JP2010157768A - プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 26
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 85
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract description 16
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 68
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 23
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 20
- 230000008569 process Effects 0.000 description 12
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000005513 bias potential Methods 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012536 packaging technology Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置において、被処理基板を載置する第1電極11と、一定間隔で第1電極と対向するように配置された第2電極12と、前記第1電極11,第2電極12を収容し、その内部の雰囲気を調整可能に構成されたチャンバ13と、第1電極上の自己バイアス電圧を制御するための所定の第1周波数の負の直流パルス電圧を第1電極11に印加する第1電源装置18Aと、第1電極11,第2電極12間にプラズマを発生させるための所定の第2周波数のRF電圧を直流パルス電圧と同期させて前記第1電極に印加する第2電源装置と、を具備する。
【選択図】図11
Description
Claims (4)
- 被処理基板を載置する第1電極と、
一定間隔で前記第1電極と対向するように配置された第2電極と、
前記第1,第2電極を収容し、その内部の雰囲気を調整可能に構成されたチャンバと、
前記第1電極上の自己バイアス電圧を制御するための所定の第1周波数の負の直流パルス電圧を前記第1電極に印加する第1電源装置と、
前記第1,第2電極間にプラズマを発生させるための所定の第2周波数のRF電圧を前記直流パルス電圧と同期させて前記第1電極に印加する第2電源装置と、を具備することを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記第1電源装置が前記第1電極に対して印加する電圧の周波数は、前記第2周波数未満かつ生成するプラズマのイオン周波数ωpi(ωpi=(e2Ni/(ε0M))1/2[Hz],Ni:イオン密度(個/m3)、ε0:真空の誘電率、M:イオン質量(kg)、e:電子素量)超であることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第1電源装置と、前記第2電源装置の少なくともいずれかは、前記第1電極に供給される電力成分の侵入を防止するためのフィルタを備えることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- その内部雰囲気を調整可能に構成されたチャンバ内の下部および上部に互いに一定間隔で対向するようにそれぞれ配置された第1電極と第2電極の当該第1電極上に被処理基板を載置させ、
前記第1電極上の自己バイアス電圧を制御するための所定の負の直流パルス電圧を前記第1電極に印加するとともに、前記第1,第2電極間にプラズマを発生させるための所定のRF電圧を前記直流パルス電圧と同期させて間欠的に前記第1電極に印加することを特徴とするプラズマ処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010087032A JP5542509B2 (ja) | 2010-04-05 | 2010-04-05 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2010087032A JP5542509B2 (ja) | 2010-04-05 | 2010-04-05 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007239372A Division JP4607930B2 (ja) | 2007-09-14 | 2007-09-14 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010157768A true JP2010157768A (ja) | 2010-07-15 |
JP5542509B2 JP5542509B2 (ja) | 2014-07-09 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010087032A Expired - Fee Related JP5542509B2 (ja) | 2010-04-05 | 2010-04-05 | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5542509B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019192876A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP2020126998A (ja) * | 2019-02-05 | 2020-08-20 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
CN111916327A (zh) * | 2019-05-10 | 2020-11-10 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 多频率多阶段的等离子体射频输出的方法及其装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10204636A (ja) * | 1997-01-16 | 1998-08-04 | Nissin Electric Co Ltd | 物品表面処理方法及び装置 |
JP2000269198A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-09-29 | Toshiba Corp | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP2006148156A (ja) * | 1998-11-04 | 2006-06-08 | Surface Technology System Plc | 基板をエッチングするための方法と装置 |
JP2006270019A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-10-05 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法、ならびにコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
JP2006345001A (ja) * | 2006-09-08 | 2006-12-21 | Tokyo Electron Ltd | プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10204636A (ja) * | 1997-01-16 | 1998-08-04 | Nissin Electric Co Ltd | 物品表面処理方法及び装置 |
JP2006148156A (ja) * | 1998-11-04 | 2006-06-08 | Surface Technology System Plc | 基板をエッチングするための方法と装置 |
JP2000269198A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-09-29 | Toshiba Corp | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP2006270019A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-10-05 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法、ならびにコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
JP2006345001A (ja) * | 2006-09-08 | 2006-12-21 | Tokyo Electron Ltd | プラズマエッチング方法及びプラズマエッチング装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019192876A (ja) * | 2018-04-27 | 2019-10-31 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
CN110416075A (zh) * | 2018-04-27 | 2019-11-05 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理方法和等离子体处理装置 |
JP7061922B2 (ja) | 2018-04-27 | 2022-05-02 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
CN110416075B (zh) * | 2018-04-27 | 2024-03-29 | 东京毅力科创株式会社 | 等离子体处理方法和等离子体处理装置 |
JP2020126998A (ja) * | 2019-02-05 | 2020-08-20 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
CN111916327A (zh) * | 2019-05-10 | 2020-11-10 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 多频率多阶段的等离子体射频输出的方法及其装置 |
CN111916327B (zh) * | 2019-05-10 | 2023-04-28 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 多频率多阶段的等离子体射频输出的方法及其装置 |
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