JP2010212544A - Method of manufacturing electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、各種電子機器に使用されるインダクタ素子、キャパシタ素子等の電子部品の製造方法に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing electronic components such as inductor elements and capacitor elements used in various electronic devices.
従来の電子部品の製造方法は、図3に示すごとく、素体1の中にコイル部2を積層形成した集合体(図示していない)を作成した後、ダイシングあるいはバレル等の方法で個片化していた。
As shown in FIG. 3, a conventional method for manufacturing an electronic component is to produce an assembly (not shown) in which a
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば特許文献1が知られている。
しかしながら従来のように、ダイシングにより個片化する場合、電極端子3を切断することが難しく、これを避けるためには周辺部に切断領域を設けて、切断後に切断領域の残りの部分を取り除く必要がある。また、バレルあるいはローラ等によって個片化する場合、分割残りや、バリが残りやすいという課題があり、この分割残りやバリを除去するために、個片化した後に長くバレル研磨を行なうと、素体も削られるという問題を有している。 However, when dividing into individual pieces by dicing as in the prior art, it is difficult to cut the electrode terminals 3, and in order to avoid this, it is necessary to provide a cutting region in the peripheral portion and to remove the remaining portion of the cutting region after cutting There is. In addition, when dividing into individual pieces by a barrel or a roller, there is a problem that division remaining and burrs are likely to remain, and in order to remove the division remaining and burrs, if barrel polishing is performed for a long time after dividing into pieces, There is a problem that the body is also shaved.
本発明は、これらの課題を解決し、ロスが少なく、効率的に製造でき、部品への機械的ダメージも避けることができる製造方法を提供するものである。 The present invention solves these problems, and provides a manufacturing method that can be efficiently manufactured with little loss and that can avoid mechanical damage to parts.
上記目的を達成するために本発明は、第1の電子部品の外部電極部の端面は、隣接する第2の電子部品の樹脂素体部側面に接触させ、第1の電子部品の外部電極部の端部側面は、ダミー部に接触させ、ダミー部は、第1の電子部品と第2の電子部品と第3の電子部品と第4の電子部品とのそれぞれにおける、樹脂素体部側面と外部電極部の端部側面との境界部の樹脂素体部側に接続し、第1の電子部品と第2の電子部品と第3の電子部品と第4の電子部品とを巴状に連続配置して形成したものであり、ダミー部は8角形の形状をしているものである。 In order to achieve the above object, according to the present invention, the end face of the external electrode portion of the first electronic component is brought into contact with the side surface of the resin body portion of the adjacent second electronic component, and the external electrode portion of the first electronic component The side surfaces of the first and second electronic components, the third electronic component, and the fourth electronic component are respectively in contact with the dummy portion. The first electronic component, the second electronic component, the third electronic component, and the fourth electronic component are continuously connected in a bowl shape, connected to the resin body portion side of the boundary with the end side surface of the external electrode portion. The dummy part has an octagonal shape.
本発明によると、ロスが少なく、効率的に製造でき、部品への機械的ダメージも避けることができる。 According to the present invention, there is little loss, it can manufacture efficiently, and mechanical damage to parts can also be avoided.
(実施の形態1)
以下本発明の実施の形態1を用いて、本発明の電子部品の製造方法について図面を参照しながら説明する。
(Embodiment 1)
A method for manufacturing an electronic component according to the present invention will be described below with reference to the drawings, using Embodiment 1 of the present invention.
図1は本発明の実施の形態1における電子部品の製造工程を説明する図であり、図2は電子部品のパターン配置図である。 FIG. 1 is a diagram for explaining an electronic component manufacturing process according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a pattern layout diagram of the electronic component.
まず図1(a)のように、表面が酸化されたシリコン基板11の上に感光性樹脂素体部12の層を形成する。これを露光によりパターニングした後に銅をスパッタ、さらにその上に銅メッキ層を形成し、この表面を研削もしくは研磨して平坦化し、この作業を繰り返すことにより、図1(b)のようにシリコン基板11上に樹脂素体部12および内部電極13を有する電子部品14の集合体15を形成する。
First, as shown in FIG. 1A, a layer of a photosensitive
ここで個々の電子部品14は、長手方向約1mm、中央部分の幅約0.6mmのほぼ矩形状であり、長手方向の両端部は外部電極部20となっており、この外部電極部20の幅は約0.5mmと中央部分よりやや狭くなっている。各電子部品14は図2のように、第1の電子部品14aの外部電極部20の端面は、隣接する第2の電子部品14bの樹脂素体部12側面に接触させ、第1の電子部品14aの外部電極部20の端部側面はダミー部18に接触させ、ダミー部18は、第1の電子部品14aと第2の電子部品14bと第3の電子部品14cと第4の電子部品14dとのそれぞれにおける、樹脂素体部12側面と外部電極部20の端部側面との境界部の樹脂素体部12側に接続し、第1の電子部品14aと第2の電子部品14bと第3の電子部品14cと第4の電子部品14dとを巴状に連続配置する構成としている。すなわち各電子部品14は隣り合う電子部品14とはお互いに方向が90°異なる巴状の配置となっており、各電子部品14によって囲まれる部分がダミー部18となっていて、中央部分よりも外部電極部20の幅を狭くすることによって、ダミー部18の形状を8角形としている。
Here, each electronic component 14 has a substantially rectangular shape having a longitudinal direction of about 1 mm and a central portion having a width of about 0.6 mm, and both end portions in the longitudinal direction are
次にこれらをフッ化水素酸に浸漬することで、シリコン基板表面の酸化膜が溶解し、図1(c)のように電子部品14の集合体15をシリコン基板11から剥離する。
Next, by immersing them in hydrofluoric acid, the oxide film on the surface of the silicon substrate is dissolved, and the
次に図1(d)のように、電子部品14の集合体15をシリコーンからなる支持台16に設置し、この上から厚さ約0.1mmのPET(ポリエチレンテレフタレート)からなる保護シート17で覆い、保護シート17の上からローラ21等で圧力を加えることにより電子部品14を個片化する。
Next, as shown in FIG. 1 (d), the
ここでこのように圧力を加えることにより個片化できるのは、外部電極部20を構成している銅と樹脂素体部12の結合があまり強くないため、外部から衝撃が加わった時にその界面が分離するためである。そのため個片化される電子部品14の周囲は、お互いに異なる素材(銅と樹脂素体部12)となっている必要がある。この関係を満たすために、ダミー部18の構成は、図2のように卍状のダミー電極19を有するものにしておくことが望ましい。このようにすることにより、電子部品14とダミー部18の分離が容易となる。但し1つの電子部品14の中での銅と樹脂素体部12とはその形状を例えば相手側に食い込むように構成することにより分離しないようにしている。
Here, by applying pressure in this way, it can be separated into pieces because the bond between the copper constituting the
ローラ21により電子部品14の集合体15に圧力を加えていくと、圧力が加わった部分から銅と樹脂素体部12との界面が分離していくが、この分離していく方向が90°変わった場合、その角での分離が完全に行なわれず、これがバリとなる。本発明では、ダミー部18を正方形の4つの角を45°の角度でカットした8角形としているため、分離していく方向は45°変わるだけであり、分離時のバリが発生しにくくなる。
When pressure is applied to the
またダミー部18を正方形にする場合に比べて、面積を大きくすることができるため、電子部品14とダミー部18の分離が行ないやすくなる。
Further, since the area can be increased as compared with the case where the
以上のように、銅と樹脂素体部12との界面が分離しやすくなるということは、例えばローラ21を用いて分離を行なう場合であれば、その圧力、回数を減らすことができ、電子部品14へのダメージを減らすことができ、電子部品14の信頼性を高めることができる。
As described above, the interface between the copper and the
また、本発明では電子部品14の外形が、中央部分よりも端部の外部電極部20の幅を狭くした形状となる。電子部品14をプリント基板(図示していない)に実装して半田付けを行なう時に、半田が側面の方にも流れるため、隣の部品との距離を確保しておく必要がある。しかしながら本発明では、半田付けする外部電極部20の幅を狭くしているため、中央部分の幅いっぱいまで別の部品を近接させることができ、実装の高密度化を図ることができる。
In the present invention, the outer shape of the electronic component 14 is a shape in which the width of the
なお、本実施の形態では電子部品14の分離を、ローラ21を用いて行なっているが、この方法に限定されず、バレルやブラスト等の方法を用いても同様の効果が得られる。
In the present embodiment, the electronic component 14 is separated using the
本発明の電子部品の製造方法によると、製造時のロスが少なく、効率的に製造でき、部品への機械的ダメージも避けることができ、コイル部品、キャパシタ部品等の各種電子部品の製造方法に適用できる。 According to the electronic component manufacturing method of the present invention, there is little loss at the time of manufacturing, it can be efficiently manufactured, mechanical damage to the component can be avoided, and the manufacturing method of various electronic components such as coil components and capacitor components can be avoided. Applicable.
11 基板
12 樹脂素体部
13 内部電極
14 電子部品
14a 第1の電子部品
14b 第2の電子部品
14c 第3の電子部品
14d 第4の電子部品
15 電子部品の集合体
16 支持台
17 保護シート
18 ダミー部
19 ダミー電極
20 外部電極部
21 ローラ
DESCRIPTION OF
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009059073A JP2010212544A (en) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | Method of manufacturing electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009059073A JP2010212544A (en) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | Method of manufacturing electronic component |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010212544A true JP2010212544A (en) | 2010-09-24 |
Family
ID=42972400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009059073A Pending JP2010212544A (en) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | Method of manufacturing electronic component |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010212544A (en) |
-
2009
- 2009-03-12 JP JP2009059073A patent/JP2010212544A/en active Pending
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