JP2010184434A - 基板接合方法及びインクジェットヘッド並びに画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】接合時における接着剤の流路へのはみ出しを防止するとともに大きな接着強度を得る。
【解決手段】開口部を有する少なくとも２枚以上の基板を接着剤で接合する基板接合方法であって、開口部を有する一つの基板の開口部周辺の接合面となる基板表面に高粘度接着剤を塗布して前記開口部の周囲に凸状部を形成し、該凸状部以外の部分の前記基板表面に低粘度接着剤を、前記基板表面からの高さが前記凸状部の高さよりも低くなるように塗布し、他の基板を前記高粘度接着剤及び低粘度接着剤が塗布された前記一つの基板に対して、まず該他の基板が前記高粘度接着剤によって形成された凸状部に接触し、その後該他の基板が前記低粘度接着剤に接触するようにして接着することを特徴とする基板接合方法を提供する。
【選択図】図６

Description

本発明は、基板接合方法及びインクジェットヘッド並びに画像形成装置に係り、特に、接着剤を用いたインクジェットヘッド部材の接合技術に関する。

従来、複数の部材を積層してインクジェットヘッドを形成する際、これらの部材の接合には接着剤が用いられることがある。このとき用いられる接着剤としては、特に耐薬品性、接合強度に優れるエポキシ系の熱硬化型接着剤がよく知られている。

ここで接着剤の粘度はさまざまであるが、高粘度接着剤は、流れ難いため流路にはみ出す量は少なくできるが部材の表面でぬれ広がり難く充分な接着強度が得られないことがある。一方、低粘度接着剤はぬれ広がりやすく高い接着強度が得られるが、流路に流れ込みやすい。

特に、表面粗さが大きい部材に対して粘度が高い接着剤を用いると、凹凸の中に接着剤が入りきらず充分な接合強度が得られない。また初期の強度が大きくても、隙間にインクが入り込みやすく、使用している間に接着強度が低下するという問題が生じる。また、粘度が低い接着剤を用いると凹凸に接着剤が入り込み、非常に高い接着強度と耐インク性が得られる。

しかし、粘度が低い接着剤を用いて各部材間を接合すると、塗布した接着剤が開口部にはみ出し、開口部を狭くしたり、最悪の場合には開口部を塞いでしまうことがあるという問題があった。

これに対して、従来例えば自動車用ガラスに対し、接着剤を介してインナーミラー取付用ブラケット等の被着体を接着するに際し、被着体の周縁に、接着剤のはみ出しを堰き止める凸条を環状に設けるとともに、接着剤からなる層中に間隔保持剤を配し、この間隔保持剤の介在により被着体と自動車用ガラスとを非接触で接着するようにしたものが知られている（例えば、特許文献１等参照）。

また例えば、ノズルプレート、プールプレート、供給孔プレート、圧力室プレート、振動プレートとにおけるインク吐出を行わない面に接着剤を塗布して接着剤層を形成する際に、穴又は溝近傍には高粘度の接着剤を塗布し、それ以外の領域には低粘度の接着剤を塗布するようにして、インク流路のシールを確実にし、接着剤のはみ出し量を均一化したものが知られている（例えば、特許文献２等参照）。

特開２００５−１７１１８５号公報 特開２００１−１８３８６号公報

しかしながら、例えば上記特許文献１に記載のものでは、凸状部は例えば金属製の材料で形成されており、変形することはなく、この方法では接着するためにはそもそも凸状部よりも高く盛るように接着剤を塗布しなければならないため、低粘度の接着剤では接着剤の流れだしを防止することはできないという問題がある。

また、上記特許文献２に記載のものでは、穴又は溝近傍に塗布する高粘度の接着剤と、それ以外の領域に塗布する低粘度の接着剤の厚さは同じであり、そのため厚さのばらつきによっては接合時において先に低粘度接着剤が押しつぶされて流路にはみ出してしまうという問題がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、接合時における接着剤の開口部へのはみ出しを防止するとともに大きな接着強度を有し、均一性、吐出性に優れた基板接合方法及びインクジェットヘッド並びに画像形成装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、開口部を有する少なくとも２枚以上の基板を接着剤で接合する基板接合方法であって、開口部を有する一つの基板の開口部周辺の接合面となる基板表面に高粘度接着剤を塗布して前記開口部の周囲に凸状部を形成し、該凸状部以外の部分の前記基板表面に低粘度接着剤を、前記基板表面からの高さが前記凸状部の高さよりも低くなるように塗布し、他の基板を前記高粘度接着剤及び低粘度接着剤が塗布された前記一つの基板に対して、まず該他の基板が前記高粘度接着剤によって形成された凸状部に接触し、その後該他の基板が前記低粘度接着剤に接触するようにして接着することを特徴とする基板接合方法を提供する。

これにより、接合強度が高い低粘度接着剤を用いるときの開口部への接着剤のはみ出しを防止することができる。

また、請求項２に示すように、前記高粘度接着剤の粘度は１０万ｃＰ以上であり、前記低粘度接着剤の粘度は５万ｃＰ以下であることを特徴とする。

これにより、高粘度接着剤によって低粘度接着剤のはみ出しを抑制することが可能となる。

また、請求項３に示すように、前記高粘度接着剤及び低粘度接着剤はそれぞれエポキシ系熱硬化型接着剤であることを特徴とする。

これにより、特殊な接着剤を用いることなく容易に接着強度を得ることができる。

また、請求項４に示すように、前記高粘度接着剤と前記低粘度接着剤は、主剤と硬化剤が同じで、粘度調整剤の含有量が異なる接着剤であることを特徴とする。

これにより、同じ条件で硬化できるため、接合工程における工数を削減することができる。

また、請求項５に示すように、前記低粘度接着剤が塗布される前記基板表面に各基板間の間隔を調整するための高さ調整部を設けたことを特徴とする。

これにより、接合時に必要以上に押しつぶすことなく、接着剤のはみ出しを低減することができる。

また、請求項６に示すように、前記高さ調整部は、前記低粘度接着剤が塗布される前記基板表面に高さが前記低粘度接着剤の塗布厚さよりも小さくなるように形成された凸状の部材であることを特徴とする。

これにより、接着剤塗布時のばらつきにより多少低粘度接着剤の塗布厚さが少ない部分が生じても、高さ調整部が低粘度接着剤よりも高くなって接着剤が塗布されない場所ができてしまうのを防ぐことができる。

また、請求項７に示すように、前記一つの基板に接合する他の基板の、接合時に前記一つの基板の低粘度接着剤が塗布された領域に対応する位置に、各基板間の間隔を調整するための高さ調整部を設けたことを特徴とする。

これにより、接合時に必要以上に押しつぶすことなく、接着剤のはみ出しを低減することができる。

また、請求項８に示すように、前記高さ調整部は、その高さが前記一つの基板に塗布される低粘度接着剤の厚さよりも小さくなるように形成された凸状の部材であることを特徴とする。

これにより、接着剤塗布時のばらつきにより多少低粘度接着剤の塗布厚さが少ない部分が生じても、高さ調整部が低粘度接着剤よりも高くなって接着剤が塗布されない場所ができてしまうのを防ぐことができる。

また、同様に前記目的を達成するために、請求項９に記載の発明は、複数の基板を接着剤により接合して積層して形成されるインクジェットヘッドであって、前記基板の開口部近傍は高粘度接着剤によって、それ以外の領域は低粘度接着剤によって接合され、前記低粘度接着剤が塗布された領域中に接合される基板間の間隔を調整するための高さ調整部を有することを特徴とするインクジェットヘッドを提供する。

また、同様に前記目的を達成するために、請求項１０に記載の発明は、請求項１〜８のいずれかに記載の基板接合方法を用いて製造されたことを特徴とするインクジェットヘッドを提供する。

これにより、流路への接着剤のはみ出しがなく、均一性、吐出性に優れたインクジェットヘッドを得ることができる。

また、同様に前記目的を達成するために、請求項１１に記載の発明は、請求項９または１０に記載のインクジェットヘッドを備えた画像形成装置を提供する。

これにより、高品質の画像を形成することが可能となる。

以上説明したように、本発明によれば、接合強度が高い低粘度接着剤を用いるときの開口部への接着剤のはみ出しを防止することができる。また、本発明の基板接合方法を適用することで流路への接着剤のはみ出しがなく、均一性、吐出性に優れたインクジェットヘッドを得ることができる。

本発明が適用されたインクジェットヘッドの一実施形態を示す斜視断面図である。 ヘッド本体の平面透視図である。 圧力室ユニットの概略構成を示す縦断面図である。 ヘッド本体の上面図である。 インクジェットヘッドの縦断面図である。 （ａ）〜（ｃ）は本実施形態における基板の接合方法を示す断面図である。 接着剤の粘度に差をもたせる方法を示す説明図である。 （ａ）、（ｂ）は、高さ調整部を設けた様子を示す断面図である。 同じく高さ調整部を設けた他の例の様子を示す断面図である。 ヘッド本体とインク供給部材との接合の様子を示す拡大断面図である。 ヘッド本体とインク供給部材との接合において高さ調整部を設けた様子を示す断面図である。 本発明に係るインクジェットヘッドが組み込まれたインクジェット記録装置（画像形成装置）の一実施形態を模式的に示す構成図である。

以下、添付図面を参照して、本発明に係る基板接合方法及びインクジェットヘッド並びに画像形成装置について詳細に説明する。

図１は、本発明が適用されたインクジェットヘッドの一実施形態の概略を示す斜視断面図である。

本実施形態のインクジェットヘッド１０は、いわゆるラインヘッドとして構成されており、主として、ヘッド本体１２と、そのヘッド本体１２にインクを供給するインク供給部材１４とで構成されている。

ヘッド本体１２は、矩形の板状に形成されており、図示を省略するが、その下面にインクを液滴として吐出するノズルが多数配列されている。

図２は、ヘッド本体１２の平面透視図である。図２に示すように、ヘッド本体１２には、インクに圧力を付与してノズル（不図示）から液滴として吐出させる圧力室ユニット２０が、所定の配列パターン（本実施形態では千鳥格子状のパターン）に従って２次元的に配列されている。

圧力室ユニット２０は、インクを液滴として吐出するノズル２２と、インクを貯留し、貯留したインクに圧力を付与してノズル２２から液滴として吐出させる圧力室２４と、圧力室２４にインクを導入するインク導入口２６とを備えて構成されている。本実施形態では、図２に示すように、圧力室２４の平面形状が正方形状に形成されており、その対角線の一方の端にノズル２２、他方の端にインク導入口２６が形成されている。インクは、図示しない共通流路からインク導入口２６を介して圧力室２４に導入され、圧力室２４で圧力が付与されて、ノズル２２から液滴として吐出される。

図３は、圧力室ユニット２０の概略構成を示す縦断面図である。各圧力室２４の天面（天井面）は、共通の振動板２８で構成されている。振動板２８の上には、各圧力室２４に対応して、圧電素子３０が配置されている。各圧電素子３０は、その上面に形成された個別電極３２と、共通電極として機能する振動板２８との間に電圧を印加することにより変形する。そして、圧電素子３０が変形することにより、対応する圧力室２４の天面（振動板２８）が変形し、ノズル２２からインク滴が吐出される。すなわち、圧力室２４の天面が変形することにより、圧力室２４の容積が減少し、この結果、圧力室２４内のインクに圧力が加わり、ノズル２２からインク滴が吐出される。

各圧電素子３０の上側には、各圧電素子３０の自由な駆動を確保し、保護するための共通のカバー３４が設けられている。また、カバー３４の上側には、各圧力室２４にインクを供給するための共通流路３６が形成されている。各圧力室２４は、それぞれインク導入口２６を介して共通流路３６と連通されている。インクをノズル２２から吐出された圧力室２４は、元に戻る際、インク導入口２６を介して共通流路３６から新しいインクが供給される。

図４は、ヘッド本体１２の上面図である。図４に示すように、ヘッド本体１２の上面中央には、インク供給口３８が、ヘッド本体１２の長手方向に沿って一定ピッチで多数形成されている。各インク供給口３８は、共通流路３６に連通されている。インクは、このインク供給口３８を介してインク供給部材１４から共通流路３６に供給される。

図５は、本実施形態のインクジェットヘッド１０の縦断面図である。図５に示すように、インク供給部材１４は、矩形の箱状に形成されており、その下面部が開口して形成されている。ヘッド本体１２は、このインク供給部材１４の下面部の開口に取り付けられる。

インク供給部材１４の下面部には、ヘッド本体１２の上面部が嵌合される凹部（開口）４０が形成されている。ヘッド本体１２は、この凹部４０に上面部を嵌め込むことにより、所定位置に位置決めされて、インク供給部材１４に取り付けられる。

この際、ヘッド本体１２は、接着剤６２で接合して、インク供給部材１４の下面部に取り付けられる。インク供給部材１４の下面部に形成された凹部４０の底面部４０Ａには、この接着剤６２を塗布するための塗布溝４２が形成されている。

インク供給部材１４の上面部には、図５に示すように、供給配管接続口４８が設けられている。この供給配管接続口４８は、インク供給部材１４の内部空間と連通されており、インクをインクタンクから供給するための供給配管５０が接続される。

なお、本実施形態では、便宜上、インク供給部材１４を一体物で構成しているが、インク供給部材１４は、複数の部材を接合して形成するようにしてもよい。同様に、ヘッド本体１２も複数の部材を接合して形成することができる。例えば、複数のシリコン基板を積層し接合して形成するようにしてもよい。

そこで例えば、インク流路となるべき孔が形成されたシリコン基板を積層してインクジェットヘッドを形成する際の基板の接合方法を例にとって本願発明の一実施形態を以下説明する。

図６に本実施形態における基板の接合方法を示す。

まず図６（ａ）に示すように、インク流路となるべき開口部（貫通孔）７２が形成されたシリコン基板７０の接合面７０Ａにおいて、開口部７２の周辺に高粘度接着剤７４を塗布して凸状部を形成する。

ここで用いる高粘度接着剤７４としては、例えばエポキシ系の熱硬化型接着剤で粘度は１０万ｃＰ（１００Ｐａ・ｓ）以上のもの、もしくは流れ出ない程度のチキソ性を有するものが好ましい。また、開口部７２の周辺に塗布するには、例えばディスペンサーやスクリーン印刷を用いることができる。

また、高粘度接着剤７４によって開口部７２の周囲に形成される凸状部は、例えば高さｄ１が５０〜５００μｍ、幅が数十〜５００μｍである。

次に、図６（ｂ）に示すように、シリコン基板７０の接合面７０Ａの、高粘度接着剤７４によって開口部７２の周囲に形成された凸状部の外側の領域に低粘度接着剤７６を塗布する。

このとき、低粘度接着剤７６を塗布する厚さｄ３は、高粘度接着剤７４によって形成された凸状部の高さｄ１よりも小さくなるようにする。例えば、凸状部の高さｄ１が５０〜５００μｍであるとき、これに対応させてこれよりも小さくなるように、ｄ３は２０〜２００μｍ程度とするのが好ましい。

また、低粘度接着剤７６の粘度は、１０万ｃＰ以下、特に５万ｃＰ以下が望ましい。低粘度接着剤７６の塗布方法としては、ディスペンサーによる方法が好適に例示される。

次に、図６（ｃ）に示すように、同じくインク流路となるべき開口部（貫通孔）８２が形成されたもう一つのシリコン基板８０を上記シリコン基板７０に接合する。

ここで、シリコン基板８０の開口部８２とシリコン基板７０の開口部７２とを合わせるようにしてシリコン基板８０を、接着剤が塗布されたシリコン基板７０に押し当てて行くとき、まず、高粘度接着剤７４の凸状部がつぶれるように加圧して、接着剤を加熱硬化させるようにする。

高粘度接着剤７４の凸状部がつぶれることで、低粘度接着剤７６がシリコン基板８０に密着する。このとき、開口部７２の周囲は高粘度接着剤７４の凸状部によって囲まれ、この凸状部の高さｄ１は低粘度接着剤７６の厚さｄ３よりも大きいため、低粘度接着剤７６が開口部７２にはみ出してインク流路となる空間に流れ込むようなことはない。

また、凸状部がつぶれるので、低粘度接着剤７６は確実に相手方のシリコン基板８０に密着するので強力な接着力を得ることができる。さらに、凸状部も高粘度接着剤７４で形成されているので、これ自体も接着に寄与するため、金属などで凸状部を形成した場合に比べて、さらなる接着強度を得ることができる。

また、接着剤について、高粘度と低粘度の差の付け方としては、例えば粘度調整剤の量によって調整する。例えば、図７に示すように、粘度調整剤としてシリカなどのフィラー７７を、低粘度接着剤７６よりも高粘度接着剤７４により多く混ぜることによって高粘度接着剤７４の粘度を高くする。

このようにすると、高粘度接着剤７４も低粘度接着剤７６も、その主剤と硬化剤は同じなので、硬化条件を同じにして粘度だけを変えることができるため、接合時に同時に硬化させることが可能となり、接合時における工程数を減らすことができる。

次に、本発明の他の実施形態について説明する。これは、接合する部材の低粘度接着剤を塗布する領域に、各基板間の間隔を調整して、接合時に部材を必要以上に押し付けて接着剤がはみ出すのを防止するための高さ調整部を設けるようにしたものである。

すなわち、図８（ａ）に示すように、シリコン基板７０の開口部７２の周囲に高粘度接着剤７４で形成された凸状部の外側の、低粘度接着剤７６が塗布される領域に、高さ調整部７８を設ける。

ここで、前述した例と同様に、低粘度接着剤７６の厚さ（高さ）ｄ３は、高粘度接着剤７４の凸状部の高さｄ１よりも低く、ｄ１＞ｄ３である。また、高さ調整部７８の高さｄ４は、低粘度接着剤７６の厚さよりも小さくなければならないが、あまり小さ過ぎると接着剤のはみ出し量が多くなってしまい効果がなく、また、高さ調整部７８の高さｄ４と低粘度接着剤７６の厚さが同程度だと低粘度接着剤７６の塗布ばらつきにより塗布量が少ないと高さ調整部７８が低粘度接着剤７６より高くなり、その部分において接合時に低粘度接着剤７６が相手側の基板に密着しなくなってしまう。

そこで、高さ調整部７８の高さｄ４は、例えば０．８×ｄ３＞ｄ４＞０．５×ｄ３、となるようにするのが好ましい。

このように高さ調整部７８を設けておき、図８（ｂ）に示すように、もう一つのシリコン基板８０を接合すると、まずシリコン基板８０は、高粘度接着剤７４と接触し、次に低粘度接着剤７６と接触する。そして、さらにシリコン基板８０を押し付けて行くと最後に高さ調整部７８と接触し、それ以上は高さ調整部７８が変形しない限りシリコン基板８０をシリコン基板７０側に押し付けて行くことはできない。これにより、シリコン基板８０を必要以上に押し付けて接着剤がはみ出すのを防止することができる。

なお、高さ調整部７８の材質や作り方は特に限定はされない。例えば、シリコン基板７０と一体的に加工してもよいし、後から樹脂や金属等で取り付けるようにしてもよい。

また、図９に示すように、相手側のシリコン基板８０の接合側の表面に高さ調整部８４を形成するようにしてもよい。このとき、高さ調整部８４は、接合したときにシリコン基板７０の低粘度接着剤７６の塗布領域の位置となるように形成される。

これまで説明してきたのは、例えばヘッド本体１２のインク流路を形成する際の基板の接合における例であったが、本発明はこのような基板の接合にのみ適用されるものではなく、例えば、前述したヘッド本体１２とインク供給部材１４との接合にも適用することができる。次にこれについて説明する。

図１０に示すように、ヘッド本体１２はインク供給部材１４の下面部（図では上向きに表現されているが）に形成された凹部４０に嵌め込んで接合される。

このとき、図１０に示すように、凹部４０の端部表面４０Ｂに高粘度接着剤７４を塗布して凸状部を形成し、凹部４０には低粘度接着剤７６を塗布する。これらの高粘度接着剤７４及び低粘度接着剤７６の塗布は前の例と同様、例えばディスペンサーによって行われる。ここで、低粘度接着剤７６の厚さは、凹部４０の底面４０Ｃからの高さが、凸状部よりも低くなるように塗布する。

そして、ヘッド本体１２を図に矢印で示したようにこの凹部４０に嵌め合わせるようにして接合して行くと、まず高粘度接着剤７４の凸状部がヘッド本体１２に接触し、さらに加圧して行くと凸状部が押しつぶされて、低粘度接着剤７６がヘッド本体１２と接触するようになる。ここでヘッド本体１２をさらに押し付けて行っても、低粘度接着剤７６は高粘度接着剤７４の凸状部があるため簡単にははみ出すようなことはない。

しかし、あまり押し付け過ぎると接着剤がはみ出してしまうので、押し付け過ぎを防止するために、図１１に示すように、インク供給部材１４の凹部４０内に高さ調整部８６を設けることが好ましい。

なお、高さ調整部８６は、凹部４０の底面４０Ｃからの高さが、低粘度接着剤７６の厚さ（底面４０Ｃからの高さ）よりは低くなるように形成される。また、高さ調整部８６の凹部４０の底面４０Ｃからの高さが、少なくとも凹部４０の端部表面４０Ｂよりも高くなるようにする。

このように高粘度接着剤７４で凸状部を形成して低粘度接着剤７６の塗布領域を縁取ることにより、接合時における低粘度接着剤７６のはみ出しを防止することができる。

図１２は、本発明に係るインクジェットヘッドが組み込まれたインクジェット記録装置（画像形成装置）の一実施形態を模式的に示す構成図である。

図１２に示すように、この画像形成装置としてのインクジェット記録装置１００は、主として、記録媒体１２２を給紙する給紙部１１０と、給紙部１１０から給紙された記録媒体１２２の記録面に所定の処理液を付与する処理液付与部１１２と、処理液が付与された記録媒体１２２の記録面にインク滴を打滴して画像を描画する描画部１１４と、画像が描画された記録媒体１２２の記録面を乾燥させる乾燥部１１６と、記録面に形成された画像を定着させる定着部１１８と、画像が記録された記録媒体１２２を回収する排紙部１２０とで構成されている。

給紙部１１０は、記録媒体１２２を格納するマガジン１４０を備えており、このマガジン１４０から１枚ずつ給紙トレイ１５０に給紙される。給紙トレイ１５０に給紙された記録媒体１２２は、渡し胴１５２を介して処理液付与部１１２の処理液ドラム１５４に受け渡される。

処理液ドラム１５４は、渡し胴１５２から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、第１の中間搬送ドラム１２４に受け渡す。処理液付与部１１２では、この処理液ドラム１５４によって回転搬送される記録媒体１２２に対して所定の処理液を一定の厚みで付与する。処理液の付与は、処理液付与装置１５６によって行われ、処理液付与装置１５６は、例えば、表面に処理液が付与された塗布ローラを記録媒体１２２の記録面に当接させて、処理液を付与する。処理液が付与された記録媒体１２２は、さらにドライヤ１５８とヒータ１６０で乾燥されたのち、第１の中間搬送ドラム１２４に受け渡される。

なお、この処理液付与部１１２で付与される処理液は、後段の描画部１１４で付与されるインク中の色材（顔料又は染料）を凝集又は増粘させる成分を含有する処理液である。このような処理液をインクの打滴前に付与することにより、ブリーディング等を防止でき、高品質な画像を描画することが可能になる。

第１の中間搬送ドラム１２４は、処理液ドラム１５４から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、描画部１１４の描画ドラム１７０に受け渡す。

描画ドラム１７０は、第１の中間搬送ドラム１２４から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、第２の中間搬送ドラム１２６に受け渡す。描画部１１４では、この描画ドラム１７０によって回転搬送される記録媒体１２２に対して、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの各色のインクジェットヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋからインク滴を打滴して、画像を描画する。

各インクジェットヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋは、所定の隙間をもって描画ドラム１７０に対抗して配置されており、シアン、マゼンタ、イエロー、ブラックの順で描画ドラム１７０の回転方向上流側から配置されている。また、各インクジェットヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋは、ラインヘッドで構成されており、記録媒体１２２の記録幅に対応して形成されている。

各インクジェットヘッド１７２Ｃ、１７２Ｍ、１７２Ｙ、１７２Ｋでインクが打滴された記録媒体１２２は、描画ドラム１７０から第２の中間搬送ドラム１２６に受け渡される。第２の中間搬送ドラム１２６は、描画ドラム１７０から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、乾燥部１１６の乾燥ドラム１７６に受け渡す。

乾燥ドラム１７６は、第２の中間搬送ドラム１２６から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、第３の中間搬送ドラム１２８に受け渡す。乾燥部１１６では、この乾燥ドラム１７６によって回転搬送される記録媒体１２２を第１、第２のヒータ１７８、１８２、及び、ドライヤ１８０によって乾燥させる。

乾燥された記録媒体１２２は、乾燥ドラム１７６から第３の中間搬送ドラム１２８に受け渡される。第３の中間搬送ドラム１２８は、乾燥ドラム１７６から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、定着部１１８の定着ドラム１８４に受け渡す。

定着ドラム１８４は、第３の中間搬送ドラム１２８から受け渡された記録媒体１２２を受け取り、回転搬送して、排紙部１２０のコンベア１９６に受け渡す。定着部１１８では、この定着ドラム１８４によって回転搬送される記録媒体１２２に対して、第１、第２の定着ローラ１８６、１８８で加熱、加圧して、描画された画像を定着させる。

画像が定着された記録媒体１２２は、定着ドラム１８４から排紙部１２０のコンベア１９６に受け渡される。コンベア１９６は、定着ドラム１８４から記録媒体１２２を受け取り、排紙部１２０に備えられた排紙トレイ１９２に搬送し、排紙トレイ１９２に回収する。

以上のように構成されたインクジェット記録装置１００によれば、描画部１１４において、各インクジェットヘッドから安定したインクの吐出ができるので、安定した画像の形成が可能となる。

以上、本発明の基板接合方法及びインクジェットヘッド並びに画像形成装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。

１０…インクジェットヘッド、１２…ヘッド本体、１４…インク供給部材、４０…凹部、７０、８０…シリコン基板、７２、８２…開口部、７４…高粘度接着剤（で形成された凸状部）、７６…低粘度接着剤、７８、８４、８６…高さ調整部

Claims (11)

1. 開口部を有する少なくとも２枚以上の基板を接着剤で接合する基板接合方法であって、
   開口部を有する一つの基板の開口部周辺の接合面となる基板表面に高粘度接着剤を塗布して前記開口部の周囲に凸状部を形成し、該凸状部以外の部分の前記基板表面に低粘度接着剤を、前記基板表面からの高さが前記凸状部の高さよりも低くなるように塗布し、
   他の基板を前記高粘度接着剤及び低粘度接着剤が塗布された前記一つの基板に対して、まず該他の基板が前記高粘度接着剤によって形成された凸状部に接触し、その後該他の基板が前記低粘度接着剤に接触するようにして接着することを特徴とする基板接合方法。
2. 前記高粘度接着剤の粘度は１０万ｃＰ以上であり、前記低粘度接着剤の粘度は５万ｃＰ以下であることを特徴とする請求項１に記載の基板接合方法。
3. 前記高粘度接着剤及び低粘度接着剤はそれぞれエポキシ系熱硬化型接着剤であることを特徴とする請求項１または２に記載の基板接合方法。
4. 前記高粘度接着剤と前記低粘度接着剤は、主剤と硬化剤が同じで、粘度調整剤の含有量が異なる接着剤であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板接合方法。
5. 前記低粘度接着剤が塗布される前記基板表面に各基板間の間隔を調整するための高さ調整部を設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板接合方法。
6. 前記高さ調整部は、前記低粘度接着剤が塗布される前記基板表面に高さが前記低粘度接着剤の塗布厚さよりも小さくなるように形成された凸状の部材であることを特徴とする請求項５に記載の基板接合方法。
7. 前記一つの基板に接合する他の基板の、接合時に前記一つの基板の低粘度接着剤が塗布された領域に対応する位置に、各基板間の間隔を調整するための高さ調整部を設けたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板接合方法。
8. 前記高さ調整部は、その高さが前記一つの基板に塗布される低粘度接着剤の厚さよりも小さくなるように形成された凸状の部材であることを特徴とする請求項７に記載の基板接合方法。
9. 複数の基板を接着剤により接合して積層して形成されるインクジェットヘッドであって、
   前記基板の開口部近傍は高粘度接着剤によって、それ以外の領域は低粘度接着剤によって接合され、前記低粘度接着剤が塗布された領域中に接合される基板間の間隔を調整するための高さ調整部を有することを特徴とするインクジェットヘッド。
10. 請求項１〜８のいずれかに記載の基板接合方法を用いて製造されたことを特徴とするインクジェットヘッド。
11. 請求項９または１０に記載のインクジェットヘッドを備えた画像形成装置。

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