JP2010155923A - Pressure-sensitive adhesive film for protection - Google Patents

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Yutaka Morioka
豊 守岡
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure-sensitive adhesive film for protection which shows appropriate adhesion to an adherend and does not generate a pollutant derived from the pressure-sensitive adhesive film on processing such as cutting. <P>SOLUTION: The pressure-sensitive adhesive film for protection can be formed by adjusting the compounding ratio of a block copolymer mixture including an M-A type diblock copolymer and an M-A-M type triblock copolymer which are composed of a methyl methacrylate polymer block (M) and a butyl acrylate polymer block (A) and a phthalate based plasticizer in the pressure-sensitive adhesive layer. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、保護用粘着フィルムに関する。詳細には、被貼付体に対して適度な接着性を示し、且つ、カッティング等の加工の際に粘着フィルム由来の糊カス等の汚染物質が発生しない保護用粘着フィルムに関する。   The present invention relates to a protective adhesive film. More specifically, the present invention relates to a protective pressure-sensitive adhesive film that exhibits appropriate adhesion to an adherend and that does not generate contaminants such as glue residue derived from the pressure-sensitive adhesive film during processing such as cutting.

様々な物品を汚れや傷等から保護するために、再剥離性の保護用粘着フィルムが使用されている。かかる保護用粘着フィルムに求められる特性としては、被貼付体に対する適度な接着性、剥離除去時の易剥離性、低汚染性等が挙げられる。近年、加工の際に発生する粘着フィルム由来の切断くずによる汚染が作業性や生産性の低下を招き、大きな問題となっている。そのため、加工により発生し得る粘着フィルム由来の汚染を防止する試みが、種々、なされている。   In order to protect various articles from dirt and scratches, a releasable protective adhesive film is used. Properties required for such a protective pressure-sensitive adhesive film include moderate adhesion to the adherend, easy peelability at the time of peeling and removal, low contamination, and the like. In recent years, contamination due to cutting waste derived from an adhesive film that occurs during processing has led to a decrease in workability and productivity, which has become a major problem. For this reason, various attempts have been made to prevent contamination derived from an adhesive film that may be generated by processing.

例えば、特許文献1には、基材の片面に、ある特定の初期弾性率、損失正接、ゲル分を有する中間層と、分子内に炭素−炭素に二重結合を有する放射線硬化型のアクリル系ポリマーを用いてなる粘着剤層と、をこの順で設けることで、切断くずの発生を防止した粘着シートが開示されている。   For example, Patent Document 1 discloses a radiation curable acrylic system having an intermediate layer having a specific initial elastic modulus, loss tangent, and gel content on one side of a substrate, and a carbon-carbon double bond in the molecule. A pressure-sensitive adhesive sheet in which generation of cutting waste is prevented by providing a pressure-sensitive adhesive layer using a polymer in this order is disclosed.

しかしながら、上記粘着シートによれば、切断クズの数は減少するものの、その発生を完全に防止するまでには至っていない。そのため、カッティング等の加工を行っても粘着フィルム由来の汚染物質が発生しない保護用粘着フィルムの開発が所望されていた。
特開2007−45965号公報
However, according to the pressure-sensitive adhesive sheet, although the number of cut scraps is reduced, it has not yet been completely prevented. Therefore, it has been desired to develop a protective adhesive film that does not generate contaminants derived from the adhesive film even when processing such as cutting is performed.
JP 2007-45965 A

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、被貼付体に対して適度な接着性を示し、且つ、カッティング等の加工の際に粘着フィルム由来の糊カス等の汚染物質が発生しない保護用粘着フィルムを提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to show appropriate adhesiveness to an adherend and to contaminate glue residue derived from an adhesive film during processing such as cutting. An object of the present invention is to provide a protective adhesive film that does not generate substances.

本発明者は、上記課題を解決するために鋭意研究を重ねたところ、粘着剤層の主剤として、メタクリル酸メチル重合体ブロック(M)とアクリル酸ブチル重合体ブロック(A)とからなるM−A型ジブロック共重合体及びM−A−M型トリブロック共重合体を含むブロック共重合体混合物を用い、これにフタル酸エステル系可塑剤を配合することで、貼付期間中の適度な接着性と加工の際の非汚染性とを有する粘着フィルムが得られることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、以下のようなものを提供する。   The present inventor conducted extensive research to solve the above-mentioned problems, and as a main component of the pressure-sensitive adhesive layer, M-, comprising a methyl methacrylate polymer block (M) and a butyl acrylate polymer block (A). By using a block copolymer mixture containing an A-type diblock copolymer and an M-AM-type triblock copolymer, and adding a phthalate ester plasticizer to the mixture, appropriate adhesion during the pasting period It has been found that a pressure-sensitive adhesive film having the property and non-contamination property during processing can be obtained, and the present invention has been completed. Specifically, the following are provided.

(1)基材上に、粘着剤層と、剥離層とが順次形成された粘着フィルムにおいて、該粘着剤層が、メタクリル酸メチル重合体ブロック(M)とアクリル酸ブチル重合体ブロック(A)とからなる質量平均分子量10,000〜100,000のM−A型ジブロック共重合体及び質量平均分子量10,000〜100,000のM−A−M型トリブロック共重合体を含むブロック共重合体混合物と、質量平均分子量300〜1000のフタル酸エステル系可塑剤と、を含有し、該ブロック共重合体混合物は、該アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合が90〜95質量%であるジブロック共重合体と、該アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合が72〜80質量%であるトリブロック共重合体と、を含み、該ブロック共重合体混合物における該トリブロック共重合体の占める割合が30〜90質量%であり、該フタル酸エステル系可塑剤が、該ブロック共重合体混合物100質量部に対して0〜60質量部配合されていることを特徴とする保護用粘着フィルム。   (1) In an adhesive film in which an adhesive layer and a release layer are sequentially formed on a substrate, the adhesive layer comprises a methyl methacrylate polymer block (M) and a butyl acrylate polymer block (A). A block copolymer comprising a MA type diblock copolymer having a weight average molecular weight of 10,000 to 100,000 and a MAM type triblock copolymer having a weight average molecular weight of 10,000 to 100,000. A polymer mixture and a phthalate plasticizer having a mass average molecular weight of 300 to 1000 are contained, and in the block copolymer mixture, the proportion of the butyl acrylate polymer block (A) is 90 to 95 mass. % Diblock copolymer and the triblock copolymer in which the proportion of the butyl acrylate polymer block (A) is 72 to 80% by mass, The proportion of the triblock copolymer in the polymer mixture is 30 to 90% by mass, and the phthalate plasticizer is blended in an amount of 0 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the block copolymer mixture. A protective pressure-sensitive adhesive film characterized by

(2)前記フタル酸エステル系可塑剤が、該ブロック共重合体混合物100質量部に対して15〜60質量部更に配合されていることを特徴とする(1)に記載の保護用粘着フィルム。   (2) The protective adhesive film according to (1), wherein the phthalate ester plasticizer is further blended in an amount of 15 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the block copolymer mixture.

(3)剥離速度300mm/min、剥離距離150mm、試験体幅20mmの180°剥離試験(JIS Z0237準拠)にて測定した、被貼付体に貼付して0.5時間経過後の剥離強度が0.01〜1.00N/20mmであることを特徴とする(1)又は(2)に記載の保護用粘着フィルム。   (3) The peel strength after 0.5 hours has elapsed after being pasted on the adherend measured by a 180 ° peel test (based on JIS Z0237) having a peel speed of 300 mm / min, a peel distance of 150 mm, and a specimen width of 20 mm. The protective adhesive film according to (1) or (2), wherein the protective adhesive film has a thickness of 0.01 to 1.00 N / 20 mm.

(4)シリコン酸化膜面保護用であることを特徴とする(1)〜(3)いずれかに記載の保護用粘着フィルム。   (4) The protective pressure-sensitive adhesive film according to any one of (1) to (3), which is for protecting a silicon oxide film surface.

本発明によれば、被貼付体に対して適度な接着性を示し、且つ、カッティング等の加工の際に粘着フィルム由来の糊カス等汚染物質が発生せず、製品や装置の汚染を引き起こすことがないので、作業性や生産性の向上を図ることができる。   According to the present invention, it exhibits appropriate adhesion to an adherend, and does not generate contaminants such as glue residue derived from an adhesive film during processing such as cutting, causing contamination of products and devices. Therefore, workability and productivity can be improved.

以下、本発明の具体的な実施形態について、詳細に説明する。   Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail.

本発明の保護用粘着フィルム(以下、粘着フィルムとする。)は、基材上に、粘着剤層と、剥離層とを順次形成された粘着フィルムにおいて、該粘着剤層が、メタクリル酸メチル重合体ブロック(M)とアクリル酸ブチル重合体ブロック(A)とからなる質量平均分子量10,000〜100,000のM−A型ジブロック共重合体及び質量平均分子量10,000〜100,000のM−A−M型トリブロック共重合体を含むブロック共重合体混合物と、質量平均分子量300〜1000のフタル酸エステル系可塑剤と、を含有し、該ブロック共重合体混合物は、該アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合が90〜95質量%であるジブロック共重合体と、該アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合が72〜80質量%であるトリブロック共重合体と、を含み、該ブロック共重合体混合物における該トリブロック共重合体の占める割合が30〜90質量%であり、該フタル酸エステル系可塑剤が、該ブロック共重合体混合物100質量部に対して0〜60質量部配合されている。   The protective pressure-sensitive adhesive film of the present invention (hereinafter referred to as pressure-sensitive adhesive film) is a pressure-sensitive adhesive film in which a pressure-sensitive adhesive layer and a release layer are sequentially formed on a substrate. A MA-type diblock copolymer having a weight average molecular weight of 10,000 to 100,000 and a weight average molecular weight of 10,000 to 100,000 consisting of a combined block (M) and a butyl acrylate polymer block (A). A block copolymer mixture containing an M-A-M type triblock copolymer and a phthalate ester plasticizer having a mass average molecular weight of 300 to 1000, the block copolymer mixture comprising the acrylic acid The diblock copolymer in which the proportion of the butyl polymer block (A) is 90 to 95% by mass and the proportion of the butyl acrylate polymer block (A) is 72 to 80 And the proportion of the triblock copolymer in the block copolymer mixture is 30 to 90% by mass, and the phthalate plasticizer is 0-60 mass parts is mix | blended with respect to 100 mass parts of copolymer mixtures.

粘着フィルムを構成する粘着剤層としては、アクリル酸アルキルエステル単量体とエポキシ基や水酸基等の官能基を有する単量体との共重合体を、イソシアネート系架橋剤や金属キレート剤等により架橋させたものが一般的に使用されている。これに対し、本発明では、M−A型ジブロック共重合体及びM−A−M型トリブロック共重合体を含むブロック共重合体混合物と、フタル酸エステル系可塑剤と、を粘着剤層に使用し、粘着フィルムの物性を調整した点に特徴がある。M−A型ジブロック共重合体やM−A−M型トリブロック共重合体におけるアクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合、ブロック共重合体混合物におけるM−A−M型トリブロック共重合体の占める割合、及びフタル酸エステル系可塑剤の配合量を調整することで、被貼付体に対して適度な接着性を示し、且つ、カッティング等の加工の際に糊カス等の汚染物質が発生しない粘着フィルムを形成することができる。以下、本発明の粘着フィルムについて、基材、粘着剤層、剥離層の順で説明する。   As the pressure-sensitive adhesive layer constituting the pressure-sensitive adhesive film, a copolymer of an acrylic acid alkyl ester monomer and a monomer having a functional group such as an epoxy group or a hydroxyl group is cross-linked with an isocyanate-based cross-linking agent or a metal chelating agent. The ones used are generally used. On the other hand, in the present invention, a pressure-sensitive adhesive layer comprises a block copolymer mixture containing an M-A type diblock copolymer and a M-A-M type triblock copolymer, and a phthalate ester plasticizer. And is characterized by adjusting the physical properties of the adhesive film. The proportion of the butyl acrylate polymer block (A) in the M-A type diblock copolymer and the M-A-M type triblock copolymer, the M-A-M type triblock copolymer in the block copolymer mixture By adjusting the proportion of the polymer and the blending amount of the phthalate ester plasticizer, it shows appropriate adhesiveness to the adherend, and pollutants such as glue residue during processing such as cutting It is possible to form an adhesive film that does not generate any. Hereinafter, the adhesive film of the present invention will be described in the order of the substrate, the adhesive layer, and the release layer.

[基材]
基材は、必要な強度や柔軟性を有するものであれば、特に限定されず、一般的には合成樹脂フィルムが用いられる。合成樹脂フィルムの材料としては、ポリエステル系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリ(4−メチル−ペンテン−1)系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−プロピレン共重合体、ポリ塩化ビニル系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、フッ素系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポリ(メタ)アクリル系樹脂、ポリビニルブチラール系樹脂、ポリアクリロニトリル系樹脂、酢酸セルロース系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリビニルアルコール系樹脂、ポリフェニレンスルフィド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン系樹脂、パラ系アラミド系樹脂、ポリウレタン系樹脂等の公知の樹脂が挙げられる。なお、本発明では、この中でも、剛性、伸長性、寸法安定性、柔軟性、積層適性等、耐薬品性の観点から、特に、ポリエステル系樹脂を用いることが好ましい。
[Base material]
The substrate is not particularly limited as long as it has necessary strength and flexibility, and a synthetic resin film is generally used. As the material of the synthetic resin film, polyester resin, polypropylene resin, poly (4-methyl-pentene-1) resin, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-propylene copolymer, polyvinyl chloride resin, Vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, polyvinylidene chloride resin, fluorine resin, polystyrene resin, poly (meth) acrylic resin, polyvinyl butyral resin, polyacrylonitrile resin, cellulose acetate resin, polycarbonate resin, Known resins such as polyamide resins, polyester resins, polyvinyl alcohol resins, polyphenylene sulfide resins, polyether ether ketone resins, para aramid resins, polyurethane resins and the like can be mentioned. In the present invention, among these, it is particularly preferable to use a polyester-based resin from the viewpoint of chemical resistance such as rigidity, extensibility, dimensional stability, flexibility, and stackability.

ポリエステル系樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリアリレート、ポリテトラメチレンテレフタレート等が挙げられるが、この中でも、取り扱い易さ、低価格等の観点から、ポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。   Examples of the polyester-based resin include polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polybutylene terephthalate, polybutylene naphthalate, polyarylate, polytetramethylene terephthalate, etc. Among them, from the viewpoint of ease of handling, low cost, etc. Polyethylene terephthalate is particularly preferred.

基材の厚みは、特に限定されないが、好ましくは12〜188μm、より好ましくは25〜100μmである。上記範囲であれば、粘着フィルムの形態を維持することができるので、粘着フィルムの貼付や剥離等の作業性が良好となる。   Although the thickness of a base material is not specifically limited, Preferably it is 12-188 micrometers, More preferably, it is 25-100 micrometers. If it is the said range, since the form of an adhesive film can be maintained, workability | operativity, such as sticking and peeling of an adhesive film, will become favorable.

[粘着剤層]
本発明の粘着フィルムを形成する粘着剤層には、ブロック共重合体混合物と、フタル酸エステル系可塑剤と、が含まれる。そして、ブロック共重合体混合物は、メタクリル酸メチル重合体ブロック(M)とアクリル酸ブチル重合体ブロック(A)とからなるM−A型ジブロック共重合体及びM−A−M型トリブロック共重合体を含む。該ブロック共重合体混合物は、該アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合が90〜95質量%、好ましくは90〜94質量%であるM−A型ジブロック共重合体と、該アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合が72〜80質量%、好ましくは75〜80質量%であるM−A−M型トリブロック共重合体と、を含有し、該ブロック共重合体混合物における該トリブロック共重合体の占める割合が30〜90質量%、好ましくは50〜90質量%である。アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合が上記範囲のM−A型ジブロック共重合体とM−A−M型トリブロック共重合体とを含み、且つ、ブロック共重合体混合物におけるトリブロック共重合体の占める割合が上記範囲であれば、後述するフタル酸エステル系可塑剤との配合比を調整することで、被貼付体に対して適度な接着性を示し、また、カッティング等の加工の際には粘着フィルム由来の糊カス等の汚染物質が発生しない粘着フィルムを形成することができる。かかる粘着フィルムの使用は、製品や装置の汚染を引き起こすことがないので、作業性や生産性の向上につながる。
[Adhesive layer]
The pressure-sensitive adhesive layer forming the pressure-sensitive adhesive film of the present invention contains a block copolymer mixture and a phthalate ester plasticizer. Then, the block copolymer mixture is composed of an M-A type diblock copolymer comprising a methyl methacrylate polymer block (M) and a butyl acrylate polymer block (A), and an MAM type triblock copolymer. Including polymers. The block copolymer mixture comprises an MA type diblock copolymer in which the proportion of the butyl acrylate polymer block (A) is 90 to 95% by mass, preferably 90 to 94% by mass, and the acrylic copolymer. An butyl polymer block (A) occupying a ratio of 72 to 80% by mass, preferably 75 to 80% by mass, M-A-M type triblock copolymer, and the block copolymer mixture The proportion of the triblock copolymer in is 30 to 90% by mass, preferably 50 to 90% by mass. The proportion of the butyl acrylate polymer block (A) occupying the MA range diblock copolymer and the MAM type triblock copolymer in the above range, and the triblock in the block copolymer mixture If the proportion of the block copolymer is in the above range, by adjusting the blending ratio with the phthalate ester plasticizer described later, it shows appropriate adhesion to the adherend, During processing, an adhesive film that does not generate contaminants such as glue residue derived from the adhesive film can be formed. Since the use of such an adhesive film does not cause contamination of products and devices, it leads to improvement in workability and productivity.

M−A型ジブロック共重合体の質量平均分子量(GPCによる測定)は、10,000〜100,000であり、好ましくは80,000〜100,000である。上記範囲であれば、粘着剤層として十分な凝集力を示す。上記質量平均分子量と、上記アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合と、を満たすジブロック共重合体としては、特に限定されないが、具体的には、例えばLA1114(クラレ社製)の商品名で市販されているものを好適に使用することができる。   The mass average molecular weight (measured by GPC) of the MA diblock copolymer is 10,000 to 100,000, preferably 80,000 to 100,000. If it is the said range, cohesion force sufficient as an adhesive layer is shown. Although it does not specifically limit as a diblock copolymer which satisfy | fills the said mass average molecular weight and the ratio for which the said butyl acrylate polymer block (A) accounts, Specifically, for example, the product of LA1114 (made by Kuraray) What is marketed by name can be used conveniently.

また、M−A−M型トリブロック共重合体の質量平均分子量(GPCによる測定)は、10,000〜100,000であり、好ましくは45,000〜100,000である。上記範囲であれば、粘着剤層として十分な凝集力を示す。上記質量平均分子量と、上記アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合と、を満たすトリブロック共重合体についても、特に限定されるものではなく、具体的には、例えばLA2140e(クラレ社製)の商品名で市販されているものを好適に使用することができる。   The mass average molecular weight (measured by GPC) of the MAM type triblock copolymer is 10,000 to 100,000, preferably 45,000 to 100,000. If it is the said range, cohesion force sufficient as an adhesive layer is shown. The triblock copolymer satisfying the mass average molecular weight and the proportion of the butyl acrylate polymer block (A) is not particularly limited, and specifically, for example, LA2140e (manufactured by Kuraray Co., Ltd.). What is marketed with the brand name of) can be used conveniently.

粘着剤層に含まれるフタル酸エステル系可塑剤としては、例えば、フタル酸ジ−2−エチルヘキシル(DOP)、フタル酸ジメチル(DMP)、フタル酸ジエチル(DEP)、フタル酸ジブチル(DBP)、フタル酸ヘプチルノニル(HNP)、フタル酸ジ−n−オクチル(DNOP)、フタル酸ジ−i−オクチル(DCapP)、フタル酸ジ−i−デシル(DIDP)、フタル酸ジトリデシル(DTDP)、フタル酸ジシクロヘキシル(DCHP)、フタル酸ブチルベンジル(BDP)、エチルフタリルエチルグリコレート(EPEG)、ブチルフタリルブチルグリコレート(BPBG)等が挙げられ、これらの1種又は2種以上を併用してもよい。なお、本発明では、この中でも、汎用性の観点から、フタル酸ジ−2−エチルヘキシル(DOP)を用いることが好ましい。   Examples of the phthalate ester plasticizer included in the pressure-sensitive adhesive layer include di-2-ethylhexyl phthalate (DOP), dimethyl phthalate (DMP), diethyl phthalate (DEP), dibutyl phthalate (DBP), and phthalate. Heptylnonyl acid (HNP), di-n-octyl phthalate (DNOP), di-i-octyl phthalate (DCapP), di-i-decyl phthalate (DIDP), ditridecyl phthalate (DTDP), dicyclohexyl phthalate ( DCHP), butyl benzyl phthalate (BDP), ethyl phthalyl ethyl glycolate (EPEG), butyl phthalyl butyl glycolate (BPBG) and the like, and one or more of these may be used in combination. In the present invention, among these, di-2-ethylhexyl phthalate (DOP) is preferably used from the viewpoint of versatility.

フタル酸エステル系可塑剤の配合量は、ブロック共重合体混合物100質量部に対して0〜60質量部であり、15〜60質量部であることが好ましく、15〜40質量部であることがより好ましい。なお、2種以上を併用する場合には、全体としての配合量を意味する。上記範囲であれば、被貼付体に対して適度な接着性を示し、且つ、カッティング等の加工の際には粘着フィルム由来の糊カス等の汚染物質が発生しない粘着フィルムを形成することができる。また、フタル酸エステル系可塑剤の配合量が、ブロック共重合体混合物100質量部に対して15〜60質量部の範囲であれば、剥離性が良好な粘着フィルムを形成することができる。なお、フタル酸エステル系可塑剤の質量平均分子量(GPCによる測定)は、300〜1000であり、300〜700であることが好ましい。上記範囲であれば、粘着剤溶液への溶解性が良好である。   The compounding quantity of a phthalate ester plasticizer is 0-60 mass parts with respect to 100 mass parts of block copolymer mixtures, it is preferable that it is 15-60 mass parts, and it is 15-40 mass parts. More preferred. In addition, when using 2 or more types together, the compounding quantity as a whole is meant. If it is the said range, an adhesive film which shows moderate adhesiveness with respect to a to-be-adhered body, and does not generate | occur | produce contaminants, such as glue residue derived from an adhesive film, in the process of cutting etc. can be formed. . Moreover, if the compounding quantity of a phthalate ester plasticizer is the range of 15-60 mass parts with respect to 100 mass parts of block copolymer mixtures, an adhesive film with favorable peelability can be formed. The mass average molecular weight (measured by GPC) of the phthalate ester plasticizer is 300 to 1000, and preferably 300 to 700. If it is the said range, the solubility to an adhesive solution is favorable.

その他、本発明の目的を損なわない範囲で必要に応じて、金属キレート剤、界面活性剤、酸化防止剤、粘着付与剤、紫外線吸収剤、顔料、染料等の各種添加剤を配合することができる。   In addition, various additives such as a metal chelating agent, a surfactant, an antioxidant, a tackifier, an ultraviolet absorber, a pigment, and a dye can be blended as necessary without departing from the object of the present invention. .

粘着剤層の形成方法としては、特に限定されないが、例えば、印刷、コーティング等による方法が挙げられる。また、粘着剤層の厚みは、被貼付体の貼付面の状態、形状等を勘案し、被貼付体の貼付面に対する粘着性を損なわない範囲で適宜選択することができ、通常、10〜60μm、好ましくは20〜50μmである。上記範囲であれば、被貼付体に対して適度な接着性を示す粘着フィルムを形成することができる。   Although it does not specifically limit as a formation method of an adhesive layer, For example, the method by printing, coating, etc. are mentioned. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer can be appropriately selected within a range that does not impair the adhesiveness to the sticking surface of the adherend in consideration of the state and shape of the sticking surface of the adherend, and is usually 10 to 60 μm. The thickness is preferably 20 to 50 μm. If it is the said range, the adhesive film which shows moderate adhesiveness with respect to a to-be-bonded body can be formed.

[剥離層]
剥離層は、粘着剤層の上に積層された剥離性を有する剥離部材からなり、粘着剤層の表面を保護する機能を有する。剥離部材は、必要な強度や柔軟性を有するものであれば、特に限定されず、一般的にはシリコーン離型処理した合成樹脂フィルムが用いられる。合成樹脂フィルムの材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリブチレンナフタレート、ポリアリレート、ポリテトラメチレンテレフタレート等ポリエステル系樹脂が好ましい。なお、剥離層の厚みは、特に限定されないが、好ましくは25〜125μmである。
[Peeling layer]
A peeling layer consists of a peeling member which has the peelability laminated | stacked on the adhesive layer, and has a function which protects the surface of an adhesive layer. The release member is not particularly limited as long as it has necessary strength and flexibility, and a synthetic resin film subjected to silicone release treatment is generally used. As a material of the synthetic resin film, for example, polyester resins such as polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polybutylene terephthalate, polybutylene naphthalate, polyarylate, polytetramethylene terephthalate are preferable. The thickness of the release layer is not particularly limited, but is preferably 25 to 125 μm.

本発明の粘着フィルムは、有機溶剤に溶解させた粘着剤(以下、粘着剤溶液とする。)を基材に塗布し、これを乾燥して、所望の厚さの粘着剤層を形成することにより製造できる。有機溶剤としては、特に限定されず、例えば、トルエン、メチルエチルケトン、酢酸エチル、メチルイソブチルケトン(MIBK)、酢酸ブチル、アセトン、これらの混合溶液等が挙げられる。基材に粘着剤溶液を塗布する方法としては、従来公知の方法、例えばロールコート法、グラビアコート法、マイクログラビアコート法、リバースコート法、ロールブラッシュ法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、含浸法、カーテンコート法、ダイコート法、ドクターブレード法、コンマコート法等が挙げられる。塗布された粘着剤の乾燥条件は、特に限定されないが、通常、40〜120℃の温度範囲において30秒〜3分間乾燥する。本発明の粘着フィルムの厚みは、目的に応じて適宜選択することができるが、通常、47〜373μmである。   In the pressure-sensitive adhesive film of the present invention, a pressure-sensitive adhesive (hereinafter referred to as pressure-sensitive adhesive solution) dissolved in an organic solvent is applied to a substrate and dried to form a pressure-sensitive adhesive layer having a desired thickness. Can be manufactured. The organic solvent is not particularly limited, and examples thereof include toluene, methyl ethyl ketone, ethyl acetate, methyl isobutyl ketone (MIBK), butyl acetate, acetone, and a mixed solution thereof. As a method of applying the adhesive solution to the substrate, conventionally known methods such as a roll coating method, a gravure coating method, a micro gravure coating method, a reverse coating method, a roll brush method, a spray coating method, an air knife coating method, impregnation Method, curtain coating method, die coating method, doctor blade method, comma coating method and the like. Although the drying conditions of the applied adhesive are not specifically limited, Usually, it dries for 30 seconds-3 minutes in the temperature range of 40-120 degreeC. Although the thickness of the adhesive film of this invention can be suitably selected according to the objective, Usually, it is 47-373 micrometers.

本発明の粘着フィルムは、剥離速度300mm/min、剥離距離150mm、試験体幅20mmの180°剥離試験条件(「JIS Z0237」に準拠)で測定した、被貼付体に貼付して0.5時間経過後の剥離強度が0.01〜1.00N/20mmであることが好ましく、0.10〜1.00N/20mmであることがより好ましい。上記範囲であれば、被貼付体に対して良好に接着し、剥離除去の際には被貼付体を破損させることなく容易に剥離することができる。   The pressure-sensitive adhesive film of the present invention is measured under 180 ° peel test conditions (in accordance with “JIS Z0237”) with a peel speed of 300 mm / min, a peel distance of 150 mm, and a test specimen width of 20 mm, and is 0.5 hours after being attached to an adherend. The peel strength after the lapse is preferably 0.01 to 1.00 N / 20 mm, and more preferably 0.10 to 1.00 N / 20 mm. If it is the said range, it adhere | attaches favorably with respect to a to-be-adhered body, and can peel easily, without damaging an to-be-adhered body in the case of peeling removal.

本発明の粘着フィルムの貼付対象としては、特に限定されるものではないが、例えば、反射防止フィルム、防眩フィルム、偏光板、電磁波シールド等の光学用フィルム、銅、鉄等の金属製板や金属製フィルム、金属酸化物が表面や内部に形成されたフィルム、ガラス、珪素酸化物が表面や内部に形成されたフィルム、半導体ウエハ等が挙げられる。本発明の粘着フィルムは、カッティング等の加工を行っても糊カス等の汚染物質が発生しないので、わずかな汚染物質が、装置の汚染、如いては製品の汚染を引き起こし、作業性や生産性の著しい低下を招き得る半導体ウエハの生産ラインでの使用において、特に、効果を発揮する。   The sticking target of the adhesive film of the present invention is not particularly limited. For example, an antireflection film, an antiglare film, a polarizing plate, an optical film such as an electromagnetic wave shield, a metal plate such as copper or iron, Examples thereof include a metal film, a film in which a metal oxide is formed on the surface and inside, glass, a film in which a silicon oxide is formed on the surface and inside, and a semiconductor wafer. Since the adhesive film of the present invention does not generate contaminants such as glue residue even after processing such as cutting, a slight amount of contaminants may cause contamination of the device or product, resulting in workability and productivity. This is particularly effective when the semiconductor wafer is used in a production line that can cause a significant decrease in the thickness of the semiconductor wafer.

なお、本発明の粘着フィルムは、シリコン酸化膜面の保護用に用いてもよい。シリコン酸化膜とは、シリコンウエハの表面に二酸化ケイ素膜を形成させたものをいい、通常のウエハに比して粘着フィルムの接着性や密着性が劣る貼付対象である。シリコンウエハは、非常に薄いため、接着性が高いと粘着フィルムを剥離する際に破損してしまう。そのため、シリコン酸化膜面の保護に用いる場合には、剥離速度300mm/min、剥離距離150mm、試験体幅20mmの180°剥離試験条件(「JIS Z0237」に準拠)で測定した、貼付して0.5時間経過後の剥離強度が0.10〜1.00N/20mmであることが好ましく、より好ましくは0.10〜0.75N/20mmであり、更により好ましくは0.20〜0.75N/20mmである。上記範囲であれば、粘着フィルムは、シリコン酸化膜面に対して良好な接着性と密着性とを示し、また、ウエハを破損することなく剥離することができる。   The pressure-sensitive adhesive film of the present invention may be used for protecting the silicon oxide film surface. The silicon oxide film refers to a silicon wafer having a silicon dioxide film formed on the surface thereof, and is an object to be adhered, which is inferior in adhesiveness and adhesiveness of an adhesive film as compared to a normal wafer. Since the silicon wafer is very thin, if the adhesiveness is high, the silicon wafer is damaged when the adhesive film is peeled off. Therefore, when it is used for protecting the silicon oxide film surface, it is measured by applying 180 ° peel test conditions (in accordance with “JIS Z0237”) with a peel rate of 300 mm / min, a peel distance of 150 mm, and a specimen width of 20 mm. The peel strength after 5 hours is preferably 0.10 to 1.00 N / 20 mm, more preferably 0.10 to 0.75 N / 20 mm, and still more preferably 0.20 to 0.75 N. / 20 mm. If it is the said range, an adhesive film will show favorable adhesiveness and adhesiveness with respect to a silicon oxide film surface, and can peel, without damaging a wafer.

本発明の粘着フィルムは、本発明の効果を損なわない範囲において、印刷層等の他の層を積層されていてもよい。   The pressure-sensitive adhesive film of the present invention may be laminated with other layers such as a printing layer as long as the effects of the present invention are not impaired.

以下、実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example is given and this invention is demonstrated in detail, this invention is not limited to these Examples.

[材料]
<ジブロック重合体>
LA1114(クラレ社製):アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合90〜95質量%、固形分100%、分子量約85,000
<トリブロック重合体>
LA2140e(クラレ社製):アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合72〜80質量%、固形分100%、分子量約80,000
<フタル酸エステル系可塑剤>
フタル酸ジ−2−エチルヘキシル(DOP)(ジェイプラス社製):分子量390.6
<ブチルアクリレート(BA)−アクリルニトリル(AN)共重合体のアクリル系粘着剤>
SKダインAG790(綜研化学社製):固形分23%
<ブチルアクリレート(BA)−2エチルヘキシルアクリレート(2EHA)共重合体のアクリル系粘着剤>
ATR340(サイデン化学社製):固形分42%
<イソシアネート系架橋剤>
L−45(綜研化学社製):固形分45%
K200(サイデン化学社製):固形分100%
<アルミニウム金属キレート剤>
M2(サイデン化学社製):固形分5%
[material]
<Diblock polymer>
LA1114 (manufactured by Kuraray Co., Ltd.): 90 to 95% by mass of butyl acrylate polymer block (A), solid content of 100%, molecular weight of about 85,000
<Triblock polymer>
LA2140e (manufactured by Kuraray Co., Ltd.): The proportion of butyl acrylate polymer block (A) is 72 to 80% by mass, the solid content is 100%, and the molecular weight is about 80,000.
<Phthalate ester plasticizer>
Di-2-ethylhexyl phthalate (DOP) (manufactured by J-Plus): molecular weight 390.6
<Acrylic adhesive of butyl acrylate (BA) -acrylonitrile (AN) copolymer>
SK Dyne AG790 (manufactured by Soken Chemical): 23% solid content
<Acrylic adhesive of butyl acrylate (BA) -2 ethylhexyl acrylate (2EHA) copolymer>
ATR340 (manufactured by Seiden Chemical Co., Ltd.): Solid content 42%
<Isocyanate-based crosslinking agent>
L-45 (manufactured by Soken Chemical): Solid content 45%
K200 (manufactured by Seiden Chemical): 100% solid content
<Aluminum metal chelating agent>
M2 (manufactured by Seiden Chemical): 5% solid content

[粘着フィルムの形成方法]
<製造例1>比較例1〜22,実施例1〜56
アプリケータを用いて、基材(PETフィルム,商品名「S105」,膜厚50μm,東レ社製)のコロナ処理面に乾燥後の膜厚が40μmとなるように、表1〜3に示す組成の粘着剤溶液を塗工し、粘着剤層を形成した。次いで、粘着剤層中の希釈溶剤をオーブンにより揮発させ(90℃,1分間)、乾燥後の粘着剤層の塗工面に剥離層(PETセパレーターフィルム,商品名「0010BD」,膜厚50μm,藤森工業社製)の剥離処理面をラミネートし、粘着フィルムを形成した。
[Method of forming adhesive film]
<Production Example 1> Comparative Examples 1 to 22 and Examples 1 to 56
Using the applicator, the compositions shown in Tables 1 to 3 so that the film thickness after drying on the corona-treated surface of the substrate (PET film, trade name “S105”, film thickness 50 μm, manufactured by Toray Industries, Inc.) is 40 μm. The pressure-sensitive adhesive solution was applied to form a pressure-sensitive adhesive layer. Next, the diluted solvent in the pressure-sensitive adhesive layer was volatilized in an oven (90 ° C., 1 minute), and a release layer (PET separator film, trade name “0010BD”, film thickness 50 μm, Fujimori on the coated surface of the pressure-sensitive adhesive layer after drying. The release treatment surface of Kogyo Co., Ltd. was laminated to form an adhesive film.

<製造例2>比較例23〜32
アプリケータを用いて、基材(PETフィルム,商品名「S105」,膜厚50μm,東レ社製)のコロナ処理面に乾燥後の膜厚が40μmとなるように、表4及び5に示す組成の粘着剤溶液を塗工し、粘着剤層を形成した。次いで、粘着剤層中の希釈溶剤をオーブンにより揮発させ(90℃,1分間)、乾燥後の粘着剤層の塗工面に剥離層(PETセパレーターフィルム,商品名「0010BD」,膜厚50μm,藤森工業社製)の剥離処理面をラミネートし、40℃で3日間のエージング処理を行い、粘着フィルムを形成した。
<Production Example 2> Comparative Examples 23 to 32
Compositions shown in Tables 4 and 5 using an applicator so that the film thickness after drying on the corona-treated surface of the substrate (PET film, trade name “S105”, film thickness 50 μm, manufactured by Toray Industries, Inc.) is 40 μm. The pressure-sensitive adhesive solution was applied to form a pressure-sensitive adhesive layer. Next, the diluted solvent in the pressure-sensitive adhesive layer was volatilized in an oven (90 ° C., 1 minute), and a release layer (PET separator film, trade name “0010BD”, film thickness 50 μm, Fujimori on the coated surface of the pressure-sensitive adhesive layer after drying. The peel-treated surface of Kogyo Co., Ltd. was laminated and subjected to an aging treatment at 40 ° C. for 3 days to form an adhesive film.

上記方法により形成した各粘着フィルムについて、以下の項目の評価を行った。結果を表1(比較例1〜6)、表2(実施例1〜32)、表3(実施例33〜56、比較例7〜22)、表4(比較例23〜28)、及び表5(比較例29〜32)に示す。   About each adhesive film formed by the said method, the following items were evaluated. The results are shown in Table 1 (Comparative Examples 1 to 6), Table 2 (Examples 1 to 32), Table 3 (Examples 33 to 56, Comparative Examples 7 to 22), Table 4 (Comparative Examples 23 to 28), and Tables. 5 (Comparative Examples 29 to 32).

[剥離強度]
粘着フィルムを20mm幅に切断し、試験片を作製した。この試験片を、CVD炉にて、ターゲット:20Å、雰囲気:ヘリウムガスベース,モノシラン,酸素ガス、温度:400℃、保持時間:15秒の条件でCZ法により単結晶シリコンウエハ面にCVD酸化膜を形成した酸化膜面に2kgローラーを用いてラミネートし、常湿常温下にて0.5時間放置した。そして、引張り試験機(RTF−1150−H)を用いて、常湿常温下での剥離強度を測定(速度:300mm/min,剥離距離:150mm,剥離角:180°)した(JIS Z0237に準拠)。
[Peel strength]
The adhesive film was cut into a width of 20 mm to prepare a test piece. A CVD oxide film is formed on the surface of the single crystal silicon wafer by the CZ method on the test piece in a CVD furnace under the conditions: target: 20 mm, atmosphere: helium gas base, monosilane, oxygen gas, temperature: 400 ° C., holding time: 15 seconds The surface of the oxide film was laminated using a 2 kg roller, and allowed to stand at normal humidity and room temperature for 0.5 hour. Then, using a tensile tester (RTF-1150-H), the peel strength at normal temperature and normal temperature was measured (speed: 300 mm / min, peel distance: 150 mm, peel angle: 180 °) (based on JIS Z0237) ).

[学振摩擦試験後における糊カスの発生の確認]
学振摩擦試験(JIS L0849準拠)後における粘着剤由来の糊カス(幅1mm以上)発生の有無を確認した。試験装置にJIS L0849準拠のAB−301学振型摩擦堅牢度試験機(テスター産業製)を用い、粘着フィルムの試験片の大きさは、3cm×22cmとした。摩擦子の先端にJIS L0803準拠のJIS染色堅牢度試験用綿(財団法人 日本規格協会製)をかぶせ、200gの荷重にて、試験台(表面半径:200mm,形状:かまぼこ板型)上に固定した試験片22cmの間を毎分30回の往復速度で20回往復摩擦した後、試験片上の糊カスの発生の有無を確認した。確認は目視及び光学顕微鏡(VHX−600、キーエンス社製、倍率100)にて行った。
[Confirmation of glue residue after Gakushin friction test]
The presence or absence of occurrence of adhesive residue (width of 1 mm or more) derived from the adhesive after the Gakushin friction test (JIS L0849 compliant) was confirmed. AB-301 Gakushin type friction fastness tester (manufactured by Tester Sangyo) conforming to JIS L0849 was used for the test apparatus, and the size of the test piece of the adhesive film was 3 cm × 22 cm. Cover the tip of the friction piece with JIS L0803 JIS dyeing fastness test cotton (made by the Japanese Standards Association) and fix it on the test stand (surface radius: 200 mm, shape: kamaboko plate type) with a load of 200 g. The test piece was rubbed 20 times between 22 cm at a reciprocating speed of 30 times per minute, and then the presence or absence of glue residue on the test piece was confirmed. The confirmation was performed visually and with an optical microscope (VHX-600, manufactured by Keyence Corporation, magnification 100).

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表1〜5に示す対ウエハ剥離強度及び糊カスの発生の測定結果より、保護用粘着フィルムの粘着剤として一般的に多用されているアクリル系粘着剤では、糊カスが多く発生する粘着フィルムが形成されることが確認された(比較例23〜32)。粘着剤として、ジブロック共重合体LA1114を使用した粘着フィルムは、剥離層を剥離した際に粘着剤層の凝集破壊が生じた(比較例1〜6)。これに対し、アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合が90〜95質量%であるジブロック共重合体LA1114と、アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合が72〜80質量%であるトリブロック共重合体LA2140eと、フタル酸エステル系可塑剤であるDOPと、の配合比を調整することで、被貼付体に対して良好な接着性を示すとともに、過酷な摩擦を行ったとしても粘着フィルム由来の糊カスが発生しない保護用粘着フィルムを形成できることが確認された(実施例1〜56、比較例7〜22)。   From the measurement results of the peel strength against wafer and the generation of glue residue shown in Tables 1 to 5, the acrylic adhesive that is commonly used as the adhesive for the protective adhesive film is an adhesive film in which a large amount of glue residue is generated. It was confirmed that it was formed (Comparative Examples 23 to 32). The pressure-sensitive adhesive film using the diblock copolymer LA1114 as the pressure-sensitive adhesive caused cohesive failure of the pressure-sensitive adhesive layer when the release layer was peeled off (Comparative Examples 1 to 6). On the other hand, the proportion of the diblock copolymer LA1114 in which the butyl acrylate polymer block (A) occupies 90 to 95% by mass and the ratio of the butyl acrylate polymer block (A) to 72 to 80% by mass By adjusting the blending ratio of the triblock copolymer LA2140e and DOP, which is a phthalate ester plasticizer, it showed good adhesion to the object and severe friction was performed. As a result, it was confirmed that a protective adhesive film free from adhesive residue derived from the adhesive film can be formed (Examples 1 to 56, Comparative Examples 7 to 22).

Claims (4)

基材上に、粘着剤層と、剥離層とが順次形成された粘着フィルムにおいて、
該粘着剤層が、メタクリル酸メチル重合体ブロック(M)とアクリル酸ブチル重合体ブロック(A)とからなる質量平均分子量10,000〜100,000のM−A型ジブロック共重合体及び質量平均分子量10,000〜100,000のM−A−M型トリブロック共重合体を含むブロック共重合体混合物と、質量平均分子量300〜1000のフタル酸エステル系可塑剤と、を含有し、
該ブロック共重合体混合物は、該アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合が90〜95質量%であるジブロック共重合体と、該アクリル酸ブチル重合体ブロック(A)の占める割合が72〜80質量%であるトリブロック共重合体と、を含み、
該ブロック共重合体混合物における該トリブロック共重合体の占める割合が30〜90質量%であり、
該フタル酸エステル系可塑剤が、該ブロック共重合体混合物100質量部に対して0〜60質量部配合されていることを特徴とする保護用粘着フィルム。
In the adhesive film in which the adhesive layer and the release layer are sequentially formed on the substrate,
The pressure-sensitive adhesive layer comprises a M-A diblock copolymer having a mass average molecular weight of 10,000 to 100,000 and a mass comprising a methyl methacrylate polymer block (M) and a butyl acrylate polymer block (A). A block copolymer mixture containing an MAM type triblock copolymer having an average molecular weight of 10,000 to 100,000, and a phthalate ester plasticizer having a mass average molecular weight of 300 to 1000,
The block copolymer mixture is composed of a diblock copolymer in which the proportion of the butyl acrylate polymer block (A) is 90 to 95% by mass and the proportion of the butyl acrylate polymer block (A). A triblock copolymer that is 72-80% by weight,
The proportion of the triblock copolymer in the block copolymer mixture is 30 to 90% by mass,
A protective pressure-sensitive adhesive film comprising 0 to 60 parts by mass of the phthalate ester plasticizer per 100 parts by mass of the block copolymer mixture.
前記フタル酸エステル系可塑剤が、前記ブロック共重合体混合物100質量部に対して15〜60質量部配合されていることを特徴とする請求項1に記載の保護用粘着フィルム。   The protective adhesive film according to claim 1, wherein the phthalate ester plasticizer is blended in an amount of 15 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the block copolymer mixture. 剥離速度300mm/min、剥離距離150mm、試験体幅20mmの180°剥離試験(JIS Z0237準拠)にて測定した、被貼付体に貼付して0.5時間経過後の剥離強度が0.01〜1.00N/20mmであることを特徴とする請求項1又は2に記載の保護用粘着フィルム。   The peel strength measured after a 180 ° peel test (based on JIS Z0237) with a peel speed of 300 mm / min, a peel distance of 150 mm, and a specimen width of 20 mm is 0.01 to It is 1.00N / 20mm, The adhesive film for protection of Claim 1 or 2 characterized by the above-mentioned. シリコン酸化膜面保護用であることを特徴とする請求項1〜3いずれかに記載の保護用粘着フィルム。   The protective adhesive film according to claim 1, which is for protecting a silicon oxide film surface.
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