JP2010173128A - サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 サーマルプリントヘッドの発熱抵抗体の抵抗値のバラツキを抑制し高安定化を容易にするサーマルプリントヘッドおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】 支持基板13表面に絶縁体材料から成るグレーズ層14が形成され、グレーズ層14の表面に発熱抵抗体層15が形成される。そして、発熱抵抗体層15上に間隙Gを設けて第1の電極16aと第2の電極16bが形成され、上記間隙Gの発熱抵抗体層15が発熱部17になる。そして、これ等の一対の電極16と発熱抵抗体層15は、これ等の界面領域に形成した固溶体層22を介して接続する構造になる。更に、少なくとも発熱部17を被覆するように保護層18が形成される。
【選択図】 図1
【解決手段】 支持基板13表面に絶縁体材料から成るグレーズ層14が形成され、グレーズ層14の表面に発熱抵抗体層15が形成される。そして、発熱抵抗体層15上に間隙Gを設けて第1の電極16aと第2の電極16bが形成され、上記間隙Gの発熱抵抗体層15が発熱部17になる。そして、これ等の一対の電極16と発熱抵抗体層15は、これ等の界面領域に形成した固溶体層22を介して接続する構造になる。更に、少なくとも発熱部17を被覆するように保護層18が形成される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、例えば感熱方式の印刷機器等に発熱源として搭載されるサーマルプリントヘッドに係り、特にその発熱抵抗体の抵抗値の高安定化を容易にするサーマルプリントヘッドおよびその製造方法に関する。
サーマルプリントヘッドは、その発熱部の発熱を利用して感熱記録紙や熱転写インクリボン等の記録媒体に文字などから成る画像を形成する出力用デバイスである。そして、近年ではビデオプリンター、イメージャー、シールプリンター等の出力用デバイスとして注目されるサーマルプリントヘッドがその低騒音、低ランニングコスト等の利点から種々に開発されている。更に、例えばプリント倶楽部(商品名)や業務プリントのようなカラー写真印刷においては、サーマルプリントヘッドの更なる高精細化、色調の高再現性等が追求されている。
一般的に、サーマルプリントヘッドは画像形成のための発熱部を設けた抵抗体基板部および駆動ICを搭載した駆動回路基板部などを放熱基板の一主面上に配置した構造になっている。このサーマルプリントヘッドの一例について図6および図7を参照して説明する。図6はその一部を抜き出した一部切截上面図であり、図7は図6の線分X−X、いわゆる記録媒体が搬送される方向(副走査方向)における横断面図である。このサーマルプリントヘッドは、この副走査方向に直交する方向(主走査方向)に沿い所要の長さに延在する。
図6,7に示すように、サーマルプリントヘッド10では、例えば放熱基板11の主面上に抵抗体基板部12Aおよび駆動回路基板部12Bが隣接して設けられる。そして、抵抗体基板部12Aでは、放熱基板11の主面上に支持基板13が貼着され、支持基板13上にグレーズ層14がヘッドの主走査方向に延在して一体に設けられている。更に、このグレーズ層14表面を被覆して発熱抵抗体層15が形成され、この発熱抵抗体層15上に、第1の電極16aおよび第2の電極16bが間隙Gを挟んで対向して配置されている。ここで、第1の電極16aおよび第2の電極16bからなる一対の電極16は発熱抵抗体層15に重層して電気接続し、これ等の間隙Gで露出する発熱抵抗体が発熱部17となる。
図に示されるように、発熱部17の通電用電極となる一対の電極16と上記発熱部17が1つの発熱素子となり、サーマルプリントヘッド10の主走査方向に所要ピッチ(dpi)の発熱素子アレイが並設される。更に、後述するボンディングワイヤー接続のために第1の電極16aの縁端部が露出され全体が保護層18により被覆されている。
一方、駆動回路基板部12Bは、放熱基板11に貼着した駆動回路基板19等から構成され、その基板表面に回路パターン(不図示)等が形成され、また駆動IC20等が搭載されている。そして、抵抗体基板部12Aの上記通電用電極と駆動回路基板部12Bの駆動IC20との間、および、駆動IC20と駆動回路基板部12Bの回路パターンとの間などがボンディングワイヤーWで電気的に接続されている。そして、これ等のボンディングワイヤーWおよび駆動IC20は、例えばエポキシ樹脂から成る封止材21によって気密封止されている。
上記サーマルプリントヘッド10を用いた記録媒体への画像形成では、感熱記録紙や熱転写インクリボン等(図示せず)が、発熱部17領域上の保護層18といわゆるプラテンローラとの間で挟圧され、副走査方向に所定の速度で搬送される。この搬送において、例えば感熱記録媒体が発熱部17により加熱され、その熱により記録媒体が印画される。
なお、上記したような構成のサーマルプリントヘッドは特許文献1などに記載されている。
ところで、上述したようにカラー写真印刷では階調あるいは色調を高くして超高精細の画像を形成することが強く要求されてきている。これに対応するためには、例えば上記サーマルプリントヘッド10において、その発熱素子アレイの発熱部17の幅寸法を縮小させ微細化して主走査方向のdpiを増加させて解像度を上げることが非常に有効である。そして、発熱素子アレイの全ての発熱部17の発熱エネルギーを均一化することが必要になる。
しかし、従来のサーマルプリントヘッドでは、発熱部17の微細化においてその抵抗値にバラツキが生じ易く、発熱素子アレイの全ての発熱部17の発熱エネルギーを均一化することが難しい。これについて図8を参照して説明する。ここで、図8は発熱部17の断面構成を拡大し模式的に示した断面図であり、図6および図7と互いに同一部分に同じ符号を付している。
従来のサーマルプリントヘッドにおいては、図7で説明したように、図8に示した第1の電極16aおよび第2の電極16bから成る一対の電極16と発熱抵抗体層15とは重層して形成されている。そして、それ等の間の接着性ではその間の剥がれが生じない程度の物理的接続が確保されている。しかし、それ等の間の電気的接続の観点からみると、その接着性は充分に安定したものになっていないと推察される。
このために、発熱素子アレイの発熱部において一対の電極16と発熱抵抗体層15間の接触抵抗にバラツキが生じ、図8に模式的に示すような電流径路A、電流径路B等のように異なる経路を有する発熱部が存在するようになる。ここで、電流が流れる発熱部の発熱抵抗体の実効的な長さは、電流径路Aの場合の方が電流径路Bより大きくなり、発熱部の抵抗値Rが増大することになる。なお、抵抗値Rは(1)式で表される。
R=ρs×l/w (1)
但し、ρsは発熱抵抗体層のシート抵抗(Ω/□)であり、lは発熱部の発熱抵抗体の実効的な長さであり、wは発熱部の幅である。
例えば、後述するようにフォトエングレービングプロセスにより一対の電極16および発熱抵抗体層15を高精度に加工し、一対の電極16の電極先端(リーディングエッジ)の間隙Gの長さを160μm、wを30μmとしても、上記実効的な長さlに±2μm程度のバラツキが発生する。このような電流径路のバラツキにより発熱部の抵抗値は最大2.5%程度のバラツキになる。そして、このような発熱抵抗体の抵抗値のバラツキは、例えば上記カラー写真印刷の場合に要求されるような超高精細の画像形成を難しくする。
このために、発熱素子アレイの発熱部において一対の電極16と発熱抵抗体層15間の接触抵抗にバラツキが生じ、図8に模式的に示すような電流径路A、電流径路B等のように異なる経路を有する発熱部が存在するようになる。ここで、電流が流れる発熱部の発熱抵抗体の実効的な長さは、電流径路Aの場合の方が電流径路Bより大きくなり、発熱部の抵抗値Rが増大することになる。なお、抵抗値Rは(1)式で表される。
R=ρs×l/w (1)
但し、ρsは発熱抵抗体層のシート抵抗(Ω/□)であり、lは発熱部の発熱抵抗体の実効的な長さであり、wは発熱部の幅である。
例えば、後述するようにフォトエングレービングプロセスにより一対の電極16および発熱抵抗体層15を高精度に加工し、一対の電極16の電極先端(リーディングエッジ)の間隙Gの長さを160μm、wを30μmとしても、上記実効的な長さlに±2μm程度のバラツキが発生する。このような電流径路のバラツキにより発熱部の抵抗値は最大2.5%程度のバラツキになる。そして、このような発熱抵抗体の抵抗値のバラツキは、例えば上記カラー写真印刷の場合に要求されるような超高精細の画像形成を難しくする。
本発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、サーマルプリントヘッドの発熱抵抗体の抵抗値のバラツキを抑制し高安定化を容易にするサーマルプリントヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明にかかるサーマルプリントヘッドは、支持基板と、前記支持基板の表面に形成した絶縁体材料から成る保温層と、前記保温層を含む前記支持基板上の表面に形成した発熱抵抗体層と、前記発熱抵抗体層上に間隙を設けて形成した電極を複数組配列して成る発熱素子群と、前記電極の間隙部分に露出する前記発熱抵抗体層を前記発熱素子の発熱部とし、該発熱部を少なくとも被覆して前記保温層上および前記支持基板上に積層する保護層と、を有し、前記発熱抵抗体層と前記電極とがこれ等の固溶体層により接続されている、構成になっている。
そして、本発明にかかるサーマルプリントヘッドの製造方法は、支持基板の一主面に絶縁体材料から成る保温層を形成する工程と、前記保温層を含む前記支持基板上の表面に発熱抵抗体を形成する工程と、前記発熱抵抗体上に電極を形成する工程と、前記発熱抵抗体と前記電極との固溶体層を形成する加熱処理を施す工程と、を有する構成になっている。
本発明の構成により、サーマルプリントヘッドの発熱抵抗体の抵抗値のバラツキが低減し高安定化が容易になる。そして、高い解像度を有し超高精細化が可能なサーマルプリントヘッドが簡便に実現できる。
本発明の実施形態にかかるサーマルプリントヘッドおよびその製造方法について図1と図2および上記図6と図7を参照して説明する。ここで、図1は本実施形態にかかるサーマルプリントヘッドの発熱部の断面構成を拡大し一例として示した断面図である。図2は本実施形態にかかるサーマルプリントヘッドの製造における主要な工程フロー図である。以下、互いに同一または類似の部分には共通の符号を付して、重複説明は一部省略される。ただし、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なる。
図1に示すように、上述した抵抗体基板部12Aにおいて、放熱基板11の主面上に貼着されるセラミックス等の耐熱性および熱伝導性のよい支持基板13上に保温層であるグレーズ層14が設けられている。ここで、グレーズ層14には例えば基板の主走査方向に沿って帯状に延在する盛上がり部14aが形成されている。
そして、このグレーズ層14表面を被覆してサーメット材から成る発熱抵抗体層15が形成され、この発熱抵抗体層15上に重層して第1の電極16aおよび第2の電極16bが間隙Gを挟んで対向して配置してある。ここで、第1の電極16aおよび第2の電極16bからなる一対の電極16と発熱抵抗体層15との界面領域に固溶体層22が形成されている。この固溶体層22は、上記発熱抵抗体層15と一対の電極16がその界面領域で固溶体化したものである。
このようにして、上記一対の電極16は発熱抵抗体層15と固溶体層22を介して電気接続し、これ等の間隙Gで露出する発熱抵抗体層15が発熱部17となる。ここで、発熱部17表面に上記固溶体層22は形成されない。
そして、図6で説明したように、発熱部17とその通電用電極である一対の電極16から成る発熱素子が、サーマルプリントヘッド10の主走査方向に所要のdpiで一列に配設される。更に、これ等の発熱素子の発熱部17は保護層18により被覆される。ここで、1つの発熱素子はいわゆる1ビット構成の発熱部17を有する構造になっている。
上記サーマルプリントヘッド10において、放熱基板11は例えばAl(アルミニウム)金属から成り、支持基板13は、通常、耐熱性を有する絶縁体材料から成る支持基板であり、アルミナセラミックスの他に、シリコン、石英、炭化珪素等により構成される。そして、この支持基板13は熱伝導性のよい両面テープ、シリコーン等の樹脂製の接着剤により放熱基板11表面に貼着される。
上記グレーズ層4は、発熱部17の発する熱の適度な蓄熱、および熱放散の作用を有し、表面平滑性のある絶縁体材料から成る絶縁体薄膜である。このようなグレーズ層14としては、例えばSiO2膜(シリコン酸化膜)、SiON膜(シリコン酸窒化膜)あるいはSiN膜(シリコン窒化膜)が挙げられる。
発熱抵抗体層15は、例えばTaSiO、TaSiNO、NbSiO、TiSiCO系の電気抵抗体材料であるサーメット膜から成る。そして、第1の電極16aおよび第2の電極16bの通電用電極となる一対の電極16は低抵抗になるほど好ましく、例えば、Al、Cu(銅)あるいはAlCu合金等の金属を主成分にして構成される。ここで、上記金属にサーメット膜を構成する元素が含まれるようになっていてもよい。例えばAl中にSi、Ta、Cu等の元素がアトム%オーダーで含まれてもよい。
固溶体層22は、発熱抵抗体層15を構成するサーメット材と一対の電極16を構成する金属材とが固溶体化したものである。好適な固溶体層22としては、例えばAlを主成分とした金属材とTaSiOを主成分としたサーメット材との固溶体が挙げられる。このような固溶体層22では、Al−Ta、Al−Si、Al−Oの化学結合が生じている。
そして、保護層18は、SiO2膜、SiN膜、SiON膜あるいはSiC膜(炭化ケイ素膜)等の硬質で緻密な熱伝導性のある絶縁体材料から成る。ここで、保護層18の最表面に少なくともSi(シリコン)と炭素(C)が含まれていると熱伝導性が高くなり好適である。この保護層18は、発熱素子アレイの一対の電極16および発熱部17を被覆し記録媒体の圧接あるいは摺接による磨耗、並びに大気中に含まれている水分等の接触による腐食から保護する機能を有する。
次に、上記サーマルプリントヘッド10の製造方法について述べる。先ず、アルミナからなり副走査方向の幅が数mm程度、板厚が0.5mm〜1mmの細長の支持基板11を用意する。
次に、図2に示したステップS1の工程において、支持基板上のグレーズ層形成を行う。この工程では、SiO2のガラス粉末に適当な有機溶剤、溶剤を添加・混合して得たガラスペーストを塗布形成し適度な温度でのベークを施して例えば膜厚が50〜200μm程度の塗布膜を形成する。そして、フォトリソグラフィ技術によるエッチングマスクの作製およびこのエッチングマスクを用いた選択的なエッチング、すなわちフォトエングレービングプロセスやスクリーンマスクによる材料塗布により、上記塗布膜をパーシャルエッチング(PE)して、盛上がり部14aを有するグレーズ層14(いわゆるPEG)を形成する。その後、このパターン形成した塗布膜を所定の温度で焼成する。
次に、ステップS2の工程において、グレーズ層上の発熱抵抗体形成を行う。この工程では、グレーズ層14表面上に、例えばスパッタ法により膜厚が50nm程度のTaSiO2膜を成膜する。
次に、ステップS3の工程において、発熱抵抗体上の電極形成を行う。この工程では、スパッタ法により上記発熱抵抗体層15を被覆して例えば膜厚が0.5μ程度のAl膜、AlCu合金膜等の電極膜を成膜する。そして、フォトエングレービングプロセスにより、発熱素子アレイの通電用電極になる第1の電極16aおよび第2の電極16bと発熱抵抗体層15をパターニング形成する。更に、フォトエングレービングプロセスにより、上記電極膜をエッチングして間隙Gを形成し発熱部17を形成する。ここで、発熱部17の表面は電極膜の残存が無いように処理される。
そして、ステップS4の工程において、発熱抵抗体と電極の固溶体形成を行う。この工程では、上述したように支持基板13上に順にグレーズ層14、発熱抵抗体層15、一対の電極16が形成された状態になった抵抗体基板部12Aに対して加熱処理が施される。この加熱処理は、例えば不活性ガス雰囲気のオーブン中においてその加熱温度を300℃以上にして行う。そして、加熱処理の時間はその加熱温度によるが、その温度の上昇、温度の保持、降温を加味して3時間程度以上になる。このような加熱条件下にすることにより発熱抵抗体層15のサーメット材と一対の電極16の金属材との適度な固溶体化が可能になる。この詳細については後述の実施例で説明される。ここで、不活性ガスとしては、加熱処理において発熱抵抗体層15および一対の電極16と反応しないアルゴン、ヘリウムのような希ガスあるいは窒素ガスが好ましい。
そして、加熱温度の上限は電極を構成する金属材の融点未満にするのが好ましい。ここで、金属材はサーメット材よりも融点が低く、その溶融が生じると一対の電極16の配線パターンが変形し発熱部の微細化ができなくなるからである。例えば、上述したようにTaSiOを主成分としたサーメット材から成る発熱抵抗体層15、Alを主成分とした金属材から成る一対の電極16から上記固溶体層22を形成する場合、その加熱温度は300℃からAl融点未満まで、更に好ましくは300℃〜650℃の範囲に設定するのがよい。尚、加熱による電極の酸化のおそれを考慮した場合、後述する保護膜形成(ステップS5)後にこの加熱処理を入れても同様な固溶体化が可能である。このようにして、上述したAl−Ta、Al−Si、Al−Oの化学結合あるいは金属間化合物が発熱抵抗体層15と一対の電極16の界面領域に多くて数nm程度までの厚さにわたる固溶体層が形成される。
次に、ステップS5の工程において、保護層により被覆を行う。この工程ではスパッタ法により全面を被覆する保護層18を成膜する。ここで、保護層18は、例えば膜厚が2μm〜5μm程度に堆積される。以上のようにして図6および図7で説明したような抵抗体基板部12Aが作製される。
その後は、この抵抗体基板部12Aおよび例えばベアチップの駆動IC20が予め組み込まれている駆動回路基板部12Bをアルミ板等から成る放熱基板11上に接着剤を介して載置し固着させる。そして、発熱素子アレイの全ての通電用電極を駆動IC20の出力側のボンディンブパッドに例えばAl線あるいはAu線から成るボンディングワイヤーWで電気接続する。また、駆動IC20の入力側のボンディンブパッドを駆動回路基板19の回路パターンにボンディングワイヤーWで電気接続する。
最後に、周知の実装技術により駆動IC20およびボンディングワイヤー23を封止材21により気密封止する。このようにして、本実施形態のサーマルプリントヘッド10が出来上がる。
上述したサーマルプリントヘッド10では、グレーズ層14がパーシャルエッチングで形成され盛上がり部14aを有するいわゆるPEG構造の場合について説明している、このグレーズ層14は、盛上がり部14aがなく、全体が平坦になったいわゆるFG(Flat Glaze)構造であっても構わない。あるいは、逆にその平坦部がなく盛上がり部14aのみで形成されたPG構造になっていてもよい。
また、本実施形態のサーマルプリントヘッドは、1つの発熱素子で1ドットの印字が可能な例の場合であるが、1つの発熱素子で2ドットの印字を行う2ビット構造のものであっても構わない。
本実施形態のサーマルプリントヘッドを用いた記録媒体への画像形成あるいはオーバーコート処理では、背景技術のところで説明したのと同様に、感熱記録紙や熱転写インクリボン等(図示せず)が、発熱部17といわゆるプラテンローラ(図示せず)との間で挟圧され、サーマルヘッドの副走査方向に所定の速度で搬送される。この搬送において、記録媒体は、通電パルスで発熱する発熱部17によって加熱され、その熱により印画あるいはオーバーコート処理される。
本実施形態では、発熱抵抗体層15と一対の電極16の界面領域に、上記発熱抵抗体層15と一対の電極16との固溶体層22が形成される。この固溶体形成により、発熱部17の発熱抵抗体の抵抗値が安定化して、その抵抗バラツキが大幅に低減する。そして、発熱素子アレイの全ての発熱部17の発熱エネルギーを均一化することが容易になる。
上記発熱抵抗体の抵抗値の高安定化は、発熱部17の微細化を可能にし、ヘッドの主走査方向のdpiを増加させ解像度を容易に向上させる。このようにしてサーマルプリントヘッドを用いた画像形成において超高精細化が極めて簡便に実現できるようになる。そして、例えばカラー写真印刷においてその階調あるいは色調を従来に増して高くすることが可能になる。
また、上記発熱抵抗体層15と一対の電極16との固溶体層22の形成は、発熱抵抗体層15と一対の電極16の物理的接続を従来に増して強固にすることから、サーマルプリントヘッドの信頼性が大幅に向上するようになる。
次に、実施例により本発明の効果について具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。
(実施例1および比較例1)
実施例1および比較例1では、サーマルプリントヘッドの発熱素子アレイにおける発熱部の抵抗値バラツキについて調べた。そこで、図1、図6および図7で示したようなサーマルプリントヘッド10を作製した。すなわち、アルミナ製の支持基板13上にSiO2のガラスペーストを塗布形成し、フォトエングレービングプロセスによりガラスペーストを部分的に帯状パターンにエッチング加工し、続いて高温度で焼成してPEG構造のグレーズ層14を形成した。そして、このグレーズ層14上に膜厚が50nmのTaSiO2から成る発熱抵抗体層15をスパッタ法で成膜し、更にこの発熱抵抗体層15上に積層するAl電極膜を同様にスパッタ法で堆積させた。
実施例1および比較例1では、サーマルプリントヘッドの発熱素子アレイにおける発熱部の抵抗値バラツキについて調べた。そこで、図1、図6および図7で示したようなサーマルプリントヘッド10を作製した。すなわち、アルミナ製の支持基板13上にSiO2のガラスペーストを塗布形成し、フォトエングレービングプロセスによりガラスペーストを部分的に帯状パターンにエッチング加工し、続いて高温度で焼成してPEG構造のグレーズ層14を形成した。そして、このグレーズ層14上に膜厚が50nmのTaSiO2から成る発熱抵抗体層15をスパッタ法で成膜し、更にこの発熱抵抗体層15上に積層するAl電極膜を同様にスパッタ法で堆積させた。
そして、図2で説明したように一対の電極16と発熱抵抗体層15を重層するようにパターニング形成し、フォトエングレービングプロセスにより間隙Gを形成し発熱部17を形成した。ここで、一対の電極16のリーディングエッジの間隙Gの長さlを160μmとし、発熱部の幅wを15μmとした。
実施例1では、図2のステップS4の工程において、窒素ガスの雰囲気ガス中で500℃、3時間の加熱処理を施した。これは、使用したオーブンの処理容量もあるが、常温からの昇温に1時間、温度の保持に1時間、降温から常温に1時間とした。なお、実質、適当温度の保持時間を1時間としている。一方、比較例1では加熱処理を施すことをしなかった。これは従来技術の場合に相当する。その後は、同一の工程を通して、実施形態で説明したように抵抗体基板部12Aおよび駆動回路基板部12Bをもつサーマルプリントヘッド10を作製した。
図3は、作製したサーマルプリントヘッド10の抵抗値バラツキの測定結果を示す。図3では、横軸が発熱素子アレイにおける主走査方向のビット位置(ドット位置)であり、縦軸がそれぞれの発熱部17の抵抗値を示している。図中の(a)が実施例1の結果の一例であり、(b)が比較例1の結果の一例であり、(c)が上述した(1)式から算出した計算値である。ここで、(1)式におけるρsは成膜した発熱抵抗体層15の実測のシート抵抗であり、lおよびwは、それぞれ一対の電極16のリーディングエッジの間隙Gの実測値、発熱部17の幅の実測値である。
実施例1では、発熱素子アレイにおける主走査方向に配列した例えば7500個の発熱部17においてその発熱抵抗体の抵抗値は高安定化し、それ等の発熱部17間における抵抗値バラツキは計算値のバラツキと同程度に極めて小さい。しかも、その抵抗値は設計値である17.95kΩに近く、発熱抵抗体層15と一対の電極16との固溶体層22を介した接触抵抗が極めて小さくなっていることが判る。
これに対して、比較例1では、上記7500個の発熱部17においてその発熱抵抗体の抵抗値は大きく変動し不安定であり、例えば18.04kΩ〜18.42kΩの抵抗値バラツキを示している。しかも、その抵抗値は設計値とした17.95kΩよりも平均して6%程度増大している。これは、発熱抵抗体層15と一対の電極16の接触抵抗が実施例1に較べて大きくなっていることによる。
上記結果から、発熱抵抗体層15と一対の電極16の界面領域にそれ等の固溶体層22を形成することにより、発熱部の発熱抵抗体の抵抗値が高安定化することが確認された。また、上記抵抗値は、発熱抵抗体層15の層抵抗、発熱部の設計寸法から算出される設計値と略同じにできることが分かった。
(実施例2、実施例3、実施例4、比較例2および比較例3)
実施例2ないし比較例3では、図2で説明したステップS4で形成される固溶体層について調べた。そこで、図1で説明したように支持基板13上に順にグレーズ層14、発熱抵抗体層15、一対の電極16が形成された状態になった抵抗体基板部12Aを作製した。但し、グレーズ層14はFG構造とした。
実施例2ないし比較例3では、図2で説明したステップS4で形成される固溶体層について調べた。そこで、図1で説明したように支持基板13上に順にグレーズ層14、発熱抵抗体層15、一対の電極16が形成された状態になった抵抗体基板部12Aを作製した。但し、グレーズ層14はFG構造とした。
そして、発熱抵抗体層15はスパッタ法で成膜した膜厚が50nmのTaSiO2のサーメット膜から成り、一対の電極16は同様にスパッタ法で成膜したAl膜から成る。ここで、発熱抵抗体層15および一対の電極16は重層するようにパターニング形成され、フォトエングレービングプロセスによりリーディングエッジの間隙Gが形成されて発熱部17が設けられている。ここで、このリーディングエッジの間隙Gの長さを160μmとし、発熱部の幅wを15μmとした。
そして、実施例2、実施例3および実施例4では、図2のステップS4の工程において、窒素ガスの雰囲気ガス中でそれぞれ300℃、400℃、500℃、3時間の加熱処理を施した。これは上述の通り常温からの昇温1時間、規定温度の保持1時間、降温から常温1時間とした。一方、比較例2では、加熱処理を施すことをしなかった。また、比較例3では、上記ステップS4の工程において、窒素ガスの雰囲気ガス中でそれぞれ200℃、5時間の加熱処理を施した。これは常温からの昇温1時間、規定温度の保持3時間、降温から常温1時間とした。その後は、一対の電極16を構成するAl膜を化学薬液により選択的に除去した。そして、一対の電極16を除去した後の発熱抵抗体層15の表面の光学顕微鏡による観察、上記表面のXPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)およびSEM(Scanning Electron Microscope)−EDX(Energy Dispersive X-ray)による元素分析を行った。
上記一対の電極16を除去した後の発熱抵抗体層15の表面の光学顕微鏡による観察結果において、実施例2〜4では、一対の電極16の除去した後でも上記リーディングエッジの間隙Gの痕跡が容易に視認できる。この痕跡は、加熱処理によりリーディングエッジの間隙G以外のところが発熱抵抗体層15と一対の電極16の表面反応により変質し固溶体層22になっていることを示す。これに対して、比較例2および比較例3では、上記痕跡は全く視認できず、発熱抵抗体層15と一対の電極16の表面反応による変質はみられない。
図4は上記一対の電極16を除去した後の発熱抵抗体層15の表面のXPSによる分析結果を示す。ここで、図4(a)がAl(2p)の電子のケミカルシフトした結合エネルギースペクトル結果の一例であり、図4(b)がSi(2p)結果の一例であり、図4(c)がTa(4f)結果の一例である。これ等の図において、(A)が実施例4の場合であり、(B)が比較例3の場合である。また、図5はXPSにより求めた上記表面の元素組成の一例を表にして示す。
実施例4では、図4(a)から一対の電極16のAlが発熱抵抗体層15の酸素(O)と結合しAl−O結合が増加することが判る。また、図4(b)から一対の電極16のAlが発熱抵抗体層15のSiと結合しAl−Si結合が生じることが判る。そして、それに伴いSi−Ta(タンタル)結合が低減している。同様に、図4(c)から一対の電極16のAlが発熱抵抗体層15のTaと結合しAl−Ta結合が生じることが判る。それとともに、Ta−O結合およびTa−Si結合が低減している。
このために、図5に示されるように、実施例4では比較例3に較べて上記表面においてAlの組成量が大幅に増加する。それとともに、SiおよびTa組成が低下する。また、この元素の定量分析ではフッ素(F)、炭素(C)およびリン(P)が出ている。これ等の元素は発熱抵抗体層15中に含まれたいたものである。なお、上記表面の元素組成は、SEM−EDX分析でも略同様の結果になることが確認された。
これに対して、比較例3では比較例2(図示せず)の場合と同様であり、実施例4の場合のような一対の電極16のAlと発熱抵抗体層15の元素との化学結合はほとんどみられない。
上記結果から、発熱抵抗体層15上に形成した一対の電極16の加熱処理の温度を300℃以上にすることにより、発熱抵抗体層15と一対の電極16の界面領域に固溶体層22を形成できることが確認された。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、上述した実施形態は本発明を限定するものでない。当業者にあっては、具体的な実施態様において本発明の技術思想および技術範囲から逸脱せずに種々の変形、変更を加えることが可能である。
10…サーマルプリントヘッド,11…放熱基板,12A…抵抗体基板部,12B…駆動回路基板部,13…支持基板,14…グレーズ層,14a…盛り上がり部,15…発熱抵抗体層,16…一対の電極,16a…第1の電極,16b…第2の電極,17…発熱部,18…保護層,19…駆動回路基板,20…駆動IC,21…封止材,22…固溶体層,G…間隙,23… ボンディングワイヤー
Claims (6)
- 支持基板と、
前記支持基板の表面に形成した絶縁体材料から成る保温層と、
前記保温層を含む前記支持基板上の表面に形成した発熱抵抗体層と、
前記発熱抵抗体層上に間隙を設けて形成した電極を複数組配列して成る発熱素子群と、
前記電極の間隙部分に露出する前記発熱抵抗体層を前記発熱素子の発熱部とし、該発熱部を少なくとも被覆して前記保温層上および前記支持基板上に積層する保護層と、を有し、
前記発熱抵抗体層と前記電極とがこれ等の固溶体層により接続されていることを特徴とするサーマルプリントヘッド。 - 前記発熱抵抗体層はタンタル(Ta)、シリコン(Si)、酸素(O)を主成分として含み、前記電極はアルミニウム(Al)を主成分として含み、前記固溶体層はAl−O、Al−SiおよびAl−Taの結合を有していることを特徴とする請求項1に記載のサーマルプリントヘッド。
- 支持基板の一主面に絶縁体材料から成る保温層を形成する工程と、
前記保温層を含む前記支持基板上の表面に発熱抵抗体を形成する工程と、
前記発熱抵抗体上に電極を形成する工程と、
前記発熱抵抗体と前記電極との固溶体層を形成する加熱処理を施す工程と、
を有することを特徴とするサーマルプリントヘッドの製造方法。 - 前記発熱抵抗体層はタンタル(Ta)、シリコン(Si)、酸素(O)を主成分として含み、前記電極はアルミニウム(Al)を主成分として含み、前記加熱処理の温度は300℃以上であり前記Alの融点未満となる範囲に設定されることを特徴とする請求項3に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記加熱処理の保持時間が1時間以上であることを特徴とする請求項4に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記加熱処理により、前記発熱抵抗体層と前記電極の界面領域にAl−O、Al−SiおよびAl−Taの結合を有する固溶体層を形成することを特徴とする請求項4又は5に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
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