JP2010185094A - 保持爪位置の測定方法および測定具 - Google Patents
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Abstract
【課題】高い精度で保持爪の位置を調整することができる保持爪位置の測定方法および測定具を提供する。
【解決手段】中心軸C2回りに測定具71が回転すると、第1保持爪31の先端や第2保持爪32の先端は第1縁81や第2縁83に近づいていく。第1保持爪31の先端が第1縁81に接触すると、接触位置で目盛り82が読まれる。目盛り82は、中心軸C2回りの角位置に中心軸C2から第1縁81までの距離を関連付けることから、第1保持爪31および第1縁81の接触位置の目盛り82で第1保持爪31の先端の位置が特定される。第2保持爪32の位置は第1保持爪31と同様に特定される。こうして第1および第2保持爪31、32の先端の位置は目盛り82、84に基づき測定されることから、作業者の相違によるばらつきは確実に回避される。第1および第2保持爪31、32の先端の位置は高い精度で調整される。
【選択図】図16
【解決手段】中心軸C2回りに測定具71が回転すると、第1保持爪31の先端や第2保持爪32の先端は第1縁81や第2縁83に近づいていく。第1保持爪31の先端が第1縁81に接触すると、接触位置で目盛り82が読まれる。目盛り82は、中心軸C2回りの角位置に中心軸C2から第1縁81までの距離を関連付けることから、第1保持爪31および第1縁81の接触位置の目盛り82で第1保持爪31の先端の位置が特定される。第2保持爪32の位置は第1保持爪31と同様に特定される。こうして第1および第2保持爪31、32の先端の位置は目盛り82、84に基づき測定されることから、作業者の相違によるばらつきは確実に回避される。第1および第2保持爪31、32の先端の位置は高い精度で調整される。
【選択図】図16
Description
本発明は、例えば磁気ディスク用の基板を把持する保持爪の位置を測定する測定方法および測定具に関する。
磁気ディスクの製造にあたって基板が用意される。基板は基板ホルダに装着される。装着にあたって基板供給ロボットは基板ホルダに基板を供給する。基板ホルダでは、板ばねの先端に形成される保持爪の先端が基板の外縁に突き当てられる。板ばねの弾性変形に基づき保持爪は外縁に所定のばね力で押し付けられる。例えば3つの保持爪が3点で基板を保持する。基板ホルダはスパッタリング装置内に配置される。スパッタリング装置内で基板の表面には磁性膜や非磁性膜が成膜される。こうした基板ホルダは例えば数万回の成膜に使用される。保持爪には成膜のたびに膜が堆積していく。
板ばねのばね力は時間の経過とともに変化する。その結果、保持爪の先端の位置は基準位置からずれることがある。基板ホルダへの基板の取り付け時、仮に1つの保持爪の先端が基準位置から後退する場合を想定する。このとき、基板ホルダ内に基板が配置される。基板の外縁は他の2つの保持爪に向かって移動する。例えば他の2つの保持爪の一方の先端の位置が基準位置からずれると、基板の移動時に基板の外縁は一方の保持爪に片当たりする。基板は外縁で保持爪上の膜を刮ぎ取ってしまう。膜はパーティクル(塵埃)として基板上に付着する。こうした基板を製品として使用することはできない。
従来では、保持爪先端の位置の調整にあたって例えば基板と同じ径の円板が用いられる。円板の外縁には所定の幅の基準線が形成される。位置の調整にあたって円板は保持爪の後方に配置される。このとき、保持爪の先端が基準線内に配置されれば、先端の位置調整は不要と判断される。その一方で、保持爪の先端が基準線から外れると、先端の位置調整が実施される。先端の位置が基準線に入るまで板ばねの位置が変更される。こうした位置調整は作業者の目視で実施される。したがって、保持爪の先端の位置はおおまかにしか調整されない。作業者によって保持爪の先端の位置は変動してしまう。
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、高い精度で保持爪の位置を調整することができる保持爪位置の測定方法および測定具を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、保持爪位置の測定方法の一具体例は、中心軸回りに回転自在に測定具を装着し、前記中心軸回りに描かれる仮想円から内側に湾曲する前記測定具の第1縁に、第1板ばねの弾性変形に基づき前記中心軸から遠心方向に変位可能に前記第1板ばねの先端に形成される第1保持爪を向き合わせ、前記中心軸回りに描かれる仮想円から内側に湾曲する前記測定具の第2縁に、第2板ばねの弾性変形に基づき前記中心軸から遠心方向に変位可能に前記第2板ばねの先端に形成される第2保持爪を向き合わせる工程と、前記中心軸回りで前記測定具を回転させる工程と、前記測定具の回転に応じて前記第1保持爪が前記第1縁に接触すると、前記第1縁に沿って前記測定具に描かれて前記中心軸回りの角位置に前記中心軸から前記第1縁までの距離を関連付ける目盛りに基づき前記第1保持爪の位置を特定する工程と、前記測定具の回転に応じて前記第2保持爪が前記第2縁に接触すると、前記第2縁に沿って前記測定具に描かれて前記中心軸回りの角位置に前記中心軸から前記第2縁までの距離を関連付ける目盛りに基づき前記第2保持爪の位置を特定する工程とを備える。
こうした測定方法によれば、測定具は中心軸回りに回転自在に装着される。第1保持爪の先端は測定具の第1縁に向き合う。第2保持爪の先端は測定具の第2縁に向き合う。第1縁および第2縁は、中心軸回りで描かれる仮想円から内側に湾曲する。したがって、中心軸回りに測定具が回転すると、第1保持爪の先端や第2保持爪の先端は例えば第1縁や第2縁に近づいていく。第1保持爪の先端が第1縁に接触すると、第1縁に沿って測定具に描かれる目盛りが読まれる。目盛りは、中心軸回りの角位置に中心軸から第1縁までの距離を関連付けることから、第1保持爪および第1縁の接触位置の目盛りで第1保持爪の先端の位置が特定される。第2保持爪の位置は第1保持爪と同様に特定される。こうして第1および第2保持爪の先端の位置は目盛りに基づき測定されることから、作業者の相違によるばらつきは確実に回避される。第1および第2保持爪の先端の位置は高い精度で調整される。基板の装着にあたって基板の片当たりは回避される。基板上にパーティクル(塵埃)の付着は回避される。
上記目的を達成するために、測定具は、仮想平面に沿って広がる円板と、前記仮想平面に沿って前記円板の外縁から外側に広がり、前記仮想平面内で前記円板の中心軸回りに描かれる仮想円から内側に湾曲する第1縁を規定する第1板片と、前記第1縁に沿って前記第1板片に形成されて、前記中心軸回りの位置ごとに前記仮想平面内で前記中心軸から前記第1縁までの距離を特定する目盛りと、前記仮想平面に沿って前記円板の外縁から外側に広がり、前記仮想円から内側に湾曲する第2縁を規定する第2板片と、前記第2縁に沿って前記第2板片に形成されて、前記中心軸回りの位置ごとに前記仮想平面内で前記中心軸から前記第2縁までの距離を特定する目盛りとを備える。こうした測定具は前述の測定方法の実現に大いに貢献することができる。
以上のように開示の保持爪位置の測定方法によれば、高い精度で保持爪の位置を調整することができる。
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
図1は一具体例に係るスパッタリング装置11の構造を概略的に示す。スパッタリング装置11は例えば磁気ディスクの製造に用いられる。このスパッタリング装置11はカセット12を備える。カセット12には成膜対象の新しい基板13が収容される。基板13は基板ホルダ14に装着される。装着にあたって基板供給ロボット15が用いられる。基板供給ロボット15はカセット12から基板ホルダ14に基板13を供給する。基板ホルダ14はチャンバ16に基板13を搬送する。ここでは、基板13には例えば2.5インチの基板が用いられる。すなわち、基板13は65mmの径を有する。基板13には例えばガラス基板やアルミニウム基板が含まれる。
チャンバ16内では例えば真空環境が確立される。チャンバ16内には例えばAr(アルゴン)ガスといった不活性ガスが導入される。チャンバ16内には基板13を保持する基板ホルダ14が配置される。チャンバ16内で基板13にはターゲット17が向き合う。イオン化したArがターゲット17に衝突すると、ターゲット17の表面で金属原子や金属化合物分子が弾き飛ばされる。弾き飛ばされた金属原子や金属化合物分子は基板の表面に膜を形成する。こうして基板13の表面には磁性膜や非磁性膜が成膜される。成膜後の基板13を保持する基板ホルダ14はチャンバ16の外側に移動する。チャンバ16内には次の基板ホルダ14が配置される。
図2は一具体例に係る基板ホルダ14の構造を概略的に示す。基板ホルダ14は例えば平板状のホルダ本体21を備える。ホルダ本体21は鉛直方向に直立する。ホルダ本体21の下端には例えば1対の車輪22が連結される。車輪22は車軸回りで回転する。車輪22の回転に基づき基板ホルダ14は後述のレール上を水平移動することができる。ホルダ本体21は、例えば車輪22を受け止める水平面23から直立する垂直姿勢を確立する。基板ホルダ14の水平移動の実現にあたって車輪22には例えば電動モータ(図示されず)が連結されればよい。
ホルダ本体21には、例えば水平面23に平行に配列される1対の位置決め用孔24が形成される。各位置決め用孔24にはその内端に沿って基準面24aが形成される。基準面24aは車輪22の車軸に平行に広がる平坦面で規定される。基準面24a、24a同士は相互に平行に広がる。位置決め用孔24の上方でホルダ本体21には開口25が形成される。開口25内には水平面23から所定の高さhに規定される中心軸C1が規定される。ホルダ本体21には、中心軸C1を通過しつつ水平面23に直交する仮想鉛直面Lが規定される。仮想鉛直面Lは基準面24aに平行に広がる。基準面24aから仮想鉛直面Lまでの距離D1は等しく設定される。こうして基準面24aと水平面23との位置に基づき中心軸C1の位置は一義的に決定される。
ホルダ本体21には3片の板部材26、27、28が取り付けられる。各板部材26〜28は保持爪31、32、33を備える。保持爪31〜33は、中心軸C1から放射状に広がる仮想平面P内で広がる板片から形成される。保持爪31〜33の先端の位置は中心軸C1に同軸の仮想円S1よりも内側に配置される。ここでは、仮想円S1は基板13の輪郭を規定する。保持爪31〜33は板ばね34、35、36の先端に形成される。板ばね34〜36は、中心軸C1に同軸の円柱空間に接する平面に平行に広がる。平面は仮想平面Pと円柱空間との接点で規定される。
保持爪31、32は仮想鉛直面Lで相互に面対称に配置される。保持爪31、32は、仮想鉛直面Lと仮想円S1との上側の交点の角位置から中心軸C回りに同一の45度の角位置に配置される。すなわち、保持爪31は保持爪32に対して90度の角位置に配置される。その一方で、保持爪33は、仮想鉛直面Lと仮想円S1との下側の交点の角位置に配置される。保持爪33の角位置を0度とすると、保持爪31は時計回りに135度の角位置に配置される。同様に、保持爪32は反時計回りに135度の角位置に配置される。
ここでは、保持爪31〜33が基準位置に配置されると、仮想円S1を含む仮想平面内で中心軸C1から保持爪31の先端までの距離は32mmに設定される。中心軸C1から保持爪32の先端までの距離は保持爪31と同一の32mmに設定される。その一方で、中心軸C1から保持爪33の先端までの距離は31mmに設定される。こういった板ばね34〜36は例えばステンレス鋼やインコネル(登録商標)といった金属薄板から曲げ加工に基づき形成される。金属薄板は例えば0.5mm〜0.8mm程度の厚みを有する。金属薄板は例えば3.6mm〜4.0mm程度の幅を有する。
板ばね34〜36の基端は、ホルダ本体21に形成される受け面37に受け止められる、受け面37は、中心軸C1に同軸の円柱空間に接する平面に平行に広がる。板ばね34、35は受け面37で基板ホルダ21に取り付けられる。取り付けにあたってボルト38およびナット39が用いられる。その一方で、板ばね36は、受け面37に直交する取り付け面41で基板ホルダ21に取り付けられる。取り付けにあたってボルト38およびナット39が用いられる。板ばね34〜36は受け面37の輪郭の外側で弾性変形する。こうした弾性変形に基づき中心軸C1から遠心方向に保持爪31〜33は変位することができる。ここでは、受け面37の輪郭の外側の板ばね34〜36の長さでばね定数が調整される。
図3を併せて参照し、保持爪31〜33先端が変位に基づき仮想円S1上に配置されると、板ばね34〜36には弾性変形に基づき弾性復元力が生成される。保持爪31〜33先端の変位量の増大に応じて弾性復元力は増大する。その結果、保持爪31〜33では中心軸C1に向かってばね力Fが生成される。保持爪31のばね力F1は水平方向成分Fx1および垂直方向成分Fy1とを有する。保持爪32のばね力F2は水平方向成分Fx2および垂直方向成分Fy2とを有する。その一方で、保持爪33は垂直方向に上向きのばね力F3を有する。ばね力F3は、ばね力F1の垂直方向成分Fy1、ばね力F2の垂直方向成分Fy2および基板13の重量Wの和に等しく設定される。
ここで、受け面37および板ばね34〜36の間には所定の厚みの薄板(図示されず)が挟み込まれる。薄板の厚みは例えば0.1mmに設定される。薄板の枚数に応じて保持爪31〜33先端の位置は変位する。こうして保持爪31〜33先端の位置は基準位置に合わせ込まれる。
図4は一具体例に係る基板供給ロボット15の構造を概略的に示す上面図である。基板供給ロボット15はカセット12の正面および基準位置の基板ホルダ14の正面の間に配置される。カセット12は複数枚の基板13を収容する。カセット12内ではすべての基板13は鉛直方向に直立する垂直姿勢を確立する。基板13は相互に平行に配置される。基板13の中心軸はすべての基板13で一致する。その一方で、基板ホルダ14が垂直姿勢で基準位置に位置決めされると、基板ホルダ14の開口25はカセット12の正面の取出口12aに向き合う。
基板供給ロボット15はロボット本体45を備える。ロボット本体45には1対のアーム46、46が連結される。アーム46、46は、スパッタリング装置11内に規定されるx軸に沿ってロボット本体45から相互に反対向きに延びる。ロボット本体45が基準姿勢を確立すると、一方のアーム46の先端はカセット12の取出口12aに向き合う。他方のアーム46の先端は基板ホルダ14の開口25に向き合う。各アーム46の先端には例えば円柱状の保持軸47が区画される。保持軸47は、基板13の中心に形成される貫通孔と同一の径を有する。保持軸47は基板13を保持することができる。
アーム46、46はx軸方向に伸縮することができる。こうした伸縮に基づきアーム46の保持軸47はカセット12内に進入することができる。同時に、伸縮に基づきアーム46の保持軸47は基板ホルダ14の開口25内に進入することができる。その一方で、基準姿勢のロボット本体45は、x軸に直交するz軸回りで回転することができる。こうしたz軸回りの回転に基づき一方のアーム46はカセット12の正面から基板ホルダ14の正面に移動することができる。反対に、他方のアーム46は基板ホルダ14の正面からカセット12の正面に移動することができる。
基板ホルダ14はレール48に受け止められる。レール48はチャンバ16に向かって延びる。基板13の供給時、基板ホルダ14はレール48上の所定位置で一旦停止する。停止時、基板ホルダ14はロック機構49でロックされる。図5に示されるように、ロック機構49は、基板ホルダ14の背面に向き合う機構本体51を備える。機構本体51には1対の位置決めアーム52、52が取り付けられる。位置決めアーム52、52は、基板ホルダ14の背面に直交する方向に進退移動自在に機構本体51に連結される。同時に、位置決めアーム52、52は基板ホルダ14の背面に平行な方向に進退移動自在に機構本体51に連結される。
基板ホルダ14が所定位置で停止すると、位置決めアーム52、52は基板ホルダ14に向かって移動する。こうして、図6に示されるように、位置決めアーム52、52は基板ホルダ14の位置決め用孔24、24に個別に受け入れられる。続いて、位置決めアーム52、52は基板ホルダ14の背面に平行な方向に移動する。位置決めアーム52、52同士は相互に近づく。その結果、図7に示されるように、位置決めアーム52、52は位置決め用孔24、24の内端に受け止められる。位置決めアーム52、52はロック位置に位置決めされる。こうして位置決めアーム52、52は基準位置に基板ホルダ14を位置決めする。
いま、基板ホルダ14に基板13が供給される場面を想定する。レール48上を移動する基板ホルダ14は所定位置で停止する。ロック機構49の働きですべての基板ホルダ14は同一の基準位置に位置決めされる。基板供給ロボット15は最大限にアーム46を収縮させる基準姿勢を確立する。図8に示されるように、一方のアーム46は基準姿勢から最大限に伸展する。その結果、アーム46は、カセット12内に収容される基板13の貫通孔に保持軸47を差し込む。保持軸47は基板13を保持する。アーム46の収縮に基づき基板13はカセット12の取出口12aから取り出される。アーム46は基準姿勢に復帰する。
このとき、ロボット本体45はz軸回りに180度回転する。図9に示されるように、一方のアーム46は開口25に基板13を向き合わせる。他方のアーム46は取出口12aに先端を向き合わせる。一方のアーム46が最大限に伸展すると、基板13は基板ホルダ14の開口25内に配置される。同時に、他方のアーム46が最大限に伸展すると、他方のアーム46の保持軸47は基板13を保持する。アーム46、46が基準姿勢に復帰すると、一方のアーム46から基板ホルダ14に基板13が供給される一方で、他方のアーム46に基板13が保持される。こうした基板供給ロボット15の反復動作に基づきカセット12から基板ホルダ14に基板13が供給される。
図10に示されるように、基板13の供給にあたって保持軸47は開口25内に基板13を配置する。保持軸47の軸心は仮想鉛直面L内に配置される。配置に先立って、基板ホルダ14の保持爪33は、板ばね36の弾性変形に基づき仮想円S1から外側に後退する。板ばね36には弾性復元力が蓄積される。基板13の中心軸Xは、仮想鉛直面L内で中心軸C1から開口25の下端側に偏倚して配置される。その結果、保持爪31〜33の先端と基板13の外縁との接触は回避される。こうして基板13は、仮想円S1を含む仮想平面に沿って配置される。ロボット本体45はz軸に沿って上方に移動する。基板13は仮想平面内で移動する。基板13の中心軸Xは仮想鉛直面L内で中心軸C1に向かって移動する。
前述のように、保持爪31、32の先端は仮想円S1より内側に先端を規定する。しかも、保持爪31、32は仮想鉛直面Lで相互に面対称に配置されることから、基板13の移動に伴って基板13の外縁は保持爪31、32の先端に同時に接触する。保持爪31、32は中心軸C1から遠心方向に変位していく。板ばね34、35は弾性変形していく。板ばね34、35には弾性復元力が蓄積されていく。図11に示されるように、ロボット本体45が上限位置で移動を停止すると、基板13の中心軸Xは中心軸C1上に重なる。基板13の輪郭は仮想円S1に重なる。保持爪31、32は基板13の外縁に所定のばね力で押し付けられる。
ここで、基板ホルダ14が基準位置に位置決めされると、レール48の表面から上限位置の保持軸47の軸心すなわち基板13の中心軸Xまでの高さは、基板ホルダ14の水平面23から中心軸C1までの高さhに一致する。同様に、ロック位置の位置決めアーム52、52の内端から仮想鉛直面Lまでの距離は同一に設定される。この距離は前述の距離D1に一致する。したがって、基板ホルダ14がレール48上で基準位置に位置決めされると、保持軸47の軸心は必ず中心軸C1に一致する。こうして基板ホルダ14が基準位置に位置決めされるたびに基板13の中心軸Xは基板ホルダ14の中心軸C1に必ず一致する。
続いて、保持爪33の変位が許容される。板ばね36の弾性復元力に基づき保持爪33は中心軸C1に向かって変位する。図12に示されるように、保持爪33の先端は基板13の外縁に突き当てられる。保持爪33は基板13の外縁に所定のばね力で押し付けられる。ホルダ本体21すなわち基板13は鉛直方向に直立する垂直姿勢を確立することから、前述の通り、保持爪31、32のばね力F1、F2の垂直方向成分Fy1、Fy2および基板13の重量Wの和と、保持爪33のばね力F3とが釣り合うことで、基板13の輪郭は仮想円S1上に重なる。こうして基板13は基板ホルダ14に装着される。
その後、アーム46は収縮する。保持軸47は基板13の貫通孔から離脱する。ロボット本体45はz軸に沿って下方に移動する。基板ホルダ14の位置決め用孔24から位置決めアーム46が離脱する。基板ホルダ14のロックは解除される。基板13の装着を完了した基板ホルダ14は基準位置からチャンバ16内に向かって移動する。前述の成膜が実施される。成膜が終了すると、基板ホルダ14はチャンバ16から取り出される。こうして成膜が繰り返される。保持爪31〜33上には成膜のたびに膜が堆積していく。その一方で、基準位置には次の基板ホルダ14が位置決めされる。基板13の装着が繰り返される。
以上のようなスパッタリング装置11では、基板ホルダ14は成膜にあたって何度も繰り返し使用される。したがって、例えば板ばね34〜36の弾性復元力の変化に応じて保持爪31〜33の先端の位置は基準位置からずれてしまうことがある。その結果、仮に保持爪32の先端が基準位置から後退した位置に配置されると、基板13の装着時に基板13の外縁は保持爪31、32に同時に接触しない。基板13の外縁は保持爪31のみに片当たりする。基板13は不自然に移動する。このとき、基板13の外縁は、保持爪31や保持爪32上に堆積する膜を刮ぎ取ってしまう。膜はパーティクル(塵埃)として基板13上に付着する。こうした基板13は製品として使用されることができない。したがって、保持爪31〜33の先端の位置は極めて高い精度で調整されなければならない。
保持爪31〜33の先端の位置の調整にあたって位置調整装置61が使用される。図13は一具体例に係る位置調整装置61の構造を概略的に示す。位置調整装置61は台座62を備える。台座62は底面で平坦面に受け止められる。台座62の上面には平坦な受け面63が規定される。ここでは、受け面63は水平面に平行に広がる。受け面63から支柱64が垂直に立ち上がる。台座62や支柱64は例えば金属材料から形成される。
台座62の上面にはロック機構65が連結される。ロック機構65は前述のロック機構49と同様の構成を備える。すなわち、ロック機構65は機構本体66を備える。機構本体66には1対の位置決めアーム67、67が取り付けられる。位置決めアーム67、67同士の間に支柱64が配置される。位置決めアーム67、67は、受け面63に平行に位置調整装置61の正面から前方に向かって進退移動自在に機構本体66に連結される。同時に、位置決めアーム67、67は、受け面63に平行に支柱64に向かって相互に近づく方向に進退移動自在に機構本体66に連結される。
支柱64には本発明に係る測定具71が取り付けられる。測定具71は、受け面63に平行な中心軸C2回りに回転自在に支柱64に支持される。測定具71には掴み73が一体化される。作業者は、掴み73を掴んで中心軸C2回りに測定具71を回転させることができる。測定具71は、中心軸C2に直交する仮想平面に沿って広がる円板74を備える。円板74には仮想平面に沿って円板74の外縁から外側に広がる板片75、76、77が一体化される。板片75〜77は中心軸C2回りに順番に配列される。板片75および板片76の間、板片76および板片77の間、板片77および板片75の間で円板74の外縁が露出する。測定具71は例えば金属材料の一体成型に基づき形成される。
ここで、位置調整装置61では、受け面63から中心軸C2までの高さhは、水平面23から中心軸C1までの高さhに一致する。ロック位置の位置決めアーム67、67の内端には基準面67aが形成される。基準面67aは受け面63に直交しつつ相互に平行に広がる。基準面67aには、中心軸C2を通過しつつ受け面63に直交する仮想鉛直面Lが平行に広がる。基準面67aから仮想鉛直面Lまでの距離D3は等しく設定される。こうして基準面67aと受け面63との位置に基づき中心軸C2の位置は一義的に決定される。基準面67aおよび受け面63の位置と中心軸C2の位置との関係は、基板ホルダ14の基準面47aおよび水平面23の位置と中心軸C1の位置との関係を反映する。
図14は本発明の一実施形態に係る測定具71の構造を概略的に示す。板片75の最外縁は、中心軸C2に直交する仮想平面内で中心軸C2回りに描かれる仮想円S2に沿って規定される。ここでは、仮想円S2の径は66.0mmに設定される。板片75の外縁には仮想円S2から内側に湾曲する第1縁81が規定される。第1縁81の外端は、板片76に向き合う板片75の一方の側縁に接続される。第1縁81の内端は最外縁に接続される。中心軸C2から第1縁81までの距離L1は第1縁81の外端から内端に向かうにつれて増大する。
ここでは、第1縁81は、前述の仮想平面内に描かれるインボリュート曲線で規定される。第1縁81の外端で距離L1は30.0mmに設定される。第1縁81の内端で距離L1は33mmに設定される。第1縁81では、反時計回りに中心軸C2回りの角位置が1度ずれるにつれて距離L1は0.1mm増える。第1縁81に沿って板片75には目盛り82が形成される。目盛り82は距離L1を特定する。目盛り82は、中心軸C2回りに1度刻みの角位置ごとに距離L1を関連付ける。
同様に、板片76の最外縁は仮想円S2に沿って規定される。板片76の外縁には仮想円S2から内側に湾曲する第2縁83が規定される。第2縁83の外端は、板片77側に規定される板片76の一方の側縁に接続される。第2縁83の内端は最外縁に接続される。第2縁83の外端と第1縁81の外端とは中心軸C2回りに90度の角位置で隔てられる。中心軸C2から第2縁83までの距離L2は第2縁83の外端から内端に向かうにつれて増大する。
ここでは、第2縁83は、前述の仮想平面内に描かれるインボリュート曲線で規定される。第2縁83の外端で距離L2は30.0mmに設定される。第2縁83の内端で距離D2は33.0mmに設定される。第2縁83では、反時計回りに中心軸C2回りの角位置が1度ずれるにつれて距離L2は0.1mm増える。第2縁83に沿って板片76には目盛り84が形成される。目盛り84は距離L2を特定する。目盛り84は、中心軸C2回りに1度刻みの角位置ごとに距離L2を関連付ける。
その一方で、板片75の外縁には仮想円S2から内側に湾曲する第3縁85がさらに規定される。第3縁85の外端は、板片77に向き合う板片75の他方の側縁に接続される。第3縁85の内端は最外縁に接続される。中心軸C2から第3縁85までの距離L3は第3縁85の外端から内端に向かうにつれて増大する。
ここでは、第3縁85は、前述の仮想平面内に描かれるインボリュート曲線で規定される。第3縁85の外端で距離L3は28.0mmに設定される。第3縁85の内端で距離L3は33.0mmに設定される。第3縁85では、時計回りに中心軸C2回りの角位置が1度ずれるにつれて距離L3は0.1mm増える。第3縁85に沿って板片75には目盛り86が形成される。目盛り86は距離L3を特定する。目盛り86は、中心軸C2回りに1度刻みの角位置ごとに距離L3を関連付ける。
いま、位置調整装置61を用いて基板ホルダ14の保持爪31〜33の先端の位置を調整する場面を想定する。まず、位置調整装置61に基板ホルダ14が装着される。図15に示されるように、基板ホルダ14の車輪22は台座62の受け面63に受け止められる。このとき、ロック機構65の位置決めアーム67、67は進退移動に基づき基板ホルダ14の位置決め用孔24、24内に進入する。位置決めアーム67、67は位置決め用孔24、24の内端に受け止められる。こうして基板ホルダ14は位置調整装置61に装着される。ロック機構65の働きで基板ホルダ14は装着のたびに台座62上で必ず同じ基準位置にロックされる。
基板ホルダ14が台座62の受け面63上に配置されると同時に、基板ホルダ14の開口25内には測定具71が配置される。前述のように、基準面67aおよび受け面63の位置と中心軸C2の位置との関係は、基板ホルダ14の基準面47aおよび水平面23の位置と中心軸C1の位置との関係を反映する。したがって、測定具71の中心軸C2は基板ホルダ14の中心軸C1に一致する。このとき、保持爪31は板片75および板片76の間に配置される。保持爪32は板片76および板片77の間に配置される。保持爪33は板片77および板片75の間に配置される。円板74、板片75〜77および保持爪31〜33は仮想円S1を含む仮想平面に沿って広がる。
作業者は掴み73を掴んで時計回りに測定具71を回転させる。保持爪31の先端には板片75の第1縁81が向き合う。同時に、保持爪32の先端には板片76の第2縁83が向き合う。測定具71の回転に応じて保持爪31、32の先端は第1縁81および第2縁83に近づいていく。その結果、図16に示されるように、保持爪31の先端は第1縁81に接触する。接触と同時に測定具71の回転は一旦停止される。このとき、保持爪31の先端との接触位置の目盛り82が読まれる。ここでは、接触位置の目盛り82は32.0mmを示す。中心軸C1から保持爪31の先端までの距離は32.0mmと判断される。その結果、保持爪31の先端の位置は基準位置に配置されることが確認される。
その一方で、図16から明らかなように、保持爪31の先端の接触時、保持爪32の先端は第2縁83に接触しないことから、中心軸C1から保持爪32の先端までの距離は所定の距離より増大していることが確認される。このとき、作業者は時計回りに測定具71をさらに回転させる。回転に応じて保持爪32の先端は第2縁83に近づいていく。その結果、図17に示されるように、保持爪32の先端は第2縁83に接触する。接触と同時に測定具71の回転は一旦停止される。このとき、保持爪32の先端との接触位置の目盛り84が読まれる。ここでは、接触位置の目盛り84は32.3mmを示す。中心軸C1から保持爪32の先端までの距離は32.3mmと判断される。保持爪32の先端は所定の距離32.0mmから0.3mm外側に配置されていることが確認される。
続いて、作業者は反時計回りに測定具71を回転させる。測定具71の回転に基づき保持爪33の先端には板片75の第3縁85が向き合わせられる。測定具71の回転に応じて保持爪33の先端は第3縁85に近づいていく。同時に、保持爪31は第1縁81から遠ざかっていく。保持爪32は第2縁83から遠ざかっていく。その結果、図18に示されるように、保持爪33の先端は第3縁85に接触する。接触と同時に測定具71の回転は一旦停止される。このとき、保持爪33の先端との接触位置の目盛り86が読まれる。ここでは、接触位置の目盛り86は31.0mmを示す。中心軸C1から保持爪33の先端までの距離は31.0mmと判断される。その結果、保持爪33の先端の位置は基準位置に配置されることが確認される。
保持爪31〜33の先端の位置の測定が終了すると、作業者は時計回りに測定具71を回転させる。前述のように、測定に基づき保持爪32の先端の位置が所定の位置から外側にずれていることが確認される。このとき、板ばね34および受け面37の間に例えば3枚の薄板(図示されず)が挟み込まれる。こうして保持爪32の先端の位置は仮想円S1の中心軸C1に向かって0.3mm変位する。保持爪32の先端の位置は基準位置に合わせ込まれる。その後、測定具71の回転に基づき保持爪32の先端の位置が再び測定される。保持爪32の先端および第2縁83の接触位置目盛り84が32.0mmを示すことが確認される。こうして保持爪31〜33の先端の位置調整は終了する。基板ホルダ14は位置調整装置61から取り外される。
以上のような位置調整装置61では、保持爪31〜33の先端の位置調整にあたって測定具71が用いられる。測定具71の板片75〜77には、中心軸C2回りに描かれる仮想円S2から内側に湾曲する第1〜第3縁81、83、85が形成される。第1〜第3縁81、83、85に沿って板片75〜77には目盛り82、84、86が形成される。目盛り82、84、86は中心軸C2から第1縁81、第2縁83、第3縁85までの距離を特定する。したがって、作業者が第1縁81、第2縁83、第3縁85との接触位置の目盛り82、84、86を読めば、保持爪81、83、85の先端の位置は高い精度で特定される。保持爪81、83、85の先端の位置は高い精度で調整される。作業者の相違によるばらつきは回避される。
図19は他の具体例に係る基板ホルダ14aの構造を概略的に示す。この基板ホルダ14aでは、前述の基板ホルダ14に比べて、板部材26〜28が中心軸C1回りに180度回転した角位置に配置される。こうして板部材26、27と板部材28とは前述と上下逆さまに配置される。基板13の保持にあたって、保持爪33のばね力F3および基板13の重量Wの和と、保持爪31、32のばね力の上向きの垂直方向成分Fy1、Fy2の和とが釣り合うことで、基板13は保持爪31〜33に保持される。保持爪31〜33の先端の位置調整にあたって前述の測定具71が用いられる。その他、前述の基板ホルダ14と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
図20はさらに他の具体例に係る基板ホルダ14bの構造を概略的に示す。この基板ホルダ14bでは、保持爪31、32は、仮想円S1と仮想鉛直面Lとの上側の交点の角位置から中心軸C2回りに同一の90度の角位置に配置される。すなわち、保持爪31は保持爪32に対して中心軸C2回りに180度の角位置に配置される。保持爪31、32すなわち板部材26、27は仮想鉛直面Lで相互に面対称に配置される。基板13の保持にあたって、基板13の重量Wおよび保持爪33のばね力F3が釣り合うと同時に、保持爪31のばね力F1および保持爪32のばね力F2が釣り合えばよい。こうして基板13は保持爪31〜33に保持される。その他、前述の基板ホルダ14と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
保持爪31〜33の先端の位置調整にあたって、図21に示されるように、測定具71aが用いられる。測定具71aでは、前述の測定具71に比べて、板片76の位置と板片77の位置とが入れ替えられる。こうして第1縁81の外端は第2縁83の外端の角位置に対して中心軸C2回りに180度の角位置に配置される。こうした測定具71aは前述の測定具71と同様に使用される。保持爪31〜33の先端の位置の測定にあたって、保持爪31の先端は第1縁81に向き合う。同様に、保持爪32の先端は第2縁83に向き合う。その他、前述の測定具71と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。
以上のような基板ホルダ14〜14bでは、ホルダ本体21の下端には前述の車輪22に代えてスライド面が形成されてもよい。スライド面は水平面に平行に広がる。基板ホルダ14〜14bはスライド面でレール48上をスライド移動する。スライド移動の実現にあたって例えばリニアモータの原理が用いられればよい。その他、測定具71、71aでは、仮想円S2の径の大きさは基板13の径に応じて設定されればよい。
31 保持爪(第1保持爪)、32 保持爪(第2保持爪)、34 板ばね(第1板ばね)、35 板ばね(第2板ばね)、71 測定具、74 円板、75 板片、76 板片、81 第1縁、82 目盛り、83 第2縁、84 目盛り、C2 中心軸、S2 仮想円。
Claims (4)
- 中心軸回りに回転自在に測定具を装着し、前記中心軸回りに描かれる仮想円から内側に湾曲する前記測定具の第1縁に、第1板ばねの弾性変形に基づき前記中心軸から遠心方向に変位可能に前記第1板ばねの先端に形成される第1保持爪を向き合わせ、前記中心軸回りに描かれる仮想円から内側に湾曲する前記測定具の第2縁に、第2板ばねの弾性変形に基づき前記中心軸から遠心方向に変位可能に前記第2板ばねの先端に形成される第2保持爪を向き合わせる工程と、
前記中心軸回りで前記測定具を回転させる工程と、
前記測定具の回転に応じて前記第1保持爪が前記第1縁に接触すると、前記第1縁に沿って前記測定具に描かれて前記中心軸回りの角位置に前記中心軸から前記第1縁までの距離を関連付ける目盛りに基づき前記第1保持爪の位置を特定する工程と、
前記測定具の回転に応じて前記第2保持爪が前記第2縁に接触すると、前記第2縁に沿って前記測定具に描かれて前記中心軸回りの角位置に前記中心軸から前記第2縁までの距離を関連付ける目盛りに基づき前記第2保持爪の位置を特定する工程とを備えることを特徴とする保持爪位置の測定方法。 - 請求項1に記載の保持爪位置の測定方法において、前記第1縁および前記第2縁は、前記中心軸に直交する仮想平面内に描かれるインボリュート曲線で規定されることを特徴とする保持爪位置の測定方法。
- 仮想平面に沿って広がる円板と、
前記仮想平面に沿って前記円板の外縁から外側に広がり、前記仮想平面内で前記円板の中心軸回りに描かれる仮想円から内側に湾曲する第1縁を規定する第1板片と、
前記第1縁に沿って前記第1板片に形成されて、前記中心軸回りの位置ごとに前記仮想平面内で前記中心軸から前記第1縁までの距離を特定する目盛りと、
前記仮想平面に沿って前記円板の外縁から外側に広がり、前記仮想円から内側に湾曲する第2縁を規定する第2板片と、
前記第2縁に沿って前記第2板片に形成されて、前記中心軸回りの位置ごとに前記仮想平面内で前記中心軸から前記第2縁までの距離を特定する目盛りとを備えることを特徴とする測定具。 - 請求項3に記載の測定具において、前記第1縁および前記第2縁は、前記仮想平面内に描かれるインボリュート曲線で規定されることを特徴とする測定具。
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