JP2010175437A - 半導体集積回路とテスト方法 - Google Patents
半導体集積回路とテスト方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010175437A JP2010175437A JP2009019509A JP2009019509A JP2010175437A JP 2010175437 A JP2010175437 A JP 2010175437A JP 2009019509 A JP2009019509 A JP 2009019509A JP 2009019509 A JP2009019509 A JP 2009019509A JP 2010175437 A JP2010175437 A JP 2010175437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- signal
- delay
- time
- output
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【課題】セットアップおよびホールド時間を高精度に測定することができる半導体集積回路の提供。
【解決手段】順序回路(13)のテストを行うテスト回路(100)が、第1の信号を入力とする第1の遅延回路(111、113)と、第1の遅延回路(111、113)の出力である第2の信号を入力とする第2の遅延回路(112、114)と、第1の信号(1)と、第2の遅延回路(112、114)の出力である第3の信号(3)を入力とし第1の信号(1)の遷移と第3の信号(3)の遷移との間の期間に、2値の一方の論理レベルとされる第4の信号(Int.CAi−j)を生成する変調回路(14)を備え、第1遅延回路(111、113)の出力である第2の信号が順序回路(13)のクロック端子に入力され、変調回路(14)からの第4の信号(Int.CAi−j)が順序回路(13)の入力端子に供給される。
【選択図】図1
【解決手段】順序回路(13)のテストを行うテスト回路(100)が、第1の信号を入力とする第1の遅延回路(111、113)と、第1の遅延回路(111、113)の出力である第2の信号を入力とする第2の遅延回路(112、114)と、第1の信号(1)と、第2の遅延回路(112、114)の出力である第3の信号(3)を入力とし第1の信号(1)の遷移と第3の信号(3)の遷移との間の期間に、2値の一方の論理レベルとされる第4の信号(Int.CAi−j)を生成する変調回路(14)を備え、第1遅延回路(111、113)の出力である第2の信号が順序回路(13)のクロック端子に入力され、変調回路(14)からの第4の信号(Int.CAi−j)が順序回路(13)の入力端子に供給される。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体集積回路装置に関し、特にセットアップ/ホールド時間の測定に好適な半導体集積回路装置とテスト方法に関する。
半導体集積回路デバイスの動作周波数が高速になるに従って入力信号のタイミングも短くなっている。デバイスのACタイミング測定(例えばセットアップ時間、ホールド時間)を行うためには、高周波数で動作するテスタで高精度の測定が必要となる。なお、セットアップ時間は、ラッチ、フリップフロップ等の順序回路においてデータを確実にサンプルするために、クロックの立ち上がりエッジ(又は立ち下がりエッジ)以前にデータ信号を安定させておかなければならない最小時間であり、ホールド時間は、クロックの立ち上がりエッジ(又は立ち下がりエッジ)の後にデータ信号を保持しておかなければならない最小時間をいう。
図11は、ウェハテストの接続状態を模式的に示す図である。テスタ(TESTER)30からのクロック信号(差動クロックCK、/CK)は、接点Aから、不図示のプローブカード、針(ブローブ針)を介して、デバイスのクロック(CLK)初段回路11’に入力される。特に制限されないが、図11の例では、クロック初段回路11’は、差動で入力されたクロックCK、/CKを受け、差動内部クロックInt.CK、Int./CKを出力する差動の受信回路(受信バッファ)を含む。
テスタ30からの外部入力信号(外部コマンド/アドレス信号)Ext.CAi−jは、アドレス/コマンド(ADD/CMD)初段回路12’に入力され、アドレス/コマンド・ラッチ(ADD/CMD Latch)回路13は、クロック初段回路11’からのクロックに同期して、アドレス/コマンド初段回路12’の出力をサンプルする。なお、外部入力信号Ext.CAi−jは、時間的に前後して入力されるi番目のCAiからj番目のCAjの各ビットを表している。CA(コマンド/アドレス)は、アドレス信号の所定のビットに設定されるコマンド情報であり、アドレス/コマンド・ラッチ回路13でサンプルされ、後段の回路で利用される(CAについては例えばLow Power DDR(Double Data Rate)2の仕様等が参照される)。なお、アドレス/コマンド初段回路12’と、アドレス/コマンド・ラッチ回路13を備えたアドレス/コマンド入力回路ブロック10’は、CA(コマンド/アドレス)のビット幅に対応して並置されており、複数のアドレス/コマンド入力回路ブロック10’のアドレス/コマンド初段回路12’に、複数ビットのExt.CAiがパラレルに入力される。クロック初段回路11’は複数のアドレス/コマンド入力回路ブロック10’に対して1つ設けられる。
なお、特許文献1には、基準クロックを第1の設定信号に対応させて第1の遅延時間遅延させ第1のクロックを生成する第1の遅延回路と、基準クロックを第2の設定信号に対応させて第2の遅延時間遅延させ第2のクロックを生成する第2の遅延回路と、第2のクロックに基づいて生成したダミーデータを第1のクロックに基づいて作成したダミークロックのタイミングで取り込むダミー入力ラッチを備えた構成が開示されている。また特許文献2には、入力信号の位相関係を判定する構成が開示されている。また、特許文献3には、遅延制御部の遅延時間を調整して入力回路のセットアップ、ホールドを変化させ、最適なセットアップ、ホールドマージンを有する入力データを作成する構成が開示されている。
以下に本発明による分析を与える。
図12は、図11において、テスタ30の出力波形(接点Aの波形)、デバイス入力(接点Bの波形)と、高速動作時のデバイス入力波形(接点Bの波形)を示す図である。接点Bの波形は、プローブカード(不図示)の配線負荷、プローブ針(不図示)と被試験デバイスの電極パッドとの接触抵抗、多並列測定(複数のデバイスの該当パッドに対して共通に一つの針から信号が供給される)による負荷の多重化等により、信号波形が鈍る。
被試験デバイスを高速で動作させる場合、テスタでは高速動作に対応可能であっても、プローブカード、プローブ針経由で、被試験デバイスの電極パッドに印加される信号波形は、図12の「デバイス入力(接点B)高速入力時」のようにつぶれる。例えばLowからHighの立ち上がり波形が鈍りHighに立ち上がる前にLowに立ち下がってしまい、矩形パルスとはならない。
ウェハ試験においては、プローブカードによる波形の鈍りやテスタ仕様等により、測定に限界がある。しかしながら、ウェハ試験において、単に、DC試験だけでなく、ウェハ状態で、被試験デバイスを高速動作させた上で良/不良を判定し製品出荷する場合もあり、ウェハ試験において、被試験デバイスの高速動作測定(ファンクショナル試験、AC試験等)を行う必要がある。この場合、図12に示したように、高速動作時に、被試験デバイスの電極パッドに印加される信号波形はつぶれてしまい、このような入力信号を用いて、例えばセットアップ時間/ホールド時間を高精度に測定することはできない。
本発明は、上記問題点の少なくとも1つを解決するものである。
本発明によれば、順序回路を含む半導体集積回路のテストにあたり、第1の信号を第1の遅延時間遅延させた第2の信号と、前記第2の信号を第2の遅延時間遅延させた第3の信号を生成し、
前記第1の信号の遷移と前記第3の信号の遷移との間の期間、2値の一方の値とされる第4の信号を生成し、
前記順序回路が、前記第4の信号を入力し、前記第1の信号と前記第3の信号の遷移の時間間隔の間に遷移する前記第2の信号に基づき、サンプルする、上記工程を含む方法が提供される。本発明において、テスト装置側から、第1の遅延時間、第2の遅延時間を順次可変させ、前記半導体集積回路の良不良判定を行うことで、前記順序回路のセットアップ時間、ホールド時間の試験を行う。
前記第1の信号の遷移と前記第3の信号の遷移との間の期間、2値の一方の値とされる第4の信号を生成し、
前記順序回路が、前記第4の信号を入力し、前記第1の信号と前記第3の信号の遷移の時間間隔の間に遷移する前記第2の信号に基づき、サンプルする、上記工程を含む方法が提供される。本発明において、テスト装置側から、第1の遅延時間、第2の遅延時間を順次可変させ、前記半導体集積回路の良不良判定を行うことで、前記順序回路のセットアップ時間、ホールド時間の試験を行う。
本発明によれば、順序回路と、前記順序回路のテストを行うテスト回路を備え、前記テスト回路は、第1信号を入力とする第1の遅延回路と、前記第1の遅延回路の出力である第2信号を入力とする第2の遅延回路と、前記第1信号と、前記第2の遅延回路の出力である第3信号を入力とし、前記第1信号の遷移と前記第3信号の遷移との間の期間に、2値の一方の論理レベルとされる第4信号を生成する変調回路と、を備え、前記第1遅延回路の出力である第2信号が前記順序回路のクロック端子に入力され、前記変調回路からの前記第4信号が前記順序回路の入力端子に入力される装置が提供される。
本発明によれば、デバイス内の順序回路のセットアップ及びホールドを高精度に測定することができる。
本発明の実施の形態を以下に説明する。本発明においては、半導体集積回路は、順序回路(13/23)と、前記順序回路のテストを行うテスト回路(100)と、を備え、テスト時、テスト回路(100)は、第1の信号(1)を入力とする第1の遅延回路(111、113)と、前記第1の遅延回路(111、113)の出力である第2の信号(2)を入力とする第2の遅延回路(112、114)と、前記第1の信号(1)と前記第2の遅延回路(112、114)の出力である第3の信号(3)とを入力し、前記第1の信号(1)の遷移と前記第3の信号(3)の遷移との間の期間に2値の一方の論理レベルとされる第4の信号(Int.CAi−j/Int.DQi)を生成する変調回路(14/24)とを備えている。前記第2の信号(2)は、前記順序回路(13/23)のクロック端子に入力され、前記変調回路から出力される前記第4の信号は、前記順序回路(13/23)の入力端子に入力される。第1の遅延回路(111、113)の遅延時間、第2の遅延回路(112、114)の遅延時間を可変させ、半導体集積回路の良不良判定を行うことで、前記順序回路(13/23)のセットアップ時間、ホールド時間の試験を行う。
デバイスに入力される信号は、様々な要因で波形なまりが生じるが、本発明によれば、一つの外部信号を基準として、デバイス内部で信号波形を生成することで、外部要因でのなまり等によるずれの影響はなくなる。また本発明によれば、複数の被試験デバイスを同時に試験する並列試験において、遅延値をデバイス毎に設定可能とされ、高精度なセットアップ/ホールド時間の試験が可能になる。さらに本発明によれば、入力信号のセットアップ時間及びホールド時間をウェハ測定や低速テスタでも高精度で測定可能である。以下具体的な実施例に即して説明する。なお、以下では、順序回路を備えた半導体集積回路装置として、クロック同期型メモリ(SDRAM(Synchronous DRAM)を例に説明するが、本発明は、メモリデバイスに限定されるものでないことは勿論である。
図1は、本発明の一実施例の半導体集積回路装置の構成を示す図である。図1を参照すると、テスト回路100は、いずれも不図示のテスタからプローブカード、プローブ針を介して供給されるクロック信号CLKlを受ける基準クロック(CLK)発生回路101と、セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路(tS/tH Modulation Delay発生回路)110と、いずれも不図示のテスタからプローブカード、プローブ針を介して供給されるクロック信号CLK2を受ける基準クロック(CLK)発生回路102と、セットアップ/ホールド時間・変調・遅延(tS/tH Modulation Delay)発生回路120と、を備えている。
アドレス/コマンド入力回路ブロック10は、アドレス/コマンド(ADD/CMD)初段回路12と、アドレス/コマンド・ラッチ(ADD/CMD Latch)回路13と、セットアップ/ホールド時間・変調(tS/tH Modulation)回路14を備えている。
基準クロック発生回路101、102と、セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路110、120からなる回路は、複数のアドレス/コマンド入力回路ブロック10に対して、1セット設けられている。
セットアップ/ホールド時間・変調回路14は、複数のアドレス/コマンド入力回路ブロック10の夫々に備えられる。このセットアップ/ホールド時間・変調回路14は、テスタ、プローブカード、プローブ針を介して、個々のアドレス/コマンド・ラッチ(ADD/CMD Latch)回路13に対応した外部コマンド/アドレス信号Ext.CAiからCAj(「Ext.CAi−j」と表記する)がパラレルに入力され、内部コマンド/アドレス信号Int.CAi、Int.CAj(「Int.CAi−j」と表記する)を生成出力する。この構成を用いて、個々のアドレス/コマンド・ラッチ(ADD/CMD Latch)回路13に対するセットアップ時間及びホールド時間の測定が可能となる。
アドレス/コマンド初段回路12には、通常動作時は、外部コマンド/アドレス信号Ext.CAi−jが入力され、テスト時には、セットアップ/ホールド時間・変調回路14から出力される内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jが入力される。アドレス/コマンド初段回路12において、通常動作時とテスト時におけるExt.CAi−jと、Int.CAi−jの切替は、例えばテスタより与えられるテスト制御信号により切替スイッチ(不図示)で行うようにしてもよい。
アドレス/コマンド・ラッチ回路13は、クロック初段回路11からのクロックに応答して、アドレス/コマンド初段回路12の出力をラッチする。クロック初段回路11は、複数のアドレス/コマンド入力回路ブロック10に対して共通に内部クロック信号を供給する。
基準クロック発生回路101は、テスタからのクロック信号CLK1を入力し、第1信号(1)を出力する入力バッファ回路で構成される。基準クロック発生回路102は、テスタからのクロック信号CLK2を入力し、第4信号(4)を出力する入力バッファ回路で構成される。CLK1、CLK2は、テスト時に、不図示のテスタから供給される任意の外部信号を用いることが可能であり、例えば相補のクロック信号CK、/CKが入力される。特に制限されないが、例えば本実施例において、テスタ側から、プローブカード、プローブ針を介して、CLK1のクロックパルスを、テスト回路100の基準クロック発生回路101に供給する。このとき、テスタはCLK2を例えばLowレベルとする。次に、テスタから、プローブカード、プローブ針を介して、CLK2のクロックパルスを基準クロック発生回路102に供給する。このとき、テスタは、CLK1を例えばLowレベルとする。これにより、基準クロック発生回路101へクロック信号CLK1を供給し、クロック信号CLK1を遅延させた信号の立ち上がりエッジに対するセットアップ/ホールド時間を測定し、さらに、基準クロック発生回路102へのクロック信号CLK2を供給し、クロック信号CLK2を遅延させた信号の立ち上がりエッジに対するセットアップ/ホールド時間を測定することが可能となる。なお、詳細については後述する。
セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路110は、基準クロック発生回路101の出力である第1信号(1)を入力する遅延回路(Delay1)111と、遅延回路(Delay1)111の出力を入力する微調遅延回路(Tuning Fine Delay1)113と、微調遅延回路113の出力である第2信号(2)を入力する遅延回路(Delay2)112と、遅延回路112の出力を入力する微調遅延回路(Tuning Fine Delay1)114とを備えている。
セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路110の微調遅延回路114から第3信号(3)が生成される。生成された第3信号(3)は、セットアップ/ホールド時間・変調回路14に入力される。
セットアップ/ホールド時間・変調回路14は、第1信号(1)、第3信号(3)を入力として、その論理出力である内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jを出力する。そして、この内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jは、テスタ、プローブカード、プローブ針からの外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−jの論理値に依存して、位相が反転する信号である。さらに、例えばセットアップ/ホールド時間・変調回路14は、第1信号(1)の遷移エッジ(例えば立ち上がり遷移エッジ)と第3信号(3)の遷移エッジ(例えば立ち上がり遷移エッジ)で、内部アドレス/コマンド信号Int.Cai−jの値を反転させる。
セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路120は、基準クロック発生回路102の出力である第4信号(4)を入力する遅延回路(Delay3)121と、遅延回路(Delay1)121の出力を入力する微調遅延回路(Tuning Fine Delay1)123と、微調遅延回路123の出力である第5信号(5)を入力する遅延回路(Delay1)122と、遅延回路122の出力を入力する微調遅延回路(Tuning Fine Delay1)124とを備えている。
セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路120の微調遅延回路(Fine Delay1)124から第6信号(6)が生成される。第6信号(6)は、セットアップ/ホールド時間・変調回路14に入力される。
セットアップ/ホールド時間・変調回路14は、第4信号(4)、第6信号(6)を入力として、その論理出力である内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jを出力する。そして、この内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jは、テスタ、プローブカード、プローブ針からの外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−jの論理値に依存して、位相が反転する信号である。さらに、例えばセットアップ/ホールド時間・変調回路14は、第4信号(4)の遷移エッジ(例えば立ち上がり遷移エッジ)と第6信号(6)の遷移エッジ(例えば立ち上がり遷移エッジ)で、内部アドレス/コマンド信号Int.Cai−jの値を反転させる。
セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路110の微調遅延回路(Fine Delay1)113から第2信号(2)が生成される。生成された第2信号(2)は、クロック初段回路11に入力される。クロック初段回路11は、通常動作時には、外部から入力される差動クロック(CK、/CK)を受けて差動の内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)として個々のアドレス/コマンド・ラッチ(ADD/CMD Latch)回路13に出力する。クロック初段回路11は、テスト時に第2信号(2)が入力されるように切り替える切替スイッチ(不図示)を備えている。テスト時には、この第2信号(2)を受け、内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)として個々のアドレス/コマンド・ラッチ(ADD/CMD Latch)回路13に出力する。なお、クロック初段回路11は、テスト時に、第2信号(2)から内部クロック信号を差動で出力するようにしてもよい。
第1信号(1)と第2信号(2)の遷移エッジ(例えば立ち上がりエッジ)間の遅延時間(Delay1)が、アドレス/コマンド・ラッチ回路13のtS(セットアップ時間)に相当し、第2信号(2)と第3信号(3)の間の遷移エッジ(例えば立ち上がりエッジ)の遅延時間(Delay2)が、アドレス/コマンド・ラッチ回路13のtH(ホールド時間)に相当する。
セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路120の微調遅延回路(Fine Delay1)123から第5信号(5)が生成される。生成された第5信号(5)は、クロック初段回路11に入力される。クロック初段回路11は、通常動作時には、上述したように、外部から入力される差動クロック(CK、/CK)を受けて差動の内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)として個々のアドレス/コマンド・ラッチ(ADD/CMD Latch)回路13に出力する。そして、クロック初段回路11は、テスト時に第5信号(5)が入力されるように切り替える切替スイッチ(不図示)を備えている。テスト時には、この第5信号(5)を受け、内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)として個々のアドレス/コマンド・ラッチ(ADD/CMD Latch)回路13に出力する。なお、クロック初段回路11は、テスト時に、第5信号(5)から、内部クロック信号を差動で出力する構成としてもよい。
クロック初段回路11の上記切替スイッチ(不図示)は、通常動作時は、差動クロック(CK、/CK)が入力されるように選択し、テスト時には、第2信号(2)又は第5信号(5)のいずれが入力されるように選択し、内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)として出力する。
第4信号(4)と第5の信号(5)の遷移エッジ(例えば立ち上がりエッジ)間の遅延時間(Delay3)が、アドレス/コマンド・ラッチ回路13のtS(セットアップ時間)に相当し、第5の信号(5)と第6信号(6)の遷移エッジ(例えば立ち上がりエッジ)間の遅延時間(Delay4)が、アドレス/コマンド・ラッチ回路13のtH(ホールド時間)に相当する。
微調遅延回路113、114、123、124の遅延時間は可変とされ、例えば4ビットのコードで16段階の調整可能とされる。微調遅延回路113、114、123、124において遅延時間を可変する時間分解能は、遅延回路111、112、121、122の時間分解能よりも、短時間とされる。特に制限されないが、微調遅延回路113、114、123、124は、遅延回路111、112、121、122の単位遅延時間を、さらに16通りの分解能で微調整する構成としてもよい。
遅延回路111、112、121、122及び微調遅延回路113、114、123、124は、一般的に電源電圧依存性を持つので、これら遅延回路及び微調遅延回路を定電圧電源で駆動することにより、精度の高い遅延を生成することができる。また、定電圧電源の出力電圧を制御することによっても、高精度の遅延時間を得ることができる。
図2は、図1におけるセットアップ/ホールド時間・変調回路14の構成例である。図3(A)、図3(B)は、図1の実施例のテスト時の動作を説明するタイミング図である。
図2のセットアップ/ホールド時間・変調回路14は、
外部コマンド/アドレス信号Ext.CAi−j(代表として一つを示す)を入力とするインバータ151と、
第1信号(1)と第3信号(3)とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路152と、
第4信号(1)と第6信号(6)とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路153と、
排他的論理和(EXOR)回路152の出力と、排他的論理和(EXOR)回路153の出力とを入力とする論理和(OR)回路154と、
インバータ151の出力とOR回路154の出力とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路155と、を備えている。
外部コマンド/アドレス信号Ext.CAi−j(代表として一つを示す)を入力とするインバータ151と、
第1信号(1)と第3信号(3)とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路152と、
第4信号(1)と第6信号(6)とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路153と、
排他的論理和(EXOR)回路152の出力と、排他的論理和(EXOR)回路153の出力とを入力とする論理和(OR)回路154と、
インバータ151の出力とOR回路154の出力とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路155と、を備えている。
図3(A)、図3(B)には、夫々、クロック信号CLK1による試験とクロック信号CLK2による試験の動作が示されている。図3(A)を参照すると、クロック信号CLK1、第1信号(1)、第2信号(2)、第3信号(3)、外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−j(代表として一つを示す)、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−j(代表として一つを示す)の信号波形が示されている。テスタから与えられるExt.CAi−jはLowとされている。ここで、まずセットアップ/ホールド時間・変調回路14に入力される第1信号(1)、第3信号(3)、第4信号(1)及び第6信号(6)の全てがLowであることから、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jは、Highレベルに初期設定される。内部アドレス/コマンド信号Int.CAiは、第1信号(1)の立ち上がり遷移でHighからLowとなり、第3信号(3)の立ち上がり遷移までの期間、Lowとされ、第3信号(3)の立ち上がり遷移でHighに設定される。
アドレス/コマンド・ラッチ回路13は、第2信号(2)の立ち上がりエッジに応答して、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jをラッチする。
つまり、この第1信号(1)の立ち上がりエッジから第2信号(2)の立ち上がりエッジまでの遅延が、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがHighからLowへ遷移するときのアドレス/コマンド・ラッチ回路13のセットアップ時間(tS)に対応する。また、第2信号(2)の立ち上がりエッジから第3信号(3)の立ち上がりエッジまでの遅延が、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがLowからHighへ遷移するときのアドレス/コマンド・ラッチ回路13のホールド時間(tH)に対応する。
図3(B)を参照すると、CLK2、第4乃至第6信号、Highレベルとされた外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−j、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jの信号波形が示されている。図3(A)と異なり、ここではテスタから与えられるExt.CAi−jがHighとされていることから、図2のセットアップ/ホールド時間・変調回路14により、その出力である内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jはLowレベルに初期設定されている。
第4信号(4)の立ち上がりエッジに応答して内部アドレス/コマンド信号Int.CA−jが反転してHighに立ち上がり、第6信号(6)の立ち上がりエッジに応答して内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jが反転してLowに立ち下がる。
アドレス/コマンド・ラッチ回路13は、第5信号(5)の立ち上がりエッジで内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jをラッチする。
この第4信号(4)の立ち上がりエッジから第5信号(5)の立ち上がりエッジまでの遅延が、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがLowからHighへ遷移するときのアドレス/コマンド・ラッチ回路13のセットアップ時間(tS)に対応する。また、第5信号(5)の立ち上がりエッジから第6信号(6)の立ち上がりエッジまでの遅延が、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがHighからLowへ遷移するときのアドレス/コマンド・ラッチ回路13のホールド時間(tH)に対応する。
図4は、図1(及び図2)に示した本実施例の構成において、外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−jがLowレベル及びHighレベルの夫々について、クロック信号CLK1とCLK2とを連続してテスト回路100に入力し、夫々のクロックに対するセットアップ時間とホールド時間をテストする場合のタイミング図である。
図4のタイミング図を参照して、まず、tS/tH区間1(CLK1)において、 第1信号(1)の立ち上がりエッジから第2信号(2)の立ち上がりエッジまでの遅延が、アドレス/コマンド・ラッチ回路13のセットアップ時間(tS)に対応する。また、第2信号(2)の立ち上がりエッジから第3信号(3)の立ち上がりエッジまでの遅延が、アドレス/コマンド・ラッチ回路13のホールド時間(tH)に対応する。
ここで、外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−jがLowレベルとされている場合、このセットアップ時間(tS)は、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがHighからLowへ遷移するに当たり、内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)である第2信号(2)の立ち上がりエッジに対してセットアップに要する時間である。また、このホールド時間(tH)は、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがLowからHighへ遷移するに当たり、内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)である第2信号(2)の立ち上がりエッジに対してホールドしておくべき時間である。
そして、外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−jがHighレベルとされている場合、このセットアップ時間(tS)は、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがLowからHighへ遷移するに当たり、内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)である第2信号(2)の立ち上がりエッジに対してセットアップに要する時間である。
また、このホールド時間(tH)は、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがHighからLowへ遷移するに当たり、内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)である第2信号(2)の立ち上がりエッジに対してホールドしておくべき時間である。
次に、tS/tH区間2(CLK2)において、第4信号(4)の立ち上がりエッジから第5信号(5)の立ち上がりエッジまでの遅延が、アドレス/コマンド・ラッチ回路13のセットアップ時間(tS)に対応する。また、第5信号(5)の立ち上がりエッジから第6信号(6)の立ち上がりエッジまでの遅延が、アドレス/コマンド・ラッチ回路13のホールド時間(tH)に対応する。
ここで、外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−jがLowレベルとされている場合、このセットアップ時間(tS)は、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがHighからLowへ遷移するに当たり、内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)である第5信号(5)の立ち上がりエッジに対してセットアップに要する時間である。また、このホールド時間(tH)は、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがLowからHighへ遷移するに当たり、内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)である第5信号(5)の立ち上がりエッジに対してホールドしておくべき時間である。
そして、外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−jがHighレベルとされている場合、このセットアップ時間(tS)は、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがLowからHighへ遷移するに当たり、内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)である第5信号(5)の立ち上がりエッジに対してセットアップに要する時間である。
また、このホールド時間(tH)は、内部アドレス/コマンド信号Int.CAi−jがHighからLowへ遷移するに当たり、内部クロック信号(Int.CK、Int./CK)である第5信号(5)の立ち上がりエッジに対してホールドしておくべき時間である。
本実施例によれば、ウェハ試験時、テスタから被試験デバイスのテスト回路100に供給される制御信号により、セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路110、120の遅延時間を設定する。例えばテスタから、クロックCLK1、外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−jを被試験デバイスに与える。このとき、テスタからのCLK2はLowとされる。ファンクションショナル・テスト(例えばレジスタ等に外部アドレス/コマンド信号が正しく設定されたか否かをデバイスのパス/フェイルでチェック)を行うことで、アドレス/コマンド・ラッチ回路13のセットアップ時間、ホールド時間の測定が行われる。
例えば、被試験デバイスがパスしていた状態から遅延回路111の遅延時間(Delay1)を順次短くして行き、被試験デバイスがフェイルした時点の遅延時間(Delay1)がセットアップ時間となる。また被試験デバイスがパスしていた状態から遅延回路112の遅延時間(Delay2)を順次短くして行き、被試験デバイスがフェイルした時点の遅延時間(Delay2)がホールド時間となる。
次に、テスタからCLK1をLowとし、CLK2と、外部アドレス/コマンド信号Ext.CAjをテスタから与える。CLK2によるセットアップ時間、ホールド時間のテストを行う。あるいは、例えばCLK1に正相クロックCK、CLK2に逆相クロック/CK(CKの相補信号)を与え、CLK1では、CKの立ち上がりエッジに対応するセットアップ、ホールド時間をテストし、CLK2では、/CKの立ち上がりエッジ(CKの立ち下がりエッジ)に対応するセットアップ、ホールド時間のテストを行うようにしてもよい。
なお、本実施例では、外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−jをラッチするためのアドレスコマンドラッチ回路のセットアップ時間/ホールド時間を測定する場合に適用した例を示したが、外部データ信号Ext.DQiをラッチするためのDQラッチ回路を含む他の保持回路のセットアップ時間/ホールド時間を測定する場合に適用できるのは当然である。
次に、本発明の別の実施例を説明する。図5は、本実施例の構成を示す図である。テスト回路100の基準クロック発生回路101、102、セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路110、120の構成は、前記実施例と同一とされ、前記実施例と同様、測定対象のセットアップ/ホールド時間(Delay値)を可変に設定する。
データ入力回路ブロック20は、DQi初段回路22、DQラッチ(Latch)回路23、セットアップ/ホールド時間・変調(tS/tH Modulation)回路24を備えている。
DQi初段回路22は、通常動作時は、外部入力されるデータ信号(「外部データ信号」という)Ext.DQiが入力され、テスト時は、セットアップ/ホールド時間・変調回路24で生成される内部データ信号Int.DQiが入力される。DQi初段回路22において、通常動作時とテスト時におけるExt.DQiと、Int.DQiの切替は、例えばテスタより与えられるテスト制御信号により切替スイッチ(不図示)で行うようにしてもよい。
DQラッチ回路23は、DQSi初段回路21からの内部データストローブ信号Int.DQSiに応答して、DQi初段回路22の出力信号をラッチする。
DQSi初段回路21は、通常動作時には、入力データストローブ信号DQSi、/DQSiが入力され、テスト時には、セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路110又は120からの第2信号(2)又は第5信号(5)が入力されるように切り替えるスイッチを備えている。なお、DQSi初段回路21は複数のデータ入力回路ブロック20に対して、共通に内部データストローブ信号Int.DQSiを与える。
本実施例では、セットアップ/ホールド時間・変調回路24は、複数のデータ入力回路ブロック20の夫々に備えられる。このセットアップ/ホールド時間・変調回路24は、例えば、テスタ、プローブカード、プローブ針を介して、個々のDQラッチ回路23に対応した外部データ信号Ext.DQiがパラレルに入力され、内部データ信号Int.DQiを生成出力する。この構成を用いて、個々のDQラッチ回路23に対するセットアップ時間及びホールド時間の測定が可能となる。
図6は、図5におけるセットアップ/ホールド時間・変調回路24の構成例である。図7(A)、図7(B)は、図5の実施例のテスト時の動作を説明するタイミング図である。
図6のセットアップ/ホールド時間・変調回路24は、
第1信号(1)と第3信号(3)とを入力とする論理積(AND)回路161と、
第1信号(1)と第3信号(3)とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路165と、
第4信号(4)と第6信号(6)とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路166と、
論理積(AND)回路161の出力を入力とするインバータ162と、
インバータ162の出力を入力とし遅延させて出力する遅延回路(Delay)163と、
外部データ信号Ext.DQi(代表として一つを示す)と、遅延回路163の出力とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路164と、
排他的論理和(EXOR)回路165の出力と排他的論理和(EXOR)回路166の出力とを入力とする論理和(OR)回路167と、
排他的論理和(EXOR)回路164の出力と論理和(OR)回路167の出力とを入力とし出力端子からInt.DQiを出力する排他的論理和(EXOR)回路168と、を備えている。
第1信号(1)と第3信号(3)とを入力とする論理積(AND)回路161と、
第1信号(1)と第3信号(3)とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路165と、
第4信号(4)と第6信号(6)とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路166と、
論理積(AND)回路161の出力を入力とするインバータ162と、
インバータ162の出力を入力とし遅延させて出力する遅延回路(Delay)163と、
外部データ信号Ext.DQi(代表として一つを示す)と、遅延回路163の出力とを入力とする排他的論理和(EXOR)回路164と、
排他的論理和(EXOR)回路165の出力と排他的論理和(EXOR)回路166の出力とを入力とする論理和(OR)回路167と、
排他的論理和(EXOR)回路164の出力と論理和(OR)回路167の出力とを入力とし出力端子からInt.DQiを出力する排他的論理和(EXOR)回路168と、を備えている。
図7(A)、図7(B)には、夫々、クロック信号CLK1とCLK2による試験動作が示されている。図7(A)を参照すると、CLK1、第1乃至第3信号、Lowレベルの外部データ信号Ext.DQi(代表として一つを示す)、内部データ信号Int.DQi(代表として一つを示す)の信号波形が示されている。なお、図7(A)において、テスタからのクロック信号CLK2及び外部データ信号Ext.DQiはLowとされる。
まず、セットアップ/ホールド時間・変調回路24に入力される第1信号(1)、第3信号(3)、第4信号(4)及び第6信号(6)の全てがLowであることから、内部デーダ信号Int.DQiは、Highレベルに初期設定される。次に、内部データ信号Int.DQiは、第1信号(1)の立ち上がりエッジに応答して反転してLowに立ち下がり、第3信号(3)の立ち上がりエッジに応答してHighに立ち上がる。DQラッチ回路23は、第2信号(2)の立ち上がりエッジで内部データ信号Int.DQiをラッチする。
第1信号(1)の立ち上がりエッジから第2信号(2)の立ち上がりエッジまでの遅延が、内部デーダ信号Int.DQiがHighからLowへ遷移するときのセットアップ時間(tS)に対応する。
また、第2信号(2)の立ち上がりエッジから第3信号(3)の立ち上がりエッジまでの遅延が、内部デーダ信号Int.DQiがLowからHighへ遷移するときのホールド時間(tH)に対応する。
セットアップ/ホールド時間・変調回路24は、第3信号(3)のLowからHighへの遷移後、ディレイ回路163による所定の遅延時間(Delay)経過後、Int.DQiをHighからLowへと、元の論理レベルに遷移させる。なお、図7(A)に示すように、テスタからのCLK1はLowからHighへ遷移する波形パタンが供給される(CLKをHighからLowに落とさなくてもよい)。
図7(B)を参照すると、CLK2、第4乃至第6信号、Lowレベルの外部データ信号Ext.DQi、内部データ信号Int.DQiの信号波形が示されている。Int.DQiは、図7(A)のInt.DQiと反転している。第4信号(4)の立ち上がりエッジに応答して内部データ信号Int.DQiがLowからHighに立ち上がり、第6信号(6)の立ち上がりエッジに応答して内部データ信号Int.DQiがHighからLowに立ち下がる。DQラッチ回路23は、第5信号(5)の立ち上がりエッジで内部データ信号Int.DQiをラッチする。
第4信号(4)の立ち上がりエッジから第5信号(5)の立ち上がりエッジまでの遅延が、内部デーダ信号Int.DQiがLowからHighへ遷移するときのセットアップ時間(tS)に対応する。
また、第5信号(5)の立ち上がりエッジから第6信号(6)の立ち上がりエッジまでの遅延が、内部デーダ信号Int.DQiがHighからLowへ遷移するときのホールド時間(tH)に対応する。
図8は、図5(及び図6)に示した本実施例の構成において、外部データ信号Ext.DQiがLowレベル及びHighレベルの夫々について、クロック信号CLK1とCLK2とを連続してテスト回路100に入力し、夫々のクロックに対するセットアップ時間とホールド時間をテストする場合のタイミング図である。
図8のタイミング図を参照して、まず、tS/tH区間1(CLK1)において、 第1信号(1)の立ち上がりエッジから第2信号(2)の立ち上がりエッジまでの遅延が、DQラッチ回路23のセットアップ時間(tS)に対応する。また、第2信号(2)の立ち上がりエッジから第3信号(3)の立ち上がりエッジまでの遅延が、DQラッチ回路23のホールド時間(tH)に対応する。
ここで、外部データ信号Ext.DQiがLowレベルとされている場合、このセットアップ時間(tS)は、内部データ信号Int.DQiがHighからLowへ遷移するに当たり、内部データストローブ信号Int.DQSiである第2信号(2)の立ち上がりエッジに対してセットアップに要する時間である。また、このホールド時間(tH)は、内部データ信号Int.DQiがLowからHighへ遷移するに当たり、内部データストローブ信号Int.DQSiである第2信号(2)の立ち上がりエッジに対してホールドしておくべき時間である。
そして、外部データ信号Ext.DQiがHighレベルとされている場合、このセットアップ時間(tS)は、内部データ信号Int.DQiがLowからHighへ遷移するに当たり、内部データストローブ信号Int.DQSiである第2信号(2)の立ち上がりエッジに対してセットアップに要する時間である。また、このホールド時間(tH)は、内部データ信号Int.DQiがHighからLowへ遷移するに当たり、内部データストローブ信号Int.DQSiである第2信号(2)の立ち上がりエッジに対してホールドしておくべき時間である。
次に、tS/tH区間2(CLK2)において、第4信号(4)の立ち上がりエッジから第5信号(5)の立ち上がりエッジまでの遅延が、DQラッチ回路23のセットアップ時間(tS)に対応する。また、第5信号(5)の立ち上がりエッジから第6信号(6)の立ち上がりエッジまでの遅延が、DQラッチ回路23のホールド時間(tH)に対応する。
ここで、外部データ信号Ext.DQiがLowレベルとされている場合、このセットアップ時間(tS)は、内部データ信号Int.DQiがLowからHighへ遷移するに当たり、内部データストローブ信号Int.DQSiである第5信号(5)の立ち上がりエッジに対してセットアップに要する時間である。
また、このホールド時間(tH)は、内部データ信号Int.DQiがHighからLow遷移するに当たり、内部データストローブ信号Int.DQSiである第5信号(5)の立ち上がりエッジに対してホールドしておくべき時間である。
そして、外部データ信号Ext.DQiがHighレベルとされている場合、このセットアップ時間(tS)は、内部データ信号Int.DQiがHighからLowへ遷移するに当たり、内部データストローブ信号Int.DQSiである第5信号(5)の立ち上がりエッジに対してセットアップに要する時間である。
また、このホールド時間(tH)は、内部データ信号Int.DQiがLowからHighへ遷移するに当たり、内部データストローブ信号Int.DQSiである第5信号(5)の立ち上がりエッジに対してホールドしておくべき時間である。
本実施例において、ウェハ試験時、テスタから被試験デバイスのテスト回路10に供給される制御信号により、セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路110、120の遅延時間を設定する。例えばテスタから、クロックCLK1、外部データ信号Ext.DQiを与える。このとき、テスタからのCLK2はLowとされる。データをメモリセルアレイ(不図示)に書き込み後、該データの読み出しを行い、書き込みデータ(期待値)と比較することで、パス/フェイルをチェックし、DQラッチ回路23のセットアップ時間、ホールド時間の測定が行われる。
なお、本実施例では、外部データ信号Ext.DQiをラッチするためのDQラッチ回路のセットアップ時間/ホールド時間を測定する場合に適用した例を示したが、外部アドレス/コマンド信号Ext.CAi−jをラッチするためのアドレスコマンドラッチ回路を含む他の保持回路のセットアップ時間/ホールド時間を測定する場合に適用できるのは当然である。
図9(A)は、図1又は図5のセットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路110、120の遅延時間を制御する制御回路の構成の一例を示す図である。この制御回路は、デバイス内に組み込まれる。なお、図9(A)には、例として、セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路110における、遅延回路111と、微調遅延回路113の遅延時間の制御の例が図示されているが、遅延回路112、微調遅延回路114の遅延制御に対しても同様の構成が適用される。さらに、セットアップ/ホールド時間・変調・遅延発生回路120における、遅延回路121及び微調遅延回路123、並びに、遅延回路122及び微調遅延回路124も同様の構成が適用される。
図9を参照すると、この制御回路は、テスタから供給される第1のテストモード信号(Test Mode信号1)に応答してカウント動作するカウンタ回路121を備える。カウンタ回路121のカウント出力は定電圧電源123に入力される。定電圧電源123は、例えば、カウンタ回路121のカウント出力を受けるデジタルアナログ変換器(不図示)と、該デジタルアナログ変換器のアナログ出力電圧を受け電圧を出力するボルテージフォロワ回路等を備えて構成され、カウンタ回路121のカウンタ値により、遅延回路111の駆動電源電圧を可変される。遅延回路111は、定電圧電源123によってその電源電圧が設定され、遅延時間が可変される。微整遅延回路113も定電圧電源123によって駆動される。
さらに、テスタから供給される第2のテストモード信号(Test Mode信号2)に応答してカウントするカウンタ回路122を備え、カウンタ回路122のカウント出力(例えば4ビット)で微整遅延回路113の遅延時間を16段階に可変させる。微整遅延回路113から遅延クロックCLK1_Dが出力される。図9(A)の遅延回路111として、与えられた電源電圧で遅延が可変する任意の遅延回路を用いることができ、例えば偶数段のインバータで構成される。あるいは、インバータと電源間に能動負荷素子を備え、能動負荷素子のバイアス電圧を可変させる構成としてもよい。インバータは差動回路で構成してもよいし、CMOSインバータで構成してもよい。微調整遅延回路113は、カウント出力(例えば4ビット)に基づき、信号波形の遷移の遅延を調整するインターポレータで構成してもよい。
CLK1_Iは、図1の基本CLK発生回路101の出力である第1信号である。CLK1_DはCLK1_Iが遅延回路111と微調整遅延回路113を通った遅延信号であり、例えば図1の第2信号(2)である。
カウンタ回路121、122をカウントアップ又はカウントダウン動作させる第1、第2のテストモード信号(Test Mode信号2)をテスタから与えることにより、遅延回路111、微調遅延回路113の遅延時間を可変させ、CLK1_Iに対するCLK1_Dの遅延時間を可変させる(図9(B)参照)。
図10(A)は、図1又は図5の遅延回路の遅延を制御する制御回路の構成の一例を示す図である。図10(B)は、図10(A)の回路の動作を説明するための波形図である。テスタ等から供給されるテストモード信号(Test Mode信号)に応答してカウントするカウンタ回路135を有し、カウンタ回路135の出力は、定電圧電源134に入力され、カウンタ値により遅延回路131の電源電圧が設定され、遅延が調整される。微整遅延回路132も定電圧電源で駆動される。遅延回路131、132は、図1、図5の例えば遅延回路111、微整遅延回路113のレプリカ回路であり、同一チップ内に搭載される。微調遅延回路132の出力CLK1_Dを入力し、CLK2_I(基本CLK発生回路102の出力)の立ち上がりエッジでサンプルするラッチ回路133を備え、ラッチ回路133の出力CLK_OUTは、カウンタ回路135に入力される。ラッチ回路133は、カウンタ135の出力を受け、0で初期化され、その出力CLK_OUTはLowとされる。CLK_OUTは、カウンタ回路135に入力され、CLK_OUT=Highのとき、テストモード(Test Mode)信号の入力によらず、カウントの値は固定される(CLK_OUTがHighとなる直前のカウント値に固定される)。なお、微調遅延回路には、カウンタ回路の下位4ビットが入力され、定電圧電源134には上位ビットを入力する構成としてもよい。ラッチ回路133は、カウンタ回路135のカウント出力0で初期化(リセット)され、CLK_OUTはLowとなる。
カウンタ回路135のカウント値で遅延が可変されるCLK1_DとCLK2_Iの立ち上がりエッジが時間軸上で一致した場合、すなわち、設定したい遅延値(Delay値)(図10(B)参照)の条件になったときに、CLK_OUTがHighとなる。
CLK_OUTは、カウンタ回路135に入力され、カウンタ回路135のカウント動作の停止・許可を制御するカウントイネーブル信号として用いられる。CLK_OUT=Highとなったときは、カウンタ回路135は、テストモード信号(TestMode信号)を受けても、カウントアップ動作は行わず(カウント・ディセーブル状態)、現状のカウンタ値を保持する。したがって、遅延回路131、132は設定された遅延値を維持する。
CLK_OUTは、セットアップ/ホールド時間・変調回路14(24)にも入力されCLK_OUT=Lowのとき、つまり、設定したい遅延(Delay)が見つからなかった場合、セットアップ/ホールド時間・変調回路14(24)は、非活性状態となり、内部信号Int.CAi−j(Int.DQi)を固定値(例えばLow固定値)とする。これにより、外部入力される信号Ext.CAi−j(Ext.DQi)が無視され(内部信号に伝達されない)、テストを行うと、テスト結果は、不良(Fail)となる。この結果、セットアップ/ホールド時間の遅延の調整ができなかったことが判別できる。
また、遅延調整の1段階において(最初の段階で)、CLK1_DとCLK2_Iが一致した場合には、ラッチ回路133の出力CLK_OUTとして、Lowを出力するようにする。CLKl_DとCLK2_Iが正しく判定されていない可能性があるためである。
実際の試験では、遅延値(Delay)の設定は、遅延回路132の遅延の可変数をm、定電圧電源134の電圧の可変数をnとすると、m×n通り(m=16、n=8であれば128回)あり、カウンタ回路135を回してして、セットアップ/ホールド時間(tS/tH)の試験を行うことになる。m=16、n=8の場合、カウンタ回路135は7ビットカウンタで構成あれ、カウント0から127までカウント動作が行われる。
本実施例によれば、複数の被試験デバイスを同時に試験する並列試験において、遅延値(Delay)は、デバイス毎に自動に設定可能とされる。このため、高精度なセットアップ/ホールド時間の試験が可能になる。
デバイスに入力される信号は、様々な要因で波形なまりが生じるが、一つの外部信号基準として、デバイス内部で生成すれば、外部要因でのなまり等によるずれの影響はなくなる。また、並列試験においてもデバイス個別に、遅延値を設定することができるので高精度で測定できる。
なお、上記の特許文献の各開示を、本書に引用をもって繰り込むものとする。本発明の全開示(請求の範囲を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素の多様な組み合わせ乃至選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
1〜6 第1〜第6信号
10、10’ アドレスコマンド入力回路ブロック
11、11’ クロック初段回路(CLK初段回路)
12、12’ アドレスコマンド初段回路(ADD/CMD初段回路)
13 アドレスコマンドラッチ回路(ADD/CMD Latch回路)
14、24 セットアップ/ホールド時間・変調回路(tS/tH Modulation 回路)
20 データ入力回路ブロック
21 DQSi初段回路
22 DQi初段回路
23 DQラッチ回路(DQi Latch回路)
30 テスタ
100 テスト回路(Test回路)
101、102 基準CLK発生回路
110、120 セットアップ/ホールド時間変調遅延発生回路(tS/tH Modulation Delay発生回路)
111、112、121、122 遅延回路
113、114、123、124 微調遅延回路
121、122、135 カウンタ回路(Counter回路)
123、134 定電圧電源
133 ラッチ回路(Latch回路)
151、162 インバータ
152、153、155、164、165、166、168 排他的論理和(EXOR)回路
154、167 オア回路
161 論理積(AND)回路
163 遅延回路(Delay)
10、10’ アドレスコマンド入力回路ブロック
11、11’ クロック初段回路(CLK初段回路)
12、12’ アドレスコマンド初段回路(ADD/CMD初段回路)
13 アドレスコマンドラッチ回路(ADD/CMD Latch回路)
14、24 セットアップ/ホールド時間・変調回路(tS/tH Modulation 回路)
20 データ入力回路ブロック
21 DQSi初段回路
22 DQi初段回路
23 DQラッチ回路(DQi Latch回路)
30 テスタ
100 テスト回路(Test回路)
101、102 基準CLK発生回路
110、120 セットアップ/ホールド時間変調遅延発生回路(tS/tH Modulation Delay発生回路)
111、112、121、122 遅延回路
113、114、123、124 微調遅延回路
121、122、135 カウンタ回路(Counter回路)
123、134 定電圧電源
133 ラッチ回路(Latch回路)
151、162 インバータ
152、153、155、164、165、166、168 排他的論理和(EXOR)回路
154、167 オア回路
161 論理積(AND)回路
163 遅延回路(Delay)
Claims (13)
- 順序回路と、
前記順序回路のテストを行うテスト回路と、
を備え、
前記テスト回路は、
第1の信号を入力とする第1の遅延回路と、
前記第1の遅延回路の出力である第2の信号を入力とする第2の遅延回路と、
前記第1の信号と前記第2の遅延回路の出力である第3の信号とを入力し、前記第1の信号の遷移と前記第3の信号の遷移との間の期間に2値の一方の論理レベルとされる第4の信号を生成する変調回路と、
を備え、
前記第1遅延回路の出力である前記第2の信号が、前記順序回路のクロック端子に入力され、前記変調回路から出力される前記第4の信号が、前記順序回路の入力端子に入力される、ことを特徴とする半導体集積回路。 - 前記第1遅延回路及び第2遅延回路は、それぞれの遅延時間が可変とされ、
前記第1遅延回路の遅延時間が、前記順序回路のセットアップ時間に対応し、
前記第2遅延回路の遅延時間が、前記順序回路のホールド時間に対応する、ことを特徴する請求項1に記載の半導体集積回路。 - 前記第1の信号がクロック信号である、ことを特徴とする請求項1又2に記載の半導体集積回路。
- 順序回路と、
前記順序回路のテストを行うテスト回路と、
を備え、
前記テスト回路は、
第1の信号を入力する第1遅延回路と、
前記第1の遅延回路の出力である第2の信号を入力とする第2遅延回路と、
を有し、
前記第1遅延回路の出力である前記第2の信号は、前記順序回路のクロック端子に入力され、
前記第1遅延回路に入力される第1の信号の遷移と、前記第2遅延回路の出力である第3の信号の遷移との間の期間に2値の一方の論理レベルとされる第4の信号が、前記順序回路の入力端子に入力され、
前記第1遅延回路は遅延時間が可変とされ、
前記順序回路の前記第1の信号に対する前記第4の信号のセットアップ時間に対応する遅延時間を与え、
前記第2遅延回路は遅延時間が可変とされ、前記順序回路の前記第1の信号に対する前記第4の信号のホールド時間に対応する遅延時間を与える、ことを特徴とする半導体集積回路。 - 前記第1、第2の遅延回路の各遅延回路が、
可変遅延回路と、
前記可変遅延回路よりも細かい時間分解能で遅延時間が可変な微調遅延回路と、
を備えている、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体集積回路。 - 前記変調回路が、前記第4の信号を、前記第1の信号の遷移時に2値の他方の論理レベルから前記一方の論理レベルに遷移させ、前記第3の信号の遷移時に前記一方の論理レベルから前記他方の論理レベルに遷移させる、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体集積回路。
- 前記第1、第2の遅延回路の少なくとも1つの遅延回路に対して、
制御信号に基づきカウント動作するカウンタ回路と、
前記カウンタ回路の出力に基づき電圧を可変させる電圧源と、
を備え、
前記電圧源の出力に基づき、前記遅延回路の遅延時間が可変制御される、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体集積回路。 - 第1の制御信号に基づきカウント動作する第1のカウンタ回路と、
前記第1のカウンタ回路のカウント出力に基づき電圧を可変させる電圧源と、
第2の制御信号に基づきカウント動作する第2のカウンタ回路と、
を備え、
前記可変遅延回路は、前記第1のカウンタ回路で電圧が可変される前記電圧源からの電圧に基づき、遅延時間が可変に制御され、
前記微調遅延回路は、前記第2のカウンタ回路のカウント出力に基づき、遅延時間が選択される、ことを特徴とする請求項5に記載の半導体集積回路。 - 前記第1、第2の遅延回路の少なくとも1つの遅延回路に対して、
前記遅延回路のレプリカをなし前記遅延回路と共通に前記第1の信号を入力するレプリカ遅延回路と、
前記レプリカ遅延回路の出力が、基準となる信号に対して予め定められた所定の遅延値を有するか否かを検出する回路と、
を備え、
前記レプリカ遅延回路の出力が、所定の遅延値を有する場合、前記遅延回路を前記遅延値に固定する、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体集積回路。 - 制御信号に基づきカウント動作するカウンタ回路を備え、
前記レプリカ遅延回路の遅延時間は前記カウンタ回路のカウント出力に基づき、可変され、
前記レプリカ遅延回路の出力を前記基準となる信号でラッチするラッチ回路を備え、
前記ラッチ回路が所定の値のとき、前記カウンタ回路のカウント動作を停止させ、前記カウント値を固定させる、ことを特徴とする請求項9に記載の半導体集積回路。 - 前記ラッチ回路の出力が前記所定の値の以外のとき、前記変調回路を非活性状態とし、
前記ラッチ回路の出力が前記所定の値のとき、前記変調回路の動作を活性化させる、ことを特徴とする請求項10に記載の半導体集積回路。 - 順序回路を含む半導体集積回路のテストにあたり、第1の信号を第1の遅延時間遅延させた第2の信号と、前記第2の信号を第2の遅延時間遅延させた第3の信号を生成し、
前記第1の信号の遷移と前記第3の信号の遷移との間の期間、2値の一方の値とされる第4の信号を生成し、
前記順序回路が、前記第4の信号を入力し、前記第1の信号と前記第3の信号の遷移の時間間隔の間に遷移する前記第2の信号に基づき、サンプルする、ことを特徴とする半導体集積回路のテスト方法。 - テスト装置側から、前記第1の遅延時間及び/又は前記第2の遅延時間を可変させ、前記半導体集積回路の良不良判定を行うことで、前記順序回路のセットアップ時間及び/又はホールド時間の試験を行う、ことを特徴とする請求項12に記載の半導体集積回路のテスト方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009019509A JP2010175437A (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | 半導体集積回路とテスト方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009019509A JP2010175437A (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | 半導体集積回路とテスト方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010175437A true JP2010175437A (ja) | 2010-08-12 |
Family
ID=42706553
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009019509A Withdrawn JP2010175437A (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | 半導体集積回路とテスト方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010175437A (ja) |
-
2009
- 2009-01-30 JP JP2009019509A patent/JP2010175437A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7368931B2 (en) | On-chip self test circuit and self test method for signal distortion | |
US7421364B2 (en) | Integrated circuit device having a test circuit to measure AC characteristics of internal memory macro | |
US7036055B2 (en) | Arrangements for self-measurement of I/O specifications | |
US6621352B2 (en) | Semiconductor integrated circuit device | |
US7619404B2 (en) | System and method for testing integrated circuit timing margins | |
US7171611B2 (en) | Apparatus for determining the access time and/or the minimally allowable cycle time of a memory | |
JP5050303B2 (ja) | 半導体試験装置 | |
KR101605459B1 (ko) | 지연 고정 루프 회로 및 그를 채용한 반도체 메모리 장치 | |
US20100182857A1 (en) | Tester for semiconductor device and semiconductor device | |
US6452849B1 (en) | Semiconductor device with test mode for performing efficient calibration of measuring apparatus | |
US9536625B1 (en) | Circuitry and method for critical path timing speculation in RAMs | |
JP2008097699A (ja) | 半導体記憶装置 | |
US6909301B2 (en) | Oscillation based access time measurement | |
KR102010963B1 (ko) | 반도체 장치 | |
JP2011171666A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の試験方法 | |
JP2010175437A (ja) | 半導体集積回路とテスト方法 | |
US7061224B2 (en) | Test circuit for delay lock loops | |
KR100825013B1 (ko) | 패키지 레벨의 명령 테스트를 위한 반도체 장치 | |
KR20150018092A (ko) | 반도체 장치 테스트 방법 및 이를 이용한 테스트 시스템 | |
US20210063487A1 (en) | Methods and apparatuses to detect test probe contact at external terminals | |
KR101022667B1 (ko) | 오버드라이빙 구조를 갖는 반도체메모리소자 | |
US6734743B2 (en) | Oscillation based cycle time measurement | |
US20240144984A1 (en) | Loopback circuit for low-power memory devices | |
US20230395175A1 (en) | Loopback datapath for clock quality detection | |
JP3506675B2 (ja) | 半導体記憶装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20120403 |