JP2010151532A - X線解析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定物である単位セル18を保持する測定物保持機構20は、単位セル18の位置を調整可能な位置決めステージ30によって位置決めされ、且つ180°以上回転可能な回転台座74を有する回転ステージ68と、単位セル18を挟持する第1支持部材80及び第2支持部材82と、前記回転台座74と同期して回転動作することで単位セル18を第1支持部材80ごと回転動作させる回転用支持部材78と、支持軸100を介して第2支持部材82に押圧力を付与するエアシリンダ190と、支持軸100を回転自在に支持する軸受186と、エアシリンダ190が付与する押圧力を測定するロードセル188とを有する。この中、軸受186、エアシリンダ190及びロードセル188は回転しないように構成されている。
【選択図】図2
Description
前記測定物の位置を調整可能な位置決めステージと、
前記位置決めステージによって位置決めされ、且つ180°以上回転可能な回転台座を有する回転ステージと、
前記測定物を一端部から支持する第1支持部材と、
前記測定物を前記一端部とは別の端部から支持する第2支持部材と、
前記回転ステージと前記第1支持部材の間に介在され、前記回転台座と同期して回転動作することで前記測定物を前記第1支持部材ごと回転動作させる回転用支持部材と、
前記第2支持部材に対し、押圧力伝達部材を介して押圧力を付与する押圧力付与手段と、
前記押圧力伝達部材を回転自在に支持する受部材と、
前記押圧力付与手段が付与する押圧力を測定する押圧力測定手段と、
前記測定物に対してX線を照射するX線照射手段と、
前記測定物を透過したX線を検出するX線検出手段と、
前記X線検出手段からのデータに基づいて前記測定物の断層撮影像を作成するデータ処理部と、
を備えることを特徴とする。
18…単位セル 20…測定物保持機構
22…透過X線検出部 24…画像処理演算部
30…位置決めステージ 32…X軸ステージ
34…Y軸ステージ 36…Z軸ステージ
68…回転ステージ 74…回転台座
78…回転用支持部材 80…第1支持部材
82…第2支持部材 84…金属ボルト
86…ナット 88、98…挿入孔
90…ヒータ 92、102…嵌合用凹部
94…第1ガス供給通路 96…第1ガス排出通路
100…支持軸 104…第2ガス供給通路
106…第2ガス排出通路 112…位置決めピン
114、116…ピン用挿通孔 124、126…絶縁シート
128…第1供給貫通孔 130…第1排出貫通孔
132…第2供給貫通孔 134…第2排出貫通孔
136…アノード側電極 138…カソード側電極
140…電解質 142…電解質・電極接合体
144…第1セパレータ 146…第2セパレータ
148…第1集電板 150…第2集電板
152…タブ部 155、156…ガスケット
162…第1供給連通孔 164…第1排出連通孔
166…第1主供給孔 168…第1主排出孔
170…燃料ガス供給排出溝 172、184…リブ
174…第2供給連通孔 176…第2排出連通孔
178…第2主供給孔 180…第2主排出孔
182…酸化剤ガス供給排出溝 186…軸受
188…ロードセル 190…エアシリンダ
192…ソケットカップリング 194…遮蔽板
L1…X線 L2…透過X線
Claims (8)
- 測定物にX線を照射する一方、前記測定物を透過した透過X線を検出して前記測定物の内部の断層撮影像を得るX線解析装置であって、
前記測定物の位置を調整可能な位置決めステージと、
前記位置決めステージによって位置決めされ、且つ180°以上回転可能な回転台座を有する回転ステージと、
前記測定物を一端部から支持する第1支持部材と、
前記測定物を前記一端部とは別の端部から支持する第2支持部材と、
前記回転ステージと前記第1支持部材の間に介在され、前記回転台座と同期して回転動作することで前記測定物を前記第1支持部材ごと回転動作させる回転用支持部材と、
前記第2支持部材に対し、押圧力伝達部材を介して押圧力を付与する押圧力付与手段と、
前記押圧力伝達部材を回転自在に支持する受部材と、
前記押圧力付与手段が付与する押圧力を測定する押圧力測定手段と、
前記測定物に対してX線を照射するX線照射手段と、
前記測定物を透過したX線を検出するX線検出手段と、
前記X線検出手段からのデータに基づいて前記測定物の断層撮影像を作成するデータ処理部と、
を備えることを特徴とするX線解析装置。 - 請求項1記載の装置において、前記回転用支持部材に、該回転用支持部材の回転方向と交差する方向に押圧力を伝達する押圧面が形成されるとともに、前記第1支持部材に、前記押圧面に当接して該押圧面から伝達された押圧力を受ける受圧面が形成されることを特徴とするX線解析装置。
- 請求項1又は2記載の装置において、当該X線解析装置は、燃料電池を構成する単位セルを前記測定物として断層撮影像を作成するものであり、
前記第1支持部材に、前記単位セルに酸化剤ガス又は燃料ガスのいずれか一方を供給及び排出するための第1ガス供給管及び第1ガス排出管が設けられ、
且つ前記第2支持部材に、前記単位セルに燃料ガス又は酸化剤ガスの残余の一方を供給及び排出するための第2ガス供給管及び第2ガス排出管が設けられたことを特徴とするX線解析装置。 - 請求項3記載の装置において、前記単位セルが、一部が露呈した2個の集電板を含み、前記単位セルが発電することで得られる電流を前記露呈した部位から得ることを特徴とするX線解析装置。
- 請求項3又は4記載の装置において、前記第1支持部材及び前記第2支持部材の各々に加熱手段が設けられていることを特徴とするX線解析装置。
- 請求項3〜5のいずれか1項に記載の装置において、前記第1支持部材から前記第2支持部材にわたって橋架される緊締部材を有し、前記緊締部材は、前記第1支持部材及び前記第2支持部材に貫通形成されて側部が開口した挿入孔に着脱自在に挿入されることを特徴とするX線解析装置。
- 請求項3〜6のいずれか1項に記載の装置において、前記第1支持部材及び前記第2支持部材に挿通孔が貫通形成され、前記挿入孔には、前記単位セルを位置決めするための位置決め部材が着脱自在に挿入されることを特徴とするX線解析装置。
- 請求項3〜7のいずれか1項に記載の装置において、さらに、少なくとも、前記第1ガス供給管、前記第1ガス排出管、前記第2ガス供給管及び前記第2ガス排出管を前記測定物から離間させてX線照射位置以外に迂回させるための迂回部材を有することを特徴とするX線解析装置。
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