JP2010153364A - Conductive film and transducer equipped therewith, and flexible wiring board - Google Patents

Conductive film and transducer equipped therewith, and flexible wiring board Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a soft and expansible conductive film whose electric resistance is hardly increased during elongation, an to provide a flexible transducer and a flexible wiring board. <P>SOLUTION: The conductive film includes an elastomer having hydrogen bond capable functional groups, and having a glass transition temperature (Tg) of -10°C or lower, a flake or needle shaped first metal filler filled in the elastomer, and a massive second metal filler. The first metal filler is oriented in the film developing direction of the conductive film. The transducer includes at least either an electrode or a wire formed of the conductive film. At least part of the wire of the flexible wiring board is formed of the conductive film. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、伸縮可能な電極、配線等に好適な導電膜、およびそれを備えたトランスデューサ、フレキシブル配線板に関する。   The present invention relates to an electrode that can be expanded and contracted, a conductive film suitable for wiring and the like, a transducer including the conductive film, and a flexible wiring board.

例えば、部材の変形や部材に作用する荷重の大きさ等を検出する手段として、導電性の樹脂やエラストマーを利用した柔軟なセンサの開発が進められている。また、誘電体エラストマー等の高分子材料を利用したアクチュエータは、柔軟性が高く、軽量で小型化し易いため、人工筋肉、医療用器具、流体制御等の様々な分野での利用が検討されている。例えば、誘電体エラストマーからなる誘電膜を、一対の電極で狭持して、アクチュエータを構成することができる(例えば、特許文献1、2参照)。   For example, as a means for detecting the deformation of a member, the magnitude of a load acting on the member, etc., development of a flexible sensor using a conductive resin or an elastomer has been advanced. In addition, actuators using polymer materials such as dielectric elastomers are highly flexible, lightweight, and easy to miniaturize, so their use in various fields such as artificial muscles, medical instruments, and fluid control is being studied. . For example, an actuator can be configured by sandwiching a dielectric film made of a dielectric elastomer between a pair of electrodes (see, for example, Patent Documents 1 and 2).

これらの柔軟なセンサ、アクチュエータでは、エラストマー等からなる基材や誘電膜等の変形に、電極や配線が追従可能であることが要求される。すなわち、例えばアクチュエータでは、印加電圧の大小により誘電膜が伸縮する。このため、誘電膜の表裏に配置されている電極は、誘電膜の動きを妨げないように、誘電膜の伸縮に応じて伸縮可能であることが望ましい。このような理由から、現在、電極や配線には、エラストマー等のバインダーに、導電性カーボンや金属粉末を配合した導電材料が使用されている。   These flexible sensors and actuators are required to be able to follow electrodes and wiring in the deformation of a substrate made of an elastomer or the like, a dielectric film, or the like. That is, for example, in an actuator, the dielectric film expands and contracts depending on the applied voltage. For this reason, it is desirable that the electrodes arranged on the front and back of the dielectric film can be expanded and contracted according to the expansion and contraction of the dielectric film so as not to hinder the movement of the dielectric film. For these reasons, a conductive material in which conductive carbon or metal powder is mixed with a binder such as an elastomer is currently used for electrodes and wiring.

例えば、薄膜状に成形可能な導電材料として、特許文献3には、ポリオレフィン樹脂に金属粉末が配合されてなる導電性組成物が紹介されている。また、特許文献4には、合成ゴムに、平均粒子径の異なる二種類の鱗片状銀粉末が配合されてなる導電性ペーストが紹介されている。   For example, as a conductive material that can be formed into a thin film, Patent Document 3 introduces a conductive composition in which a metal powder is blended with a polyolefin resin. Patent Document 4 introduces a conductive paste in which two types of scaly silver powders having different average particle diameters are blended with synthetic rubber.

特開2008−070327号公報JP 2008-070327 A 特表2003−506858号公報Special table 2003-506858 特開2002−100237号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2002-100377 特開2005−166322号公報JP 2005-166322 A

導電性カーボンの比抵抗は、0.1〜1Ωcm程度と比較的大きい。このため、エラストマー等のバインダーに導電性カーボンを配合した導電材料を使用すると、電極等の電気抵抗が大きくなってしまうという問題があった。電極等の電気抵抗が高いと、内部抵抗による発熱で、素子が劣化しやすくなる。また、高周波領域におけるリアクタンス成分の発生により、アクチュエータの応答性が低下するおそれがある。また、検出信号に対して内部抵抗が高すぎると、センサの分解能が低下するおそれがある。   The specific resistance of conductive carbon is relatively large, about 0.1 to 1 Ωcm. For this reason, when a conductive material in which conductive carbon is blended in a binder such as an elastomer is used, there is a problem that the electrical resistance of the electrode or the like increases. When the electrical resistance of the electrode or the like is high, the element is likely to deteriorate due to heat generated by the internal resistance. In addition, the responsiveness of the actuator may be reduced due to the generation of reactance components in the high frequency region. Also, if the internal resistance is too high for the detection signal, the resolution of the sensor may be reduced.

電極や配線には、伸縮可能であることに加えて、伸張された際に、電気抵抗の変化が小さいことも求められる。この点、バインダー樹脂に銀粉末が配合されている市販の銀ペーストは、柔軟性に乏しい。つまり、バインダー自体の弾性率が高いことに加えて、銀粉末が高充填されているため、銀ペーストの弾性率は高い。このため、伸張が大きいと、クラックが発生し、著しく電気抵抗が増加してしまう。また、アクチュエータの電極に使用した場合、誘電膜の伸縮に追従できず、誘電膜の動きを阻害するおそれがある。   In addition to being able to expand and contract, electrodes and wiring are also required to have a small change in electrical resistance when stretched. In this regard, a commercially available silver paste in which silver powder is blended with a binder resin is poor in flexibility. That is, in addition to the high elastic modulus of the binder itself, the silver paste is highly filled, so the elastic modulus of the silver paste is high. For this reason, if extension is large, a crack will occur and electric resistance will increase remarkably. In addition, when used as an electrode of an actuator, the expansion and contraction of the dielectric film cannot be followed, and the movement of the dielectric film may be hindered.

また、上記特許文献3に記載された導電性組成物によると、バインダーにポリオレフィン樹脂を使用している。ポリオレフィン樹脂の弾性率が高いため、導電性組成物は柔軟性に乏しい。このため、アクチュエータの電極に使用した場合、誘電膜の伸縮に追従できず、誘電膜の動きを阻害するおそれがある。また、導電性組成物が伸張された場合に、バインダーと金属粉末とが剥離しやすい。このため、伸張時にクラックが発生しやすく、電気抵抗が増加してしまう。   Moreover, according to the electroconductive composition described in the said patent document 3, polyolefin resin is used for a binder. Since the polyolefin resin has a high elastic modulus, the conductive composition is poor in flexibility. For this reason, when used for an electrode of an actuator, the expansion and contraction of the dielectric film cannot be followed and the movement of the dielectric film may be hindered. Further, when the conductive composition is stretched, the binder and the metal powder are easily peeled off. For this reason, cracks are likely to occur during stretching, and the electrical resistance increases.

一方、特許文献4に記載された導電性ペーストは、合成ゴムに鱗片状の銀粉末が配合されてなる。銀粉末が鱗片状を呈しているため、銀粉末同士の接触面積は大きい。したがって、伸張時における電気抵抗の増加は、ある程度抑制される。しかし、単位体積あたりの銀粉末の充填密度が低いため、銀粉末同士の間に隙間が生じやすい。よって、伸張時に電気抵抗が大きくなってしまう。この場合、銀粉末の充填量を増加すると、導電性ペーストの弾性率が高くなる。したがって、導電性ペーストの柔軟性が低下し、伸張時にクラックが生じやすくなる。   On the other hand, the conductive paste described in Patent Document 4 is formed by blending scaly silver powder with synthetic rubber. Since the silver powder has a scaly shape, the contact area between the silver powders is large. Therefore, an increase in electrical resistance during expansion is suppressed to some extent. However, since the packing density of the silver powder per unit volume is low, a gap is easily generated between the silver powders. Therefore, the electrical resistance becomes large at the time of extension. In this case, when the filling amount of the silver powder is increased, the elastic modulus of the conductive paste is increased. Therefore, the flexibility of the conductive paste is reduced, and cracks are likely to occur during stretching.

本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、軟らかく伸縮可能であって、伸張時にも電気抵抗が増加しにくい導電膜を提供することを課題とする。また、そのような導電膜を用いることにより、柔軟なトランスデューサおよびフレキシブル配線板を提供することを課題とする。   This invention is made | formed in view of such a situation, and makes it a subject to provide the electrically conductive film which is soft and can be expanded-contracted and an electrical resistance does not increase easily at the time of expansion | extension. Another object of the present invention is to provide a flexible transducer and a flexible wiring board by using such a conductive film.

(1)上記課題を解決するため、本発明の導電膜は、水素結合可能な官能基を有し、ガラス転移温度(Tg)が−10℃以下であるエラストマーと、該エラストマー中に充填されている、フレーク状または針状の第一金属フィラーと、塊状の第二金属フィラーと、を含んでなり、該第一金属フィラーは、膜展開方向に配向していることを特徴とする(請求項1に対応)。   (1) In order to solve the above-mentioned problem, the conductive film of the present invention is filled with an elastomer having a functional group capable of hydrogen bonding and having a glass transition temperature (Tg) of −10 ° C. or less. The flaky or acicular first metal filler and the massive second metal filler are characterized in that the first metal filler is oriented in the film development direction. 1).

本発明の導電膜におけるバインダーは、水素結合可能な官能基を有し、Tgが−10℃以下のエラストマーである。水素結合可能な官能基は、第一金属フィラーおよび第二金属フィラー(以下、適宜まとめて「金属フィラー」と称す)に対する親和性が高い。このため、エラストマーと金属フィラーとの界面剥離は起こりにくい。したがって、伸張された場合でも、本発明の導電膜にクラックは発生しにくく、電気抵抗も増加しにくい。また、Tgが−10℃以下のエラストマーは、弾性率が低く柔軟である。このため、本発明の導電膜は、基材や誘電膜等の変形に対する追従性に優れる。また、金属フィラーを高充填した場合でも、柔軟性を維持することができる。   The binder in the conductive film of the present invention is an elastomer having a functional group capable of hydrogen bonding and having a Tg of −10 ° C. or lower. The functional group capable of hydrogen bonding has high affinity for the first metal filler and the second metal filler (hereinafter collectively referred to as “metal filler”). For this reason, interface peeling between the elastomer and the metal filler is unlikely to occur. Therefore, even when stretched, cracks are unlikely to occur in the conductive film of the present invention, and electrical resistance is also unlikely to increase. In addition, an elastomer having a Tg of −10 ° C. or lower has a low elastic modulus and is flexible. For this reason, the electrically conductive film of this invention is excellent in the followable | trackability with respect to deformation | transformation of a base material, a dielectric film, etc. Further, even when the metal filler is highly filled, flexibility can be maintained.

エラストマーには、二種類の金属フィラーが充填されている。一方の第一金属フィラーは、フレーク状(薄片状)または針状を呈している。もう一方の第二金属フィラーは、塊状を呈している。ここで、「塊状」には、球状、略球状(楕円球状、長円球状(一対の対向する半球を円柱で連結した形状)等)の他、表面に凹凸のある不定形状が含まれる。   The elastomer is filled with two types of metal fillers. One of the first metal fillers has a flake shape (flaky shape) or a needle shape. The other second metal filler has a lump shape. Here, the “bulk shape” includes a spherical shape, a substantially spherical shape (an elliptical sphere, an oval sphere (a shape in which a pair of opposing hemispheres are connected by a cylinder), and the like, and an indefinite shape having an uneven surface.

フレーク状または針状の第一金属フィラーは、導電膜の膜展開方向に配向している。つまり、第一金属フィラーは、長手方向が膜展開方向と略平行になるように、エラストマー中に配置されている。このため、第一金属フィラー同士が重なり合い、接触面積は大きい。したがって、導電膜の導電性は高い。しかし、フレーク状または針状の第一金属フィラーのみの場合には、第一金属フィラー同士の間に隙間が生じやすく、導電膜の伸張時に電気抵抗が大きくなってしまう。また、弾性率が高く、柔軟性が損なわれる。そこで、第一金属フィラーに塊状の第二金属フィラーを混合すると、第二金属フィラーが、第一金属フィラー間の隙間に入り込む。これにより、伸張時においても導通経路が確保され、電気抵抗の増加が抑制される。また、塊状の第二金属フィラーを混合することにより、導電膜の弾性率が低下して、柔軟性が向上する。このように、形状の異なる二種類の金属フィラーを使用することにより、伸張時においても導電性が高く、柔軟な導電膜を構成することができる。   The flaky or needle-shaped first metal filler is oriented in the direction of development of the conductive film. That is, the first metal filler is disposed in the elastomer so that the longitudinal direction is substantially parallel to the film development direction. For this reason, 1st metal fillers overlap and a contact area is large. Therefore, the conductivity of the conductive film is high. However, in the case of only the flaky or needle-like first metal filler, a gap is likely to be generated between the first metal fillers, and the electrical resistance is increased when the conductive film is stretched. In addition, the elastic modulus is high and flexibility is impaired. Therefore, when a massive second metal filler is mixed with the first metal filler, the second metal filler enters a gap between the first metal fillers. As a result, a conduction path is ensured even during extension, and an increase in electrical resistance is suppressed. Moreover, the elastic modulus of a electrically conductive film falls and a softness | flexibility improves by mixing a block-shaped 2nd metal filler. Thus, by using two types of metal fillers having different shapes, a flexible conductive film having high conductivity even when stretched can be formed.

図1、図2に、本発明の導電膜における伸張前後の金属フィラーの充填状態を、モデルで示す。なお、図1、図2は、金属フィラーの作用を説明するための模式図であり、第一金属フィラーと第二金属フィラーとの配合比や、金属フィラーの形状、数等を含めて、本発明の導電膜を何ら限定するものではない。   FIG. 1 and FIG. 2 show the filling state of the metal filler before and after stretching in the conductive film of the present invention as a model. 1 and 2 are schematic diagrams for explaining the action of the metal filler, including the mixing ratio of the first metal filler and the second metal filler, the shape and number of the metal filler, etc. The conductive film of the invention is not limited at all.

図1に示すように、導電膜100において、第一金属フィラー102および第二金属フィラー103は、エラストマー101中に分散している。第一金属フィラー102は、フレーク状を呈し、導電膜100の膜展開方向に配向している。第二金属フィラー103は、球状を呈している。隣接する第一金属フィラー102の隙間には、第二金属フィラー103が配置されている。伸張前の導電膜100には、第一金属フィラー102および第二金属フィラー103の接触により、導電経路が形成されている。一方、図2に示すように、導電膜100が左右方向に伸張されると(図2中の点線枠は、図1の伸張前の状態を示している)、第一金属フィラー102間の隙間が大きくなる。しかし、隙間には、第二金属フィラー103が入り込んでいる。このため、伸張時においても、第一金属フィラー102と第二金属フィラー103との接触状態が保たれ、導通経路が確保されている。したがって、伸張時における電気抵抗の増加が抑制される。   As shown in FIG. 1, in the conductive film 100, the first metal filler 102 and the second metal filler 103 are dispersed in the elastomer 101. The first metal filler 102 has a flake shape and is oriented in the direction of development of the conductive film 100. The second metal filler 103 has a spherical shape. A second metal filler 103 is disposed in a gap between adjacent first metal fillers 102. In the conductive film 100 before stretching, a conductive path is formed by contact of the first metal filler 102 and the second metal filler 103. On the other hand, as shown in FIG. 2, when the conductive film 100 is stretched in the left-right direction (the dotted line frame in FIG. 2 indicates the state before stretching in FIG. 1), the gap between the first metal fillers 102. Becomes larger. However, the second metal filler 103 has entered the gap. For this reason, even when extended, the contact state between the first metal filler 102 and the second metal filler 103 is maintained, and a conduction path is secured. Therefore, an increase in electrical resistance during expansion is suppressed.

(2)また、本発明のトランスデューサは、上記本発明の導電膜を、電極および配線の少なくとも一方として備えていることを特徴とする(請求項11に対応)。   (2) A transducer according to the present invention is characterized in that the conductive film according to the present invention is provided as at least one of an electrode and a wiring (corresponding to claim 11).

トランスデューサは、ある種類のエネルギーを他の種類のエネルギーに変換する装置である。トランスデューサには、例えば、電気エネルギーと機械エネルギーとの変換を行うアクチュエータ、センサ等が含まれる。本発明のトランスデューサによると、電極および配線の少なくとも一方が、上記本発明の導電膜からなる。よって、電極や配線が形成されている部材が変形した場合でも、電極、配線が変形に追従して伸縮する。このため、トランスデューサの動きが、電極等により妨げられにくい。また、電極等において、伸張時の導電性の低下は少なく、繰り返し変形した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。よって、本発明のトランスデューサは耐久性に優れる。   A transducer is a device that converts one type of energy into another type of energy. The transducer includes, for example, an actuator and a sensor that perform conversion between electric energy and mechanical energy. According to the transducer of the present invention, at least one of the electrode and the wiring is made of the conductive film of the present invention. Therefore, even when the member on which the electrode and the wiring are formed is deformed, the electrode and the wiring expand and contract following the deformation. For this reason, the movement of the transducer is difficult to be hindered by the electrode or the like. In addition, in an electrode or the like, there is little decrease in conductivity when stretched, and even when it is repeatedly deformed, heat generation due to internal resistance is small. Therefore, the transducer of the present invention is excellent in durability.

(3)また、本発明のフレキシブル配線板は、配線の少なくとも一部は、請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の導電膜からなることを特徴とする(請求項14に対応)。   (3) In the flexible wiring board of the present invention, at least a part of the wiring is made of the conductive film according to any one of claims 1 to 10 (corresponding to claim 14).

本発明のフレキシブル配線板によると、基材の変形に追従して配線が伸縮する。配線が伸張しても、導電性の低下は少なく、伸縮を繰り返した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。よって、本発明のフレキシブル配線板は耐久性に優れる。   According to the flexible wiring board of the present invention, the wiring expands and contracts following the deformation of the base material. Even if the wiring is extended, there is little decrease in conductivity, and even when the expansion and contraction are repeated, heat generation due to internal resistance is small. Therefore, the flexible wiring board of the present invention is excellent in durability.

本発明の導電膜における伸張前の金属フィラーの充填状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the filling state of the metal filler before the expansion | extension in the electrically conductive film of this invention. 同導電膜における伸張後の金属フィラーの充填状態を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the filling state of the metal filler after the expansion | extension in the same electrically conductive film. 本発明のトランスデューサの一実施形態である静電容量型センサの上面図である。It is a top view of the capacitive type sensor which is one Embodiment of the transducer of this invention. 図3のIV−IV断面図である。It is IV-IV sectional drawing of FIG. 本発明のトランスデューサの一実施形態であるアクチュエータの断面模式図であって、(a)はオフ状態、(b)はオン状態を各々示す。It is a cross-sectional schematic diagram of the actuator which is one Embodiment of the transducer of this invention, Comprising: (a) shows an OFF state, (b) shows an ON state, respectively. 本発明のトランスデューサの一実施形態である発電トランスデューサの断面模式図であって、(a)は伸張時、(b)は収縮時を示す。It is a cross-sectional schematic diagram of the electric power generation transducer which is one Embodiment of the transducer of this invention, Comprising: (a) is at the time of expansion | extension, (b) shows the time of contraction. 本発明の一実施形態であるフレキシブル配線板の上面透過図である。It is an upper surface transmission figure of the flexible wiring board which is one Embodiment of this invention. 実施例1の導電膜の断面の電子顕微鏡写真である。2 is an electron micrograph of a cross section of the conductive film of Example 1. FIG.

以下、本発明の導電膜、およびそれを備えたトランスデューサ、フレキシブル配線板の実施形態について順に説明する。   Hereinafter, embodiments of the conductive film, the transducer including the conductive film, and the flexible wiring board of the present invention will be described in order.

<導電膜>
本発明の導電膜を構成するエラストマーは、水素結合可能な官能基を有し、ガラス転移温度(Tg)が−10℃以下である。水素結合可能な官能基は、後述する金属フィラーとの親和性が高い。例えば、エステル基、ウレタン結合、ウレア結合、ハロゲン基、水酸基、カルボキシル基、アミノ基、スルホン酸基、エーテル結合等が挙げられる。なかでも、エステル基を有するものが望ましい。また、エラストマーのガラス転移温度(Tg)は、−10℃以下である。Tgが−10℃以下のものは、常温でゴム状弾性を有し、柔軟性が高い。また、Tgが低くなると、結晶性が低下するため、エラストマーの破断伸びが大きくなる。つまり、より伸張しやすくなる。このような観点から、エラストマーのTgは、−20℃以下、さらには−35℃以下であることが望ましい。
<Conductive film>
The elastomer constituting the conductive film of the present invention has a functional group capable of hydrogen bonding, and has a glass transition temperature (Tg) of −10 ° C. or lower. The functional group capable of hydrogen bonding has high affinity with the metal filler described later. For example, ester group, urethane bond, urea bond, halogen group, hydroxyl group, carboxyl group, amino group, sulfonic acid group, ether bond and the like can be mentioned. Of these, those having an ester group are desirable. Moreover, the glass transition temperature (Tg) of an elastomer is -10 degrees C or less. Those having a Tg of −10 ° C. or less have rubber-like elasticity at room temperature and high flexibility. Moreover, since crystallinity will fall when Tg becomes low, the breaking elongation of an elastomer will become large. That is, it becomes easier to expand. From such a viewpoint, it is desirable that the Tg of the elastomer is −20 ° C. or lower, and further −35 ° C. or lower.

エラストマーとしては、一種類を単独で用いてもよく、二種類以上を混合して用いてもよい。例えば、アクリルゴム、ウレタンゴム、ヒドリンゴム等が好適である。なかでも、アクリルゴムは、結晶性が低く分子間力が弱いため、他のゴムと比較してTgが低い。よって、柔軟で伸びがよく、アクチュエータの電極等に好適である。アクリルゴムとしては、炭素数4以上のアルキル基を有するアクリル酸エステルモノマー単位を50mol%以上含むものが望ましい。アルキル基が大きい(炭素数が多い)と、結晶性が低下するため、アクリルゴムの弾性率がより低くなる。   As the elastomer, one type may be used alone, or two or more types may be mixed and used. For example, acrylic rubber, urethane rubber, hydrin rubber and the like are suitable. Especially, since acrylic rubber has low crystallinity and weak intermolecular force, Tg is lower than other rubbers. Therefore, it is flexible and has good elongation, and is suitable for an electrode of an actuator. As an acrylic rubber, what contains 50 mol% or more of acrylate monomer units having an alkyl group having 4 or more carbon atoms is desirable. When the alkyl group is large (the number of carbon atoms is large), the crystallinity is lowered, so that the elastic modulus of the acrylic rubber becomes lower.

また、エラストマーは、可塑剤、加工助剤、架橋剤、加硫促進剤、加硫助剤、老化防止剤、軟化剤、着色剤等の添加剤を含んでいてもよい。例えば、可塑剤を添加すると、エラストマーの加工性が向上すると共に、柔軟性をより向上させることができる。可塑剤としては、公知のフタル酸ジエステル等の有機酸誘導体、リン酸トリクレジル等のリン酸誘導体、アジピン酸ジエステル、塩素化パラフィン、ポリエーテルエステル等を使用すればよい。   Further, the elastomer may contain additives such as a plasticizer, a processing aid, a crosslinking agent, a vulcanization accelerator, a vulcanization aid, an antiaging agent, a softening agent, and a colorant. For example, when a plasticizer is added, the processability of the elastomer is improved and the flexibility can be further improved. As the plasticizer, known organic acid derivatives such as phthalic acid diester, phosphoric acid derivatives such as tricresyl phosphate, adipic acid diester, chlorinated paraffin, polyether ester and the like may be used.

エラストマー中には、第一金属フィラーと第二金属フィラーとが充填されている。第一金属フィラーは、フレーク状または針状を呈している。また、第一金属フィラーは、導電膜の膜展開方向に配向している。第一金属フィラーの平均粒子径は、特に限定されるものではないが、例えば2.5μm以上15μm以下とすることが望ましい。平均粒子径が2.5μm未満の場合には、第一金属フィラー同士が重なり合う面積が小さくなるため、伸張時に電気抵抗が増加しやすい。反対に15μmより大きくなると、導電膜の柔軟性が低下する。なお、本明細書では、金属フィラーの平均粒子径として、日機装(株)製「マイクロトラック粒度分布測定装置UPA−EX150型」により測定された値を採用する。   The elastomer is filled with a first metal filler and a second metal filler. The first metal filler has a flake shape or a needle shape. Further, the first metal filler is oriented in the film development direction of the conductive film. Although the average particle diameter of a 1st metal filler is not specifically limited, For example, it is desirable to set it as 2.5 micrometers or more and 15 micrometers or less. When the average particle diameter is less than 2.5 μm, the area where the first metal fillers overlap with each other becomes small, so that the electrical resistance tends to increase during stretching. On the other hand, when it becomes larger than 15 μm, the flexibility of the conductive film is lowered. In the present specification, a value measured by “Microtrack particle size distribution measuring device UPA-EX150 type” manufactured by Nikkiso Co., Ltd. is adopted as the average particle size of the metal filler.

また、第一金属フィラーのアスペクト比は、5以上25以下とすることが望ましい。アスペクト比が5未満の場合には、第一金属フィラー同士が重なり合う面積が小さくなるため、伸張時に電気抵抗が増加しやすい。反対に25より大きくなると、導電膜の柔軟性が低下する。ここで、アスペクト比は、金属フィラーの最短径に対する最長径の比(最長径/最短径)である。本明細書では、金属フィラーの最長径および最短径として、金属フィラーを電子顕微鏡により観察し、撮影された電子顕微鏡写真から求めた値を採用する。   The aspect ratio of the first metal filler is desirably 5 or more and 25 or less. When the aspect ratio is less than 5, the area where the first metal fillers overlap with each other is small, so that the electrical resistance is likely to increase during stretching. On the other hand, when it becomes larger than 25, the flexibility of the conductive film decreases. Here, the aspect ratio is the ratio of the longest diameter to the shortest diameter of the metal filler (longest diameter / shortest diameter). In this specification, as the longest diameter and shortest diameter of the metal filler, values obtained by observing the metal filler with an electron microscope and taking a photographed electron micrograph are adopted.

第二金属フィラーは、塊状を呈している。第二金属フィラーの平均粒子径は、特に限定されるものではないが、例えば0.1μm以上8μm以下とすることが望ましい。平均粒子径が0.1μm未満の場合には、比表面積が大きくなるため補強性が大きくなり、導電膜の柔軟性が低下する。0.3μm以上がより好適である。反対に8μmより大きくなると、第二金属フィラーが第一金属フィラー間の隙間に入り込みにくくなるため、導通経路の形成が難しくなる。よって、伸張時に電気抵抗が増加しやすい。なお、第二金属フィラーの平均粒子径が小さい程、より少量で所望の導電性を確保することができる。よって、第二金属フィラーの充填量が減少する分だけ、導電膜の柔軟性が向上する。   The second metal filler has a lump shape. Although the average particle diameter of a 2nd metal filler is not specifically limited, For example, it is desirable to set it as 0.1 micrometer or more and 8 micrometers or less. When the average particle size is less than 0.1 μm, the specific surface area is increased, so that the reinforcing property is increased and the flexibility of the conductive film is lowered. 0.3 μm or more is more preferable. On the other hand, if the thickness is larger than 8 μm, the second metal filler is difficult to enter the gap between the first metal fillers, so that it is difficult to form a conduction path. Therefore, the electrical resistance tends to increase during stretching. In addition, as the average particle diameter of the second metal filler is smaller, the desired conductivity can be ensured with a smaller amount. Therefore, the softness | flexibility of an electrically conductive film improves by the part which the filling amount of a 2nd metal filler reduces.

また、第二金属フィラーのアスペクト比は、1以上5以下とすることが望ましい。アスペクト比が5より大きくなると、第二金属フィラーが第一金属フィラー間の隙間に入り込みにくくなるため、導通経路の形成が難しくなる。よって、伸張時に電気抵抗が増加しやすい。加えて、導電膜の柔軟性も低下する。   The aspect ratio of the second metal filler is desirably 1 or more and 5 or less. If the aspect ratio is greater than 5, the second metal filler is less likely to enter the gap between the first metal fillers, making it difficult to form a conduction path. Therefore, the electrical resistance tends to increase during stretching. In addition, the flexibility of the conductive film also decreases.

金属フィラーの種類は、特に限定されるものではない。導電性がカーボンブラックより高く、腐食しにくいという観点から、例えば、銀、金、銅、ニッケル、ロジウム、パラジウム、クロム、チタン、白金、鉄、およびこれらの合金等から適宜選択すればよい。なかでも銀は、電気抵抗が小さいため好適である。また、所定の形状を有する粒子の表面を金属で被覆したフィラーを使用してもよい。この場合、金属だけで構成する場合と比較して、金属フィラーの比重を小さくすることができる。よって、塗料化した際の金属フィラーの沈降が抑制されて、分散性が向上する。また、粒子を加工することにより、様々な形状の金属フィラーを容易に製造することができる。また、金属フィラーの製造コストを低減することができる。被覆する金属としては、先に列挙した金属フィラーとして好適な金属を、用いることができる。また、粒子には、グラファイトやカーボンブラック等の炭素材料、炭酸カルシウム、二酸化チタン、酸化アルミニウム、チタン酸バリウム等の金属酸化物、シリカ等の無機物、アクリルやウレタン等の樹脂等を用いればよい。   The kind of metal filler is not particularly limited. From the viewpoint that the conductivity is higher than that of carbon black and hardly corrode, for example, silver, gold, copper, nickel, rhodium, palladium, chromium, titanium, platinum, iron, and alloys thereof may be appropriately selected. Among these, silver is preferable because of its low electric resistance. Moreover, you may use the filler which coat | covered the surface of the particle | grains which have a defined shape with the metal. In this case, the specific gravity of the metal filler can be reduced as compared with the case where the metal filler is used alone. Therefore, sedimentation of the metal filler when the paint is formed is suppressed, and dispersibility is improved. Further, by processing the particles, various shapes of metal fillers can be easily produced. Moreover, the manufacturing cost of a metal filler can be reduced. As a metal to coat | cover, the metal suitable as a metal filler enumerated above can be used. The particles may be made of carbon materials such as graphite and carbon black, metal oxides such as calcium carbonate, titanium dioxide, aluminum oxide, and barium titanate, inorganic substances such as silica, resins such as acrylic and urethane, and the like.

また、第一金属フィラーおよび第二金属フィラーの充填量は、所望の導電性が得られるように決定すればよい。例えば、エラストマーの100質量部に対して300質量部以上1500質量部以下とすることが望ましい。400質量部以上1000質量部以下とするとより好適である。ここで、第一金属フィラーと第二金属フィラーとの配合比は、導電膜の弾性率、および伸張時における電気抵抗増加の抑制効果等を考慮して決定すればよい。例えば、第一金属フィラーと第二金属フィラーとの質量比を、30:1〜1:5とすることが望ましい。すなわち、第一金属フィラーと第二金属フィラーとを1:1で配合してもよい。また、第一金属フィラーを第二金属フィラーよりも過剰に配合する場合には、第一金属フィラーの配合量を、第二金属フィラーの配合量の30倍以下とするとよい。あるいは、第二金属フィラーを第一金属フィラーよりも過剰に配合する場合には、第二金属フィラーの配合量を、第一金属フィラーの配合量の5倍以下とするとよい。特に、第一金属フィラーと第二金属フィラーとの質量比が1:1、もしくは第一金属フィラーの方がやや多くなるように配合するとよい。   Moreover, what is necessary is just to determine the filling amount of a 1st metal filler and a 2nd metal filler so that desired electroconductivity may be obtained. For example, it is desirable to set it as 300 to 1500 mass parts with respect to 100 mass parts of an elastomer. More preferably, it is 400 parts by mass or more and 1000 parts by mass or less. Here, the blending ratio of the first metal filler and the second metal filler may be determined in consideration of the elastic modulus of the conductive film, the effect of suppressing the increase in electrical resistance during stretching, and the like. For example, it is desirable that the mass ratio of the first metal filler and the second metal filler is 30: 1 to 1: 5. That is, you may mix | blend a 1st metal filler and a 2nd metal filler by 1: 1. Moreover, when mix | blending an excess of a 1st metal filler rather than a 2nd metal filler, it is good to make the compounding quantity of a 1st metal filler into 30 times or less of the compounding quantity of a 2nd metal filler. Alternatively, when the second metal filler is added in excess of the first metal filler, the amount of the second metal filler is preferably 5 times or less the amount of the first metal filler. In particular, the mass ratio of the first metal filler and the second metal filler may be 1: 1, or the first metal filler may be blended slightly more.

本発明の導電膜は、例えば、エラストマー分のポリマー(適宜添加剤を含む)と金属フィラーとを、ニーダー、バンバリーミキサー等の加圧式混練機、二本ロール等により混練してなる導電材料を、金型成形や押出成形することにより製造することができる。また、まずエラストマー分のポリマーを、所定の添加剤と共に溶剤に溶解した溶液に、金属フィラーを添加して、攪拌、混合して導電塗料を調製する。次に、調製した導電塗料を基材等に塗布し、加熱により乾燥させて製造することができる。この場合、加熱時に、エラストマー分の架橋反応を進行させてもよい。   The conductive film of the present invention is, for example, a conductive material obtained by kneading a polymer for an elastomer (including appropriate additives) and a metal filler with a pressure kneader such as a kneader or a Banbury mixer, a two-roller, etc. It can be manufactured by mold molding or extrusion molding. First, a metal filler is added to a solution obtained by dissolving a polymer for an elastomer in a solvent together with a predetermined additive, and the mixture is stirred and mixed to prepare a conductive paint. Next, the prepared conductive paint can be applied to a substrate or the like and dried by heating. In this case, the crosslinking reaction for the elastomer may be allowed to proceed during heating.

ここで、導電塗料の塗布方法は、既に公知の種々の方法を採用することができる。例えば、インクジェット印刷、フレキソ印刷、グラビア印刷、スクリーン印刷、パッド印刷、リソグラフィー等の印刷法の他、ディップ法、スプレー法、バーコート法等が挙げられる。例えば、印刷法を採用すると、塗布する部分と塗布しない部分との塗り分けを、容易に行うことができる。また、大きな面積、細線、複雑な形状の印刷も容易である。印刷法の中でも、高粘度の導電塗料が使用でき、塗膜厚さの調整が容易であるという理由から、スクリーン印刷法が好適である。   Here, various known methods can be employed as the method for applying the conductive paint. For example, in addition to printing methods such as inkjet printing, flexographic printing, gravure printing, screen printing, pad printing, and lithography, dipping, spraying, bar coating, and the like can be given. For example, when a printing method is employed, it is possible to easily separate the applied part and the non-applied part. Also, printing of large areas, thin lines, and complicated shapes is easy. Among the printing methods, a screen printing method is preferable because a conductive paint having a high viscosity can be used and the coating thickness can be easily adjusted.

また、導電膜中の第一金属フィラーの配向性を向上させるため、成膜された導電膜に対して、ホットプレス、延伸等の加工を施してもよい。   In order to improve the orientation of the first metal filler in the conductive film, the formed conductive film may be subjected to processing such as hot pressing and stretching.

本発明の導電膜の厚さは、用途に応じて適宜決定すればよい。例えば、本発明の導電膜を、エラストマーセンサやアクチュエータの電極や配線として用いた場合、エラストマーセンサやアクチュエータの小型化、および誘電膜の変形に対する影響をできるだけ小さくするという観点から、導電膜の厚さは薄い方が望ましい。例えば、導電膜の厚さを、4μm以上1000μm以下とすることが望ましい。より好適には、10μm以上50μm以下である。   What is necessary is just to determine the thickness of the electrically conductive film of this invention suitably according to a use. For example, when the conductive film of the present invention is used as an electrode or wiring of an elastomer sensor or actuator, the thickness of the conductive film is reduced from the viewpoint of minimizing the size of the elastomer sensor or actuator and minimizing the influence on the deformation of the dielectric film. Is desirable to be thin. For example, the thickness of the conductive film is preferably 4 μm or more and 1000 μm or less. More preferably, they are 10 micrometers or more and 50 micrometers or less.

また、本発明の導電膜は、用途に応じて、基材や誘電膜等の表面に形成すればよい。基材としては、例えばポリイミド、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等からなる屈曲性を有する樹脂フィルム等が挙げられる。なお、本発明の導電膜を、エラストマー製の弾性部材の表面に形成した場合には、柔軟性が高く、伸張時にも電気抵抗が増加しにくいという効果を、より発揮させることができる。ここで、弾性部材には、アクチュエータ等における誘電膜が含まれる。薄膜状の弾性部材は、例えば、弾性部材を形成するための塗料を、離型性を有する基材上に塗工した後、所望の形状に切り取って剥離することにより、製造することができる。   Moreover, what is necessary is just to form the electrically conductive film of this invention in the surfaces, such as a base material and a dielectric film, according to a use. Examples of the substrate include a flexible resin film made of polyimide, polyethylene, polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), or the like. In addition, when the electrically conductive film of this invention is formed in the surface of the elastic member made from an elastomer, the effect that a softness | flexibility is high and an electrical resistance cannot increase easily at the time of expansion | extension can be exhibited more. Here, the elastic member includes a dielectric film in an actuator or the like. The thin-film elastic member can be manufactured, for example, by coating a paint for forming the elastic member on a substrate having releasability, and then cutting it into a desired shape and peeling it off.

本発明の導電膜は、トランスデューサの電極や配線、フレキシブル配線板の配線等に好適である。以下、まず、本発明の導電膜を備えたトランスデューサの例として、エラストマーセンサ、アクチュエータ、および発電トランスデューサの実施形態を説明し、次に、フレキシブル配線板の実施形態を説明する。なお、本発明のトランスデューサおよびフレキシブル配線板においても、上述した本発明の導電膜の好適な態様を採用することが望ましい。   The conductive film of the present invention is suitable for transducer electrodes and wiring, flexible wiring board wiring, and the like. Hereinafter, first, embodiments of an elastomer sensor, an actuator, and a power generation transducer will be described as examples of a transducer including the conductive film of the present invention, and then an embodiment of a flexible wiring board will be described. In the transducer and flexible wiring board of the present invention, it is desirable to employ the preferred embodiment of the conductive film of the present invention described above.

<エラストマーセンサ>
本発明の導電膜を電極および配線に使用したエラストマーセンサの一例として、静電容量型センサの実施形態を説明する。まず、本実施形態の静電容量型センサの構成について説明する。図3に、静電容量型センサの上面図を示す。図4に、図3のIV−IV断面図を示す。図3、図4に示すように、静電容量型センサ1は、誘電膜10と一対の電極11a、11bと配線12a、12bとカバーフィルム13a、13bとを備えている。
<Elastomer sensor>
An embodiment of a capacitive sensor will be described as an example of an elastomer sensor using the conductive film of the present invention for electrodes and wiring. First, the configuration of the capacitive sensor of this embodiment will be described. FIG. 3 shows a top view of the capacitive sensor. FIG. 4 is a sectional view taken along the line IV-IV in FIG. As shown in FIGS. 3 and 4, the capacitive sensor 1 includes a dielectric film 10, a pair of electrodes 11a and 11b, wirings 12a and 12b, and cover films 13a and 13b.

誘電膜10は、ウレタンゴム製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。誘電膜10の厚さは、約300μmである。   The dielectric film 10 is made of urethane rubber and has a strip shape extending in the left-right direction. The thickness of the dielectric film 10 is about 300 μm.

電極11aは、長方形状を呈している。電極11aは、誘電膜10の上面に、スクリーン印刷により三つ形成されている。同様に、電極11bは、長方形状を呈している。電極11bは、誘電膜10を挟んで電極11aと対向するように、誘電膜10の下面に三つ形成されている。電極11bは、誘電膜10の下面に、スクリーン印刷されている。このように、誘電膜10を挟んで、電極11a、11bが三対配置されている。電極11a、11bは、本発明の導電膜からなる。   The electrode 11a has a rectangular shape. Three electrodes 11a are formed on the upper surface of the dielectric film 10 by screen printing. Similarly, the electrode 11b has a rectangular shape. Three electrodes 11b are formed on the lower surface of the dielectric film 10 so as to face the electrode 11a with the dielectric film 10 interposed therebetween. The electrode 11 b is screen-printed on the lower surface of the dielectric film 10. Thus, three pairs of electrodes 11a and 11b are arranged with the dielectric film 10 in between. The electrodes 11a and 11b are made of the conductive film of the present invention.

配線12aは、誘電膜10の上面に形成された電極11aの一つ一つに、それぞれ接続されている。配線12aにより、電極11aとコネクタ14とが結線されている。配線12aは、誘電膜10の上面に、スクリーン印刷により形成されている。同様に、配線12bは、誘電膜10の下面に形成された電極11bの一つ一つに、それぞれ接続されている(図3中、点線で示す)。配線12bにより、電極11bとコネクタ(図略)とが結線されている。配線12bは、誘電膜10の下面に、スクリーン印刷により形成されている。配線12a、12bは、本発明の導電膜からなる。   The wiring 12a is connected to each of the electrodes 11a formed on the upper surface of the dielectric film 10. The electrode 11a and the connector 14 are connected by the wiring 12a. The wiring 12a is formed on the upper surface of the dielectric film 10 by screen printing. Similarly, the wiring 12b is connected to each of the electrodes 11b formed on the lower surface of the dielectric film 10 (indicated by a dotted line in FIG. 3). The electrode 11b and the connector (not shown) are connected by the wiring 12b. The wiring 12b is formed on the lower surface of the dielectric film 10 by screen printing. The wirings 12a and 12b are made of the conductive film of the present invention.

カバーフィルム13aは、アクリルゴム製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。カバーフィルム13aは、誘電膜10、電極11a、配線12aの上面を覆っている。同様に、カバーフィルム13bは、アクリルゴム製であって、左右方向に延びる帯状を呈している。カバーフィルム13bは、誘電膜10、電極11b、配線12bの下面を覆っている。   The cover film 13a is made of acrylic rubber and has a strip shape extending in the left-right direction. The cover film 13a covers the top surfaces of the dielectric film 10, the electrode 11a, and the wiring 12a. Similarly, the cover film 13b is made of acrylic rubber and has a strip shape extending in the left-right direction. The cover film 13b covers the lower surface of the dielectric film 10, the electrode 11b, and the wiring 12b.

次に、静電容量型センサ1の動きについて説明する。例えば、静電容量型センサ1が上方から押圧されると、誘電膜10、電極11a、カバーフィルム13aは一体となって、下方に湾曲する。圧縮により、誘電膜10の厚さは小さくなる。その結果、電極11a、11b間のキャパシタンスは大きくなる。このキャパシタンス変化により、圧縮による変形が検出される。   Next, the movement of the capacitive sensor 1 will be described. For example, when the capacitive sensor 1 is pressed from above, the dielectric film 10, the electrode 11a, and the cover film 13a are united and curved downward. The thickness of the dielectric film 10 is reduced by the compression. As a result, the capacitance between the electrodes 11a and 11b increases. By this capacitance change, deformation due to compression is detected.

次に、本実施形態の静電容量型センサ1の作用効果について説明する。本実施形態の静電容量型センサ1によると、誘電膜10、電極11a、11b、配線12a、12b、カバーフィルム13a、13bは、いずれもエラストマー材料からなる。このため、静電容量型センサ1の全体が柔軟であり、伸縮可能である。また、電極11a、11bは伸縮可能であるため、誘電膜10の変形に追従して変形することができる。さらに、電極11a、11bおよび配線12a、12bは、伸張されても電気抵抗の増加が小さい。このため、静電容量型センサ1の応答性は良好である。なお、本実施形態の静電容量型センサ1には、誘電膜10を狭んで対向する電極11a、11bが、三対形成されている。しかし、電極の数、大きさ、配置等は、用途に応じて、適宜決定すればよい。   Next, the function and effect of the capacitive sensor 1 of the present embodiment will be described. According to the capacitive sensor 1 of the present embodiment, the dielectric film 10, the electrodes 11a and 11b, the wirings 12a and 12b, and the cover films 13a and 13b are all made of an elastomer material. For this reason, the entire capacitive sensor 1 is flexible and can be expanded and contracted. Moreover, since the electrodes 11a and 11b can be expanded and contracted, they can be deformed following the deformation of the dielectric film 10. Furthermore, even if the electrodes 11a and 11b and the wirings 12a and 12b are expanded, the increase in electric resistance is small. For this reason, the responsiveness of the capacitive sensor 1 is good. In the capacitive sensor 1 of the present embodiment, three pairs of electrodes 11a and 11b facing each other with the dielectric film 10 narrowed are formed. However, the number, size, arrangement, etc. of the electrodes may be appropriately determined according to the application.

<アクチュエータ>
本発明の導電膜を電極に使用したアクチュエータの実施形態を説明する。図5に、本実施形態のアクチュエータの断面模式図を示す。(a)はオフ状態、(b)はオン状態を各々示す。図5に示すように、アクチュエータ2は、誘電膜20と電極21a、21bとを備えている。誘電膜20は、ウレタンゴム製である。電極21a、21bは、誘電膜20の表裏に、それぞれ配置されている。電極21a、21bは、配線を介して電源22に接続されている。オフ状態からオン状態に切り替える際は、一対の電極21a、21b間に電圧を印加する。電圧の印加により、誘電膜20の膜厚は薄くなる。その分だけ、誘電膜20は、図5(b)中白抜き矢印で示すように、電極21a、21b面に対して平行方向に伸張する。これにより、アクチュエータ2は、図5中横および上下方向の駆動力を出力する。
<Actuator>
An embodiment of an actuator using the conductive film of the present invention as an electrode will be described. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of the actuator of this embodiment. (A) shows an OFF state, and (b) shows an ON state. As shown in FIG. 5, the actuator 2 includes a dielectric film 20 and electrodes 21a and 21b. The dielectric film 20 is made of urethane rubber. The electrodes 21a and 21b are arranged on the front and back of the dielectric film 20, respectively. The electrodes 21a and 21b are connected to the power source 22 through wiring. When switching from the off state to the on state, a voltage is applied between the pair of electrodes 21a and 21b. The thickness of the dielectric film 20 is reduced by applying a voltage. Accordingly, the dielectric film 20 extends in a direction parallel to the surfaces of the electrodes 21a and 21b as indicated by white arrows in FIG. Thereby, the actuator 2 outputs the driving force in the horizontal and vertical directions in FIG.

ここで、電極21a、21bは、本発明の導電膜からなる。電極21a、21bは伸縮可能であるため、誘電膜20の変形に追従して変形することができる。すなわち、誘電膜20の動きが電極21a、21bにより妨げられにくいため、より大きな変位量を得ることができる。さらに、電極21a、21bは、伸張されても電気抵抗の増加が小さい。内部抵抗による発熱が少ないため、電極21a、21bは、劣化しにくい。すなわち、アクチュエータ2は耐久性に優れる。なお、複数の誘電膜と電極とを交互に積層させた積層構造とすると、より大きな力を発生させることができる。これにより、アクチュエータの出力が大きくなり、駆動対象部材をより大きな力で駆動させることができる。   Here, the electrodes 21a and 21b are made of the conductive film of the present invention. Since the electrodes 21 a and 21 b can expand and contract, they can be deformed following the deformation of the dielectric film 20. That is, since the movement of the dielectric film 20 is not easily disturbed by the electrodes 21a and 21b, a larger amount of displacement can be obtained. Furthermore, even if the electrodes 21a and 21b are stretched, the increase in electrical resistance is small. Since the heat generated by the internal resistance is small, the electrodes 21a and 21b are not easily deteriorated. That is, the actuator 2 is excellent in durability. Note that a greater force can be generated when a laminated structure in which a plurality of dielectric films and electrodes are alternately laminated. As a result, the output of the actuator is increased, and the driven member can be driven with a greater force.

<発電トランスデューサ>
本発明の導電膜を電極に使用した発電トランスデューサの実施形態を説明する。図6に、本実施形態の発電トランスデューサの断面模式図を示す。(a)は伸張時、(b)は収縮時を各々示す。図6に示すように、発電トランスデューサ3は、誘電膜30と電極31a、31bとを備えている。誘電膜30は、ウレタンゴム製である。電極31a、31bは、誘電膜30の表裏に、それぞれ固定されている。電極31a、31bには、導線が接続されており、電極31bは、接地されている。
<Power generation transducer>
An embodiment of a power generation transducer using the conductive film of the present invention as an electrode will be described. In FIG. 6, the cross-sectional schematic diagram of the electric power generation transducer of this embodiment is shown. (A) shows the time of expansion, and (b) shows the time of contraction. As shown in FIG. 6, the power generation transducer 3 includes a dielectric film 30 and electrodes 31a and 31b. The dielectric film 30 is made of urethane rubber. The electrodes 31a and 31b are fixed to the front and back of the dielectric film 30, respectively. Conductive wires are connected to the electrodes 31a and 31b, and the electrode 31b is grounded.

図6(a)に示すように、発電トランスデューサ3を圧縮し、誘電膜30を電極31a、31b面に対して平行方向に伸張すると、誘電膜30の膜厚は薄くなり、電極31a、31b間に電荷が蓄えられる。その後、圧縮力を除去すると、図6(b)に示すように、誘電膜30の弾性復元力により誘電膜30は収縮し、膜厚が厚くなる。その際、電荷が放出され発電される。   As shown in FIG. 6A, when the power generation transducer 3 is compressed and the dielectric film 30 is expanded in a direction parallel to the surfaces of the electrodes 31a and 31b, the film thickness of the dielectric film 30 is reduced, and the distance between the electrodes 31a and 31b is reduced. The charge is stored in Thereafter, when the compressive force is removed, the dielectric film 30 contracts due to the elastic restoring force of the dielectric film 30 as shown in FIG. At that time, electric charges are released and electric power is generated.

ここで、電極31a、31bは、本発明の導電膜からなる。すなわち、電極31a、31bは伸縮可能である。このため、誘電膜30の動きが、電極31a、31bにより妨げられにくい。また、電極31a、31bにおいて、伸張時の導電性の低下は少なく、繰り返し変形した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。よって、発電トランスデューサ3は耐久性に優れる。   Here, the electrodes 31a and 31b are made of the conductive film of the present invention. That is, the electrodes 31a and 31b can be expanded and contracted. For this reason, the movement of the dielectric film 30 is not easily disturbed by the electrodes 31a and 31b. In addition, in the electrodes 31a and 31b, there is little decrease in conductivity when stretched, and even when repeatedly deformed, heat generation due to internal resistance is small. Therefore, the power generation transducer 3 is excellent in durability.

<フレキシブル配線板>
本発明の導電膜を配線に使用したフレキシブル配線板の実施形態を説明する。図7に、本実施形態のフレキシブル配線板の上面透過図を示す。なお、図7中、裏側の配線については細線で示す。図7に示すように、フレキシブル配線板4は、基材40と、表側電極01X〜16Xと、表側電極01X〜16Xと、表側配線01x〜16xと、裏側配線01y〜16yと、表側配線用コネクタ41と、裏側配線用コネクタ42と、を備えている。
<Flexible wiring board>
An embodiment of a flexible wiring board using the conductive film of the present invention for wiring will be described. In FIG. 7, the upper surface transparent view of the flexible wiring board of this embodiment is shown. In FIG. 7, the wiring on the back side is indicated by a thin line. As shown in FIG. 7, the flexible wiring board 4 includes a base material 40, front side electrodes 01X to 16X, front side electrodes 01X to 16X, front side wirings 01x to 16x, back side wirings 01y to 16y, and front side wiring connectors. 41 and a backside wiring connector 42.

基材40は、ウレタンゴム製であって、シート状を呈している。表側電極01X〜16Xは、基材40の上面に、合計16本配置されている。表側電極01X〜16Xは、各々、帯状を呈している。表側電極01X〜16Xは、各々、X方向(左右方向)に延在している。表側電極01X〜16Xは、Y方向(前後方向)に、所定間隔ごとに離間して、互いに略平行になるように、配置されている。表側電極01X〜16Xの左端には、各々、表側接続部01X1〜16X1が配置されている。同様に、裏側電極01Y〜16Yは、基材40の下面に、合計16本配置されている。裏側電極01Y〜16Yは、各々、帯状を呈している。裏側電極01Y〜16Yは、各々、Y方向に延在している。裏側電極01Y〜16Yは、X方向に、所定間隔ごとに離間して、互いに略平行になるように、配置されている。裏側電極01Y〜16Yの前端には、各々、裏側接続部01Y1〜16Y1が配置されている。図7にハッチングで示すように、基材40を挟んで、表側電極01X〜16Xと裏側接続部01Y1〜16Y1とが交差する部分(重複する部分)により、荷重等を検出する検出部が形成されている。   The base material 40 is made of urethane rubber and has a sheet shape. A total of 16 front side electrodes 01 </ b> X to 16 </ b> X are arranged on the upper surface of the base material 40. The front side electrodes 01X to 16X each have a strip shape. The front side electrodes 01X to 16X each extend in the X direction (left-right direction). The front-side electrodes 01X to 16X are arranged in the Y direction (front-rear direction) so as to be substantially parallel to each other at a predetermined interval. Front side connection portions 01X1 to 16X1 are arranged at the left ends of the front side electrodes 01X to 16X, respectively. Similarly, a total of 16 back-side electrodes 01Y to 16Y are arranged on the lower surface of the base material 40. The back side electrodes 01Y to 16Y each have a strip shape. The back-side electrodes 01Y to 16Y each extend in the Y direction. The back-side electrodes 01Y to 16Y are arranged in the X direction so as to be substantially parallel to each other at a predetermined interval. Back side connection portions 01Y1 to 16Y1 are arranged at the front ends of the back side electrodes 01Y to 16Y, respectively. As shown by hatching in FIG. 7, a detection unit that detects a load or the like is formed by a portion (overlapping portion) where the front side electrodes 01X to 16X intersect with the back side connection portions 01Y1 to 16Y1 with the base material 40 interposed therebetween. ing.

表側配線01x〜16xは、基材40の上面に、合計16本配置されている。表側配線01x〜16xは、各々、線状を呈している。表側配線用コネクタ41は、基材40の左後隅に配置されている。表側配線01x〜16xは、各々、表側接続部01X1〜16X1と、表側配線用コネクタ41と、を接続している。また、基材40の上面、表側電極01X〜16X、表側配線01x〜16xは、上方から、表側カバーフィルム(図略)により覆われている。   A total of 16 front side wirings 01x to 16x are arranged on the upper surface of the substrate 40. The front side wirings 01x to 16x each have a linear shape. The front wiring connector 41 is disposed at the left rear corner of the base member 40. The front side wirings 01x to 16x connect the front side connection portions 01X1 to 16X1 and the front side wiring connector 41, respectively. Moreover, the upper surface of the base material 40, the front side electrodes 01X to 16X, and the front side wirings 01x to 16x are covered with a front side cover film (not shown) from above.

裏側配線01y〜16yは、基材40の下面に、合計16本配置されている。裏側配線01y〜16yは、各々、線状を呈している。裏側配線用コネクタ42は、基材40の左前隅に配置されている。裏側配線01y〜16yは、各々、裏側接続部01Y1〜16Y1と、裏側配線用コネクタ42と、を接続している。また、基材40の下面、裏側電極01Y〜16Y、裏側配線01y〜16yは、下方から、裏側カバーフィルム(図略)により覆われている。   A total of 16 back-side wirings 01y to 16y are arranged on the lower surface of the substrate 40. The back side wirings 01y to 16y each have a linear shape. The backside wiring connector 42 is disposed at the left front corner of the base material 40. The back side wirings 01y to 16y connect the back side connection portions 01Y1 to 16Y1 and the back side wiring connector 42, respectively. Moreover, the lower surface of the base material 40, the back side electrodes 01Y to 16Y, and the back side wirings 01y to 16y are covered with a back side cover film (not shown) from below.

表側配線用コネクタ41、裏側配線用コネクタ42には、各々、演算部(図略)が電気的に接続されている。演算部には、表側配線01x〜16xおよび裏側配線01y〜16yから、検出部におけるインピーダンスが入力される。これに基づいて、面圧分布が測定される。   Each of the front side wiring connector 41 and the back side wiring connector 42 is electrically connected to a calculation unit (not shown). The impedance in the detection unit is input from the front side wirings 01x to 16x and the back side wirings 01y to 16y to the arithmetic unit. Based on this, the surface pressure distribution is measured.

ここで、表側配線01x〜16xおよび裏側配線01y〜16yは、各々、本発明の導電膜からなる。すなわち、表側配線01x〜16xおよび裏側配線01y〜16yは、各々、伸縮可能である。このため、基材40の変形に追従して変形することができる。また、表側配線01x〜16xおよび裏側配線01y〜16yにおいて、伸張時の導電性の低下は少なく、繰り返し変形した場合でも、内部抵抗による発熱が少ない。よって、フレキシブル配線板4は耐久性に優れる。   Here, the front-side wirings 01x to 16x and the back-side wirings 01y to 16y are each made of the conductive film of the present invention. That is, the front side wirings 01x to 16x and the back side wirings 01y to 16y can be expanded and contracted, respectively. For this reason, it can be deformed following the deformation of the substrate 40. Further, in the front-side wirings 01x to 16x and the back-side wirings 01y to 16y, there is little decrease in conductivity during expansion, and even when repeatedly deformed, heat generation due to internal resistance is small. Therefore, the flexible wiring board 4 is excellent in durability.

次に、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。   Next, the present invention will be described more specifically with reference to examples.

<導電膜の製造>
[実施例1〜4]
まず、アクリルゴムポリマー(日本ゼオン(株)製「ニポール(登録商標)AR51」)100質量部と、加工助剤のステアリン酸(花王(株)製「ルナック(登録商標)S30」)1質量部と、架橋促進剤のジメチルジチオカルバミン酸亜鉛(大内新興化学(株)製「ノクセラー(登録商標)PZ」)2.5質量部、およびジメチルジチオカルバミン酸第二鉄(大内新興化学(株)製「ノクセラーTTFE」)0.5質量部と、をロール練り機にて混合し、エラストマー組成物(アクリルゴムa1)を調製した。なお、実施例の一つ(実施例4)については、アクリルゴムポリマー(同上)を70質量部とし、可塑剤のアジピン酸ジエステル((株)ADEKA製「アデカサイザー(登録商標)RS−107」)を30質量部加えて、エラストマー組成物(アクリルゴムa2)を調製した。下記表1に、使用したアクリルゴムポリマーのTgと共に、エラストマー組成物の組成を示す。
<Manufacture of conductive film>
[Examples 1 to 4]
First, 100 parts by mass of an acrylic rubber polymer (Nippon (registered trademark) AR51) manufactured by Nippon Zeon Co., Ltd. and 1 part by mass of a processing aid stearic acid ("Lunac (registered trademark) S30" manufactured by Kao Corporation) And 2.5 parts by mass of a crosslinking accelerator zinc dimethyldithiocarbamate (“Noxer (registered trademark) PZ” manufactured by Ouchi Shinsei Chemical Co., Ltd.), and ferric dimethyldithiocarbamate (manufactured by Ouchi Shinsei Chemical Co., Ltd.) "Noxeller TTFE") and 0.5 parts by mass were mixed with a roll kneader to prepare an elastomer composition (acrylic rubber a1). In addition, about one of the examples (Example 4), the acrylic rubber polymer (same as above) is 70 parts by mass, and the plasticizer adipic acid diester ("ADEKA Sizer (registered trademark) RS-107" manufactured by ADEKA Corporation) ) Was added to prepare an elastomer composition (acrylic rubber a2). Table 1 below shows the composition of the elastomer composition together with the Tg of the acrylic rubber polymer used.

続いて、調製したエラストマー組成物を、溶剤のエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート312質量部に溶解させ、エラストマー溶液を調製した。このエラストマー溶液に、金属フィラーとして、形状等が異なる二種類の銀粉末を所定量添加し、三本ロールにて混練りして導電塗料とした(銀粉末の形状等は、後出の表2、表3等を参照)。   Subsequently, the prepared elastomer composition was dissolved in 312 parts by mass of a solvent, ethylene glycol monobutyl ether acetate, to prepare an elastomer solution. A predetermined amount of two kinds of silver powders having different shapes and the like as metal fillers were added to the elastomer solution, and kneaded with three rolls to obtain a conductive paint (the shape and the like of the silver powder are shown in Table 2 below). See Table 3).

製造した導電塗料を、アクリル樹脂製の基材表面にバーコート法により塗布した。その後、塗膜が形成された基材を、約150℃の乾燥炉内に約30分間静置して、塗膜を乾燥させると共に、架橋反応を進行させて、導電膜を得た。得られた導電膜の厚さは、10μmであった。   The produced conductive paint was applied to the surface of an acrylic resin substrate by a bar coating method. Thereafter, the base material on which the coating film was formed was allowed to stand in a drying furnace at about 150 ° C. for about 30 minutes to dry the coating film, and the crosslinking reaction was advanced to obtain a conductive film. The thickness of the obtained conductive film was 10 μm.

[実施例5]
アクリルゴムポリマーの種類を変更して、エラストマー組成物(アクリルゴムb1)を調製した。まず、三種類のモノマーを懸濁重合して、アクリルゴムポリマーを製造した。モノマーとしては、n−ブチルアクリレート(BA)、アクリロニトリル(AN)、およびアリルグリシジルエーテル(AGE)を用いた。モノマーの配合割合は、BAを97質量%、ANを1質量%、AGEを2質量%とした。得られたアクリルゴムポリマーの重量平均分子量を、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)により測定したところ、約80万であった。次に、製造したアクリルゴムポリマー100質量部に、上記実施例1〜3と同様の添加剤を混合して、エラストマー組成物を調製した。調製したエラストマー組成物から、上記実施例1〜4と同様にして、導電膜を製造した。
[Example 5]
The type of acrylic rubber polymer was changed to prepare an elastomer composition (acrylic rubber b1). First, three types of monomers were subjected to suspension polymerization to produce an acrylic rubber polymer. As monomers, n-butyl acrylate (BA), acrylonitrile (AN), and allyl glycidyl ether (AGE) were used. The blending ratio of the monomer was 97% by mass of BA, 1% by mass of AN, and 2% by mass of AGE. When the weight average molecular weight of the obtained acrylic rubber polymer was measured by gel permeation chromatography (GPC), it was about 800,000. Next, 100 parts by mass of the manufactured acrylic rubber polymer was mixed with the same additive as in Examples 1 to 3 to prepare an elastomer composition. A conductive film was produced from the prepared elastomer composition in the same manner as in Examples 1 to 4 above.

[実施例6]
架橋促進剤を変更した以外は、実施例5と同様にして、エラストマー組成物(アクリルゴムb2)を調製した。架橋促進剤としては、安息香酸アンモニウムを用いた(配合量0.5質量部)。調製したエラストマー組成物から、上記実施例1〜4と同様にして、導電膜を製造した。
[Example 6]
An elastomer composition (acrylic rubber b2) was prepared in the same manner as in Example 5 except that the crosslinking accelerator was changed. As the crosslinking accelerator, ammonium benzoate was used (blending amount 0.5 parts by mass). A conductive film was produced from the prepared elastomer composition in the same manner as in Examples 1 to 4 above.

[実施例7]
加工助剤を用いず、架橋促進剤に替えて架橋剤を用いた以外は、実施例5と同様にして、エラストマー組成物(アクリルゴムb3)を調製した。架橋剤としては、変性脂肪族ポリアミン((株)ADEKA製「アデカハードナー(登録商標)EH−451N」)を用いた(配合量7質量部)。調製したエラストマー組成物から、上記実施例1〜4と同様にして、導電膜を製造した。
[Example 7]
An elastomer composition (acrylic rubber b3) was prepared in the same manner as in Example 5 except that the processing aid was not used and a crosslinking agent was used instead of the crosslinking accelerator. As the cross-linking agent, a modified aliphatic polyamine (“ADEKA HARDNER (registered trademark) EH-451N” manufactured by ADEKA Corporation) was used (blending amount: 7 parts by mass). A conductive film was produced from the prepared elastomer composition in the same manner as in Examples 1 to 4 above.

[実施例8]
アクリルゴムポリマーの種類を変更した以外は、実施例7と同様にして、エラストマー組成物(アクリルゴムc)を調製した。アクリルゴムポリマーとしては、次の二種類のポリマーを混合して用いた。一つは、上記実施例5〜7で用いたアクリルゴムポリマー(BA/AN/AGE)である。もう一つは、2−エチルヘキシルアクリレート(2EHA)、アクリロニトリル(AN)、およびアリルグリシジルエーテル(AGE)を懸濁重合して製造したアクリルゴムポリマーである。後者のモノマーの配合割合は、2EHAを97質量%、ANを1質量%、AGEを2質量%とした。また、後者のアクリルゴムポリマーの重量平均分子量は、約80万であった。前者のアクリルゴムポリマー(BA/AN/AGE)の67質量部と、後者のアクリルゴムポリマー(2EHA/AN/AGE)の33質量部と、を混合して100質量部とした。調製したエラストマー組成物から、上記実施例1〜4と同様にして、導電膜を製造した。
[Example 8]
An elastomer composition (acrylic rubber c) was prepared in the same manner as in Example 7 except that the type of the acrylic rubber polymer was changed. As the acrylic rubber polymer, the following two types of polymers were mixed and used. One is the acrylic rubber polymer (BA / AN / AGE) used in Examples 5-7 above. The other is an acrylic rubber polymer produced by suspension polymerization of 2-ethylhexyl acrylate (2EHA), acrylonitrile (AN), and allyl glycidyl ether (AGE). The blending ratio of the latter monomer was 97% by mass of 2EHA, 1% by mass of AN, and 2% by mass of AGE. The weight average molecular weight of the latter acrylic rubber polymer was about 800,000. 67 parts by mass of the former acrylic rubber polymer (BA / AN / AGE) and 33 parts by mass of the latter acrylic rubber polymer (2EHA / AN / AGE) were mixed to make 100 parts by mass. A conductive film was produced from the prepared elastomer composition in the same manner as in Examples 1 to 4 above.

[実施例9]
アクリルゴムポリマーの種類を変更した以外は、実施例7と同様にして、エラストマー組成物(アクリルゴムd)を調製した。アクリルゴムポリマーは、エチルアクリレート(EA)、アクリロニトリル(AN)、およびアリルグリシジルエーテル(AGE)を懸濁重合して製造した。モノマーの配合割合は、EAを97質量%、ANを1質量%、AGEを2質量%とした。得られたアクリルゴムポリマーの重量平均分子量は、約80万であった。調製したエラストマー組成物から、上記実施例1〜4と同様にして、導電膜を製造した。
[Example 9]
An elastomer composition (acrylic rubber d) was prepared in the same manner as in Example 7 except that the type of the acrylic rubber polymer was changed. The acrylic rubber polymer was produced by suspension polymerization of ethyl acrylate (EA), acrylonitrile (AN), and allyl glycidyl ether (AGE). The blending ratio of the monomers was 97% by mass of EA, 1% by mass of AN, and 2% by mass of AGE. The resulting acrylic rubber polymer had a weight average molecular weight of about 800,000. A conductive film was produced from the prepared elastomer composition in the same manner as in Examples 1 to 4 above.

[実施例10]
アクリルゴムポリマーに替えてウレタンゴムポリマーを用いた。まず、ウレタンゴムポリマー(日本ポリウレタン工業(株)製「ニッポラン(登録商標)5193」:ウレタンゴムa)100質量部を、溶剤のエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート312質量部に溶解させ、エラストマー溶液を調製した。次に、調製したエラストマー溶液から、上記実施例1〜4と同様にして、導電膜を製造した。
[Example 10]
A urethane rubber polymer was used instead of the acrylic rubber polymer. First, 100 parts by mass of a urethane rubber polymer (Nipporan (registered trademark) 5193 manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd .: urethane rubber a) was dissolved in 312 parts by mass of a solvent, ethylene glycol monobutyl ether acetate, to prepare an elastomer solution. . Next, the electrically conductive film was manufactured from the prepared elastomer solution like the said Examples 1-4.

[比較例1〜4]
配合する銀粉末を一種類にした以外は、上記実施例1〜4と同様にして、導電膜を製造した。使用したエラストマー組成物は、上記実施例1〜3と同様のアクリルゴムa1である。
[Comparative Examples 1-4]
A conductive film was produced in the same manner as in Examples 1 to 4 except that the silver powder to be blended was one type. The used elastomer composition is the same acrylic rubber a1 as in Examples 1 to 3 above.

[比較例5]
ウレタンゴムポリマーの種類を変更した以外は、実施例10と同様にして、導電膜を製造した。ウレタンゴムポリマーとしては、(東洋紡績(株)製「バイロン(登録商標)UR3200」:ウレタンゴムb)を用いた。
[Comparative Example 5]
A conductive film was produced in the same manner as in Example 10 except that the type of the urethane rubber polymer was changed. As the urethane rubber polymer (Toyobo Co., Ltd. "Byron (registered trademark) UR3200": urethane rubber b) was used.

表2に、実施例1〜10について、使用したエラストマー、金属フィラーの種類および配合量を示す。同様に、表3に、比較例1〜5について、使用したエラストマー、金属フィラーの種類および配合量を示す。
Table 2 shows the types and amounts of the elastomers and metal fillers used in Examples 1 to 10. Similarly, Table 3 shows the types and amounts of elastomers and metal fillers used in Comparative Examples 1-5.

<評価方法>
製造した導電膜について、柔軟性および導電性を評価した。以下、各々の評価方法について説明する。
<Evaluation method>
The manufactured conductive film was evaluated for flexibility and conductivity. Hereinafter, each evaluation method will be described.

[柔軟性]
導電膜について、JIS K7127(1999)に準じた引張試験を行った。試験片の形状は、試験片タイプ2とした。得られた応力−伸び曲線から、導電膜の弾性率を算出した。
[Flexibility]
The conductive film was subjected to a tensile test according to JIS K7127 (1999). The shape of the test piece was test piece type 2. The elastic modulus of the conductive film was calculated from the obtained stress-elongation curve.

[導電性]
導電膜の体積抵抗率を、JIS K6271(2008)の平行端子電極法に準じて測定した。この際、導電膜(試験片)を支持する絶縁樹脂製支持具として、市販のゴムシート(住友スリーエム(株)製「VHB(登録商標)4910」)を用いた。体積抵抗率の測定は、伸張の有無により二種類行った。すなわち、一つは、自然状態(伸張なし)で測定し、もう一つは、伸張率200%で伸張した状態で測定した。ここで、伸張率は、次式(I)により算出した値である。
伸張率(%)=(ΔL/L)×100・・・(I)
[L:試験片の標線間距離、ΔL:試験片の標線間距離の伸張による増加分]
<評価結果>
実施例および比較例の導電膜の評価結果を、使用したエラストマー、金属フィラーの種類および配合量と共に、表2、表3に示す。また、実施例1の導電膜の断面の電子顕微鏡写真を、図8に示す。表2、表3中、使用した銀粉末の詳細は、以下の通りである。ここで、銀粉末A〜Cは第一金属フィラーに含まれる。銀粉末D〜Fは第二金属フィラーに含まれる。
銀粉末A:DOWAエレクトロニクス(株)製、商品「FA−D−4」(フレーク状、平均粒子径約15μm、アスペクト比約25)。
銀粉末B:DOWAエレクトロニクス(株)製、商品「FA−2−3」(フレーク状、平均粒子径約6μm、アスペクト比約20)。
銀粉末C:フレーク状、平均粒子径約2.5μm、アスペクト比約5。
銀粉末D(銀被覆ガラスビーズ):ポッターズ・バロティーニ(株)製、商品「ES−6000−S7」(球状、平均粒子径約8μm、アスペクト比約1)。
銀粉末E:DOWAエレクトロニクス(株)製、商品「AG2−1C」(球状、平均粒子径約0.5μm、アスペクト比約1)。
銀粉末F:球状、平均粒子径約0.3μm、アスペクト比約1。
[Conductivity]
The volume resistivity of the conductive film was measured according to the parallel terminal electrode method of JIS K6271 (2008). At this time, a commercially available rubber sheet (“VHB (registered trademark) 4910” manufactured by Sumitomo 3M Limited) was used as an insulating resin support for supporting the conductive film (test piece). Two types of volume resistivity were measured depending on whether or not there was stretching. That is, one was measured in a natural state (no stretching), and the other was measured in a stretched state at a stretch rate of 200%. Here, the expansion rate is a value calculated by the following equation (I).
Elongation rate (%) = (ΔL 0 / L 0 ) × 100 (I)
[L 0 : Distance between marked lines of test piece, ΔL 0 : Increase due to extension of distance between marked lines of test piece]
<Evaluation results>
The evaluation results of the conductive films of Examples and Comparative Examples are shown in Tables 2 and 3 together with the types and amounts of the elastomers and metal fillers used. Moreover, the electron micrograph of the cross section of the electrically conductive film of Example 1 is shown in FIG. The details of the silver powder used in Tables 2 and 3 are as follows. Here, silver powder AC is contained in a 1st metal filler. Silver powders D to F are contained in the second metal filler.
Silver powder A: manufactured by DOWA Electronics Co., Ltd., product “FA-D-4” (flakes, average particle diameter of about 15 μm, aspect ratio of about 25).
Silver powder B: manufactured by DOWA Electronics Co., Ltd., product “FA-2-3” (flakes, average particle diameter of about 6 μm, aspect ratio of about 20).
Silver powder C: flaky, average particle diameter of about 2.5 μm, aspect ratio of about 5.
Silver powder D (silver-coated glass beads): Product “ES-6000-S7” (spherical, average particle diameter of about 8 μm, aspect ratio of about 1) manufactured by Potters Ballotini Co., Ltd.
Silver powder E: manufactured by DOWA Electronics Co., Ltd., product “AG2-1C” (spherical, average particle diameter of about 0.5 μm, aspect ratio of about 1).
Silver powder F: spherical, average particle diameter of about 0.3 μm, aspect ratio of about 1.

図8から、実施例1の導電膜中には、フレーク状の銀粉末(第一金属フィラー)が、膜展開方向に配向していることがわかる。また、フレーク状の銀粉末同士の隙間を、球状の銀粉末(第二金属フィラー)が埋めていることがわかる。   FIG. 8 shows that in the conductive film of Example 1, flaky silver powder (first metal filler) is oriented in the film development direction. Moreover, it turns out that spherical silver powder (second metal filler) fills the gaps between the flaky silver powders.

また、表2に示すように、実施例の導電膜は、全て高い導電性を示した。加えて、伸張時においても、体積抵抗率の増加が小さかった。また、実施例の導電膜については、いずれも伸びが良好であることが確認された。例えば、可塑剤を配合した実施例4の導電膜は、可塑剤を配合しなかった実施例1〜3の導電膜と比較して、弾性率がより低くなった。また、実施例7の導電膜と実施例8の導電膜とを比較すると、よりTgの低いポリマーを混合した実施例8の導電膜の方が、低い弾性率を示した。なお、ウレタンゴムを使用した実施例10の導電膜については、アクリルゴムを使用した実施例1〜9の導電膜と比較して、弾性率が高くなった。   Moreover, as shown in Table 2, the conductive films of the examples all showed high conductivity. In addition, the increase in volume resistivity was small even during stretching. Moreover, about the electrically conductive film of an Example, all were confirmed that elongation is favorable. For example, the electrically conductive film of Example 4 which mix | blended the plasticizer had a lower elasticity modulus compared with the electrically conductive film of Examples 1-3 which did not mix | blend the plasticizer. Further, when the conductive film of Example 7 and the conductive film of Example 8 were compared, the conductive film of Example 8 in which a polymer having a lower Tg was mixed showed a lower elastic modulus. In addition, about the electrically conductive film of Example 10 which uses urethane rubber, the elasticity modulus became high compared with the electrically conductive film of Examples 1-9 which used acrylic rubber.

これに対して、比較例の導電膜については、表3に示すように、いずれも伸張時において体積抵抗率が大幅に大きくなった。つまり、伸張時に導電性が低下した。また、Tgが−3℃のウレタンゴムを使用した比較例5の導電膜については、銀粉末の充填量が少ないにも関わらず、弾性率が非常に高くなった。   On the other hand, as shown in Table 3, the volume resistivity of the conductive film of the comparative example was greatly increased when stretched. In other words, the conductivity was reduced during stretching. Moreover, about the electrically conductive film of the comparative example 5 which uses the urethane rubber whose Tg is -3 degreeC, although the filling amount of silver powder was small, the elasticity modulus became very high.

また、実施例1の導電膜と比較例1の導電膜とを比較すると、銀粉末のトータルの充填量が同じであっても、フレーク状のみの場合(比較例1)には、弾性率が高くなった。また、フレーク状のみの場合(比較例1)には、伸張時の体積抵抗率も大きく増加した。これは、伸張により、フレーク状の銀粉末間に隙間が生じ、導通経路が切断されたためと考えられる。さらに、比較例2の導電膜と比較して判るように、銀粉末の充填量を減らすと、弾性率は低下した。しかし、比較例2の導電膜についても、フレーク状の銀粉末のみが充填されているため、上記同様に、伸張時の体積抵抗率は大きく増加した。なお、比較例1の導電膜と比較例3の導電膜とを比較すると、フレーク状の銀粉末の充填量が同じであっても、比較例3の方が銀粉末の平均粒子径が小さいため、弾性率が低くなった。   Further, when the conductive film of Example 1 and the conductive film of Comparative Example 1 are compared, even if the total filling amount of the silver powder is the same, in the case of only flakes (Comparative Example 1), the elastic modulus is It became high. In addition, in the case of only the flake shape (Comparative Example 1), the volume resistivity at the time of expansion also greatly increased. This is considered to be because a gap was generated between the flaky silver powders due to the elongation, and the conduction path was cut off. Further, as can be seen in comparison with the conductive film of Comparative Example 2, the elastic modulus decreased when the filling amount of the silver powder was reduced. However, since the conductive film of Comparative Example 2 was filled with only flaky silver powder, the volume resistivity at the time of expansion increased significantly as described above. When the conductive film of Comparative Example 1 and the conductive film of Comparative Example 3 are compared, even if the filling amount of the flaky silver powder is the same, Comparative Example 3 has a smaller average particle diameter of the silver powder. The elastic modulus was low.

以上より、本発明の導電膜は、柔軟性および導電性が高く、伸張時にも電気抵抗が増加しにくいことが確認された。   From the above, it was confirmed that the electrically conductive film of the present invention has high flexibility and electrical conductivity, and it is difficult for the electrical resistance to increase even when stretched.

柔軟なアクチュエータは、例えば、産業、医療、福祉ロボット用の人工筋肉、電子部品冷却用や医療用等の小型ポンプ、医療用器具等に用いられる。本発明の導電膜は、このような柔軟なアクチュエータの電極、配線等に好適である。また、静電容量型センサ等のエラストマーセンサの電極、配線等にも好適である。また、発電トランスデューサの他、発光、発熱、発色等を行う柔軟なトランスデューサの電極、配線等にも好適である。また、本発明の導電膜は、ウェアラブルデバイス等に使用されるフレキシブル配線板等にも有用である。   Flexible actuators are used in, for example, artificial muscles for industrial, medical, and welfare robots, small pumps for cooling electronic parts, medical use, and medical instruments. The conductive film of the present invention is suitable for such flexible actuator electrodes and wiring. It is also suitable for electrodes and wiring of elastomer sensors such as capacitance type sensors. In addition to the power generation transducer, it is also suitable for electrodes, wiring, etc. of flexible transducers that emit light, generate heat, and color. Moreover, the electrically conductive film of this invention is useful also for the flexible wiring board etc. which are used for a wearable device etc.

本発明の導電膜は、柔軟性および導電性に優れる。このため、電気的な制御と柔軟な接触とが必要な部材に用いることができる。例えば、レーザービームプリンター等のOA(Ofice Automation)機器に用いられる現像ロール、帯電ロール、転写ロール、給紙ロール、トナー層形成部材、クリーニングブレード、帯電ブレード等における電極層、表層に好適である。   The conductive film of the present invention is excellent in flexibility and conductivity. For this reason, it can be used for members that require electrical control and flexible contact. For example, it is suitable for an electrode layer and a surface layer in a developing roll, a charging roll, a transfer roll, a paper feeding roll, a toner layer forming member, a cleaning blade, a charging blade and the like used in OA (Office Automation) equipment such as a laser beam printer.

1:静電容量型センサ(エラストマーセンサ) 10:誘電膜 11a、11b:電極
12a、12b:配線 13a、13b:カバーフィルム 14:コネクタ
2:アクチュエータ 20:誘電膜 21a、21b:電極 22:電源
3:発電トランスデューサ 30:誘電膜 31a、31b:電極
4:フレキシブル配線板
40:基材 41:表側配線用コネクタ 42:裏側配線用コネクタ
01X〜16X:表側電極 01X1〜16X1:表側接続部
01Y〜16Y:裏側電極 01Y1〜16Y1:裏側接続部
01x〜16x:表側配線 01y〜16y:裏側配線
100:導電膜 101:エラストマー 102:第一金属フィラー
103:第二金属フィラー
1: Capacitance type sensor (elastomer sensor) 10: Dielectric film 11a, 11b: Electrodes 12a, 12b: Wiring 13a, 13b: Cover film 14: Connector 2: Actuator 20: Dielectric films 21a, 21b: Electrode 22: Power supply 3 : Power generation transducer 30: Dielectric films 31a, 31b: Electrode 4: Flexible wiring board 40: Base material 41: Front side wiring connector 42: Back side wiring connector 01X to 16X: Front side electrode 01X1 to 16X1: Front side connection portion 01Y to 16Y: Back side electrode 01Y1-16Y1: Back side connection part 01x-16x: Front side wiring 01y-16y: Back side wiring 100: Conductive film 101: Elastomer 102: First metal filler 103: Second metal filler

Claims (14)

水素結合可能な官能基を有し、ガラス転移温度(Tg)が−10℃以下であるエラストマーと、
該エラストマー中に充填されている、フレーク状または針状の第一金属フィラーと、塊状の第二金属フィラーと、
を含んでなり、
該第一金属フィラーは、膜展開方向に配向していることを特徴とする導電膜。
An elastomer having a functional group capable of hydrogen bonding and having a glass transition temperature (Tg) of −10 ° C. or lower;
A flaky or needle-shaped first metal filler filled in the elastomer; a massive second metal filler;
Comprising
The conductive film characterized in that the first metal filler is oriented in the film development direction.
膜厚は、4μm以上1000μm以下である請求項1に記載の導電膜。   The conductive film according to claim 1, wherein the film thickness is 4 μm or more and 1000 μm or less. エラストマー製の弾性部材の表面に形成されている請求項1または請求項2に記載の導電膜。   The conductive film according to claim 1, wherein the conductive film is formed on a surface of an elastic member made of elastomer. 導電膜を構成する前記エラストマーは、可塑剤を含む請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の導電膜。   The conductive film according to claim 1, wherein the elastomer constituting the conductive film contains a plasticizer. 導電膜を構成する前記エラストマーは、アクリルゴム、ウレタンゴム、ヒドリンゴムから選ばれる一種以上である請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の導電膜。   The conductive film according to any one of claims 1 to 4, wherein the elastomer constituting the conductive film is one or more selected from acrylic rubber, urethane rubber, and hydrin rubber. 前記アクリルゴムは、炭素数4以上のアルキル基を有するアクリル酸エステルモノマー単位を50mol%以上含む請求項5に記載の導電膜。   The conductive film according to claim 5, wherein the acrylic rubber contains 50 mol% or more of an acrylate monomer unit having an alkyl group having 4 or more carbon atoms. 前記第一金属フィラーの平均粒子径は2.5μm以上15μm以下であり、アスペクト比は5以上25以下である請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の導電膜。   7. The conductive film according to claim 1, wherein the first metal filler has an average particle size of 2.5 μm to 15 μm and an aspect ratio of 5 to 25. 8. 前記第二金属フィラーの平均粒子径は0.1μm以上8.0μm以下であり、アスペクト比は1以上5以下である請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の導電膜。   The conductive film according to claim 1, wherein the second metal filler has an average particle size of 0.1 μm or more and 8.0 μm or less, and an aspect ratio of 1 or more and 5 or less. 前記第一金属フィラーおよび前記第二金属フィラーの充填量は、前記エラストマーの100質量部に対して300質量部以上1500質量部以下である請求項1ないし請求項8のいずれかに記載の導電膜。   The conductive film according to claim 1, wherein a filling amount of the first metal filler and the second metal filler is 300 parts by mass or more and 1500 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the elastomer. . 前記第一金属フィラーと前記第二金属フィラーとの配合比は、質量比で30:1〜1:5である請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の導電膜。   The conductive film according to any one of claims 1 to 9, wherein a mixing ratio of the first metal filler and the second metal filler is 30: 1 to 1: 5 by mass ratio. 請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の導電膜を、電極および配線の少なくとも一方として備えていることを特徴とするトランスデューサ。   11. A transducer comprising the conductive film according to claim 1 as at least one of an electrode and a wiring. エラストマーからなる誘電膜と、該誘電膜を介して配置されている複数の電極と、複数の該電極と各々接続されている配線と、を備え、複数の該電極間への印加電圧に応じて該誘電膜が伸縮するアクチュエータである請求項11に記載のトランスデューサ。   A dielectric film made of an elastomer, a plurality of electrodes arranged via the dielectric film, and a wiring connected to each of the plurality of electrodes, according to a voltage applied between the plurality of electrodes The transducer according to claim 11, wherein the dielectric film is an actuator that expands and contracts. エラストマーからなる誘電膜と、該誘電膜を介して配置されている複数の電極と、複数の該電極と各々接続されている配線と、を備え、複数の該電極間の静電容量変化に基づいて変形を検出するエラストマーセンサである請求項11に記載のトランスデューサ。   A dielectric film made of an elastomer, a plurality of electrodes arranged through the dielectric film, and a wiring connected to each of the plurality of electrodes, and based on a change in capacitance between the plurality of electrodes The transducer according to claim 11, wherein the transducer is an elastomer sensor that detects deformation. 配線の少なくとも一部は、請求項1ないし請求項10のいずれかに記載の導電膜からなることを特徴とするフレキシブル配線板。   A flexible wiring board, wherein at least a part of the wiring is made of the conductive film according to any one of claims 1 to 10.
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