with the rack 16. 18. Further, the carriage 12 has a pinion 121 driven by a drive motor, and is configured to mesh with a rack formed on the rail 11 and move horizontally. Further, the carriage 12 has a pinion 122 driven by a drive motor 123 (see FIG. 6B), and is configured to be able to move horizontally by meshing with a rack formed on the linear motion arm 39. Further, the slider 30 is configured to be horizontally movable along the linear motion arm 39 by a rack and pinion mechanism, a belt driving mechanism, a chain driving mechanism, a linear motor mechanism, or the like. At this time, the slider 30 may be moved horizontally by a double speed mechanism described in Japanese Patent Application No. 2007-234064. The lifting mechanism, the drive mechanism of the carriage 12, and the drive mechanism of the linear motion arm 39 may be constituted by a hydraulic cylinder mechanism, a belt drive mechanism, a chain drive mechanism, a linear motor mechanism, or the like instead of the rack and pinion mechanism. .

上述した直動機構式のワーク搬送装置1では、真空タンク4が直動アーム39に形成されているため真空タンク4が水平移動することとなる。したがって、第一吸気流路5及び第二吸気流路7は、真空タンク4の水平移動に追従できるように配置される。また、真空タンク4は、クロスバー31や滑走子30に形成してもよいが、この場合も滑走子30の水平移動に第二吸気流路7が追従できるように配置される。さらに、真空タンク4は、図6(B)に示したように、台車12の組付部材124,124に形成してもよい。台車12は、一般に、鋼材を組み合わせて構成されるものであり、真空タンク4を形成することが可能である。ここでは、台車12の組付部材124,124の2箇所に真空タンク4を形成し、第三吸気流路43を配置している。   In the above-described linear motion mechanism type work transfer device 1, since the vacuum tank 4 is formed on the linear motion arm 39, the vacuum tank 4 moves horizontally. Therefore, the first intake passage 5 and the second intake passage 7 are arranged so as to follow the horizontal movement of the vacuum tank 4. The vacuum tank 4 may be formed on the cross bar 31 or the slider 30, but in this case, the vacuum tank 4 is also arranged so that the second intake flow path 7 can follow the horizontal movement of the slider 30. Furthermore, the vacuum tank 4 may be formed on the assembly members 124 and 124 of the carriage 12 as shown in FIG. The carriage 12 is generally configured by combining steel materials and can form the vacuum tank 4. Here, the vacuum tank 4 is formed at two locations of the assembly members 124, 124 of the carriage 12, and the third intake passage 43 is disposed.

上述した実施形態において、各図に示したV型搬送機構を備えたワーク搬送装置1、振り子式のワーク搬送装置1、フロッグレッグ式のワーク搬送装置1、スイングアーム式のワーク搬送装置1及び直動機構式のワーク搬送装置1は、単なる一例であり、かかる構成に限定されるものではない。また、ワーク搬送装置1は、図示したものに限られず、例えば、多間接ロボット式のワーク搬送装置等であってもよい。また、吸着装置2の実施形態としてワーク搬送装置1の場合について説明したが、本発明にかかる吸着装置2はワーク搬送装置以外の吸着機構を備えた装置にも適用することができることは勿論である。   In the above-described embodiment, the work transfer device 1, the pendulum type work transfer device 1, the frog-leg type work transfer device 1, the swing arm type work transfer device 1 and the straight-line transfer device 1 provided with the V-type transfer mechanism shown in each drawing. The moving mechanism type work transfer device 1 is merely an example, and is not limited to such a configuration. The workpiece transfer device 1 is not limited to the illustrated one, and may be, for example, a multi-indirect robot type workpiece transfer device or the like. Moreover, although the case of the workpiece conveyance apparatus 1 was demonstrated as embodiment of the adsorption | suction apparatus 2, naturally the adsorption | suction apparatus 2 concerning this invention is applicable also to the apparatus provided with adsorption | suction mechanisms other than a workpiece conveyance apparatus. .

本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能であることは勿論である。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

1 ワーク搬送装置
2 吸着装置
3 構造部材
4 真空タンク
5 第一吸気流路
6 電磁弁
7 第二吸気流路
8 プレス機
9 固定部材
11 レール
12 台車
13 柱部材
14 梁部材
15 支持部材
16 ラック
17 駆動モータ
18 ピニオン
21 吸着パッド
22 真空ポンプ
31 クロスバー
32 駆動アーム
33 支持部材
34 駆動モータ
35 ボールねじ軸
36 スライドブロック
37a 第一アーム
37b 第二アーム
38 スイングアーム
39 直動アーム
30 滑走子
41 補強板
42 開口部
81,82 ベッド
121,122 ピニオン
123 駆動モータ
124 組付部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Work conveying apparatus 2 Suction apparatus 3 Structural member 4 Vacuum tank 5 First intake flow path 6 Solenoid valve 7 Second intake flow path 8 Press machine 9 Fixing member 11 Rail 12 Carriage 13 Pillar member 14 Beam member 15 Support member 16 Rack 17 Drive motor 18 Pinion 21 Suction pad 22 Vacuum pump 31 Crossbar 32 Drive arm 33 Support member 34 Drive motor 35 Ball screw shaft 36 Slide block 37a First arm 37b Second arm 38 Swing arm 39 Linear arm 30 Slider 41 Reinforcing plate 42 Opening 81, 82 Bed 121, 122 Pinion 123 Drive motor 124 Assembly member

Claims (8)

吸着対象物の表面に配置される吸着パッドを真空ポンプにより真空引きして前記吸着対象物を把持する吸着装置であって、
前記吸着パッドと前記真空ポンプとの間に存在する構造部材に形成された真空タンクと、該真空タンクと前記吸着パッドとの間に配置された第一吸気流路と、該第一吸気流路に配置された電磁弁と、前記真空タンクと前記真空ポンプとの間に配置された第二吸気流路と、を有することを特徴とする吸着装置。
A suction device that grips the suction target object by evacuating a suction pad arranged on the surface of the suction target object with a vacuum pump,
A vacuum tank formed in a structural member existing between the suction pad and the vacuum pump; a first intake passage disposed between the vacuum tank and the suction pad; and the first intake passage And a second intake passage disposed between the vacuum tank and the vacuum pump.
前記構造部材は、前記吸着パッドが連結される連結部材、該連結部材を移動させるアーム部材又は該アーム部材を支持する支持部材である、ことを特徴とする請求項1に記載の吸着装置。   The suction device according to claim 1, wherein the structural member is a connection member to which the suction pad is connected, an arm member that moves the connection member, or a support member that supports the arm member. 前記真空タンクは、前記吸着パッドの排気容積に対して10倍以上の容積である、ことを特徴とする請求項1に記載の吸着装置。   The suction device according to claim 1, wherein the vacuum tank has a volume of 10 times or more the exhaust volume of the suction pad. 前記構造部材に複数の真空タンクを形成し、真空タンクどうしを連結する第三吸気流路を配置した、ことを特徴とする請求項1に記載の吸着装置。   The adsorption device according to claim 1, wherein a plurality of vacuum tanks are formed in the structural member, and a third intake passage that connects the vacuum tanks is disposed. 前記第一吸気流路は、前記第二吸気流路よりも短い、ことを特徴とする請求項1に記載の吸着装置。   The adsorption device according to claim 1, wherein the first intake flow path is shorter than the second intake flow path. 前記第一吸気流路は前記真空タンクの長手方向の一端部側に接続され、前記第二吸気流路は前記真空タンクの長手方向の他端部側に接続されている、ことを特徴とする請求項1に記載の吸着装置。   The first intake channel is connected to one end side in the longitudinal direction of the vacuum tank, and the second intake channel is connected to the other end side in the longitudinal direction of the vacuum tank. The adsorption device according to claim 1. 搬送対象物であるワークの表面に配置される吸着パッドを真空ポンプにより真空引きして前記ワークを把持する吸着装置と、少なくとも前記吸着パッドが連結されるクロスバーと該クロスバーを移動させる駆動アームとを有する構造部材と、を備えたワーク搬送装置であって、
前記吸着装置は請求項1〜請求項6のいずれかに記載された吸着装置である、ことを特徴とするワーク搬送装置。
A suction device that grips the workpiece by evacuating a suction pad disposed on the surface of the workpiece, which is a conveyance object, by a vacuum pump, a crossbar to which at least the suction pad is connected, and a drive arm that moves the crossbar A workpiece conveying device comprising: a structural member having:
The said adsorption | suction apparatus is the adsorption | suction apparatus described in any one of Claims 1-6, The workpiece conveyance apparatus characterized by the above-mentioned.
前記構造部材には、前記駆動アームを支持する支持部材を含む、ことを特徴とする請求項7に記載のワーク搬送装置。   The work conveying apparatus according to claim 7, wherein the structural member includes a support member that supports the drive arm.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9029064B2 (en) 2011-01-14 2015-05-12 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Patterning process and resist composition
WO2015080857A1 (en) * 2013-11-26 2015-06-04 Kla-Tencor Corporation Pick-and-place head and method for picking workpieces
US9091933B2 (en) 2011-11-17 2015-07-28 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Negative pattern forming process
CN105619434A (en) * 2016-03-28 2016-06-01 苏州倍特罗智能科技有限公司 Three-floating-sucker structure
CN105883408A (en) * 2016-05-27 2016-08-24 蚌埠市晶辉玻璃制品厂 Glass vessel suction cup overturning device
CN106429430A (en) * 2016-10-12 2017-02-22 颐中(青岛)烟草机械有限公司 Special-shaped cigarette stacking device
JP2019000865A (en) * 2017-06-14 2019-01-10 アイダエンジニアリング株式会社 Workpiece transport device of press machine
CN110621598A (en) * 2017-05-19 2019-12-27 豪迈面板分割科技有限公司 Handling device for at least partially planar loads and method for operating a handling device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02117892U (en) * 1989-03-07 1990-09-20
JP2007111822A (en) * 2005-10-20 2007-05-10 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Parallel linkage mechanism and workpiece transfer device

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02117892U (en) * 1989-03-07 1990-09-20
JP2007111822A (en) * 2005-10-20 2007-05-10 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd Parallel linkage mechanism and workpiece transfer device

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9029064B2 (en) 2011-01-14 2015-05-12 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Patterning process and resist composition
US9091933B2 (en) 2011-11-17 2015-07-28 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Negative pattern forming process
WO2015080857A1 (en) * 2013-11-26 2015-06-04 Kla-Tencor Corporation Pick-and-place head and method for picking workpieces
US9586325B2 (en) 2013-11-26 2017-03-07 Kla-Tencor Corporation Pick-and-place head and method for picking work-pieces
US10543600B2 (en) 2013-11-26 2020-01-28 Kla-Tencor Corporation Pick-and-place head and method for picking work-pieces
US11020862B2 (en) 2013-11-26 2021-06-01 Kla-Tencor Corporation Pick-and-place head and method for picking work-pieces
CN105619434A (en) * 2016-03-28 2016-06-01 苏州倍特罗智能科技有限公司 Three-floating-sucker structure
CN105883408A (en) * 2016-05-27 2016-08-24 蚌埠市晶辉玻璃制品厂 Glass vessel suction cup overturning device
CN106429430A (en) * 2016-10-12 2017-02-22 颐中(青岛)烟草机械有限公司 Special-shaped cigarette stacking device
CN110621598A (en) * 2017-05-19 2019-12-27 豪迈面板分割科技有限公司 Handling device for at least partially planar loads and method for operating a handling device
JP2019000865A (en) * 2017-06-14 2019-01-10 アイダエンジニアリング株式会社 Workpiece transport device of press machine

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