JP2010171321A - Workpiece carrying-out tray and workpiece carrying-out method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体装置や電子部品が形成されたワークを加工するダイシング装置よりワークを搬出するワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法に関するものである。 The present invention relates to a workpiece unloading tray and a workpiece unloading method for unloading a workpiece from a dicing apparatus that processes a workpiece on which a semiconductor device or an electronic component is formed.
半導体装置や電子部品が形成されたウェーハ等のワークに対して切断や溝入れ加工を施すダイシング装置は、少なくともスピンドルによって高速に回転されるダイヤモンド砥粒等により形成される薄い円盤状のブレードと、ワークを吸着保持するワークテーブルと、ワークテーブルとブレードとの相対的位置を変化させるX、Y、Z、θの各移動軸とが設けられている。ワークを加工する際には冷却や潤滑用の切削液が回転するブレードまたはワークとブレードとが接触する加工点へノズルより供給されるとともに各移動軸によりブレードとワークとが相対的に移動され、ブレードによりワークが切削されることで切断や溝入れ加工がワークに施される。 A dicing device that performs cutting and grooving processing on a workpiece such as a wafer on which a semiconductor device or an electronic component is formed includes at least a thin disk-shaped blade formed by diamond abrasive grains rotated at high speed by a spindle, A work table for sucking and holding the work and X, Y, Z, and θ movement axes for changing the relative positions of the work table and the blade are provided. When machining a workpiece, a cutting fluid for cooling or lubrication is supplied from a nozzle to a rotating blade or a machining point where the workpiece and the blade are in contact with each other, and the blade and the workpiece are relatively moved by each moving axis. Cutting or grooving is performed on the workpiece by cutting the workpiece with the blade.
図1にダイシング装置の例を示す。ダイシング装置1は、互いに対向配置され、先端にブレード2とホイールカバー(不図示)が取付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル3、3と、フレームFにテープTを介してマウントされたワークW表面を撮像する撮像手段4と、ワークWを吸着保持するワークテーブル5と、ブレード2とワークテーブル5を相対的に移動させる不図示の移動軸とを有する加工部6が設けられている。加工部6には隣接してワークWの搬出を行うワーク搬出口7が設けられ、ワーク搬出口7には加工時に加工部6内に飛散する切削水などが外部に流出することを防ぐ開閉可能なカバー8が設けられている。
FIG. 1 shows an example of a dicing apparatus. The
この他ダイシング装置では加工済みのワークWをスピン洗浄するウェーハ洗浄装置、ワークWを多数枚収納したカセットを載置するロードポート、ワークWを搬送する搬送手段などを備えたものもある(例えば、特許文献1参照。)。 Other dicing apparatuses include a wafer cleaning apparatus that spin-processes a processed workpiece W, a load port on which a cassette that stores a large number of workpieces W is placed, a conveyance unit that conveys the workpiece W, and the like (for example, (See Patent Document 1).
このように構成されるダイシング装置1では、ブレード2が10000rpmから60000rpmの回転数で高速に回転されて危険な為、カバー8が開状態の際にはブレード2を回転させることが出来ず、ブレード2の回転が開始されるとカバー8にロックがかかり開放不可となる。これにより、ブレード2回転中は加工部6内の各部を直接触れることが出来ない状態となり作業者の安全が確保される。
しかし、ダインシング装置では、加工の前後でワークを交換するためカバーを開ける必要が有る。また、加工途中のワークの加工状態のチェックや不具合が生じたワークの搬出など、加工中のワークを出し入れする必要が生じる場合がある。このような場合、ダイシング装置ではブレードの回転を停止させなければカバーを開けることが出来ないため、一度ブレードの回転を停止させた後にカバーを開けてワークの出し入れを行い、カバーを閉めてから再度ブレードの回転を開始する。ところが、ブレードの回転は非常に高速であってブレードの完全な回転停止、回転再開には多くの時間がかかり、作業時間が非常に長くなりコストの増加や装置の稼動効率の低下を生じていた。 However, in the dicing apparatus, it is necessary to open the cover in order to change the workpiece before and after processing. Further, it may be necessary to take in and out the workpiece being processed, such as checking the processing state of the workpiece in the middle of processing or unloading a workpiece in which a defect has occurred. In such a case, the dicing machine cannot open the cover without stopping the rotation of the blade. Therefore, after stopping the rotation of the blade, open the cover, insert and remove the workpiece, close the cover, and then again. Start blade rotation. However, the rotation of the blade was very fast, and it took a lot of time to completely stop and restart the rotation of the blade, and the work time became very long, resulting in an increase in cost and a decrease in the operation efficiency of the apparatus. .
本発明はこのような問題に対して成されたものであり、カバーを開けてブレードの回転を止めることなく安全にワークを取り出すことが可能なワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法を提供することを目的としている。 The present invention has been made with respect to such a problem, and an object thereof is to provide a work carry-out tray and a work carry-out method capable of safely taking out a work without opening a cover and stopping rotation of a blade. It is said.
前記目的を達成するために本発明は、テープを介してフレームにマウントされたワークをワークテーブル上に載置して回転するブレードで加工を行うダイシング装置のカバーが取り付けられたワーク搬出口の下部に設けられたトレイと、前記ワーク搬出口へ移動した前記ワークテーブル上に載置された前記フレームの外周部近傍に略平行に設けられ、回転することにより前記フレームを持ち上げるとともに持ち上げた前記フレームを保持する一対のフック部材と、前記トレイに設けられた前記フック部材を回転させる一対の回転軸と、前記トレイを前記ワーク搬出口より出し入れ自在に移動させるガイドレールと、を備えたことを特徴としている。 In order to achieve the above object, the present invention provides a lower part of a work exit where a cover of a dicing apparatus that mounts a work mounted on a frame via a tape on a work table and performs processing with a rotating blade is attached. A tray provided on the outer periphery of the frame placed on the work table moved to the work exit, and the frame lifted and lifted by rotating the frame. A pair of hook members to be held, a pair of rotating shafts for rotating the hook members provided on the tray, and guide rails for moving the tray so that it can be freely inserted and removed from the work outlet. Yes.
また本発明は前記発明において、前記トレイは前記フック部材が前記フレームを保持位置まで引き上げた際に外れるロック機構を備えていることを特徴としている。 Further, the present invention is characterized in that, in the above invention, the tray is provided with a lock mechanism that is disengaged when the hook member pulls up the frame to the holding position.
更に本発明は前記発明において、前記回転軸はロータリーシリンダーにより回転することを特徴としている。 Furthermore, the present invention is characterized in that, in the above invention, the rotating shaft is rotated by a rotary cylinder.
本発明によれば、ワーク搬出トレイはカバーが取り付けられたワーク搬出口の下部に設けられたトレイと、ワーク搬出口へ移動したワークテーブル上に載置されたフレームの外周部近傍に略平行に設けられ、回転することによりフレームを持ち上げるとともに持ち上げたフレームを保持する一対のフック部材と、トレイに設けられた一対の回転軸と、トレイをワーク搬出口より出し入れ自在に移動させるガイドレールとを備えている。 According to the present invention, the work carry-out tray is substantially parallel to the vicinity of the outer peripheral portion of the frame placed on the work table moved to the work carry-out port and the tray provided at the lower part of the work carry-out port to which the cover is attached. A pair of hook members that are provided and lift the frame by rotating and hold the lifted frame, a pair of rotating shafts provided on the tray, and a guide rail that allows the tray to be moved in and out of the workpiece carry-out port. ing.
ブレード回転中にワークを取り出す際には、一対の回転軸を回転させることによりフック部材を回転させ、ワーク搬出口まで移動しているワークテーブル上のワークがマウントされたフレームを下面側から持ち上げる。フレームが水平な保持位置まで上昇するとトレイのロックが外れて開閉可能となり、ガイドレールによりトレイをワーク搬出口より引き出してワークが搬出される。 When the workpiece is taken out while the blade is rotating, the hook member is rotated by rotating a pair of rotating shafts, and the frame on which the workpiece on the work table moving to the workpiece carry-out port is mounted is lifted from the lower surface side. When the frame rises to the horizontal holding position, the tray is unlocked and can be opened and closed, and the work is carried out by pulling out the tray from the work carry-out port by the guide rail.
これにより、ブレード回転中でもカバーを開けることなく安全にワークを取り出すことが可能となる。カバーが開けられないためブレードの回転は停止せず、再起動の時間が短縮されるので効率的にダイシングを行うことが可能となる。 As a result, the workpiece can be safely taken out without opening the cover even while the blade is rotating. Since the cover cannot be opened, the rotation of the blade does not stop and the restart time is shortened, so that dicing can be performed efficiently.
以上説明したように、本発明のワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法によればカバーを開けてブレードの回転を止めることなく安全にワークを取り出すことが可能となり、再起動の時間が短縮されるので効率的にダイシングを行うことが可能となる。 As described above, according to the work carry-out tray and the work carry-out method of the present invention, it is possible to safely take out the work without opening the cover and stopping the rotation of the blade, and the restart time is shortened, which is efficient. Therefore, dicing can be performed.
以下、添付図面に従って本発明に係るワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法の好ましい実施の形態について詳説する。まず、本発明に係わるワーク搬出トレイの構成について説明する。図2は本発明に係わるワーク搬出トレイが設けられたダイシング装置を示した斜視図、図3はワーク搬出トレイによりワーク搬出口より取り出されたワークの様子を示した斜視図である。 Hereinafter, preferred embodiments of a work carry-out tray and a work carry-out method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First, the structure of the workpiece carry-out tray according to the present invention will be described. FIG. 2 is a perspective view showing a dicing apparatus provided with a work carry-out tray according to the present invention, and FIG. 3 is a perspective view showing a state of the work taken out from the work carry-out port by the work carry-out tray.
ダイシング装置10は、互いに対向配置され、先端にブレード2とホイールカバー(不図示)が取付けられた高周波モータ内蔵型のスピンドル3、3と、フレームFにテープTを介してマウントされたワークW表面を撮像する撮像手段4と、ワークWを吸着保持するワークテーブル5と、ブレード2とワークテーブル5を相対的に移動させる移動軸17とを有する加工部6が設けられている。加工部6には隣接してワークWの搬出を行うワーク搬出口7が設けられ、ワーク搬出口7には加工時に加工部6内に飛散する切削水などが外部に流出することを防ぐ開閉可能なカバー8が設けられている。
The
ワーク搬出口7の下部にはワーク搬出トレイ11が設けられている。ワーク搬出トレイ11には、ベース鋳物18と架台フレーム19との間に設けられたガイドレール12、12にガイドされたトレイ13と、トレイ13に設けられた一対の回転軸14、14と、ワーク搬出口7へ移動したワークテーブル5上に載置されたフレームFの外周部近傍に略平行に設けられた一対のフック部材15、15とが備えられている。
A workpiece carry-out tray 11 is provided below the workpiece carry-out port 7. The work carry-out tray 11 includes a
トレイ13はガイドレール12によりワーク搬出口7より出し入れ自在に移動可能に設けられている。また、トレイ13には不図示のロック機構が備えられ、フレームFが持ち上げられていない際の移動が制限される。
The
回転軸14、14はエアーや電気を駆動源とするロータリーシリンダー16、16を介してトレイ13へ設けられている。回転軸14はロータリーシリンダー16により軸を中心に回転してフック部材15を回転させる。これにより、ワーク搬出口7まで移動しているワークテーブル5上に載置されたワークWをマウントしているフレームFを下面側から持ち上げる。
The
フック部材15により持ち上げられたフレームFが水平な保持位置まで上昇すると、トレイ13のロックが外れて移動可能となり、ガイドレール12によりトレイ13をワーク搬出口7より引き出して図3に示すようにワークWが搬出される。
When the frame F lifted by the
これにより、ブレード2回転中でもカバー8を開けることなく安全にワークWをワーク搬出口7より出し入れすることが可能となる。カバー8が開けられないためブレード2の回転は停止せず、再起動の時間が短縮されるので効率的にダイシングを行うことが可能となる。
As a result, the workpiece W can be safely taken in and out of the workpiece carry-out port 7 without opening the
なお、本実施の形態において回転軸14の回転はロータリーシリンダー16により行っているが、本発明はこれに限らず外部に設けたハンドル等により手動で回転軸14を回転させてもよい。
In the present embodiment, the
次に本発明に係わるワーク搬出方法について説明する。図4はワーク搬出トレイによりフレームを持ち上げる様子を示した断面図である。 Next, the work carrying-out method according to the present invention will be described. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state where the frame is lifted by the work carry-out tray.
本発明に係わるワーク搬出トレイが設けられたダイシング装置10は、図2に示すように先端にブレード2とホイールカバー(不図示)が取付けられたスピンドル3、3と、フレームFにテープTを介してマウントされたワークW表面を撮像する撮像手段4と、ワークWを吸着保持するワークテーブル5と、ブレード2とワークテーブル5を相対的に移動させる移動軸17とを有する加工部6が設けられている。加工部6には隣接してワークWの搬出を行うワーク搬出口7が設けられ、ワーク搬出口7には開閉可能なカバー8が設けられている。ワーク搬出口7の下部にはワーク搬出トレイ11が設けられている。
As shown in FIG. 2, a
ダイシング装置10では、まずワーク搬出口7よりフレームFにマウントされたワークWが搬入されてワークテーブル5上に吸着載置される。ワークテーブル5上にワークWが吸着載置されるとカバー8が閉じられブレード2が回転を開始する。続いて撮像手段4と不図示の移動手段によりワークWがアライメントされ、アライメント後ワークWは回転するブレード2によりダイシングされる。ブレード2が回転している間はカバー8にロックがかかり、開閉不可となる。
In the
このようにワークWのダイシング加工が行われ、ダイシング加工が終了するまたは何らかの問題でワークWをダイシング加工中に取り出す必要が生じた際には、まずワークテーブル5がブレード2下方から図4(A)に示すようにワーク搬出口7へ移動して停止し、ワークWの吸着を解除する。
In this way, when the work W is diced and the dicing process is completed or the work W needs to be taken out during the dicing process due to some problem, the work table 5 is first moved from the lower side of the
ワークテーブル5がワーク搬出口7に移動した後、図4(B)に示すように、ロータリーシリンダー16により回転軸14が矢印θ方向に回転してフック部材15がフレームFの下面側に接触する。
After the work table 5 has moved to the work exit 7, as shown in FIG. 4B, the
続いて、図4(C)に示すように、更に回転軸14が回転してフック部材15がフレームF保持位置である水平位置まで移動したところで回転軸14の回転が停止しフレームFが保持される。フレームFが水平位置まで上昇して保持されるとトレイ13のロックが解除され、ワークWはフレームFとトレイ13とともにワーク搬出口7より搬出される。
Subsequently, as shown in FIG. 4C, when the
ワークW搬出後は新たなまたは確認の終了したワークWがフレームFにテープTを解してマウントされた状態でフック部材15上に載置される。
After the work W is carried out, the new or confirmed work W is placed on the
フック部材15上に載置されたワークWはワーク搬出トレイ11により再びワーク搬出口7へ搬入される。ワークWがワーク搬出口7へ搬入された後は、ロータリーシリンダー16により回転軸14を図4(B)に示す矢印θとは逆の方向へ回転させてフレームFを下降させる。このようにして、ワークWが再びワークテーブル5上により吸着載置される。フレームFの下降が開始されるとトレイ13にはロックがかかり移動不可となる。
The workpiece W placed on the
これにより、ブレード2回転中でもカバー8を開けることなく安全にワークWをワーク搬出口7より出し入れすることが可能となる。カバー8が開けられないためブレード2の回転は停止せず、再起動の時間が短縮されるので効率的にダイシングを行うことが可能となる。
As a result, the workpiece W can be safely taken in and out of the workpiece carry-out port 7 without opening the
以上、説明したように、本発明に係わるワーク搬出トレイ及びワーク搬出方法によれば、移動するトレイと回転軸に設けられたフック部材によりワークが持ち上げられ、ブレード回転中でもカバーを開けることなく安全にワークを取り出すことが可能となる。カバーが開けられないためブレードの回転は停止せず、再起動の時間が短縮されるので効率的にダイシングを行うことが可能となる。 As described above, according to the work carry-out tray and the work carry-out method according to the present invention, the work is lifted by the moving tray and the hook member provided on the rotating shaft, and it is possible to safely do not open the cover even while the blade is rotating. The workpiece can be taken out. Since the cover cannot be opened, the rotation of the blade does not stop and the restart time is shortened, so that dicing can be performed efficiently.
1、10…ダイシング装置,2…ブレード,3…スピンドル,4…撮像装置,5…ワークテーブル,6…加工部,7…ワーク搬出口,8…カバー,11…ワーク搬出トレイ、12…ガイドレール,13…トレイ,14…回転軸,15…フック部材,16…ロータリーシリンダー,17…移動軸,18…ベース鋳物,19…架台フレーム19,F…フレーム,T…テープ,W…ワーク
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記ワーク搬出口へ移動した前記ワークテーブル上に載置された前記フレームの外周部近傍に略平行に設けられ、回転することにより前記フレームを持ち上げるとともに持ち上げた前記フレームを保持する一対のフック部材と、
前記トレイに設けられた前記フック部材を回転させる一対の回転軸と、
前記トレイを前記ワーク搬出口より出し入れ自在に移動させるガイドレールと、を備えたことを特徴とするワーク搬出トレイ。 A tray provided at the lower part of the work carry-out port to which a cover of a dicing apparatus that mounts a work mounted on a frame via a tape on a work table and performs processing with a rotating blade;
A pair of hook members provided substantially parallel to the vicinity of the outer peripheral portion of the frame placed on the work table moved to the work carry-out port and lifting the frame by rotation and holding the raised frame; ,
A pair of rotating shafts for rotating the hook member provided on the tray;
A work carry-out tray, comprising: a guide rail that moves the tray so as to be freely inserted and removed from the work carry-out port.
カバーが取り付けられたワーク搬出口の下部に設けられたトレイと、前記ワーク搬出口へ移動した前記ワークテーブル上に載置された前記フレームの外周部近傍に略平行に設けられ回転することにより前記フレームを持ち上げるとともに持ち上げた前記フレームを保持する一対のフック部材と、前記トレイに設けられた前記フック部材を回転させる一対の回転軸と、前記トレイを前記ワーク搬出口より出し入れ自在に移動させるガイドレールと、を備え、
前記回転軸を回転させることにより前記フック部材を回転させて前記フレームを下面側から持ち上げて水平に保持し、前記ガイドレールにより前記トレイを前記ワーク搬出口より引き出して前記ワークを搬出することを特徴とするワーク搬出方法。
In a dicing apparatus that performs processing with a blade that rotates by placing a work mounted on a frame via a tape on a work table,
A tray provided at a lower portion of a work carry-out port to which a cover is attached and a rotation provided by being substantially parallel to the vicinity of the outer peripheral portion of the frame placed on the work table moved to the work carry-out port. A pair of hook members for lifting the frame and holding the lifted frame, a pair of rotating shafts for rotating the hook member provided on the tray, and a guide rail for moving the tray so that it can be moved in and out of the work carry-out port And comprising
The hook member is rotated by rotating the rotating shaft, the frame is lifted from the lower surface side and held horizontally, and the tray is pulled out from the work carry-out port by the guide rail, and the work is carried out. The work unloading method.
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2009
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