JP2010204408A - Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, and method of manufacturing color filter - Google Patents
Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, and method of manufacturing color filter Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010204408A JP2010204408A JP2009050316A JP2009050316A JP2010204408A JP 2010204408 A JP2010204408 A JP 2010204408A JP 2009050316 A JP2009050316 A JP 2009050316A JP 2009050316 A JP2009050316 A JP 2009050316A JP 2010204408 A JP2010204408 A JP 2010204408A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzles
- landing
- sheet member
- ink
- color filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Description
本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法に関するものである。 The present invention relates to a droplet discharge device, a droplet discharge method, and a color filter manufacturing method.
近年、携帯電話機、携帯型コンピューターなどの電子機器の表示部に液晶装置、有機EL(Electro-Luminescent)装置等の電気光学装置が用いられている。これらの電気光学装置は、一般にフルカラー表示が行われる。例えば、液晶装置によるフルカラー表示は、液晶層によって変調される光をカラーフィルターに通すことによって表示される。このようなカラーフィルターは、液滴吐出法を用いた成膜技術によって、基板表面にインクをドット状に吐出することで形成される。 2. Description of the Related Art In recent years, electro-optical devices such as liquid crystal devices and organic EL (Electro-Luminescent) devices have been used for display units of electronic devices such as mobile phones and portable computers. These electro-optical devices generally perform full color display. For example, full color display by a liquid crystal device is displayed by passing light modulated by a liquid crystal layer through a color filter. Such a color filter is formed by ejecting ink on the surface of a substrate in a dot shape by a film forming technique using a droplet discharge method.
ところで、液滴吐出法を用いた成膜技術においては、複数のノズルのインク吐出量に僅かながらばらつきが生じる。そして、インク吐出量にばらつきを有した状態で描画した場合には、カラーフィルターに筋状の濃淡ムラ(スジムラ)が発生する場合がある。このようなスジムラは視認されやすく、カラーフィルターを介して表示される画像の画質が低下してしまう惧れがある。 By the way, in the film forming technique using the droplet discharge method, the ink discharge amounts of the plurality of nozzles vary slightly. When the ink is drawn with variations in the ink discharge amount, streaky shading unevenness (straight unevenness) may occur in the color filter. Such uneven stripes are easily visible, and the image quality displayed through the color filter may be degraded.
このような問題点を解決するための技術が検討されており、例えば特許文献1では、複数の異なるインク吐出密度で被着色媒体を着色し、この着色部分の色濃度を測定して、複数の異なるインク吐出密度で着色された着色部分の各々の色濃度と、それに対応するインク吐出密度と、の関係を算出している。この関係に基づいて、所望の色濃度が得られるインク吐出密度になるように補正することにより、表示画像の画質の低下を抑えている。 A technique for solving such a problem has been studied. For example, in Patent Document 1, a medium to be colored is colored with a plurality of different ink discharge densities, and the color density of the colored portion is measured to obtain a plurality of colors. The relationship between the color density of each colored portion colored with a different ink discharge density and the corresponding ink discharge density is calculated. Based on this relationship, a reduction in the image quality of the display image is suppressed by correcting the ink discharge density to obtain a desired color density.
特許文献1では、複数の異なるインク吐出密度で着色された着色部分の各々の色濃度を、被着色媒体の着色部の吸光度により表している。この吸光度の測定の際に誤差が生じると、精度の高い補正ができず、画質の低下を抑制することが困難な場合がある。 In Patent Document 1, the color density of each colored portion colored with different ink discharge densities is represented by the absorbance of the colored portion of the medium to be colored. If an error occurs during the measurement of the absorbance, correction with high accuracy cannot be performed, and it may be difficult to suppress deterioration in image quality.
一方、複数のノズルから吐出されたインクの重量を測定する方法が、従来用いられている。しかしながら、インクの重量を測定することは、測定が容易ではなく膨大な工数を要するので、生産効率に劣るため量産面で好ましくない。 On the other hand, a method of measuring the weight of ink ejected from a plurality of nozzles is conventionally used. However, measuring the weight of the ink is not preferable in terms of mass production because it is not easy to measure and requires a large number of man-hours, and is inferior in production efficiency.
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することが可能であり、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such circumstances, and it is possible to suppress deterioration in image quality by making stripes inconspicuous, and further, a droplet discharge device, a droplet discharge method, and It is an object to provide a method for producing a color filter.
上記の課題を解決するため、本発明の液滴吐出装置は、機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッドと、前記複数のノズルから吐出された前記機能液を着弾させるシート部材を供給する供給リールと、前記供給リールから供給された前記シート部材を巻き取る巻取リールと、前記供給リールと前記巻取リールとの間の前記シート部材に対して前記複数のノズルから吐出された前記機能液の着弾面積を測定する着弾面積測定手段と、前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整して前記複数のノズルにおける前記着弾面積のばらつきを調整する制御手段と、を有することを特徴とする。
この構成によれば、着弾面積測定手段により複数のノズルから吐出されるインク(機能液)の着弾面積が測定される。すると、制御手段により駆動素子への印加電圧が調整され、複数のノズルにおける着弾面積のばらつきが調整される。つまり、制御手段により複数のノズルにおけるインク吐出量のばらつきが補正されることになる。これは、本願発明者が、複数のノズルにおけるインク吐出量と着弾面積との間に一定の関係を見出したことによる。このため、液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。また、複数のノズルから吐出されたインクの着弾面積に基づいて吐出量を測定する方法は、従来の吐出されたインクの重量を測定する方法に比べて、膨大な工数がかからないので生産効率に優れる。また、複数のノズルから吐出されたインクが着弾したシート部材が適宜搬送されるので、インクの着弾面積の測定が効率よく行われる。
In order to solve the above problems, a droplet discharge apparatus according to the present invention includes a plurality of nozzles that discharge a functional liquid and a plurality of drive elements that are provided corresponding to the plurality of nozzles. A supply reel that supplies a sheet member for landing the functional liquid ejected from the plurality of nozzles, a take-up reel that winds up the sheet member supplied from the supply reel, and the supply reel and the take-up reel Landing area measuring means for measuring the landing area of the functional liquid discharged from the plurality of nozzles with respect to the sheet member between the reel and the plurality of driving elements to adjust the voltage applied to the plurality of driving elements. And control means for adjusting variation in the landing area of the nozzle.
According to this configuration, the landing area of the ink (functional liquid) ejected from the plurality of nozzles is measured by the landing area measuring unit. Then, the voltage applied to the drive element is adjusted by the control means, and the variation in the landing area among the plurality of nozzles is adjusted. That is, the variation in the ink discharge amount at the plurality of nozzles is corrected by the control means. This is because the inventor of the present application has found a certain relationship between the ink discharge amount and the landing area at a plurality of nozzles. For this reason, a uniform amount of ink can be ejected from all nozzles of the droplet ejection head. Accordingly, it is possible to suppress the deterioration of the image quality by making the stripes inconspicuous. Also, the method of measuring the ejection amount based on the landing area of the ink ejected from a plurality of nozzles is superior in production efficiency because it does not take a huge amount of man-hours compared to the conventional method of measuring the weight of the ejected ink . In addition, since the sheet member on which the ink ejected from the plurality of nozzles has landed is appropriately conveyed, the ink landing area can be measured efficiently.
本発明の液滴吐出方法は、機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出方法であって、前記複数の駆動素子に印加する電圧を一定にして前記機能液をシート部材に着弾する第1着弾工程と、前記第1着弾工程の後に、前記シート部材に前記機能液が着弾された第1着弾面積を測定する第1着弾面積測定工程と、前記第1着弾面積のばらつきを調整するように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整して前記機能液を前記シート部材に着弾する第2着弾工程と、を有することを特徴とする。
この製造方法によれば、第1着弾工程の後の第1着弾面積測定工程により複数のノズルにおけるインクの着弾面積が測定される。そして、第2着弾工程により複数のノズルにおけるインク吐出量のばらつきが調整される。このため、液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。
The droplet discharge method of the present invention is a droplet discharge method using a droplet discharge head having a plurality of nozzles for discharging a functional liquid and a plurality of drive elements provided corresponding to the plurality of nozzles. A first landing step of landing the functional liquid on the sheet member with a constant voltage applied to the plurality of driving elements; and the functional liquid landed on the sheet member after the first landing step. A first landing area measuring step for measuring a first landing area, and a voltage applied to the plurality of drive elements to adjust the variation of the first landing area, thereby landing the functional liquid on the sheet member. And a second landing process.
According to this manufacturing method, the landing area of the ink in the plurality of nozzles is measured by the first landing area measuring step after the first landing step. And the dispersion | variation in the ink discharge amount in a some nozzle is adjusted by a 2nd landing process. For this reason, a uniform amount of ink can be ejected from all nozzles of the droplet ejection head. Accordingly, it is possible to suppress the deterioration of the image quality by making the stripes inconspicuous.
また、上記液滴吐出方法においては、前記第2着弾工程の後に、前記シート部材に前記機能液が着弾された第2着弾面積を測定する第2着弾面積測定工程と、前記第2着弾面積のばらつきを調整するように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整して前記機能液を前記シート部材に着弾する第3着弾工程と、を少なくとも1回有することが望ましい。
この製造方法によれば、第2着弾工程の後に、着弾面積測定工程と着弾工程と、を複数回繰り返して行うことにより、複数のノズルにおけるインク吐出量のばらつきが確実に調整される。このため、液滴吐出ヘッドの全ノズルから格段に均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラをより目立たなくして画質の低下を格段に抑制することができる。
In the droplet discharge method, after the second landing step, a second landing area measuring step of measuring a second landing area where the functional liquid has landed on the sheet member; and the second landing area It is desirable to have at least one third landing step of adjusting the voltage applied to the plurality of driving elements so as to adjust the variation and landing the functional liquid on the sheet member.
According to this manufacturing method, after the second landing step, the landing area measurement step and the landing step are repeatedly performed a plurality of times, so that the variation in the ink discharge amount among the plurality of nozzles is reliably adjusted. For this reason, it becomes possible to discharge a substantially uniform amount of ink from all the nozzles of the droplet discharge head. Therefore, it is possible to make the unevenness more inconspicuous and to suppress the deterioration of the image quality.
本発明のカラーフィルターの製造方法は、上記の液滴吐出装置、あるいは上記の液滴吐出方法を用いて、基材上に設けられた所定領域に前記機能液を配置してカラーフィルターを形成することを特徴とする。
この製造方法によれば、上述したように液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクが吐出されるので、スジムラの無い高品質なカラーフィルターを製造することができる。
The color filter manufacturing method of the present invention forms the color filter by disposing the functional liquid in a predetermined region provided on the substrate using the droplet discharge device or the droplet discharge method. It is characterized by that.
According to this manufacturing method, as described above, a uniform amount of ink is ejected from all the nozzles of the droplet ejection head, so that a high-quality color filter free from unevenness can be produced.
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. This embodiment shows one aspect of the present invention, and does not limit the present invention, and can be arbitrarily changed within the scope of the technical idea of the present invention. Moreover, in the following drawings, in order to make each structure easy to understand, an actual structure and a scale, a number, and the like in each structure are different.
以下の説明においては、図1中に示されたXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。XYZ直交座標系は、X軸及びY軸がワークステージ16に対して平行な方向に設定され、Z軸がワークステージ16に対して直交する方向に設定されている。図1中のXYZ座標系は、実際にはXY平面が水平面に平行な面に設定され、Z軸が鉛直上方向に設定される。
In the following description, the XYZ rectangular coordinate system shown in FIG. 1 is set, and each member will be described with reference to this XYZ rectangular coordinate system. In the XYZ orthogonal coordinate system, the X axis and the Y axis are set in a direction parallel to the
(液滴吐出装置)
図1は本発明に係る液滴吐出装置1の概略構成を示す模式図である。液滴吐出装置1は、例えばインクジェット方式によりカラーフィルター基板(基材)Pの所定領域にカラーフィルター材料(機能液)の液滴を吐出してカラーフィルター層を形成する装置である。また、液滴吐出装置1は、本発明の液滴吐出方法を行うものでもある。
(Droplet discharge device)
FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a droplet discharge device 1 according to the present invention. The droplet discharge device 1 is a device that forms a color filter layer by discharging droplets of a color filter material (functional liquid) onto a predetermined region of a color filter substrate (base material) P by, for example, an inkjet method. The droplet discharge device 1 also performs the droplet discharge method of the present invention.
液滴吐出装置1は、ワークステージ16、液滴吐出ヘッド5、チューブ44、タンク33、シート部材搬送台11、供給リール12、巻取リール13、面積計測用カメラ14、制御ユニット(制御手段)31、面積測定解析ユニット(着弾面積測定手段)32、第1配線41、第2配線42、第3配線43を備えている。
The droplet discharge apparatus 1 includes a
ワークステージ16は、ステージ移動装置(図示略)によってX軸方向に移動可能に設置されている。また、ワークステージ16は、搬送装置(図示略)から搬送されるカラーフィルター基板Pを、真空吸着機構(図示略)によりXY平面上に保持する。
The
液滴吐出ヘッド5は、第1配線41を介して制御ユニット31に電気的に接続されている。液滴吐出ヘッド5は、複数のノズルN(図2参照)を有し、制御ユニット31から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルター材料の液滴を吐出する。また、液滴吐出ヘッド5は、カラーフィルター材料のR(赤)、G(緑)、B(青)に対応して設けられている。また、液滴吐出ヘッド5は、チューブ44を介してタンク33と連結されている。
The
液滴吐出ヘッド5は、Y軸方向及びZ軸方向に対してポールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構(図示略)を備えている。そして、液滴吐出ヘッド5は、制御ユニット31から入力されるY座標及びZ座標を示す位置制御信号に基づいて、Y軸方向及びZ軸方向に移動可能になっている。
The
チューブ44は、タンク33と液滴吐出ヘッド5とを連結するカラーフィルター材料の供給用チューブである。タンク33は、R(赤)用のカラーフィルター材料、G(緑)用のカラーフィルター材料、B(青)用のカラーフィルター材料、の3色のカラーフィルター材料を貯蔵している。タンク33は、3色のカラーフィルター材料を貯蔵するとともに、チューブ44を介して3色に対応する液滴吐出ヘッド5にカラーフィルター材料を供給する。
The
シート部材搬送台11は、搬送台移動装置(図示略)によってX軸方向に移動可能になっている。シート部材搬送台11は、供給リール12から供給される帯状のシート部材15を搬送するシート部材15の搬送台である。供給リール12から供給されたシート部材15は、巻取リール13によって巻き取られる。
The sheet member transport table 11 is movable in the X-axis direction by a transport table moving device (not shown). The sheet member conveying table 11 is a conveying table for the
シート部材15は、液滴吐出ヘッド5の複数のノズルNから吐出されたインク(機能液)のドット状の着弾面積が記録可能な記録媒体である。このシート部材15としては、例えばロール紙等の記録紙を用いることができる。なお、シート部材15としては、ロール紙に代えて例えばガラス基板等の撥水性を有する基板を用いることもできる。
The
また、シート部材15は、生産前、つまりカラーフィルター基板P上への描画前に、液滴吐出ヘッド5の複数のノズルNの吐出状態(ノズル抜け、曲がり)を確認するために用いられるものでもある。
Further, the
面積計測用カメラ14は、シート部材搬送台11上のシート部材15の記録面(上面)に対向する位置に配置されている。面積計測用カメラ14は、複数のノズルNからシート部材15に吐出されたインクの着弾面積を撮影するカメラである。面積計測用カメラ14は、第2配線42を介して面積測定解析ユニット32に電気的に接続されている。面積計測用カメラ14は、撮影したインクの着弾面積の画像データを面積測定解析ユニット32に出力する。
The
面積測定解析ユニット32は、面積計測用カメラ14によって撮影されたインクの着弾面積を測定する機能を有するものである。面積測定解析ユニット32は、第3配線43を介して制御ユニット31に電気的に接続されている。面積測定解析ユニット32は、測定した複数のノズルNにおけるインクの着弾面積の測定データを制御ユニット31に出力する。
The area
制御ユニット31は、面積測定解析ユニット32から入力される着弾面積の測定データに基づいて、駆動素子PZ(図2参照)を有する液滴吐出ヘッド5に印加する電圧を調整する。そして、駆動素子PZにより複数のノズルNにおけるインクの着弾面積のばらつきが調整される。つまり、複数のノズルNにおけるインクの着弾面積のばらつきが補正される。駆動素子PZによりインクの着弾面積のばらつきが補正された後、液滴吐出ヘッド5の複数のノズルNからカラーフィルター基板P上の所定の位置にカラーフィルター材料の液滴が吐出される。
The
図2は液滴吐出ヘッド5の概略構成を示す模式図である。図2(a)は液滴吐出ヘッド5をワークステージ16から見た平面図、図2(b)は、液滴吐出ヘッド5の部分斜視図、図2(c)は液滴吐出ヘッド5の1ノズルの部分断面図である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the
図2(a)に示すように、液滴吐出ヘッド5は、Y軸方向に配列された複数(例えば180個)のノズルN1〜N180を備えている。ノズルN1〜N180によってノズル列NAが形成されている。図2(a)では1列分のノズルを示しているが、液滴吐出ヘッド5に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Y軸方向に配列した1列分ノズルをX軸方向に複数列設けても良い。
As shown in FIG. 2A, the
図2(b)に示すように、液滴吐出ヘッド5は、チューブ44と連結される材料供給孔20aが設けられた振動板20と、ノズルN1〜N180が設けられたノズルプレート21と、振動板20とノズルプレート21との間に設けられた液溜まり22と、複数の隔壁23と、複数の収容室24とを備えている。振動板20上には、各ノズルN1〜N180に対応して駆動素子PZ1〜PZ180が配置されている。駆動素子PZ1〜PZ180は、例えばピエゾ素子である。
2B, the
液溜まり22には、材料供給孔20aを介して供給される液状のカラーフィルター材料が充填されるようになっている。収容室24は、振動板20と、ノズルプレート21と、1対の隔壁23とによって囲まれるようにして形成されている。また、収容室24は、各ノズルN1〜N180に1対1に対応して設けられている。また、各収容室24には、一対の隔壁23の間に設けられた供給口24aを介して、液溜まり22からカラーフィルター材料が導入されるようになっている。
The
図2(c)に示すように、駆動素子PZ1は、圧電材料25を一対の電極26で挟持したものである。この駆動素子PZ1は、一対の電極26に駆動信号を印加すると圧電材料25が収縮するよう構成されたものである。そして、このような駆動素子PZ1が配置されている振動板20は、一対の電極26に駆動信号を印加すると駆動素子PZ1と一体になって同時に外側(収容室24の反対側)へ撓曲するようになっており、これによって収容室24の容積が増大するようになっている。
As shown in FIG. 2C, the drive element PZ 1 is obtained by sandwiching a
したがって、収容室24内に増大した容積分に相当するカラーフィルター材料が、液溜まり22から供給口24aを介して流入する。また、このような状態から駆動素子PZ1への駆動信号の印加を停止すると、駆動素子PZ1と振動板20はともに元の形状に戻り、収容室24も元の容積に戻る。これにより、収容室24内のカラーフィルター材料の圧力が上昇し、ノズルN1からカラーフィルター基板Pに向けてカラーフィルター材料の液滴Lが吐出される。また、駆動素子PZ1を用いることにより、収容室24内に微振動を生じさせてインク吐出量を精度よく調整することができる。
Accordingly, the color filter material corresponding to the increased volume in the
図3は、液滴吐出ヘッド5を用いてカラーフィルター基板P上にカラーフィルター層(カラーフィルター)CFを形成する方法の説明図である。図3(a)は、インクの吐出対象物であるカラーフィルター基板Pの概略平面図である。図3(b)は、カラーフィルター基板Pの部分拡大平面図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram of a method for forming a color filter layer (color filter) CF on the color filter substrate P using the
図3(a)において、ガラス、プラスチック等によって形成された大面積のカラーフィルター基板Pの表面には複数のパネル領域CAが設定されている。各パネル領域CAは、互いに分離(切断)されて個々のカラーフィルター基板として提供される。各パネル領域CAの内部には、図3(b)に示すように、ドット状に配列された複数の画素PX(所定領域)が設けられている。画素PXは各パネル領域CA内にマトリクス状に配列されており、それぞれの画素PX毎にカラーフィルター層(着色層)CFが形成される。 In FIG. 3A, a plurality of panel areas CA are set on the surface of a large-area color filter substrate P formed of glass, plastic or the like. Each panel area CA is separated (cut) from each other and provided as an individual color filter substrate. In each panel area CA, as shown in FIG. 3B, a plurality of pixels PX (predetermined areas) arranged in a dot shape are provided. The pixels PX are arranged in a matrix in each panel area CA, and a color filter layer (colored layer) CF is formed for each pixel PX.
図3(b)の図示上下方向(矢印A1及び矢印A2で示す方向)を主走査方向とし、主走査方向と直交する方向(図示左右方向)を副走査方向として、液滴吐出ヘッド5をカラーフィルター基板P上に配置する。そして、カラーフィルター基板Pを液滴吐出ヘッド5に対して主走査方向及び副走査方向に相対的に移動(走査)させながら、液滴吐出ヘッド5の複数のノズルNから着色材料を含むインク(カラーフィルター材料)を吐出させ、カラーフィルター基板P上の各画素PXにカラーフィルター層CFを形成する。
The vertical direction (indicated by arrows A1 and A2) in FIG. 3B is the main scanning direction, and the direction orthogonal to the main scanning direction (left and right direction in the drawing) is the sub-scanning direction. Arranged on the filter substrate P. Then, while moving (scanning) the color filter substrate P relative to the
液滴吐出ヘッド5の走査は、1つのパネル領域CAに関して複数回行う。例えば、主走査方向に液滴吐出ヘッド5を走査した後、副走査方向に液滴吐出ヘッド5を移動(走査)し、再度主走査方向に走査を行う。1つのパネル領域CAの左端から右端まで移動(副走査)したら、再びパネル領域CAの左端に戻り、既に吐出を行った位置とは若干異なる位置で主走査方向に走査を行う。そして、このような走査を複数回行うことによって、パネル領域CA内の全ての画素PXに所望の膜厚のカラーフィルター層CFを形成する。
The
なお、図3(b)において液滴吐出ヘッド5が副走査方向に対して斜めに傾いているのは、液滴吐出ヘッド5のノズルNのピッチを画素PXのピッチに合わせるためである。ノズルNのピッチと画素PXのピッチとが所定の対応関係を満たして設定されていれば、液滴吐出ヘッド5を斜めに傾ける必要はない。
In FIG. 3B, the reason why the
カラーフィルター層CFは、R、G、Bの各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で配列することによって形成される。したがって、図3(b)に示すインクの吐出工程においては、R、G、Bのカラーフィルター材料を吐出する液滴吐出ヘッド5を、R、G、Bの3色分だけ予め用意する。そして、これらの液滴吐出ヘッド5を順次に用いて1つのカラーフィルター基板P上にR、G、Bの3色のカラーフィルター層CFの配列を形成する。 The color filter layer CF is formed by arranging R, G, and B colors in an appropriate arrangement form such as a so-called stripe arrangement, delta arrangement, mosaic arrangement, or the like. Therefore, in the ink ejection process shown in FIG. 3B, the droplet ejection heads 5 that eject R, G, and B color filter materials are prepared in advance for the three colors R, G, and B. Then, an array of three color filter layers CF of R, G, and B is formed on one color filter substrate P using these droplet discharge heads 5 in order.
ところで、一般的に液滴吐出ヘッドにおいては、ノズル間でインクの吐出特性(吐出量)に僅かながらばらつきが存在する(図7中の補正前の実線参照)。ノズル間でインクの吐出量にばらつきがあると、これに起因してカラーフィルター基板P上へのインクの配置量がばらついてしまい、カラーフィルターにスジムラを発生させる原因となってしまう。 In general, in a droplet discharge head, there is a slight variation in ink discharge characteristics (discharge amount) between nozzles (see the solid line before correction in FIG. 7). If there is a variation in the amount of ink discharged between the nozzles, the amount of ink disposed on the color filter substrate P varies due to this variation, which causes unevenness in the color filter.
図7は、インク吐出量のばらつきの補正前後の液滴吐出ヘッドの吐出特性を示す図である。図7において、横軸はノズル列NAのノズル番号1〜180、縦軸は各ノズル番号に対応するノズルの吐出量を示している。図7に示すように、インク吐出量のばらつきの補正前の実線を見ると、両端部と中央部のノズルにおけるインク吐出量が相対的に多くなる傾向があることがわかる。 FIG. 7 is a diagram illustrating the ejection characteristics of the droplet ejection head before and after correcting the variation in the ink ejection amount. In FIG. 7, the horizontal axis indicates the nozzle numbers 1 to 180 of the nozzle array NA, and the vertical axis indicates the discharge amount of the nozzle corresponding to each nozzle number. As shown in FIG. 7, when the solid line before the correction of the variation in the ink discharge amount is seen, it can be seen that the ink discharge amount tends to be relatively large at the nozzles at both ends and the central portion.
そこで、本発明の液滴吐出方法では、補正前(生産前)となるカラーフィルター基板P上への描画前に、液滴吐出ヘッド5の駆動素子PZに印加する電圧を調整し、複数のノズルNにおけるインクの吐出特性を調整する工程を設けている。以下、本発明の液滴吐出方法について一例を挙げて説明する。
Therefore, in the droplet discharge method of the present invention, the voltage applied to the drive element PZ of the
(液滴吐出方法)
図4は、本発明の液滴吐出方法の工程を示すフローチャートである。本発明の液滴吐出方法は、装置を所定の位置に配置して装置の位置合わせを行う「装置の位置合わせ工程」(ステップS1)と、駆動素子PZに印加する電圧を一定にしてインクをシート部材15に着弾する「第1着弾工程」(ステップS2)と、第1着弾工程の後にシート部材15にインクが着弾された第1着弾面積を測定する「第1着弾面積測定工程」(ステップS3)と、シート部材15を巻き取る「シート部材巻取工程」(ステップS4)と、第1着弾面積のばらつきを調整するように駆動素子PZに印加する電圧を調整してインクをシート部材15に着弾する「第2着弾工程」(ステップS5)と、を有する。
(Droplet ejection method)
FIG. 4 is a flowchart showing the steps of the droplet discharge method of the present invention. In the droplet discharge method of the present invention, the apparatus is positioned at a predetermined position and the apparatus is aligned (step S1), and the voltage applied to the drive element PZ is kept constant. “First landing process” (step S2) for landing on the
先ず、装置を所定の位置に配置して装置の位置合わせを行う(図4のステップS1)。具体的には、シート部材搬送台11をワークステージ16に向かってX軸方向に移動させ、液滴吐出ヘッド5の直下に配置する。これにより、シート部材搬送台11上のシート部材15が液滴吐出ヘッド5の複数のノズルNに対向するように配置される。
First, the apparatus is positioned at a predetermined position to align the apparatus (step S1 in FIG. 4). Specifically, the sheet member conveyance table 11 is moved in the X-axis direction toward the
次に、駆動素子PZに印加する電圧を一定にして、インクをシート部材15に着弾させる(図4のステップ2)。インクは、カラーフィルター層CFにならって、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で着弾するのがよい。これにより、液滴吐出ヘッド5の複数のノズルNの補正前(シート部材15への吐出時)の吐出状態と、補正後(カラーフィルター基板Pへの吐出時)の吐出状態と、が確実に整合するようになる。
Next, the voltage applied to the drive element PZ is made constant, and ink is landed on the sheet member 15 (
また、インクをシート部材15に着弾させる際は、複数回に分けて着弾させるのがよい。具体的には、先ず、第1のインクをシート部材15上の所定の領域に着弾させる。次に、第2のインクを第1のインクの着弾されていない領域に着弾させる。これにより、インクをシート部材15へ複数回繰り返して着弾できるので、シート部材15を無駄なく有効に利用することができる。
In addition, when the ink is landed on the
次に、シート部材15にインクが着弾された着弾面積を測定する(図4のステップ3)。具体的には、シート部材15の上面に対向する位置に配置された面積計測用カメラ14により、複数のノズルNからシート部材15に吐出されたインクの着弾面積を撮影する。このとき、面積計測用カメラ14のレンズの倍率は、測定精度と測定時間の点から、例えば4〜10倍に設定するのがよい。また、インクの着弾面積を測定する際のN数は、測定精度の点から、例えばN=20〜30に設定するのがよい。
Next, the landing area where ink is landed on the
面積計測用カメラ14によって撮影されたインクの着弾面積の画像データは、面積測定解析ユニット32に出力される。そして、面積測定解析ユニット32よって測定された複数のノズルNにおけるインクの着弾面積の測定データは制御ユニット31に出力される。
The ink landing area image data photographed by the
本実施形態では、従来の複数のノズルから吐出されたインクの重量を測定する方法に対して、着弾面積に基づいて吐出量を測定する方法を用いている。これにより、測定が容易となり、吐出量の測定に膨大な工数がかからなくなる。これは、本願発明者が、インク吐出量と着弾面積との間に一定の関係があることを見出したことによる。 In the present embodiment, a method of measuring the ejection amount based on the landing area is used in contrast to the conventional method of measuring the weight of ink ejected from a plurality of nozzles. As a result, measurement becomes easy, and enormous man-hours are not required for measuring the discharge amount. This is because the present inventor has found that there is a certain relationship between the ink discharge amount and the landing area.
図5は、インク吐出量と着弾面積の関係を示す図である。図5において、横軸はインク吐出量、縦軸は着弾面積を示している。また、図5中の○は、インク吐出量に対応する着弾面積のデータを複数プロットしたものである。そして、図5中の実線は、例えば複数のデータから最小二乗法による回帰分析により求めた線(検量線)である。この検量線からの複数のデータのばらつきを相関係数ρで表すと、ρ>0.9となる。図5を見ても、データのプロットが略一直線に並んでいることが確認される。これにより、本願発明者は、信頼性の高い、インク吐出量と着弾面積との間の比例関係を見出したことがわかる。 FIG. 5 is a diagram illustrating the relationship between the ink discharge amount and the landing area. In FIG. 5, the horizontal axis represents the ink discharge amount, and the vertical axis represents the landing area. In FIG. 5, ◯ is a plot of a plurality of landing area data corresponding to the ink discharge amount. The solid line in FIG. 5 is a line (calibration curve) obtained from a plurality of data by regression analysis using the least square method, for example. When the variation of the plurality of data from the calibration curve is expressed by the correlation coefficient ρ, ρ> 0.9. Even if FIG. 5 is seen, it is confirmed that the plot of data is located in a substantially straight line. Thereby, it turns out that the inventor of the present application has found a proportional relationship between the ink discharge amount and the landing area with high reliability.
次に、シート部材15を巻き取る(図4のステップS4)。具体的には、巻取リール13によってインクが着弾されたシート部材15が巻き取られる。つまり、供給リール12からインクが着弾されていない新たなシート部材15が供給される。
Next, the
次に、駆動素子PZに印加する電圧を調整して、インクをシート部材15に着弾させる(図4のステップS5)。具体的には、制御ユニット31によって複数のノズルN毎に備えられた駆動素子PZに印加する電圧が調整される。
Next, the voltage applied to the drive element PZ is adjusted to land the ink on the sheet member 15 (step S5 in FIG. 4). Specifically, the voltage applied to the drive element PZ provided for each of the plurality of nozzles N is adjusted by the
例えば、初期状態(図7中の補正前の実線参照)におけるインク吐出量が相対的に少ない領域のノズルに対応する駆動素子PZに対して所定の電圧を印加する。一方、初期状態におけるインク吐出量が相対的に多い領域のノズルに対応する駆動素子PZに対しては電圧を印加しない。このようにして、駆動素子PZによって複数のノズルN間で生じている吐出量のばらつきが調整される。これにより、複数のノズルNにおけるインクの着弾面積のばらつきが補正される。これは、本願発明者が、印加電圧と着弾面積との間に一定の関係があることを見出したことによる。 For example, a predetermined voltage is applied to the drive element PZ corresponding to the nozzle in the region where the ink ejection amount is relatively small in the initial state (see the solid line before correction in FIG. 7). On the other hand, no voltage is applied to the drive element PZ corresponding to the nozzle in the region where the ink discharge amount is relatively large in the initial state. In this way, the variation in the discharge amount generated between the plurality of nozzles N is adjusted by the drive element PZ. As a result, variations in the ink landing area at the plurality of nozzles N are corrected. This is because the present inventor found that there is a certain relationship between the applied voltage and the landing area.
図6は、印加電圧と着弾面積の関係を示す図である。図6において、横軸は印加電圧、縦軸は着弾面積を示している。図6に示すように、印加電圧と着弾面積との間には比例関係があることが確認される。この関係を利用して駆動素子PZに対して所定の電圧を印加することで、図7に示したように初期状態(補正前の実線)において複数のノズルN間で生じていたインク吐出量のばらつきを、補正後の実線に示すように略平均化することができる。 FIG. 6 is a diagram showing the relationship between the applied voltage and the landing area. In FIG. 6, the horizontal axis indicates the applied voltage, and the vertical axis indicates the landing area. As shown in FIG. 6, it is confirmed that there is a proportional relationship between the applied voltage and the landing area. By applying a predetermined voltage to the drive element PZ using this relationship, the ink discharge amount generated between the plurality of nozzles N in the initial state (solid line before correction) as shown in FIG. The variation can be substantially averaged as shown by the solid line after correction.
本実施形態の液滴吐出装置1によれば、面積測定解析ユニット32により複数のノズルNから吐出されるインクの着弾面積が測定される。すると、制御ユニット31により駆動素子PZへの印加電圧が調整され、複数のノズルNにおける着弾面積のばらつきが調整される。つまり、制御ユニット31により複数のノズルNにおけるインク吐出量のばらつきが補正されることになる。これは、本願発明者が、複数のノズルNにおけるインク吐出量と着弾面積との間に一定の関係を見出したことによる。このため、液滴吐出ヘッド5の全ノズルから均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。また、複数のノズルNから吐出されたインクの着弾面積に基づいて吐出量を測定する方法は、従来の吐出されたインクの重量を測定する方法に比べて、膨大な工数がかからないので生産効率に優れる。また、複数のノズルNから吐出されたインクが着弾したシート部材15が適宜搬送されるので、インクの着弾面積の測定が効率よく行われる。
According to the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the landing area of the ink discharged from the plurality of nozzles N is measured by the area
本実施形態の液滴吐出方法によれば、第1着弾工程の後の第1着弾面積測定工程により複数のノズルにおけるインクの着弾面積が測定される。そして、第2着弾工程により複数のノズルNにおけるインク吐出量のばらつきが調整される。このため、液滴吐出ヘッド5の全ノズルNから均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。
According to the droplet discharge method of the present embodiment, the ink landing areas at the plurality of nozzles are measured by the first landing area measuring step after the first landing step. And the dispersion | variation in the ink discharge amount in the some nozzle N is adjusted by a 2nd landing process. For this reason, it is possible to discharge a uniform amount of ink from all the nozzles N of the
なお、上記液滴吐出方法においては、第2着弾工程の後に、シート部材15にインクが着弾された第2着弾面積を測定する第2着弾面積測定工程と、第2着弾面積のばらつきを調整するように駆動素子PZに印加する電圧を調整してインクをシート部材15に着弾する第3着弾工程と、を少なくとも1回有していてもよい。
この製造方法によれば、第2着弾工程の後に、着弾面積測定工程と着弾工程と、を複数回繰り返して行うことにより、複数のノズルNにおけるインク吐出量のばらつきが確実に調整される。このため、液滴吐出ヘッド5の全ノズルNから格段に均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラをより目立たなくして画質の低下を格段に抑制することができる。
In the droplet discharge method, after the second landing step, the second landing area measuring step for measuring the second landing area where the ink has landed on the
According to this manufacturing method, after the second landing step, the landing area measuring step and the landing step are repeatedly performed a plurality of times, so that the variation in the ink discharge amount of the plurality of nozzles N is reliably adjusted. For this reason, it becomes possible to discharge a substantially uniform amount of ink from all the nozzles N of the
なお、上記液滴吐出方法においては、第2着弾工程で着弾するインクについても、カラーフィルター層CFにならって、上述の第1着弾工程(図4のステップ2)と同様に適宜の配列形態で着弾するのがよい。これにより、液滴吐出ヘッド5の複数のノズルNの補正前の吐出状態と、補正後の吐出状態と、が確実に整合するようになる。
In the droplet discharge method, the ink that is landed in the second landing process is arranged in an appropriate arrangement form in the same manner as in the first landing process (
また、本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、上述したように液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクが吐出されるので、スジムラの無い高品質なカラーフィルターを製造することができる。 Further, according to the method for producing a color filter of the present invention, since a uniform amount of ink is ejected from all nozzles of the droplet ejection head as described above, it is possible to produce a high-quality color filter without streaks. it can.
なお、上記実施形態では、ノズル間のインク吐出量のばらつきが調整された液滴吐出装置1を用いてカラーフィルターを製造する場合について説明したが、これに限らない。例えば、本発明の液滴吐出装置1はカラーフィルターの製造だけでなく、均一な膜厚を必要とされ、スジムラの形成が問題となる成膜工程においても適用可能である。 In the above embodiment, the case where the color filter is manufactured using the droplet discharge device 1 in which the variation in the ink discharge amount between the nozzles is adjusted has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the droplet discharge device 1 of the present invention can be applied not only to the manufacture of a color filter but also to a film forming process in which uniform film thickness is required and the formation of stripes becomes a problem.
1…液滴吐出装置、5…液滴吐出ヘッド、12…供給リール、13…巻取リール、24…収容室、31…制御ユニット(制御手段)、32…面積測定解析ユニット(着弾面積測定手段)、CF…カラーフィルター層(カラーフィルター)、N…ノズル、P…カラーフィルター基板(基材)、PZ…駆動素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge apparatus, 5 ... Droplet discharge head, 12 ... Supply reel, 13 ... Take-up reel, 24 ... Storage chamber, 31 ... Control unit (control means), 32 ... Area measurement analysis unit (landing area measurement means) ), CF: Color filter layer (color filter), N: Nozzle, P: Color filter substrate (base material), PZ: Drive element
Claims (4)
前記複数のノズルから吐出された前記機能液を着弾させるシート部材を供給する供給リールと、
前記供給リールから供給された前記シート部材を巻き取る巻取リールと、
前記供給リールと前記巻取リールとの間の前記シート部材に対して前記複数のノズルから吐出された前記機能液の着弾面積を測定する着弾面積測定手段と、
前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整して前記複数のノズルにおける前記着弾面積のばらつきを調整する制御手段と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。 A droplet discharge head having a plurality of nozzles for discharging a functional liquid, and a plurality of drive elements provided corresponding to the plurality of nozzles;
A supply reel for supplying a sheet member for landing the functional liquid discharged from the plurality of nozzles;
A take-up reel that winds up the sheet member supplied from the supply reel;
A landing area measuring means for measuring a landing area of the functional liquid discharged from the plurality of nozzles on the sheet member between the supply reel and the take-up reel;
And a control unit that adjusts the voltage applied to the plurality of drive elements to adjust variation in the landing area of the plurality of nozzles.
前記複数の駆動素子に印加する電圧を一定にして前記機能液をシート部材に着弾する第1着弾工程と、
前記第1着弾工程の後に、前記シート部材に前記機能液が着弾された第1着弾面積を測定する第1着弾面積測定工程と、
前記第1着弾面積のばらつきを調整するように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整して前記機能液を前記シート部材に着弾する第2着弾工程と、を有することを特徴とする液滴吐出方法。 A droplet discharge method using a droplet discharge head having a plurality of nozzles for discharging a functional liquid and a plurality of drive elements provided corresponding to the plurality of nozzles,
A first landing step of landing the functional liquid on a sheet member with a constant voltage applied to the plurality of driving elements;
After the first landing step, a first landing area measuring step of measuring a first landing area where the functional liquid has landed on the sheet member;
And a second landing step of adjusting the voltage applied to the plurality of drive elements so as to adjust the variation of the first landing area and landing the functional liquid on the sheet member. Discharge method.
前記第2着弾面積のばらつきを調整するように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整して前記機能液を前記シート部材に着弾する第3着弾工程と、を少なくとも1回有することを特徴とする請求項2に記載の液滴吐出方法。 A second landing area measuring step of measuring a second landing area where the functional liquid has landed on the sheet member after the second landing step;
And a third landing step of adjusting the voltage applied to the plurality of driving elements so as to adjust the variation of the second landing area and landing the functional liquid on the sheet member, at least once. The droplet discharge method according to claim 2.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009050316A JP2010204408A (en) | 2009-03-04 | 2009-03-04 | Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, and method of manufacturing color filter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009050316A JP2010204408A (en) | 2009-03-04 | 2009-03-04 | Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, and method of manufacturing color filter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010204408A true JP2010204408A (en) | 2010-09-16 |
Family
ID=42965956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009050316A Withdrawn JP2010204408A (en) | 2009-03-04 | 2009-03-04 | Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, and method of manufacturing color filter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010204408A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014184960A1 (en) * | 2013-05-17 | 2014-11-20 | 富士機械製造株式会社 | Inspection device, inspection method, and control device |
US11578194B2 (en) | 2006-08-16 | 2023-02-14 | Taiyo Kagaku Co., Ltd. | Thickening composition improved in viscosity development |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004090621A (en) * | 2002-07-08 | 2004-03-25 | Canon Inc | Apparatus and method for discharging liquid and apparatus and method for manufacturing panel for display device |
JP2006058772A (en) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Ishii Hyoki Corp | Method for forming alignment layer and ink-jet type print head jetting inspection apparatus |
JP2008229602A (en) * | 2007-02-22 | 2008-10-02 | Seiko Epson Corp | Discharge amount-measuring method, discharge amount-adjusting method, liquid-discharging method, color filter-manufacturing method, liquid crystal display device-manufacturing method, and electro-optical device-manufactruing method |
JP2008264608A (en) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Shibaura Mechatronics Corp | Liquid droplet coating apparatus and liquid droplet coating method |
-
2009
- 2009-03-04 JP JP2009050316A patent/JP2010204408A/en not_active Withdrawn
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004090621A (en) * | 2002-07-08 | 2004-03-25 | Canon Inc | Apparatus and method for discharging liquid and apparatus and method for manufacturing panel for display device |
JP2006058772A (en) * | 2004-08-23 | 2006-03-02 | Ishii Hyoki Corp | Method for forming alignment layer and ink-jet type print head jetting inspection apparatus |
JP2008229602A (en) * | 2007-02-22 | 2008-10-02 | Seiko Epson Corp | Discharge amount-measuring method, discharge amount-adjusting method, liquid-discharging method, color filter-manufacturing method, liquid crystal display device-manufacturing method, and electro-optical device-manufactruing method |
JP2008264608A (en) * | 2007-04-16 | 2008-11-06 | Shibaura Mechatronics Corp | Liquid droplet coating apparatus and liquid droplet coating method |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11578194B2 (en) | 2006-08-16 | 2023-02-14 | Taiyo Kagaku Co., Ltd. | Thickening composition improved in viscosity development |
WO2014184960A1 (en) * | 2013-05-17 | 2014-11-20 | 富士機械製造株式会社 | Inspection device, inspection method, and control device |
JPWO2014184960A1 (en) * | 2013-05-17 | 2017-02-23 | 富士機械製造株式会社 | Inspection device, inspection method, and control device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4093167B2 (en) | Droplet ejection device, electro-optical device manufacturing method, electro-optical device, and electronic apparatus | |
KR100952380B1 (en) | Method of measuring landed dot, measuring apparatus for landed dot, liquid droplet ejection apparatus, method of manufacturing electro-optic apparatus, electro-optic apparatus, and electronic apparatus | |
JP2004337725A (en) | Droplet discharging apparatus, electro-optical device production method, electro-optical device, electronic device, and substrate | |
JP2006159116A (en) | Method of adjusting work gap, apparatus for adjusting work gap, droplet discharge apparatus, method of manufacturing electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment | |
JP2005324130A (en) | Droplet-discharging device, electro-optic device, method of fabricating electro-optic device and electronic equipment | |
JP5423148B2 (en) | Droplet discharge method and droplet discharge apparatus | |
JP5152053B2 (en) | Droplet discharge apparatus, droplet discharge method, and color filter manufacturing method | |
KR20080106107A (en) | Method for arranging liquid droplet ejection heads, head unit, liquid droplet ejection apparatus, method for manufacturing electro-optical apparatus, electro-optical apparatus, and electronic device | |
JP2010204411A (en) | Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, and method of manufacturing color filter | |
JP2006167544A (en) | Method for measuring discharge amount from functional liquid droplet discharging head, method for controlling drive of the same head, apparatus for measuring discharge amount from the same head, apparatus for discharging liquid droplet, method for manufacturing electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment | |
JP2010204408A (en) | Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, and method of manufacturing color filter | |
JP5152041B2 (en) | Droplet discharge apparatus, droplet discharge method, and color filter manufacturing method | |
JP2005238787A (en) | Ink ejection amount measuring method, and ink ejection amount control method and ink-jet device using the same | |
JP5272806B2 (en) | Droplet discharging method and color filter manufacturing method | |
JP2010197546A (en) | Droplet discharge apparatus, method of discharging droplet and method of manufacturing color filter | |
JP2010210740A (en) | Liquid drop discharge method and method of manufacturing color filter | |
JP2010243532A (en) | Droplet discharge device, droplet discharge method, and method for fabricating color filter | |
JP2010204409A (en) | Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, and method of manufacturing color filter | |
JP5326693B2 (en) | Droplet discharge apparatus, droplet discharge method, and color filter manufacturing method | |
JP2010210741A (en) | Liquid drop discharge method and method of manufacturing color filter | |
JP2010204413A (en) | Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, and method of manufacturing color filter | |
JP2010210853A (en) | Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method and method of manufacturing color filter | |
JP2010214349A (en) | Droplet discharge method and method for manufacturing color filter | |
JP2010204601A (en) | Droplet discharge device and method, and method of manufacturing color filter | |
JP2010210739A (en) | Droplet feeding device, droplet feeding method, and method for manufacturing color filter |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121023 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20121212 |