JP2010204186A - Apparatus, and method for manufacturing color filter, coating device and coating method - Google Patents

Apparatus, and method for manufacturing color filter, coating device and coating method Download PDF

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Takahiro Kasahara
原 孝 宏 笠
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Dai Nippon Printing Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for manufacturing color filter capable of efficiently applying ink while suppressing unevenness of coating amount of ink among pixel areas. <P>SOLUTION: The manufacturing apparatus 10 has an ejection means 20 for applying ink to each pixel area of a substrate 40 while relatively moving only in one direction for the substrate 40. One nozzle group is configured from a plurality of nozzles arrayed side by side in other directions intersecting the one direction. The ejection means includes a plurality of nozzle groups arranged separately in one direction. When relatively moving in one direction, at least two nozzles belonging to different nozzle groups pass through positions facing respective pixel areas. The ink is ejected from at least two nozzles to one pixel area during one time scanning of the ejection means for the substrate and the ink coating to the one pixel area is completed with one time scanning. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、カラーフィルタの製造装置およびカラーフィルタの製造方法、並びに、塗布装置および塗布方法に関する。詳細には、インクジェット方式によるカラーフィルタの製造装置およびカラーフィルタの製造方法、並びに、インクジェット方式による塗布装置および塗布方法に関する。   The present invention relates to a color filter manufacturing apparatus, a color filter manufacturing method, a coating apparatus, and a coating method. More specifically, the present invention relates to an inkjet color filter manufacturing apparatus and a color filter manufacturing method, and an inkjet application apparatus and application method.

近年、パーソナルコンピュータや携帯電話の普及に伴い、高精細かつ軽薄な表示装置が要望されている。表示装置は、例えば、LCD(液晶ディスプレイパネル)、PDP(プラズマディスプレイパネル)、有機EL(ElectroLuminescent Display)である。これらの表示装置には、構成部材として、いわゆるカラーフィルタが組み込まれ得る。   In recent years, with the spread of personal computers and mobile phones, there has been a demand for high-definition and light-weight display devices. The display device is, for example, an LCD (Liquid Crystal Display Panel), a PDP (Plasma Display Panel), or an organic EL (Electro Luminescent Display). In these display devices, so-called color filters can be incorporated as constituent members.

カラーフィルタにおける着色層の形成方法として、インクジェット法、染色法、顔料分散法、電着法、印刷法等の各種方法が知られている。例えば、特許文献1に開示されているように、インクジェット法では、基板上にパターン形成されたインク受容層に、あるいは、基板上に遮光部により画設された開口部に、インクを塗布することによって、着色層が形成される。   Various methods such as an inkjet method, a dyeing method, a pigment dispersion method, an electrodeposition method, and a printing method are known as methods for forming a colored layer in a color filter. For example, as disclosed in Patent Document 1, in the ink jet method, ink is applied to an ink receiving layer patterned on a substrate or an opening provided by a light shielding portion on the substrate. As a result, a colored layer is formed.

ただし、インクジェット法を用いて着色層を形成した場合、画素領域へのインク塗布量がばらつき、画素領域間(着色層間)で色度や輝度が異なってしまうという不具合が生じることがある。
特開2002−221617号公報
However, when the colored layer is formed using the ink jet method, there may be a problem in that the amount of ink applied to the pixel regions varies and the chromaticity and luminance differ between pixel regions (colored layers).
JP 2002-221617 A

特許文献1に開示された塗布方法によれば、列状に配列された複数のノズルを支持するヘッドが、基材に対して、ノズルの配列方向と直交する主走査方向のみに基板に対して移動するのではなく、主走査方向と直交する副走査方向にも基板に対して移動する。これにより、同一の画素領域に対して、主走査方向への走査毎に異なるノズルからインクが塗布されるようになる。このような方法によれば、ノズルから吐出される一液滴分の液滴量がノズル毎にばらついていたとしても、各ノズルから吐出される一液滴あたりの液滴量のバラツキに起因したインク塗布量の相違を分散させて緩和することができる。   According to the coating method disclosed in Patent Document 1, a head that supports a plurality of nozzles arranged in a row is arranged with respect to a substrate only in a main scanning direction perpendicular to the nozzle arrangement direction with respect to the base material. Instead of moving, it also moves relative to the substrate in the sub-scanning direction perpendicular to the main scanning direction. As a result, ink is applied to the same pixel area from different nozzles for each scanning in the main scanning direction. According to such a method, even if the amount of liquid droplets discharged from the nozzles varies from nozzle to nozzle, it is caused by variations in the amount of liquid droplets discharged from each nozzle. The difference in ink application amount can be dispersed and alleviated.

しかしながら、特許文献1に開示された方法においては、ノズルを支持するヘッドが基板上を複数回走査することになり、カラーフィルタを効率良く製造することができない。昨今においては、表示装置に対するコストダウンの要求がますます強くなっている。そして、カラーフィルタの製造コストが表示装置の全製造コストのうちの比較的に大きな割合を占めるようになることから、現在、カラーフィルタの製造コストの低減も極めて重要な課題となっている。   However, in the method disclosed in Patent Document 1, the head that supports the nozzle scans the substrate a plurality of times, and the color filter cannot be manufactured efficiently. In recent years, there has been an increasing demand for cost reduction of display devices. And since the manufacturing cost of a color filter will occupy a comparatively big ratio among the total manufacturing costs of a display apparatus, reduction of the manufacturing cost of a color filter is also a very important subject now.

本発明は、このような点を考慮してなされたものであり、画素領域間でのインクの塗布量のバラツキを抑制しつつ効率的にインクを塗布することが可能なカラーフィルタの製造装置およびカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。また、昨今においては、表示装置のさらなる薄型化が求められており、ガラスのような高剛性の基板に限られることなく、フィルム状の薄い樹脂製の基材を用いてカラーフィルタを製造することが検討されている。したがって、本発明による製造装置および製造方法が、このような薄型基材に対して好適に適用され得れば、非常に都合がよい。   The present invention has been made in consideration of such points, and a color filter manufacturing apparatus capable of efficiently applying ink while suppressing variations in the amount of ink applied between pixel regions, and An object is to provide a method for manufacturing a color filter. Further, in recent years, there has been a demand for further thinning of display devices, and it is not limited to a highly rigid substrate such as glass, and a color filter is manufactured using a thin film-like resin base material. Is being considered. Therefore, it is very convenient if the manufacturing apparatus and the manufacturing method according to the present invention can be suitably applied to such a thin substrate.

加えて、本発明は、カラーフィルタの製造に制限されることなく、所定領域間での塗布量のバラツキを抑制しつつ効率的にインクを塗布することが可能な塗布装置および塗布方法を提供することを目的とする。   In addition, the present invention provides a coating apparatus and a coating method capable of efficiently coating ink while suppressing variations in coating amount between predetermined regions without being limited to the manufacture of a color filter. For the purpose.

本発明によるカラーフィルタの製造装置は、複数の画素領域を含む基材に対して一方向に相対移動しながら、前記基材の各画素領域にインクを塗布する吐出手段を備え、前記吐出手段は、同一のインクを吐出するノズルを複数有し、前記同一のインクを吐出するノズルのうちの前記一方向と交差する他方向に並べて配列された複数のノズルによって一つのノズル群が構成されるとともに、前記吐出手段は、前記一方向に離間して配置された複数のノズル群を含み、前記吐出手段と前記基材とが前記一方向に相対移動する際に、前記基材に含まれる各画素領域に対面する位置を、異なるノズル群に属する少なくとも二つのノズルが通過するようになり、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査中に前記少なくとも二つのノズルから一つの画素領域に対してインクが吐出され、当該一つの画素領域へのインク塗布が前記一回の走査で完了することを特徴とする。   An apparatus for manufacturing a color filter according to the present invention includes a discharge unit that applies ink to each pixel region of the base material while relatively moving in one direction with respect to the base material including a plurality of pixel regions. A plurality of nozzles that eject the same ink, and a plurality of nozzles arranged side by side in the other direction that intersects the one direction among the nozzles that eject the same ink constitute one nozzle group The ejection unit includes a plurality of nozzle groups arranged separately in the one direction, and each pixel included in the base material when the ejection unit and the base material relatively move in the one direction. At least two nozzles belonging to different nozzle groups pass through the position facing the region, and one image from the at least two nozzles is scanned during one scan of the discharge means with respect to the substrate. Ink is ejected for the region, characterized in that the ink application to the single pixel region is completed in the single scan.

本発明によるカラーフィルタの製造装置において、各ノズル群に含まれるノズルの数は、ノズル群間で、同一となっており、一つのノズル群に含まれる複数のノズルは、他のノズル群に含まれる複数のノズルから前記一方向にずれた位置に配置されていてもよい。   In the color filter manufacturing apparatus according to the present invention, the number of nozzles included in each nozzle group is the same among the nozzle groups, and a plurality of nozzles included in one nozzle group are included in other nozzle groups. It may be arranged at a position shifted from the plurality of nozzles in the one direction.

また、本発明によるカラーフィルタの製造装置において、各ノズル群に含まれる複数のノズルは、他方向において、前記基材のインクを塗布されるべき画素領域に対向する全範囲に亘って配置されており、これにより、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査で基材へのインクの塗布が完了するようにしてもよい。   Further, in the color filter manufacturing apparatus according to the present invention, the plurality of nozzles included in each nozzle group are arranged in the other direction over the entire range facing the pixel region to be coated with the ink of the base material. Thus, the application of ink to the substrate may be completed by a single scan of the ejection unit with respect to the substrate.

さらに、本発明によるカラーフィルタの製造装置において、各ノズル群は別個のノズルヘッドとして構成され、前記他方向の前記一方向への傾斜角度によらず、異なるノズル群に属する少なくとも二つのノズルが一方向に並べられ得るようにしてもよい。   Furthermore, in the color filter manufacturing apparatus according to the present invention, each nozzle group is configured as a separate nozzle head, and at least two nozzles belonging to different nozzle groups are one, regardless of the inclination angle of the other direction to the one direction. It may be arranged in a direction.

さらに、本発明によるカラーフィルタの製造装置が、前記基材を搬送する搬送装置をさらに備え、前記搬送装置は、前記一方向に離間して配置された供給部および回収部を有し、前記基材が前記供給部と前記回収部との間を前記一方向に進んでいる間に、前記基材へのインクの塗布が完了するようにしてもよい。   Furthermore, the color filter manufacturing apparatus according to the present invention further includes a transport device that transports the base material, and the transport device includes a supply unit and a recovery unit that are spaced apart from each other in the one direction. The application of ink to the base material may be completed while the material advances in the one direction between the supply unit and the recovery unit.

本発明によるカラーフィルタの製造方法は、一方向に離間した複数のノズル群を有する吐出手段であって、各ノズル群が前記一方向と交差する他方向に並べて配列された複数のノズルによって構成されている、吐出手段を用いて、複数の画素領域を含む基材にインクを塗布することにより、カラーフィルタを製造する方法において、前記吐出手段と前記基材とを前記一方向に相対移動させながら、前記吐出手段に含まれるノズルから同一のインクを吐出し、前記基材の画素領域にインクを塗布する工程を備え、前記インクを塗布する工程において、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査中に少なくとも二つのノズルから一つの画素領域に対してインクが吐出され、当該一つの画素領域へのインク塗布が前記一回の走査で完了することを特徴とする。   The color filter manufacturing method according to the present invention is a discharge unit having a plurality of nozzle groups spaced in one direction, and each nozzle group includes a plurality of nozzles arranged side by side in the other direction intersecting the one direction. In a method of manufacturing a color filter by applying ink to a substrate including a plurality of pixel regions using an ejection unit, while relatively moving the ejection unit and the substrate in the one direction. A step of discharging the same ink from the nozzles included in the discharge unit and applying the ink to the pixel region of the base material. In the step of applying the ink, Ink is ejected from at least two nozzles to one pixel area during scanning, and ink application to the one pixel area is completed in one scan. And butterflies.

本発明によるカラーフィルタの製造方法において、一つの画素領域へのインクの塗布に用いられるノズルの数は、画素領域間で、同一であるようにしてもよい。   In the color filter manufacturing method according to the present invention, the number of nozzles used for applying ink to one pixel region may be the same between the pixel regions.

また、本発明によるカラーフィルタの製造方法において、一つの画素領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルから吐出される液滴数は、同一であるようにしてもよい。   In the color filter manufacturing method according to the present invention, the number of droplets ejected from the at least two nozzles used for applying ink to one pixel region may be the same.

さらに、本発明によるカラーフィルタの製造方法が、各画素領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルの各々に対し、当該各画素領域へ吐出すべきインクの液滴数を設定する工程を、さらに備え、前記インクを塗布する工程において、前記少なくとも二つのノズルの各々から、当該ノズルに対して前記インクの液滴数を設定する工程で設定された液滴数だけ、インクが吐出されるようにしてもよい。   Further, the method of manufacturing a color filter according to the present invention sets the number of ink droplets to be ejected to each pixel area for each of the at least two nozzles used for applying ink to each pixel area. In the step of applying the ink, the ink is ejected from each of the at least two nozzles by the number of droplets set in the step of setting the number of droplets of the ink for the nozzle. You may make it do.

このような本発明によるカラーフィルタの製造方法において、前記インクの液滴数を設定する工程において、各ノズルから吐出されるインクの一液滴分の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定し、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各画素領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各画素領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出されるようにしてもよい。   In such a method of manufacturing a color filter according to the present invention, in the step of setting the number of ink droplets, the amount of droplets of one droplet of ink ejected from each nozzle is a droplet according to the specifications of the nozzle. The amount of ink to be ejected to each pixel region so that the total amount of the ink ejected from the at least two nozzles is the target amount of ink to be applied to each pixel region. The number of drops may be calculated for each of the at least two nozzles.

あるいは、このような本発明によるカラーフィルタの製造方法において、前記インクの液滴数を設定する工程において、予め計測された各ノズルから吐出される一液滴分の液滴量を考慮し、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各画素領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各画素領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出されるようにしてもよい。   Alternatively, in the color filter manufacturing method according to the present invention, in the step of setting the number of ink droplets, the amount of droplets discharged from each nozzle measured in advance is considered, The number of ink droplets to be ejected to each pixel region is such that the total amount of ink ejected from at least two nozzles is a target amount of ink to be applied to each pixel region. It may be calculated for each of the above.

あるいは、本発明によるカラーフィルタの製造方法において、前記インクの液滴数を設定する工程は、各画素領域に対して塗布されるべきインクの目標量を考慮して、各画素領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルの各々に対し、当該各画素領域へ吐出すべきインクの標準液滴数を設定する工程と、前記少なくとも二つのノズルの各々から、当該ノズルに対して前記標準液滴数を設定する工程で設定された標準液滴数だけ、インクを吐出し、前記少なくとも二つのノズルから吐出されたインクの総量を標準インク量として計測する工程と、予め計測された各ノズルから吐出される一液滴分の液滴量と、前記計測された標準インク量と、を考慮し、前記ノズルの各々に対して設定された前記標準液滴数を増減させて、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各画素領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各画素領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出される工程と、を含むようにしてもよい。このカラーフィルタの製造方法において、前記インクの標準液滴数を設定する工程において、各ノズルから吐出されるインクの一液滴分の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定し、前記少なくとも二つのノズルの各々から当該ノズルに対する標準液滴数だけインクを吐出した場合における吐出されたインクの総量が、各画素領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、前記標準液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出されるようにしてもよい。   Alternatively, in the method for manufacturing a color filter according to the present invention, the step of setting the number of ink droplets may be performed in consideration of a target amount of ink to be applied to each pixel region. For each of the at least two nozzles used for coating, setting a standard number of droplets of ink to be ejected to each pixel area; and from each of the at least two nozzles, the standard for the nozzle A step of discharging ink by the number of standard droplets set in the step of setting the number of droplets and measuring the total amount of ink discharged from the at least two nozzles as a standard ink amount, and each nozzle measured in advance Taking into account the amount of one droplet discharged from the nozzle and the measured standard ink amount, the number of the standard droplets set for each of the nozzles is increased or decreased, The number of ink droplets to be ejected to each pixel region is such that the total amount of ink ejected from at least two nozzles is a target amount of ink to be applied to each pixel region. And a step calculated for each of the above. In this color filter manufacturing method, in the step of setting the standard number of droplets of ink, the amount of droplets of one droplet of ink ejected from each nozzle is a droplet amount according to the specifications of the nozzle. Assuming that the total amount of ink ejected from each of the at least two nozzles by the number of standard droplets for that nozzle is the target amount of ink to be applied to each pixel area In addition, the standard droplet number may be calculated for each of the at least two nozzles.

本発明による塗布装置は、複数の所定領域を含む基材に対して一方向に相対移動しながら、前記基材の各所定領域にインクを塗布する吐出手段を備え、前記吐出手段は、同一のインクを吐出するノズルを複数有し、前記同一のインクを吐出するノズルのうちの前記一方向と交差する他方向に並べて配列された複数のノズルによって一つのノズル群が構成されるとともに、前記吐出手段は、前記一方向に離間して配置された複数のノズル群を含み、前記吐出手段と前記基材とが前記一方向に相対移動する際に、前記基材に含まれる各所定領域に対面する位置を、異なるノズル群に属する少なくとも二つのノズルが通過するようになり、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査中に前記少なくとも二つのノズルから一つの所定領域に対してインクが吐出され、当該一つの所定領域へのインク塗布が一回の走査で完了することを特徴とする。   An application apparatus according to the present invention includes an ejection unit that applies ink to each predetermined region of the base material while relatively moving in one direction with respect to the base material including a plurality of predetermined regions. A plurality of nozzles for ejecting ink and a plurality of nozzles arranged side by side in the other direction intersecting the one direction among the nozzles for ejecting the same ink constitute one nozzle group, and the ejection The means includes a plurality of nozzle groups spaced apart in the one direction, and faces each predetermined region included in the base material when the discharge means and the base material move relative to each other in the one direction. At least two nozzles belonging to different nozzle groups pass through the position where the discharge is performed, and the at least two nozzles perform scanning with respect to one predetermined region during one scan of the discharge means with respect to the base material. Click is ejected, the ink applied to the one predetermined region is equal to or be completed with a single scan.

本発明による塗布装置において、各ノズル群に含まれるノズルの数は、ノズル群間で、同一となっており、一つのノズル群に含まれる複数のノズルは、他のノズル群に含まれる複数のノズルから前記一方向にずれた位置に配置されていてもよい。   In the coating apparatus according to the present invention, the number of nozzles included in each nozzle group is the same among the nozzle groups, and a plurality of nozzles included in one nozzle group includes a plurality of nozzles included in another nozzle group. You may arrange | position in the position shifted | deviated from the nozzle to the said one direction.

また、本発明による塗布装置において、各ノズル群に含まれる複数のノズルは、他方向において、前記基材のインクを塗布されるべき所定領域に対向する全範囲に亘って配置されており、これにより、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査で基材へのインクの塗布が完了するようにしてもよい。   Further, in the coating apparatus according to the present invention, the plurality of nozzles included in each nozzle group is arranged in the other direction over the entire range facing the predetermined area to which the ink of the base material is to be applied. Thus, the ink application to the base material may be completed by a single scan of the ejection unit with respect to the base material.

さらに、本発明による塗布装置において、各ノズル群は別個のノズルヘッドとして構成され、前記他方向の前記一方向への傾斜角度によらず、異なるノズル群に属する少なくとも二つのノズルが一方向に並べられ得るようにしてもよい。   Furthermore, in the coating apparatus according to the present invention, each nozzle group is configured as a separate nozzle head, and at least two nozzles belonging to different nozzle groups are arranged in one direction regardless of the inclination angle of the other direction to the one direction. You may be made to be able to be.

さらに、本発明による塗布装置が、前記基材を搬送する搬送装置をさらに備え、前記搬送装置は、前記一方向に離間して配置された供給部および回収部を有し、前記基材が前記供給部と前記回収部との間を前記一方向に進んでいる間に、前記基材へのインクの塗布が完了するようにしてもよい。   Furthermore, the coating apparatus according to the present invention further includes a transport device that transports the base material, and the transport device has a supply unit and a recovery unit that are spaced apart in the one direction, and the base material is You may make it complete | finish the application of the ink to the said base material, advancing in the said one direction between a supply part and the said collection | recovery part.

本発明による塗布方法は、一方向に離間した複数のノズル群を有する吐出手段であって、各ノズル群が前記一方向と交差する他方向に並べて配列された複数のノズルによって構成されている、吐出手段を用いて、複数の所定領域を含む基材にインクを塗布する方法において、前記吐出手段と前記基材とを前記一方向に相対移動させながら、前記吐出手段に含まれるノズルから同一のインクを吐出し、前記基材の所定領域にインクを塗布する工程を備え、前記インクを塗布する工程において、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査中に少なくとも二つのノズルから一つの所定領域に対してインクが吐出され、当該一つの所定領域へのインク塗布が前記一回の走査で完了することを特徴とする。   The coating method according to the present invention is a discharge unit having a plurality of nozzle groups spaced in one direction, and each nozzle group includes a plurality of nozzles arranged side by side in the other direction intersecting the one direction. In a method of applying ink to a substrate including a plurality of predetermined regions using a discharge unit, the same is performed from a nozzle included in the discharge unit while relatively moving the discharge unit and the substrate in the one direction. A step of ejecting ink and applying the ink to a predetermined region of the base material, wherein in the step of applying the ink, at least two nozzles perform one predetermined scan during one scan of the discharge means with respect to the base material. Ink is ejected to the region, and ink application to the one predetermined region is completed by the one scanning.

本発明による塗布方法において、一つの所定領域へのインクの塗布に用いられるノズルの数は、所定領域間で、同一であるようにしてもよい。   In the coating method according to the present invention, the number of nozzles used to apply ink to one predetermined area may be the same between the predetermined areas.

また、本発明による塗布方法において、一つの所定領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルから吐出される液滴数は、同一であるようにしてもよい。   Further, in the coating method according to the present invention, the number of droplets ejected from the at least two nozzles used for coating the ink on one predetermined region may be the same.

さらに、本発明による塗布方法が、各所定領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルの各々に対し、当該各所定領域へ吐出すべきインクの液滴数を設定する工程を、さらに備え、前記インクを塗布する工程において、前記少なくとも二つのノズルの各々から、当該ノズルに対して前記インクの液滴数を設定する工程で設定された液滴数だけ、インクが吐出されるようにしてもよい。   Further, the coating method according to the present invention further includes a step of setting the number of ink droplets to be ejected to each predetermined region for each of the at least two nozzles used for applying the ink to each predetermined region. And in the step of applying the ink, the ink is ejected from each of the at least two nozzles by the number of droplets set in the step of setting the number of droplets of the ink for the nozzle. May be.

このような本発明による塗布方法の前記インクの液滴数を設定する工程において、各ノズルから吐出されるインクの一液滴分の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定し、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各所定領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各所定領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出されるようにしてもよい。   In the step of setting the number of ink droplets of the coating method according to the present invention, the droplet amount of one droplet of ink ejected from each nozzle is the droplet amount according to the specification of the nozzle. Assuming that the total number of inks ejected from the at least two nozzles is a target amount of ink to be applied to each predetermined region, the number of ink droplets to be ejected to each predetermined region is It may be calculated for each of at least two nozzles.

あるいは、このような本発明による塗布方法の前記インクの液滴数を設定する工程において、予め計測された各ノズルから吐出される一液滴分の液滴量を考慮し、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各所定領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各所定領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出されるようにしてもよい。   Alternatively, in the step of setting the number of ink droplets of the coating method according to the present invention, the at least two nozzles are considered in consideration of the droplet amount of one droplet ejected from each nozzle measured in advance. The number of ink droplets to be ejected to each predetermined region is such that the total amount of ink ejected from each of the at least two nozzles is the target amount of ink to be applied to each predetermined region. May be calculated as follows.

あるいは、このような本発明による塗布方法の前記インクの液滴数を設定する工程は、各所定領域に対して塗布されるべきインクの目標量を考慮して、各所定領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルの各々に対し、当該各所定領域へ吐出すべきインクの標準液滴数を設定する工程と、前記少なくとも二つのノズルの各々から、当該ノズルに対して前記標準液滴数を設定する工程で設定された標準液滴数だけ、インクを吐出し、前記少なくとも二つのノズルから吐出されたインクの総量を標準インク量として計測する工程と、予め計測された各ノズルから吐出される一液滴分の液滴量と、前記計測された標準インク量と、を考慮し、前記ノズルの各々に対して設定された前記標準液滴数を増減させて、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各所定領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各所定領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出される工程と、を含むようにしてもよい。この塗布方法の前記インクの標準液滴数を設定する工程において、各ノズルから吐出されるインクの一液滴分の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定し、前記少なくとも二つのノズルの各々から当該ノズルに対する標準液滴数だけインクを吐出した場合における吐出されたインクの総量が、各所定領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、前記標準液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出されるようにしてもよい。   Alternatively, in the step of setting the number of ink droplets of the coating method according to the present invention, the ink application to each predetermined region is performed in consideration of the target amount of ink to be applied to each predetermined region. Setting the standard number of droplets of ink to be ejected to each of the predetermined areas for each of the at least two nozzles used in the process, and from each of the at least two nozzles to the standard liquid A step of ejecting ink by the number of standard droplets set in the step of setting the number of droplets and measuring the total amount of ink ejected from the at least two nozzles as a standard ink amount; and from each nozzle measured in advance Considering the amount of one droplet to be ejected and the measured standard ink amount, the number of the standard droplets set for each of the nozzles is increased or decreased, and the at least two The number of ink droplets to be ejected to each predetermined region is such that the total amount of the ink ejected from each nozzle is the target amount of ink to be applied to each predetermined region. May be included. In the step of setting the standard number of droplets of the ink in this coating method, assuming that the droplet amount of one droplet of ink ejected from each nozzle is the droplet amount according to the specification of the nozzle, When the ink is ejected from each of at least two nozzles by the number of standard droplets corresponding to the nozzle, the total amount of ink ejected is the target amount of ink to be applied to each predetermined region. The number of droplets may be calculated for each of the at least two nozzles.

さらに、本発明による塗布方法において、隣り合う二つの所定領域が、その端部において、互いに重なり合うようにして、前記複数の所定領域が前記基材に配置されていてもよい。   Furthermore, in the coating method according to the present invention, the plurality of predetermined regions may be arranged on the substrate such that two adjacent predetermined regions overlap each other at the end portions.

本発明によれば、画素領域等の所定領域間でのインクの塗布量のバラツキを抑制しながら、所定領域に効率的にインクを塗布することができる。   According to the present invention, it is possible to efficiently apply ink to a predetermined area while suppressing variation in the amount of ink applied between the predetermined areas such as the pixel area.

以下において、添付図面を参照しながら、本発明の一実施の形態について説明する。以下に説明する実施の形態では、一例として、フィルム状の基材の所定の画素領域にインクを塗布していくことによってカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造装置およびカラーフィルタの製造方法に、本発明を適用する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In the embodiment described below, as an example, the present invention includes a color filter manufacturing apparatus and a color filter manufacturing method for manufacturing a color filter by applying ink to predetermined pixel regions of a film-like substrate. Apply the invention.

以下の説明及び添付図面において、略同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略することにする。   In the following description and the accompanying drawings, components having substantially the same functional configuration are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

〔カラーフィルタ製造装置の構成〕
最初に、図1を参照しながら、カラーフィルタ製造装置10の構成について説明する。図1は、カラーフィルタ製造装置10の構成を模式的に示す図である。カラーフィルタ製造装置10は、処理対象となる基材40を支持する支持装置15と、支持装置15に支持された基材40に向けてインクを吐出するノズル21を多数含む吐出手段(インクジェットヘッド)20と、を有している。
[Configuration of color filter manufacturing equipment]
First, the configuration of the color filter manufacturing apparatus 10 will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram schematically showing the configuration of the color filter manufacturing apparatus 10. The color filter manufacturing apparatus 10 includes a support device 15 that supports a substrate 40 to be processed, and an ejection unit (inkjet head) that includes a number of nozzles 21 that eject ink toward the substrate 40 supported by the support device 15. 20.

また、図1に示すように、カラーフィルタ製造装置10は、基材40を搬送する搬送装置と、支持装置15に支持された基材40の位置座標を検出するためのアライメントカメラ18と、をさらに有している。搬送装置40は、基材40を支持装置15へ供給する供給部26と、基材40を支持装置15から回収する回収部27と、を有している。さらに、カラーフィルタ製造装置10は、アライメントカメラ18、吐出手段20および搬送装置25に電気的に接続され、これらの構成要素の動作を制御する制御装置12をさらに有している。   As shown in FIG. 1, the color filter manufacturing apparatus 10 includes a transport device that transports the base material 40, and an alignment camera 18 that detects the position coordinates of the base material 40 supported by the support device 15. In addition. The transport device 40 includes a supply unit 26 that supplies the base material 40 to the support device 15, and a recovery unit 27 that recovers the base material 40 from the support device 15. Furthermore, the color filter manufacturing apparatus 10 further includes a control device 12 that is electrically connected to the alignment camera 18, the ejection unit 20, and the transport device 25 and controls the operation of these components.

このようなカラーフィルタ製造装置10は、吐出手段20のノズル21からインクを吐出することにより、基材40に対してインクを所定のパターンで塗布し、カラーフィルタを製造する装置である。さらに詳細には、本実施の形態におけるカラーフィルタ製造装置10は、図2に示すように、格子状パターンの遮光部41を有した基材40の遮光部41によって画設された各画素領域45に対し、赤色、緑色および青色のインクを塗布することによって、カラーフィルタを製造する。図2に示すカラーフィルタの画素配列は、いわゆるストライプ配列となっている。   Such a color filter manufacturing apparatus 10 is an apparatus for manufacturing a color filter by applying ink to the substrate 40 in a predetermined pattern by discharging ink from the nozzles 21 of the discharge means 20. More specifically, the color filter manufacturing apparatus 10 according to the present embodiment, as shown in FIG. 2, has each pixel region 45 provided by the light shielding portion 41 of the base material 40 having the light shielding portions 41 having a lattice pattern. On the other hand, a color filter is manufactured by applying red, green and blue inks. The pixel arrangement of the color filter shown in FIG. 2 is a so-called stripe arrangement.

以下、カラーフィルタ製造装置10の各構成要素について、さらに詳述していく。   Hereinafter, each component of the color filter manufacturing apparatus 10 will be described in further detail.

まず、搬送装置25について説明する。上述したように、搬送装置25は、基材40を供給する供給部26と、基材40を回収する回収部27と、を有している。本実施の形態において、この搬送装置25によって搬送される基材40は、帯状に延びる薄いフィルム、好適には、図1に示すように巻き取り可能な程度の柔軟性を有したフィルムに上述した遮光部41を形成することによって形成されている。図1に示された例において、搬送装置25の供給部26は基材40を巻き取る供給コア26aを有し、フィルム状の基材40は供給コア26aにロール状に巻き取られた状態に保持され得る。同様に、搬送装置25の回収部27は、基材40にインクを塗布してなるカラーフィルタ50を巻き取る回収コア27aを有している。そして、カラーフィルタ50は、回収コア27aにロール状に巻き取られた状態に保持され得る。   First, the transport device 25 will be described. As described above, the transport device 25 includes the supply unit 26 that supplies the base material 40 and the recovery unit 27 that recovers the base material 40. In the present embodiment, the base material 40 transported by the transport device 25 is a thin film extending in a strip shape, preferably a film having flexibility enough to be wound up as shown in FIG. It is formed by forming the light shielding part 41. In the example shown in FIG. 1, the supply unit 26 of the transport device 25 has a supply core 26 a that winds up the base material 40, and the film-like base material 40 is wound around the supply core 26 a in a roll shape. Can be retained. Similarly, the collection unit 27 of the transport device 25 has a collection core 27 a that winds up the color filter 50 formed by applying ink to the base material 40. And the color filter 50 can be hold | maintained in the state wound up by the collection | recovery core 27a at roll shape.

さらに、図1に示すように、搬送装置25は、供給コア26aおよび回収コア27aに機械的に連結された駆動装置28を有している。駆動装置28は、制御装置12に電気的に接続され、制御装置12からの制御に基づいて供給コア26aおよび回収コア27aを回転駆動する。そして、供給コア26aおよび回収コア27aが回転駆動されることにより、基材40が、供給部26から供給され、支持装置15を経由して、回収部27に回収されるようになる。   Further, as shown in FIG. 1, the transport device 25 has a drive device 28 mechanically coupled to the supply core 26a and the recovery core 27a. The drive device 28 is electrically connected to the control device 12 and rotationally drives the supply core 26 a and the recovery core 27 a based on control from the control device 12. Then, the supply core 26 a and the collection core 27 a are driven to rotate, whereby the base material 40 is supplied from the supply unit 26 and is collected by the collection unit 27 via the support device 15.

次に、支持装置15およびアライメントカメラ18について詳述する。本実施の形態における支持装置15は、図1に示すように、搬送装置25の供給部26および回収部27の間に配置された支持ステージとして構成されている。搬送装置25の供給部26と支持ステージ15との間には、供給部26から供給された基材40を支持ステージ15へ案内するための案内ローラ26が配置されている。同様に、搬送装置25の回収部27と支持ステージ15との間にも、回収部27から供給された基材40を回収部27へ案内するための案内ローラ26が配置されている。   Next, the support device 15 and the alignment camera 18 will be described in detail. As shown in FIG. 1, the support device 15 in the present embodiment is configured as a support stage disposed between the supply unit 26 and the recovery unit 27 of the transport device 25. A guide roller 26 for guiding the base material 40 supplied from the supply unit 26 to the support stage 15 is disposed between the supply unit 26 and the support stage 15 of the transport device 25. Similarly, a guide roller 26 for guiding the base material 40 supplied from the recovery unit 27 to the recovery unit 27 is also disposed between the recovery unit 27 and the support stage 15 of the transport device 25.

アライメントカメラ18は、支持ステージ15上において基材40を撮像するようになっている。アライメントカメラ18は制御装置12に電気的に接続されており、アライメントカメラ18の撮像結果は制御装置12に送信される。制御装置12では、例えばアライメントカメラ18によって撮像された基材40の所定箇所(基材40上に形成されるアライメントマーク等)を基準として、支持ステージ15上において基材40の位置座標を検出する。   The alignment camera 18 images the base material 40 on the support stage 15. The alignment camera 18 is electrically connected to the control device 12, and the imaging result of the alignment camera 18 is transmitted to the control device 12. In the control device 12, for example, the position coordinates of the base material 40 are detected on the support stage 15 on the basis of a predetermined portion (such as an alignment mark formed on the base material 40) of the base material 40 imaged by the alignment camera 18. .

制御装置12は、特定された基材40の位置座標に基づいて搬送装置25を制御する。これにより、基材40は、張った状態で、且つ、支持ステージ15に対して精度良く位置決めされた状態で、搬送装置25の供給部26と回収部27とを結ぶ一方向に沿って搬送されるようになる。   The control device 12 controls the transport device 25 based on the specified position coordinates of the base material 40. Thereby, the base material 40 is transported along one direction connecting the supply unit 26 and the recovery unit 27 of the transport device 25 in a stretched state and in a state of being accurately positioned with respect to the support stage 15. Become so.

次に、吐出手段20について詳述する。吐出手段20は、複数の画素領域45を含む基材40に対して相対移動しながら、基材40の各画素領域45にインクを塗布するように構成されている。   Next, the discharge means 20 will be described in detail. The ejection unit 20 is configured to apply ink to each pixel region 45 of the substrate 40 while moving relative to the substrate 40 including the plurality of pixel regions 45.

カラーフィルタ製造装置10は、赤色のインクを吐出する吐出手段20、緑色のインクを吐出する吐出手段、および、青色のインクを吐出する吐出手段を有している。そして、各吐出手段は、同一のインクを吐出する多数のノズル21を有している。三つの吐出手段20は、支持ステージ15上における基材40の搬送方向、すなわち、上述した一方向(図2参照)に並べて配置されている。なお、三つの吐出手段は、吐出されるインクが異なるが、同一に構成されている。したがって、以下においては、赤色のインクを吐出する吐出手段20を代表として取り上げて説明を行い、図面においては、緑色のインクを吐出する吐出手段および青色のインクを吐出する吐出手段を省略する。   The color filter manufacturing apparatus 10 includes a discharge unit 20 that discharges red ink, a discharge unit that discharges green ink, and a discharge unit that discharges blue ink. Each ejection unit has a number of nozzles 21 that eject the same ink. The three discharge means 20 are arranged side by side in the transport direction of the base material 40 on the support stage 15, that is, in one direction described above (see FIG. 2). Note that the three ejection units have the same configuration, although the ejected inks are different. Therefore, in the following description, the discharge means 20 for discharging red ink will be taken as a representative example, and in the drawings, the discharge means for discharging green ink and the discharge means for discharging blue ink are omitted.

図2には、支持ステージ15のステージ面に対するノズル21の配置位置を、支持ステージ15上に支持された基材40とともに示す平面図である。図2に示すように、吐出手段20は、支持ステージ15上における基材40の搬送方向(上述した一方向)に沿って配列された複数のノズル群を有している。図示する例においては、第1ノズル群N−G1、第2ノズル群N−G2、第3ノズル群N−G3および第4ノズル群N−G4からなる合計四つのノズル群が、支持ステージ15上における基材40の搬送方向(前記一方向)に沿って配列されている。   FIG. 2 is a plan view showing the arrangement position of the nozzle 21 with respect to the stage surface of the support stage 15 together with the base material 40 supported on the support stage 15. As shown in FIG. 2, the ejection unit 20 includes a plurality of nozzle groups arranged along the transport direction (one direction described above) of the base material 40 on the support stage 15. In the illustrated example, a total of four nozzle groups including the first nozzle group N-G1, the second nozzle group N-G2, the third nozzle group N-G3, and the fourth nozzle group N-G4 are arranged on the support stage 15. Are arranged along the transport direction (the one direction) of the base material 40.

図2に示すように、各ノズル群N−G1〜N−G4は、それぞれ、並べて配置された多数のノズル21から構成されている。本実施の形態において、各群に含まれる多数のノズル21の配列方向は、図2に示すように、支持ステージ40のステージ面上において前記一方向と交差する(例えば、直交する)他方向に沿っている。   As shown in FIG. 2, each of the nozzle groups N-G1 to N-G4 is composed of a large number of nozzles 21 arranged side by side. In the present embodiment, the arrangement direction of the multiple nozzles 21 included in each group is in the other direction that intersects (for example, is orthogonal to) the one direction on the stage surface of the support stage 40, as shown in FIG. Along.

図3は、第1ノズル群N−G1を通過する、吐出手段20の他方向に沿った断面図である。図3に示すように、第1ノズル群N−G1は、他方向に沿って等間隔に並べられた多数(n個)のノズルN−G1−1〜N−G1−nを有している。なお、図示は省略しているが、第2ノズル群N−G2、第3ノズル群N−G3および第4ノズル群N−G4も、第1ノズル群N−G4と同様に構成されている。したがって、各ノズル群N−G1〜N−G4に含まれるノズル21の数は、ノズル群間で、同一となっている。また、一つのノズル群に含まれる複数のノズル21は、他のノズル群に含まれる複数のノズル21から前記一方向にずれた位置に配置されている。   FIG. 3 is a cross-sectional view along the other direction of the ejection unit 20 that passes through the first nozzle group NG1. As shown in FIG. 3, the first nozzle group N-G1 has a large number (n) of nozzles N-G1-1 to N-G1-n arranged at equal intervals along the other direction. . In addition, although illustration is abbreviate | omitted, 2nd nozzle group N-G2, 3rd nozzle group N-G3, and 4th nozzle group N-G4 are also comprised similarly to 1st nozzle group N-G4. Therefore, the number of nozzles 21 included in each nozzle group N-G1 to N-G4 is the same between the nozzle groups. In addition, the plurality of nozzles 21 included in one nozzle group are arranged at positions shifted in the one direction from the plurality of nozzles 21 included in the other nozzle group.

図3に示すように、インクジェッドヘッドとして構成された吐出手段20は、各ノズルに対してインクを供給するインク供給部21を有している。インク供給部21は、インクが充填されるチャンバ、インクをノズル21に供給するためインク配管、ノズル毎にインク吐出量を制御する吐出量制御部等から構成される。吐出量制御部は、例えば、ノズル毎に設けられたピエゾ素子の印加電圧を制御することによりインク吐出量を制御し得るように構成されている。   As shown in FIG. 3, the ejection unit 20 configured as an ink jet head has an ink supply unit 21 that supplies ink to each nozzle. The ink supply unit 21 includes a chamber filled with ink, an ink pipe for supplying ink to the nozzle 21, a discharge amount control unit that controls the ink discharge amount for each nozzle, and the like. For example, the discharge amount control unit is configured to control the ink discharge amount by controlling the voltage applied to the piezoelectric element provided for each nozzle.

なお、ノズル群N−G1〜N−G4は、一体的に形成されてもよいし、別体として形成されてもよい。ノズル群N−G1〜N−G4が一体的に形成される場合には、ノズル群N−G1〜N−G4が共通のインク供給部21を有するようにしてもよい。また、ノズル群N−G1〜N−G4が別体的に形成される場合には、ノズル群N−G1〜N−G4が別個のインク供給部21を有するようにしてもよい。   Note that the nozzle groups N-G1 to N-G4 may be formed integrally or separately. When the nozzle groups N-G1 to N-G4 are integrally formed, the nozzle groups N-G1 to N-G4 may have a common ink supply unit 21. Further, when the nozzle groups N-G1 to N-G4 are formed separately, the nozzle groups N-G1 to N-G4 may have separate ink supply units 21.

〔カラーフィルタの製造方法〕
次に、以上のような構成からなるカラーフィルタ製造装置10を用いてカラーフィルタを製造する方法について説明する。
[Production method of color filter]
Next, a method for manufacturing a color filter using the color filter manufacturing apparatus 10 having the above configuration will be described.

まず、基材40が、搬送装置25の供給部26から支持ステージ15へ供給される。供給基材40は、上述したように、支持ステージ15上を一方向に向かって進むようになる。一方、図1に示すように、支持ステージ15の上方には、吐出手段20が静止して保持されている。この結果、吐出手段20および基材40は、一方向に相対移動するようになる。なお、支持ステージ15上における吐出手段20の位置は、アライメントカメラ18を用い、支持ステージ15に対して位置決めされている。   First, the base material 40 is supplied from the supply unit 26 of the transport device 25 to the support stage 15. As described above, the supply base material 40 proceeds on the support stage 15 in one direction. On the other hand, as shown in FIG. 1, the discharge means 20 is held stationary above the support stage 15. As a result, the discharge means 20 and the base material 40 are relatively moved in one direction. The position of the ejection unit 20 on the support stage 15 is positioned with respect to the support stage 15 using the alignment camera 18.

上述したように、異なるノズル群に属するノズル21が吐出手段20と基材40との相対移動方向に沿って並ぶように、吐出手段20は構成されている。したがって、吐出手段20と基材40とが一方向に相対移動する際に、基材40に含まれる各画素領域45に対面する位置を、異なるノズル群N−G1〜N−G4に属する四つのノズル21が通過するようになる。このため、吐出手段20の基材40に対する一回の走査(相対移動)中に、異なるノズル群N−G1〜N−G4に属する四つのノズル21から一つの画素領域45に対してインクを塗布することができる。   As described above, the ejection unit 20 is configured such that the nozzles 21 belonging to different nozzle groups are arranged along the relative movement direction of the ejection unit 20 and the base material 40. Therefore, when the ejection unit 20 and the base material 40 are relatively moved in one direction, the positions facing the pixel regions 45 included in the base material 40 are set to four positions belonging to different nozzle groups N-G1 to N-G4. The nozzle 21 comes to pass. Therefore, ink is applied to one pixel region 45 from four nozzles 21 belonging to different nozzle groups N-G1 to N-G4 during one scan (relative movement) of the ejection unit 20 with respect to the base material 40. can do.

また、図2に示す例では、格子状に配列された基材40の画素領域45の一つの配列方向が、支持ステージ15上の一方向に沿うようにして、基材40が供給される。とりわけ、図2に示す例においては、ストライプ配列として形成されるべきカラーフィルタ50の同色のインクを塗布される列状の画素領域45の配列方向が、一方向と平行となるようになっている。したがって、一方向に延びる同一の画素列に属する複数の画素領域45に対しては、同一の複数のノズル21を用いてインクを塗布することができる。   In the example shown in FIG. 2, the base material 40 is supplied so that one arrangement direction of the pixel regions 45 of the base material 40 arranged in a lattice pattern is along one direction on the support stage 15. In particular, in the example shown in FIG. 2, the arrangement direction of the columnar pixel regions 45 to which the same color ink of the color filter 50 to be formed as a stripe arrangement is applied is parallel to one direction. . Accordingly, ink can be applied to the plurality of pixel regions 45 belonging to the same pixel column extending in one direction using the same plurality of nozzles 21.

このような本例においては、インクの塗布に用いられるノズル21を、各画素領域45に対して図4のように割り振ることができる。そして、各ノズル21は、基材40が吐出手段20に対して相対移動して、割り振られた画素領域45が所定に位置(例えば、対向する位置)を通過する際に、所定の液滴数だけインクを吐出する。図4に示された設定条件の一例においては、画素領域R01に対し、第1群に属するノズルN−G1−1が(F1−1)滴のインクを吐出し、第2群に属するノズルN−G2−1が(F2−1)滴のインクを吐出し、第3群に属するノズルN−G3−1が(F3−1)滴のインクを吐出し、第4群に属するノズルN−G4−1が(F4−1)滴のインクを吐出する。また、図4に示された設定条件の一例において、画素領域R33に対し、第1群に属するノズルN−G1−7が(F1−7)滴のインクを吐出し、第2群に属するノズルN−G2−7が(F2−7)滴のインクを吐出し、第3群に属するノズルN−G3−7が(F3−7)滴のインクを吐出し、第4群に属するノズルN−G4−7が(F4−7)滴のインクを吐出する。   In this example, the nozzles 21 used for ink application can be allocated to the pixel regions 45 as shown in FIG. Each nozzle 21 has a predetermined number of droplets when the substrate 40 moves relative to the ejection unit 20 and the allocated pixel region 45 passes a predetermined position (for example, a position facing it). Only eject ink. In the example of the setting conditions shown in FIG. 4, the nozzle N-G1-1 belonging to the first group ejects (F1-1) drops of ink to the pixel region R01, and the nozzle N belonging to the second group. -G2-1 ejects (F2-1) drops of ink, nozzle N-G3-1 belonging to the third group ejects (F3-1) drops of ink, and nozzle N-G4 belonging to the fourth group -1 ejects (F4-1) drops of ink. In the example of the setting condition shown in FIG. 4, the nozzle N-G1-7 belonging to the first group ejects (F1-7) drops of ink to the pixel region R33, and the nozzle belonging to the second group. N-G2-7 ejects (F2-7) drops of ink, nozzle N-G3-7 belonging to the third group ejects (F3-7) drops of ink, and nozzle N- belonging to the fourth group G4-7 ejects (F4-7) drops of ink.

なお、各画素領域45へのインクの塗布に用いられるノズル21の各々に対し、当該各画素領域45へ吐出すべきインクの液滴数(F1−1)〜(F4−n)は、インクを吐出する工程が実施される前に、予め設定されている。各ノズル21から吐出される液滴数の設定方法については後に詳述する。   For each of the nozzles 21 used to apply ink to each pixel region 45, the number of ink droplets (F1-1) to (F4-n) to be ejected to each pixel region 45 corresponds to the ink. It is set in advance before the discharging step is performed. A method for setting the number of droplets ejected from each nozzle 21 will be described in detail later.

以上のようにして、吐出手段20と基材40とを一方向のみに相対移動させながら、吐出手段20に含まれるノズル21から赤色のインクを吐出し、基材40の画素領域45に赤色インクを塗布することができる。また、赤色インクを吐出する吐出手段20から一方向にずれた位置に配置された緑色インクを吐出する吐出手段および青色インクを吐出する吐出手段からも、赤色インクを吐出する吐出手段20と同様にして、インクが基材40に対して塗布される。この結果、基材40に対して赤色インク、緑色インクおよび青色インクを塗布してなるカラーフィルタ50が作製される。作製されたカラーフィルタ50は、搬送装置26の回収部27に回収される。   As described above, red ink is ejected from the nozzles 21 included in the ejection means 20 while the ejection means 20 and the base material 40 are relatively moved in only one direction, and the red ink is applied to the pixel region 45 of the base material 40. Can be applied. Similarly to the discharge unit 20 that discharges red ink, the discharge unit that discharges green ink and the discharge unit that discharges blue ink, which are disposed at positions shifted in one direction from the discharge unit 20 that discharges red ink, are the same as the discharge unit 20 that discharges red ink. Thus, the ink is applied to the substrate 40. As a result, the color filter 50 formed by applying the red ink, the green ink, and the blue ink to the substrate 40 is produced. The produced color filter 50 is collected by the collection unit 27 of the transport device 26.

以上のような方法によれば、吐出手段20の基材40に対する一回の走査中に、一つの画素領域45に対して、少なくとも二つのノズル21を用いてインクを塗布しながら、この一回の走査によって当該一つの画素領域45に対するインクの塗布を完了することができる。   According to the method as described above, during one scan of the substrate 40 of the ejection unit 20, this one time is performed while applying ink to one pixel region 45 using at least two nozzles 21. Thus, the ink application to the one pixel region 45 can be completed.

一般的に、同一仕様のノズル21間においても、各ノズル21から吐出されるインクの一液滴分の液滴量は実際にはわずかに異なる。したがって、一つの画素領域45に対して一つのノズル21を用いてインクを塗布するとともに、インクを吐出するノズル21が画素領域45間において異る場合には、各ノズル21から同一液滴数だけインクを吐出された画素領域45間において、塗布されたインクの総量は異なってしまう。   In general, even between nozzles 21 of the same specification, the amount of one droplet of ink ejected from each nozzle 21 is actually slightly different. Therefore, when ink is applied to one pixel region 45 using one nozzle 21 and the nozzles 21 that eject ink differ between the pixel regions 45, the same number of droplets from each nozzle 21. The total amount of applied ink differs between the pixel areas 45 from which ink has been ejected.

これに対して、本実施の形態においては、異なるノズル群に属する少なくとも二つのノズル21から、各画素領域45に対し、インクが吐出されるようになっている。つまり、本実施の形態においては、一つの画素領域45に対して異なる複数のノズル21から、当該画素領域45に対してインクが塗布されるようになっている。このように、一つの画素領域45へインクを塗布するノズル21を分散させることにより、各ノズル21が吐出するインク一液滴の液滴量の相違に起因した各画素領域45に塗布されたインク総量のばらつきを、効果的に均一化させることができる。   In contrast, in the present embodiment, ink is ejected to each pixel region 45 from at least two nozzles 21 belonging to different nozzle groups. That is, in the present embodiment, ink is applied to the pixel region 45 from a plurality of different nozzles 21 for one pixel region 45. In this way, by dispersing the nozzles 21 that apply ink to one pixel region 45, the ink applied to each pixel region 45 due to the difference in the droplet amount of one ink droplet ejected by each nozzle 21. The variation in the total amount can be made uniform effectively.

また、上述のように、少なくとも二つのノズル21を用いてインクを塗布しながら、この一回の走査によって一つの画素領域45に対するインクの塗布を完了することができる。すなわち、本実施の形態によれば、画素領域45間でのインクの塗布量のバラツキを抑制しつつ、極めて効率的にインクを塗布していくことができる。これにより、基材40にインクを塗布してなるカラーフィルタの製造コストを大幅に低減することができる。   Further, as described above, the ink application to one pixel region 45 can be completed by this one scan while applying the ink using at least two nozzles 21. That is, according to the present embodiment, it is possible to apply ink very efficiently while suppressing variations in the amount of ink applied between the pixel regions 45. Thereby, the manufacturing cost of the color filter formed by applying ink to the substrate 40 can be significantly reduced.

とりわけ、各ノズル群N−G1〜N−G4に含まれる複数のノズル21が、他方向において、基材40のインクを塗布されるべき画素領域45に対向する全範囲に亘って配置されていれば、さらに都合がよい。すなわち、各ノズル群N−G1〜N−G4に含まれる複数のノズル21が、他方向において、基材40の塗布領域の全幅を覆う範囲に、配置されていることが好ましい。このようなノズル21の配列によれば、吐出手段20の基材40に対する一回の走査で基材40の全領域へのインクの塗布を完了することができる。このような塗布方法によれば、図1に示すように、いわゆるロールトゥロールによる、カラーフィルタ50の生産が可能となり、生産効率を大幅に向上させることができる。したがって、本実施の形態による塗布装置(カラーフィルタ製造装置)および塗布方法(カラーフィルタ製造方法)は、フィルム状の薄型基材40を用いたカラーフィルタ50の製造に極めて好適に適用され得る。   In particular, the plurality of nozzles 21 included in each of the nozzle groups N-G1 to N-G4 may be arranged over the entire range facing the pixel region 45 to which the ink of the base material 40 is to be applied in the other direction. More convenient. That is, it is preferable that the plurality of nozzles 21 included in each of the nozzle groups N-G1 to N-G4 are arranged in a range that covers the entire width of the application region of the base material 40 in the other direction. According to such an arrangement of the nozzles 21, the ink application to the entire region of the substrate 40 can be completed by a single scan of the ejection unit 20 with respect to the substrate 40. According to such a coating method, as shown in FIG. 1, the color filter 50 can be produced by so-called roll-to-roll, and the production efficiency can be greatly improved. Therefore, the coating apparatus (color filter manufacturing apparatus) and the coating method (color filter manufacturing method) according to the present embodiment can be very suitably applied to the manufacture of the color filter 50 using the thin film-like substrate 40.

(吐出液滴数を設定する第1の方法)
ここで、ノズル21の各々に対する液滴数(F1−1)〜(F4−n)の設定方法の例について説明する。まず、ノズル21の仕様に基づいて液滴数を設定する第1の方法について説明する。第1の設定方法においては、各ノズル21から吐出されるインクの一液滴分の液滴量が当該ノズル21の仕様通りの液滴量であると仮定する。そして、各ノズル21から一つの画素領域45に吐出されるインクの総量が当該画素領域45に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、画素領域45へ吐出すべきインクの液滴数が各ノズル21に対して算出される。具体的には、以下のようにして算出され得る。なお、本明細書における「目標量となるように(目標量と一致するように)」とは、目標量に完全に一致することだけでなく、目標量に近付くこと、例えば、目標量を含む許容範囲内となること等を含む。
(First method for setting the number of ejected droplets)
Here, an example of a method for setting the number of droplets (F1-1) to (F4-n) for each of the nozzles 21 will be described. First, a first method for setting the number of droplets based on the specifications of the nozzle 21 will be described. In the first setting method, it is assumed that the droplet amount of one droplet of ink ejected from each nozzle 21 is the droplet amount according to the specification of the nozzle 21. Then, the droplets of ink to be ejected to the pixel region 45 so that the total amount of ink ejected from each nozzle 21 to one pixel region 45 becomes the target amount of ink to be applied to the pixel region 45. A number is calculated for each nozzle 21. Specifically, it can be calculated as follows. In this specification, “to be a target amount (so as to match the target amount)” not only completely matches the target amount, but also approaches the target amount, for example, includes the target amount. Including being within the allowable range.

まず、一つの画素領域に塗布されるべきインク総量の目標量Wが特定される。そして、各ノズルから吐出されるインク一液滴分の液定量(Ws1−1)〜(Ws4−n)についての仕様(製品規格)が図5のようになっている場合には、例えば、画素領域R01については、以下の式を満たすように各ノズルに対する液適数を算出する。なお、以下の式において、「W01」は画素領域R01に塗布されるべきインクの目標総量である。   First, the target amount W of the total amount of ink to be applied to one pixel area is specified. Then, when the specifications (product standards) for liquid quantification (Ws1-1) to (Ws4-n) for one ink droplet ejected from each nozzle are as shown in FIG. For the region R01, an appropriate number of liquids for each nozzle is calculated so as to satisfy the following formula. In the following expression, “W01” is a target total amount of ink to be applied to the pixel region R01.

W01[ng]
=(Ws1−1)[ng/滴]×(F1−1)[滴]
+(Ws2−1)[ng/滴]×(F2−1)[滴]
+(Ws3−1)[ng/滴]×(F3−1)[滴]
+(Ws4−1)[ng/滴]×(F4−1)[滴]
同様に、例えば画素領域R33については、以下の式を満たすように各ノズルに対する液適数を算出する。なお、以下の式において、「W33」は画素領域R33に塗布されるべきインクの目標総量である。
W01 [ng]
= (Ws1-1) [ng / drop] x (F1-1) [drop]
+ (Ws2-1) [ng / drop] × (F2-1) [drop]
+ (Ws3-1) [ng / drop] × (F3-1) [drop]
+ (Ws4-1) [ng / drop] × (F4-1) [drop]
Similarly, for example, for the pixel region R33, an appropriate number of liquids for each nozzle is calculated so as to satisfy the following expression. In the following expression, “W33” is the target total amount of ink to be applied to the pixel region R33.

W33[ng]
=(Ws1−7)[ng/滴]×(F1−7)[滴]
+(Ws2−7)[ng/滴]×(F2−7)[滴]
+(Ws3−7)[ng/滴]×(F3−7)[滴]
+(Ws4−7)[ng/滴]×(F4−7)[滴]
他の画素領域45に対しても、同様にして、当該画素領域45へのインクの塗布に用いられるノズル21の吐出液滴数を算出してくことができる。
W33 [ng]
= (Ws1-7) [ng / drop] x (F1-7) [drop]
+ (Ws2-7) [ng / drop] × (F2-7) [drop]
+ (Ws3-7) [ng / drop] × (F3-7) [drop]
+ (Ws4-7) [ng / drop] × (F4-7) [drop]
Similarly, the number of droplets ejected from the nozzle 21 used for applying ink to the pixel region 45 can be calculated for the other pixel regions 45.

一具体例として、画素領域45に塗布されるべきインクの総量がすべて1000[ng]であり、ノズル21から吐出されるインクの一液滴分の液滴量が、ノズルに対する仕様において、すべて25[ng/滴]である場合には、図6に示すように、各ノズルから吐出されるインクの液滴数をすべて10[滴]に設定することができる。   As a specific example, the total amount of ink to be applied to the pixel region 45 is all 1000 [ng], and the amount of droplets for one droplet of ink ejected from the nozzle 21 is all 25 in the specification for the nozzle. In the case of [ng / droplet], the number of ink droplets ejected from each nozzle can be set to 10 [droplets] as shown in FIG.

なお、以上の説明においては、インクの量が重さ[ng]に関する情報により特定される例を説明したが、これに限られない。例えば、インク量が、膜厚に関する情報(画素領域内平均膜厚)、色度に関する情報(画素領域内色度)、体積に関する情報(画素領域内体積)、最大膜厚に関する情報(画素領域内最大膜厚)、および、輝度に関する情報(画素領域内輝度)等のいずれかによって特定されるようにしてもよい。   In the above description, an example in which the amount of ink is specified by information on the weight [ng] has been described, but the present invention is not limited to this. For example, the ink amount is information on the film thickness (average film thickness in the pixel area), information on the chromaticity (chromaticity in the pixel area), information on the volume (volume in the pixel area), information on the maximum film thickness (in the pixel area) (Maximum film thickness), information on luminance (luminance in the pixel area), and the like may be specified.

ここで、画素領域内平均膜厚は、一つの画素領域45に塗布されるべきインクの目標量を、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域45内における平均膜厚として、示した情報である。この平均膜厚は、例えば、電子顕微鏡を用いて対象となる画素領域45内に形成された着色層の厚さ(高さ)を当該画素領域45内の各位置において計測し、さらに、計測された厚さ(高さ)の平均値をとることによって、算出され得る。画素領域内色度は、一つの画素領域45に塗布されるべきインクの目標量を、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層の色度として、示した情報である。なお、この色度は、光源にC光源を用いたときのxyY表色系による色座標xまたはyの計測より求められる値とすることができる。   Here, the average film thickness in the pixel area is the average film in the pixel area 45 of the colored layer made of the ink applied to the one pixel area 45, based on the target amount of ink to be applied to one pixel area 45. Information shown as thickness. This average film thickness is measured, for example, by measuring the thickness (height) of the colored layer formed in the target pixel region 45 at each position in the pixel region 45 using an electron microscope. It can be calculated by taking the average value of the thicknesses (heights). The in-pixel region chromaticity is information indicating the target amount of ink to be applied to one pixel region 45 as the chromaticity of a colored layer made of ink applied to one pixel region 45. In addition, this chromaticity can be made into the value calculated | required by the measurement of the color coordinate x or y by an xyY color system when using C light source as a light source.

また、体積に関する情報(画素領域内体積)は、一つの画素領域45に塗布されるべきインクの目標量を、当該画素領域45内に吐出されたインクの総体積として、示した情報である。最大膜厚に関する情報(画素領域内最大膜厚)は、一つの画素領域45に塗布されるべきインクの目標量を、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層の最大膜厚として、示した情報である。輝度に関する情報(画素領域内輝度)は、一つの画素領域45に塗布すべきインクの目標量を、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層での輝度として、示した情報である。なお、本件における輝度は、光源にC光源を用いたときのxyY表色系による色座標Yの計測より求められる値とすることができる。   The volume information (volume in the pixel area) is information indicating the target amount of ink to be applied to one pixel area 45 as the total volume of ink ejected in the pixel area 45. Information on the maximum film thickness (maximum film thickness in the pixel area) is obtained by setting the target amount of ink to be applied to one pixel area 45 as the maximum film thickness of a colored layer made of ink applied to one pixel area 45. This is the information shown. Information on luminance (in-pixel area luminance) is information indicating the target amount of ink to be applied to one pixel area 45 as the luminance in a colored layer made of ink applied to one pixel area 45. . In addition, the brightness | luminance in this case can be made into the value calculated | required from the measurement of the color coordinate Y by xyY color system when C light source is used for a light source.

なお、以下において説明する液適数の第2および第3の設定方法においても、第1の設定方法と同様に、インクの量が重さ[ng]に関する情報以外の情報により特定されるようにしてもよい。   In the second and third setting methods of the appropriate number of liquids described below, the amount of ink is specified by information other than information on the weight [ng], as in the first setting method. May be.

(吐出液滴数を設定する第2の方法)
次に、ノズル21の各々に対して液滴数(F1−1)〜(F4−n)を設定する第2の方法について説明する。第2の設定方法においては、各ノズル21から吐出されるインクの一液滴分の液滴量が予め計測されている。すなわち、予め計測された各ノズル21から吐出される一液滴分の液滴量を考慮して、各ノズル21から一つの画素領域45に吐出されるインクの総量が当該画素領域45に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、画素領域45へ吐出すべきインクの液滴数が各ノズル21に対して算出される。具体的には、以下のようにして算出され得る。
(Second method for setting the number of ejected droplets)
Next, a second method for setting the number of droplets (F1-1) to (F4-n) for each nozzle 21 will be described. In the second setting method, the droplet amount of one droplet of ink ejected from each nozzle 21 is measured in advance. That is, the total amount of ink ejected from each nozzle 21 to one pixel region 45 is calculated with respect to the pixel region 45 in consideration of the droplet amount of one droplet ejected from each nozzle 21 measured in advance. The number of ink droplets to be ejected to the pixel region 45 is calculated for each nozzle 21 so that the target amount of ink to be applied is reached. Specifically, it can be calculated as follows.

まず、一つの画素領域45に塗布されるべきインク総量の目標量Wが特定される。そして、各ノズル21から吐出されるインク一液滴分の液定量(Wr1−1)〜(Wr4−n)の実測値が図5のようになっている場合には、例えば、画素領域R01については、以下の式を満たすように各ノズルに対する液適数を算出する。なお、以下の式において、「W01」は画素領域R01に塗布されるべきインクの目標総量である。   First, the target amount W of the total amount of ink to be applied to one pixel region 45 is specified. Then, when the measured values of the liquid quantification (Wr1-1) to (Wr4-n) for one ink droplet ejected from each nozzle 21 are as shown in FIG. 5, for example, for the pixel region R01. Calculates the appropriate number of liquids for each nozzle so as to satisfy the following equation. In the following expression, “W01” is a target total amount of ink to be applied to the pixel region R01.

W01[ng]
=(Wr1−1)[ng/滴]×(F1−1)[滴]
+(Wr2−1)[ng/滴]×(F2−1)[滴]
+(Wr3−1)[ng/滴]×(F3−1)[滴]
+(Wr4−1)[ng/滴]×(F4−1)[滴]
同様に、例えば画素領域R33については、以下の式を満たすように各ノズルに対する液適数を算出する。なお、以下の式において、「W33」は画素領域R33に塗布されるべきインクの目標総量である。
W01 [ng]
= (Wr1-1) [ng / drop] x (F1-1) [drop]
+ (Wr2-1) [ng / drop] × (F2-1) [drop]
+ (Wr3-1) [ng / drop] × (F3-1) [drop]
+ (Wr4-1) [ng / drop] × (F4-1) [drop]
Similarly, for example, for the pixel region R33, an appropriate number of liquids for each nozzle is calculated so as to satisfy the following expression. In the following expression, “W33” is the target total amount of ink to be applied to the pixel region R33.

W33[ng]
=(Wr1−7)[ng/滴]×(F1−7)[滴]
+(Wr2−7)[ng/滴]×(F2−7)[滴]
+(Wr3−7)[ng/滴]×(F3−7)[滴]
+(Wr4−7)[ng/滴]×(F4−7)[滴]
他の画素領域45に対しても、同様にして、当該画素領域45へのインクの塗布に用いられるノズル21の吐出液滴数を算出してくことができる。
W33 [ng]
= (Wr1-7) [ng / drop] x (F1-7) [drop]
+ (Wr2-7) [ng / drop] × (F2-7) [drop]
+ (Wr3-7) [ng / drop] x (F3-7) [drop]
+ (Wr4-7) [ng / drop] × (F4-7) [drop]
Similarly, the number of droplets ejected from the nozzle 21 used for applying ink to the pixel region 45 can be calculated for the other pixel regions 45.

ところで、一般的に、ノズル21から連続してインクを吐出する場合、吐出されるインクの一液滴分の液滴量は吐出初期において大きく変動し得り、その後、一液滴分の液滴量は安定するようになる(例えば、図7参照)。したがって、予め計測される各ノズル21から吐出されるインク一液滴分の液滴量は、液滴量が大きく変動し得る吐出初期を経過した後に吐出される一液滴分の液滴量として計測されていることが好ましい。この点は、以下において説明する吐出液滴数の第3の設定方法においても同様にあてはまる。   By the way, in general, when ink is continuously ejected from the nozzle 21, the amount of droplets for one droplet of ink to be ejected can fluctuate greatly at the initial stage of ejection, and thereafter, the droplet for one droplet is discharged. The amount becomes stable (see, eg, FIG. 7). Accordingly, the droplet amount for one ink droplet ejected from each nozzle 21 measured in advance is the droplet amount for one droplet ejected after the initial stage of ejection in which the droplet amount can vary greatly. It is preferably measured. This also applies to the third method for setting the number of ejected droplets described below.

具体的な方法として、対象となるノズル21から所定の回数を超える回数だけ連続して吐出された複数液滴の総重量を計測し、計測値から一液滴分の平均液滴量を算出することによって、ノズル21毎に設定される一液滴分の液滴量を求めることができる。ここで「所定の回数」を、一液滴分の液滴量が大きく変動し得る吐出初期における吐出回数を大きく超える回数(例えば10万発)に設定することにより、吐出初期における液滴量のばらつきの影響を十分に排除することができるようなる。なお、この計測方法においては、例えば、電子天秤等の測定機器を用いて連続して吐出された複数液滴のインクの総量を測定することができる。   As a specific method, the total weight of a plurality of droplets ejected continuously from the target nozzle 21 a predetermined number of times is measured, and the average droplet amount for one droplet is calculated from the measured value. As a result, the amount of droplets for one droplet set for each nozzle 21 can be obtained. Here, by setting the “predetermined number of times” to a number (for example, 100,000 shots) that greatly exceeds the number of ejections at the initial stage of ejection in which the amount of droplets for one droplet can vary greatly, The influence of variation can be sufficiently eliminated. In this measurement method, for example, the total amount of a plurality of droplets of ink ejected continuously using a measuring device such as an electronic balance can be measured.

また、別の計測方法として、撥インク基材上の一つの画素領域に計測対象となるノズルからインク液滴を実際に吐出し、一液滴分の液滴量を計測することもできる。このような計測方法によれば、一液滴分の液滴量を、吐出されたインクの重量としてだけでなく、吐出されたインクの体積、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域45内における平均膜厚、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域45内における最大膜厚、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層の色度、あるいは、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層での輝度として計測することができる。   As another measurement method, it is also possible to actually eject ink droplets from a nozzle to be measured onto one pixel region on the ink repellent substrate and measure the droplet amount for one droplet. According to such a measuring method, the amount of droplets for one droplet is not only the weight of the ejected ink, but also the volume of the ejected ink and the color composed of the ink applied to one pixel region 45. The average film thickness in the pixel area 45 of the layer, the maximum film thickness in the pixel area 45 of the colored layer made of ink applied to one pixel area 45, and the color made of ink applied to one pixel area 45 It can be measured as the chromaticity of the layer or the luminance in the colored layer made of ink applied to one pixel region 45.

基材40上の画素領域45に実際にインクを吐出して一液滴分の液滴量を計測する方法の一例として、液滴が当該ノズル21から所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される一液滴の液滴量を計測することにより、一液滴分の液滴量を求めることができる。ここで「所定の回数」を、一液滴分の液滴量が大きく変動し得る吐出初期における吐出回数を超える回数に設定し、且つ、ノズルの仕様に基づいて予想される吐出液滴数(上述の第1の設定方法で算出される液滴数)の近傍の値であることがさらに好ましい。   As an example of a method of actually ejecting ink to the pixel region 45 on the substrate 40 and measuring the amount of droplets for one droplet, after droplets are continuously ejected from the nozzle 21 a predetermined number of times. By measuring the amount of one droplet that is continuously ejected, the amount of one droplet can be obtained. Here, the “predetermined number of times” is set to a number exceeding the number of discharges at the initial stage of discharge where the amount of droplets for one droplet can vary greatly, and the number of droplets expected to be ejected based on the nozzle specifications ( More preferably, the value is in the vicinity of the number of droplets calculated by the first setting method described above.

具体的には、一つの画素領域45に9液滴だけ吐出した場合における当該画素領域45に塗布されたインクの総量と、一つの画素領域45に10液滴だけ吐出した場合における当該画素領域45に塗布されたインクの総量と、の差から一液滴分の液滴量を計測することができる。あるいは、他の例として、液滴が当該ノズル21から所定の回数だけ連続して吐出された後に引き続き連続して吐出される複数液滴の平均液滴量を計測することにより、一液滴分の液滴量を求めることもできる。例えば、一つの画素領域45に9液滴だけ吐出した場合における当該画素領域45に塗布されたインクの総量と、一つの画素領域45に11液滴だけ吐出した場合における当該画素領域45に塗布されたインクの総量と、の差から一液滴分の液滴量を計測することができる。上述したように、基材40の画素領域45に塗布されたインクの総量は、重量としてだけでなく、例えば、体積として、インクからなる着色層の平均膜厚として、インクからなる着色層の最大膜厚として、インクからなる着色層の色度として、あるいは、インクからなる着色層の輝度として、計測され得る。   Specifically, the total amount of ink applied to the pixel area 45 when only 9 droplets are ejected to one pixel area 45 and the pixel area 45 when only 10 droplets are ejected to one pixel area 45. The amount of one droplet can be measured from the difference between the total amount of ink applied to the ink. Alternatively, as another example, by measuring the average droplet amount of a plurality of droplets that are continuously discharged after the droplets are continuously discharged from the nozzle 21 a predetermined number of times, It is also possible to determine the amount of droplets. For example, when only 9 droplets are ejected to one pixel region 45, the total amount of ink applied to the pixel region 45 is applied to the pixel region 45 when only 11 droplets are ejected to one pixel region 45. It is possible to measure the amount of one droplet from the difference between the total amount of ink. As described above, the total amount of ink applied to the pixel region 45 of the substrate 40 is not only as a weight, but as a volume, for example, as an average film thickness of a colored layer made of ink, and as a maximum of a colored layer made of ink. The film thickness can be measured as the chromaticity of the colored layer made of ink or as the luminance of the colored layer made of ink.

なお、各ノズル21から吐出される一液滴分の液滴量を計測する際には、計測対象となるノズル以外のノズルからも、カラーフィルタを実際に製造する場合の塗布動作と同様にして、インクが吐出されることが望ましい。隣接ノズルからのインクの吐出の有無に起因した一液滴分の液滴量の変動、いわゆるクロストーク現象による影響を排除するためである。したがって、計測ノズル以外のノズルからのインクの吐出は、カラーフィルタを実際に製造する際における吐出と可能な限り同一であることが好ましい。   Note that when measuring the amount of one droplet discharged from each nozzle 21, it is the same as the application operation when actually manufacturing a color filter from nozzles other than the nozzle to be measured. It is desirable that ink be ejected. This is to eliminate the influence of the so-called crosstalk phenomenon, which is a variation in the amount of one droplet caused by the presence or absence of ink ejection from the adjacent nozzle. Therefore, it is preferable that the ink ejection from the nozzles other than the measurement nozzle is as much as possible as the ejection when the color filter is actually manufactured.

以上のような第2の設定方法によって吐出液滴数を算出する場合、上述した第1の設定方法によって得られる効果に加え、以下の効果をさらに期待することができる。   In the case of calculating the number of ejected droplets by the second setting method as described above, the following effects can be further expected in addition to the effects obtained by the first setting method described above.

一つの画素領域45に対して同一仕様のノズル21からインクが吐出され、且つ、各ノズル21から吐出される一液滴分の液滴量が不知である場合、当該画素領域45に塗布されるインク総量の調整は、ノズル21から吐出されるインクの液滴数の増減にのみよって実施される。したがって、インク総量の調整可能な最小量は、ノズル21から吐出されるインク一液滴分の液滴量となる。しかしながら、一つの画素領域45に塗布するインクの目標量を1000ngとする場合、画素領域45毎に均一な塗布量とするためには、各画素領域45における実際のインク塗布量を目標量±3ng(997ng〜1003ng)程度に制御することが望ましい。そして、一つの画素領域45に対して、一液滴当たりのインク量が25ng程度の単一のノズル21からインク吐出を行う場合には、±25ngの整数倍程度で画素領域45におけるインク塗布量を調整することしかできない。このため、画素領域45毎の塗布量を十分に均一化させることができない。   When ink is ejected from one nozzle 21 having the same specification to one pixel region 45 and the amount of one droplet ejected from each nozzle 21 is unknown, it is applied to the pixel region 45. The adjustment of the total amount of ink is performed only by increasing or decreasing the number of ink droplets ejected from the nozzle 21. Therefore, the minimum adjustable amount of the total ink amount is a droplet amount corresponding to one ink droplet ejected from the nozzle 21. However, when the target amount of ink applied to one pixel region 45 is 1000 ng, in order to obtain a uniform application amount for each pixel region 45, the actual ink application amount in each pixel region 45 is the target amount ± 3 ng. It is desirable to control to about (997 ng to 1003 ng). When ink is ejected from a single nozzle 21 having an ink amount per droplet of about 25 ng to one pixel region 45, the ink application amount in the pixel region 45 is an integer multiple of ± 25 ng. Can only be adjusted. For this reason, the coating amount for each pixel region 45 cannot be made sufficiently uniform.

これに対して、上述した吐出液滴数の第2の設定方法によれば、複数のノズル21のうちの一つのノズル21から吐出されるインクの液滴数を一回分だけ増加させるとともに、他のノズル21から吐出されるインクの液滴数を一回分だけ減少させることにより、一つのノズル21から吐出される一液滴分の液滴量(例えば、26ng)と、他のノズル21から吐出される一液滴分の液滴量(例えば、24ng)と、の差に相当するインク量(2ng=26ng−24ng)だけ、当該画素領域45に塗布される総インク量を増減させることができる。したがって、各ノズル21が吐出する一液滴の液滴量の差に相当する量で、一つの画素領域45へのインクの塗布量を調整していくことができる。そして、各ノズル21が吐出する液滴の液滴量の相違に起因した画素領域45のインク塗布量のばらつきを、理論的には、解消することができる。   On the other hand, according to the second method for setting the number of ejected droplets, the number of ink droplets ejected from one nozzle 21 of the plurality of nozzles 21 is increased by one time. By reducing the number of ink droplets ejected from one nozzle 21 by one time, the amount of one droplet ejected from one nozzle 21 (for example, 26 ng) and ejection from other nozzles 21 The total ink amount applied to the pixel region 45 can be increased or decreased by an ink amount (2 ng = 26 ng−24 ng) corresponding to the difference between the amount of droplets (for example, 24 ng) for one droplet to be applied. . Therefore, the amount of ink applied to one pixel region 45 can be adjusted by an amount corresponding to the difference in the amount of one droplet discharged from each nozzle 21. In theory, the variation in the amount of ink applied to the pixel region 45 due to the difference in the amount of droplets ejected by each nozzle 21 can be eliminated.

(吐出液滴数を設定する第3の方法)
次に、ノズル21の各々に対して液滴数(F1−1)〜(F4−n)を設定する第3の方法について説明する。この第3の設定方法においても、第2の設定方法と同様にして、各ノズル21から吐出されるインクの一液滴分の液滴量が予め計測されている。
(Third method for setting the number of ejected droplets)
Next, a third method for setting the number of droplets (F1-1) to (F4-n) for each of the nozzles 21 will be described. Also in the third setting method, as in the second setting method, the droplet amount of one droplet of ink ejected from each nozzle 21 is measured in advance.

インクの液滴数を設定する第3の方法は、各画素領域45に対して塗布されるべきインクの目標量を考慮して、各画素領域45へのインクの塗布に用いられる複数のノズル21の各々に対し、当該各画素領域45へ吐出すべきインクの標準液滴数を設定する第1工程と、一つの画素領域45へのインクの塗布に用いられる複数のノズル21の各々から、当該ノズル21に対して設定された標準液滴数だけ、インクを吐出し、当該複数のノズル21から吐出されたインクの総量を標準インク量として計測する第2工程と、予め計測された各ノズル21から吐出される一液滴分の液滴量と、計測された標準インク量と、を考慮して、各画素領域45へ吐出されるべきインクの液滴数が複数のノズル21の各々に対して算出される第3工程と、を含んでいる。以下において、第1工程から順に各工程についてさらに説明していく。   In the third method of setting the number of ink droplets, a plurality of nozzles 21 used for applying ink to each pixel region 45 in consideration of the target amount of ink to be applied to each pixel region 45. From each of a plurality of nozzles 21 used for applying ink to one pixel region 45, a first step of setting a standard number of ink droplets to be ejected to each pixel region 45 A second step of ejecting ink by the number of standard droplets set for the nozzle 21 and measuring the total amount of ink ejected from the plurality of nozzles 21 as a standard ink amount, and each nozzle 21 measured in advance The number of ink droplets to be ejected to each pixel region 45 is determined with respect to each of the plurality of nozzles 21 in consideration of the droplet amount for one droplet ejected from the nozzle and the measured standard ink amount. A third step calculated by They are out. Hereinafter, each step will be further described in order from the first step.

第1工程では、図8に示すように、各画素領域45へのインクの塗布に用いられる複数のノズル21の各々に対して、標準液適数(Fb1−1)〜(Fb4−n)が設定される。この際、一つの画素領域45へインクを塗布する複数のノズル21の各々から、当該ノズル21に対して設定された標準液滴数だけ、インクを吐出した場合に、複数のノズル21からそれぞれ吐出されたインクの総量が、当該一つの画素領域45に塗布されるべきインクの目標量となるように、標準液滴数が設定されることが好ましい。なお、上述したように、「目標量となるように」とは、目標量に完全に一致することだけでなく、目標量に近付くこと、例えば、目標量を含む許容範囲内となること等を含む。   In the first step, as shown in FIG. 8, an appropriate number of standard solutions (Fb1-1) to (Fb4-n) are provided for each of the plurality of nozzles 21 used for applying ink to each pixel region 45. Is set. At this time, when ink is ejected from each of the plurality of nozzles 21 that apply ink to one pixel region 45 by the number of standard droplets set for the nozzle 21, the ink is ejected from each of the plurality of nozzles 21. It is preferable that the number of standard droplets is set so that the total amount of ink that is applied becomes the target amount of ink to be applied to the one pixel region 45. As described above, “to be the target amount” not only means that the target amount is completely matched, but also means that the target amount is approached, for example, it is within an allowable range including the target amount. Including.

例えば、上述した第1の液適数の設定方法で説明したように、各ノズル21から吐出されるインクの一液滴分の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量(Ws1−1)〜(Ws4−n)であると仮定し、一つの画素領域45へのインクの塗布に用いられる複数のノズル21から吐出されるインクの総量が当該画素領域45に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各画素領域45へのインクの塗布に用いられる複数のノズル21の各々に対して標準液滴数が算出されるようにしてもよい。また、上述した第2の液滴数の設定方法で説明したように、予め計測された各ノズル21から吐出される一液滴分の液滴量(Wr1−1)〜(Wr4−n)を考慮し、一つの画素領域45へのインクの塗布に用いられる複数のノズル21から吐出されるインクの総量が当該画素領域45に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各画素領域45へのインクの塗布に用いられる複数のノズル21の各々に対して標準液滴数が算出されるようにしてもよい。   For example, as described in the first method for setting the appropriate number of liquids, the droplet amount of one droplet of ink ejected from each nozzle 21 is the droplet amount (Ws1-1) according to the specifications of the nozzle. ) To (Ws4-n), and the total amount of ink ejected from the plurality of nozzles 21 used to apply ink to one pixel region 45 is to be applied to the pixel region 45 The number of standard droplets may be calculated for each of the plurality of nozzles 21 used for applying ink to each pixel region 45 so that the target amount becomes the target amount. In addition, as described in the second method for setting the number of droplets, the droplet amounts (Wr1-1) to (Wr4-n) for one droplet ejected from each nozzle 21 measured in advance are set. In consideration of each pixel, the total amount of ink ejected from the plurality of nozzles 21 used for applying ink to one pixel region 45 becomes the target amount of ink to be applied to the pixel region 45. The standard number of droplets may be calculated for each of the plurality of nozzles 21 used for applying ink to the region 45.

ところで、各ノズル21に対する標準液滴数は、予め設定された値以上に設定されることが好ましい。ここでいう予め設定された値とは、吐出開始時におけるインクの液滴量のばらつきを考慮して決定される値である(図7参照)。一例として、ノズル21から連続して吐出されるインクの一液滴分の液滴量が安定すると一般的に考えられている4以上に、標準液滴数を設定することが好ましい。すなわち、一液滴分の液滴量が安定するようになるまで液滴がノズル21から吐出されるように、標準液滴数を設定することが好ましい。   By the way, it is preferable that the standard number of droplets for each nozzle 21 is set to be equal to or greater than a preset value. The preset value here is a value determined in consideration of variations in the amount of ink droplets at the start of ejection (see FIG. 7). As an example, it is preferable to set the number of standard droplets to 4 or more, which is generally considered that the amount of droplets of one droplet of ink continuously ejected from the nozzle 21 is stable. That is, it is preferable to set the standard number of droplets so that the droplets are ejected from the nozzle 21 until the droplet amount for one droplet becomes stable.

次に、第2工程として、各画素領域45に対しての標準インク量Wbが計測される。標準インク量は、上述したように、一つの画素領域45にインクを吐出する複数のノズル21の各々から当該ノズル21に対して設定された標準液滴数だけインクを吐出した場合における、複数のノズル21から吐出されたインクの総量である。   Next, as a second step, the standard ink amount Wb for each pixel region 45 is measured. As described above, the standard ink amount is a plurality of inks when the ink is ejected from each of the plurality of nozzles 21 that eject ink to one pixel region 45 by the number of standard droplets set for the nozzle 21. This is the total amount of ink ejected from the nozzle 21.

すなわち、この第2工程では、一つの画素領域45にインクを塗布する複数のノズル21の各々から、当該ノズル21に対して設定された標準液滴数だけインクを吐出し、吐出されたインクの総量を実際に計測する。ただし、吐出されたインク総量の計測は、電子天秤等の測定機器を用いて行われ得り、インクを必ずしも基材40上に吐出する必要はない。   That is, in this second step, ink is ejected from each of the plurality of nozzles 21 that apply ink to one pixel region 45 by the number of standard droplets set for the nozzle 21, and the discharged ink Actually measure the total amount. However, the total amount of ink ejected can be measured using a measuring device such as an electronic balance, and it is not always necessary to eject ink onto the substrate 40.

しかしながら、別の計測方法として、撥インク基材上の一つの画素領域45に、対象となる複数のノズル21の各々から、当該ノズル21に対して設定された標準液滴数だけインクを実際に吐出し、一つの画素領域45内に塗布されたインクの総量を計測するようにしてもよい。このような計測方法によれば、インクの総量(標準インク量)を、吐出されたインクの体積、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域45内における平均膜厚、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層の当該画素領域45内における最大膜厚、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層の色度、あるいは、一つの画素領域45に塗布されたインクからなる着色層での輝度として計測することができる。   However, as another measurement method, ink is actually applied to one pixel region 45 on the ink-repellent substrate from each of the target nozzles 21 by the number of standard droplets set for the nozzle 21. The total amount of ink ejected and applied in one pixel region 45 may be measured. According to such a measuring method, the total amount of ink (standard ink amount) is determined based on the volume of ejected ink and the average film thickness in the pixel region 45 of the colored layer made of ink applied to one pixel region 45. The maximum thickness of the colored layer made of ink applied to one pixel region 45 in the pixel region 45, the chromaticity of the colored layer made of ink applied to one pixel region 45, or one pixel region It can be measured as the luminance in the colored layer made of the ink applied to 45.

なお、図示する例においては、同一の画素列(例えば、画素領域R01,R11,R21,R31,・・・を含む画素例)に含まれる各画素領域45に対して、同一のノズル21を用いてインクが吐出される。したがって、同一画素列に含まれる各画素領域45に塗布されるべきインクの目標量が同一であれば、図8に示すように、且つ、各ノズル21に対して同一の標準液滴数が設定され得る。そして、各ノズル21に対して設定された標準液滴数が同一であれば、理論的には、同一画素列に属する画素領域45に対する標準インク量は同一の値として設定される。このような同一画素列に属する複数の画素領域45に対する標準インク量の測定は、同一画素列内の一つの画素領域45に対して計測されるようにしてもよいし、あるいは、同一画素列内の複数の画素領域に対して計測された複数の計測値の平均値としてもよい。   In the illustrated example, the same nozzle 21 is used for each pixel region 45 included in the same pixel row (for example, pixel examples including the pixel regions R01, R11, R21, R31,...). Ink is discharged. Therefore, if the target amount of ink to be applied to each pixel region 45 included in the same pixel column is the same, the same standard droplet number is set for each nozzle 21 as shown in FIG. Can be done. If the number of standard droplets set for each nozzle 21 is the same, theoretically, the standard ink amounts for the pixel regions 45 belonging to the same pixel column are set to the same value. The measurement of the standard ink amount for the plurality of pixel regions 45 belonging to the same pixel column may be measured for one pixel region 45 in the same pixel column, or within the same pixel column. It is good also as an average value of the some measured value measured with respect to these several pixel area | regions.

また、標準インク量を計測する際には、計測対象となるノズル以外のノズルからも、カラーフィルタ50を実際に製造する場合の塗布動作と同様にして、インクが吐出されることが望ましい。隣接ノズルからのインクの吐出の有無に起因した一液滴分の液滴量の変動、いわゆるクロストーク現象による影響を解消するためである。したがって、計測ノズル以外のノズルからのインクの吐出は、カラーフィルタ50を実際に製造する際における吐出と可能な限り同一であることが好ましい。   Further, when measuring the standard ink amount, it is desirable that ink is ejected from nozzles other than the nozzle to be measured in the same manner as the application operation in the case of actually manufacturing the color filter 50. This is in order to eliminate the influence of the so-called crosstalk phenomenon caused by fluctuations in the amount of one droplet caused by the presence or absence of ink ejection from adjacent nozzles. Therefore, it is preferable that the ejection of ink from nozzles other than the measurement nozzle is as identical as possible to the ejection when the color filter 50 is actually manufactured.

次に、第3工程として、ノズル21毎に予め計測された一液滴分の液滴量(Wr1−1)〜(Wr4−n)と、画素領域毎に計測された標準インク量Wbと、一つの画素領域45に塗布されるべきインク総量の目標量Wと、を考慮し、一つの画素領域45にインクを塗布する複数のノズル21から吐出されるインクの総量が目標量となるように、一つの画素領域45へ吐出すべきインクの液滴数を複数のノズル21の各々に対して算出する。   Next, as a third step, the droplet amount (Wr1-1) to (Wr4-n) for one droplet measured in advance for each nozzle 21, the standard ink amount Wb measured for each pixel region, Considering the target amount W of the total amount of ink to be applied to one pixel region 45, the total amount of ink ejected from the plurality of nozzles 21 that apply ink to one pixel region 45 becomes the target amount. The number of ink droplets to be ejected to one pixel region 45 is calculated for each of the plurality of nozzles 21.

一具体例として、まず、一つの画素領域45内へ塗布されるべきインクの目標量Wと、標準インク量Wbと、を対比し、標準インク量Wbと目標量Wとの差を算出する。この標準インク量Wbと目標量Wとの差を埋めるように、複数のノズル21の各々に対して設定された標準液滴数を増減させる。標準液滴数を増減は、複数のノズル21の各々に対して予め実測された一液滴分の液滴量(Wr1−1)〜(Wr4−n)を考慮して行われる。   As a specific example, first, a target amount W of ink to be applied in one pixel region 45 is compared with a standard ink amount Wb, and a difference between the standard ink amount Wb and the target amount W is calculated. In order to fill the difference between the standard ink amount Wb and the target amount W, the number of standard droplets set for each of the plurality of nozzles 21 is increased or decreased. The increase / decrease in the number of standard droplets is performed in consideration of the droplet amounts (Wr1-1) to (Wr4-n) of one droplet actually measured for each of the plurality of nozzles 21.

各ノズル21から吐出されるインク一液滴分の液定量(Wr1−1)〜(Wr4−n)の実測値が図5のようになっている場合には、例えば、画素領域R01については、以下の式を満たすように各ノズルに対する液適数を算出する。なお、以下の式において、「W01」は画素領域R01に対して塗布されるべきインクの目標量であり、「Wb01」は画素領域R01に対して計測された標準インク量である。   When the measured values of the liquid quantification (Wr1-1) to (Wr4-n) for one ink droplet ejected from each nozzle 21 are as shown in FIG. 5, for example, for the pixel region R01, The appropriate number of liquids for each nozzle is calculated so as to satisfy the following formula. In the following expression, “W01” is a target amount of ink to be applied to the pixel region R01, and “Wb01” is a standard ink amount measured for the pixel region R01.

W01[ng]−Wb01[ng/画素]
=Wr1−1[ng/滴]×((F1−1)[滴]−(Fb1−1)[滴])
+Wr2−1[ng/滴]×((F2−1)[滴]−(Fb2−1)[滴])
+Wr3−1[ng/滴]×((F3−1)[滴]−(Fb3−1)[滴])
+Wr4−1[ng/滴]×((F4−1)[滴]−(Fb4−1)[滴])
同様に、例えば画素領域R33については、以下の式を満たすように各ノズルに対する液適数を算出する。なお、以下の式において、「W33」は画素領域R33に対して塗布されるべきインクの目標量であり、「Wb33」は画素領域R33に対して計測された標準インク量である。
W01 [ng] -Wb01 [ng / pixel]
= Wr1-1 [ng / drop] × ((F1-1) [drop]-(Fb1-1) [drop]]
+ Wr2-1 [ng / drop] × ((F2-1) [drop]-(Fb2-1) [drop]]
+ Wr3-1 [ng / drop] × ((F3-1) [drop]-(Fb3-1) [drop])
+ Wr4-1 [ng / drop] × ((F4-1) [drop]-(Fb4-1) [drop]]
Similarly, for example, for the pixel region R33, an appropriate number of liquids for each nozzle is calculated so as to satisfy the following expression. In the following expression, “W33” is a target amount of ink to be applied to the pixel region R33, and “Wb33” is a standard ink amount measured for the pixel region R33.

W[ng]−Wb33[ng/画素]
=Wr1−7[ng/滴]×((F1−7)[滴]−(Fb1−7)[滴])
+Wr2−7[ng/滴]×((F2−7)[滴]−(Fb2−7)[滴])
+Wr3−7[ng/滴]×((F3−7)[滴]−(Fb3−7)[滴])
+Wr4−7[ng/滴]×((F4−7)[滴]−(Fb4−7)[滴])
他の画素領域45に対しても、同様にして、当該画素領域45へのインクの塗布に用いられるノズル21の吐出液滴数を算出してくことができる。一具体例として、図9に示すように、各ノズル21から吐出されるインクの液滴数を設定することができる。
W [ng] -Wb33 [ng / pixel]
= Wr1-7 [ng / drop] x ((F1-7) [drop]-(Fb1-7) [drop])
+ Wr2-7 [ng / drop] × ((F2-7) [drop]-(Fb2-7) [drop]]
+ Wr3-7 [ng / drop] × ((F3-7) [drop]-(Fb3-7) [drop]]
+ Wr4-7 [ng / drop] × ((F4-7) [drop]-(Fb4-7) [drop]]
Similarly, the number of droplets ejected from the nozzle 21 used for applying ink to the pixel region 45 can be calculated for the other pixel regions 45. As a specific example, as shown in FIG. 9, the number of ink droplets ejected from each nozzle 21 can be set.

以上のような第3の設定方法によって吐出液滴数を算出する場合、上述した第1の設定方法によって得られる効果および第2の設定方法によって得られる効果に加え、以下の効果をさらに期待することができる。   When calculating the number of ejected droplets by the third setting method as described above, in addition to the effects obtained by the first setting method and the effects obtained by the second setting method, the following effects are further expected. be able to.

上述してきたように、ノズル21から連続してインクを吐出する場合、吐出されるインクの一液滴分の液滴量は変動することがある。また、変動挙動はノズル21間で異なる。ただし、典型的には、図7に示すように、インクの一液滴分の液滴量は、吐出初期において大きく変動し、吐出回数が一定の回数、例えば3回を超えると、安定するようになる。   As described above, when ink is ejected continuously from the nozzle 21, the droplet amount of one droplet of the ejected ink may vary. Further, the fluctuation behavior differs between the nozzles 21. However, typically, as shown in FIG. 7, the amount of droplets for one droplet of ink largely fluctuates in the initial stage of ejection, and stabilizes when the number of ejections exceeds a certain number, for example, 3 times. become.

そして、本実施の形態においては、複数のノズル21の各々が当該ノズル21に対応する標準液滴数だけインクを吐出した場合における塗布インク総量に相当する標準インク量と、一つの画素領域45に塗布されるべきインクの目標量と、各ノズル21から吐出される一液滴分の液滴量と、に基づいて、一つの画素領域45へ吐出すべきインクの液滴数を複数のノズル21の各々に対して算出するようになっている。すなわち、インクの総量が目標量と標準インク量との差を0とするように、複数のノズル21の各々に対して設定された標準液滴数を増減させることによって、一つの画素領域45へ吐出すべきインクの液滴数を複数のノズル21の各々に対して算出することができる。   In the present embodiment, a standard ink amount corresponding to the total amount of applied ink when each of the plurality of nozzles 21 ejects ink by the number of standard droplets corresponding to the nozzle 21, and one pixel region 45. Based on the target amount of ink to be applied and the amount of one droplet ejected from each nozzle 21, the number of ink droplets to be ejected to one pixel region 45 is determined by a plurality of nozzles 21. Is calculated for each of the above. In other words, the number of standard droplets set for each of the plurality of nozzles 21 is increased or decreased so that the total amount of ink is zero between the target amount and the standard ink amount. The number of ink droplets to be ejected can be calculated for each of the plurality of nozzles 21.

このような算出方法によれば、吐出初期における液滴量の変動の影響を受けにくくすることができる。とりわけ、標準液滴数が、液滴量が大きく変動し得る吐出初期の液滴数を数滴超えた液滴数に設定されていれば、標準液滴数から液滴数を数滴変化(増減)させた場合に、塗布されるインク総量は、安定期におけるインク一液滴の液滴量と液滴量の増減数との積として得られる量だけ、標準インク量から変化(増減)するようになる。したがって、標準液滴数および最終的に算出される吐出液滴数が、一液滴分の液滴量が大きく変動し得る吐出初期における吐出回数を超える液滴数となっていれば、吐出初期における一液滴分の液滴量の変動による影響を排除して、実際に吐出されるインクの総量を、各画素領域45に塗布されるべきインク総量の目標量に精度良く近付けることができる。この結果、インクの塗布量を画素領域45間において効果的に均一化させることができる。   According to such a calculation method, it is possible to make it difficult to be influenced by fluctuations in the droplet amount at the initial stage of ejection. In particular, if the number of standard droplets is set to the number of droplets that exceeds the number of droplets at the initial stage of ejection, where the droplet volume can vary greatly, the number of droplets can be changed from the number of standard droplets by several droplets ( The total amount of ink applied changes (increases / decreases) from the standard ink amount by an amount obtained as the product of the droplet amount of one ink droplet and the increase / decrease number of the droplet amount in the stable period. It becomes like this. Therefore, if the number of standard droplets and the finally calculated number of ejected droplets are more than the number of ejections at the beginning of ejection, where the amount of droplets for one droplet can vary greatly, The total amount of ink that is actually ejected can be accurately brought close to the target amount of the total amount of ink to be applied to each pixel region 45 by eliminating the influence of fluctuations in the amount of droplets for one droplet. As a result, the ink application amount can be effectively made uniform between the pixel regions 45.

なお、具体的には、標準液滴数および最終的に算出される液滴数が、ノズル21から連続して吐出されるインクの一液滴分の液滴量が安定すると一般的に考えられている4以上に設定されることが好ましい。この場合、各画素領域45に塗布されるインク総量を目標量により精度良く近づけることが可能となり、また、インクの塗布量を画素領域45間においてより効果的に均一化させることができる。   Specifically, it is generally considered that the standard number of droplets and the finally calculated number of droplets stabilize the amount of droplets for one droplet of ink that is continuously ejected from the nozzle 21. Preferably, it is set to 4 or more. In this case, the total amount of ink applied to each pixel region 45 can be made closer to the target amount with higher accuracy, and the amount of ink applied can be more effectively made uniform between the pixel regions 45.

さらに、上述した方法において、基材40の一つの画素領域45に塗布される総インク量の精度を向上させるために、標準液滴数の設定、標準インク量の計測および吐出液滴数の算出を、繰り返し実行するようにしてもよい。具体的には、上述した方法において標準液滴数と標準インク量とに基づいて算出された液滴数を第2の標準液滴数とし、この第2の標準液滴数に基づいて第2の標準インク量が計測され、さらに、第2の標準液滴数と第2の標準インク量とに基づいて、吐出液滴数が最終的に算出されるようにしてもよい。さらに、標準液滴数の再設定および標準インク量の再計測を複数回繰り返した後に、吐出液滴数が算出されるようにしてもよい。   Further, in the above-described method, in order to improve the accuracy of the total ink amount applied to one pixel region 45 of the substrate 40, setting of the standard droplet number, measurement of the standard ink amount, and calculation of the number of ejected droplets are performed. May be repeatedly executed. Specifically, the number of droplets calculated based on the standard number of droplets and the standard ink amount in the above-described method is set as the second standard number of droplets, and the second number of droplets is determined based on the second number of standard droplets. The standard ink amount may be measured, and the ejection droplet number may be finally calculated based on the second standard droplet number and the second standard ink amount. Further, the number of ejected droplets may be calculated after the resetting of the standard droplet number and the re-measurement of the standard ink amount are repeated a plurality of times.

このような方法によれば、各画素領域45に塗布されるインク総量を目標量に極めて精度良く近づけることが可能となり、結果として、インクの塗布量を画素領域45間において極めて効果的に均一化させることができる。実際に、本発明者が、実験を行ったところ、標準液滴数の再設定および標準インク量の再計測を2度行うことにより、各画素領域45に塗布されるインク総量を目標量に極めて精度良く近づけることができた。具体的には、一液滴分の液滴量が20ng程度に設定された4つのノズル21を用いて一つの画素領域45に平均膜厚が2.00μmとなるようにインクを塗布しようとする場合に、一つの画素領域45への平均膜厚を目標量(2.00μm)±0.005μmとすることができた。   According to such a method, the total amount of ink applied to each pixel region 45 can be brought close to the target amount with high accuracy, and as a result, the amount of ink applied can be made uniform between the pixel regions 45 extremely effectively. Can be made. Actually, when the present inventor conducted an experiment, the total number of inks applied to each pixel region 45 was set to the target amount by resetting the number of standard droplets and re-measuring the standard ink amount twice. We were able to get close with high accuracy. Specifically, ink is applied to one pixel region 45 so as to have an average film thickness of 2.00 μm using four nozzles 21 in which the droplet amount for one droplet is set to about 20 ng. In this case, the average film thickness on one pixel region 45 could be set to the target amount (2.00 μm) ± 0.005 μm.

〔変形例〕
上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、変形の一例について説明する。
[Modification]
Various modifications can be made to the above-described embodiment. Hereinafter, an example of modification will be described.

例えば、上述した実施の形態において、各ノズル群が一体のノズルヘッドとして構成されている例を示したが、これに限られない。図10に示すように、各ノズル群N−G1〜N−G4が別個のノズルヘッド22a,22b,22c,22dとして構成され、複数のノズルヘッド22a〜22dから同一のインクを吐出する吐出手段20が形成されるようにしてもよい。図10に示す例においては、ノズル群N−G1〜N−G4内におけるノズル21の配列ピッチPaと、基材40と吐出手段20との相対移動方向(一方向)に直交する方向に沿った画素領域45の配列ピッチPbと、に応じて、ノズル21の配列方向(他方向)が一方向に直交する方向に対して、傾斜している。そして、各ノズル群N−G1〜N−G4が別個のノズルヘッド22a,22b,22c,22dとして構成されている場合、他方向の一方向への傾斜角度によらず、異なるノズル群N−G1〜N−G4に属する少なくとも二つのノズル21を一方向に並べることができる。すなわち、このような変形例においては、基材40と吐出手段20との相対移動方向に対して、各ノズルヘッド22a〜22dを傾斜させる必要が生じたとしても、吐出手段20と基材40とが前記一方向に相対移動する際に、基材40に含まれる各画素領域45に対面する位置を、異なるノズル群N−G1〜N−G4に属する少なくとも二つのノズル21が通過するようにすることができる。したがってち、作製されるべきカラーフィルタ50構成によらず、上述したように、吐出手段20の基材40に対する一回の走査中に少なくとも二つのノズル21から一つの画素領域45に対してインクが吐出され、当該一つの画素領域45へのインク塗布を一回の走査で完了させることができる。これにより、画素領域45間でのインクの塗布量のバラツキを抑制しつつ効率的にインクを塗布して、安価に良質のカラーフィルタを製造することができる。   For example, in the above-described embodiment, an example in which each nozzle group is configured as an integral nozzle head has been described, but the present invention is not limited thereto. As shown in FIG. 10, the nozzle groups N-G1 to N-G4 are configured as separate nozzle heads 22a, 22b, 22c, and 22d, and discharge means 20 that discharges the same ink from the plurality of nozzle heads 22a to 22d. May be formed. In the example shown in FIG. 10, the arrangement pitch Pa of the nozzles 21 in the nozzle groups N-G1 to N-G4 is along the direction orthogonal to the relative movement direction (one direction) between the base material 40 and the discharge means 20. In accordance with the arrangement pitch Pb of the pixel regions 45, the arrangement direction (other direction) of the nozzles 21 is inclined with respect to the direction orthogonal to one direction. And when each nozzle group N-G1-N-G4 is comprised as a separate nozzle head 22a, 22b, 22c, 22d, it is different nozzle group N-G1 irrespective of the inclination angle to one direction of another direction. At least two nozzles 21 belonging to ˜N-G4 can be arranged in one direction. That is, in such a modified example, even if it is necessary to incline the nozzle heads 22a to 22d with respect to the relative movement direction of the base material 40 and the discharge means 20, the discharge means 20 and the base material 40 Are moved relative to each other in the one direction so that at least two nozzles 21 belonging to different nozzle groups N-G1 to N-G4 pass through the positions facing the pixel regions 45 included in the base material 40. be able to. Therefore, regardless of the configuration of the color filter 50 to be manufactured, as described above, ink is applied from at least two nozzles 21 to one pixel region 45 during one scan of the base member 40 of the ejection unit 20. The ink applied to the one pixel region 45 can be completed by one scan. As a result, it is possible to efficiently apply the ink while suppressing variations in the amount of ink applied between the pixel regions 45, and to manufacture a high-quality color filter at low cost.

また、上述した実施の形態においては、各画素領域45に対して、一つのノズル群に属する多数のノズル21のうちの一つだけがインクを吐出するようになっている例を示した。しかしながら、これに限られず、図11に示すように、各画素領域45に対して、一つのノズル群に属する多数のノズル21のうちの一つだけがインクを吐出するようになっていてもよい。図11に示す例におていは、吐出手段20が基材40に対して相対移動(スキャン)する際に、基材40上の一つの画素領域45に対して、一つのノズル群に属する多数のノズル21のうちの二つのノズルが対面し、この同一のノズル群に属する二つのノズルからインクが同一の画素領域45に塗布されるようになっている。また、図11に示す例においては、基材40と吐出手段との相対移動方向(一方向)に沿って、二つのノズル群が配置されている。結果として、吐出手段20と基材40とが前記一方向に相対移動する際に、基材40に含まれる各画素領域45に対面する位置を、四つのノズルが通過するようになる。   In the above-described embodiment, an example in which only one of the many nozzles 21 belonging to one nozzle group ejects ink for each pixel region 45 has been described. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 11, only one of the many nozzles 21 belonging to one nozzle group may eject ink to each pixel region 45. . In the example illustrated in FIG. 11, when the ejection unit 20 moves (scans) relative to the substrate 40, a large number belonging to one nozzle group with respect to one pixel region 45 on the substrate 40. Two of the nozzles 21 face each other, and ink is applied to the same pixel region 45 from the two nozzles belonging to the same nozzle group. In the example shown in FIG. 11, two nozzle groups are arranged along the relative movement direction (one direction) between the base material 40 and the discharge means. As a result, when the ejection unit 20 and the base material 40 move relative to each other in the one direction, the four nozzles pass through the positions facing the pixel regions 45 included in the base material 40.

さらに、上述した実施の形態において、基材40の画素領域の配列がストライプ配列となっている例を示したが、これに限られず、その他の画素配列(例えば、デルタ配列)の基材40に対しても本発明を適用することができる。   Furthermore, in the above-described embodiment, an example in which the arrangement of the pixel regions of the base material 40 is a stripe arrangement has been described. However, the present invention is not limited to this, and the base material 40 of another pixel arrangement (for example, a delta arrangement) is used. The present invention can also be applied to this.

さらに、上述した実施の形態において、静止した吐出手段20に対して基材40が移動することにより、吐出手段20と基材40とが相対移動する例を示したがこれに限られない。基材40が静止しているようにしてもよいし、吐出手段20および基材40の両方が移動するようにしてもよい。   Furthermore, in the above-described embodiment, the example in which the ejection unit 20 and the base material 40 move relative to each other when the base material 40 moves with respect to the stationary ejection unit 20 has been described, but the present invention is not limited thereto. The base material 40 may be stationary, or both the ejection unit 20 and the base material 40 may be moved.

さらに、上述した実施の形態において、帯状に延びるフィルム状の基材40にインクが塗布される例を示したが、これに限られない。例えば吸着機能を有した支持装置によって吸着保持された枚葉板状の基材に対して、インクが塗布されるようにしてもよい。   Furthermore, in the above-described embodiment, the example in which the ink is applied to the film-like substrate 40 extending in a band shape has been described, but the present invention is not limited thereto. For example, the ink may be applied to a sheet-like base material sucked and held by a support device having a suction function.

さらに、上述した実施の形態においては、基材40上の複数の画素領域45の各々にインクを塗布して表示装置用のカラーフィルタ50の着色層を形成する例を示したが、これに限られず、上述した塗布装置(カラーフィルタ製造装置)および塗布方法(カラーフィルタ製造方法)を用いて、基材40上に設定された複数の所定領域(例えば、1μm四方)の各々にインクを塗布するようしてもよい。このような塗布方法によれば、塗布対象となる塗布領域の全領域がいずれかの所定領域に属している場合に、インクからなる膜を基材40上に形成することができる。一例として、液晶を挟むポリイミド等の配向膜をアレイ基板やカラーフィルタ50の表面にインクジェット方式によって形成する場合に、本発明を適用することができる。なお、塗布領域全体を排他的に分割して所定領域を設定した場合には、塗布むら等の欠陥が発生することがある。この対策として、隣接する所定領域については当該所定領域の端部が重なり合うようにすることが好ましい。所定領域が隣接する他の所定領域と端部において重なり合っている場合、重なり合っている端部について、インクを重ね塗りすることになり、これにより、塗布むら等の欠陥の発生を防止することができる。   Furthermore, in the above-described embodiment, the example in which the colored layer of the color filter 50 for the display device is formed by applying ink to each of the plurality of pixel regions 45 on the base material 40 has been described. Instead, ink is applied to each of a plurality of predetermined regions (for example, 1 μm square) set on the base material 40 using the above-described coating apparatus (color filter manufacturing apparatus) and coating method (color filter manufacturing method). You may do it. According to such a coating method, a film made of ink can be formed on the substrate 40 when the entire coating region to be coated belongs to any one of the predetermined regions. As an example, the present invention can be applied to the case where an alignment film such as polyimide sandwiching liquid crystal is formed on the surface of the array substrate or the color filter 50 by an ink jet method. In addition, when the predetermined area is set by exclusively dividing the entire coating area, defects such as coating unevenness may occur. As a countermeasure, it is preferable that the end portions of the predetermined regions overlap with each other. In the case where the predetermined region overlaps with another predetermined region adjacent thereto, the ink is overcoated on the overlapping end portion, thereby preventing the occurrence of defects such as coating unevenness. .

以上、添付図面を参照しながら、本発明による一実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、本願で開示した技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。   As mentioned above, although one Embodiment by this invention was described referring an accompanying drawing, this invention is not limited to this example. It will be apparent to those skilled in the art that various changes or modifications can be conceived within the scope of the technical idea disclosed in the present application, and these are naturally within the technical scope of the present invention. Understood.

図1は、本発明による一実施の形態を説明するための図であって、カラーフィルタの製造装置を示す模式図である。FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention, and is a schematic diagram showing a color filter manufacturing apparatus. 図2は、図1に示されたカラーフィルタ製造装置における吐出手段の構成およびインクの塗布方法を説明するために図である。FIG. 2 is a diagram for explaining the configuration of the ejection means and the ink application method in the color filter manufacturing apparatus shown in FIG. 図3は、吐出手段を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the discharge means. 図4は、インクの塗布方法の一例において、各画素領域に対してインクを塗布するために割り当てられたノズルと、各ノズルから吐出されるインクの液滴数と、を示す表である。FIG. 4 is a table showing nozzles assigned to apply ink to each pixel area and the number of ink droplets ejected from each nozzle in an example of an ink application method. 図5は、各ノズルから吐出されるインクの一液滴分の液滴量の一例を示す表である。FIG. 5 is a table showing an example of a droplet amount of one droplet of ink ejected from each nozzle. 図6は、各画素領域に割り当てられたノズルから吐出されるインクの液滴数の一例を示す表である。FIG. 6 is a table showing an example of the number of ink droplets ejected from the nozzles assigned to each pixel region. 図7は、吐出回数に応じたインク一液滴分の液滴量の変動を示すグラフである。FIG. 7 is a graph showing the variation in the amount of one ink droplet corresponding to the number of ejections. 図8は、図4に対応する表であって、各画素領域に対してインクを塗布するために割り当てられたノズルと、各ノズルから吐出されるインクの標準液滴数と、を示す表である。FIG. 8 is a table corresponding to FIG. 4, showing the nozzles assigned to apply ink to each pixel region and the standard number of ink droplets ejected from each nozzle. is there. 図9は、図6に対応する表であって、各画素領域に割り当てられたノズルから吐出されるインクの液滴数の他の例を示す表である。FIG. 9 is a table corresponding to FIG. 6, and is a table showing another example of the number of ink droplets ejected from the nozzles assigned to each pixel region. 図10は、図2に対応する図であって、吐出手段および塗布方法の一変形例を説明するための図である。FIG. 10 is a diagram corresponding to FIG. 2 and illustrating a modified example of the ejection unit and the coating method. 図11は、図2に対応する図であって、吐出手段および塗布方法の他の変形例を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram corresponding to FIG. 2 and is a diagram for explaining another modified example of the ejection unit and the coating method.

10 カラーフィルタ製造装置
12 制御装置
15 支持装置(支持ステージ)
18 アライメントカメラ
20 吐出手段
21 ノズル
22a,22b,22c,22d ノズルヘッド
25 搬送装置
26 供給部
26a 供給コア
27 回収部
27a 回収コア
40 基材
41 遮光部
45 画素領域
50 カラーフィルタ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Color filter manufacturing apparatus 12 Control apparatus 15 Support apparatus (support stage)
18 Alignment camera 20 Discharge means 21 Nozzle 22a, 22b, 22c, 22d Nozzle head 25 Conveying device 26 Supply unit 26a Supply core 27 Collection unit 27a Collection core 40 Base material 41 Light shielding unit 45 Pixel region 50 Color filter

Claims (27)

複数の画素領域を含む基材に対して一方向に相対移動しながら、前記基材の各画素領域にインクを塗布する吐出手段を備え、
前記吐出手段は、同一のインクを吐出するノズルを複数有し、
前記同一のインクを吐出するノズルのうちの前記一方向と交差する他方向に並べて配列された複数のノズルによって一つのノズル群が構成されるとともに、前記吐出手段は、前記一方向に離間して配置された複数のノズル群を含み、
前記吐出手段と前記基材とが前記一方向に相対移動する際に、前記基材に含まれる各画素領域に対面する位置を、異なるノズル群に属する少なくとも二つのノズルが通過するようになり、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査中に前記少なくとも二つのノズルから一つの画素領域に対してインクが吐出され、当該一つの画素領域へのインク塗布が前記一回の走査で完了する
ことを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
A discharge means for applying ink to each pixel region of the base material while relatively moving in one direction with respect to the base material including a plurality of pixel regions,
The ejection means has a plurality of nozzles that eject the same ink,
One nozzle group is constituted by a plurality of nozzles arranged side by side in the other direction intersecting the one direction among the nozzles that eject the same ink, and the ejection unit is spaced apart in the one direction. Including a plurality of nozzle groups arranged;
When the ejection unit and the base material move relative to each other in the one direction, at least two nozzles belonging to different nozzle groups pass through positions facing each pixel region included in the base material, Ink is ejected from the at least two nozzles to one pixel area during one scan of the base material of the ejection means, and ink application to the one pixel area is completed by the one scan. A color filter manufacturing apparatus.
各ノズル群に含まれるノズルの数は、ノズル群間で、同一となっており、
一つのノズル群に含まれる複数のノズルは、他のノズル群に含まれる複数のノズルから前記一方向にずれた位置に配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの製造装置。
The number of nozzles included in each nozzle group is the same between the nozzle groups,
2. The color filter manufacturing method according to claim 1, wherein the plurality of nozzles included in one nozzle group are arranged at positions shifted from the plurality of nozzles included in another nozzle group in the one direction. 3. apparatus.
各ノズル群に含まれる複数のノズルは、他方向において、前記基材のインクを塗布されるべき画素領域に対向する全範囲に亘って配置されており、これにより、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査で基材へのインクの塗布が完了する
ことを特徴とする請求項1または2に記載のカラーフィルタの製造装置。
The plurality of nozzles included in each nozzle group are arranged in the other direction over the entire range facing the pixel area to which the ink of the base material is to be applied, whereby the base material of the ejection unit The apparatus for producing a color filter according to claim 1, wherein the application of the ink to the substrate is completed by a single scan with respect to the substrate.
各ノズル群は別個のノズルヘッドとして構成され、
前記他方向の前記一方向への傾斜角度によらず、異なるノズル群に属する少なくとも二つのノズルが一方向に並べられ得る
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のカラーフィルタの製造装置。
Each nozzle group is configured as a separate nozzle head,
The color according to any one of claims 1 to 3, wherein at least two nozzles belonging to different nozzle groups can be arranged in one direction regardless of an inclination angle of the other direction in the one direction. Filter manufacturing equipment.
前記基材を搬送する搬送装置をさらに備え、
前記搬送装置は、前記一方向に離間して配置された供給部および回収部を有し、前記基材が前記供給部と前記回収部との間を前記一方向に進んでいる間に、前記基材へのインクの塗布が完了する
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のカラーフィルタ装置。
Further comprising a transport device for transporting the substrate;
The transport device includes a supply unit and a recovery unit that are arranged apart from each other in the one direction, and the base material is moving in the one direction between the supply unit and the recovery unit. The color filter device according to claim 1, wherein the application of the ink to the substrate is completed.
一方向に離間した複数のノズル群を有する吐出手段であって、各ノズル群が前記一方向と交差する他方向に並べて配列された複数のノズルによって構成されている、吐出手段を用いて、複数の画素領域を含む基材にインクを塗布することにより、カラーフィルタを製造する方法において、
前記吐出手段と前記基材とを前記一方向に相対移動させながら、前記吐出手段に含まれるノズルから同一のインクを吐出し、前記基材の画素領域にインクを塗布する工程を、備え、
前記インクを塗布する工程において、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査中に少なくとも二つのノズルから一つの画素領域に対してインクが吐出され、当該一つの画素領域へのインク塗布が前記一回の走査で完了する
ことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
A plurality of discharge means having a plurality of nozzle groups spaced in one direction, wherein each nozzle group is composed of a plurality of nozzles arranged side by side in the other direction intersecting with the one direction. In a method of manufacturing a color filter by applying ink to a base material including a pixel region of
A step of ejecting the same ink from nozzles included in the ejection means while relatively moving the ejection means and the base material in the one direction, and applying ink to the pixel region of the base material,
In the step of applying the ink, ink is discharged from at least two nozzles to one pixel region during one scan of the discharge unit with respect to the base material, and the ink application to the one pixel region is performed by the ink application. A method for producing a color filter, which is completed in one scan.
一つの画素領域へのインクの塗布に用いられるノズルの数は、画素領域間で、同一である
ことを特徴とする請求項6に記載のカラーフィルタの製造方法。
The method of manufacturing a color filter according to claim 6, wherein the number of nozzles used for applying ink to one pixel region is the same between pixel regions.
一つの画素領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルから吐出される液滴数は、同一である
ことを特徴とする請求項6または7に記載のカラーフィルタの製造方法。
The method for manufacturing a color filter according to claim 6 or 7, wherein the number of droplets ejected from the at least two nozzles used for applying ink to one pixel region is the same.
各画素領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルの各々に対し、当該各画素領域へ吐出すべきインクの液滴数を設定する工程を、さらに備え、
前記インクを塗布する工程において、前記少なくとも二つのノズルの各々から、当該ノズルに対して前記インクの液滴数を設定する工程で設定された液滴数だけ、インクが吐出される
ことを特徴とする請求項6または7に記載のカラーフィルタの製造方法。
A step of setting, for each of the at least two nozzles used for applying ink to each pixel region, the number of ink droplets to be ejected to each pixel region;
In the step of applying the ink, ink is ejected from each of the at least two nozzles by the number of droplets set in the step of setting the number of droplets of the ink for the nozzle. The manufacturing method of the color filter of Claim 6 or 7.
前記インクの液滴数を設定する工程において、各ノズルから吐出されるインクの一液滴分の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定し、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各画素領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各画素領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出される
ことを特徴とする請求項9に記載のカラーフィルタの製造方法。
In the step of setting the number of ink droplets, it is assumed that the droplet amount of one droplet of ink ejected from each nozzle is a droplet amount according to the specification of the nozzle, and from the at least two nozzles The number of ink droplets to be ejected to each pixel area is such that the total amount of ink to be ejected is the target amount of ink to be applied to each pixel area. The color filter manufacturing method according to claim 9, wherein the color filter is calculated.
前記インクの液滴数を設定する工程において、予め計測された各ノズルから吐出される一液滴分の液滴量を考慮し、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各画素領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各画素領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出される
ことを特徴とする請求項9に記載にカラーフィルタの製造方法。
In the step of setting the number of ink droplets, the total amount of the ink ejected from the at least two nozzles is determined for each pixel in consideration of the droplet amount of one droplet ejected from each nozzle measured in advance. The number of ink droplets to be ejected to each pixel region is calculated for each of the at least two nozzles so that a target amount of ink to be applied to the region is obtained. 9. A method for producing a color filter according to item 9.
前記インクの液滴数を設定する工程は、
各画素領域に対して塗布されるべきインクの目標量を考慮して、各画素領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルの各々に対し、当該各画素領域へ吐出すべきインクの標準液滴数を設定する工程と、
前記少なくとも二つのノズルの各々から、当該ノズルに対して前記標準液滴数を設定する工程で設定された標準液滴数だけ、インクを吐出し、前記少なくとも二つのノズルから吐出されたインクの総量を標準インク量として計測する工程と、
予め計測された各ノズルから吐出される一液滴分の液滴量と、前記計測された標準インク量と、を考慮し、前記ノズルの各々に対して設定された前記標準液滴数を増減させて、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各画素領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各画素領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出される工程と、を含む
ことを特徴とする請求項9に記載のカラーフィルタの製造方法。
The step of setting the number of ink droplets includes:
In consideration of the target amount of ink to be applied to each pixel region, for each of the at least two nozzles used for applying ink to each pixel region, the amount of ink to be ejected to each pixel region Setting the standard number of droplets;
The total amount of ink ejected from each of the at least two nozzles is ejected by the number of standard droplets set in the step of setting the number of standard droplets for the nozzle. Measuring as a standard ink amount,
The number of standard droplets set for each of the nozzles is increased or decreased in consideration of the amount of droplets discharged from each nozzle measured in advance and the measured standard ink amount. Thus, the number of ink droplets to be ejected to each pixel region is such that the total amount of the ink ejected from the at least two nozzles is a target amount of ink to be applied to each pixel region. The method for producing a color filter according to claim 9, further comprising a step of calculating for each of at least two nozzles.
前記インクの標準液滴数を設定する工程において、各ノズルから吐出されるインクの一液滴分の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定し、前記少なくとも二つのノズルの各々から当該ノズルに対する標準液滴数だけインクを吐出した場合における吐出されたインクの総量が、各画素領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、前記標準液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出される
ことを特徴とする請求項12に記載の製造方法。
In the step of setting the standard number of droplets of ink, it is assumed that the amount of droplets of one droplet of ink ejected from each nozzle is a droplet amount according to the specifications of the nozzles, and the at least two nozzles When the ink is ejected from each of the nozzles by the number of standard droplets corresponding to the nozzle, the total number of ejected inks becomes the target amount of ink to be applied to each pixel region. The method according to claim 12, wherein the manufacturing method is calculated for each of the at least two nozzles.
複数の所定領域を含む基材に対して一方向に相対移動しながら、前記基材の各所定領域にインクを塗布する吐出手段を備え、
前記吐出手段は、同一のインクを吐出するノズルを複数有し、
前記同一のインクを吐出するノズルのうちの前記一方向と交差する他方向に並べて配列された複数のノズルによって一つのノズル群が構成されるとともに、前記吐出手段は、前記一方向に離間して配置された複数のノズル群を含み、
前記吐出手段と前記基材とが前記一方向に相対移動する際に、前記基材に含まれる各所定領域に対面する位置を、異なるノズル群に属する少なくとも二つのノズルが通過するようになり、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査中に前記少なくとも二つのノズルから一つの所定領域に対してインクが吐出され、当該一つの所定領域へのインク塗布が一回の走査で完了する
ことを特徴とする塗布装置。
A discharge unit that applies ink to each predetermined region of the base material while relatively moving in one direction with respect to the base material including a plurality of predetermined regions,
The ejection means has a plurality of nozzles that eject the same ink,
One nozzle group is constituted by a plurality of nozzles arranged side by side in the other direction intersecting the one direction among the nozzles that eject the same ink, and the ejection unit is spaced apart in the one direction. Including a plurality of nozzle groups arranged;
When the discharge means and the base material move relative to each other in the one direction, at least two nozzles belonging to different nozzle groups pass through a position facing each predetermined region included in the base material, Ink is ejected from the at least two nozzles to one predetermined area during one scanning of the base material by the ejection means, and ink application to the one predetermined area is completed in one scanning. An applicator characterized by.
各ノズル群に含まれるノズルの数は、ノズル群間で、同一となっており、
一つのノズル群に含まれる複数のノズルは、他のノズル群に含まれる複数のノズルから前記一方向にずれた位置に配置されている
ことを特徴とする請求項14に記載の塗布装置。
The number of nozzles included in each nozzle group is the same between the nozzle groups,
The coating apparatus according to claim 14, wherein the plurality of nozzles included in one nozzle group are arranged at positions shifted in the one direction from the plurality of nozzles included in the other nozzle group.
各ノズル群に含まれる複数のノズルは、他方向において、前記基材のインクを塗布されるべき所定領域に対向する全範囲に亘って配置されており、これにより、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査で基材へのインクの塗布が完了する
ことを特徴とする請求項14または15に記載の塗布装置。
The plurality of nozzles included in each nozzle group are arranged in the other direction over the entire range facing the predetermined region to which the ink of the base material is to be applied, whereby the base material of the discharge means The coating apparatus according to claim 14, wherein the application of the ink to the substrate is completed by one scanning with respect to the substrate.
各ノズル群は別個のノズルヘッドとして構成され、
前記他方向の前記一方向への傾斜角度によらず、異なるノズル群に属する少なくとも二つのノズルが一方向に並べられ得る
ことを特徴とする請求項14乃至16のいずれか一項に記載の塗布装置。
Each nozzle group is configured as a separate nozzle head,
The application according to any one of claims 14 to 16, wherein at least two nozzles belonging to different nozzle groups can be arranged in one direction regardless of an inclination angle of the other direction in the one direction. apparatus.
前記基材を搬送する搬送装置をさらに備え、
前記搬送装置は、前記一方向に離間して配置された供給部および回収部を有し、前記基材が前記供給部と前記回収部との間を前記一方向に進んでいる間に、前記基材へのインクの塗布が完了する
ことを特徴とする請求項14乃至17のいずれか一項に記載の塗布装置。
Further comprising a transport device for transporting the substrate;
The transport device includes a supply unit and a recovery unit that are arranged apart from each other in the one direction, and the base material is moving in the one direction between the supply unit and the recovery unit. The coating apparatus according to claim 14, wherein the application of the ink to the substrate is completed.
一方向に離間した複数のノズル群を有する吐出手段であって、各ノズル群が前記一方向と交差する他方向に並べて配列された複数のノズルによって構成されている、吐出手段を用いて、複数の所定領域を含む基材にインクを塗布する方法において、
前記吐出手段と前記基材とを前記一方向に相対移動させながら、前記吐出手段に含まれるノズルから同一のインクを吐出し、前記基材の所定領域にインクを塗布する工程を、備え、
前記インクを塗布する工程において、前記吐出手段の前記基材に対する一回の走査中に少なくとも二つのノズルから一つの所定領域に対してインクが吐出され、当該一つの所定領域へのインク塗布が前記一回の走査で完了する
ことを特徴とする塗布方法。
A plurality of discharge means having a plurality of nozzle groups spaced in one direction, wherein each nozzle group is composed of a plurality of nozzles arranged side by side in the other direction intersecting with the one direction. In a method of applying ink to a substrate including a predetermined region of
A step of discharging the same ink from a nozzle included in the discharge means while relatively moving the discharge means and the base material in the one direction, and applying the ink to a predetermined region of the base material,
In the step of applying the ink, ink is ejected from at least two nozzles to one predetermined area during one scan of the ejection unit with respect to the base material, and ink application to the one predetermined area is performed A coating method characterized by being completed in one scan.
一つの所定領域へのインクの塗布に用いられるノズルの数は、所定領域間で、同一である
ことを特徴とする請求項19に記載の塗布方法。
The coating method according to claim 19, wherein the number of nozzles used for applying ink to one predetermined region is the same between the predetermined regions.
一つの所定領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルから吐出される液滴数は、同一である
ことを特徴とする請求項19または20に記載の塗布方法。
21. The coating method according to claim 19 or 20, wherein the number of droplets ejected from the at least two nozzles used to apply ink to one predetermined region is the same.
各所定領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルの各々に対し、当該各所定領域へ吐出すべきインクの液滴数を設定する工程を、さらに備え、
前記インクを塗布する工程において、前記少なくとも二つのノズルの各々から、当該ノズルに対して前記インクの液滴数を設定する工程で設定された液滴数だけ、インクが吐出される
ことを特徴とする請求項19または20に記載の塗布方法。
A step of setting, for each of the at least two nozzles used for applying ink to each predetermined region, the number of ink droplets to be ejected to each predetermined region;
In the step of applying the ink, ink is ejected from each of the at least two nozzles by the number of droplets set in the step of setting the number of droplets of the ink for the nozzle. The coating method according to claim 19 or 20.
前記インクの液滴数を設定する工程において、各ノズルから吐出されるインクの一液滴分の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定し、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各所定領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各所定領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出される
ことを特徴とする請求項22に記載の塗布方法。
In the step of setting the number of ink droplets, it is assumed that the droplet amount of one droplet of ink ejected from each nozzle is a droplet amount according to the specification of the nozzle, and from the at least two nozzles The number of ink droplets to be ejected to each predetermined region is such that the total amount of ink to be ejected is a target amount of ink to be applied to each predetermined region. The coating method according to claim 22, wherein the coating method is calculated.
前記インクの液滴数を設定する工程において、予め計測された各ノズルから吐出される一液滴分の液滴量を考慮し、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各所定領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各所定領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出される
ことを特徴とする請求項22に記載に塗布方法。
In the step of setting the number of ink droplets, the total amount of the ink ejected from the at least two nozzles is set to each predetermined amount in consideration of the droplet amount of one droplet ejected from each nozzle measured in advance. The number of ink droplets to be ejected to each predetermined region is calculated for each of the at least two nozzles so that a target amount of ink to be applied to the region is obtained. The coating method according to 22.
前記インクの液滴数を設定する工程は、
各所定領域に対して塗布されるべきインクの目標量を考慮して、各所定領域へのインクの塗布に用いられる前記少なくとも二つのノズルの各々に対し、当該各所定領域へ吐出すべきインクの標準液滴数を設定する工程と、
前記少なくとも二つのノズルの各々から、当該ノズルに対して前記標準液滴数を設定する工程で設定された標準液滴数だけ、インクを吐出し、前記少なくとも二つのノズルから吐出されたインクの総量を標準インク量として計測する工程と、
予め計測された各ノズルから吐出される一液滴分の液滴量と、前記計測された標準インク量と、を考慮し、前記ノズルの各々に対して設定された前記標準液滴数を増減させて、前記少なくとも二つのノズルから吐出される前記インクの総量が各所定領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、各所定領域へ吐出すべきインクの液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出される工程と、を含む
ことを特徴とする請求項22に記載の塗布方法。
The step of setting the number of ink droplets includes:
In consideration of the target amount of ink to be applied to each predetermined area, each of the at least two nozzles used for applying ink to each predetermined area is supplied with ink to be discharged to each predetermined area. Setting the standard number of droplets;
The total amount of ink ejected from each of the at least two nozzles is ejected by the number of standard droplets set in the step of setting the number of standard droplets for the nozzle. Measuring as a standard ink amount,
The number of standard droplets set for each of the nozzles is increased or decreased in consideration of the amount of droplets discharged from each nozzle measured in advance and the measured standard ink amount. Thus, the number of ink droplets to be ejected to each predetermined region is set so that the total amount of the ink ejected from the at least two nozzles becomes a target amount of ink to be applied to each predetermined region. The method according to claim 22, further comprising: calculating for each of at least two nozzles.
前記インクの標準液滴数を設定する工程において、各ノズルから吐出されるインクの一液滴分の液滴量が当該ノズルの仕様通りの液滴量であると仮定し、前記少なくとも二つのノズルの各々から当該ノズルに対する標準液滴数だけインクを吐出した場合における吐出されたインクの総量が、各所定領域に対して塗布されるべきインクの目標量となるように、前記標準液滴数が前記少なくとも二つのノズルの各々に対して算出される
ことを特徴とする請求項25に記載の塗布方法。
In the step of setting the standard number of droplets of ink, it is assumed that the amount of droplets of one droplet of ink ejected from each nozzle is a droplet amount according to the specifications of the nozzles, and the at least two nozzles When the ink is ejected from each of the nozzles by the number of standard droplets corresponding to the nozzle, the total number of ejected inks becomes the target amount of ink to be applied to each predetermined region. The coating method according to claim 25, wherein the coating method is calculated for each of the at least two nozzles.
隣り合う二つの所定領域が、その端部において、互いに重なり合うようにして、前記複数の所定領域が前記基材に配置されている
ことを特徴とする請求項19乃至26のいずれか一項に記載の塗布方法。
27. The plurality of predetermined regions are arranged on the base material such that two adjacent predetermined regions overlap with each other at an end portion thereof. Application method.
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