JP2010204409A - Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, and method of manufacturing color filter - Google Patents

Liquid drop discharge device, liquid drop discharge method, and method of manufacturing color filter Download PDF

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Takashi Goto
任 後藤
Sadaji Komori
貞治 小森
Takeshi Kato
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide: a liquid drop discharge device, restraining deterioration of image quality by making uneven ribbing inconspicuous, and having excellent production efficiency; a liquid drop discharge method; and a method of manufacturing a color filter. <P>SOLUTION: The liquid drop discharge device includes: a liquid drop discharge head 5 having a plurality of nozzles for discharging a functional liquid and a plurality of driving elements provided corresponding to the plurality of nozzles; a supply reel 12 for supplying a sheet member 15 on which the functional liquid discharged from the plurality of nozzles is impacted; a take-up reel 13 for taking up the sheet member 15 supplied from the supply reel 12; an imaging device 14 for photographing an image of the functional liquid discharged from the plurality of nozzles to the sheet member 15 between the supply reel 12 and the take-up reel 13; an analyzing means 32 for obtaining a distribution of discharge amount in the plurality of nozzles based on correction data; and a control means 31 for adjusting the voltage applied to the plurality of driving elements so that the discharge weight in the plurality of nozzles approaches a predetermined proper weight from the distribution. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a droplet discharge device, a droplet discharge method, and a color filter manufacturing method.

近年、携帯電話機、携帯型コンピューターなどの電子機器の表示部に液晶装置、有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ-Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ）装置等の電気光学装置が用いられている。これらの電気光学装置は、一般にフルカラー表示が行われる。例えば、液晶装置によるフルカラー表示は、液晶層によって変調される光をカラーフィルターに通すことによって表示される。このようなカラーフィルターは、液滴吐出法を用いた成膜技術によって、基板表面にインクをドット状に吐出することで形成される。   2. Description of the Related Art In recent years, electro-optical devices such as liquid crystal devices and organic EL (Electro-Luminescent) devices have been used for display units of electronic devices such as mobile phones and portable computers. These electro-optical devices generally perform full color display. For example, full color display by a liquid crystal device is displayed by passing light modulated by a liquid crystal layer through a color filter. Such a color filter is formed by ejecting ink on the surface of a substrate in a dot shape by a film forming technique using a droplet discharge method.

ところで、液滴吐出法を用いた成膜技術においては、複数のノズルのインク吐出量に僅かながらばらつきが生じる。そして、インク吐出量にばらつきを有した状態で描画した場合には、カラーフィルターに筋状の濃淡ムラ（スジムラ）が発生する場合がある。このようなスジムラは視認されやすく、カラーフィルターを介して表示される画像の画質が低下してしまう惧れがある。   By the way, in the film forming technique using the droplet discharge method, the ink discharge amounts of the plurality of nozzles vary slightly. When the ink is drawn with variations in the ink discharge amount, streaky shading unevenness (straight unevenness) may occur in the color filter. Such uneven stripes are easily visible, and the image quality displayed through the color filter may be degraded.

このような問題点を解決するための技術が検討されており、例えば特許文献1では、複数の異なるインク吐出密度で被着色媒体を着色し、この着色部分の色濃度を測定して、複数の異なるインク吐出密度で着色された着色部分の各々の色濃度と、それに対応するインク吐出密度と、の関係を算出している。この関係に基づいて、所望の色濃度が得られるインク吐出密度になるように補正することにより、表示画像の画質の低下を抑えている。   A technique for solving such a problem has been studied. For example, in Patent Document 1, a medium to be colored is colored with a plurality of different ink discharge densities, and the color density of the colored portion is measured to obtain a plurality of colors. The relationship between the color density of each colored portion colored with a different ink discharge density and the corresponding ink discharge density is calculated. Based on this relationship, a reduction in the image quality of the display image is suppressed by correcting the ink discharge density to obtain a desired color density.

特開平１０−２６０３０６号公報JP-A-10-260306

特許文献１では、複数の異なるインク吐出密度で着色された着色部分の各々の色濃度を、被着色媒体の着色部の吸光度により表している。この吸光度の測定の際に誤差が生じると、精度の高い補正ができず、画質の低下を抑制することが困難な場合がある。   In Patent Document 1, the color density of each colored portion colored with different ink discharge densities is represented by the absorbance of the colored portion of the medium to be colored. If an error occurs during the measurement of the absorbance, correction with high accuracy cannot be performed, and it may be difficult to suppress deterioration in image quality.

一方、複数のノズルから吐出されたインクの重量を測定する方法が、従来用いられている。しかしながら、インクの重量を測定することは、測定が容易ではなく膨大な工数を要するので、生産効率に劣るため量産面で好ましくない。   On the other hand, a method of measuring the weight of ink ejected from a plurality of nozzles is conventionally used. However, measuring the weight of the ink is not preferable in terms of mass production because it is not easy to measure and requires a large number of man-hours, and is inferior in production efficiency.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することが可能であり、さらに生産効率に優れる液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and it is possible to suppress deterioration in image quality by making stripes inconspicuous, and further, a droplet discharge device, a droplet discharge method, and It is an object to provide a method for producing a color filter.

上記の課題を解決するため、本発明の液滴吐出装置は、機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッドと、前記複数のノズルから吐出された前記機能液を着弾させるシート部材を供給する供給リールと、前記供給リールから供給された前記シート部材を巻き取る巻取リールと、前記供給リールと前記巻取リールとの間の前記シート部材に対して前記複数のノズルから吐出された前記機能液の画像を撮影する撮像装置と、前記撮像装置によって撮影された前記画像を画像処理して前記機能液の前記シート部材上の着弾面積を検出し、前記着弾面積と前記複数のノズルから吐出された前記機能液の吐出重量との関係を規定した補正データに基づいて前記複数のノズルにおける前記吐出重量の分布を求める解析手段と、前記分布から前記複数のノズルにおける前記吐出重量が所定の適正重量に近づくように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整する制御手段と、を有することを特徴とする。
この構成によれば、撮像装置により複数のノズルから吐出されるインク（機能液）の着弾した画像が撮影される。そして、解析手段により複数のノズルから吐出されるインクの吐出重量（インク重量）の分布が求められる。すると、制御手段により駆動素子への印加電圧は、複数のノズルにおけるインク重量が所定の適性重量に近づくように調整される。これにより、複数のノズルにおけるインク吐出量のばらつきが調整される。つまり、制御手段により複数のノズルにおけるインク吐出量のばらつきが補正されることになる。これは、本願発明者が、複数のノズルにおけるインクの着弾面積とインク重量との間に一定の関係を見出したことによる。このため、液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。また、複数のノズルから吐出されたインクの着弾面積とインク重量との関係を規定した補正データに基づいて吐出量を測定する方法は、従来の吐出されたインクの重量を測定する方法に比べて、膨大な工数がかからないので生産効率に優れる。また、複数のノズルから吐出されたインクが着弾したシート部材が適宜搬送されるので、着弾面積の測定が効率よく行われる。 In order to solve the above problems, a droplet discharge apparatus according to the present invention includes a plurality of nozzles that discharge a functional liquid and a plurality of drive elements that are provided corresponding to the plurality of nozzles. A supply reel that supplies a sheet member for landing the functional liquid ejected from the plurality of nozzles, a take-up reel that winds up the sheet member supplied from the supply reel, and the supply reel and the take-up reel An imaging device that captures an image of the functional liquid ejected from the plurality of nozzles with respect to the sheet member between the reel, and an image processing of the image captured by the imaging device to perform the processing of the functional fluid The landing area on the sheet member is detected, and the plurality of nozzles are applied to the plurality of nozzles based on correction data that defines the relationship between the landing area and the discharge weight of the functional liquid discharged from the plurality of nozzles. Analyzing means for obtaining a distribution of the discharge weight, and a control means for adjusting a voltage applied to the plurality of drive elements so that the discharge weight of the plurality of nozzles approaches a predetermined appropriate weight from the distribution. It is characterized by that.
According to this configuration, an image on which ink (functional liquid) ejected from a plurality of nozzles is landed is captured by the imaging device. Then, the distribution of the discharge weight (ink weight) of the ink discharged from the plurality of nozzles is obtained by the analyzing means. Then, the voltage applied to the drive element is adjusted by the control means so that the ink weight in the plurality of nozzles approaches a predetermined appropriate weight. Thereby, the variation of the ink discharge amount in the plurality of nozzles is adjusted. That is, the variation in the ink discharge amount at the plurality of nozzles is corrected by the control means. This is because the inventor of the present application has found a certain relationship between the ink landing area and the ink weight in a plurality of nozzles. For this reason, a uniform amount of ink can be ejected from all nozzles of the droplet ejection head. Accordingly, it is possible to suppress the deterioration of the image quality by making the stripes inconspicuous. In addition, the method of measuring the ejection amount based on the correction data that defines the relationship between the landing area of the ink ejected from a plurality of nozzles and the ink weight is compared with the conventional method of measuring the weight of the ejected ink. Because it does not take enormous man-hours, it is excellent in production efficiency. In addition, since the sheet member on which the ink ejected from the plurality of nozzles has landed is appropriately conveyed, the landing area can be measured efficiently.

本発明の液滴吐出方法は、機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出方法であって、前記複数の駆動素子に印加する電圧を一定にして前記機能液をシート部材に着弾する第１着弾工程と、前記第１着弾工程の後に、前記シート部材に着弾された前記機能液の第１着弾面積を検出し、前記第１着弾面積と前記複数のノズルから吐出された前記機能液の吐出重量との関係を規定した補正データに基づいて前記複数のノズルにおける前記吐出重量の分布を求める第１解析工程と、前記分布から前記複数のノズルにおける前記吐出重量が所定の適正重量に近づくように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整して前記機能液を前記シート部材に着弾する第２着弾工程と、を有することを特徴とする。
この製造方法によれば、第１着弾工程の後の第１解析工程により複数のノズルにおけるインク重量の分布が求められる。そして、第２着弾工程により複数のノズルにおけるインク重量が所定の適性重量に近づくように調整される。これにより、複数のノズルにおけるインク吐出量のばらつきが補正される。このため、液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。 The droplet discharge method of the present invention is a droplet discharge method using a droplet discharge head having a plurality of nozzles for discharging a functional liquid and a plurality of drive elements provided corresponding to the plurality of nozzles. A first landing step of landing the functional liquid on the sheet member with a constant voltage applied to the plurality of drive elements, and the functional liquid landed on the sheet member after the first landing step. A first landing area is detected, and the distribution of the discharge weights at the plurality of nozzles is determined based on correction data that defines a relationship between the first landing area and the discharge weight of the functional liquid discharged from the plurality of nozzles. A first analysis step to be obtained, and a voltage applied to the plurality of driving elements is adjusted so that the discharge weight of the plurality of nozzles approaches a predetermined appropriate weight from the distribution, and the functional liquid is landed on the sheet member And having a second landing step.
According to this manufacturing method, the ink weight distribution in the plurality of nozzles is obtained by the first analysis step after the first landing step. Then, the ink weight at the plurality of nozzles is adjusted to approach a predetermined appropriate weight by the second landing process. As a result, the variation in the ink discharge amount among the plurality of nozzles is corrected. For this reason, a uniform amount of ink can be ejected from all nozzles of the droplet ejection head. Accordingly, it is possible to suppress the deterioration of the image quality by making the stripes inconspicuous.

また、上記液滴吐出方法においては、前記シート部材に着弾された前記機能液の第２着弾面積を検出し、前記第２着弾面積と前記複数のノズルから吐出された前記機能液の吐出重量との関係を規定した補正データに基づいて前記複数のノズルにおける前記吐出重量の分布を求める第２解析工程と、前記分布から前記複数のノズルにおける前記吐出重量が所定の適正重量に近づくように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整して前記機能液を前記シート部材に着弾する第３着弾工程と、を少なくとも１回有することが望ましい。
この製造方法によれば、第２着弾工程の後に、解析工程と着弾工程と、を複数回繰り返して行うことにより、複数のノズルにおけるインク吐出量のばらつきが確実に調整される。このため、液滴吐出ヘッドの全ノズルから格段に均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラをより目立たなくして画質の低下を格段に抑制することができる。 In the droplet discharge method, the second landing area of the functional liquid landed on the sheet member is detected, the second landing area and the discharge weight of the functional liquid discharged from the plurality of nozzles, A second analysis step of obtaining a distribution of the discharge weights of the plurality of nozzles based on correction data defining the relationship of the plurality of nozzles, and the plurality of discharge weights so that the discharge weight of the plurality of nozzles approaches a predetermined appropriate weight from the distribution. It is desirable to have at least one third landing step of adjusting the voltage applied to the driving element and landing the functional liquid on the sheet member.
According to this manufacturing method, after the second landing process, the analysis process and the landing process are repeatedly performed a plurality of times, so that variations in the ink discharge amounts of the plurality of nozzles are reliably adjusted. For this reason, it becomes possible to discharge a substantially uniform amount of ink from all the nozzles of the droplet discharge head. Therefore, it is possible to make the unevenness more inconspicuous and to suppress the deterioration of the image quality.

本発明のカラーフィルターの製造方法は、上記の液滴吐出方法を用いて、基材上に設けられた所定領域に前記機能液を配置してカラーフィルターを形成することを特徴とする。
この製造方法によれば、上述したように液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクが吐出されるので、スジムラの無い高品質なカラーフィルターを製造することができる。 The method for producing a color filter of the present invention is characterized in that the functional liquid is disposed in a predetermined region provided on a base material to form a color filter using the droplet discharge method described above.
According to this manufacturing method, as described above, a uniform amount of ink is ejected from all the nozzles of the droplet ejection head, so that a high-quality color filter free from unevenness can be produced.

本発明の液滴吐出装置の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of the droplet discharge apparatus of this invention. 液滴吐出ヘッドの概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of a droplet discharge head. カラーフィルター基板上にカラーフィルターを形成する方法の説明図である。It is explanatory drawing of the method of forming a color filter on a color filter board | substrate. インク吐出量のばらつきの補正前の液滴吐出ヘッドの吐出特性を示す図である。It is a figure which shows the discharge characteristic of the droplet discharge head before correction | amendment of the dispersion | variation in ink discharge amount. 液滴吐出方法の工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process of a droplet discharge method. 重量の異なる２種類のインクをシート部材に配置した状態を示す図である。It is a figure which shows the state which has arrange | positioned two types of ink from which weight differs in a sheet | seat member. インク重量に対する着弾面積の変化量と着弾体積の変化量との関係図である。FIG. 6 is a relationship diagram between a change amount of a landing area and a change amount of a landing volume with respect to ink weight. インク吐出量のばらつき補正前後の液滴吐出ヘッドの吐出特性を示す図である。It is a figure which shows the discharge characteristic of the droplet discharge head before and after dispersion | variation correction | amendment of an ink discharge amount.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。かかる実施の形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. This embodiment shows one aspect of the present invention, and does not limit the present invention, and can be arbitrarily changed within the scope of the technical idea of the present invention. Moreover, in the following drawings, in order to make each structure easy to understand, an actual structure and a scale, a number, and the like in each structure are different.

以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。ＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ１６に対して平行な方向に設定され、Ｚ軸がワークステージ１６に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。   In the following description, the XYZ rectangular coordinate system shown in FIG. 1 is set, and each member will be described with reference to this XYZ rectangular coordinate system. In the XYZ orthogonal coordinate system, the X axis and the Y axis are set in a direction parallel to the work stage 16, and the Z axis is set in a direction orthogonal to the work stage 16. In the XYZ coordinate system in FIG. 1, the XY plane is actually set to a plane parallel to the horizontal plane, and the Z axis is set to the vertically upward direction.

（液滴吐出装置）
図１は本発明に係る液滴吐出装置１の概略構成を示す模式図である。液滴吐出装置１は、例えばインクジェット方式によりカラーフィルター基板（基材）Ｐの所定領域にカラーフィルター材料（機能液）の液滴を吐出してカラーフィルター層を形成する装置である。また、液滴吐出装置１は、本発明の液滴吐出方法を行うものでもある。 (Droplet discharge device)
FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a droplet discharge device 1 according to the present invention. The droplet discharge device 1 is a device that forms a color filter layer by discharging droplets of a color filter material (functional liquid) onto a predetermined region of a color filter substrate (base material) P by, for example, an inkjet method. The droplet discharge device 1 also performs the droplet discharge method of the present invention.

液滴吐出装置１は、ワークステージ１６、液滴吐出ヘッド５、チューブ４４、タンク３３、シート部材搬送台１１、供給リール１２、巻取リール１３、面積計測用カメラ（撮像装置）１４、制御ユニット（制御手段）３１、解析ユニット（解析手段）３２、第１配線４１、第２配線４２、第３配線４３を備えている。   The droplet discharge device 1 includes a work stage 16, a droplet discharge head 5, a tube 44, a tank 33, a sheet member transport table 11, a supply reel 12, a take-up reel 13, an area measurement camera (imaging device) 14, and a control unit. (Control means) 31, analysis unit (analysis means) 32, first wiring 41, second wiring 42, and third wiring 43 are provided.

ワークステージ１６は、ステージ移動装置（図示略）によってＸ軸方向に移動可能に設置されている。また、ワークステージ１６は、搬送装置（図示略）から搬送されるカラーフィルター基板Ｐを、真空吸着機構（図示略）によりＸＹ平面上に保持する。   The work stage 16 is installed so as to be movable in the X-axis direction by a stage moving device (not shown). The work stage 16 holds the color filter substrate P transported from a transport apparatus (not shown) on the XY plane by a vacuum suction mechanism (not shown).

液滴吐出ヘッド５は、第１配線４１を介して制御ユニット３１に電気的に接続されている。液滴吐出ヘッド５は、複数のノズルＮ（図２参照）を有し、制御ユニット３１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルター材料の液滴を吐出する。また、液滴吐出ヘッド５は、カラーフィルター材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられている。また、液滴吐出ヘッド５は、チューブ４４を介してタンク３３と連結されている。   The droplet discharge head 5 is electrically connected to the control unit 31 via the first wiring 41. The droplet discharge head 5 has a plurality of nozzles N (see FIG. 2), and discharges droplets of color filter material based on drawing data and drive control signals input from the control unit 31. The droplet discharge heads 5 are provided corresponding to the color filter materials R (red), G (green), and B (blue). The droplet discharge head 5 is connected to the tank 33 via a tube 44.

液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してポールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構（図示略）を備えている。そして、液滴吐出ヘッド５は、制御ユニット３１から入力されるＹ座標及びＺ座標を示す位置制御信号に基づいて、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能になっている。   The droplet discharge head 5 includes a bearing mechanism (not shown) such as a pole screw or a linear guide in the Y-axis direction and the Z-axis direction. The droplet discharge head 5 is movable in the Y-axis direction and the Z-axis direction based on the position control signal indicating the Y coordinate and the Z coordinate input from the control unit 31.

チューブ４４は、タンク３３と液滴吐出ヘッド５とを連結するカラーフィルター材料の供給用チューブである。タンク３３は、Ｒ（赤）用のカラーフィルター材料、Ｇ（緑）用のカラーフィルター材料、Ｂ（青）用のカラーフィルター材料、の３色のカラーフィルター材料を貯蔵している。タンク３３は、３色のカラーフィルター材料を貯蔵するとともに、チューブ４４を介して３色に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルター材料を供給する。   The tube 44 is a tube for supplying a color filter material that connects the tank 33 and the droplet discharge head 5. The tank 33 stores three color filter materials: a color filter material for R (red), a color filter material for G (green), and a color filter material for B (blue). The tank 33 stores the color filter materials of three colors and supplies the color filter materials to the droplet discharge heads 5 corresponding to the three colors via the tubes 44.

シート部材搬送台１１は、搬送台移動装置（図示略）によってＸ軸方向に移動可能になっている。シート部材搬送台１１は、供給リール１２から供給される帯状のシート部材１５を搬送するシート部材１５の搬送台である。供給リール１２から供給されたシート部材１５は、巻取リール１３によって巻き取られる。   The sheet member transport table 11 is movable in the X-axis direction by a transport table moving device (not shown). The sheet member conveying table 11 is a conveying table for the sheet member 15 that conveys the belt-shaped sheet member 15 supplied from the supply reel 12. The sheet member 15 supplied from the supply reel 12 is taken up by the take-up reel 13.

シート部材１５は、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから吐出されたインク（機能液）のドット状の着弾面積が記録可能な記録媒体である。このシート部材１５としては、例えばロール紙等の記録紙を用いることができる。なお、シート部材１５としては、ロール紙に代えて例えばガラス基板等の撥水性を有する基板を用いることもできる。   The sheet member 15 is a recording medium on which dot-shaped landing areas of ink (functional liquid) ejected from a plurality of nozzles N of the droplet ejection head 5 can be recorded. As the sheet member 15, for example, recording paper such as roll paper can be used. In addition, as the sheet member 15, a substrate having water repellency such as a glass substrate can be used instead of the roll paper.

また、シート部材１５は、生産前、つまりカラーフィルター基板Ｐ上への描画前に、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮの吐出状態（ノズル抜け、曲がり）を確認するために用いられるものでもある。   Further, the sheet member 15 may be used for confirming the discharge state (nozzle omission and bending) of the plurality of nozzles N of the droplet discharge head 5 before production, that is, before drawing on the color filter substrate P. is there.

面積計測用カメラ１４は、シート部材搬送台１１上のシート部材１５の記録面（上面）に対向する位置に配置されている。面積計測用カメラ１４は、複数のノズルＮからシート部材１５に吐出されたインクの着弾面積を撮影するカメラである。面積計測用カメラ１４は、第２配線４２を介して解析ユニット３２に電気的に接続されている。面積計測用カメラ１４は、撮影したインクの着弾面積の画像データを解析ユニット３２に出力する。   The area measuring camera 14 is disposed at a position facing the recording surface (upper surface) of the sheet member 15 on the sheet member conveying table 11. The area measurement camera 14 is a camera that photographs the landing area of ink ejected from the plurality of nozzles N to the sheet member 15. The area measurement camera 14 is electrically connected to the analysis unit 32 via the second wiring 42. The area measurement camera 14 outputs image data of the shot ink landing area to the analysis unit 32.

解析ユニット３２は、面積計測用カメラ１４によって撮影されたインクの着弾面積の画像データを画像処置して着弾面積を検出し、後述する着弾面積とインク重量との関係を規定した補正データに基づいて複数のノズルＮにおけるインク重量の分布を求める機能を有するものである。解析ユニット３２は、第３配線４３を介して制御ユニット３１に電気的に接続されている。解析ユニット３２は、複数のノズルＮにおけるインク重量の分布の測定データを制御ユニット３１に出力する。   The analysis unit 32 detects the landing area by performing image processing on the image data of the ink landing area photographed by the area measurement camera 14, and based on correction data defining the relationship between the landing area and the ink weight, which will be described later. This has a function of obtaining the ink weight distribution in the plurality of nozzles N. The analysis unit 32 is electrically connected to the control unit 31 via the third wiring 43. The analysis unit 32 outputs the measurement data of the ink weight distribution at the plurality of nozzles N to the control unit 31.

制御ユニット３１は、解析ユニット３２から入力される複数のノズルＮにおけるインク重量の分布の測定データに基づいて、駆動素子ＰＺ（図２参照）に印加する電圧を調整する。具体的には、制御ユニット３１は、複数のノズルＮにおけるインク重量が所定の適正重量に近づくように、駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整する。そして、駆動素子ＰＺにより複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが調整される。つまり、複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが補正される。駆動素子ＰＺによりインク吐出量のばらつきが補正された後、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮからカラーフィルター基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルター材料の液滴が吐出される。   The control unit 31 adjusts the voltage applied to the drive element PZ (see FIG. 2) based on the measurement data of the ink weight distribution at the plurality of nozzles N input from the analysis unit 32. Specifically, the control unit 31 adjusts the voltage applied to the drive element PZ so that the ink weight in the plurality of nozzles N approaches a predetermined appropriate weight. Then, the variation in the ink discharge amount of the plurality of nozzles N is adjusted by the drive element PZ. That is, the variation in the ink discharge amount among the plurality of nozzles N is corrected. After the variation in the ink discharge amount is corrected by the drive element PZ, the droplets of the color filter material are discharged to a predetermined position on the color filter substrate P from the plurality of nozzles N of the droplet discharge head 5.

図２は液滴吐出ヘッド５の概略構成を示す模式図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッド５をワークステージ１６から見た平面図、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッド５の部分斜視図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッド５の１ノズルの部分断面図である。   FIG. 2 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the droplet discharge head 5. 2A is a plan view of the droplet discharge head 5 viewed from the work stage 16, FIG. 2B is a partial perspective view of the droplet discharge head 5, and FIG. It is a fragmentary sectional view of 1 nozzle.

図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮ１〜Ｎ１８０を備えている。ノズルＮ１〜Ｎ１８０によってノズル列ＮＡが形成されている。図２（ａ）では１列分のノズルを示しているが、液滴吐出ヘッド５に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分ノズルをＸ軸方向に複数列設けても良い。 As shown in FIG. 2A, the droplet discharge head 5 includes a plurality of (for example, 180) nozzles N 1 to N 180 arranged in the Y-axis direction. A nozzle row NA is formed by the nozzles N 1 to N 180 . Although FIG. 2A shows one row of nozzles, the number of nozzles and the number of nozzle rows provided in the droplet discharge head 5 can be arbitrarily changed, and the nozzles for one row arranged in the Y-axis direction are arranged as X. A plurality of rows may be provided in the axial direction.

図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、チューブ４４と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮ１〜Ｎ１８０が設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられた液溜まり２２と、複数の隔壁２３と、複数の収容室２４とを備えている。振動板２０上には、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に対応して駆動素子ＰＺ１〜ＰＺ１８０が配置されている。駆動素子ＰＺ１〜ＰＺ１８０は、例えばピエゾ素子である。 2B, the droplet discharge head 5 includes a vibration plate 20 provided with a material supply hole 20a connected to a tube 44, and a nozzle plate 21 provided with nozzles N 1 to N 180. A liquid reservoir 22 provided between the vibration plate 20 and the nozzle plate 21, a plurality of partition walls 23, and a plurality of storage chambers 24 are provided. Drive elements PZ 1 to PZ 180 are arranged on the vibration plate 20 corresponding to the nozzles N1 to N180. The drive elements PZ 1 to PZ 180 are, for example, piezo elements.

液溜まり２２には、材料供給孔２０ａを介して供給される液状のカラーフィルター材料が充填されるようになっている。収容室２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されている。また、収容室２４は、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に１対１に対応して設けられている。また、各収容室２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、液溜まり２２からカラーフィルター材料が導入されるようになっている。 The liquid reservoir 22 is filled with a liquid color filter material supplied through the material supply hole 20a. The storage chamber 24 is formed so as to be surrounded by the vibration plate 20, the nozzle plate 21, and a pair of partition walls 23. The storage chamber 24 is provided in a one-to-one correspondence with each of the nozzles N 1 to N 180 . In addition, the color filter material is introduced into the respective storage chambers 24 from the liquid reservoir 22 through a supply port 24 a provided between the pair of partition walls 23.

図２（ｃ）に示すように、駆動素子ＰＺ１は、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものである。この駆動素子ＰＺ１は、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような駆動素子ＰＺ１が配置されている振動板２０は、一対の電極２６に駆動信号を印加すると駆動素子ＰＺ１と一体になって同時に外側（収容室２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによって収容室２４の容積が増大するようになっている。 As shown in FIG. 2C, the drive element PZ 1 is obtained by sandwiching a piezoelectric material 25 between a pair of electrodes 26. The drive element PZ 1 is configured such that the piezoelectric material 25 contracts when a drive signal is applied to the pair of electrodes 26. The vibration plate 20 such drive elements PZ 1 is disposed, wrinkles become integral with the drive element PZ 1 applies a driving signal to the pair of electrodes 26 to the outside (opposite side of the accommodating chamber 24) at the same time It bends, and thereby the volume of the storage chamber 24 is increased.

したがって、収容室２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルター材料が、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から駆動素子ＰＺ１への駆動信号の印加を停止すると、駆動素子ＰＺ１と振動板２０はともに元の形状に戻り、収容室２４も元の容積に戻る。これにより、収容室２４内のカラーフィルター材料の圧力が上昇し、ノズルＮ１からカラーフィルター基板Ｐに向けてカラーフィルター材料の液滴Ｌが吐出される。また、駆動素子ＰＺ１を用いることにより、収容室２４内に微振動を生じさせてインク吐出量を精度よく調整することができる。 Accordingly, the color filter material corresponding to the increased volume in the storage chamber 24 flows from the liquid reservoir 22 through the supply port 24a. Further, when the application of the drive signal to the drive element PZ 1 is stopped from such a state, the drive element PZ 1 and the diaphragm 20 both return to the original shape, and the storage chamber 24 also returns to the original volume. Accordingly, accommodation chamber pressure of the color filter material 24 is increased, the droplet L of the color filter material is ejected toward the nozzle N 1 on the color filter substrate P. In addition, by using the drive element PZ 1 , it is possible to cause fine vibration in the storage chamber 24 and adjust the ink discharge amount with high accuracy.

図３は、液滴吐出ヘッド５を用いてカラーフィルター基板Ｐ上にカラーフィルター層（カラーフィルター）ＣＦを形成する方法の説明図である。図３（ａ）は、インクの吐出対象物であるカラーフィルター基板Ｐの概略平面図である。図３（ｂ）は、カラーフィルター基板Ｐの部分拡大平面図である。   FIG. 3 is an explanatory diagram of a method for forming a color filter layer (color filter) CF on the color filter substrate P using the droplet discharge head 5. FIG. 3A is a schematic plan view of a color filter substrate P that is an ink discharge target. FIG. 3B is a partially enlarged plan view of the color filter substrate P.

図３（ａ）において、ガラス、プラスチック等によって形成された大面積のカラーフィルター基板Ｐの表面には複数のパネル領域ＣＡが設定されている。各パネル領域ＣＡは、互いに分離（切断）されて個々のカラーフィルター基板として提供される。各パネル領域ＣＡの内部には、図３（ｂ）に示すように、ドット状に配列された複数の画素ＰＸ（所定領域）が設けられている。画素ＰＸは各パネル領域ＣＡ内にマトリクス状に配列されており、それぞれの画素ＰＸ毎にカラーフィルター層（着色層）ＣＦが形成される。   In FIG. 3A, a plurality of panel areas CA are set on the surface of a large-area color filter substrate P formed of glass, plastic or the like. Each panel area CA is separated (cut) from each other and provided as an individual color filter substrate. In each panel area CA, as shown in FIG. 3B, a plurality of pixels PX (predetermined areas) arranged in a dot shape are provided. The pixels PX are arranged in a matrix in each panel area CA, and a color filter layer (colored layer) CF is formed for each pixel PX.

図３（ｂ）の図示上下方向（矢印Ａ１及び矢印Ａ２で示す方向）を主走査方向とし、主走査方向と直交する方向（図示左右方向）を副走査方向として、液滴吐出ヘッド５をカラーフィルター基板Ｐ上に配置する。そして、カラーフィルター基板Ｐを液滴吐出ヘッド５に対して主走査方向及び副走査方向に相対的に移動（走査）させながら、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮから着色材料を含むインク（カラーフィルター材料）を吐出させ、カラーフィルター基板Ｐ上の各画素ＰＸにカラーフィルター層ＣＦを形成する。   The vertical direction (indicated by arrows A1 and A2) in FIG. 3B is the main scanning direction, and the direction orthogonal to the main scanning direction (left and right direction in the drawing) is the sub-scanning direction. Arranged on the filter substrate P. Then, while moving (scanning) the color filter substrate P relative to the droplet discharge head 5 in the main scanning direction and the sub-scanning direction, ink containing a coloring material from a plurality of nozzles N of the droplet discharge head 5 ( Color filter material) is discharged, and a color filter layer CF is formed on each pixel PX on the color filter substrate P.

液滴吐出ヘッド５の走査は、１つのパネル領域ＣＡに関して複数回行う。例えば、主走査方向に液滴吐出ヘッド５を走査した後、副走査方向に液滴吐出ヘッド５を移動（走査）し、再度主走査方向に走査を行う。１つのパネル領域ＣＡの左端から右端まで移動（副走査）したら、再びパネル領域ＣＡの左端に戻り、既に吐出を行った位置とは若干異なる位置で主走査方向に走査を行う。そして、このような走査を複数回行うことによって、パネル領域ＣＡ内の全ての画素ＰＸに所望の膜厚のカラーフィルター層ＣＦを形成する。   The droplet discharge head 5 is scanned a plurality of times for one panel area CA. For example, after the droplet discharge head 5 is scanned in the main scanning direction, the droplet discharge head 5 is moved (scanned) in the sub-scanning direction, and scanning is performed again in the main scanning direction. After moving (sub-scanning) from the left end to the right end of one panel area CA, it returns to the left end of the panel area CA again, and scans in the main scanning direction at a position slightly different from the position where the ejection has already been performed. Then, by performing such scanning a plurality of times, the color filter layer CF having a desired film thickness is formed on all the pixels PX in the panel area CA.

なお、図３（ｂ）において液滴吐出ヘッド５が副走査方向に対して斜めに傾いているのは、液滴吐出ヘッド５のノズルＮのピッチを画素ＰＸのピッチに合わせるためである。ノズルＮのピッチと画素ＰＸのピッチとが所定の対応関係を満たして設定されていれば、液滴吐出ヘッド５を斜めに傾ける必要はない。   In FIG. 3B, the reason why the droplet discharge head 5 is inclined with respect to the sub-scanning direction is to match the pitch of the nozzles N of the droplet discharge head 5 with the pitch of the pixels PX. If the pitch of the nozzles N and the pitch of the pixels PX are set so as to satisfy a predetermined correspondence relationship, it is not necessary to tilt the droplet discharge head 5 obliquely.

カラーフィルター層ＣＦは、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で配列することによって形成される。したがって、図３（ｂ）に示すインクの吐出工程においては、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラーフィルター材料を吐出する液滴吐出ヘッド５を、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色分だけ予め用意する。そして、これらの液滴吐出ヘッド５を順次に用いて１つのカラーフィルター基板Ｐ上にＲ、Ｇ、Ｂの３色のカラーフィルター層ＣＦの配列を形成する。   The color filter layer CF is formed by arranging R, G, and B colors in an appropriate arrangement form such as a so-called stripe arrangement, delta arrangement, mosaic arrangement, or the like. Therefore, in the ink ejection process shown in FIG. 3B, the droplet ejection heads 5 that eject R, G, and B color filter materials are prepared in advance for the three colors R, G, and B. Then, an array of three color filter layers CF of R, G, and B is formed on one color filter substrate P using these droplet discharge heads 5 in order.

ところで、一般的に液滴吐出ヘッドにおいては、ノズル間でインクの吐出特性（吐出量）に僅かながらばらつきが存在する（図４参照）。ノズル間でインクの吐出量にばらつきがあると、これに起因してカラーフィルター基板Ｐ上へのインクの配置量がばらついてしまい、カラーフィルターにスジムラを発生させる原因となってしまう。   By the way, generally in a droplet discharge head, there is a slight variation in ink discharge characteristics (discharge amount) between nozzles (see FIG. 4). If there is a variation in the amount of ink discharged between the nozzles, the amount of ink disposed on the color filter substrate P varies due to this variation, which causes unevenness in the color filter.

図４は、インク吐出量のばらつきの補正前の液滴吐出ヘッドの吐出特性を示す図である。図４において、横軸はノズル列ＮＡのノズル番号１〜１８０を示している。また、図４中の実線Ｃｓは各ノズル番号に対応するインクの着弾面積を示している。また、実線Ｃｖは各ノズル番号に対応するインクの着弾体積を示している。図４に示すように、各ノズル番号に対応するインクの着弾体積Ｃｖを見ると、両端部と中央部のノズルにおいて各ノズル番号に対応するインクの着弾面積Ｃｓよりも変化量が相対的に多くなっている。   FIG. 4 is a diagram illustrating ejection characteristics of the droplet ejection head before correction of variations in ink ejection amount. In FIG. 4, the horizontal axis indicates nozzle numbers 1 to 180 of the nozzle row NA. Also, the solid line Cs in FIG. 4 indicates the ink landing area corresponding to each nozzle number. A solid line Cv indicates the landing volume of ink corresponding to each nozzle number. As shown in FIG. 4, when the ink landing volume Cv corresponding to each nozzle number is seen, the amount of change is relatively larger than the ink landing area Cs corresponding to each nozzle number in the nozzles at both ends and the center. It has become.

そこで、本発明の液滴吐出方法では、補正前（生産前）となるカラーフィルター基板Ｐ上への描画前に、液滴吐出ヘッド５の駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整し、複数のノズルＮにおけるインクの吐出特性を調整する工程を設けている。以下、本発明の液滴吐出方法について一例を挙げて説明する。   Therefore, in the droplet discharge method of the present invention, the voltage applied to the drive element PZ of the droplet discharge head 5 is adjusted before drawing on the color filter substrate P before correction (before production), and a plurality of nozzles A step of adjusting the ink ejection characteristics at N is provided. Hereinafter, an example of the droplet discharge method of the present invention will be described.

（液滴吐出方法）
図５は、本発明の液滴吐出方法の工程を示すフローチャートである。本発明の液滴吐出方法は、装置を所定の位置に配置して装置の位置合わせを行う「装置の位置合わせ工程」（ステップＳ１）と、駆動素子ＰＺに印加する電圧を一定にしてインクをシート部材１５に着弾する「第１着弾工程」（ステップＳ２）と、第１着弾工程の後にシート部材１５に着弾された第１着弾面積を検出し、第１着断面積とインク重量との関係を規定した補正データに基づいて複数のノズルＮにおけるインク重量の分布を求める「第１解析工程」（ステップＳ３）と、シート部材１５を巻き取る「シート部材巻取工程」（ステップＳ４）と、複数のノズルＮにおけるインク重量が所定の適正重量に近づくように駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整して、インクをシート部材１５に着弾する「第２着弾工程」（ステップＳ５）と、を有する。 (Droplet ejection method)
FIG. 5 is a flowchart showing the steps of the droplet discharge method of the present invention. In the droplet discharge method of the present invention, the apparatus is positioned at a predetermined position and the apparatus is aligned (step S1), and the voltage applied to the drive element PZ is kept constant. "First landing process" (step S2) for landing on the sheet member 15, and the first landing area landed on the sheet member 15 after the first landing process is detected, and the relationship between the first landing cross-sectional area and the ink weight "First analysis step" (step S3) for obtaining the ink weight distribution in the plurality of nozzles N on the basis of the correction data defining the above, "sheet member winding step" (step S4) for winding the sheet member 15; A “second landing step” (step S5) in which the voltage applied to the drive element PZ is adjusted so that the ink weight of the plurality of nozzles N approaches a predetermined appropriate weight, and ink is landed on the sheet member 15; A.

先ず、装置を所定の位置に配置して装置の位置合わせを行う（図５のステップＳ１）。具体的には、シート部材搬送台１１をワークステージ１６に向かってＸ軸方向に移動させ、液滴吐出ヘッド５の直下に配置する。これにより、シート部材搬送台１１上のシート部材１５が液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮに対向するように配置される。   First, the apparatus is positioned at a predetermined position to align the apparatus (step S1 in FIG. 5). Specifically, the sheet member conveyance table 11 is moved in the X-axis direction toward the work stage 16 and is disposed immediately below the droplet discharge head 5. As a result, the sheet member 15 on the sheet member conveyance table 11 is disposed so as to face the plurality of nozzles N of the droplet discharge head 5.

次に、駆動素子ＰＺに印加する電圧を一定にして、インクをシート部材１５に着弾させる（図５のステップＳ２）。インクは、カラーフィルター層ＣＦにならって、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で着弾するのがよい。これにより、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮの補正前（シート部材１５への吐出時）の吐出状態と、補正後（カラーフィルター基板Ｐへの吐出時）の吐出状態と、が確実に整合するようになる。   Next, the voltage applied to the drive element PZ is made constant, and ink is landed on the sheet member 15 (step S2 in FIG. 5). The ink is preferably landed in an appropriate arrangement form such as a stripe arrangement, a delta arrangement, or a mosaic arrangement in accordance with the color filter layer CF. This ensures the discharge state before correction (when discharging to the sheet member 15) of the plurality of nozzles N of the droplet discharge head 5 and the discharge state after correction (when discharging to the color filter substrate P). To be consistent.

また、インクをシート部材１５に着弾させる際は、複数回に分けて着弾させるのがよい。具体的には、先ず、第１のインクをシート部材１５上の所定の領域に着弾させる。次に、第２のインクを第１のインクの着弾されていない領域に着弾させる。これにより、インクをシート部材１５へ複数回繰り返して着弾できるので、シート部材１５を無駄なく有効に利用することができる。   In addition, when the ink is landed on the sheet member 15, it is preferable to land the ink in a plurality of times. Specifically, first, the first ink is landed on a predetermined area on the sheet member 15. Next, the second ink is landed on a region where the first ink is not landed. Thereby, since ink can be repeatedly landed on the sheet member 15 a plurality of times, the sheet member 15 can be used effectively without waste.

次に、シート部材１５に着弾された着弾面積を検出し、着断面積とインク重量との関係を規定した補正データに基づいて複数のノズルＮにおけるインク重量の分布を求める（図５のステップＳ３）。具体的には、先ず、シート部材１５上に重量の異なるインクを複数配置する。例えば、インク重量１０ｎｇのインクＩｗ１と、インク重量２０ｎｇのインクＩｗ２と、の２種類のインクＩｗ１，Ｉｗ２をシート部材１５上に配置する（図６参照）。   Next, the landing area landed on the sheet member 15 is detected, and the distribution of the ink weight in the plurality of nozzles N is obtained based on the correction data defining the relationship between the landing cross-sectional area and the ink weight (step S3 in FIG. 5). ). Specifically, first, a plurality of inks having different weights are arranged on the sheet member 15. For example, two types of inks Iw1 and Iw2 of an ink Iw1 having an ink weight of 10 ng and an ink Iw2 having an ink weight of 20 ng are arranged on the sheet member 15 (see FIG. 6).

図６は、重量の異なる２種類のインクＩｗ１，Ｉｗ２をシート部材１５上に配置した状態を示す図である。図６（ａ）は、インク重量１０ｎｇのインクＩｗ１の配置状態を示す斜視図である。また、図６（ｂ）は、インク重量１０ｎｇのインクＩｗ１の配置状態を示す断面図である。図６（ｃ）は、インク重量２０ｎｇのインクＩｗ２の配置状態を示す斜視図である。また、図６（ｄ）は、インク重量２０ｎｇのインクＩｗ２の配置状態を示す断面図である。図６（ａ）及び図６（ｂ）において、符号Ｓ１はインクＩｗ１の着弾面積、符号Ｖ１はインクＩｗ１の着弾体積、符号Ｈ１はインクＩｗ１の着弾高さである。図６（ｃ）及び図６（ｄ）において、符号Ｓ２はインクＩｗ２の着弾面積、符号Ｖ２はインクＩｗ２の着弾体積、符号Ｈ２はインクＩｗ２の着弾高さである。   FIG. 6 is a diagram illustrating a state in which two types of inks Iw1 and Iw2 having different weights are arranged on the sheet member 15. FIG. 6A is a perspective view showing an arrangement state of the ink Iw1 having an ink weight of 10 ng. FIG. 6B is a cross-sectional view showing an arrangement state of the ink Iw1 having an ink weight of 10 ng. FIG. 6C is a perspective view showing an arrangement state of the ink Iw2 having an ink weight of 20 ng. FIG. 6D is a cross-sectional view showing an arrangement state of the ink Iw2 having an ink weight of 20 ng. In FIGS. 6A and 6B, reference numeral S1 denotes a landing area of the ink Iw1, reference numeral V1 denotes a landing volume of the ink Iw1, and reference numeral H1 denotes a landing height of the ink Iw1. In FIG. 6C and FIG. 6D, symbol S2 is the landing area of the ink Iw2, symbol V2 is the landing volume of the ink Iw2, and symbol H2 is the landing height of the ink Iw2.

図６（ａ）及び図６（ｃ）に示すように、シート部材１５上に配置された２種類のインクＩｗ１，Ｉｗ２の形状は、略円柱状になっている。インクＩｗ１，Ｉｗ２の形状が略円柱状になっているのは、シート部材１５上には受容層（図示略）が形成されているためである。つまり、インクＩｗ１，Ｉｗ２の顔料分子が受容層に浸透せずに積層したことによる。   As shown in FIGS. 6A and 6C, the shapes of the two types of inks Iw1 and Iw2 arranged on the sheet member 15 are substantially cylindrical. The reason that the shapes of the inks Iw1 and Iw2 are substantially cylindrical is that a receiving layer (not shown) is formed on the sheet member 15. That is, the pigment molecules of the inks Iw1 and Iw2 are stacked without penetrating into the receiving layer.

インクＩｗ１の着弾面積Ｓ１とインクＩｗ２の着弾面積Ｓ２との間の変化量は、インクＩｗ１の着弾体積Ｖ１とインクＩｗ２の着弾体積Ｖ２との間の変化量よりも小さくなっている。これは、インクＩｗ１とインクＩｗ２との間で、シート部材１５上に積層されたインクの着弾高さが変化していることによる。具体的には、図６（ａ）及び図６（ｃ）に示すように、シート部材１５上に積層されたインクＩｗ２の着弾高さＨ２がインクＩｗ１の着弾高さＨ１よりも高くなっていることによる（Ｈ１＜Ｈ２）。   The amount of change between the landing area S1 of the ink Iw1 and the landing area S2 of the ink Iw2 is smaller than the amount of change between the landing volume V1 of the ink Iw1 and the landing volume V2 of the ink Iw2. This is because the landing height of the ink stacked on the sheet member 15 is changed between the ink Iw1 and the ink Iw2. Specifically, as shown in FIGS. 6A and 6C, the landing height H2 of the ink Iw2 stacked on the sheet member 15 is higher than the landing height H1 of the ink Iw1. (H1 <H2).

次に、シート部材１５の上面に対向する位置に配置された面積計測用カメラ１４により、複数のノズルＮからシート部材１５に吐出された重量の異なる２種類のインクＩｗ１，Ｉｗ２の着弾面積Ｓ１，Ｓ２を撮影する。これにより、複数種類のインク重量に対する着弾面積を測定することができる。このとき、面積計測用カメラ１４のレンズの倍率は、測定精度と測定時間の点から、例えば４〜１０倍に設定するのがよい。また、インクの着弾面積を測定する際のＮ数は、測定精度の点から、例えばＮ＝２０〜３０に設定するのがよい。   Next, the landing area S1 of two types of inks Iw1 and Iw2 having different weights discharged from the plurality of nozzles N to the sheet member 15 by the area measurement camera 14 disposed at a position facing the upper surface of the sheet member 15. Shoot S2. Thereby, the landing area with respect to a plurality of types of ink weights can be measured. At this time, the magnification of the lens of the area measurement camera 14 is preferably set to 4 to 10 times, for example, in terms of measurement accuracy and measurement time. Further, the N number for measuring the ink landing area is preferably set to N = 20 to 30 from the viewpoint of measurement accuracy.

面積計測用カメラ１４によって撮影された複数種類のインク重量に対する着弾面積の画像データは、解析ユニット３２に出力される。そして、解析ユニット３２よって複数種類のインク重量に対する着弾面積の変化量が測定される。解析ユニット３２よって測定された複数のノズルＮにおけるインク重量に対する着弾面積の変化量の測定データは制御ユニット３１に出力される。   The image data of the landing area for a plurality of types of ink weights photographed by the area measurement camera 14 is output to the analysis unit 32. Then, the amount of change in the landing area with respect to a plurality of types of ink weight is measured by the analysis unit 32. The measurement data of the change amount of the landing area with respect to the ink weight at the plurality of nozzles N measured by the analysis unit 32 is output to the control unit 31.

一方、制御ユニット３１には、複数種類のインク重量に対する着弾体積の変化量が入力されている。この複数種類のインク重量に対する着弾体積の変化量は、重量の異なるインクを複数配置しても、複数種類のインク間でインク溶媒の蒸発などによるインク重量の損失がなくインク体積が変わらないものとみなして基準値に設定されている（図７参照）。   On the other hand, the change amount of the landing volume with respect to a plurality of types of ink weights is input to the control unit 31. The amount of change in the landing volume with respect to the plurality of types of ink weight is such that even if a plurality of inks having different weights are arranged, there is no loss of ink weight due to evaporation of the ink solvent between the plurality of types of ink and the ink volume does not change. It is regarded as a reference value (see FIG. 7).

図７は、インク重量に対する着弾面積の変化量とインク重量に対する着弾体積の変化量との関係を示す図である。図７において、符号Ｌｓはインク重量に対する着弾面積、符号Ｌｖはインク重量に対する着弾体積、である。また、符号ΔＳはインクＩｗ１とインクＩｗ２との間のインク重量に対する着弾面積の変化量、符号ΔＶはインクＩｗ１とインクＩｗ２との間のインク重量に対する着弾体積の変化量、である。   FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the change amount of the landing area with respect to the ink weight and the change amount of the landing volume with respect to the ink weight. In FIG. 7, symbol Ls represents a landing area with respect to ink weight, and symbol Lv represents a landing volume with respect to ink weight. Further, symbol ΔS is a change amount of the landing area with respect to the ink weight between the ink Iw1 and the ink Iw2, and symbol ΔV is a change amount of the landing volume with respect to the ink weight between the ink Iw1 and the ink Iw2.

図７に示すように、インクＩｗ１とインクＩｗ２との間のインク重量に対する着弾面積の変化量ΔＳは、インクＩｗ１とインクＩｗ２との間のインク重量に対する着弾体積の変化量ΔＶよりも小さくなっている。これは、上述したように、シート部材１５上に積層されたインクの着弾高さが変化していることによる。   As shown in FIG. 7, the change amount ΔS of the landing area with respect to the ink weight between the ink Iw1 and the ink Iw2 is smaller than the change amount ΔV of the landing volume with respect to the ink weight between the ink Iw1 and the ink Iw2. Yes. This is because the landing height of the ink stacked on the sheet member 15 changes as described above.

ここで、本願発明者は、複数のノズルにおける着弾面積とインク重量との間に一定の関係を見出した。言い換えると、本願発明者は、インク重量に対する着弾面積の変化量とインク重量に対する着弾体積の変化量との間に一定の関係があることを見出した。以下、インク重量に対する着弾面積の変化量とインク重量に対する着弾体積の変化量との間の関係について説明する。   Here, the present inventor has found a certain relationship between the landing area and the ink weight of the plurality of nozzles. In other words, the present inventor has found that there is a certain relationship between the amount of change in the landing area with respect to the ink weight and the amount of change in the landing volume with respect to the ink weight. Hereinafter, the relationship between the change amount of the landing area with respect to the ink weight and the change amount of the landing volume with respect to the ink weight will be described.

インクＩｗ１（インク重量１０ｎｇ）とインクＩｗ２（インク重量２０ｎｇ）との間のインク重量の比は１：２である。例えば、これらの２種類のインク間でインク重量の損失がなくインクの着弾体積Ｖ１，Ｖ２が変わらないとすると、インクの着弾体積Ｖ１，Ｖ２の比はインク重量の比と同様に１：２となる。つまり、インク重量に対する着弾体積の変化量ΔＶは、２種類のインク間でインク重量の損失がなくインクの着弾体積Ｖ１，Ｖ２が変わらないものとみなして基準値（例えば１）とすることができる。一方、インクの着弾面積の変化量ΔＳは、インクの着弾体積の変化量ΔＶ＝１とすると、０．７となる（ΔＳ＝０．７）。   The ink weight ratio between the ink Iw1 (ink weight 10 ng) and the ink Iw2 (ink weight 20 ng) is 1: 2. For example, if there is no loss of ink weight between these two types of ink and the ink landing volumes V1 and V2 do not change, the ratio of the ink landing volumes V1 and V2 is 1: 2 as with the ink weight ratio. Become. That is, the change amount ΔV of the landing volume with respect to the ink weight can be set to a reference value (for example, 1) on the assumption that there is no loss of ink weight between the two types of ink and the ink landing volumes V1 and V2 do not change. . On the other hand, the change amount ΔS of the ink landing area is 0.7 (ΔS = 0.7) when the change amount ΔV = 1 of the ink landing volume.

本実施形態では、従来の複数のノズルから吐出されたインクの重量を測定する方法に対して、複数のノズルＮにおける着弾面積とインク重量との関係を規定した補正データに基づいて吐出量を測定する方法を用いている。これにより、測定が容易となり、吐出量の測定に膨大な工数がかからなくなる。   In this embodiment, compared to the conventional method of measuring the weight of ink ejected from a plurality of nozzles, the ejection amount is measured based on correction data that defines the relationship between the landing area and the ink weight at the plurality of nozzles N. Is used. As a result, measurement becomes easy, and enormous man-hours are not required for measuring the discharge amount.

次に、シート部材１５を巻き取る（図５のステップＳ４）。具体的には、巻取リール１３によってインクが着弾されたシート部材１５が巻き取られる。つまり、供給リール１２からインクが着弾されていない新たなシート部材１５が供給される。   Next, the sheet member 15 is wound up (step S4 in FIG. 5). Specifically, the sheet member 15 on which ink is landed is taken up by the take-up reel 13. That is, a new sheet member 15 that is not landed with ink is supplied from the supply reel 12.

次に、駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整して、インクをシート部材１５に着弾させる（図５のステップＳ５）。具体的には、制御ユニット３１によって複数のノズルＮ毎に備えられた駆動素子ＰＺに印加する電圧が調整される。   Next, the voltage applied to the drive element PZ is adjusted to land the ink on the sheet member 15 (step S5 in FIG. 5). Specifically, the voltage applied to the drive element PZ provided for each of the plurality of nozzles N is adjusted by the control unit 31.

図８は、インク吐出量のばらつきの補正前後の液滴吐出ヘッドの吐出特性を示す図である。図８において、横軸はノズル列ＮＡのノズル番号１〜１８０、縦軸は各ノズル番号に対応するノズルの吐出量を示している。図８に示すように、インク吐出量のばらつきの補正前の実線を見ると、両端部と中央部のノズルにおけるインク吐出量が相対的に多くなる傾向があることがわかる。   FIG. 8 is a diagram showing the ejection characteristics of the droplet ejection head before and after correcting the variation in the ink ejection amount. In FIG. 8, the horizontal axis indicates the nozzle numbers 1 to 180 of the nozzle row NA, and the vertical axis indicates the discharge amount of the nozzle corresponding to each nozzle number. As shown in FIG. 8, when the solid line before the correction of the variation in the ink discharge amount is seen, it can be seen that the ink discharge amount tends to be relatively large at the nozzles at both ends and the central portion.

例えば、初期状態（図８中の補正前の実線参照）におけるインク吐出量が相対的に少ない領域のノズルに対応する駆動素子ＰＺに対して所定の電圧を印加する。一方、初期状態におけるインク吐出量が相対的に多い領域のノズルに対応する駆動素子ＰＺに対しては電圧を印加しない。   For example, a predetermined voltage is applied to the drive element PZ corresponding to the nozzle in the region where the ink ejection amount is relatively small in the initial state (see the solid line before correction in FIG. 8). On the other hand, no voltage is applied to the drive element PZ corresponding to the nozzle in the region where the ink discharge amount is relatively large in the initial state.

具体的には、制御ユニット３１により、複数種類のインク重量に対する着弾体積の変化量ΔＶと、インク重量に対する着弾面積の変化量ΔＳと、の測定データから駆動素子ＰＺへ印加する電圧が調整される。つまり、制御ユニット３１により、インク重量に対する着弾面積の変化量ΔＳがインク重量に対する着弾体積の変化量ΔＶと同じになるように調整される。ここで、駆動素子ＰＺへ印加する電圧の調整量は、ΔＶ／ΔＳで表される。例えばインクの着弾体積の変化量ΔＶを基準値（ΔＶ＝１）とし、インクの着弾面積の変化量ΔＳを０．７とすると、駆動素子ＰＺへ印加する電圧の調整量は約１．４（ΔＶ／ΔＳ＝１／０．７）となる。   Specifically, the control unit 31 adjusts the voltage applied to the drive element PZ from the measurement data of the change amount ΔV of the landing volume with respect to the plurality of types of ink weights and the change amount ΔS of the landing area with respect to the ink weights. . That is, the control unit 31 adjusts so that the change amount ΔS of the landing area with respect to the ink weight is the same as the change amount ΔV of the landing volume with respect to the ink weight. Here, the adjustment amount of the voltage applied to the drive element PZ is represented by ΔV / ΔS. For example, assuming that the change amount ΔV of the ink landing volume is a reference value (ΔV = 1) and the change amount ΔS of the ink landing area is 0.7, the adjustment amount of the voltage applied to the drive element PZ is about 1.4 ( ΔV / ΔS = 1 / 0.7).

このようにして、駆動素子ＰＺによって複数のノズルＮ間で生じている吐出量のばらつきが調整される。これにより、複数のノズルＮにおけるインクの吐出量のばらつきが補正される。つまり、初期状態（補正前の実線）において複数のノズルＮ間で生じていたインク吐出量のばらつきを、補正後の実線に示すように略平均化することができる。   In this way, the variation in the discharge amount generated between the plurality of nozzles N is adjusted by the drive element PZ. As a result, the variation in the ink ejection amount among the plurality of nozzles N is corrected. That is, the variation in the ink discharge amount that has occurred between the plurality of nozzles N in the initial state (solid line before correction) can be approximately averaged as indicated by the solid line after correction.

本実施形態の液滴吐出装置１によれば、面積計測用カメラ１４により複数のノズルＮから吐出されるインクの着弾した画像が撮影される。そして、解析ユニット３２により複数のノズルＮから吐出されるインクの重量の分布が求められる。すると、制御ユニット３１により駆動素子ＰＺへの印加電圧は、複数のノズルＮにおけるインク重量が所定の適性重量に近づくように調整される。これにより、複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが調整される。つまり、制御ユニット３１により複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが補正されることになる。これは、本願発明者が、複数のノズルＮにおけるインクの着弾面積とインク重量との間に一定の関係を見出したことによる。このため、液滴吐出ヘッド５の全ノズルから均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。また、複数のノズルＮから吐出されたインクの着弾面積とインク重量との関係を規定した補正データに基づいて吐出量を測定する方法は、従来の吐出されたインクの重量を測定する方法に比べて、膨大な工数がかからないので生産効率に優れる。また、複数のノズルＮから吐出されたインクが着弾したシート部材１５が適宜搬送されるので、着弾面積の測定が効率よく行われる。   According to the droplet discharge device 1 of the present embodiment, the landed image of the ink discharged from the plurality of nozzles N is captured by the area measurement camera 14. Then, the distribution of the weight of the ink ejected from the plurality of nozzles N is obtained by the analysis unit 32. Then, the voltage applied to the drive element PZ by the control unit 31 is adjusted so that the ink weight in the plurality of nozzles N approaches a predetermined appropriate weight. Thereby, the variation of the ink discharge amount in the plurality of nozzles N is adjusted. That is, the control unit 31 corrects the variation in the ink discharge amount of the plurality of nozzles N. This is because the present inventor found a certain relationship between the ink landing area and the ink weight in the plurality of nozzles N. For this reason, it is possible to discharge a uniform amount of ink from all the nozzles of the droplet discharge head 5. Accordingly, it is possible to suppress the deterioration of the image quality by making the stripes inconspicuous. Further, the method of measuring the ejection amount based on the correction data that defines the relationship between the landing area of the ink ejected from the plurality of nozzles N and the ink weight is more than the conventional method of measuring the weight of the ejected ink. Therefore, it does not take a huge amount of man-hours and is excellent in production efficiency. Further, since the sheet member 15 on which the ink ejected from the plurality of nozzles N has been landed is appropriately transported, the landed area can be measured efficiently.

本実施形態の液滴吐出方法によれば、第１着弾工程の後の第１解析工程により複数のノズルＮにおけるインク重量の分布が求められる。そして、第２着弾工程により複数のノズルＮにおけるインク重量が所定の適性重量に近づくように調整される。これにより、複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが補正される。このため、液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮから均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラを目立たなくして画質の低下を抑制することができる。   According to the droplet discharge method of the present embodiment, the ink weight distribution in the plurality of nozzles N is obtained by the first analysis step after the first landing step. Then, the ink weight at the plurality of nozzles N is adjusted to approach a predetermined appropriate weight by the second landing process. As a result, the variation in the ink discharge amount among the plurality of nozzles N is corrected. For this reason, it is possible to discharge a uniform amount of ink from all the nozzles N of the droplet discharge head 5. Accordingly, it is possible to suppress the deterioration of the image quality by making the stripes inconspicuous.

なお、上記液滴吐出方法においては、第２着弾工程の後に、シート部材１５に着弾されたインクの第２着弾面積を検出し、第２着弾面積と複数のノズルＮから吐出されたインクの吐出重量との関係を規定した補正データに基づいて複数のノズルＮにおける吐出重量の分布を求める第２解析工程と、前記分布から複数のノズルＮにおけるインクの吐出重量が所定の適正重量に近づくように駆動素子ＰＺに印加する電圧を調整してインクをシート部材１５に着弾する第３着弾工程と、を少なくとも１回有していてもよい。   In the droplet discharge method, after the second landing step, the second landing area of the ink landed on the sheet member 15 is detected, and the second landing area and the discharge of the ink discharged from the plurality of nozzles N are detected. A second analysis step of obtaining a distribution of ejection weights of the plurality of nozzles N based on correction data defining a relationship with the weight, and an ink ejection weight of the plurality of nozzles N approaching a predetermined appropriate weight from the distribution; The third landing step of adjusting the voltage applied to the driving element PZ and landing the ink on the sheet member 15 may be provided at least once.

この製造方法によれば、第２着弾工程の後に、解析工程と着弾工程と、を複数回繰り返して行うことにより、複数のノズルＮにおけるインク吐出量のばらつきが確実に調整される。このため、液滴吐出ヘッド５の全ノズルＮから格段に均一な量のインクを吐出することが可能となる。したがって、スジムラをより目立たなくして画質の低下を格段に抑制することができる。   According to this manufacturing method, after the second landing process, the analysis process and the landing process are repeatedly performed a plurality of times, so that variations in the ink discharge amounts of the plurality of nozzles N are reliably adjusted. For this reason, it becomes possible to discharge a substantially uniform amount of ink from all the nozzles N of the droplet discharge head 5. Therefore, it is possible to make the unevenness more inconspicuous and to suppress the deterioration of the image quality.

なお、上記液滴吐出方法においては、第２着弾工程で着弾するインクについても、カラーフィルター層ＣＦにならって、上述の第１着弾工程（図４のステップＳ２）と同様に適宜の配列形態で着弾するのがよい。これにより、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮの補正前の吐出状態と、補正後の吐出状態と、が確実に整合するようになる。   In the droplet discharge method, the ink that is landed in the second landing process is arranged in an appropriate arrangement form in the same manner as in the first landing process (step S2 in FIG. 4), following the color filter layer CF. It ’s better to land. Thereby, the ejection state before correction of the plurality of nozzles N of the droplet ejection head 5 and the ejection state after correction are surely matched.

また、本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、上述したように液滴吐出ヘッドの全ノズルから均一な量のインクが吐出されるので、スジムラの無い高品質なカラーフィルターを製造することができる。   Further, according to the method for producing a color filter of the present invention, since a uniform amount of ink is ejected from all nozzles of the droplet ejection head as described above, it is possible to produce a high-quality color filter without streaks. it can.

なお、上記実施形態では、ノズル間のインク吐出量のばらつきが調整された液滴吐出装置１を用いてカラーフィルターを製造する場合について説明したが、これに限らない。例えば、本発明の液滴吐出装置１はカラーフィルターの製造だけでなく、均一な膜厚を必要とされ、スジムラの形成が問題となる成膜工程においても適用可能である。   In the above embodiment, the case where the color filter is manufactured using the droplet discharge device 1 in which the variation in the ink discharge amount between the nozzles is adjusted has been described. However, the present invention is not limited to this. For example, the droplet discharge device 1 of the present invention can be applied not only to the manufacture of a color filter but also to a film forming process in which uniform film thickness is required and the formation of stripes becomes a problem.

１…液滴吐出装置、５…液滴吐出ヘッド、１２…供給リール、１３…巻取リール、１４…面積計測用カメラ（撮像装置）、２４…収容室、３１…制御ユニット（制御手段）、３２…解析ユニット（解析手段）、ＣＦ…カラーフィルター層（カラーフィルター）、Ｉｗ１，Ｉｗ２…インク（機能液）、Ｎ…ノズル、Ｐ…カラーフィルター基板（基材）、ＰＺ…駆動素子、Ｓ１，Ｓ２…着弾面積 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge apparatus, 5 ... Droplet discharge head, 12 ... Supply reel, 13 ... Take-up reel, 14 ... Area measurement camera (imaging device), 24 ... Storage chamber, 31 ... Control unit (control means), 32 ... Analysis unit (analysis means), CF ... Color filter layer (color filter), Iw1, Iw2 ... Ink (functional liquid), N ... Nozzle, P ... Color filter substrate (base material), PZ ... Drive element, S1, S2 ... Landing area

Claims (4)

機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッドと、
前記複数のノズルから吐出された前記機能液を着弾させるシート部材を供給する供給リールと、
前記供給リールから供給された前記シート部材を巻き取る巻取リールと、
前記供給リールと前記巻取リールとの間の前記シート部材に対して前記複数のノズルから吐出された前記機能液の画像を撮影する撮像装置と、
前記撮像装置によって撮影された前記画像を画像処理して前記機能液の前記シート部材上の着弾面積を検出し、前記着弾面積と前記複数のノズルから吐出された前記機能液の吐出重量との関係を規定した補正データに基づいて前記複数のノズルにおける前記吐出重量の分布を求める解析手段と、
前記分布から前記複数のノズルにおける前記吐出重量が所定の適正重量に近づくように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整する制御手段と、を有することを特徴とする液滴吐出装置。 A droplet discharge head having a plurality of nozzles for discharging a functional liquid, and a plurality of drive elements provided corresponding to the plurality of nozzles;
A supply reel for supplying a sheet member for landing the functional liquid discharged from the plurality of nozzles;
A take-up reel that winds up the sheet member supplied from the supply reel;
An imaging device that captures an image of the functional liquid ejected from the plurality of nozzles with respect to the sheet member between the supply reel and the take-up reel;
The image captured by the imaging device is subjected to image processing to detect the landing area of the functional liquid on the sheet member, and the relationship between the landing area and the discharge weight of the functional liquid discharged from the plurality of nozzles Analyzing means for obtaining a distribution of the discharge weight in the plurality of nozzles based on correction data defining
And a control unit that adjusts a voltage applied to the plurality of drive elements so that the discharge weight of the plurality of nozzles approaches a predetermined appropriate weight from the distribution. 機能液を吐出させる複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子と、を有する液滴吐出ヘッドを用いた液滴吐出方法であって、
前記複数の駆動素子に印加する電圧を一定にして前記機能液をシート部材に着弾する第１着弾工程と、
前記第１着弾工程の後に、前記シート部材に着弾された前記機能液の第１着弾面積を検出し、前記第１着弾面積と前記複数のノズルから吐出された前記機能液の吐出重量との関係を規定した補正データに基づいて前記複数のノズルにおける前記吐出重量の分布を求める第１解析工程と、
前記分布から前記複数のノズルにおける前記吐出重量が所定の適正重量に近づくように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整して前記機能液を前記シート部材に着弾する第２着弾工程と、を有することを特徴とする液滴吐出方法。 A droplet discharge method using a droplet discharge head having a plurality of nozzles for discharging a functional liquid and a plurality of drive elements provided corresponding to the plurality of nozzles,
A first landing step of landing the functional liquid on a sheet member with a constant voltage applied to the plurality of driving elements;
After the first landing step, the first landing area of the functional liquid landed on the sheet member is detected, and the relationship between the first landing area and the discharge weight of the functional liquid discharged from the plurality of nozzles A first analysis step for obtaining a distribution of the discharge weights of the plurality of nozzles based on correction data defining
A second landing step of adjusting the voltage applied to the plurality of driving elements so that the discharge weight of the plurality of nozzles approaches a predetermined appropriate weight from the distribution and landing the functional liquid on the sheet member; A droplet discharge method comprising: 前記第２着弾工程の後に、前記シート部材に着弾された前記機能液の第２着弾面積を検出し、前記第２着弾面積と前記複数のノズルから吐出された前記機能液の吐出重量との関係を規定した補正データに基づいて前記複数のノズルにおける前記吐出重量の分布を求める第２解析工程と、
前記分布から前記複数のノズルにおける前記吐出重量が所定の適正重量に近づくように前記複数の駆動素子に印加する電圧を調整して前記機能液を前記シート部材に着弾する第３着弾工程と、を少なくとも１回有することを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出方法。 After the second landing step, a second landing area of the functional liquid landed on the sheet member is detected, and a relationship between the second landing area and the discharge weight of the functional liquid discharged from the plurality of nozzles A second analysis step for obtaining a distribution of the discharge weights in the plurality of nozzles based on correction data defining
A third landing step of adjusting the voltage applied to the plurality of drive elements so that the discharge weight of the plurality of nozzles approaches a predetermined appropriate weight from the distribution and landing the functional liquid on the sheet member; The droplet discharge method according to claim 2, wherein the droplet discharge method is provided at least once. 請求項２または３に記載の液滴吐出方法を用いて、基材上に設けられた所定領域に前記機能液を配置してカラーフィルターを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。   A method for producing a color filter, comprising: using the droplet discharge method according to claim 2 or 3 to form a color filter by disposing the functional liquid in a predetermined region provided on a substrate.
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