JP2010210769A - 液晶表示装置の製造方法および液晶表示装置の製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 スペーサ粒子を適正に配置することにより高品質な液晶表示装置を製造することが可能な液晶表示装置の製造方法および液晶表示装置の製造装置を提供する。
【解決手段】 透明基板における画素領域に付着防止液を塗布する塗布工程と、透明基板における画素領域以外の領域に、インクジェット方式によりスペーサ粒子分散液を吐出することにより、スペーサ領域を生成するスペーサ領域生成工程と、透明基板を摂氏９０度以下の温度で加熱することにより、スペーサ粒子分散液から揮発成分を蒸発させるとともに、スペーサ領域のスペーサ粒子と基板を固着させるプリベーク工程と、透明基板に塗布された付着防止液を除去する付着防止液除去工程と、透明基板を摂氏２００度程度の温度で加熱することにより、スペーサ領域のスペーサ粒子と透明基板を強固に固着させるポストベーク工程とを備える。
【選択図】 図５

Description

この発明は、基板間にスペーサ粒子を介在させることにより液晶層封入用のギャップを形成する液晶表示装置の製造方法および液晶表示装置の製造装置に関する。

液晶表示装置は、２枚の基板の間に、透明電極、カラーフィルターおよびブラックマトリックスが配置され、さらに透明電極間の空間に液晶が封入された構成を有する。このときに、２枚の基板の間隔を規制し、液晶層の厚みを適正にするために、スペーサが形成される。

従来、このスペーサは、フォトリソ法を利用して形成されていたが、マスクを使用した工程が必要となり作業工程が煩雑となるばかりではなく、材料の使用効率が悪いという問題がある。このため、基板にインクジェット方式でスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を吐出することにより、スペーサ粒子でスペーサを形成する液晶表示装置の製造方法が提案されている（特許文献１参照）。

特開２００５−４０９４号公報

インクジェット方式で液体を吐出したときには、サテライトと呼称される主液滴とは分離した微小な液滴が発生する。インクジェット方式においては、インクジェットヘッドと基板とを相対的に移動させながら液体を吐出する方式であるため、サテライトと呼称される液滴は、主液滴とは異なる位置に滴下される。

このため、スペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液をインクジェットヘッドにより吐出した場合、スペーサとなるスペーサ領域以外の領域に滴下したサテライトにスペーサ粒子が存在する場合がある。このようなスペーサ粒子が液晶表示装置におけるカラーフィルター部分に存在すると、その部分の液晶分子が正常な配向動作を実行できないことから、光漏れや光抜けといった品質低下の原因となる。

この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、スペーサ粒子を適正に配置することにより高品質な液晶表示装置を製造することが可能な液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、基板間にスペーサ粒子を介在させることにより液晶層封入用のギャップを形成する液晶表示装置の製造方法であって、前記基板における画素領域にスペーサ粒子が付着することを防止するための付着防止液を、前記画素領域に塗布する塗布工程と、前記基板における画素領域以外の領域に、インクジェット方式によりスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を吐出することにより、スペーサ粒子を含むスペーサ領域を生成するスペーサ領域生成工程と、前記スペーサ領域が生成された基板を第１の温度で加熱することにより、スペーサ粒子分散液から揮発成分を蒸発させるとともに、前記スペーサ領域のスペーサ粒子と基板を固着させるプリベーク工程と、前記画素領域に塗布された付着防止液を除去する付着防止液除去工程と、前記除去液が除去された基板を前記第１の温度より高い第２の温度で加熱することにより、前記スペーサ領域のスペーサ粒子と基板を強固に固着させるポストベーク工程とを備えることを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、前記付着防止液除去工程においては、基板の表面に高圧の空気を噴出することにより、前記基板に塗布された付着防止液を除去する。

請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の発明において、前記空気の圧力は０．１メガパスカル乃至５メガパスカルである。

請求項４に記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の発明において、前記付着防止液の比重が前記スペーサ粒子分散液の比重より大きい。

請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の発明において、前記付着防止液の沸点が前記スペーサ粒子分散液の沸点より高い。

請求項６に記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の発明において、前記第１の温度は、摂氏９０度以下である。

請求項７に記載の発明は、基板間にスペーサ粒子を介在させることにより液晶層封入用のギャップを形成する液晶表示装置の製造装置であって、前記基板における画素領域に、インクジェット方式により、前記画素領域にスペーサ粒子が付着することを防止するための付着防止液を塗布する第１インクジェットヘッドユニットと、前記基板における画素領域以外の領域にインクジェット方式によりスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を吐出して、スペーサ粒子を含むスペーサ領域を生成する第２インクジェットヘッドユニットと、基板を前記第１インクジェットヘッドユニットおよび前記第２インクジェットヘッドユニットに対して相対的に移動させる移動機構と、を備えたインクジェット画像記録手段と、前記スペーサ領域が生成された基板を第１の温度で加熱することにより、スペーサ粒子分散液から揮発成分を蒸発させるとともに、前記スペーサ領域のスペーサ粒子と基板を固着させる第１加熱手段と、前記基板の表面に流体を噴出することにより、前記基板に塗布された付着防止液を除去する付着防止液除去手段と、前記付着防止液が除去された基板を前記第１の温度より高い第２の温度で加熱することにより、前記スペーサ領域のスペーサ粒子と基板を強固に固着させる第２加熱手段とを備えることを特徴とする。

請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の発明において、前記付着防止液除去手段は、基板を搬送する搬送機構と、搬送機構により搬送される基板の表面に対して高圧の空気を噴出する高圧空気噴出機構とを備える。

請求項９に記載の発明は、請求項７または請求項８に記載の発明において、前記第１加熱手段はホットプレートである。

請求項１０に記載の発明は、請求項７乃至請求項９のいずれかに記載の発明において、前記第２加熱手段はオーブンである。

請求項１および請求項７に記載の発明によれば、スペーサ粒子を適正に配置することができ、高品質な液晶表示装置を製造することが可能となる。

請求項２および請求項３に記載の発明によれば、高圧の空気の作用により、スペーサ領域のスペーサ粒子を残したままで、付着防止液を容易に除去することが可能となる。

請求項４に記載の発明によれば、画素領域に到達したスペーサ粒子を付着防止液の表面に保持した後、有効に除去することが可能となる。

請求項５に記載の発明によれば、付着防止液の沸点をスペーサ粒子分散液の沸点より高くすることで、付着防止液の蒸発を抑制しながら、スペーサ粒子分散液から揮発成分を好適に蒸発させることが可能となる。

請求項６に記載の発明によれば、基板を摂氏９０度以下の温度で加熱することにより、付着防止液の乾燥を防止しながら、スペーサ粒子同士が互いに集まって凝縮して互いに固着させるとともに、スペーサ粒子と基板とを固着されることが可能となる。

請求項８に記載の発明によれば、基板を搬送しながらその表面に高圧の空気を噴出することにより、スペーサ領域のスペーサ粒子を残したままで、付着防止液を有効に除去することが可能となる。

請求項９に記載の発明によれば、基板を正確に第１の温度で加熱することで、プリベークを好適に実行することが可能となる。

請求項１０に記載の発明によれば、基板を第１の温度より高温の第２の温度まで容易に加熱することができ、ポストベークを効率的に行うことが可能となる。

インクジェット塗布装置の斜視図である。 ガントリー１３をその下面から見た斜視図である。 インクジェットヘッドユニット１２をその下面から見た斜視図である。 インクジェットヘッド１８の一部をその下面から見た斜視図である。 この発明に係る液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。 この発明に係る液晶表示装置の製造方法の各工程を模式的に示す説明図である。 表面に付着防止液およびスペーサ粒子分散液が吐出された後の透明基板１の一部を示す部分表面図である。 プリベーク工程を実行するホットプレート５１の概要図である。 付着防止液除去工程を実行する付着防止液除去装置の概要図である。 ポストベーク工程を実行するオーブンの概要図である。

まず、この発明に係る液晶表示用基板の製造方法において、スペーサ粒子分散液を塗布するために使用されるインクジェット塗布装置の構成について説明する。図１は、インクジェット塗布装置の斜視図である。

このインクジェット塗布装置は、透明基板１を支持するテーブル１１と、各々１２個のインクジェットヘッドユニット１２を支持する第１ガントリー１３Ａおよび第２ガントリー１３Ｂとを備える。テーブル１１は、基台１４上に配設されたリニアモータ１５の駆動を受け、一対のガイド部材１６により案内された状態で、第１、第２ガントリー１３Ａ、１３Ｂにおけるインクジェットヘッドユニット１２の列設方向と直交する主走査方向に往復移動する。なお、以下の説明において、第１ガントリー１３Ａおよび第２ガントリー１３Ｂを総称する場合には、単に「ガントリー１３」という。

これら第１ガントリー１３Ａおよび第２ガントリー１３Ｂのうち、第１ガントリー１３Ａに配設された各インクジェットヘッドユニット１２は、透明基板１に対して、後述するように、スペーサ粒子が付着することを防止するための付着防止液を塗布するためのものである。また、第２ガントリー１３Ｂは、後述するように、透明基板１に対してスペーサ粒子分散液を塗布するためのものである。

第１ガントリー１３Ａおよび第２ガントリー１３Ｂの両端部には、一対のリニアモータ２１が配設されており、第１ガントリー１３Ａおよび第２ガントリー１３Ｂはこれらのリニアモータ２１を介して基台１４に支持されている。このため、第１ガントリー１３Ａおよび第２ガントリー１３Ｂは、これらのリニアモータ２１を個別に駆動することにより、テーブル１１による透明基板１の搬送方向との交差角度を変更することができる構成となっている。また、第１ガントリー１３Ａおよび第２ガントリー１３Ｂにおける各インクジェットヘッドユニット１２は、図示しないリニアモータの駆動により、そのピッチを変更しうる構成となっている。

基台１４の一端には、第１ガントリー１３Ａおよび第２ガントリー１３Ｂのインクジェットヘッドユニット１２を洗浄する洗浄部２２が配設されている。この洗浄部２２は、テーブル１１による透明基板１の搬送方向と直交する方向に往復移動可能となっている。また、この洗浄部２２の移動経路に沿って、第２ガントリー１３Ｂのインクジェットヘッドユニット１２の乾燥を防止するための、１２個の乾燥防止部２３が配設されている。後述する各インクジェットヘッド１８は、待機時においては、これらの乾燥防止部２３と対向配置される。なお、これらの乾燥防止部２３とは別に、第１ガントリー１３Ａ用の乾燥防止部を別途配設してもよい。

図２は、各ガントリー１３をその下面から見た斜視図である。また、図３は、インクジェットヘッドユニット１２をその下面から見た斜視図である。さらに、図４は、インクジェットヘッド１８の一部をその下面から見た斜視図である。

これらの図に示すように、各ガントリー１３に支持された１２個のインクジェットヘッドユニット１２には、ヘッド支持板１７が配設されており、このヘッド支持板１７には、５個のインクジェットヘッド１８が配設されている。このインクジェットヘッド１８には、図４に示すように、多数のスペーサ粒子分散液または付着防止液の吐出口１９が一方向に列設されている。

以上のような構成を有するインクジェット塗布装置を使用して透明基板１にスペーサ粒子分散液を塗布するときには、最初に、透明基板１をテーブル１１上に位置決めして固定する。また、透明基板１におけるブラックマトリックスのピッチに対応させて、インクジェットヘッド１８におけるスペーサ粒子分散液または付着防止液の吐出口１９の列設方向と透明基板１の搬送方向との交差角度と、インクジェットヘッドユニット１２のピッチとを変更する。

この状態において、テーブル１１を透明基板１とともに主走査方向に移動させながら、第１ガントリー１３Ａにおける１２個のインクジェットヘッドユニット１２における各インクジェットヘッド１８から付着防止液を吐出するとともに、第２ガントリー１３Ｂにおける１２個のインクジェットヘッドユニット１２における各インクジェットヘッド１８からスペーサ粒子分散液を吐出することにより、後述するように、透明基板１における画素領域に付着防止液を塗布するとともに、透明基板１におけるブラックマトリックス上にスペーサ粒子を含むスペーサ領域を形成することができる。

次に、この発明に係る液晶表示装置の製造方法の各工程について説明する。図５は、この発明に係る液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。また、図６は、この発明に係る液晶表示装置の製造方法の各工程を模式的に示す説明図である。

この液晶表示装置の製造方法は、液晶の封入工程等の前工程として実行されるものであり、透明基板１間にスペーサ粒子を介在させることにより液晶層封入用のギャップを形成するためのものである。

この発明に係る液晶表示装置の製造方法を実行するときには、最初に、透明基板１における画素領域１００に、付着防止液を塗布して付着防止液の膜１０１を形成する付着液塗布工程が実行される（ステップＳ１）。この付着防止液塗布工程においては、第１ガントリー１３Ａのインクジェットヘッドユニット１２におけるインクジェットヘッド１８が使用される。そして、図６（ａ）に示すように、透明基板１における画素領域１００に対して、インクジェット方式により付着防止液を吐出することにより、画素領域１００の全面に付着防止液の膜１０１を形成する。

この工程で使用される付着防止液は、画素領域１００にスペーサ粒子が付着することを防止するためのものである。この付着防止液としては、スペーサ粒子分散液の比重より大きい比重を有し、かつ、スペーサ粒子分散液の沸点より高い沸点を有する液体が使用される。この付着防止液は、例えば、水等に対して表面張力を下げるとともに比重を上げるための添加剤が添加されたものが使用される。

次に、スペーサ領域生成工程を実行する（ステップＳ２）。このスペーサ領域生成工程においては、第２ガントリー１３Ｂのインクジェットヘッドユニット１２におけるインクジェットヘッド１８が使用され、透明基板１上にインクジェット方式によりスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を吐出することにより、スペーサ粒子を含むスペーサ領域を形成する。

図７は、表面に付着防止液およびスペーサ粒子分散液が吐出された後の透明基板１の一部を示す部分表面図である。

この透明基板１の表面には、それぞれレッドのカラーフィルターの領域Ｒと、グリーンのカラーフィルターの領域Ｇと、ブルーのカラーフィルターの領域Ｂと、これらの領域を区画するブラックマトリックス７の領域とが構成される。これらのカラーフィルターの領域は、図６（ｂ）における画素領域１００である。これらの画素領域１００には、付着防止液が塗布され、付着防止液の膜１０１が形成される。一方、スペーサ粒子分散液は、ブラックマトリックス７の領域に向けて吐出され、そこにスペーサ領域５が形成される。

このとき、インクジェット方式でスペーサ粒子分散液を吐出したときには、サテライトと呼称される主液滴とは分離した極微小な液滴が発生する。そして、インクジェットヘッドと透明基板とを相対的に移動させながらスペーサ粒子分散液を吐出することから、サテライトと呼称される液滴は主液滴とは異なる位置に滴下される。この液滴にスペーサ粒子が存在していた場合には、図６（ｂ）および図７における拡大図に示すように、スペーサ領域５から分離したスペーサ粒子６が付着防止液の膜１０１上に存在することになる。このようなスペーサ粒子６が、カラーフィルター領域に残存すると、その部分の液晶分子が正常な配向動作を実行できないことから、光漏れや光抜けといった品質低下の原因となる。なお、上述したように、付着防止液の比重はスペーサ粒子分散液の比重より大きいことから、スペーサ領域５から分離したスペーサ粒子６が付着防止液の膜１０１内に進入することはない。

再度、図５および図６を参照して、スペーサ領域生成工程に引き続き、プリベーク工程を実行する（ステップＳ３）。

図８は、プリベーク工程を実行するホットプレート５１の概要図である。

プリベーク工程においては、透明基板１は、このホットプレート５１上に搬送され、摂氏９０度以下の温度で加熱される。これにより、図６（ｃ）に示すように、スペーサ領域５のスペーサ粒子分散液から揮発成分が蒸発する。このときには、スペーサ粒子分散液の表面張力によりスペーサ領域５のスペーサ粒子同士が互いに集まって凝縮する。そして、それらが焼成されて、接着成分を含む液体の作用により互いに固着するとともに、スペーサ粒子と透明基板１とが固着される。図６においては、このようなスペーサ領域を符号１０５で示すとともに、このときのスペーサ領域１０５から分離したスペーサ粒子を符号１０６で示している。

但し、このときには、付着防止液はスペーサ粒子分散液より高い沸点を有することから、付着防止液からは揮発成分等はほとんど蒸発しない。このホットプレート５１による加熱温度は、スペーサ領域５のスペーサ粒子分散液からは揮発成分が蒸発するが、付着防止液からは揮発成分等はほとんど蒸発しない温度であり、例えば、上述のように摂氏９０度以下の温度である。ホットプレート５１を使用することにより、透明基板１の温度をこのように正確に制御することが可能となる。

再度、図５および図６を参照して、プリベーク工程に引き続き、付着防止液除去工程を実行する（ステップＳ４）。

図９は、付着防止液除去工程を実行する付着液防止液除去装置の概要図である。

この付着液除去装置は、透明基板１を搬送する複数の搬送ローラ４と、搬送ローラ４により搬送される透明基板１に対して高圧の空気を噴出するエアナイフ９とを備える。プリベーク工程を終了した透明基板１は、搬送ローラ４により搬送されながら、その表面に高圧の空気を噴出される。これにより、図６（ｄ）に示すように、透明基板１の表面に形成された付着防止液の膜が除去される。このとき、付着防止液の膜１０１上に存在するスペーサ領域５から分離したスペーサ粒子６は、付着防止液とともに除去される。これに対して、スペーサ領域５のスペーサ粒子は、プリベーク工程において透明基板１と固着していることから、高圧の空気が噴出されても透明基板１から除去されることはない。

このときにエアナイフ９から噴出される空気の圧力は、透明基板１やスペーサ領域５のスペーサ粒子に損傷を与えることなく付着防止液を除去するために、０．１メガパスカル乃至５メガパスカル程度とすることが好ましい。

なお、この付着防止液除去工程においては、付着防止液を高圧の空気により除去しているが、空気以外の気体を使用してもよい。さらに、気体を使用するかわりに、透明基板１に対して純水や気体を混合させた純水を吐出することにより、付着防止液を除去してもよい。さらに、微細な気体を純水中に溶かし込んだマイクロバブル洗浄液を使用してもよく、超音波振動が付与された純水を使用してもよい。

再度、図５および図６を参照して、付着液除去工程に引き続き、ポストベーク工程を実行する（ステップＳ５）。

図１０は、ポストベーク工程を実行するオーブンの概要図である。

このオーブンは、複数枚の透明基板１を収納するチャンバー５２と、ファン５３およびヒータ５４を有する加熱空気の循環路５５とを備える。ポストベーク工程においては、透明基板１は、チャンバー５２内に搬送される。そしてこの透明基板１は、ファン５３およびヒータ５４の作用により循環路５５を循環する加熱された空気の作用により、摂氏２００度程度まで加熱される。これにより、スペーサ領域５のスペーサ粒子と透明基板１とが強い力で固着される。このときには、オーブンにより透明基板１を加熱することから、透明基板１を摂氏２００度程度の温度まで容易に加熱することができ、ポストベークを効率的に行うことが可能となる。

以上の工程が完了すれば、処理が終了する。このとき、この発明に係る液晶表示装置の製造方法によれば、スペーサ領域５から分離したスペーサ粒子６は、画素領域１００ではなく付着防止液の膜１０１上に存在し、この付着防止液はその後に除去されることから、このようなスペーサ粒子６が、カラーフィルター領域に残存することを有効に防止でき、光漏れや光抜けといった品質低下の発生を抑制することが可能となる。

１ 透明基板
２ 純水ノズル
４ 搬送ローラ
５ スペーサ領域
６ スペーサ粒子
７ ブラックマトリックス
９ エアナイフ
１１ テーブル
１２ インクジェットヘッドユニット
１３Ａ 第１ガントリー
１３Ｂ 第２ガントリー
１４ 基台
１５ リニアモータ
１６ ガイド部材
１７ ヘッド支持板
１８ インクジェットヘッド
１９ 吐出口
２１ リニアモータ
２２ 洗浄部
２３ 乾燥防止部
５１ ホットプレート
５２ チャンバー
５３ ファン
５４ ヒータ
５５ 加熱空気の循環路
１００ 画素領域
１０１ 付着防止液の膜

Claims (10)

1. 基板間にスペーサ粒子を介在させることにより液晶層封入用のギャップを形成する液晶表示装置の製造方法であって、
   前記基板における画素領域にスペーサ粒子が付着することを防止するための付着防止液を、前記画素領域に塗布する塗布工程と、
   前記基板における画素領域以外の領域に、インクジェット方式によりスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を吐出することにより、スペーサ粒子を含むスペーサ領域を生成するスペーサ領域生成工程と、
   前記スペーサ領域が生成された基板を第１の温度で加熱することにより、スペーサ粒子分散液から揮発成分を蒸発させるとともに、前記スペーサ領域のスペーサ粒子と基板を固着させるプリベーク工程と、
   前記画素領域に塗布された付着防止液を除去する付着防止液除去工程と、
   前記除去液が除去された基板を前記第１の温度より高い第２の温度で加熱することにより、前記スペーサ領域のスペーサ粒子と基板を強固に固着させるポストベーク工程と、
   を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
2. 請求項１に記載の液晶表示装置の製造方法において、
   前記付着防止液除去工程においては、基板の表面に高圧の空気を噴出することにより、前記基板に塗布された付着防止液を除去する液晶表示装置の製造方法。
3. 請求項２に記載の液晶表示装置の製造方法において、
   前記空気の圧力は０．１メガパスカル乃至５メガパスカルである液晶表示装置の製造方法。
4. 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法において、
   前記付着防止液の比重が前記スペーサ粒子分散液の比重より大きい液晶表示装置の製造方法。
5. 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法において、
   前記付着防止液の沸点が前記スペーサ粒子分散液の沸点より高い液晶表示装置の製造方法。
6. 請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の液晶表示装置の製造方法において、
   前記第１の温度は、摂氏９０度以下である液晶表示装置の製造方法。
7. 基板間にスペーサ粒子を介在させることにより液晶層封入用のギャップを形成する液晶表示装置の製造装置であって、
   前記基板における画素領域に、インクジェット方式により、前記画素領域にスペーサ粒子が付着することを防止するための付着防止液を塗布する第１インクジェットヘッドユニットと、前記基板における画素領域以外の領域にインクジェット方式によりスペーサ粒子を分散させたスペーサ粒子分散液を吐出して、スペーサ粒子を含むスペーサ領域を生成する第２インクジェットヘッドユニットと、基板を前記第１インクジェットヘッドユニットおよび前記第２インクジェットヘッドユニットに対して相対的に移動させる移動機構と、を備えたインクジェット画像記録手段と、
   前記スペーサ領域が生成された基板を第１の温度で加熱することにより、スペーサ粒子分散液から揮発成分を蒸発させるとともに、前記スペーサ領域のスペーサ粒子と基板を固着させる第１加熱手段と、
   前記基板の表面に流体を噴出することにより、前記基板に塗布された付着防止液を除去する付着防止液除去手段と、
   前記付着防止液が除去された基板を前記第１の温度より高い第２の温度で加熱することにより、前記スペーサ領域のスペーサ粒子と基板を強固に固着させる第２加熱手段と、
   を備えることを特徴とする液晶表示装置の製造装置。
8. 請求項７に記載の液晶表示装置の製造装置において、
   前記付着防止液除去手段は、基板を搬送する搬送機構と、搬送機構により搬送される基板の表面に対して高圧の空気を噴出する高圧空気噴出機構とを備える液晶表示装置の製造装置。
9. 請求項７または請求項８に記載の液晶表示装置の製造装置において、
   前記第１加熱手段はホットプレートである液晶表示装置の製造装置。
10. 請求項７乃至請求項９のいずれかに記載の液晶表示装置の製造装置において、
    前記第２加熱手段はオーブンである液晶表示装置の製造装置。