JP2010142819A - レーザ加工装置、レーザ加工制御方法およびレーザ加工用プログラム - Google Patents
レーザ加工装置、レーザ加工制御方法およびレーザ加工用プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010142819A JP2010142819A JP2008319729A JP2008319729A JP2010142819A JP 2010142819 A JP2010142819 A JP 2010142819A JP 2008319729 A JP2008319729 A JP 2008319729A JP 2008319729 A JP2008319729 A JP 2008319729A JP 2010142819 A JP2010142819 A JP 2010142819A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- point position
- laser beam
- adjusting means
- condensing
- height position
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 59
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 26
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 14
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 13
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910009372 YVO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
【解決手段】分割予定ラインの上面高さ位置のバラツキ範囲が第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲よりも狭いにも関わらず、例えば、分割予定ラインの上面高さ位置が第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲より上側に存在することにより検出不可能な箇所があった場合は、一番下側に存在する上面高さの最下位置を記憶させ、第1の集光点位置調整手段によって、第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲の最も下側の位置を最下位置よりも僅かに下側に位置付けるように、自動的に被加工物の上面に対する第2の集光点位置調整手段の位置関係を調整することで検出可能とした。
【選択図】 図7
Description
4a,4b 分割予定ライン
20 レーザ加工装置
21 チャックテーブル
21a 保持面
22 レーザ光線照射手段
22a 加工用レーザ光線発振手段
22b 集光レンズ
27 加工送り手段
33 第1の集光点位置調整手段
35 第2の集光点位置調整手段
35a ピエゾモータ
39 高さ位置検出手段
41 チャックテーブル
200 制御手段
Claims (3)
- 分割予定ラインによって区画された被加工物を保持する保持面を備えるチャックテーブルと、
該チャックテーブルの前記保持面に保持された前記被加工物をレーザ加工するための加工用レーザ光線を発振する加工用レーザ光線発振手段と、該加工用レーザ光線発振手段によって発振された加工用レーザ光線を集光する集光レンズと、を有するレーザ光線照射手段と、
前記チャックテーブルと前記レーザ光線照射手段とを加工送り方向に相対的に移動させる加工送り手段と、
前記被加工物に対してレーザ加工を施す前に、予め前記集光レンズを前記保持面に対して垂直方向に移動させ該集光レンズによって集光される加工用レーザ光線の集光点位置を調整する第1の集光点位置調整手段と、
前記被加工物が有する前記分割予定ライン上の上面高さのバラツキ範囲よりも広くて前記第1の集光点位置調整手段の移動可能範囲よりも狭い移動可能範囲に設定され、ピエゾモータを駆動源として、前記集光レンズを前記垂直方向に移動させ該集光レンズによって集光される加工用レーザ光線の集光点位置を調整する第2の集光点位置調整手段と、
対象となる前記分割予定ラインに対してレーザ加工を施す前に、前記被加工物を加工送り方向に相対的に移動させながら検出用光源から発せられた検出用光線を前記集光レンズによって集光して前記保持面上の前記被加工物の前記分割予定ラインに沿って照射し、前記分割予定ラインの上面で反射した反射光に基づき前記集光レンズと前記分割予定ラインの上面との距離情報を取得し、取得される該距離情報が所定の一定値となるように前記ピエゾモータを駆動させて前記第2の集光点位置調整手段により前記集光レンズを垂直方向に移動させ、前記ピエゾモータの駆動情報を記憶させて集光レンズ移動情報を取得することにより前記分割予定ラインの上面高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、
当該レーザ加工装置の動作を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記高さ位置検出手段により対象となる前記分割予定ラインの上面高さ位置を検出する際に、
前記上面高さ位置が前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲より上側に存在することにより検出不可能な箇所があった場合は、前記高さ位置検出手段で検出された該分割予定ライン上で一番下側に存在する上面高さの最下位置を記憶させ、前記第1の集光点位置調整手段によって、前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲の最も下側の位置を前記最下位置よりも下側に位置付けて、前記高さ位置検出手段により該分割予定ライン上の上面高さ位置を再び検出させ、
前記上面高さ位置が前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲より下側に存在することにより検出不可能な箇所があった場合は、前記高さ位置検出手段で検出された該分割予定ライン上で一番上側に存在する上面高さの最上位置を記憶させ、前記第1の集光点位置調整手段によって、前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲の最も上側の位置を前記最上位置よりも上側に位置付けて、前記高さ位置検出手段により該分割予定ライン上の上面高さ位置を再び検出させ、
前記上面高さ位置が前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲内に存在することにより検出不可能な箇所がなかった場合は、前記被加工物を加工送り方向に相対的に移動させながら前記レーザ光線照射手段によって対象となる該分割予定ラインに対して加工用レーザ光線を照射するとともに、同時に、前記高さ位置検出手段により取得された前記集光レンズ移動情報に基づいて前記ピエゾモータを駆動させて前記第2の集光点位置調整手段により前記集光レンズの前記集光点位置を調整しながら該分割予定ラインに対してレーザ加工を施すことを特徴とするレーザ加工装置。 - 分割予定ラインによって区画された被加工物を保持する保持面を備えるチャックテーブルと、
該チャックテーブルの前記保持面に保持された前記被加工物をレーザ加工するための加工用レーザ光線を発振する加工用レーザ光線発振手段と、該加工用レーザ光線発振手段によって発振された加工用レーザ光線を集光する集光レンズと、を有するレーザ光線照射手段と、
前記チャックテーブルと前記レーザ光線照射手段とを加工送り方向に相対的に移動させる加工送り手段と、
前記被加工物に対してレーザ加工を施す前に、予め前記集光レンズを前記保持面に対して垂直方向に移動させ該集光レンズによって集光される加工用レーザ光線の集光点位置を調整する第1の集光点位置調整手段と、
前記被加工物が有する前記分割予定ライン上の上面高さのバラツキ範囲よりも広くて前記第1の集光点位置調整手段の移動可能範囲よりも狭い移動可能範囲に設定され、ピエゾモータを駆動源として、前記集光レンズを前記垂直方向に移動させ該集光レンズによって集光される加工用レーザ光線の集光点位置を調整する第2の集光点位置調整手段と、
対象となる前記分割予定ラインに対してレーザ加工を施す前に、前記被加工物を加工送り方向に相対的に移動させながら検出用光源から発せられた検出用光線を前記集光レンズによって集光して前記保持面上の前記被加工物の前記分割予定ラインに沿って照射し、前記分割予定ラインの上面で反射した反射光に基づき前記集光レンズと前記分割予定ラインの上面との距離情報を取得し、取得される該距離情報が所定の一定値となるように前記ピエゾモータを駆動させて前記第2の集光点位置調整手段により前記集光レンズを垂直方向に移動させ、前記ピエゾモータの駆動情報を記憶させて集光レンズ移動情報を取得することにより前記分割予定ラインの上面高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、
を有するレーザ加工装置を用い、
前記高さ位置検出手段により対象となる前記分割予定ラインの上面高さ位置を検出する際に、
前記上面高さ位置が前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲より上側に存在することにより検出不可能な箇所があった場合は、前記高さ位置検出手段で検出された該分割予定ライン上で一番下側に存在する上面高さの最下位置を記憶させ、前記第1の集光点位置調整手段によって、前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲の最も下側の位置を前記最下位置よりも下側に位置付けて、前記高さ位置検出手段により該分割予定ライン上の上面高さ位置を再び検出させるステップと、
前記上面高さ位置が前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲より下側に存在することにより検出不可能な箇所があった場合は、前記高さ位置検出手段で検出された該分割予定ライン上で一番上側に存在する上面高さの最上位置を記憶させ、前記第1の集光点位置調整手段によって、前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲の最も上側の位置を前記最上位置よりも上側に位置付けて、前記高さ位置検出手段により該分割予定ライン上の上面高さ位置を再び検出させるステップと、
前記上面高さ位置が前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲内に存在することにより検出不可能な箇所がなかった場合は、前記被加工物を加工送り方向に相対的に移動させながら前記レーザ光線照射手段によって対象となる該分割予定ラインに対して加工用レーザ光線を照射するとともに、同時に、前記高さ位置検出手段により取得された前記集光レンズ移動情報に基づいて前記ピエゾモータを駆動させて前記第2の集光点位置調整手段により前記集光レンズの前記集光点位置を調整しながら該分割予定ラインに対してレーザ加工を施すステップと、
を含むことを特徴とするレーザ加工制御方法。 - 分割予定ラインによって区画された被加工物を保持する保持面を備えるチャックテーブルと、
該チャックテーブルの前記保持面に保持された前記被加工物をレーザ加工するための加工用レーザ光線を発振する加工用レーザ光線発振手段と、該加工用レーザ光線発振手段によって発振された加工用レーザ光線を集光する集光レンズと、を有するレーザ光線照射手段と、
前記チャックテーブルと前記レーザ光線照射手段とを加工送り方向に相対的に移動させる加工送り手段と、
前記被加工物に対してレーザ加工を施す前に、予め前記集光レンズを前記保持面に対して垂直方向に移動させ該集光レンズによって集光される加工用レーザ光線の集光点位置を調整する第1の集光点位置調整手段と、
前記被加工物が有する前記分割予定ライン上の上面高さのバラツキ範囲よりも広くて前記第1の集光点位置調整手段の移動可能範囲よりも狭い移動可能範囲に設定され、ピエゾモータを駆動源として、前記集光レンズを前記垂直方向に移動させ該集光レンズによって集光される加工用レーザ光線の集光点位置を調整する第2の集光点位置調整手段と、
対象となる前記分割予定ラインに対してレーザ加工を施す前に、前記被加工物を加工送り方向に相対的に移動させながら検出用光源から発せられた検出用光線を前記集光レンズによって集光して前記保持面上の前記被加工物の前記分割予定ラインに沿って照射し、前記分割予定ラインの上面で反射した反射光に基づき前記集光レンズと前記分割予定ラインの上面との距離情報を取得し、取得される該距離情報が所定の一定値となるように前記ピエゾモータを駆動させて前記第2の集光点位置調整手段により前記集光レンズを垂直方向に移動させ、前記ピエゾモータの駆動情報を記憶させて集光レンズ移動情報を取得することにより前記分割予定ラインの上面高さ位置を検出する高さ位置検出手段と、
を有するレーザ加工装置が備えるコンピュータに、
前記高さ位置検出手段により対象となる前記分割予定ラインの上面高さ位置を検出する際に、
前記上面高さ位置が前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲より上側に存在することにより検出不可能な箇所があった場合は、前記高さ位置検出手段で検出された該分割予定ライン上で一番下側に存在する上面高さの最下位置を記憶させ、前記第1の集光点位置調整手段によって、前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲の最も下側の位置を前記最下位置よりも下側に位置付けて、前記高さ位置検出手段により該分割予定ライン上の上面高さ位置を再び検出させる機能と、
前記上面高さ位置が前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲より下側に存在することにより検出不可能な箇所があった場合は、前記高さ位置検出手段で検出された該分割予定ライン上で一番上側に存在する上面高さの最上位置を記憶させ、前記第1の集光点位置調整手段によって、前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲の最も上側の位置を前記最上位置よりも上側に位置付けて、前記高さ位置検出手段により該分割予定ライン上の上面高さ位置を再び検出させる機能と、
前記上面高さ位置が前記第2の集光点位置調整手段の移動可能範囲内に存在することにより検出不可能な箇所がなかった場合は、前記被加工物を加工送り方向に相対的に移動させながら前記レーザ光線照射手段によって対象となる該分割予定ラインに対して加工用レーザ光線を照射するとともに、同時に、前記高さ位置検出手段により取得された前記集光レンズ移動情報に基づいて前記ピエゾモータを駆動させて前記第2の集光点位置調整手段により前記集光レンズの前記集光点位置を調整しながら該分割予定ラインに対してレーザ加工を施す機能と、
を実行させることを特徴とするレーザ加工用プログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008319729A JP5329199B2 (ja) | 2008-12-16 | 2008-12-16 | レーザ加工装置、レーザ加工制御方法およびレーザ加工用プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008319729A JP5329199B2 (ja) | 2008-12-16 | 2008-12-16 | レーザ加工装置、レーザ加工制御方法およびレーザ加工用プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010142819A true JP2010142819A (ja) | 2010-07-01 |
JP5329199B2 JP5329199B2 (ja) | 2013-10-30 |
Family
ID=42563794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008319729A Active JP5329199B2 (ja) | 2008-12-16 | 2008-12-16 | レーザ加工装置、レーザ加工制御方法およびレーザ加工用プログラム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5329199B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012121031A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Disco Corp | レーザー加工装置 |
KR20130029719A (ko) * | 2011-09-15 | 2013-03-25 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치 |
DE102018206307A1 (de) | 2017-04-25 | 2018-10-25 | Disco Corporation | Bewertungseinspannung und Bewertungsverfahren für eine Detektionseinheit für eine Höhenposition einer Laserbearbeitungsvorrichtung |
WO2021005865A1 (ja) * | 2019-07-10 | 2021-01-14 | 株式会社片岡製作所 | レーザ処理装置 |
JP2021013939A (ja) * | 2019-07-10 | 2021-02-12 | 株式会社片岡製作所 | レーザ処理装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62259687A (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-12 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 焦点制御装置 |
JP2005028423A (ja) * | 2003-07-09 | 2005-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工方法およびレーザー加工装置 |
JP2008119718A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Marubun Corp | レーザ加工装置 |
-
2008
- 2008-12-16 JP JP2008319729A patent/JP5329199B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62259687A (ja) * | 1986-05-01 | 1987-11-12 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 焦点制御装置 |
JP2005028423A (ja) * | 2003-07-09 | 2005-02-03 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工方法およびレーザー加工装置 |
JP2008119718A (ja) * | 2006-11-10 | 2008-05-29 | Marubun Corp | レーザ加工装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012121031A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Disco Corp | レーザー加工装置 |
KR20130029719A (ko) * | 2011-09-15 | 2013-03-25 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치 |
KR101941291B1 (ko) * | 2011-09-15 | 2019-01-22 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치 |
DE102018206307A1 (de) | 2017-04-25 | 2018-10-25 | Disco Corporation | Bewertungseinspannung und Bewertungsverfahren für eine Detektionseinheit für eine Höhenposition einer Laserbearbeitungsvorrichtung |
KR20180119487A (ko) | 2017-04-25 | 2018-11-02 | 가부시기가이샤 디스코 | 레이저 가공 장치의 높이 위치 검출 유닛의 평가용 지그 및 레이저 가공 장치의 높이 위치 검출 유닛의 평가 방법 |
US10864598B2 (en) | 2017-04-25 | 2020-12-15 | Disco Corporation | Evaluation jig and evaluation method for height position detection unit of laser processing apparatus |
WO2021005865A1 (ja) * | 2019-07-10 | 2021-01-14 | 株式会社片岡製作所 | レーザ処理装置 |
JP2021013939A (ja) * | 2019-07-10 | 2021-02-12 | 株式会社片岡製作所 | レーザ処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5329199B2 (ja) | 2013-10-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102355837B1 (ko) | 레이저 가공 장치 | |
JP5395411B2 (ja) | ウエーハのレーザー加工方法 | |
JP5117920B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP6148075B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP4813993B2 (ja) | ウエーハのレーザー加工方法 | |
JP5221254B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP4977411B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
US7754582B2 (en) | Laser processing method | |
US20110266266A1 (en) | Laser processing machine | |
JP6907011B2 (ja) | レーザー加工装置、及びレーザー加工方法 | |
JP2009269074A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP4630731B2 (ja) | ウエーハの分割方法 | |
JP5329199B2 (ja) | レーザ加工装置、レーザ加工制御方法およびレーザ加工用プログラム | |
JP2010127920A (ja) | エッジ検出装置およびレーザ加工装置 | |
JP2013078785A (ja) | レーザー加工装置の集光スポット位置検出方法 | |
JP5242278B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2011108708A (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2009283566A (ja) | ウエーハのレーザー加工方法およびレーザー加工装置 | |
JP5752930B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP5441629B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP2010145230A (ja) | チャックテーブルに保持された被加工物の高さ位置計測装置 | |
JP2010064125A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP5331417B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP5656690B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2019061986A (ja) | ウェーハの加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130709 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130724 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5329199 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |