JP2010177423A5 - - Google Patents
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Claims (2)
- 前記分割光学系は、前記複数の位置に形成される前記パターンの像が互いに同じ向きに投影されるように前記パターンからの光束を分割することを特徴とする請求項１に記載の投影光学系。
- 前記分割光学系は、位相格子を含むことを特徴とする請求項７に記載の投影光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009018093A JP5505685B2 (ja) | 2009-01-29 | 2009-01-29 | 投影光学系、並びに露光方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2009018093A JP5505685B2 (ja) | 2009-01-29 | 2009-01-29 | 投影光学系、並びに露光方法及び装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010177423A JP2010177423A (ja) | 2010-08-12 |
| JP2010177423A5 true JP2010177423A5 (ja) | 2012-10-25 |
| JP5505685B2 JP5505685B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=42708076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2009018093A Expired - Fee Related JP5505685B2 (ja) | 2009-01-29 | 2009-01-29 | 投影光学系、並びに露光方法及び装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| JP (1) | JP5505685B2 (ja) |
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2009
- 2009-01-29 JP JP2009018093A patent/JP5505685B2/ja not_active Expired - Fee Related
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