JP2010175543A5

JP2010175543A5 -

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Publication number: JP2010175543A5
Application number: JP2010018594A
Authority: JP
Filing date: 2010-01-29
Publication date: 2012-11-08
Anticipated expiration: 2030-01-29

Claims

マイクロメカニカル構造体（１）の直交補償方法であって、
前記マイクロメカニカル構造体（１）は、主延在面（１００）を有する基板（２）と、ばね部材により前記基板（２）に固定されている振動質量体（３）と、前記基板（２）と接続されている第１の補償電極（４０）と、前記基板（２）と接続されている第２の補償電極（５０）とを有し、前記第１の補償電極（４０）と前記振動質量体（３）との間における第１の直交電圧（Ｕ₄₀）の印加により、前記振動質量体（３）に対する第１の補償力（４１）が生じ、前記第２の補償電極（５０）と前記振動質量体（３）との間における第２の直交電圧（Ｕ₅₀）の印加により、前記振動質量体（３）に対する第２の補償力（５１）が生じる、直交補償方法において、
前記第２の直交電圧（Ｕ₅₀）を前記第１の直交電圧（Ｕ₄₀）に依存して調整することを特徴とする、直交補償方法。
前記第２の直交電圧（Ｕ₅₀）を同期式に、または持続的に、前記第１の直交電圧（Ｕ₄₀）に依存して調整する、請求項１記載の方法。
前記第１の直交電圧（Ｕ₄₀）の平方と前記第２の直交電圧（Ｕ₅₀）の平方の和が常に一定であるように前記第２の直交電圧（Ｕ₅₀）を調整する、請求項１または２記載の方法。
前記第２の直交電圧（Ｕ₅₀）を前記第１の直交電圧（Ｕ₄₀）の関数として算出し、該関数は少なくとも前記第１の直交電圧（Ｕ₄₀）の最小電圧（Ｕ_40,min）と前記第１の直交電圧（Ｕ₄₀）の最大電圧（Ｕ_40,max）との間で単調に降下する、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
前記第２の直交電圧（Ｕ₅₀）を前記第１の直交電圧（Ｕ₄₀）の平方根関数に依存して調整する、請求項１から４までのいずれか１項記載の方法。
前記平方根関数の独立変数を少なくとも、第１の定数の平方と前記第１の直交電圧（Ｕ₄₀）の平方の差として算出し、前記第１の定数は前記最大電圧（Ｕ_40,max）を含む、請求項５記載の方法。
前記平方根関数の独立変数を第１の加数の平方と第２の加数の平方と第３の加数の平方との和から算出し、前記第１の加数は前記最大電圧（Ｕ_40,max）とオフセット電圧（Ｕ_off）の差を含み、前記第２の加数は前記最小電圧（Ｕ_40,min）と前記オフセット電圧（Ｕ_off）の差を含み、前記第３の加数は前記第１の直交電圧（Ｕ₄₀）と前記オフセット電圧（Ｕ_off）の差を含み、前記平方根関数に前記オフセット電圧（Ｕ_off）を加算する、請求項５記載の方法。
前記第１の補償力（４１）によって一方の補償方向に沿った前記振動質量体（３）の第１の補償運動を生じさせ、前記第２の補償力（５１）によって前記一方の補償方向に対して逆平行の補償方向における前記振動質量体（３）の第２の補償運動を生じさせ、前記補償方向は前記主延在面（１００）に対して垂直、もしくは平行、もしくは垂直且つ平行に配向されている、請求項１から７までのいずれか１項記載の方法。
マイクロメカニカル回転レートセンサの補償調整に使用する、請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。