JP2010176131A5 - - Google Patents

Description

物体平面７から発し、左接眼レンズ１７における像の生成に寄与する光は、図１に参照番号２１で示される部分ビーム束であり、この部分ビーム束２１の中心軸２３は、対物レンズ５の光軸２５に対して角度αで配向されている。同様に、右接眼レンズ１８における物体平面７の像に寄与する光は、図１に参照番号２２で示されるビーム束９の部分ビーム束であり、部分ビーム束２２の中心軸２４は、光軸２５に対して角度−αで配向されてい
る。両方の部分ビーム束２１、２２は、それぞれ左接眼レンズ１７および右接眼レンズ１８に像を生成するために、異なる角度で物体平面７から発し、接眼レンズ１７、１８に生成された像は、顕微鏡システム１の使用者によって立体視的像として知覚される。

示された実施例において、対物レンズ５は、顕微鏡光学系３のフロントレンズ１１と、図１に矢印２で概略的に示すようにフロントレンズ１１に対して光軸２５に平行な方向に変位させることができるもう１つのレンズ２７とを含む２つのレンズアセンブリを含む。２つのレンズアセンブリ１１と２７との相対的な変位は、フロントレンズ１１と物体平面７との間の作動距離ｗの変化を引起こす。顕微鏡光学系３の作動距離ｗのそのような変化は、検査中の物体が、フロントレンズ１１のより近くまたはさらに遠くに移動される場合、必要になることがある。

図１に示す例において、実体顕微鏡システム１は、作動距離ｗを測定するように、測定放射３２を物体８に向かって放出し、物体８によって反射された測定放射３３を受け取るように構成された距離センサ３１を含む。距離センサ３１の検出信号は、データ線３４を介してコントローラ３５に伝送される。コントローラ３５は、アクチュエータ３７を制御線３６を介して検出信号に依存して制御する。アクチュエータ３７は、物体８の表面の像を接眼レンズ１７、１８に生成するために、物体平面７が物体８の表面とおよそ一致するよう物体平面７を調節するために、対物レンズ５のレンズ２７をレンズ１１に対して変位させるように構成されている。

照明システム５１は、物体平面７に向けられた第１の照明ビーム５５を生成するように構成された第１の照明システム５４を含む。第１の照明システム５４は、対物レンズ５に隣接して配置されており、光源５６のシャーシ５９によって支持されたハロゲンランプなどの光源５６と、反射器５７と、コリメータレンズ５８とを含む。

図２の説明において、第１の照明光ビーム５５の主軸６０は、顕微鏡光学系３によってはっきりと画像化される物体平面７からｈの距離に配置された平面７′において光軸２５と交差する。図２には、狭い体腔６５の底部６３が実体顕微鏡システム１によって観察される状況が概略的に示されており、体腔６５の底部６３は、顕微鏡光学系３の物体平面７とおよそ一致しており、体表６４は、物体平面７からｈの距離にある平面７′に配置されている。第１の照明光ビーム５５の平面７′での断面は、体腔５５の開口部横断面よりも実質的に大きい。しかしながら、第１の照明光ビーム５５の中心軸６０は、第１の照明光ビーム５５が体腔６５に体腔６５の開口部横断面を通って入り、第１の照明光ビーム５５の体腔６５に入っている部分ができる限り大きいことを可能にするように、物体平面７の近傍でではなく、平面７′の近傍で光軸２５と交差する。

コントローラ３５が対応する作動機能を共通モータ駆動アクチュエータで引き起こすことを可能にするように、照明システム７１および５４の回転位置を調節するように構成されたアクチュエータ８１または第１の鏡９５の回転位置を調節するように構成されたアクチュエータ１０５のうち１つを、作動位置ｗを調節するように構成されたアクチュエータ３７に結合することも可能である。