JP2010197191A - 光干渉式ガス濃度測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 この光干渉式ガス濃度測定装置は、互いに同一の長さを有する標準ガス用セル部および被測定ガス用セル部を有するチャンバと、光源からの光を分割して標準ガス用セル部および被測定ガス用セル部の各々に入射させると共に、標準ガス用セル部および被測定ガス用セル部を通過した光を合成して干渉縞を生じさせる平行平面鏡と、当該平行平面鏡によって合成された光を受光して被測定ガスと標準ガスとの光の屈折率の相違を干渉縞の変位量として検出する干渉縞検出手段とを具えてなり、平行平面鏡における、光源からの光およびチャンバを通過した光が入射される表面の反射率が10〜60%とされている。
【選択図】 図1
Description
このような要請に対して、例えば、光量の小さい小型の光源を単に用いた場合には、形成される干渉縞を十分な明るさ(濃度)を有するものとすることができなくなり、所期のガス濃度測定を行うことができなくなる。
前記平行平面鏡における、光源からの光およびチャンバを通過した光が入射される表面の反射率が10〜60%であることを特徴とする。
また、干渉縞検出手段による受光時間が短縮されることにより、ガス濃度変動の追従性を向上させることができて高い測定精度を得ることができる。
さらにまた、光源として光量の小さい小型のものを用いることができることによって、実際上、干渉縞検出手段によって干渉縞を検出する際に必要となる干渉縞調整用レンズとして、レンズ径の小さいものを用いることができるようになり、装置全体の小型化を図ることができる。
図1は、本発明の光干渉式ガス濃度測定装置の一例における構成の概略を示す説明図である。
この光干渉式ガス濃度測定装置は、互いに同一の長さを有する、被測定ガスが導入される2つの被測定ガス用セル部12A,12Bおよび検知対象ガスを含まない標準ガスが導入される標準ガス用セル部11が、標準ガス用セル部11が中央に位置するよう並設されてなるチャンバ10と、互いに異なる中心波長の光を放射する光源21A,21Bと、チャンバ10の一端側(図1において左側)外方位置に配設された平行平面鏡23と、チャンバ10の他端側(図1において右側)外方に配設された三角柱状のプリズム28と、被測定ガスと標準ガスとの光の屈折率の相違を干渉縞の変位量として検出する干渉縞検出手段30とを備えている。ここに、標準ガスとしては、例えば空気(O2 欠乏したものを含む)などを例示することができる。
そして、平行平面鏡23によって分割された一方の光(反射光)L1がチャンバ10の標準ガス用セル部11を通過してプリズム28に光入出射面28Aから入射し、このプリズム28によって反射されて当該光入出射面28Aから出射された後、再度、チャンバ10の標準ガス用セル部11を通過して平行平面鏡23に入射されると共に、他方の光(透過光)L2がチャンバ10の一方の被測定ガス用セル部12Aを通過してプリズム28に光入出射面28Aから入射され、このプリズム28によって反射されて当該光入出射面28Aから出射された後、チャンバ10の他方の被測定ガス用セル部12Bを通過して平行平面鏡23に入射される。
そして、標準ガス用セル部11を2度通過した光と、一方の被測定ガス用セル部12Aおよび他方の被測定ガス用セル部12Bを通過した光ビームとが、平行平面鏡23上の点Pにおいて重ね合わせられ、この合成光が平行平面鏡23から出射され、平面鏡31、凸レンズ32および凹レンズ33を介して、ラインイメージセンサ35によって受光されて干渉縞が検出されることとなる。
このようにして、上記光干渉式ガス濃度測定装置においては、ラインイメージセンサ35によって検出される干渉縞が、被測定ガスと標準ガスとの光の屈折率差に比例して移動することを利用し、検出された干渉縞に基づいて縞数カウンタおよびフーリエ解析技術による位相解析、さらには合成波長干渉法を併用することによって干渉縞の変位量が算出され、これにより得られた干渉縞の移動量に基づいて被測定ガスに含まれる検知対象ガスの濃度が検出される。
すなわち、図1に示す構成に従って試験用の光干渉式ガス濃度測定装置を作製し、光源21A,21Bの点灯条件、試験用被測定ガスの種類およびその他の条件は同一とし、平行平面鏡23における光入射出面23Aの反射率を適宜に変更して、平行平面鏡23から出射される合成光(ラインイメージセンサ35に到達する光)の光量を測定したところ、図2に示すように、反射膜25が形成された平行平面鏡23の光入射出面23Aの反射率が10〜60%であることにより、平行平面鏡23から出射される合成光の光量の、光源21A,21Bから照射される光の光量に対する光量比が15%以上となり、反射膜を有さない場合(光量比が約7%程度(図2において破線で示すグラフ)に比して2〜4倍程度光量が多くなることが確認された。
また、ラインイメージセンサ35による受光時間が短縮されることにより、ガス濃度変動の追従性を向上させることができて高い測定精度を得ることができる。
さらにまた、光源21A,21Bとして消費電力の小さい小型のものが用いられることにより、干渉縞調整用レンズ具体的には凸レンズ32および凹レンズ33としてレンズ径の小さいものを用いることができるようになってチャンバ10の小型化、ひいては装置全体の小型化を図ることができると共に、いわゆる「防爆の基準」を満足するものとして構成することが容易となり、携帯型のものとしても有用なものとなる。
例えば、平行平面鏡における反射膜の具体的な構成は、上記反射特性を得ることができるよう構成されていれば特に限定されるものではなく、適宜変更することができる。
また、チャンバの構造、干渉縞検出手段の構成等は、上記実施例のものに限定されるものではなく、適宜に変更することができる。
さらにまた、光源として白熱電球などを用いることができ、この場合には、干渉縞検出手段として目盛り付ガラス板、CCDカメラなどを用いて干渉縞の変位量が直接的に測定される。
11 標準ガス用セル部
12A,12B 被測定ガス用セル部
21A,21B 光源
22 ハーフミラー
23 平行平面鏡
23A 平行平面鏡の一面(光入出射面)
23B 平行平面鏡の他面
25 反射膜
28 プリズム
28A プリズムの一面(光入出射面)
30 干渉縞検出手段
31 平面鏡
32 凸レンズ
33 凹レンズ
35 ラインイメージセンサ
Claims (2)
- 互いに同一の長さを有する標準ガス用セル部および被測定ガス用セル部を有するチャンバと、光源からの光を分割して標準ガス用セル部および被測定ガス用セル部の各々に入射させると共に、標準ガス用セル部および被測定ガス用セル部を通過した光を合成して干渉縞を生じさせる平行平面鏡と、当該平行平面鏡によって合成された光を受光して被測定ガスと標準ガスとの光の屈折率の相違を干渉縞の変位量として検出する干渉縞検出手段とを具えた光干渉式ガス濃度測定装置であって、
前記平行平面鏡における、光源からの光およびチャンバを通過した光が入射される表面の反射率が10〜60%であることを特徴とする光干渉式ガス濃度測定装置。 - 平行平面鏡は、光源からの光およびチャンバを通過した光が入射される表面に、反射膜が形成されてなることを特徴とする請求項1に記載の光干渉式ガス濃度測定装置。
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