JP2004337726A - Droplet discharging apparatus, electro-optical device production method, electro-optical device, electronic device, and substrate - Google Patents

Droplet discharging apparatus, electro-optical device production method, electro-optical device, electronic device, and substrate Download PDF

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JP2004337726A
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Inventor
Seigo Mizutani
誠吾 水谷
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Seiko Epson Corp
セイコーエプソン株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet discharging apparatus which can keep the discharge precision of a functional liquid even when the size of a work is changed by the change of temperature, an electro-optical device production method, an electro-optical device, an electronic device, and a substrate. <P>SOLUTION: The droplet discharging apparatus doing drawing on the work W by selectively discharging the functional liquid from a nozzle row arranged in a functional liquid discharging head is composed of the work in which a plurality of drawing regions W1 arranged in the shape of a matrix and non-drawing regions W2 partitioning the regions W1 are arranged, a linear scale 52 comprising a mark row 52a marked on the work, and a linear sensor 51 facing the linear scale. Besides, a linear encoder detecting the relative moving positions of the functional liquid discharging head and the work and a driving/controlling means driving/controlling the discharge of the functional liquid from the nozzle row based on the detection results of the linear encoder are provided. The mark row is arranged to be separated in every drawing region row W1-c arranged perpendicularly to the detection direction of the linear sensor. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】 [0001]
【発明の属する技術分野】 BACKGROUND OF THE INVENTION
本発明は、機能液滴吐出ヘッドに配列されたノズル列から機能液を選択的に吐出することによりワーク上に描画を行う液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板に関するものである。 The present invention relates to a method for manufacturing a droplet discharge device, an electro-optical device for drawing on a workpiece by ejecting functional liquid droplets from the nozzle rows arranged in the ejection head the functional liquid selectively, an electro-optical device, electronic apparatus and to a substrate.
【0002】 [0002]
【従来の技術】 BACKGROUND OF THE INVENTION
従来、インクジェット方式の印刷ヘッドを用いたインクジェットプリンタ(液滴吐出装置)は、微小なインク滴(機能液)をドット状に精度良く吐出することができることから、各種部品の製造分野への応用が期待されている。 Conventionally, inkjet printers (droplet ejection apparatus) using a print head of an ink jet method, it is applied since it is possible to accurately ejecting very small ink droplets (function liquid) in the form of dots, to the field of manufacturing various parts It is expected. 近年では、例えば有機EL表示装置や液晶表示装置等の、いわゆるフラットディスプレイの製造方法にも用いられ、ガラス基板(ワーク)上に発光材料やフィルタ材料等の機能液を吐出して、有機EL(Electro−Luminescence)表示装置における各画素のEL発光層および正孔注入層等の形成や、液晶表示装置におけるR. In recent years, for example, an organic EL display device or a liquid crystal display device, also used in the production method of so-called flat display, by ejecting a functional liquid such as a light emitting material or a filter material on a glass substrate (work), an organic EL ( Electro-Luminescence) display form and the EL light-emitting layer and the hole injection layer and the like of each pixel in the device, R. in the liquid crystal display device G. G. Bのフィルタエレメント等の形成が行われている(例えば、特許文献1参照)。 Forming the filter element such as the B is performed (e.g., see Patent Document 1). この場合、バンクで仕切られた微小なキャビティ内に機能液を吐出するため、吐出位置や吐出タイミングを含む、より高い精度の吐出制御が要求されている。 In this case, for ejecting the functional liquid partitioned minute cavity at a bank, including a discharge position and the ejection timing, the ejection control of higher accuracy is required. そこで、この種の表示装置の製造方法においては、一般的に、印刷ヘッドを担持したキャリッジまたはワークが低速で動作していることを前提に制御回路内のクロック数をカウントして吐出制御するのではなく、エンコーダ(ロータリエンコーダやリニアエンコーダ)を用いて、キャリッジまたはワークの位置検出を行い、その検出結果(エンコーダ信号の出力)に基づいて、吐出制御を行っている。 Therefore, in the manufacturing method of such display device, generally, the carriage or workpiece carrying the print head ejects controlled by counting the number of clocks in the control circuit on the assumption that it is working at a low speed rather, using an encoder (rotary encoder or linear encoder), it performs position detection of the carriage or workpiece, based on the detection result (the output of the encoder signal) is performed ejection control.
【0003】 [0003]
【特許文献1】 [Patent Document 1]
特開平10−12377号公報【0004】 Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-12377 [0004]
【発明が解決しようとする課題】 [Problems that the Invention is to Solve
ところが、上記のような有機EL表示装置や液晶表示装置を製造する場合、上記のようにエンコーダ信号に基づいて、インクの吐出タイミングを制御することにより、印刷ヘッド側の吐出精度はある程度補償されるものの、基板としてガラス基板が用いられることが多いため、温度変化による熱膨張により基板サイズが変化してしまい、結果的に機能液が所望する吐出位置からずれた位置に着弾してしまうといった問題があった。 However, when manufacturing the organic EL display device or a liquid crystal display device as described above, on the basis of the encoder signal, as described above, by controlling the discharge timing of the ink, ejection accuracy of the print head side is somewhat compensated although, since the glass substrate is often used, end up with different substrate size by thermal expansion due to a temperature change, a problem resulting in the functional fluid will be landed at a position shifted from the desired discharge position as the substrate there were.
【0005】 [0005]
このため、例えばリニアエンコーダを用いる場合は、リニアスケールをガラス基板と同材料で構成し、熱膨張による位置ずれを補正するといった対策が講じられているが、ガラスの大きさや厚みの違いなどによって、互いの膨張率に差異が生じてしまう。 Therefore, when using a linear encoder, for example, by a linear scale constituted by a glass substrate of the same material, but measures have been taken such as to correct the positional deviation due to thermal expansion, such as differences in glass thickness and size, the difference occurs in each other's expansion rate. また、リニアスケールは主にガラス基板を搭載した移動テーブルの側部等に配置されるため、ガラス基板とリニアスケールとの配置位置における温度分布によっても、膨張率が変化してしまう。 The linear scale is mainly because it is located on the side or the like of the moving table equipped with a glass substrate, depending on the temperature distribution at the location of the glass substrate and the linear scale, the expansion rate changes. したがって、ガラスなど温度変化により熱膨張や変形を生じる材質で構成された基板を用いる場合は、リニアエンコーダを用いても、温度変化に基づく吐出位置のずれを解消することが困難であった。 Therefore, when a substrate made of a material that generates heat expansion and deformation due to temperature changes, such as glass, even using a linear encoder, it is difficult to eliminate the deviation of the discharge position based on the temperature change.
【0006】 [0006]
本発明は、上記の問題点に鑑み、温度変化により基板サイズに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持し得る液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板を提供することを目的とする。 In view of the above problems, a liquid droplet ejection apparatus capable of retaining the ejection accuracy of the functional liquid even when the change in the substrate size is caused by temperature change, a method of manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, electronic apparatus Another object of the invention is to provide a substrate.
【0007】 [0007]
【課題を解決するための手段】 In order to solve the problems]
本発明の液滴吐出装置は、機能液滴吐出ヘッドに配列されたノズル列から機能液を選択的に吐出することによりワーク上に描画を行う液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドをキャリッジに搭載したヘッドユニットと、マトリクス状に配置された複数の描画領域と、これを区画する非描画領域とが配置されたワークと、ヘッドユニットおよび/またはワークを、相対的に移動させる移動機構と、ワーク上にマーキングされたマーク列から成るリニアスケールと、当該リニアスケールに臨むリニアセンサとによって構成されると共に、ヘッドユニットとワークとの相対的な移動位置を検出するリニアエンコーダと、リニアエンコーダの検出結果に基づき、ノズル列からの機能液の吐出を駆動制御する駆動制御手段と、を備え、マーク列は、 The droplet ejection apparatus of the present invention, in the droplet ejection apparatus for drawing on a workpiece by ejecting functional liquid droplets from the nozzle rows arranged in the ejection head the functional liquid selectively, the functional liquid droplet ejection head carriage a head unit mounted on a plurality of drawing areas arranged in a matrix, and the work of the non-imaging region is disposed to partition this, the head unit and / or work, a moving mechanism for relatively moving , a linear scale consisting of mark train is marked on the workpiece, the constituted by the linear sensor facing the linear scale, the linear encoder for detecting a relative movement position of the head unit and workpiece, the linear encoder based on the detection result includes a drive control means for driving and controlling the discharge of the functional liquid from the nozzle row, a mark row, ニアセンサの検出方向に対して垂直方向に配列された描画領域列毎に離間して配置されていることを特徴とする。 Characterized in that it is arranged at a distance from each other in each drawing area rows arranged in the direction perpendicular to the detection direction of the Niasensa.
【0008】 [0008]
この構成によれば、リニアスケールが、ワーク上にマーキングされたマーク列から成るため、温度変化によりワークの大きさに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持することができる。 According to this configuration, the linear scale, since consisting marked mark row on the workpiece, it is possible to hold the ejection accuracy of the functional liquid even when the change in the size of the workpiece caused by the temperature change. また、マーク列は、リニアセンサの検出方向に対して垂直方向に配列された描画領域列毎に離間して配置されており、この離間距離により各描画領域の検出開始を認識できるため、万一読み飛ばしやダブルカウントなどの検出誤差が生じた場合、続く描画領域の吐出開始位置から検出誤差を補償し、吐出精度を保持することができる。 Further, the mark row is spaced every drawing area rows arranged in the direction perpendicular to the detection direction of the linear sensor, it is possible to recognize the detection start of each drawing area by the distance, emergency If the detected error such as skipping and double counting occurs, it is possible from the ejection start position of the subsequent drawing region compensates for the detected errors, for holding the ejection accuracy.
【0009】 [0009]
この場合、リニアスケールは、非描画領域に形成されていることが好ましい。 In this case, the linear scale is preferably formed on the non-imaging region.
【0010】 [0010]
この構成によれば、リニアスケールは、非描画領域に形成されているため、後に切り出して製品に利用される描画領域に影響を与えることがない。 According to this configuration, the linear scale, since it is formed in the non-rendering area, does not affect the drawing area used for product cut out later.
【0011】 [0011]
これらの場合、マーク列の各描画領域列に対応するマーク数は、当該描画領域への機能液の吐出回数に等しいことが好ましい。 In these cases, the number of marks corresponding to each imaging region arrays mark rows is preferably equal to the number of ejection of the function liquid to the drawing area.
【0012】 [0012]
この構成によれば、マーク列の各描画領域列に対応するマーク数は、当該描画領域への機能液の吐出回数に等しいため、マークを検出したら1回吐出するといった単純な構成で機能液の吐出タイミングを駆動制御することができる。 According to this configuration, the number of marks corresponding to each imaging region arrays mark rows, since equal to the number of ejection of the function liquid into the drawing area, the functional fluid with a simple configuration such discharges once when detecting a mark it can be driven and controlled discharge timing. したがって、制御装置(CPU等)の負担を軽くすることができる。 Therefore, it is possible to lighten the burden of the control unit (CPU, etc.). また、マーク列は描画領域列毎に離間して配置されているため、マーク検出=(イコール)機能液吐出といった構成をとることができる。 Also, mark train because it is arranged separately for each imaging region arrays, it is possible to configure such mark detection = (equal) function liquid ejection. したがって、マーク位置と機能液の吐出/非吐出を対応付ける対応テーブルを用いなくとも、マーク検出のみで描画を行なうことができる。 Therefore, without using the correspondence table for associating the ejection / non-ejection of the mark position and the functional liquid can be drawn only by the mark detection.
【0013】 [0013]
これらの場合、描画領域は、機能液が吐出されると共に画素を構成する複数のキャビティ部と、これを区画するバンク部とを有しており、リニアセンサは、マーク列に代えてバンク部を検出することが好ましい。 In these cases, the drawing area includes a plurality of cavity forming a pixel together with the functional liquid is ejected, has a bank portion to partition this, the linear sensor, the bank portion in place of the mark string it is preferable to detect.
【0014】 [0014]
この構成によれば、画素を区画するバンク部をリニアスケールとして用いることができる。 According to this configuration, it is possible to use a bank portion for partitioning the pixel as a linear scale. このため、温度変化に伴って熱膨張や変形が生じるワークを用いた場合でも、リニアスケールを形成する工程(ワーク上にマーキングを行う工程)を必要とすることなく、吐出精度を保持することができる。 Therefore, even when a workpiece thermal expansion or deformation caused by the temperature change, without requiring the step of forming a linear scale (step for marking on the workpiece), to retain the ejection accuracy it can.
【0015】 [0015]
この場合、非描画領域は、描画領域のバンク部と同材質であって、且つマーク列として利用可能な検出用バンク部を有しており、リニアセンサは、検出用バンク部を検出することが好ましい。 In this case, the non-drawing area, a bank portion of the same material of the drawing area, and has a detecting bank portion usable as mark array, linear sensor, to detect the detecting bank portion preferable.
【0016】 [0016]
この構成によれば、描画領域のバンク部と同工程で検出用バンク部を形成することができ、これをリニアスケールとして用いることができるため、リニアスケールを形成する工程(ワーク上にマーキングを行う工程)を必要とすることがない。 According to this configuration, it is possible to form the detecting bank portion at the bank portion and the step of drawing areas, since this can be used as a linear scale, to mark on the process (work for forming a linear scale there is no the need for a step). また、検出用バンク部は非描画領域に形成されるため、機能液の吐出回数等に応じてバンク間隔を自由に設定することができる。 Also, detecting bank portion to be formed in the non-rendering area, it is possible to freely set the bank intervals depending on the discharge number of times of the functional liquid.
【0017】 [0017]
これらの場合、リニアスケールは、ヘッドユニットのワークに対する相対的な走査回数分のスケール数から成ることが好ましい。 In these cases, the linear scale is preferably made from the scale number of the relative number of scanning times for the head unit work.
【0018】 [0018]
この構成によれば、走査回数分のスケール数を有しているため、ヘッドユニットとリニアセンサの位置が固定されており、複数回に分割して描画する場合であっても、吐出精度を保持することができる。 According to this configuration, since it has a number of scales number of scanning times, the position of the head unit and the linear sensor are fixed, even if the drawing is divided into a plurality of times, holding the ejection accuracy can do.
【0019】 [0019]
これらの場合、描画領域は、複数種類の機能液が吐出されることによって描画が行われ、リニアエンコーダは、機能液の種類数分のスケール数から成るリニアスケールを、各リニアスケールに対応したリニアセンサによって検出することが好ましい。 In these cases, the drawing area is drawn by the plurality of types of functional liquid is discharged is performed, a linear encoder, a linear scale consisting of the functional fluid a few minutes of the scale number type, corresponding to each of the linear scale Linear it is preferably detected by a sensor.
【0020】 [0020]
この構成によれば、例えば機能液の種類毎に、リニアスケールを検出することができる。 According to this configuration, for each type of example the functional liquid, it is possible to detect the linear scale. したがって、複数種類の機能液を吐出する場合であっても、マーク位置と、そのマーク検出時に吐出する機能液の種類とを関連づけたテーブルや処理プログラム等を必要とすることなく、各ノズル列を単純に駆動制御することができる。 Therefore, even when discharging a plurality of kinds of the functional liquid, the mark position, without the need for association table or processing program and the type of the functional liquid discharged at the time of mark detection, each nozzle row it can simply be driven and controlled.
【0021】 [0021]
これらの場合、ヘッドユニットには、機能液滴吐出ヘッドを介して複数のノズル列が配列され、当該ノズル列間の距離をlとしたとき、リニアスケールのマーク列は、l/n(nは1以上の整数)のマーク間隔を有しており、マーク列のマーク位置と、そのマーク位置を検出したときの各ノズル列の機能液の吐出/非吐出と、を対応づけた対応テーブルを更に備え、駆動制御手段は、対応テーブルを参照して各ノズル列からの機能液の吐出を駆動制御することが好ましい。 In these cases, the head unit, through the functional liquid droplet ejecting heads are arranged a plurality of nozzle arrays, and the distance between the nozzle rows was l, mark array of linear scale, l / n (n is has a mark interval of one or more integer), the mark position of the mark column, the ejection / non-ejection of the functional liquid of each nozzle array upon detecting the mark position, a mapping table mapping a further provided, the drive control means refers to the correspondence table are preferably for driving and controlling the discharge of the functional liquid from the nozzle rows.
【0022】 [0022]
この構成によれば、ヘッドユニットに複数のノズル列が配列される場合、当然そのノズル列間の距離lが発生するが、このノズル間の距離lを整数倍とする間隔でマークを配置することにより、マーク位置と、そのマーク位置を検出したときの各ノズル列の機能液の吐出/非吐出と、を対応づけた対応テーブルを用いることができる。 According to this arrangement, when a plurality of nozzle arrays in the head unit is arranged, of course it is the distance l between the nozzle arrays is generated, to place marks at intervals the distance l between the nozzle and integral multiples Accordingly, it is possible to use the mark position, the ejection / non-ejection of the functional liquid of each nozzle array upon detecting the mark position, a correspondence table that associates. すなわち、この対応テーブルを参照することにより、単純に各ノズル列の吐出/非吐出を決定することができ、ノズル列間に生じる距離によって吐出位置がずれることが無い。 That is, by referring to the correspondence table can be determined simply discharge / non-discharge of each nozzle array, it is not displaced ejection position by the distance occurring between the nozzle rows. したがって、複数のノズル列により描画を行う場合でも、処理プログラム等を用いることなく、各ノズル列を容易に駆動制御することができる。 Therefore, even when performing drawing by a plurality of nozzle rows, without using the processing program or the like, each nozzle row can be easily driven and controlled.
【0023】 [0023]
これらの場合、ヘッドユニットには、機能液滴吐出ヘッドを介して複数のノズル列が配列され、当該複数のノズル列のうちいずれか1つを基準ノズル列とすると共に、リニアエンコーダが、ノズル列数分のスケール数から成るリニアスケールを、各ノズル列に対応したリニアセンサによって検出する場合、各リニアスケールを構成するマーク列は、リニアセンサの検出方向において、対応するノズル列の基準ノズル列からの距離分だけオフセットした位置に配置されていることが好ましい。 In these cases, the head unit, through the functional liquid droplet ejecting heads a plurality of nozzle arrays arranged, any one of the plurality of nozzle rows with a reference nozzle array, linear encoder, the nozzle array the linear scale consisting scale number of a few minutes, when detected by the linear sensor corresponding to each nozzle row, mark train constituting each linear scale, in the detection direction of the linear sensor, the reference nozzle row of the corresponding nozzle array it is preferred that only the distance amount is arranged in an offset position.
【0024】 [0024]
この構成によれば、ヘッドユニットに複数のノズル列が配列される場合、ノズル列間の距離が発生するが、ノズル列数に応じたスケール数を有するリニアスケールにおいて、各スケールのマーク位置を、基準となる基準ノズル列からの距離分だけオフセットした位置に配置することにより、ノズル列間に生じる距離によって吐出位置がずれることが無い。 According to this arrangement, when a plurality of nozzle arrays in the head unit is arranged, the distance between the nozzle rows is generated in a linear scale having a number of scale according to the number of nozzle rows, the mark position of each scale, by arranging the distance amount offset by the position of the reference nozzle row as a reference, it is not displaced ejection position by the distance occurring between the nozzle rows. また、リニアスケールは、ノズル列数に応じたスケール数を有し、ノズル列毎にリニアスケールを検出するため、マーク位置と、そのマーク検出時に吐出するノズル列とを関連づけたテーブルや処理プログラム等を必要とすることなく、各ノズル列を単純に駆動制御することができる。 The linear scale has the scale number corresponding to the number of nozzle arrays, for detecting the linear scale for each nozzle row, the mark position and the nozzle row and an association table or a processing program or the like for discharging at the time of mark detection without the need for, it is possible to simply drive control each nozzle row.
【0025】 [0025]
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液による成膜部を形成することを特徴とする。 Method of manufacturing an electro-optical device of the present invention, using a liquid droplet ejection apparatus described above, and forming a film forming part by the functional liquid discharged from the functional liquid droplet ejection head on the workpiece.
【0026】 [0026]
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。 Further, the electro-optical device of the present invention, using a liquid droplet ejection apparatus described above, characterized in that the formation of the film forming section by the functional liquid discharged from the functional liquid droplet ejection head on the workpiece.
【0027】 [0027]
これらの構成によれば、温度変化により基板サイズに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持し得る液滴吐出装置を用いて製造されるため、高品質な電気光学装置を製造することができる。 According to these configurations, since they are manufactured using the droplet ejection apparatus capable of retaining the ejection accuracy of the functional liquid even when the change in the substrate size is caused by temperature change, to manufacture a high-quality electro-optical device can. なお、電気光学装置(デバイス)としては、液晶表示装置、有機EL(Electro−Luminescence)装置、電子放出装置、PDP(Plasma Display Panel)装置および電気泳動表示装置等が考えられる。 As the electro-optical device (device), a liquid crystal display device, organic EL (Electro-Luminescence) device, an electron emission device, PDP (Plasma Display Panel) device, and an electrophoretic display device or the like. なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)装置を含む概念である。 The electron emission device is a concept including so-called FED (Field Emission Display) device. さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。 Further, as the electro-optical device, metal wiring formation, lens formation, resist formation and encompasses apparatus a light diffuser formation or the like.
【0028】 [0028]
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。 Electronic device of the present invention is characterized by mounting the electro-optical device described above.
【0029】 [0029]
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。 In this case, the electronic apparatus, so-called flat panel displays mobile telephone in which the mounting, other personal computers, various electric products corresponds to this.
【0030】 [0030]
本発明の基板は、上気した液滴吐出装置のワークとして用いられることを特徴とする。 Substrate of the present invention is characterized in that it is used as a work of the upper respiratory the droplet discharge device.
【0031】 [0031]
この場合、基板としては、ガラスや樹脂(フィルム)など、製造する電気光学装置に応じた種々の材質を用いることが可能である。 In this case, as the substrate, such as glass or resin (film), it is possible to use various materials in accordance with the electro-optical device to be manufactured.
【0032】 [0032]
【発明の実施の形態】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板について説明する。 Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the droplet discharge apparatus according to an embodiment of the present invention, a method of manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, electronic apparatus and the substrate will be described. 本実施形態の液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機EL装置の製造ラインに組み込まれるものであり、有機EL装置の各画素となる発光素子(成膜部)を形成するものである。 Droplet ejection apparatus of the present embodiment, so-called flat panel is a kind of display is intended to be incorporated into the production line of the organic EL device, to form a light-emitting element to be each pixel of the organic EL device (film forming section) it is.
【0033】 [0033]
ここでは先ず、液滴吐出装置の説明に先立ち、有機EL装置の構造および製造工程について簡単に説明する。 Here, first, before describing the droplet discharge device will be briefly described the structure and manufacturing process of the organic EL device. 図1は、有機EL装置の断面図を示した図である。 Figure 1 is a diagram showing a cross-sectional view of an organic EL device. 同図に示すように、有機EL装置701は、基板711、回路素子部721、画素電極731、バンク部741、発光素子751、陰極761(対向電極)、および封止用基板771から構成された有機EL素子702に、フレキシブル基板(図示省略)の配線および駆動IC(図示省略)を接続したものである。 As shown in the figure, the organic EL device 701 includes a substrate 711, a circuit element portion 721, pixel electrodes 731, bank sections 741, light emitting element 751, a cathode 761 (counter electrode), and was composed of the sealing substrate 771 the organic EL device 702 is obtained by connecting the flexible board wiring (not shown) and a driving IC (not shown).
【0034】 [0034]
同図に示すように、有機EL素子702の基板711上には、回路素子部721が形成され、回路素子部721上には、複数の画素電極731が整列している。 As shown in the figure, on a substrate 711 of the organic EL element 702 is formed a circuit element section 721, on the circuit element part 721, a plurality of pixel electrodes 731 are aligned. そして、各画素電極731間には、バンク部741が格子状に形成されており、バンク部741により生じた凹部開口744(キャビティ部62:図7等参照)に、発光素子751が形成されている。 And, between the pixel electrodes 731, the bank portion 741 is formed in a lattice shape, the recess opening 744 caused by the bank section 741: (the cavity portion 62 Refer to FIG), the light emitting element 751 is formed there. バンク部741および発光素子751の上部全面には、陰極761が形成され、陰極761の上には、封止用基板771が積層されている。 The entire upper surface of the bank portion 741 and the light emitting element 751, a cathode 761 is formed, on the cathode 761, the sealing substrate 771 is laminated.
【0035】 [0035]
有機EL素子702の製造プロセスは、バンク部741を形成するバンク部形成工程と、発光素子751を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子751を形成する発光素子形成工程と、陰極761を形成する対向電極形成工程と、封止用基板771を陰極761上に積層して封止する封止工程とを備えている。 Manufacturing process of the organic EL element 702 includes a bank portion forming step of forming the bank portions 741, a plasma treatment step for appropriately forming the light-emitting element 751, a light-emitting element forming step of forming the light emitting element 751, a cathode 761 a counter electrode forming step of forming a, and a sealing step of sealing the sealing substrate 771 is laminated on the cathode 761. すなわち、有機EL素子702は、予め回路素子部721および画素電極731が形成された基板711(ワークW:図4等参照)の描画領域W1にバンク部741を形成した後、プラズマ処理、発光素子751および陰極761(対向電極)の形成を順に行い、さらに、封止用基板771を陰極761上に積層して封止することにより製造される。 That is, the organic EL element 702 is pre-circuit element portion 721 and the substrate 711 pixel electrode 731 are formed: after forming the bank portions 741 in the drawing area W1 of the (workpiece W see FIG. 4), a plasma treatment, the light emitting element 751 and performs formation of the cathode 761 (counter electrode) sequentially, and is further prepared by sealing the sealing substrate 771 is laminated on the cathode 761. なお、有機EL素子702は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機EL素子702の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス(窒素、アルゴン、ヘリウム等)雰囲気で行うことが好ましい。 The organic EL element 702, and is easily degraded under the influence of such moisture in the atmosphere, the production of the organic EL element 702, dry air or inert gas (nitrogen, argon, helium, etc.) be carried out in an atmosphere preferable.
【0036】 [0036]
また、各発光素子751は、正孔注入/輸送層752およびR(赤)・G(緑)・B(青)のいずれかの色に着色された発光層753から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入/輸送層752を形成する正孔注入/輸送層形成工程と、3色の発光層753を形成する発光層形成工程と、が含まれている。 Further, each light emitting element 751 is composed of a film-forming portion consisting of the hole injection / transport layer 752 and R (red) · G (green) · B emission layer 753, which is colored in any color (blue) and, in the light-emitting element forming step, a hole injection / transport layer formation step of forming a hole injection / transport layer 752, a light-emitting layer forming step of forming a light-emitting layer 753 of the three colors, are included . この場合、上記バンク部741により区画されたマトリクス状の多数の凹部開口744に対し、3色の発光層753の配列は、例えば図2に示すように、ストライプ配列(同図(a))、モザイク配列(同図(b))およびデルタ配列(同図(c))が知られている。 In this case, with respect to a matrix of a number of recesses opening 744 partitioned by the banks 741, the sequence of three colors of the light-emitting layer 753, for example, as shown in FIG. 2, stripe arrangement (FIG. (A)), mosaic arrangement (FIG. (b)) and the delta arrangement (FIG. (c)) are known.
【0037】 [0037]
そして、有機EL装置701は、有機EL素子702を製造した後、有機EL素子702の陰極761にフレキシブル基板の配線を接続すると共に、駆動ICに回路素子部721の配線を接続することにより製造される。 Then, the organic EL device 701, after manufacturing the organic EL element 702, the connecting wiring of a flexible board to the cathode 761 of the organic EL device 702 is manufactured by connecting the wiring of the circuit element portion 721 to the drive IC that.
【0038】 [0038]
本実施形態の液滴吐出装置は、注入/輸送層形成工程に用いるものと、発光層形成工程に用いるものとがあるが、装置自体は同一構造のものが用いられるため、ここでは、R・G・B3色の発光層753を形成するための液滴吐出装置を例に挙げて、詳細に説明する。 Droplet ejection apparatus of the present embodiment, as used in the injection / transport layer formation process, there are as those used in the light emitting layer formation step, since the apparatus itself is of the same structure is used, where, R · the droplet discharge device for forming a G · B3 colors of the light-emitting layer 753 as an example will be described in detail.
【0039】 [0039]
図3の平面模式図に示すように、実施形態の液滴吐出装置1は、機台2と、機台2上の全域に広く載置された描画装置3と、描画装置3に添設するように機台2上に載置したヘッド機能回復装置4とを有し、描画装置3によりワークW上の描画領域W1に対して機能液による描画を行うと共に、ヘッド機能回復装置4により適宜、描画装置3に備える機能液滴吐出ヘッド5の機能回復処理(メンテナンス)を行うようにしている。 As shown in schematic plan view of FIG. 3, the liquid droplet ejection apparatus 1 of the embodiment includes a base 2, a drawing apparatus 3 that is widely placed all over the base 2, is additionally provided to the drawing device 3 in and a head function recovery device 4 which is placed on the base 2 so, it performs rendering by the functional liquid to the imaging region W1 on the workpiece W by the drawing device 3, as appropriate by the head function recovery device 4, are so performed function recovery process of the function liquid droplet ejection head 5 provided in the drawing device 3 (maintenance).
【0040】 [0040]
描画装置3は、X軸テーブル(主走査手段)12およびX軸テーブル12に直交するY軸テーブル13からなるX・Y移動機構11と、Y軸テーブル13に移動自在に取り付けたメインキャリッジ14と、メインキャリッジ14に垂設したヘッドユニット15とを備えている。 Drawing device 3 is provided with X · Y moving mechanism 11 consisting of X-axis table (main scanning section) 12 and the X-axis Y-axis table 13 which is perpendicular to the table 12, the main carriage 14 mounted movably in the Y-axis table 13 and a head unit 15 which is vertically provided on the main carriage 14. ヘッドユニット15には、サブキャリッジ16を介して、R色、G色およびB色の3つのノズル列6が配列された機能液滴吐出ヘッド5が搭載されると共に、ワークW上に形成されたリニアスケール52の位置に対応して、リニアセンサ51が搭載されている。 The head unit 15, via a sub-carriage 16, R color, with three nozzle arrays 6 of G color and B color functional liquid droplet ejection head 5 arranged to be mounted, formed on the workpiece W corresponding to the position of the linear scale 52, the linear sensor 51 is mounted.
【0041】 [0041]
この場合、基板であるワークWは、透光性(透明)のガラス基板で構成されており、X軸テーブル12に搬入した段階で、これに臨む一対のワーク認識カメラ18,18で一対のワーク基準マーク54,54を認識することにより、X軸テーブル12に位置決めされた状態でセットされる。 In this case, the workpiece W as a substrate is formed of a glass substrate of the translucent (transparent), at the stage of carrying the X-axis table 12, a pair of a pair of workpiece recognition camera 18, 18 facing thereto workpiece by recognizing the reference mark 54, it is set in a state of being positioned in the X-axis table 12. また、ワークWには、マトリクス状に配置されると共に機能液が吐出される(描画が行われる)描画領域W1と、当該描画領域W1を区画すると共にリニアスケール52が形成される非描画領域W2とが配置されている。 Further, the workpiece W, the functional liquid (the drawing is performed) drawing area W1 discharged while being arranged in a matrix, a non-drawing area the linear scale 52 is formed with partitioning the drawing area W1 W2 door is located. なお、図示のサブキャリッジ16には、3つのノズル列6が配列された機能液滴吐出ヘッド5が1つ搭載されているが、これら3つのノズル列6を異なる機能液滴吐出ヘッド5に配列したものを搭載しても良い。 Note that the sub-carriage 16 shown, the three functional liquid droplet ejection head 5 the nozzle row 6 are arranged is mounted one sequence of these three nozzle rows 6 different functional liquid droplet ejection head 5 also possible to install those. また、各色に対応するノズル列6が複数列で構成されていても良い。 Furthermore, the nozzle row 6 which correspond to the respective colors may be composed of a plurality of rows.
【0042】 [0042]
リニアセンサ51は、ワークWを隔てて上下に配置された発光部および受光部(いずれも図示省略)から成る光学式受光センサであり、ワークW上に形成されたリニアスケール52の検出を行なう。 Linear sensor 51 is an optical receiving sensor consisting of the light emitting portion and a light receiving portion disposed vertically across a workpiece W (all not shown), to detect the linear scale 52 formed on the workpiece W. そして、これらリニアセンサ51とリニアスケール52により、リニアエンコーダ50が構成されている。 Then, these linear sensor 51 and the linear scale 52, the linear encoder 50 is configured.
【0043】 [0043]
図4に示すように、リニアスケール52は、複数のマークMから成るマーク列52aにより構成され、リニアセンサ51による検出方向(X軸方向)に延在している。 As shown in FIG. 4, the linear scale 52 is constituted by a mark array 52a including a plurality of marks M, and extends in the detection direction (X axis direction) by the linear sensor 51. また、マーク列52aは、ワークW上にマトリクス状に配列された描画領域W1の、図示最上段(リニアセンサ51による検出開始側)に位置する描画領域列W1―aの検出開始位置から、図示最下段(リニアセンサ51による検出終了側)に位置する描画領域列W1−dの検出終了位置まで、連続してマーキングされており、各描画領域列W1―a〜W1―dの検出開始位置には、基準マークM1が形成されている。 Also, mark array 52a is in the imaging region W1 arranged in a matrix on the workpiece W, from the detected start position of the imaging region arrays W1-a located in the drawing top (detection start side by the linear sensor 51), shown to the detection end position of the imaging region arrays W1-d positioned at the bottom (detection end side by the linear sensor 51), are marked in succession, the detection start position of each imaging region arrays W1-a~W1-d the reference marks M1 are formed. この基準マークM1は、リニアセンサ51によるリニアスケール52のカウントをリセットするためのものであり、万一読み飛ばしやダブルカウントなどの検出誤差が生じた場合、描画領域列W1―a〜W1―d毎にこれを補償できるようになっている。 The reference marks M1 is for resetting the counting of the linear scale 52 by the linear sensor 51, when occurs detection errors such as event skipping or double counting, imaging region arrays W1-a~W1-d It has to be able to compensate for this in each. なお、リニアスケール52の検出とその検出結果に基づく、機能液の吐出駆動制御については後に詳述する。 Incidentally, based on the detection and the detection result of the linear scale 52 will be described in detail later ejection drive control of the functional liquid.
【0044】 [0044]
このような構成により、リニアエンコーダ50は、発光部から光を照射し、マークM間(透光部)を通過した光を受光部5で受光し、それを電気信号に変換することで、エンコーダ信号を生成する。 With this configuration, the linear encoder 50, light is emitted from the light emitting unit, receives the light transmitted through between the marks M a (transparent portion) in the light receiving unit 5, by converting it into an electric signal, an encoder to generate a signal. そして、そのエンコーダ信号に基づいて、メインキャリッジ14(ヘッドユニット15)の移動位置情報が求められ、その移動位置情報に応じて機能液滴吐出ヘッド5による機能液の吐出信号を生成し(吐出タイミングを決定し)、ワークW上の所定位置に描画を行う。 Then, based on the encoder signal, the movement position information of the main carriage 14 (head unit 15) is determined to generate a discharge signal of the functional fluid by the functional liquid droplet ejection head 5 in accordance with the movement position information (ejection timing determined by), it performs drawing on a predetermined position on the workpiece W.
【0045】 [0045]
なお、本実施形態では光学式リニアエンコーダを用いているが、磁化したマーキングから成るリニアスケールを、磁気センサで検出する磁気式リニアエンコーダを用いても良い。 Although this embodiment uses an optical linear encoder, a linear scale consisting of magnetized marking may be used magnetic linear encoder for detecting a magnetic sensor.
【0046】 [0046]
一方、ヘッド機能回復装置4は、機台2上に載置した移動テーブル21と、移動テーブル21上に載置した保管ユニット22、吸引ユニット23およびワイピングユニット24とを備えている。 On the other hand, the head function recovery device 4 is provided with a moving table 21 which is placed on the base 2, a storage unit 22 which is mounted on the moving table 21, and a suction unit 23 and the wiping unit 24. 保管ユニット22は、装置の稼動停止時に、機能液滴吐出ヘッド5のノズル5aの乾燥を防止すべくこれを封止する。 Storage unit 22 is, when the operation stop of the device, to seal it in order to prevent drying of the nozzle 5a of the functional liquid droplet ejection head 5. 吸引ユニット23は、機能液滴吐出ヘッド5から機能液を強制的に吸引すると共に、機能液滴吐出ヘッド5の全ノズル5aからの機能液の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。 Suction unit 23 is configured to forcibly suck the function liquid from the functional liquid droplet ejection head 5 has a function of flushing box for receiving the functional liquid discarded discharged from all the nozzles 5a of the functional liquid droplet ejection head 5 . ワイピングユニット24は、主に、機能液吸引を行った後の機能液滴吐出ヘッド5のノズル面5bをワイピング(拭き取り)する。 The wiping unit 24 is mainly the nozzle surface 5b of the functional liquid droplet ejection head 5 after the functional liquid suction wipes (wiping).
【0047】 [0047]
保管ユニット22には、例えば機能液滴吐出ヘッド5に対応する封止キャップ26が昇降自在に設けられており、装置の稼動停止にヘッドユニット(の機能液滴吐出ヘッド5)15に臨んで上昇し、機能液滴吐出ヘッド5のノズル面5bに封止キャップ26を密接させて、これを封止する。 Increase in the storage unit 22, for example, the functional droplet sealing cap 26 corresponding to the ejection head 5 is provided vertically movably, facing the head unit (the functional liquid droplet ejection head 5) 15 in the operation stop of the device and the functional liquid droplet ejection in the nozzle surface 5b of the head 5 is in close contact with the sealing cap 26 to seal it. これにより、機能液滴吐出ヘッド5のノズル面5bにおける機能液の気化が抑制され、いわゆるノズル詰まりが防止される。 Accordingly, the vaporization of the functional fluid at the nozzle surface 5b of the functional liquid droplet ejection head 5 is suppressed, so-called nozzle clogging is prevented.
【0048】 [0048]
同様に、吸引ユニット23には、例えば機能液滴吐出ヘッド5に対応する吸引キャップ27が、昇降自在に設けられており、ヘッドユニット(の機能液滴吐出ヘッド5)15に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド5内で増粘した機能液を除去する場合に、吸引キャップ27を機能液滴吐出ヘッド5に密着させて、ポンプ吸引を行う。 Similarly, the suction unit 23, for example, the function liquid suction cap 27 corresponding to the droplet discharge head 5 is provided vertically movably, the filling of the functional liquid to the head unit (the functional liquid droplet ejection head 5) 15 If you do, in case of removing the thickened function liquid in the function liquid droplet ejection head within 5 and the suction cap 27 is brought into close contact with the functional liquid droplet ejection head 5 performs pump suction. また、機能液の吐出(描画)を休止するときには、吸引キャップ27を機能液滴吐出ヘッド5から僅かに離間させておいて、フラッシング(捨て吐出)を行う。 Further, to pause discharged functional liquid (the drawing) is a suction cap 27 allowed to slightly separated from the functional liquid droplet ejection head 5 performs flushing (discarded discharge). これにより、ノズル詰まりが防止され或いはノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド5の機能回復が図られる。 Thus, functional recovery of the functional liquid droplet ejection head 5 nozzle clogging caused in the prevention or nozzle clogging can be attained.
【0049】 [0049]
ワイピングユニット24には、例えば、ワイピングシート28が繰出し且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート28を送りながら、且つ移動テーブル21によりワイピングユニット24をX軸方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド5のノズル面5bを拭き取るようになっている。 The wiping unit 24, for example, the wiping sheet 28 is provided to freely unwind and take-up, while feeding the wiping sheet 28 feeding, and while the wiping unit 24 is moved in the X-axis direction by the moving table 21, function so that the wiping of the nozzle surface 5b of the droplet discharge head 5. これにより、機能液滴吐出ヘッド5のノズル面5bに付着した機能液が取り除かれ、機能液吐出時の飛行曲がり等が防止される。 Thus, the functional liquid adhered to the nozzle surface 5b of the functional liquid droplet ejection head 5 is removed, flight deflection or the like during the functional liquid discharged is prevented.
【0050】 [0050]
なお、ヘッド機能回復装置4として、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド5から吐出された機能液の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド5から吐出された機能液の重量を測定する重量測定ユニット等を、搭載することが好ましい。 As the head function recovery device 4, in addition to the units described above, the functional liquid and the ejection inspection unit for inspecting the flight conditions of the droplet discharge head 5 from the functional liquid ejected, ejected from the functional liquid droplet ejection head 5 functions the weight measuring unit or the like for measuring the weight of the liquid, it is preferable to mount. さらに、同図示では省略したが、この液滴吐出装置1には、各機能液滴吐出ヘッド5に機能液が供給する機能液供給機構や、上記の描画装置3や機能液滴吐出ヘッド5等の構成装置を統括制御する制御装置(制御手段:後述する)などが組み込まれている。 Furthermore, the although not shown in the illustration, the droplet ejection apparatus 1, the functional liquid droplet ejection head 5 the functional liquid supply functional liquid supply mechanism and the above drawing apparatus 3 and the functional liquid droplet ejection head 5 such controller for generally controlling the component devices (control means: described later) and the like are incorporated.
【0051】 [0051]
X軸テーブル12は、X軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のX軸スライダ31を有し、これに吸着テーブル33およびθテーブル34等から成るセットテーブル32を移動自在に搭載して、構成されている。 X-axis table 12 has an X-axis slider 31 of the motor driving that constitute the X-axis direction of the driving system, mounted movably to set table 32 made of this suction table 33 and θ table 34 or the like, configured It is. 同様に、Y軸テーブル13は、Y軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のY軸スライダ36を有し、これにθテーブル37を介して上記のメインキャリッジ14を移動自在に搭載して、構成されている。 Similarly, Y-axis table 13 has a Y-axis slider 36 of the motor drive constituting the Y-axis direction of the driving system, is mounted movably above the main carriage 14 through a θ table 37 to, It is configured.
【0052】 [0052]
この場合、X軸テーブル12は、機台2上に直接支持される一方、Y軸テーブル13は、機台2上に立設した左右の支柱38,38に支持されている。 In this case, X-axis table 12, while being supported directly on the machine base 2, Y-axis table 13 is supported on the left and right posts 38 and 38 provided upright on the base 2. X軸テーブル12とヘッド機能回復装置4とは、X軸方向に相互に平行に配設されており、Y軸テーブル13は、X軸テーブル12とヘッド機能回復装置4の移動テーブル21とを跨ぐように延在している。 The X-axis table 12 and the head function recovery device 4, are mutually arranged in parallel to the X axis direction, Y-axis table 13, straddles the moving table 21 of the X-axis table 12 and the head function recovery device 4 It extends so.
【0053】 [0053]
そして、Y軸テーブル13は、これに搭載したヘッドユニット(機能液滴吐出ヘッド5)15を、ヘッド機能回復装置4の直上部に位置する機能回復エリア41と、X軸テーブル12の直上部に位置する描画エリア42との相互間で、適宜移動させる。 Then, Y-axis table 13, a head unit (function liquid droplet ejection head 5) 15 mounted thereto, and functional recovery area 41 located immediately above the head function recovery device 4, directly above the X-axis table 12 between each other and drawing area 42 is located, it is moved appropriately. すなわち、Y軸テーブル13は、機能液滴吐出ヘッド5の機能回復を行う場合には、ヘッドユニット15を機能回復エリア41に臨ませ、またX軸テーブル12に導入したワークWに描画を行う場合には、ヘッドユニット15を描画エリア42に臨ませる。 That, Y-axis table 13, when performing the functional recovery of the functional liquid droplet ejection head 5, the head unit 15 to face the functional recovery area 41, and if to draw the workpiece W introduced into the X-axis table 12 the, to face the head unit 15 in the drawing area 42.
【0054】 [0054]
一方、X軸テーブル12の一方の端部は、ワークWをX軸テーブル12にセット(載せ代える)するための移載エリア43となっており、移載エリア43には、上記一対のワーク認識カメラ18,18が配設されている。 On the other hand, one end of the X-axis table 12 is a transfer area 43 for setting (loaded changing) the workpiece W in the X-axis table 12, the transfer area 43, the pair of works Recognition the camera 18 is disposed. そして、この一対のワーク認識カメラ18,18により、吸着テーブル33上に供給されたワークWの2箇所のワーク基準マーク54,54が同時に認識され、この認識結果に基づいて、ワークWのアライメントが為される。 By the pair of workpiece recognition camera 18, the suction work reference marks 54, 54 of the two locations of the supplied workpiece W on the table 33 is recognized at the same time, on the basis of this recognition result, the alignment of the workpiece W It is made.
【0055】 [0055]
実施形態の液滴吐出装置(描画装置3)1では、X軸方向へのワークWの移動を主走査とし、Y軸方向への機能液滴吐出ヘッド(ヘッドユニット15)5の移動を副走査として、上記の制御手段に記憶する吐出パターンデータと、上記のリニアエンコーダ50の検出結果(エンコーダ信号)とに基づいて描画が行われる。 In an embodiment of the liquid droplet ejection apparatus (drawing apparatus 3) 1, a main scanning movement of the workpiece W in the X-axis direction, the sub-scanning movement of the functional liquid droplet ejecting head (head unit 15) 5 of the Y-axis direction as the ejection pattern data stored in the control unit, the detection result rendered based on the (encoder signal) and the linear encoder 50 is performed.
【0056】 [0056]
描画エリア42に導入したワークWに描画を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド(ヘッドユニット15)5を描画エリア42に臨ませておいて、X軸テーブル12による主走査(ワークWの往復移動)に同期して、リニアエンコーダ50の検出結果に基づき、機能液滴吐出ヘッド5を吐出駆動(機能液の選択的吐出)させる。 When to draw the workpiece W introduced into the drawing area 42, the functional liquid droplet ejecting heads keep to face the (head unit 15) 5 in the drawing area 42, reciprocating in the main scanning (the workpiece W by the X-axis table 12 in synchronism with the movement), based on the detection result of the linear encoder 50, selective discharge of the functional liquid droplet ejection head 5 the ejection drive (functional liquid) causes. また、Y軸テーブル13により適宜、副走査(ヘッドユニット15の移動)が行われる。 Further, appropriately by the Y-axis table 13, the sub-scanning (movement of the head unit 15) is performed. この一連の動作により、ワークWの描画領域Waに所望の機能液の選択的吐出、すなわち描画が行われる。 By this series of operations, selective discharge of the desired functional fluid in the drawing area Wa of the workpiece W, that is, drawing is performed.
【0057】 [0057]
また、機能液滴吐出ヘッド5の機能回復を行う場合には、移動テーブル21により吸引ユニット23を機能回復エリア41に移動させると共に、Y軸テーブル13によりヘッドユニット15を機能回復エリア41に移動させ、機能液滴吐出ヘッド5のフラッシング或いはポンプ吸引を行う。 Further, when the functional recovery of the functional liquid droplet ejection head 5 moves the suction unit 23 to the functional recovery area 41 by the moving table 21 moves the head unit 15 in the functional recovery area 41 by the Y-axis table 13 performs flushing or pump suction of the function liquid droplet ejection head 5. また、ポンプ吸引を行った場合には、続いて移動テーブル21によりワイピングユニット24を機能回復エリア41に移動させ、機能液滴吐出ヘッド5のワイピングを行う。 Also, when performing pump suction, subsequently moving the wiping unit 24 in functional recovery area 41 by the moving table 21, performs a wiping function liquid droplet ejection head 5. 同様に、作業が終了して装置の稼動を停止する時には、保管ユニット22により、機能液滴吐出ヘッド5にキャッピングが行われる。 Similarly, when the work stops the operation of the apparatus is completed, the storage unit 22, the capping is performed to the functional liquid droplet ejection head 5.
【0058】 [0058]
ここで、液滴吐出装置1の制御構成について、図5の制御ブロック図を参照して説明する。 Here, the control configuration of the droplet ejection apparatus 1 will be described with reference to the control block diagram of FIG. 液滴吐出装置1は、インタフェース111を有し、ホストコンピュータ300から送信された吐出パターンデータ(各ノズル5aの機能液の吐出/非吐出を決定するためのデータ)、駆動波形データ(各ノズル5aの圧電素子(ピエゾ素子など)を駆動するために印加される波形データ)および各種制御データを取得すると共に、液滴吐出装置1内部における処理状況等に関するデータをホストコンピュータ300に対して出力するデータ入出力部110と、電源スイッチ121を有し、電源の供給および切断を行なう電源部120と、リニアセンサ51およびリニアスケール52を有し、ワークWの移動位置を検出するリニアエンコーダ50と、機能液滴吐出ヘッド5を有し、ワークW上に描画を行なう描画部140と、キャリッジモータ Droplet discharge device 1 includes an interface 111, (data for determining the ejection / non-ejection of the functional liquid of each nozzle 5a) ejection pattern data transmitted from the host computer 300, the drive waveform data (each nozzle 5a of obtains the waveform data) and various control data is applied to drive the piezoelectric element (piezo element), data for outputting the data related to the processing status, etc. inside the droplet discharge device 1 to the host computer 300 output unit 110, a power supply switch 121, a power supply unit 120 for supplying and cutting the power supply, has a linear sensor 51 and the linear scale 52, a linear encoder 50 for detecting the movement position of the workpiece W, functions It has a droplet discharge head 5, a rendering unit 140 for rendering on the workpiece W, the carriage motor 51および送りモータ152を有し、機能液滴吐出ヘッド5が搭載されたメインキャリッジ14(ヘッドユニット15)およびワークWを移動・搬送する搬送部150(移動機構)と、ヘッドドライバ161、キャリッジモータドライバ162および送りモータドライバ163を有し、各部を駆動する駆動部160と、各部と接続され、液滴吐出装置10全体を制御する制御部200と、によって構成されている。 51 and has a feed motor 152, the functional liquid droplet ejection main carriage 14 which head 5 is mounted (head unit 15) and the conveying unit 150 to move and transport the workpiece W (moving mechanism), a head driver 161, a carriage motor has a driver 162 and feed motor driver 163, a driving section 160 for driving the respective units is connected to each unit, a control unit 200 for controlling the entire liquid droplet discharging apparatus 10 is composed of a.
【0059】 [0059]
制御部200は、CPU210、ROM220、RAM230および入出力制御装置(以下、「IOC:Input Output Controller」という)250を備え、互いに内部バス260により接続されている。 Control unit 200, CPU 210, ROM 220, RAM 230 and input-output control unit (hereinafter, "IOC: Input Output Controller" hereinafter) includes a 250 are connected by an internal bus 260 to each other. ROM220は、各ノズル5a(ノズル列6)の吐出を駆動制御するためのプログラムの他、CPU210で処理する各種プログラムを記憶する制御プログラムブロック221と、各種テーブルを含む制御データを記憶する制御データブロック222とを有している。 ROM220, in addition to programs for driving and controlling the discharge of each nozzle 5a (nozzle row 6), a control program block 221 for storing various programs to be processed by CPU 210, control data block for storing control data containing various tables and a 222.
【0060】 [0060]
RAM230は、フラグ等として使用されるワークエリアブロック231の他、ホストコンピュータ300より送信された吐出パターンデータを記憶する吐出パターンデータブロック232を有し、制御処理のための作業領域として使用される。 RAM230 is another work area blocks 231 to be used as a flag or the like, having a discharge pattern data block 232 for storing the ejection pattern data sent from the host computer 300, is used as a work area for control processes. また、RAM230は電源が切断されても記憶したデータを保持しておくように常にバックアップされている。 Further, RAM 230 is always backed up so it holds the data power is stored be cut.
【0061】 [0061]
IOC250には、CPU210の機能を補うと共に各種周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が、ゲートアレイやカスタムLSIなどにより構成されて組み込まれている。 The IOC 250, a logic circuit for handling interface signals with various peripheral circuits supplement the function of the CPU210 is incorporated is constituted by a gate array and a custom LSI. これにより、IOC250は、ホストコンピュータ300からの吐出パターンデータや制御データをそのまま或いは加工して内部バス260に取り込むと共に、CPU210と連動して、CPU210から内部バス260に出力されたデータや制御信号を、そのまま或いは加工して駆動部160に出力する。 Thus, IOC 250, in conjunction with taking the internal bus 260 to the ejection pattern data and control data from the host computer 300 directly or after processing to, in conjunction with CPU 210, data and control signals output to the internal bus 260 from the CPU 210 , directly or after processing and outputs to the drive unit 160.
【0062】 [0062]
そして、CPU210は、上記の構成により、ROM220内の制御プログラムにしたがって、IOC250を介してホストコンピュータ300および液滴吐出装置10内の各部から各種信号・データを入力して、RAM230内の各種データを処理し、IOC250を介して液滴吐出装置1内の各部に、各種信号・データを出力することにより、各ノズル5aからの機能液の吐出タイミングを駆動制御し、ワークW上に描画を行う。 Then, CPU 210 is a configuration described above, in accordance with the control program in the ROM 220, and inputs various signals and data from each section of the host computer 300 and the droplet discharging apparatus 10 via the IOC 250, various data in the RAM230 processing, to each part of the liquid droplet ejection apparatus 1 through the IOC 250, by outputting various signals and data, and drives and controls the discharge timing of the functional liquid from the nozzles 5a, it performs drawing on the work W. なお、本実施形態では、ノズル列6方向におけるノズル間隔を画素ピッチに合わせることで、ノズル列6毎に吐出タイミングの駆動制御を行うようにしているが、詳細については後述する。 In the present embodiment, by aligning the nozzle spacing in the nozzle row 6 direction pixel pitch, although to perform the drive control of the ejection timing for each nozzle row 6 will be described later in detail.
【0063】 [0063]
一方、ホストコンピュータ300は、吐出パターンデータ、駆動波形データおよび各種制御データを出力すると共に、液滴吐出装置1から送信された装置内部における処理状況等に関するデータを入力するインタフェース310と、CPU、ROMおよびRAM等のメモリを有し、パソコン全体を制御する中央制御部320と、ウィンドウズ(登録商標)等のOS330と、液滴吐出装置1を制御するためのドライバ340とを備えている。 On the other hand, the host computer 300, ejection pattern data, and outputs the driving waveform data and various control data, an interface 310 for inputting data related to the processing status, etc. inside the apparatus transmitted from the droplet discharge device 1, CPU, ROM and a memory such as a RAM, a central control unit 320 which controls the entire personal computer, and a OS330 such Windows®, and a driver 340 for controlling droplet ejection apparatus 1. また、中央制御部320内(RAM等)には、リニアスケール52のマーク位置と当該マーク位置に対応する吐出/非吐出を決定するための対応テーブル350(図8参照)を有しており、当該対応テーブル350を参照して、各ノズル列6からの機能液の吐出タイミングを決定するための吐出パターンデータを生成する。 Also, the central control unit within 320 (RAM or the like) has a correspondence table 350 (see FIG. 8) for determining the discharge / non-discharge corresponding to the mark position and the mark position of the linear scale 52, with reference to the correspondence table 350, and generates an ejection pattern data for determining the ejection timing of the functional liquid from the nozzle row 6.
【0064】 [0064]
なお、ホストコンピュータ300から送信された吐出パターンデータに基づいて機能液の吐出を駆動制御するのではなく、液滴吐出装置1内に上記の対応テーブル350を記憶しておき、これに基づいて、各ノズル列6の機能液の吐出/非吐出を決定する構成としても良い。 Instead of controlling the driving of the ejection of the function liquid based on the ejection pattern data transmitted from the host computer 300 stores the above correspondence table 350 to the droplet ejection apparatus 1, based on this, it may be configured to determine the ejection / non-ejection of the functional liquid of each nozzle array 6.
【0065】 [0065]
次に、吐出パターンデータ(吐出信号)と、リニアスケール52の検出結果とに基づく、機能液の吐出駆動制御について説明する。 Next, the ejection pattern data (the ejection signal), based on the detection result of the linear scale 52 will be described ejection drive control of the functional liquid. 図6は、描画領域W1上における画素の配列を示す平面図であり、図7は、その斜視図である。 Figure 6 is a plan view showing an arrangement of a pixel on the rendering area W1, FIG. 7 is a perspective view thereof. ここでは、説明を容易にするため、1列のノズル列6が配列された機能液滴吐出ヘッド5で描画を行なう場合について説明する。 Here, for ease of explanation, the case where the nozzle array 6 of one column for drawing the functional liquid droplet ejecting heads 5 arranged. なお、図6において、リニアスケール52(マーキング)の下に付された数字はマーク位置並びにカウント値を示すものであり、実際にワークW上に記載されるものではない。 In FIG. 6, the numbers attached to the bottom of the linear scale 52 (marking) shows a mark position and the count value, it is not actually described on the workpiece W.
【0066】 [0066]
両図に示すように、描画領域W1は機能液が吐出されると共に画素を構成するキャビティ部61と、これを区画するバンク部62とを有し、バンク部62は撥液処理(フッ素基の導入)が施されている。 As shown in the figures, the drawing area W1 and the cavity portion 61 in the pixel with the functional liquid is discharged, and a bank portion 62 for partitioning this, the bank portion 62 is liquid-repellent (fluorine groups introduction) is applied. このため、吐出位置に多少の誤差が生じた場合でも、これを許容できるようになっている。 Therefore, even when some errors in the discharge position has occurred, and to be able to tolerate this. また、キャビティ部61は、X軸方向に300〔μm〕、Y軸方向に100〔μm〕の大きさを有し、X軸方向およびY軸方向において、それぞれ100〔μm〕間隔で配置されている。 Further, the cavity portion 61, 300 [μm] in the X-axis direction, has a size of 100 [μm] in the Y-axis direction, in the X-axis direction and the Y-axis direction, it is arranged at each 100 [μm] interval there.
【0067】 [0067]
また、非描画領域W2には、X軸方向に延在する1本のマーク列52aから成るリニアスケール52が形成され、各描画領域W1の検出開始位置(図示では、各描画領域W1の左側側端部の延長線上にあたる位置)には、基準マークM1が設けられている。 In addition, the non-imaging region W2, the linear scale 52 is formed consisting of one mark array 52a extending in the X-axis direction, the detection start position (illustrated in the drawing area W1 is left side of the drawing area W1 the position) corresponding to an extension of the end portion, the reference marks M1 are provided. また、各画素(キャビティ部61)には機能液が3回ずつ吐出されることにより描画が行われるが、その吐出回数に応じて、各画素にはそれぞれ3つのマーク(例えば、マーク1,マーク2,マーク3)が対応している。 Although the functional liquid to each pixel (cavity 61) drawing is carried out by discharged three times, depending on the number of discharges, each of the three marks in each pixel (e.g., the mark 1, the mark 2, mark 3) is compatible. また、これら3つのマークは、リニアセンサ51の検出タイミングと、当該検出に基づく各ノズル5aからの機能液の吐出タイミングとのずれ(ワークWの搬送によるずれ)を考慮して、機能液の着弾位置(図示丸印)よりも、幾分搬送方向(X軸方向)手前側にマーキングされている。 Moreover, these three marks, and the detection timing of the linear sensor 51, in consideration of the deviation (deviation by the transfer of the workpiece W) of the ejection timing of the functional liquid from the nozzles 5a based on the detection, landing of the functional liquid position (shown circled) than are marked somewhat conveying direction (X axis direction) front side.
【0068】 [0068]
一方、非描画領域W2においては、描画領域W1に対応するマーキング(例えば、マーク1〜4)と同配列となるようにマーキングが為されている。 On the other hand, in the non-imaging region W2, markings corresponding to the drawing area W1 (e.g., marks 1-4) marking so that the same sequence have been made. すなわちこの場合は、描画領域W1と非描画領域W2とが同じ配列でマーキング可能となるように、ワークWが形成されている。 That is, in this case, as in the drawing area W1 and non-imaging region W2 is possible markings in the same arrangement, the workpiece W is formed. このように、非描画領域W2に対応するマーキングを、描画領域W1に対応するマーキングと同配列としたことにより、検出タイミングを測定することで、読み飛ばしやダブルカウント(同じマークを続けてカウントすること)などの検出誤差が生じた場合にそれを検出することができる。 Thus, the markings corresponding to the non-imaging region W2, by which the markings and the same sequence corresponding to the drawing area W1, by measuring the detected timing, counting continues skip or double counting (same suit it is possible to detect it when the detected error such that) has occurred. つまり、同配列のマーキングが連続するということは、マーク間距離を所定範囲に設定することができ(図示の場合、マーク1―2間距離(最小)〜マーク3−4間距離(最大)の範囲)、検出タイミングの間隔が、前記最小マーク間距離分の搬送時間よりも短い場合や、逆に前記最大マーク間距離分の搬送時間よりも長い場合、これを検出誤差とみなすことができる。 In other words, the fact that the marking of the sequence is continuous, the distance between the marks can be set to a predetermined range (in the illustrated case, the mark 1-2 between distance (Min) - Mark 3-4 between distance (maximum) range), distance detection timing, the case where the minimum mark distance minutes shorter than the transport time and is longer than the maximum distance between marks min transport time on the contrary, can be regarded as detection error this.
【0069】 [0069]
なお、これに限らず、非描画領域W2においては、描画領域W1に対応するマークの最大間隔(マーク3−4間距離)以下の一定間隔でマーキングしておき、その検出タイミングを測定することで検出誤差を検出可能に構成しても良い。 The invention is not limited thereto, in the non-imaging region W2, leave marked by the maximum distance (distance between marks 3-4) following a predetermined interval of marks corresponding to the drawing area W1, by measuring the detected timing may be detected configured to be able to detect the error.
【0070】 [0070]
ところで、上記の基準マークM1は、図示の通り他のマークよりも幾分幅広のマークから成り、この基準マークM1検出によって、リニアセンサ51によるリニアスケール52のカウントをリセットする(図8の対応テーブル350参照)。 Incidentally, the above-mentioned reference mark M1 consists somewhat wider mark than as other marks as illustrated by the reference mark M1 detected, resets the count of the linear scale 52 by the linear sensor 51 (correspondence table of FIG. 8 see 350). したがって、図示した例の場合、マーク1〜57まで検出した後、基準マークM1の検出によりカウントが0に戻り、再度描画領域W1からその隣に位置する非描画領域W2まで、対応するマーク1〜57を検出する。 Thus, in the example shown, after the detection to the mark 1 to 57, the count returns to 0 by the detection of the reference mark M1, to the non-imaging region W2 located next to it again from the drawing area W1, the corresponding mark 1 57 to detect. このように、基準マークM1を描画領域W1列毎に備えたことにより、万一検出誤差が生じた場合、描画領域列毎に(マーク0〜1検出の間で)これを補償することができる。 Thus, by providing a reference mark M1 in each drawing area W1 columns, the rare event detection error has occurred, (between the marks 0-1 detection) for each imaging region arrays can be compensated for . また、基準マークM1は、X軸方向に配列された各描画領域列W1−a〜W1−d(図4参照)の検出開始位置を示しているため、検出誤差が生じた後、続く描画領域列の吐出開始位置から吐出精度を保持することができる。 Further, since the reference marks M1 indicates the detection start position of each drawing area rows arranged in the X-axis direction W1-a~W1-d (see FIG. 4), after the detection error has occurred, subsequent drawing area it can hold the ejection accuracy from ejection start position of the column.
【0071】 [0071]
なお、基準マークM1の形態は、幅広のマークに限らず、『+』や『×』など他の形状であっても良いし、色や濃度を他のマークと異ならせることにより、光照射による反射率の違いを検出するようにしても良い。 Incidentally, the form of the reference mark M1 is not limited to the wide marks, it may have other shapes, such as "+" and "×", by varying the color and density and other marks, by light irradiation it is also possible to detect the difference in reflectance. また、リニアセンサ51と隣接して基準マーク用センサを配設し、基準マークM1のサイズを他のマークよりも大きくすることにより(線分を長くすることにより)、基準マーク用センサで基準マークM1を検出するようにしても良い。 Further, (by increasing the line segment) is disposed a sensor reference mark adjacent the linear sensor 51, by the size of the reference marks M1 to be larger than other marks, reference mark sensor reference mark M1 may be detected.
【0072】 [0072]
ところで、機能液滴吐出ヘッド5には、複数のノズル5aから成るノズル列6が配置されているが、このノズルピッチは画素ピッチに対応している。 Incidentally, the functional liquid droplet ejection head 5, but the nozzle array 6 consisting of a plurality of nozzles 5a are arranged, the nozzle pitch corresponds to the pixel pitch. また、ノズル列6の長さは、全ての描画領域W1に対応する長さ(1回の主走査で、全描画領域を描画可能な長さ)となっている。 The length of the nozzle array 6 has (in main scanning of one time, the entire drawing area drawable lengths) length corresponding to all of the drawing area W1 and. このため、機能液の吐出/非吐出は、ノズル列6毎に駆動制御することができる。 Therefore, the discharge / non-discharge of the functional liquid can be driven and controlled for each nozzle row 6. 但し、この場合、Y軸方向において非描画領域W2(描画領域W1間隔)に相当するノズルは、常時非駆動に設定されているか、例示したワークW専用の機能液滴吐出ヘッド5を使用し、非描画領域W2に相当するノズル5aが存在しないことが好ましい。 However, in this case, in the nozzle corresponding to the non-imaging region W2 (imaging region W1 interval) Y-axis direction, it is set to always non-driven, using the functional liquid droplet ejection head 5 of the workpiece W only exemplified, it is preferred that the nozzles 5a corresponding to the non-imaging region W2 is absent.
【0073】 [0073]
ここで、上記のように構成されたリニアスケール52を検出する場合に用いられる対応テーブル350について、図8を参照して説明する。 Here, the correspondence table 350 to be used in detecting the linear scale 52 configured as described above will be described with reference to FIG. 同図に示すように、描画領域W1に対応するマーク群(マーク1〜36)については、吐出信号が生成され、各ノズル5a(ノズル列6)から機能液が吐出される(ONとなる)。 As shown in the figure, the mark group corresponding to the drawing area W1 (Mark 1-36), the discharge signal is generated, the functional liquid is discharged from the nozzles 5a (nozzle row 6) (a ON) . また、非描画領域W2に対応するマーク群(マーク37〜57)については、各ノズル5aから機能液は吐出されない(OFFとなる)。 Also, the mark group corresponding to the non-imaging region W2 (Mark 37 to 57), the functional liquid is not ejected from the nozzles 5a (the OFF). このように、対応テーブル350にしたがって、各ノズル列6の吐出パターンデータが生成され、当該吐出パターンデータと、リニアスケール52の検出タイミングとに基づいて、各ノズル列6からの機能液の吐出が駆動制御される。 Thus, according to the correspondence table 350, the ejection pattern data of each nozzle array 6 is generated, and the ejection pattern data, based on the detection timing of the linear scale 52, the ejection of functional liquid from the nozzle row 6 It is driven and controlled.
【0074】 [0074]
なお、対応テーブル350は、ワークW全体の描画に相当するものを用いても良いが、上記の通りマーク0〜57の周期を繰り返すため、マーク0〜57の部分のみのテーブルを用意しておき、対応テーブル350を記憶するためのメモリ量を減らすようにしても良い。 The correspondence table 350 may be used the equivalent of the entire workpiece W drawing, but to repeat the cycle of the street marks 0-57, are prepared only for the table portion of the mark 0-57 , it may be reduce the amount of memory for storing a correspondence table 350.
【0075】 [0075]
以上の通り、本実施形態の液滴吐出装置1によれば、リニアスケール52が、ワークW上にマーキングされたマーク列52aから成るため、温度変化によりワークWの大きさに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持することができる。 As described above, according to the liquid droplet ejection apparatus 1 of the present embodiment, when the linear scale 52, since made of mark array 52a which is marked on the workpiece W, the change in the size of the workpiece W caused by temperature change But it is possible to hold the ejection accuracy of the functional liquid. また、他のマークとは異なる形態でマーキングされた基準マークM1を描画領域列W1−a〜W1−d毎に有しており、基準マークM1の検出に基づいてリニアセンサ51によるリニアスケール52のカウントをリセットするため、万一読み飛ばしやダブルカウントなどの検出誤差が生じた場合、描画領域列W1−a〜W1−d毎にこれを補償することができる。 Further, the other marks have a reference mark M1, which is marked on each of the imaging region arrays W1-a~W1-d in different forms, according to the linear sensor 51 based on the detection of the reference mark M1 of the linear scale 52 for resetting the count, if the resulting detection errors such event skipping or double counting, it is possible to compensate for this in each imaging region arrays W1-a~W1-d. また、基準マークM1は、各描画領域列の検出開始位置を示すため、検出誤差が生じた後、続く描画領域列の吐出開始位置から吐出精度を保持することができる。 The reference marks M1, in order to show the detection start position of each imaging region arrays, after the detection error has occurred, it is possible to hold the ejection accuracy from the ejection start position of the subsequent imaging region arrays.
【0076】 [0076]
また、リニアスケール52は、非描画領域W2に形成されているため、後に切り出して製品に利用される描画領域W1に影響を与えることがない。 Further, the linear scale 52, which is formed on the non-imaging region W2, does not affect the drawing area W1 which is utilized in the product cut out later. さらに、リニアスケール52の各描画領域列W1−a〜W1−dに対応するマーク数は、各描画領域W1への機能液の吐出回数に等しいため、描画領域W1においては、マークを検出したら1回吐出するといった単純な構成で機能液の吐出タイミングを駆動制御することができる。 Furthermore, the number of marks corresponding to each imaging region arrays W1-a~W1-d of the linear scale 52, since equal to the number of ejection of the function liquid into the imaging region W1, in the imaging region W1 is, upon detecting the mark 1 can be driven and controlled discharge timing of the functional fluid with a simple configuration such that times ejection. したがって、CPU210の負担を軽くすることができる。 Therefore, it is possible to lighten the burden of CPU210.
【0077】 [0077]
なお、上記の実施形態では、各画素への機能液の吐出回数と、各画素に対応するマークの数は等しいものとしたが、マーク数を2倍に増やして、1回おきのマーク検出毎に機能液を吐出する(吐出信号を生成する)など、マーク数は適宜変更可能である。 In the above embodiments, the number of ejection of the function liquid into each pixel, the number of marks corresponding to each pixel is set to be equal, to increase the number of marks double once every other mark detecting each such functional liquid ejecting a (generates the ejection signal), the number of marks may be appropriately modified.
【0078】 [0078]
また、リニアスケール52は主走査方向(X軸方向)に延在するものとしたが、副走査方向(Y軸方向)にも形成し、ヘッドユニット15の副走査方向における移動量を正確に検出できるように構成しても良い。 The linear scale 52 has been assumed to extend in the main scanning direction (X axis direction), also formed in the sub-scanning direction (Y axis direction), to accurately detect the amount of movement in the sub-scanning direction of the head unit 15 it may be configured so that it can be.
【0079】 [0079]
また、上記の実施形態では、非描画領域W2に相当するマークM(マーク37〜57)検出によっては、機能液滴を吐出しないものとしたが、非描画領域W2でも、描画領域W1と同様に機能液滴を吐出し、これを着弾位置ずれの検出のためのテストパターンとして用いても良い。 Further, in the above embodiments, the detection mark M which corresponds to the non-rendering area W2 (Mark 37 to 57), it is assumed that not discharged functional liquid droplet, even non-imaging region W2, similarly to the imaging region W1 ejecting the functional liquid droplet may be used as a test pattern for detecting the deviation of landing position. すなわち、非描画領域W2に吐出された機能液滴の着弾位置とマーク位置とを比較することにより、着弾位置のずれ量を測定し、これに基づいて吐出タイミングの調整を行なっても良い。 That is, by comparing the landing position and the mark position of the functional liquid droplet discharged in the non-imaging region W2, measures the amount of deviation of landing position, may be performed to adjust the ejection timing based on this. この構成によれば、より吐出精度を向上させることができる。 According to this configuration, it is possible to further improve the ejection accuracy. なお、テストパターンのために吐出するノズル5aは、機能液の無駄な消費を無くすため、1つのノズル列6に対して1〜2つ程度にとどめることが好ましい。 The nozzle 5a for discharging to the test pattern, in order to eliminate wasteful consumption of the functional liquid, it is preferable to keep the degree one to two for one nozzle array 6.
【0080】 [0080]
また、上記の実施形態では、ノズル列6の長さは、全ての描画領域W1に対応する長さ(1回の主走査で、全描画領域を描画可能な長さ)を有し、1回の主走査で全描画領域の描画を行い得るものとしたが、ノズル列6の長さが全描画領域に対応する長さを有しない場合は、複数回の走査(ワークWの主走査方向の移動)により描画を行う必要がある。 Further, in the above embodiment, the length of the nozzle array 6, (in one main scan, the length drawable all drawing area) length corresponding to all the imaging region W1 has, once of it is assumed that may perform rendering of the entire drawing area in the main scanning, if no length the length of the nozzle row 6 corresponds to the entire drawing area, the multiple scans (the main scanning direction of the workpiece W it is necessary to carry out the drawing by the movement). したがってその場合は、その走査回数に応じてマーク列52aが形成されていることが好ましい。 Therefore this case, it is preferable that mark array 52a in accordance with the number of scans is formed. 例えば、図9に示すように、Y軸方向に離間して2つの描画領域列W1−e,W1−fが形成され、各描画領域列W1−e,W1−fをそれぞれ1回の走査により描画可能なノズル列6を用いる場合、合計2回の走査により描画を行う必要がある。 For example, as shown in FIG. 9, Y-axis direction spaced apart two imaging region arrays W1-e, W1-f are formed, respectively by one scanning each imaging region arrays W1-e, W1-f when using the nozzle row 6 drawable, it is necessary to perform the drawing by scanning a total of 2 times. ここで、例えばリニアスケール52として図示右側の1本のマーク列52aしかマーキングされていない場合、機能液滴吐出ヘッド5とリニアセンサ51の位置とは固定されているため(図3参照)、図示左側の描画領域列W1−eを描画する際にはマーク列52aの検出ができなくなってしまう。 Here, for example, when only one mark array 52a of the right side is not marked as the linear scale 52, because it is fixed to the position of the functional liquid droplet ejection head 5 and the linear sensor 51 (see FIG. 3), shown when drawing the left of the drawing area columns W1-e becomes impossible to detect the mark array 52a. しかしながら、図9の例では、図示左側の描画領域列W1−eに対応した位置にもマーク列52aが形成されているため、図示右側の描画領域列と同様に、リニアセンサ51(リニアエンコーダ50)の検出結果に基づいて描画を行うことができる。 However, in the example of FIG. 9, since it is formed mark array 52a also corresponds to the left side of the imaging region arrays W1-e position, as with the illustrated right drawing area column, the linear sensor 51 (the linear encoder 50 it can be drawn on the basis of) the detection result. すなわち、ワークWの機能液滴吐出ヘッド5(ヘッドユニット15)に対する相対的な走査回数分のスケール数(マーク列数)を有することにより、複数回の走査に分割して描画する場合であっても、吐出精度を保持することができる。 That is, by having the functional liquid droplet ejection head 5 of the workpiece W relative number of scanning times of the scale numbers for (head unit 15) (mark number of columns), a case of drawing in a plurality of scans also, it is possible to hold the ejection accuracy.
【0081】 [0081]
次に、本発明の第2実施形態について、図10および図11を参照して説明する。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 10 and 11. 上記の実施形態では、リニアスケール52を非描画領域W2にマーキングされたマーク列52aにより構成するものとしたが、本実施形態では、バンク部62により、リニアスケール52に相当するリニアセンサ51の検出対象を構成するものである。 In the above embodiment, it is assumed that constitute a mark array 52a which is marked with the linear scale 52 to the non-imaging region W2, in the present embodiment, the bank portion 62, the detection of the linear sensor 51 corresponding to the linear scale 52 it is those that make up the subject. そこで、以下第1実施形態と異なる点を中心に説明する。 Accordingly, description is mainly given of different points from the first embodiment below.
【0082】 [0082]
図10(a)は、描画領域W1上にマトリクス状に配置された画素(キャビティ部61)と、それを区画するバンク部62とを示した斜視図である。 10 (a) is, pixels arranged in a matrix on the imaging region W1 (the cavity portion 61) is a perspective view showing a bank portion 62 for partitioning it. なお、キャビティ部61は、上記の通り、X軸方向に300〔μm〕、Y軸方向に100〔μm〕の大きさを有するが、これに対し、バンク部62の高さは、1〜2〔μm〕程度である。 Incidentally, the cavity portion 61, as described above, 300 in the X-axis direction [μm], has a size of 100 [μm] in the Y-axis direction, whereas the height of the bank portion 62, 1-2 it is about [μm]. ここでは、分かりやすくするため、バンク部62を強調して図示している。 Here, for clarity, it is illustrated to emphasize the bank portion 62.
【0083】 [0083]
同図に示すように、リニアセンサ51は、図示最前列の画素列におけるバンク部62を検出することによりエンコーダ信号を出力している。 As shown in the figure, the linear sensor 51, and outputs the encoder signal by detecting the bank portion 62 in the pixel row shown in the front row. ここで、例えば1つのキャビティ部61に対して機能液滴が3回吐出される場合は、1つのバンク部62の検出に対し、3回の吐出信号を生成する。 Here, for example, when the functional liquid droplet for one cavity 61 is ejected three times, compared detection of one of the bank portion 62, and generates a discharge signal of 3 times. また、非描画領域W2においては、検出対象となる画素列(図示の場合、最前列の画素列)の延長上にバンク部62(検出対象となる1列分のみ)が連続して形成されている(図示省略)。 In the non-imaging region W2, (in the illustrated case, the pixel row of the front row) pixel row to be detected on the extension of the bank portions 62 (the detection target becomes one column only) is formed continuously It is (not shown).
【0084】 [0084]
ところで、本実施形態の場合、検出対象となるバンク部62は、描画領域W1内にも形成されるため、第1実施形態のように、各描画領域W1に対応する最初の検出位置(バンク部62)に、基準マークM1(図6等参照)に相当する、例えば幅広のバンク部62を形成することは好ましくない。 In the case of this embodiment, the bank portion 62 to be detected, since also formed in the drawing area W1, as in the first embodiment, the first detection position corresponding to each drawing area W1 (the bank portion 62), corresponding to the reference mark M1 (see FIG. 6, etc.), for example, to form a wide bank portion 62 is not preferable. 何故なら、基準マークM1は吐出誤差を補償するものであり、ノズル駆動が「非吐出(OFF)」となるためである。 Because the reference marks M1 are intended to compensate for the discharge error, because the nozzle drive is "non-ejection (OFF)." つまり、各描画領域W1に対応する最初のバンク部62に基準マークM1を形成すると、最初の(Y軸方向に配列された)画素列に機能液が吐出されなくなくなってしまうといった不具合が生じてしまう。 That is, when forming the reference marks M1 to the first bank portion 62 corresponding to the respective drawing areas W1, (arranged in the Y-axis direction) first occurs a defect such functional liquid pixel row disappears not discharged put away. このため、本実施形態では、各描画領域W1に対応する最後のバンク部62aを幅広に構成し、当該最後のバンク部62aの検出により、カウントをリセットするようにしている。 Therefore, in this embodiment, the last bank portion 62a corresponding to the respective drawing areas W1 and wider configuration, the detection of the last bank portion 62a, so that resets the count. これにより、万一検出誤差が生じた場合でも、これを補償することができる。 Thus, even if the detection error has occurred event, it is possible to compensate for this.
【0085】 [0085]
なお、基準マーク検出時(幅広バンク部の検出時)に吐出信号を生成するように構成すれば、各描画領域W1に対応する最初の検出位置に、基準マークM1を形成することも可能である。 Incidentally, if configured to generate an ejection signal when the reference mark detection (the detection of the wide bank portion), the initial detection position corresponding to each drawing area W1, it is possible to form the reference marks M1 . また、図10(b)に示すように、検出対象となる1列分の(X軸方向に配列された)画素列のみ、バンク部62間に更にバンク高の低いバンク部62を設け、1画素に対する吐出回数とそのバンク部数とを等しくするように構成しても良い。 Further, as shown in FIG. 10 (b), (arranged in the X-axis direction) for one column to be detected pixel row only, the provided bank portion 62 further low bank height between the bank portion 62, 1 it may be configured to equalize the number of times of ejection for the pixel and its bank copies. この構成によれば、バンク部62の検出毎に吐出信号を生成するといった単純な駆動制御を行うことができる。 According to this configuration, it is possible to perform a simple drive control such to generate an ejection signal for each detection of the bank portion 62. また、検出対象となる1列分の画素列において、追加されたバンク部62のバンク高を低くすることにより、他の画素列と同様の領域(キャビティ部61)に機能液を吐出することが可能となり、画素の大きさが検出対象の画素列だけ小さくなってしまうことがない。 Further, in the pixel column for one column to be detected, by reducing the bank height of the added bank portion 62, to be discharged functional liquid to a similar area and the other pixel column (cavity 61) possible and becomes the size of the pixel is not entirely reduced only pixel row to be detected.
【0086】 [0086]
次に、本実施形態の変形例について、図11を参照して説明する。 Next, a modified example of the present embodiment will be described with reference to FIG. 11. 同図に示す例では、非描画領域W2にバンク部62と同材質および同工程で、リニアセンサ51による位置検出用に、検出用バンク部63を設けている。 In the example shown in the figure, in the non-rendering area W2 and the bank portion 62 same material and the same step, the position detection by the linear sensor 51 is provided with a detecting bank portion 63. この場合、1つのバンク部63に対して、1つの吐出信号が生成される。 In this case, the one bank portion 63, one ejection signal is generated. したがって、同図に示す例では、1画素に対して、機能液滴が3回吐出されることとなる。 Thus, in the example shown in the figure, with respect to one pixel, the functional droplet is to be ejected three times. また、本例においても、各描画領域W1に対応する最後のバンク部63aを幅広に構成し、当該最後のバンク部63aの検出により、カウントをリセットする。 Further, in this example, the last bank portion 63a corresponding to the imaging region W1 wider configured, the detection of the last bank portion 63a, resets the count.
【0087】 [0087]
なお、検出用バンク部63のバンク間隔は、必ずしも同一間隔に形成される必要はない。 Note that the banks interval detecting bank portion 63 is not necessarily formed in the same interval. また、本例では非描画領域W2に検出用バンク部63を形成しているため、第1実施形態と同様に、各描画領域W1に対応する最初のバンク部を幅広に構成し、これによりカウントをリセットすることも可能である。 Further, in the present embodiment forms a detecting bank portion 63 in the non-imaging region W2, as in the first embodiment, constitute a first bank portion corresponding to the imaging region W1 wider, thereby counting it is also possible to reset the.
【0088】 [0088]
以上の通り、本実施形態によれば、画素を区画するバンク部62をリニアスケール52として用いるため、温度変化に伴って熱膨張や変形が生じるワークWを用いた場合でも、吐出精度を保持することができる。 As described above, according to this embodiment, since the use of the bank portion 62 for partitioning the pixel as a linear scale 52, even when a workpiece W to the thermal expansion or deformation caused by the temperature change, to hold the ejection accuracy be able to.
【0089】 [0089]
また、非描画領域W2において、描画領域W1のバンク部62と同工程且つ同材質の検出用バンク部63を形成することにより、これをリニアスケール52として用いることができる。 Further, in the non-imaging region W2, by forming a detecting bank portion 63 of the bank portion 62 of the imaging region W1 same process and the same material, this can be used as the linear scale 52. また、検出用バンク部63は非描画領域W2に形成されるため、機能液の吐出回数等に応じてバンク間隔を自由に設定することができる。 Also, detecting bank portion 63 is to be formed on the non-imaging region W2, it is possible to freely set the bank intervals depending on the discharge number of times of the functional liquid.
【0090】 [0090]
なお、描画領域W1に形成された検出対象となるバンク部62、または非描画領域に形成された検出用バンク部63のいずれにおいても、Y軸方向に配列された描画領域列W1―a〜W1―dに対応する部分のみ形成するようにしても良い。 Incidentally, in any of the imaging region W1 bank portion 62 is a detection object formed detecting bank portion 63 or formed in the non-rendering area, also, the imaging region arrays W1-A~W1 arranged in the Y-axis direction it may be formed only a portion corresponding to -d. この構成によれば、非描画領域W2のバンク部62(または非描画領域W2に対応する検出用バンク部63)を形成する必要が無い。 According to this configuration, it is not necessary to form the bank portion 62 of the non-imaging region W2 (or detecting bank portion 63 corresponding to the non-imaging region W2). また、この場合、幅広バンク部62a,63aは必ずしも必要ではない。 In this case, the wide bank portions 62a, 63a is not always necessary. なお、このように描画領域W1に対応する部分のみに検出対象(マークM)を設ける構成については、後述の第4実施形態において説明する。 The structure is provided only in the detection target portion corresponding to the drawing area W1 (mark M) is described in the fourth embodiment described later.
【0091】 [0091]
次に、本発明の第3実施形態について、図12ないし図16を参照して説明する。 Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 12 to 16. 本実施形態では、複数種類の機能液(ここでは、R,G,Bの機能液)により描画を行う場合であって、各機能液が異なるノズル列6から吐出される場合について言及する。 In the present embodiment, a plurality of types of function liquid (here, R, G, functional liquid B) in the case where a drawing by, referring to the case where each functional liquid is ejected from a different nozzle rows 6. なお、ここでは、R,G,Bの機能液を、それぞれノズル列R、ノズル列G、ノズル列Bが吐出し、初期位置から当該順序で描画領域W1に到達するように配列されているものとする。 Here,, R, G, the functional liquid B, the nozzle row R, respectively, the nozzle row G, discharge nozzle row B, which are arranged so as to reach the imaging region W1 from the initial position in the order to.
【0092】 [0092]
図12は、Y軸方向に同色が並んだストライプ配列の描画領域W1に描画を行う場合のリニアスケール52を示したものである。 Figure 12 illustrates the linear scale 52 for performing drawing on a drawing area W1 of the stripe arrangement aligned same color in the Y-axis direction. 同図に示すように、各マーク列52aは各色に対応し(図示下側からR,G,Bに対応している)、平行してX軸方向に延在している。 As shown in the figure, the mark array 52a corresponds to each color (which corresponds from lower side of the figure to R, G, B), and extends in the X-axis direction in parallel. 本実施形態においても、各画素には機能液滴が3回吐出されることにより描画が行われるため、各画素には、それぞれ3つのマークが対応してマーキングされている。 Also in this embodiment, since the rendering by the respective pixels are discharged functional liquid droplet three times is carried out, for each pixel, each of three marks is marked correspondingly. また、X軸方向において、画素がR,G,Bの順序で配列されているため、各マーク列52aは、それぞれの色に対応するように位置ずれしてマーキングされている。 Further, in the X-axis direction, because the pixels are arranged R, G, in the order of B, the mark array 52a is positioned shifted to the marking so as to correspond to each color. さらに、各マーク列52aは、描画領域W1の図示左側側端部の延長線上に、それぞれ基準マークM1を有しており、これにより検出誤差を補償できるようになっている。 Furthermore, the mark array 52a is on the extension line of the left side end portion of the drawing area W1, has a reference mark M1, respectively, thereby adapted to compensate for the detection error. また、基準マークM1を同一延長線上に配置することにより、各リニアセンサ51による検出位置の、X軸方向におけるずれが生じた場合にこれを検出することができる。 Further, by arranging the reference marks M1 on the same extension, the detection position of the linear sensor 51, which can be detected if the deviation in the X-axis direction occurs. そして、リニアセンサ51は、各色に対応したマーク列52aをそれぞれ検出可能な位置に並設されている。 The linear sensor 51 is arranged to mark array 52a corresponding to the respective colors in the detectable positions.
【0093】 [0093]
このように、本実施形態によれば、機能液の色毎に形成されたマーク列52aを検出するため、マーク位置と、そのマーク検出時に吐出する機能液の色とを関連づけたテーブルや処理プログラム等を必要とすることなく、各ノズル列6を単純に駆動制御することができる。 Thus, according to this embodiment, in order to detect the functional liquid mark array 52a which is formed for each color, mark position and, tables and processing programs functional fluid associating the color of the ejection at the time of mark detection can not, simply drive control each nozzle row 6 can require the like.
【0094】 [0094]
ところで、図13に示すように、各ノズル列6から異なる色の機能液を吐出する場合であって、副走査方向(Y軸方向)に異なる色の画素が配列されている場合、いずれのノズル列6も同じタイミングで吐出信号を生成すると、各ノズル列6間の距離lに応じて、吐出位置(着弾位置)のずれが生じてしまう。 Meanwhile, as shown in FIG. 13, a case of discharging the functional liquid different color from each nozzle row 6, if the color of the pixel different in the sub-scanning direction (Y axis direction) are arranged, one of the nozzles When the column 6 also generates a discharge signal at the same timing, according to the distance l between the nozzle rows 6, the deviation of the ejection position (impact position) occurs. このため、各ノズル列6間の距離を考慮して、吐出タイミングを決定する必要がある。 Therefore, in consideration of the distance between each nozzle row 6, it is necessary to determine the ejection timing. そこで、各ノズル列6間の距離lを考慮した対応テーブル350(図14参照)を用いて、各ノズル列6の機能液滴の吐出/非吐出を駆動制御する方法について説明する。 Therefore, by using the correspondence table 350 (see FIG. 14) in consideration of the distance l between the nozzle rows 6, a description will be given of a method for driving and controlling the discharge / non-discharge of the functional liquid droplet of each nozzle array 6. なお、副走査方向に異なる色の画素が配列されている場合、ノズル列に配列されたノズル5aを同時に駆動することができないため、以下では、ノズル列Rについてはノズル番号1(以下、ノズル番号は括弧書きで示す),(4)・・・のノズル、ノズル列Gについてはノズル番号(2),(5)・・・のノズル、ノズル列Bについてはノズル番号(3),(7)・・・のノズルの駆動について言及する(ノズル番号(4)〜(7)については図示省略)。 Incidentally, if the color of the pixel different in the sub-scanning direction are arranged, it is impossible to drive the nozzles 5a arranged in the nozzle row simultaneously, in the following, the nozzle row R is the nozzle number 1 (hereinafter, the nozzle number are indicated in parentheses), (4) ... nozzle, the nozzle number for the nozzle row G (2), (5) ... of the nozzle, the nozzle numbers for nozzle array B (3), (7) ... mention for driving the nozzle (not shown for nozzle numbers (4) to (7)).
【0095】 [0095]
例えば、図13に示すように、各画素に対して各色3回の機能液が吐出され、ノズル列6間の距離lに等しい間隔で、1の画素に対応するマーキングが為されている場合、Rの機能液滴をマーク1、マーク4、マーク7の位置検出により吐出すると、Gの機能液滴をマーク2、マーク5、マーク8の位置検出により吐出することとなる。 For example, as shown in FIG. 13, the function liquid of each color 3 times is ejected for each pixel, with equal intervals to a distance l between the nozzle rows 6, when the marking corresponding to one pixel is made, mark the functional liquid droplet of R 1, marks 4, when the discharge by the position detection of the mark 7, mark 2 functions droplets G, mark 5, so that the discharging by the position detection of the mark 8. すなわち、図14の対応テーブル350に示すように、ノズル列Gはノズル列Rに対し、ノズル列間の距離lずつオフセットした位置のマーク検出により吐出信号が生成されることとなる。 That is, as shown in the correspondence table 350 in FIG. 14, the nozzle row G whereas the nozzle row R, so that the discharge signal is generated by the mark detecting positions offset by a distance l between the nozzle rows. また、同様に、ノズル列Bはノズル列Gに対し、ノズル列間の距離lずつオフセットした位置のマーク検出により吐出信号が生成されることとなる。 Similarly, the nozzle array B whereas the nozzle row G, so that the discharge signal is generated by the mark detecting positions offset by a distance l between the nozzle rows.
【0096】 [0096]
このように、本実施形態によれば、ノズル列6間の距離を考慮し、その距離分だけオフセットした位置のマーク検出により吐出信号が生成されるように、各ノズル列6に対応した対応テーブル350を用いることにより、複数のノズル列6により描画を行う場合でも、処理プログラム等を用いることなく、各ノズル列6を容易に駆動制御することができる。 Thus, according to this embodiment, as considering the distance between the nozzle rows 6, the ejection signal is generated by the mark detection of the distance amount offset position, the correspondence table corresponding to each nozzle row 6 the use of 350, even when performing drawing by a plurality of nozzle rows 6, without using the processing program or the like, each nozzle row 6 can be easily driven and controlled. またこれにより、吐出信号(吐出パターンデータ)を生成するための制御プログラムに要するデータ量を少なくすることができ、一般に市販されている携帯可能な記憶媒体(CD−ROMやDVDなど)に制御プログラムを格納することも可能となる。 This also the amount of data required for the control program for generating a discharge signal (ejection pattern data) can be reduced, generally to the control in a portable storage medium which is commercially available (such as a CD-ROM or DVD) Program it is possible to store.
【0097】 [0097]
なお、マーク間の距離は、必ずしも各ノズル列間の距離lと同一である必要はなく、ノズル列間の距離の整数分の1となる間隔であれば良い。 The distance between the marks is not necessarily the same as the distance l between the nozzle rows may be a 1 and comprising spacing integral fraction of the distance between the nozzle rows. 例えば、図13に示すマーク列52aのマーク数を2倍にした場合のマーク間距離はl/2となるが、その場合、マーク位置2、マーク位置8、マーク位置14の検出により、ノズル列Rの吐出信号を生成すれば良い。 For example, although inter-mark distance in the case of doubling the number of marks of the mark arrays 52a shown in FIG. 13 is l / 2, in which case the mark position 2, mark position 8, the detection of the mark position 14, the nozzle row it may be generated R ejection signal of. すなわち、各マーク位置に対応して、機能液滴の吐出/非吐出を決定可能なテーブルを作成できれば良い。 That is, in correspondence with each mark position, it is sufficient to create a determinable table discharge / non-discharge of the functional liquid droplet.
【0098】 [0098]
また、ノズル列6毎に異なる種類の機能液を吐出するのではなく、同一の機能液を複数のノズル列6から吐出する場合においても、本実施形態は適用可能である。 Further, instead of discharging different kinds of the functional liquid per nozzle row 6, even in the case of discharging the same function liquid from a plurality of nozzle rows 6, this embodiment is applicable. また、複数の機能液滴吐出ヘッド5を用いる場合は、ヘッド間の距離(すなわち、ノズル間の距離)分をオフセットしたマーク位置の検出により、吐出信号を生成すれば良い。 In the case of using a plurality of functional liquid droplet ejection head 5, the distance between the head (i.e., the distance between the nozzle) by the detection of a mark position offset amount may be generated ejection signal.
【0099】 [0099]
また、図13に示す例では、1つのリニアセンサ51によりマーク列52aを検出したが、図15に示すように、色毎にリニアセンサ51を設け、ノズル列間の距離lだけオフセットした位置にマーキングされたマーク検出によって吐出信号を生成するようにしても良い。 Further, in the example shown in FIG. 13, has been detected a mark array 52a by a single linear sensor 51, as shown in FIG. 15, the linear sensor 51 is provided for each color, the distance l offset position between the nozzle arrays the marked mark detection may generate an ejection signal. この構成によれば、ノズル列6毎に対応テーブルを用いることなく、全ノズル列6を同一の対応テーブルを用いて駆動制御することができる。 According to this configuration, without using the correspondence table for each nozzle row 6, all the nozzle arrays 6 can be driven and controlled with the same correspondence table.
【0100】 [0100]
また、図16に示すように、副走査方向に同色の画素が並んだストライプ配列の描画を行う場合は、ノズル列6毎に吐出信号の生成が可能であり、Rの画素に対応するマーク群Mrの配置に対し、Gの画素に対応するマーク群Mgの配置は、ノズル列Rとノズル列Gとのノズル間の距離lだけオフセットしている。 Further, as shown in FIG. 16, the case where the drawing of pixels of the same color aligned stripes arranged in the sub-scanning direction, is possible to generate a discharge signal for each nozzle row 6, mark group corresponding to the pixels of R to placement of mr, the arrangement of the mark group Mg corresponding to the pixels of G by a distance l between the nozzles of the nozzle row R and the nozzle row G are offset. また同様に、Rの画素に対応するマーク群Mrの配置に対し、Bの画素に対応するマーク群Mbの配置は、ノズル列Rとノズル列Bとのノズル間の距離lの2倍の距離だけオフセットしている。 Similarly, with respect to the arrangement of the mark group Mr corresponding to the pixels of R, the arrangement of the mark group Mb corresponding to the B pixel, a distance twice the distance l between the nozzles of the nozzle row R and the nozzle array B only it is offset. この構成によれば、図15の例と同様に、ノズル列6毎に対応テーブルを用いることなく、全ノズル列6を同一の対応テーブルを用いて駆動制御することができる。 According to this configuration, as in the example of FIG. 15, without using the correspondence table for each nozzle row 6, all the nozzle arrays 6 can be driven and controlled with the same correspondence table.
【0101】 [0101]
次に、本発明の第4実施形態について、図17および図18を参照して説明する。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 17 and 18. 上記の実施形態では、リニアスケール52が、X軸方向に連続したマーク列52aで構成されているものとしたが、本実施形態のリニアスケール52は、描画領域列毎に離間して配置されたマーク列52aで構成されている。 In the above embodiment, the linear scale 52 has been assumed to be composed of a mark array 52a which is continuous in the X-axis direction, the linear scale 52 of this embodiment is disposed at a distance from each other in each of the imaging region arrays It is composed of a mark array 52a. そこで、第1実施形態と異なる点を中心に説明する。 Accordingly, description is mainly given of different points from the first embodiment. なお、説明を容易にするため、1列のノズル列6で描画する場合を想定して説明する。 Incidentally, for ease of description, it is assumed that the drawing in the nozzle array 6 of one row.
【0102】 [0102]
図17に示すように、本実施形態のリニアスケール52を構成するマーク列52aは、X軸方向(リニアセンサ51の検出方向)に対して垂直方向に配列された描画領域列毎に離間して配置されている。 As shown in FIG. 17, the mark arrays 52a constituting the linear scale 52 of this embodiment, spaced every drawing area rows arranged in the direction perpendicular to the (detection direction of the linear sensor 51) X-axis direction It is located. したがって、X軸方向に配列された4つの描画領域列W1−a〜W1−dから成るワークW上には、4つのマーク列52aでリニアスケール52が構成されている。 Therefore, on the work W of four imaging region arrays W1-a~W1-d arranged in the X-axis direction, the linear scale 52 is constituted by four mark rows 52a. 各マーク列52aは、全て同じ形態のマークMでマーキングされており、第1実施形態のような基準マークM1は存在しない。 Each mark arrays 52a are all are marked with the mark M of the same form, no reference mark M1 as in the first embodiment is present.
【0103】 [0103]
また、マーク列52aは、図18に示すように、検出開始位置(マーク1)から描画領域列毎にマーク位置1〜36、37〜72、73〜108(マーク位置40以下は図示省略)がそれぞれ対応しており、各画素(キャビティ部61)に対応するマーク数は、機能液滴の吐出回数に等しく、3つずつ配置されている。 Also, mark array 52a, as shown in FIG. 18, the detection start position (mark 1) from the imaging region arrays mark position for each 1~36,37~72,73~108 (mark position 40 or less not shown) each corresponds, the number of marks corresponding to each pixel (cavity 61) is equal to the number of ejection of the function liquid droplet are arranged one by three. また、マーク列52aは、各描画領域列W1−a〜W1−dに対応する位置のみマーキングされているため、これら全てのマーク位置に対応するノズル列6は「吐出(ON)」となる。 Also, mark array 52a, because they are marked only positions corresponding to the imaging region arrays W1-a~W1-d, the nozzle row 6 which correspond to all of mark positions is "discharge (ON)". すなわち、本実施形態においては、マーク検出毎に機能液滴を1回吐出するといった単純な構成で吐出タイミングを駆動制御することができる。 That is, in the present embodiment, it is possible to drive and control the discharge timing with a simple configuration such discharges once the functional liquid droplet for each mark detection. したがって、図8に示すような対応テーブル350を用いる必要がない。 Therefore, it is not necessary to use a correspondence table 350 shown in FIG. また、マーク検出毎に吐出信号を生成する(マーク位置をカウントしない)ため、万一、読み飛ばしやダブルカウントが生じた場合でも、その後の機能液吐出に影響を与えることがない。 Also generates a discharge signal for each mark detected (not counting the mark position), the event, even if the skip or double counting occurs, does not affect the subsequent functional liquid ejection.
【0104】 [0104]
このように、本実施形態によれば、リニアスケール52を構成するマーク列52aが、リニアセンサ51の検出方向に対して垂直方向に配列された描画領域列毎に離間して配置されており、マーク列52aの各描画領域列に対応するマーク数は、各描画領域列への機能液の吐出回数に等しいため、マーク検出毎に機能液を1回吐出するといった単純な構成で各ノズル列6の吐出タイミングを駆動制御することができる。 Thus, according to this embodiment, the mark arrays 52a constituting the linear scale 52 are spaced apart in each drawing area rows arranged in the direction perpendicular to the detection direction of the linear sensor 51, the number of marks corresponding to each imaging region arrays mark rows 52a, since equal to the number of ejection of the function liquid into the imaging region arrays, each nozzle array with a simple configuration such discharges once the functional liquid per mark detection 6 it is possible to control the ejection timing drive. したがって、CPU210の負担を軽くすることができると共に、マーク位置と機能液の吐出/非吐出とを対応付ける対応テーブルを用いなくとも、マーク検出のみで描画を行なうことができる。 Therefore, it is possible to lighten the burden of the CPU 210, without using the correspondence table associating the discharge / non-discharge of the mark position and the functional liquid can be drawn only by the mark detection.
【0105】 [0105]
なお、各画素への機能液の吐出回数とマーク数とが単純に一致しない場合など、本実施形態においても、対応テーブル350を必要とする場合があるが、この場合においても、第1実施形態のように基準マークM1を設ける必要はない。 Incidentally, a case where the discharge count and the number of marks functional liquid to each pixel does not simply match, also in this embodiment, but may require the correspondence table 350, even in this case, the first embodiment it is not necessary to provide a reference mark M1 as. 何故なら、本実施形態では、マーク列52a間の離間距離により、各描画領域W1の検出開始を認識できるためである。 Because, in the present embodiment, the distance between the mark arrays 52a, because that can recognize the detection start of each drawing area W1. したがって、万一読み飛ばしやダブルカウントなどの検出誤差が生じた場合、続く描画領域W1の吐出開始位置から検出誤差を補償し、吐出精度を保持することができる。 Therefore, it is possible if the resulting detection errors such event skipping or double counting, which compensates for the detected errors from the ejection start position of the subsequent drawing area W1, holding the ejection accuracy.
【0106】 [0106]
次に、本発明の第5実施形態について、図19ないし図21を参照して説明する。 Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 19 to 21. 上記の実施形態では、1つのリニアセンサ51(R,G,Bの描画を行う場合は各色に対応した3つのリニアセンサ51)により、位置検出を行うものとしたが、本実施形態では、Y軸方向において離間した2つのリニアセンサ51,51を用いて位置検出を行い、当該2つのリニアセンサ51,51の出力のずれに基づいて、各ノズル5aの吐出タイミングを補正するものである。 In the above embodiment, one linear sensor 51 (R, G, in the case of performing drawing of B linear sensor 51 of the three corresponding to each color) by, it is assumed that the detection position, in this embodiment, Y It performs detection position by using two linear sensors 51, 51 spaced in the axial direction, on the basis of the deviation of the output of the two linear sensors 51 and 51, and corrects the ejection timing of the nozzles 5a. そして、この構成により、ワークWの搬送ずれ(ヨーイングなど)による機能液の吐出位置のずれを補正することができるといった効果を奏する。 By this arrangement exhibits the advantage of the ability to correct the deviation of the discharge position of the functional fluid by the transport shift (such as yawing) of the workpiece W. そこで、上記の実施形態と異なる点を中心に説明する。 Accordingly, description is mainly given of different points from the above embodiment.
【0107】 [0107]
図19に示すように、本実施形態におけるリニアスケール52は、Y軸方向に離間して配置された2つのマーク列52aから成り、それぞれワークWのY軸方向側端部近傍に平行して配置されている。 As shown in FIG. 19, the linear scale 52 in this embodiment, consists of two mark rows 52a which are spaced apart in the Y-axis direction, each parallel to the Y-axis direction side end portion of the workpiece W placed It is. また、各マーク列52aは、X軸方向におけるマーク間隔、マーク数および配置位置において、いずれも同一となるように形成されている。 Each mark array 52a is mark distance in the X-axis direction, the number of marks and position, both formed to have the same. また、各マーク列52aは、描画領域W1毎に検出ずれを補償するための基準マークM1が設けられており、当該基準マークM1の配置位置もX軸方向において同一である。 Each mark array 52a is the reference marks M1 to compensate for the detected deviation for each drawing area W1 is provided, the arrangement position of the reference marks M1 are also the same in the X-axis direction.
【0108】 [0108]
一方、リニアセンサ51は、各マーク列52aに対応する位置に配置されており、本実施形態の場合、リニアスケール52が2つのマーク列52aから成るため、2つのリニアセンサ51a,51bによりそれぞれのマーク列52aの検出を行う。 On the other hand, the linear sensor 51 is disposed at a position corresponding to each mark columns 52a, in this embodiment, since the linear scale 52 is composed of two mark rows 52a, two linear sensors 51a, each by 51b the detection of the mark array 52a. また、リニアセンサ51a,51bは、機能液滴吐出ヘッド5上の左右端のノズル5a,5aとY軸方向において同位置、若しくはノズル列6の中心位置65から同一距離ずつ離間した位置に配置されている。 The linear sensor 51a, 51b is arranged a nozzle 5a of the functional liquid droplet ejecting heads 5 on the right and left ends, the same position in 5a and the Y-axis direction, or from the center 65 of the nozzle array 6 at a position spaced by the same distance ing.
【0109】 [0109]
ところで、本実施形態の場合、機能液滴吐出ヘッド5に対しワークWが移動することにより主走査方向の描画が行われるが、このとき、図20に示すように、ワークWの移動が機能液滴吐出ヘッド5に対して垂直方向からずれてしまうことが想定される。 In the case of this embodiment, the workpiece W with respect to the functional liquid droplet ejection head 5 in the main scanning direction writing is performed by moving, this time, as shown in FIG. 20, the movement of the workpiece W is functional liquid it is envisioned that deviates from a direction perpendicular to the droplet discharge head 5. 例えば、リニアセンサ51aによる任意のマークM2の検出時をt1、リニアセンサ51bによる上記任意のマークの延長上(X軸方向において同一位置)にあるマークM3検出時をt2とすると、t2>t1の場合、(t2−t1)の検出タイミングのずれが生じたことになる。 For example, the detection time of an arbitrary mark M2 by the linear sensor 51a t1, when (in the X axis direction the same position) on an extension of the arbitrary mark by the linear sensor 51b the time mark M3 detected in a t2, t2> t1 in case, the resulting deviation of the detection timing (t2-t1).
【0110】 [0110]
この場合、リニアセンサ51aとリニアセンサ51bとの検出タイミングのずれからワークWの搬送ずれ(ワークWが傾いて搬送されていること)が検出でき、さらにどちらのリニアセンサ51が先に検出したかにより、ずれ方向についても検出可能となる。 Is this case, the linear sensor 51a and conveyance deviation of the workpiece W (the workpiece W is conveyed tilted) from the deviation of the detection timing of the linear sensor 51b can be detected, further both the linear sensor 51 is previously detected Accordingly, it becomes possible to detect the shift direction. つまり、t2>t1の場合、リニアセンサ51aの配置側(図示左側)が先行して搬送されていることとなるため、その搬送ずれを考慮して、機能液滴吐出ヘッド5に配列された複数のノズルのうち、リニアセンサ51bの配置側(図示右側)吐出タイミングを遅らせるように駆動制御する。 That is, in the case of t2> t1, since the the arrangement side of the linear sensor 51a (shown left) are conveyed in advance, a plurality of in consideration of the conveyance deviation, are arranged in the functional liquid droplet ejection head 5 out of the nozzle, disposed side of the linear sensor 51b (shown right) for driving and controlling to delay the discharge timing. すなわち、1つの機能液滴吐出ヘッド5に、n個のノズルが配列されている場合、ノズル番号(n)からノズル番号(1)に向かって、(t2−t1)/nずつ吐出タイミングを遅らせていくことで、ワークW上への機能液滴の吐出位置(着弾位置)を補正することができる。 That is, one of the functional liquid droplet ejection head 5, if n nozzles are arranged, toward the nozzle number (n) to the nozzle number (1), delaying the ejection timing by (t2-t1) / n and it will, it is possible to correct the ejection position of the functional liquid droplet onto the workpiece W (the landing position).
【0111】 [0111]
但し、この場合、基準マークM1を除いて、マーク形態は全て同じであるため、リニアセンサ51aによって検出したマークと、リニアセンサ51bによって検出したマークがX軸方向において同一の位置に配置されたものであるのか否かを判別することができない。 However, in this case, with the exception of the reference marks M1, since the mark forms are all the same, that the mark detected by the linear sensor 51a, the mark detected by the linear sensor 51b arranged at the same position in the X-axis direction it is impossible to determine whether it's or a. そこで、ワークWの搬送速度をvとしたとき、検出タイミングのずれ(t2−t1)が、マーク間距離lm(図6に示すように、マーク間距離が均等でない場合は、最小値のマーク間距離(例えばマーク1とマーク2間の距離)であることが好ましい)分の搬送時間lm/vの1/2以上となったとき、エラー報知を行う。 Therefore, when the conveying speed of the workpiece W and v, deviation of detection timing (t2-t1), as shown in the mark distance lm (6, if the distance is not uniform between the marks, between the marks of a minimum distance (e.g., mark 1 and mark the distance between 2) when it has become preferred) partial transfer time lm / v 1/2 or more of a, performs error notification. つまり、検出タイミングのずれ(t2−t1)が、マーク間距離lm分の搬送時間lm/vの1/2以上となると、リニアセンサ51aのマークM2と隣り合うマークM4の検出時をt3としたとき、X軸方向においてマークM3と同一の位置に配置されたマークがM2であるのか、M4であるのかの判別ができなくなってしまうためである。 That is, the deviation of the detection timing (t2-t1) is, when a half or more of the inter-mark distance lm partial transport time lm / v of, and the detection time of the t3 mark M4 adjacent to the mark M2 of the linear sensor 51a when, how marks arranged at the same position as the mark M3 in the X-axis direction is M2, is because it becomes impossible to discriminate whether it is M4. したがって、(t2−t1)≧lm/v×1/2すなわち、(t2−t1)×v≧lm/2となった場合に、エラー報知を行い、オペレータに対して描画処理の中止、および搬送ずれの修正を行うように注意を促す。 Therefore, (t2-t1) ≧ lm / v × 1/2 That is, when it becomes a (t2-t1) × v ≧ lm / 2, performs error notification, stop the rendering process to the operator, and the transport call attention to correct the deviation.
【0112】 [0112]
ここで、各ノズル5aの吐出タイミングの補正処理について、図21のフローチャートを参照して説明する。 Here, the correction process of the ejection timing of the nozzles 5a, will be described with reference to the flowchart of FIG. 21. リニアセンサ51aをセンサA、リニアセンサ51bをセンサBとすると、センサAまたはセンサBで、時間t1に任意のマークを検出した後(S1)、他方のセンサで、時間t2にマークを検出し(S2)、これらの検出結果から、(t2−t1)×v≧lm/2となった場合(S3:Yes)、すなわちリニアセンサ51a,51bの出力のずれが所定量を超えたとき、エラー報知を行う(S4)。 Linear sensor 51a of the sensor A, the linear sensor 51b and the sensor B, and sensor A or the sensor B, after detecting any marks on the time t1 (S1), the other sensor detects the mark time t2 ( S2), from the detection results, when a (t2-t1) × v ≧ lm / 2 (S3: Yes), that is, when the linear sensor 51a, the deviation of the output of 51b exceeds a predetermined amount, an error notification It is carried out (S4). エラー報知は、インジケータにて表示しても良いし、ホストコンピュータ300に接続された表示画面(図示省略)上に表示しても良い。 Error notification may be displayed at the indicator may be displayed on a display screen connected to the host computer 300 (not shown). また、ビープ音等で報知するようにしても良い。 In addition, it may be notified by a beep sound or the like.
【0113】 [0113]
一方、(t2−t1)×v<lm/2となった場合(S3:No)は、各ノズル5aに対し、(t2−t1)/n、すなわちセンサAとセンサBとの検出タイミングのずれを、ノズル数で分割した時間だけ、吐出タイミングを補正する(S5)。 On the other hand, (t2-t1) × v <If a lm / 2 (S3: No), the shift of the detection timing of for each nozzle 5a, and (t2-t1) / n, i.e. sensors A and B the only time divided by the number of nozzles, corrects the ejection timing (S5). このとき、t2>t1の場合はノズル番号(1)側を遅らせ、t2<t1の場合はノズル番号(n)側を遅らせるように駆動制御する。 At this time, t2> For t1 delayed nozzle number (1) side, in the case of t2 <t1 driving control to delay the nozzle number (n) side.
【0114】 [0114]
なお、(S3)における判別は、マーク間距離lm分の搬送時間lm/vの1/2以上ではなく、1/3以上など、許容可能な搬送ずれ量に応じて適宜変更可能である。 Note that determination in (S3) is not the distance between marks lm partial transport time lm / v 1/2 or more, such as 1/3 or more, it can be appropriately changed in accordance with the allowable conveyance deviation amount. また、リニアスケール52は、2つのマーク列52aではなく複数のマーク列52aで構成しても良いが、その場合においてもいずれか2つのリニアセンサ51はワークWのY軸方向側端部近傍に設けられることが好ましい。 Further, the linear scale 52 may be constituted by two marks columns 52a rather than a plurality of mark arrays 52a but the two linear sensors 51 or even the case in the Y axis direction side end portion of the workpiece W it is preferably provided.
【0115】 [0115]
以上の通り、本実施形態によれば、リニアエンコーダ50は、複数のマーク列52aから成るリニアスケール52と、当該複数のマーク列52aに臨む複数のリニアセンサ51とによって構成され、これら複数のリニアセンサ51の出力のずれに基づいて、各ノズル5aの吐出タイミングを補正するため、機能液滴吐出ヘッド5(ヘッドユニット15)および/またはワークWの相対的な移動に伴う吐出位置のずれが生じた場合でも、これをノズル単位で解消することができる。 As described above, according to this embodiment, the linear encoder 50, a linear scale 52 comprising a plurality of mark arrays 52a, is constituted by a plurality of linear sensors 51 facing the plurality of mark arrays 52a, the plurality of linear based on the deviation of the output of the sensor 51, to correct the ejection timing of the nozzles 5a, the displacement of the ejection position due to the relative movement of the functional liquid droplet ejection head 5 (head unit 15) and / or the workpiece W caused even if it is possible to solve this problem in the nozzle unit. すなわち、相対移動に伴う吐出位置のずれを、リニアセンサ51を利用することによって、特別な機構を設けることなく簡易な構成で解消することができる。 That is, the deviation in ejection position due to relative movement, by using a linear sensor 51, it can be eliminated with a simple configuration without providing a special mechanism.
【0116】 [0116]
また、複数のマーク列52aのうち、少なくとも2つのマーク列52aが、ワークWの両側端部の近傍にそれぞれ配置されているため、相対移動に伴う吐出位置のずれをより確実に検出することができる。 Further, among the plurality of mark arrays 52a, at least two mark arrays 52a is, since it is arranged in the vicinity of both ends of the workpiece W, is possible to more reliably detect the shift of the discharge position due to relative movement it can. さらに、複数のリニアセンサ51の出力のずれが所定量を超えたとき、エラー報知を行うため、ユーザに対し処理を続行するか否かの判断を促すことができる。 Further, when the deviation of the outputs of the plurality of linear sensors 51 exceeds a predetermined amount, for error notification can prompt it determines whether or not to continue the process to the user. なお、この場合、エラー報知を行うと共に、描画処理を停止する構成としても良い。 In this case, it performs error notification may be configured to stop the drawing process. この構成によれば、吐出位置のずれによる歩留まりの低下を避けることができる。 According to this configuration, it is possible to avoid a reduction in yield due to the deviation of the ejection position.
【0117】 [0117]
なお、上記の実施形態では、全描画領域を、1回の走査により描画可能なノズル列6を有した機能液滴吐出ヘッド5を用いた場合を例に挙げたが、複数回の走査によって描画を行なう場合は、リニアセンサ51,51の位置と、それぞれの走査時における各ノズル5aの位置とに基づいて、吐出タイミングを補正することが好ましい。 In the above embodiments, the whole drawing area, although an example in using the functional liquid droplet ejection head 5 having a nozzle row 6 which can be drawn by one scanning, drawn by a plurality of scans when performing the a, a position of the linear sensors 51, 51, based on the position of each nozzle 5a during each scan, it is preferable to correct the ejection timing. すなわち、この場合は、各ノズル5aに対する吐出タイミングの補正が(t2−t1)/nずつとはならず、各リニアセンサ51,51からのY軸方向における相対位置がパラメータとして加わることとなる。 That is, in this case, the correction of the ejection timing for each nozzle 5a (t2-t1) / n by a not a relative position is to join as a parameter in the Y-axis direction from each of the linear sensors 51, 51.
【0118】 [0118]
また、複数のノズル列6を用いる場合やR,G,Bの機能液で描画を行う場合であって、各ノズル列6に対応するマーク列52aが形成されている場合(例えば、図12に示す例の場合)は、少なくともノズル数の2倍以上のマーク列52aにより、リニアスケール52が構成されることが好ましい。 Further, if or R using a plurality of nozzle arrays 6, G, in the case where a drawing in functional liquid B, and mark array 52a corresponding to the nozzle rows 6 are formed (e.g., in FIG. 12 in the example shown) is by 2 times or more mark rows 52a of at least the number of nozzles, it is preferable that the linear scale 52 is constituted. この構成によれば、例えばノズル列6毎にリニアスケール52を検出しながら、相対移動に伴う吐出位置のずれを解消することができる。 According to this configuration, for example, while detecting the linear scale 52 for each nozzle row 6, it is possible to eliminate the deviation in ejection position due to the relative movement. すなわち、複数のノズル列6を用いたり、複数種類の機能液を吐出したりする場合であっても、マーク位置と、当該マークの検出によって吐出するノズル列6とを関連づけたテーブルや処理プログラム等を必要とすることなく、各ノズル列6を単純に駆動制御することができる。 That, or a plurality of nozzle rows 6, even if the or ejecting a plurality of types of functional liquids, a mark position, the nozzle row 6 and the associated table or program which discharges by the detection of the mark or the like without the need for, it is possible to simply drive control each nozzle row 6.
【0119】 [0119]
また、非描画領域W2に検出用バンク部63を設ける場合(図11に示す例の場合)も、複数の検出用バンク部63のうち少なくとも2つの検出用バンク部63が、ワークWの両側端部の近傍にそれぞれ配置されることが好ましい。 Moreover, when an detecting bank portion 63 in the non-imaging region W2 (in the example shown in FIG. 11) also, at least two detecting bank portion 63 of the plurality of detecting bank portion 63, both side ends of the workpiece W it is preferably arranged in the vicinity of the part. この構成によれば、ヘッドユニット15および/またはワークWの相対移動に伴う吐出位置のずれをより確実に検出することができる【0120】 According to this configuration, it is possible to detect a deviation in ejection position due to the relative movement of the head unit 15 and / or the workpiece W more reliably [0120]
なお、図19では、X軸方向にマーク列52aが連続して配置されており、且つ描画領域列毎に基準マークM1を有した第1実施形態に相当する例を示しているが、これに限らず、マーク列52aが離間している形態(第4実施形態)においても、本実施形態は当然適用可能である。 In FIG. 19, the mark arrays 52a in the X-axis direction and is arranged in succession, an example corresponding to the first embodiment has a reference mark M1 and every imaging region arrays, in which not only, also in the mark column 52a is separated (fourth embodiment) this embodiment is naturally applicable.
【0121】 [0121]
以上、第1実施形態ないし第5実施形態において説明したとおり、本発明の液滴吐出装置1によれば、リニアスケール52が、ワークW上にマーキングされたマーク列52aから成るため、温度変化によりワークWの大きさに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持することができる。 Above, as described in the first to fifth embodiments, according to the liquid droplet ejection apparatus 1 of the present invention, the linear scale 52, since made of mark array 52a which is marked on the workpiece W, the temperature change it can hold ejection accuracy of the functional liquid even when the change in the size of the workpiece W occurs.
【0122】 [0122]
特に、本発明の第1実施形態によれば、リニアスケール52内に基準マークM1を有し、基準マークM1は他のマークとは異なる形態でマーキングされていると共に、描画領域列毎に設けられているため、基準マークM1の検出に基づいてリニアセンサ51によるリニアスケール52のカウントをリセットすることで、万一読み飛ばしやダブルカウントなどの検出誤差が生じた場合、描画領域列毎にこれを補償(修正)することができる。 In particular, according to the first embodiment of the present invention, it has a reference mark M1 in the linear scale 52, together with the reference marks M1 are marked in different forms from the other marks provided for each imaging region arrays and for which, by resetting the count of the linear scale 52 by the linear sensor 51 based on the detection of the reference marks M1, if the resulting detection errors such event skipping or double counting, this for each imaging region arrays it can be compensated (corrected). また、基準マークM1は、各描画領域列の検出開始位置を示すため、検出誤差が生じた後、続く描画領域W1の吐出開始位置から吐出精度を保持することができる。 The reference marks M1, in order to show the detection start position of each imaging region arrays, after the detection error has occurred, it is possible to hold the ejection accuracy from the ejection start position of the subsequent drawing area W1.
【0123】 [0123]
また、本発明の第2実施形態における液滴吐出装置1によれば、画素(キャビティ部61)を区画するバンク部62をリニアスケール52として用いるため、温度変化に伴って熱膨張や変形が生じるワークWを用いた場合でも、リニアスケール52を形成する工程(ワークW上にマーキングを行う工程)を必要とすることなく、吐出精度を保持することができる。 Further, according to the liquid droplet ejection apparatus 1 in the second embodiment of the present invention, since the bank portion 62 which partitions pixels (cavity 61) as the linear scale 52, the thermal expansion or deformation caused by the temperature change even with the workpiece W, without requiring the step of forming a linear scale 52 (step for marking on the workpiece W), it is possible to hold the ejection accuracy. また、非描画領域W2において、描画領域W1のバンク部62と同工程且つ同材質の検出用バンク部63を形成し、これをリニアスケール52として用いることができるため、上記と同様にリニアスケール52を形成する工程を必要としない。 Further, in the non-imaging region W2, the bank portion 62 of the imaging region W1 same step and forming a detecting bank portion 63 of the same material, it is possible to use it as the linear scale 52, similarly to the above linear scale 52 It does not require a step of forming a. また、検出用バンク部63は非描画領域W2に形成されるため、機能液の吐出回数等に応じてバンク間隔を自由に設定することができる。 Also, detecting bank portion 63 is to be formed on the non-imaging region W2, it is possible to freely set the bank intervals depending on the discharge number of times of the functional liquid.
【0124】 [0124]
また、本発明の第3実施形態における液滴吐出装置1によれば、複数のノズル列6により描画を行う場合、ノズル列6間の距離を考慮し、その距離分だけオフセットした位置のマーク検出により吐出信号が生成されるように、各ノズル列6に対応した対応テーブル350を用いるため、処理プログラム等を用いることなく、各ノズル列6を容易に駆動制御することができる。 Further, according to the liquid droplet ejection apparatus 1 in the third embodiment of the present invention, when performing drawing by a plurality of nozzle rows 6, taking into account the distance between the nozzle rows 6, the distance amount corresponding mark detection offset position as ejection signal is generated by, for using the correspondence table 350 corresponding to each nozzle row 6, without using the processing program or the like, each nozzle row 6 can be easily driven and controlled. またこれにより、吐出信号(吐出パターンデータ)を生成するための制御プログラムに要するデータ量を少なくすることができる。 This also makes it possible to reduce the amount of data required for the control program for generating a discharge signal (ejection pattern data).
【0125】 [0125]
また、本発明の第4実施形態における液滴吐出装置1によれば、リニアスケール52を構成する複数のマーク列52aが描画領域列毎に離間して配置されており、マーク列52aの各描画領域列に対応するマーク数は、各描画領域W1への機能液の吐出回数に等しいため、マーク検出毎に機能液を吐出するといった単純な構成で各ノズル列6の吐出タイミングを駆動制御することができる。 Further, according to the liquid droplet ejection apparatus 1 in the fourth embodiment of the present invention, a plurality of mark arrays 52a constituting the linear scale 52 is disposed at a distance from each other in each of the imaging region arrays, each drawing of the mark arrays 52a the number of marks corresponding to the region column, since equal to the number of ejection of the function liquid into the drawing area W1, drives and controls the discharge timing of each nozzle array 6 with a simple configuration such discharges the functional liquid per mark detection can. したがって、制御装置(CPU等)の負担を軽くすることができると共に、マーク位置と機能液の吐出/非吐出を対応付ける対応テーブル350を用いなくとも、マーク検出のみで描画を行なうことができる。 Therefore, it is possible to lighten the burden of the control unit (CPU etc.), without using the correspondence table 350 associating the ejection / non-ejection of the mark position and the functional liquid can be drawn only by the mark detection.
【0126】 [0126]
また、本発明の第5実施形態における液滴吐出装置1によれば、複数のマーク列52aを、それぞれに対応した複数のリニアセンサ51により検出し、これら複数のリニアセンサ51の出力のずれに基づいて、各ノズル5aの吐出タイミングを補正するため、機能液滴吐出ヘッド5(ヘッドユニット15)および/またはワークWの相対的な搬送ずれに伴う吐出位置(着弾位置)のずれが生じた場合でも、これをノズル単位で解消することができる。 Further, according to the liquid droplet ejection apparatus 1 of the fifth embodiment of the present invention, a plurality of mark arrays 52a, detected by the plurality of linear sensors 51 corresponding to each to the deviation of the outputs of the plurality of linear sensors 51 based on, if for correcting the ejection timing of the nozzles 5a, the displacement of the functional liquid droplet ejection head 5 (head unit 15) and / or discharge position due to the relative conveyance deviation of the workpiece W (landing position) has occurred But, it is possible to solve this problem in the nozzle unit. すなわち、相対移動に伴う吐出位置のずれを、リニアセンサ51を利用することによって、特別な機構を設けることなく簡易な構成で解消することができる。 That is, the deviation in ejection position due to relative movement, by using a linear sensor 51, it can be eliminated with a simple configuration without providing a special mechanism.
【0127】 [0127]
なお、上記の例では、ワークWとしてガラス基板を用いた場合を例に挙げたが、これに限らず、樹脂をフィルム状に構成した基板など、温度変化により熱膨張や変形を生じる基板であれば、本発明を適用可能である。 In the above example, has been mentioned the case where a glass substrate is used as a work W as an example, not limited to this, such as a substrate which constitutes a resin into a film, the substrate resulting in thermal expansion or deformation due to a temperature change any in, the present invention is applicable.
【0128】 [0128]
また、本発明は、電気光学装置(デバイス)として、上記の有機EL装置701に限らず、液晶表示装置、電子放出装置、PDP(Plasma Display Panel)装置および電気泳動表示装置等にも適用可能である。 Further, the present invention is an electro-optical device (device) is not limited to the above-described organic EL device 701, a liquid crystal display device, an electron emission device, PDP (Plasma Display Panel) can be applied to the device and the electrophoretic display device or the like is there. なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)装置を含む概念である。 The electron emission device is a concept including so-called FED (Field Emission Display) device. さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置も考えられる。 Further, as the electro-optical device, metal wiring formation, lens formation, resist formation and apparatus including a light diffuser formed like are also contemplated.
【0129】 [0129]
また、上記した電気光学装置を搭載した電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品等が挙げられる。 As the electronic apparatus including an electro-optical device described above, a so-called flat panel display on a mobile phone has been mounted, other personal computers, various electric products and the like.
【0130】 [0130]
また、その他本発明を逸脱しない範囲で、液滴吐出装置1の装置構成や、リニアスケール52を構成するマークの形態など、適宜変更も可能である。 Further, other without departing from the present invention, the apparatus configuration and the droplet ejection apparatus 1, such as in the form of marks constituting the linear scale 52, it is possible appropriately changed.
【0131】 [0131]
【発明の効果】 【Effect of the invention】
以上のように、本発明の液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板によれば、リニアスケールが、ワーク上にマーキングされたマーク列から成るため、温度変化によりワークの大きさに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持することができる。 As described above, the droplet ejection apparatus of the present invention, a method of manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, according to the electronic device and the substrate, the linear scale, since consisting marked mark row on a workpiece, the temperature change the ejection accuracy of the functional liquid even when the change in the size of the workpiece has occurred can be retained by. また、マーク列は、リニアセンサの検出方向に対して垂直方向に配列された描画領域列毎に離間して配置されており、この離間距離により各描画領域の検出開始を認識できるため、万一読み飛ばしやダブルカウントなどの検出誤差が生じた場合、続く描画領域の吐出開始位置から検出誤差を補償し、吐出精度を保持することができる。 Further, the mark row is spaced every drawing area rows arranged in the direction perpendicular to the detection direction of the linear sensor, it is possible to recognize the detection start of each drawing area by the distance, emergency If the detected error such as skipping and double counting occurs, it is possible from the ejection start position of the subsequent drawing region compensates for the detected errors, for holding the ejection accuracy.
【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
【図1】本発明の一実施形態に係る有機EL装置の断面図である。 1 is a cross-sectional view of an organic EL device according to an embodiment of the present invention.
【図2】実施形態に係る、R,G,B画素の配列を示す説明図である。 [2] according to the embodiment is an explanatory view showing R, G, and arrangement of B pixels.
【図3】実施形態に係る液滴吐出装置の平面視模式図である。 3 is a plan view schematic diagram of a droplet discharge device according to the embodiment.
【図4】実施形態に係るワークと、当該ワーク上に形成されたリニアスケールの一例を示す平面図である。 A workpiece according to FIG. 4 embodiment, is a plan view showing an example of the linear scale formed on the workpiece.
【図5】実施形態に係る液滴吐出装置の制御構成を示す制御ブロック図である。 5 is a control block diagram showing a control structure of a droplet discharge apparatus according to the embodiment.
【図6】実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。 6 is a plan view showing an example of the arrangement of the linear scale and the pixels according to the embodiment.
【図7】実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す斜視図である。 7 is a perspective view showing an example of the arrangement of the linear scale and the pixels according to the embodiment.
【図8】実施形態に係るマーク位置と、そのマーク位置を検出したときのノズルの吐出/非吐出とを関連づけた対応テーブルの一例を示す図である。 8 is a diagram illustrating a mark position according to the embodiment, an example of a correspondence table that associates the discharge / non-discharge nozzle when it detects the mark position.
【図9】第2実施形態に係る描画領域のキャビティ部と、これを区画するバンク部と、当該バンク部を検出するリニアセンサとを示す斜視図である。 [9] and the cavity portion of the drawing area according to the second embodiment, a bank portion to partition this is a perspective view showing a linear sensor for detecting the bank portion.
【図10】第2実施形態に係る非描画領域に形成された検出用バンク部と、当該検出用バンク部を検出するリニアセンサとを示す斜視図である。 [10] and the detecting bank portion formed in the non-rendering area according to the second embodiment is a perspective view showing a linear sensor for detecting the detecting bank portion.
【図11】第3実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法におけるプラズマ処理工程(親水化処理)の断面図である。 11 is a cross-sectional view of a plasma treatment step (hydrophilic treatment) in the production method of the organic EL display device according to a third embodiment.
【図12】第3実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。 12 is a plan view showing an example of a linear scale and arrangement of the pixels according to the third embodiment.
【図13】第3実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。 13 is a plan view showing an example of a linear scale and pixel arrangement of the third embodiment.
【図14】第3実施形態に係るマーク位置と、そのマーク位置を検出したときの各ノズルの吐出/非吐出とを関連づけた対応テーブルの一例を示す図である。 [14] and mark position according to the third embodiment and shows an example of a correspondence table that associates the discharge / non-discharge of each nozzle at the time of detecting the mark position.
【図15】第3実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。 15 is a plan view showing an example of a linear scale and arrangement of the pixels according to the third embodiment.
【図16】第3実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。 16 is a plan view showing an example of a linear scale and arrangement of the pixels according to the third embodiment.
【図17】第4実施形態に係るワークと、当該ワーク上に形成されたリニアスケールの一例を示す平面図である。 [17] and the work according to the fourth embodiment and is a plan view showing an example of the linear scale formed on the workpiece.
【図18】第4実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。 18 is a plan view showing an example of a linear scale and pixel arrangement of the fourth embodiment.
【図19】第5実施形態に係るワークと、当該ワーク上に形成されたリニアスケールの一例を示す平面図である。 [19] and the work according to the fifth embodiment and is a plan view showing an example of the linear scale formed on the workpiece.
【図20】第5実施形態に係る、ワークの搬送ずれを示す平面図である。 [20] according to the fifth embodiment and is a plan view showing a conveyance deviation of the workpiece.
【図21】第5実施形態に係る各ノズルの吐出タイミングの補正処理を示すフローチャートである。 21 is a flowchart showing a correction process of the ejection timing of each nozzle according to a fifth embodiment.
【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS
1 液滴吐出装置3 描画装置4 ヘッド機能回復装置5 機能液滴吐出ヘッド5a ノズル6 ノズル列15 ヘッドユニット50 リニアエンコーダ51 リニアセンサ52 リニアスケール52a マーク列61 キャビティ部(画素) 1 droplet discharge device 3 drawing apparatus 4 head function recovery device 5 functional liquid droplet ejecting heads 5a nozzle 6 nozzle row 15 head unit 50 the linear encoder 51 linear sensor 52 linear scale 52a mark row 61 cavity (pixel)
62 バンク部350 対応テーブル701 有機EL装置702 有機EL素子M マークM1 基準マークW ワーク(基板) 62 bank portion 350 corresponding table 701 organic EL device 702 organic EL element M marks M1 reference mark W workpiece (substrate)
W1 描画領域W2 非描画領域 W1 drawing area W2 non-imaging region

Claims (13)

  1. 機能液滴吐出ヘッドに配列されたノズル列から機能液を選択的に吐出することによりワーク上に描画を行う液滴吐出装置において、 In the liquid droplet ejection apparatus for drawing on a workpiece by ejecting functional liquid droplets from the nozzle rows arranged in the ejection head the functional liquid selectively,
    前記機能液滴吐出ヘッドをキャリッジに搭載したヘッドユニットと、 A head unit equipped with the functional liquid droplet ejection head on the carriage,
    マトリクス状に配置された複数の描画領域と、これを区画する非描画領域とが配置されたワークと、 A plurality of drawing areas arranged in a matrix, and the work of the non-imaging region is disposed to partition this,
    前記ヘッドユニットおよび/または前記ワークを、相対的に移動させる移動機構と、 A moving mechanism for the head unit and / or the workpiece, relatively moving,
    前記ワーク上にマーキングされたマーク列から成るリニアスケールと、当該リニアスケールに臨むリニアセンサとによって構成されると共に、前記ヘッドユニットと前記ワークとの相対的な移動位置を検出するリニアエンコーダと、 A linear scale consisting marked mark row on the workpiece, with composed of a linear sensor facing the linear scale, the linear encoder for detecting a relative movement position between the said head unit work,
    前記リニアエンコーダの検出結果に基づき、前記ノズル列からの機能液の吐出を駆動制御する駆動制御手段と、を備え、 Based on said linear encoder detection result, and a driving control means for driving and controlling the discharge of the functional liquid from the nozzle array,
    前記マーク列は、前記リニアセンサの検出方向に対して垂直方向に配列された描画領域列毎に離間して配置されていることを特徴とする液滴吐出装置。 Said mark train, a droplet discharge apparatus characterized by being spaced apart in each drawing area rows arranged in the direction perpendicular to the detection direction of the linear sensor.
  2. 前記リニアスケールは、前記非描画領域に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。 The linear scale, The apparatus according to claim 1, characterized in that it is formed in the non-rendering area.
  3. 前記マーク列の各描画領域列に対応するマーク数は、当該描画領域への機能液の吐出回数に等しいことを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出装置。 The number of marks corresponding to each drawing area column of the mark column, The apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that equal to the number of ejection of the function liquid into the drawing area.
  4. 前記描画領域は、前記機能液が吐出されると共に画素を構成する複数のキャビティ部と、これを区画するバンク部とを有しており、 The drawing area has a plurality of cavity forming a pixel together with the functional liquid is discharged, and a bank portion to partition this,
    前記リニアセンサは、前記マーク列に代えて前記バンク部を検出することを特徴とする請求項1、2または3に記載の液滴吐出装置。 The linear sensor, The apparatus according to claim 1, 2 or 3, characterized in that detecting the bank portion in place of said mark array.
  5. 前記非描画領域は、前記描画領域のバンク部と同材質であって、且つ前記マーク列として利用可能な検出用バンク部を有しており、 The non-imaging region is a bank portion of the same material of the drawing area, and and has a detecting bank portion usable as the mark array,
    前記リニアセンサは、前記検出用バンク部を検出することを特徴とする請求項4に記載の液滴吐出装置。 The linear sensor, The apparatus according to claim 4, characterized by detecting the detecting bank portion.
  6. 前記リニアスケールは、前記ヘッドユニットの前記ワークに対する相対的な走査回数分のスケール数から成ることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1に記載の液滴吐出装置。 The linear scale, The apparatus according to any one of claims 1 to 5, characterized in that it consists of relative scale number number of scanning times for the work of the head unit.
  7. 前記描画領域は、複数種類の機能液が吐出されることによって描画が行われ、 The drawing area is drawn by the plurality of types of functional liquid is discharged is performed,
    前記リニアエンコーダは、前記機能液の種類数分のスケール数から成るリニアスケールを、各リニアスケールに対応した前記リニアセンサによって検出することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1に記載の液滴吐出装置。 The linear encoder according to the linear scale consisting of a few minutes of the scale number type of the functional liquid, in any one of claims 1 to 6, characterized in that detected by the linear scale the linear sensor corresponding to the droplet discharge device.
  8. 前記ヘッドユニットには、前記機能液滴吐出ヘッドを介して複数のノズル列が配列され、当該ノズル列間の距離をlとしたとき、前記リニアスケールのマーク列は、l/n(nは1以上の整数)のマーク間隔を有しており、 The said head unit, the functional liquid are arranged a plurality of nozzle rows through a droplet ejection head, when the distance between the nozzle rows was l, mark column of the linear scale, is l / n (n 1 has a mark distance of an integer greater than one),
    前記マーク列のマーク位置と、そのマーク位置を検出したときの各ノズル列の機能液の吐出/非吐出と、を対応づけた対応テーブルを更に備え、 Further comprising a mark position of the mark array, the ejection / non-ejection of the functional liquid of each nozzle array upon detecting the mark position, a correspondence table that associates,
    前記駆動制御手段は、前記対応テーブルを参照して各ノズル列からの機能液の吐出を駆動制御することを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1に記載の液滴吐出装置。 It said drive control means, The apparatus according to any one of claims 1 to 7, characterized in that said by referring to the correspondence table for driving and controlling the discharge of the functional liquid from the nozzle rows.
  9. 前記ヘッドユニットには、前記機能液滴吐出ヘッドを介して複数のノズル列が配列され、いずれか1つのノズル列を基準ノズル列としたとき、前記リニアエンコーダは、前記ノズル列数分のスケール数から成るリニアスケールを、各リニアスケールに対応した前記リニアセンサによって検出し、 The said head unit, wherein the functional liquid droplet ejection through the head array a plurality of nozzle arrays, when either one of the nozzle rows reference nozzle row, the linear encoder scale number of the nozzle rows minutes the linear scale consisting, detected by the linear sensor corresponding to each of the linear scale,
    各リニアスケールを構成するマーク列は、前記リニアセンサの検出方向において、対応するノズル列の前記基準ノズル列からの距離分だけオフセットした位置に配置されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1に記載の液滴吐出装置。 Mark train constituting each linear scale, the in the detection direction of the linear sensor, claims 1, characterized in that it is arranged at a distance min offset position from the reference nozzle row of the corresponding nozzle rows 6 the apparatus according to any one of the.
  10. 請求項1ないし9のいずれか1に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。 Using the liquid droplet ejecting apparatus according to any one of claims 1 to 9, the method of manufacturing the electro-optical device, which comprises forming a film forming part by the functional liquid on the workpiece.
  11. 請求項1ないし9のいずれか1に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。 Using the liquid droplet ejecting apparatus according to any one of claims 1 to 9, the electro-optical device being characterized in that the formed deposited portion by the functional liquid on the workpiece.
  12. 請求項11に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。 An electronic apparatus characterized in that it is equipped with the electro-optical device according to claim 11.
  13. 請求項1ないし9のいずれか1に記載の液滴吐出装置の前記ワークとして用いられることを特徴とする基板。 Substrate, characterized in that used as the work of the droplet ejection apparatus according to any one of claims 1 to 9.
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