JP2010160133A - テストステーションの自動位置合わせ方法と装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明はテストステーションの自動位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】本発明のテストステーションの自動位置合わせ方法は、以下の工程を含む。まず、テスターによって正確だと検証された後に戻すべきＢｉｎを入力する。続いて、自動位置合わせ検査を行うテストステーションを選択する。その後、被試験装置を、自動位置合わせ検査を行うテストステーションに載置する。更に、自動位置合わせ検査を行う。その後、テスターと検査分類装置のテストステーションの位置合わせが正確かどうか判断し、もしテストステーションの位置合わせが不正確の場合は、テストステーションをロックする。
【選択図】図５

Description

本発明はテスト設備におけるテストステーションの自動位置合わせ方法と装置に関し、特に検査分類装置におけるテストステーションの自動位置合わせ方法と装置に関する。

メモリチップや消費用の集積回路、ロジック集積回路や混合信号の集積回路、感光素子、駆動集積回路等といった各種の集積回路（ＩＣ）は、設計、代理製造、パッケージングを経て製造された後、品質を確保するために、更にテスター（ＴＥＳＴＥＲ）を用いてテストしてはじめて、作動するのに必要な電気的・機能的正常性を確保することができる。テスターは、被試験装置（Ｄｅｖｉｃｅ ｕｎｄｅｒ ｔｅｓｔ）に信号を提供することにより、被試験装置をテストする。又、検査分類装置や測定分類装置（ＨＡＮＤＬＥＲ）は、テストする素子を、テストする素子が載置されたトレイ（Ｔｒａｙ）から測定分類装置内とテスターに電気的に接続したテストインターフェイス（例えば回路載置板（ｌｏａｄ ｂｏａｒｄ）や被試験装置の回路板（ＤＵＴ ｂｏａｒｄ））の素子ソケット（Ｓｏｃｋｅｔ）上に送り、テストを行う。テストが完了した後、被試験装置は、測定分類装置によってテスト結果に応じてテストインターフェイスから取り出され、テスト合格（Ｐａｓｓ）とテスト不合格（Ｆａｉｌ）をそれぞれ載置するトレイに分類され、その後の処理が行われる。

テストを行うために、テスターと測定分類装置は、信号を交流させるための伝送線が必要である。テスターと測定分類装置の間は、バス線や信号伝送線によって接続される。同時に複数の被試験装置をテストする時、テスターと測定分類装置の間は対応する複数のバス線によって接続する必要があり、被試験装置は測定分類装置のテストステーション（Ｓｉｔｅ）でテストが行われる。測定分類装置の各テストステーションの接続端は、テスターの接続端と対応・一致している必要がある。装置がテスト用のトングをメンテナンスしたり取り替えしたりする時、テストステーション（Ｓｉｔｅ）に対応する接続信号伝送線を抜き取り、メンテナンスや取り替えが完了した後、再び接続信号伝送線を挿し込まなければならない。この時、人の不注意等の要素により、信号伝送線と対応するテストステーションの取り付け間違いが起こる可能性がある。特に、テストステーションの数が多くなればなるほどこのような間違いが起きやすくなる。このような状況を、テストステーションの位置合わせ（ｓｉｔｅ ｍａｐｐｉｎｇ）異常と呼ぶ。テストステーションの位置合わせ異常が発生した時、被試験装置及びテストステーションは対応していないテスター端と接続されてテストされ、テスト結果が入り混じってしまい、更に、装置が混ざってしまう可能性もあり、テストの正確性が損なわれ、又、品質管理をする上で重大な欠陥となる。現行のテストステーションの位置合わせの確認システムでは、人の手によって被試験装置の回路板の対応に間違いがないかどうか（色及びシリアルナンバーのタグが一致しているかどうか）確認するが、人の手によってテストステーションの位置合わせを行うと、人の不注意によるミスが起こりやすいため位置合わせの正確性を確保することができず、しかも、余分な作業人員と時間が必要である。

上述の人の手によるテストステーション位置合わせの欠点を鑑み、本発明は、現行のテストステーションの位置合わせにおける人の手による検査のシステムを装置による自動検査に変更し、電子ファイルと紙のレポートを出力することで、信頼度とファイルの管理の利便性を高め、ひいては品質を向上させることができるテストステーションの自動位置合わせ方法と装置を提出する。

本発明の目的は、人の手による不正な動作によってテストステーションの位置合わせのミスが起こるのを防ぐことができる、テストステーションの自動位置合わせ方法と装置を提供することにある。

上述の目的に基づき、本発明が提出するテストステーションの自動位置合わせ方法は、以下の工程を含む。まず、テスターによって正確だと検証された後に戻すべきＢｉｎを入力する。続いて、自動位置合わせ検査を行うテストステーションを選択する。その後、被試験装置を、自動位置合わせ検査を行うテストステーションに載置する。更に、自動位置合わせ検査を行う。その後、テスターと検査分類装置のテストステーションの位置合わせが正確かどうか判断し、もしテストステーションの位置合わせが不正確な場合は、テストステーションをロックする。

本発明は、同時に、テストステーションの自動位置合わせ裝置を提供する。このテストステーションの自動位置合わせ裝置は、自動位置合わせモジュールとグラフィカルユーザーインターフェースを含む。前記自動位置合わせモジュールは、操作者が自動位置合わせを行いたい検査分類装置のテストステーションと、テスターによって正確だと検証された後に戻すべき容器（Ｂｉｎ）の位置合わせが正確かどうか照合・判断する。前記グラフィカルユーザーインターフェースは、操作者に、検査分類装置上で自動位置合わせを実行するテストステーションの選択や入力をさせるため、又、操作者に、テスターによって正確だと検証された後に戻すべき容器（Ｂｉｎ）の選択や入力をさせるために用いられる。

テスターと検査分類装置間の信号伝送線の正しい接続を示した図である。 テスターと検査分類装置間の信号伝送線の間違った接続を示した図である。 テストで合格した一つの素子を載置してＳｉｔｅｂｙ Ｓｉｔｅ確認を行う時の概略図である 検査分類装置である。 本発明の好ましい実施例におけるテストステーションの自動位置合わせ方法を実行する際のテストシステムの概略図である。 本発明の好ましい実施例における自動位置合わせ方法を実行するためのグラフィカルユーザーインターフェース（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ ｕｓｅｒ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）である。 本発明の好ましい実施例におけるテストステーションの自動位置合わせ方法のフローチャートである。

本発明の実施例については詳細を以下に記述する。然しながら、以下の記述以外、本発明はさらに広範にその他の実施例を実行することができ、且つ発明の範囲は実施例に限定されず、下記の特許請求の範囲を基準とする。そして、一層明確に記述して本発明を理解し易くするために、図面の各部分は相対的サイズに基づいて描いてはおらず、図面の簡潔性を追求するため、某サイズはその他の関連するサイズと比較して拡大されており、また、関連性の無い細かな部分は完全には描いていない。

図１Ａと図１Ｂは、それぞれ、テスター（ＴＥＳＴＥＲ）と検査分類装置（ＨＡＮＤＬＥＲ）間の信号伝送線の正しい接続と、間違った接続を示した図である。その内、図１Ａのテスター１０は、検査分類装置２０のテストステーション（Ｓｉｔｅ）２２ａ〜２２ｄと信号伝送線１２ａ〜１２ｄによって正しく接続されている。図１Ｂの検査分類装置２０とテスター１０の接続において、テストステーション２２ａ、２２ｂは、信号伝送線１２ｂと１２ａに間違ってつながれている。テスターと検査分類装置の間の信号伝送線の接続間違いの問題が生じるのを避けるために、装置のテストステーションの位置（Ｓｉｔｅ Ｂｙ Ｓｉｔｅ）確認を行う。装置のテストステーションの位置（Ｓｉｔｅ Ｂｙ Ｓｉｔｅ）確認を行う目的は、テスターと検査分類装置の間における信号伝送線の挿し間違いにより、容器（ＢＩＮ）の区分やＢＩＮの分類に間違いが生じ、ＢＩＮが混ざってしまうのを避けるためである。

Ｓｉｔｅ ｂｙ Ｓｉｔｅ確認を行う時、一度に、テストで合格した（ＰＡＳＳ）一つの素子しか載置することができない。図１Ｃは、テストで合格した一つの素子を載置してＳｉｔｅ ｂｙ Ｓｉｔｅ確認を行う時の概略図である。テストで合格した一つの被試験装置１４は検査分類装置２０のテストステーション２２ｂに載置され、テストステーション２２ａ、２２ｂは、信号伝送線１２ｂと１２ａに間違って接続され、テスター１０に繋がれている。テストステーション２２ｂを検証する時、テストステーション２２ａ、２２ｂは間違って接続された状態であるため、テストステーション２２ｂを検証する時にテストできる素子がないことによりテスト結果はＯＰＥＮ ｆａｉｌになる。この時、テストステーション２２ａの検証の結果はテスト合格となり、二つの信号伝送線１２ｂと１２ａは間違って接続されていることを示している。

図２は検査分類装置３０である。本発明の好ましい実施例において、テストステーションの自動位置合わせ方法と装置は、検査分類装置３０を用いて実行する。検査分類装置３０は、操作画面やグラフィカルユーザーインターフェース（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ ｕｓｅｒ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）を表示するための表示装置３２、検査分類装置３０を操作するための制御パネル３４、プログラムを実行するための本体３６、トレイからテストする素子を取り込むためのフィーダー構造３８ａ、及び検査分類装置から被試験装置を取り出すための排出構造３８ｂを含む。

図３は、本発明の好ましい実施例におけるテストステーションの自動位置合わせ方法を実行する際のテストシステムの概略図である。テストシステムは、テスター４０、検査分類装置５０から構成される。テスター４０と検査分類装置５０の間は、信号伝送線によって、双方向の信号の伝送を行う。検査分類装置５０は、テスト領域５２、フィーダー構造５４ａと排出構造５４ｂ、自動位置合わせモジュール５８を含む本体５６、とを含む。自動位置合わせモジュール５８は、中央処理装置（ＣＰＵ）が実行できるコマンドやプログラムを有するコンピュータ読み込み可能なメディア（ｃｏｍｐｕｔｅｒ ｒｅａｄａｂｌｅ ｍｅｄｉｕｍ）を含み、コンピュータ読み込み可能なメディアは、ハードディスク、メモリ等の保存メディアを含む。本発明の好ましい実施例のテストステーションの自動位置合わせ方法を実行するためのプログラムは、Ｃ／Ｃ＋＋言語で記述することができるが、Ｃ／Ｃ＋＋言語に限らない。自動位置合わせモジュールは、操作者が選択や入力した、自動位置合わせを行いたい検査分類装置のテストステーションと、操作者が選択や入力した、テスターによって正確だと検証された後に戻すべき容器（Ｂｉｎ）に基づいて、正確かどうか照合・判断を行う。この自動位置合わせ方法のプログラムは、操作者が入力した、テスターによって正確だと検証された後に戻すべき容器（Ｂｉｎ）及び操作者が選択した、自動位置合わせを行いたい検査分類装置のテストステーションに基づいて、自動位置合わせ検査を行いたいテストステーション内の被試験装置に対して、自動位置合わせ検査を行い、又、テスターと検査分類装置のテストステーションの位置合わせが正確かどうか判断し、もし、テストステーション位置合わせが不正確な場合は、テストステーションをロックする。

図４は、本発明の好ましい実施例における自動位置合わせ方法を実行するためのグラフィカルユーザーインターフェース（Ｇｒａｐｈｉｃａｌ ｕｓｅｒ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）である。グラフィカルユーザーインターフェース６０は、検査分類装置の本体上で実行するために用いられ、検査分類装置は、本体以外に、表示装置６１と入力装置６３を同時に含む。表示装置６１は、液晶モニターにすることができ、入力装置６３は、キーボードやマウス等にすることができる。グラフィカルユーザーインターフェース６０は、本発明の好ましい実施例におけるテストステーションの自動位置合わせ方法のプログラムを実行し、検査分類装置の本体の中のコンピュータ読み込み可能なメディア内に保存する。グラフィカルユーザーインターフェース６０は、テストステーションオプション６２、テスターＢｉｎオプション６４と、関連データオプション６６を含む。テストステーションオプション６２は、操作者に、検査分類装置上で自動位置合わせを実行するテストステーションの選択や入力をさせるために用いられ、テスターＢｉｎオプション６４は、操作者に、テスターによって正確だと検証された後に戻すべきＢｉｎの選択や入力をさせるために用いられ、関連データオプション６６は、操作者に、被試験装置のロット番号、顧客名称、装置のシリアルナンバー等のデータの選択や入力をさせるために用いられる。グラフィカルユーザーインターフェース６０のオプション選択や入力は、入力装置６３によって行われ、表示装置６１に表示される。

図５は、本発明の好ましい実施例におけるテストステーションの自動位置合わせ方法のフローチャートである。テストステーションの自動位置合わせを開始した後、まず、テスターによって正確だと検証された後に戻すべきＢｉｎを入力する７１。続いて、自動位置合わせ検査を行うテストステーションを選択する７２。その後、被試験装置を、自動位置合わせ検査を行うテストステーションに載置する７３（被試験装置の数量とテストステーションは同じである）。更に、自動位置合わせ検査を行い７４、自動位置合わせモジュールはテスターと検査分類装置のテストステーションの位置合わせが正確かどうか判断し７５、もし正確である場合、素子を取り出し７６、テストが終了する。もし、結果が不正確だった場合、自動位置合わせモジュールによって位置合わせが不正確なテストステーションをロックし７７、テスターと検査分類装置のテストステーションの位置合わせが更正されるまで、前記テストステーションはテストを行うことができなくなる。自動位置合わせ検査を再度実行しなおし、工程７１〜７５を通過してはじめて、テストステーションはテストを行うことができるようになる。

本発明の好ましい実施例之テストステーションの自動位置合わせ方法と装置を用いた自動位置合わせ検査の実行は、前述の四つのテストステーションを有する検査分類装置に限らない。本発明の好ましい実施例の自動位置合わせ方法と装置は、八つ、或いは更に多くのテストステーションを有する検査分類装置にも用いることができる。本発明のテストステーションの自動位置合わせ方法と装置によって自動位置合わせ検査を行うと、人の不注意な動作によりテストステーションの位置合わせのミスが起こるのを効果的に防ぎ、テスト用のトングをメンテナンスしたり取り替えしたりした後に自動位置合わせ検査を確実に行うことができ、検証装置のテストステーションの位置（Ｓｉｔｅ Ｂｙ Ｓｉｔｅ）の確認への信頼度を高め、人件費と時間を節約し、ひいてはテストの効率と品質を高めることができる。

上述の実施例は本発明の技術思想及び特徴を説明するためのものにすぎず、当該技術分野を熟知する者に本発明の内容を理解させると共にこれをもって実施させることを目的とし、本発明の特許範囲を限定するものではない。従って、本発明の精神を逸脱せずに行う各種の同様の効果をもつ改良又は変更は、後述の請求項に含まれるものとする。

１０ テスター
１２ａ 信号伝送線
１２ｂ 信号伝送線
１２ｃ 信号伝送線
１２ｄ 信号伝送線
１４ 被試験装置
２０ 検査分類装置
２２ａ テストステーション
２２ｂ テストステーション
２２ｃ テストステーション
２２ｄ テストステーション
３０ 検査分類装置
３２ 表示装置
３４ 制御パネル
３６ 本体
３８ａ フィーダー構造
３８ｂ 排出構造
４０ テスター
５０ 検査分類装置
５２ テスト領域
５４ａ フィーダー構造
５４ｂ 排出構造
５８ 自動位置合わせモジュール
５６ 本体
６０ グラフィカルユーザーインターフェース
６１ 表示装置
６３ 入力装置
６２ テストステーションオプション
６４ テスターＢｉｎオプション
６６ 関連データオプション
７１ テスターによって正確だと検証された後に戻すべきＢｉｎを入力する
７２ 自動位置合わせ検査を行うテストステーションを選択する
７３ 被試験装置を、自動位置合わせ検査を行うテストステーションに載置する
７４ 自動位置合わせ検査を行う
７５ テスターと検査分類装置のテストステーションの位置合わせが正確かどうか判断する
７６ 素子を取り出す
７７ テストステーションをロックする

Claims (5)

1. テスターと、
   前記テスターとその間は信号伝送線によって双方向の伝送が行われ、自動位置合わせモジュールを有する本体を含む、検査分類装置と、
   を含むことを特徴とするテストステーションの自動位置合わせを行うことができるテストシステム。
2. 前記自動位置合わせモジュールはコンピュータ読み込み可能なメディアを含み、前記コンピュータ読み込み可能なメディアは、中央処理装置が実行できるプログラムやコマンドを有してテストステーションの自動位置合わせ方法を実行することができることを特徴とする、請求項１に記載のテストシステム。
3. 前記コンピュータ読み込み可能なメディアにおける中央処理装置が実行できるプログラムやコマンドは、テストステーションの自動位置合わせ方法を実行でき、前記方法は、
   自動位置合わせ検査を行うテストステーション内の被試験装置に対して，操作者が選択したテスターによって正確だと検証された後に戻すべき容器（Ｂｉｎ）及び操作者が選択した自動位置合わせ検査を行うテストステーションに基づいて自動位置合わせ検査を行う工程と、
   テスターと検査分類装置のテストステーションの位置合わせが正確かどうか判断する工程と、
   もし、テストステーションの位置合わせが不正確な場合、前記テストステーションをロックする工程と、を含むことを特徴とする、請求項２に記載のテストシステム。
4. 操作者が自動位置合わせを行いたい検査分類装置のテストステーションと、テスターによって正確だと検証された後に戻すべき容器（Ｂｉｎ）の、位置合わせが正確かどうか照合・判断する自動位置合わせモジュールと、
   操作者が、検査分類装置上で自動位置合わせを実行するテストステーションの選択や入力できるようにするための、又は操作者が、テスターによって正確だと検証された後に戻すべき容器（Ｂｉｎ）の選択や入力ができるにするための、グラフィカルユーザーインターフェースとを含むことを特徴とする、テストステーションの自動位置合わせ裝置。
5. 前記コンピュータ読み込み可能なメディアは、中央処理装置が実行できるＣ／Ｃ＋＋言語のプログラム・コマンドを有することでテストステーションの自動位置合わせ方法を実行することができることを特徴とする、請求項４にテストステーション自動位置合わせ裝置。

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