JP2010137168A

JP2010137168A - Clean roller apparatus

Info

Publication number: JP2010137168A
Application number: JP2008316262A
Authority: JP
Inventors: Xiao-Qian Lu; 暁茜陸
Original assignee: Rayon Industrial Co Ltd
Current assignee: Rayon Industrial Co Ltd
Priority date: 2008-12-11
Filing date: 2008-12-11
Publication date: 2010-06-24
Anticipated expiration: 2028-12-11
Also published as: JP5229702B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a clean roller apparatus which workpiece can be prevented from falling and a film can be prevented from separating from the workpiece in the clean roller apparatus of type with which workpiece is conveyed along a vertical direction. SOLUTION: The clean roller apparatus 10 removes dust while conveying the workpiece W stuck with the film. The apparatus 10 includes: a second drive source 52 moving the workpiece W with a dust attaching roller 51A and a base roller 51A along a vertical direction, and applying an urging force of pressing the dust attaching roller 51B toward the base roller 51A; a third drive source applying the urging force of pressing a sticking tape roll 70 toward the dust attaching roller; and a control means 100 controlling to operate only the second drive source 52 before a given time passes from detection of the workpiece W, and after the given time, to operate at least the third drive source 63 to apply large urging force to the dust attaching roller 51B. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、ワークに付着した塵埃を除去するためのクリーンローラ装置に関する。 The present invention relates to a clean roller device for removing dust adhering to a workpiece.

例えば、プリント配線基板等のワークに付着した塵埃を取り除くために、クリーンローラ装置が用いられている。このクリーンローラ装置は、ワークに接触するクリーンローラ（粘着ラバーローラ体）と、クリーンローラに接触する粘着ローラとを具備している。粘着ローラには、ロール状に巻回されている粘着テープが設けられていて、クリーンローラに付着している塵埃は、粘着テープに転写される。そして、粘着テープが汚れてくると、粘着ローラから粘着テープを引き出して切断し、新たな粘着テープが、クリーンローラに接触するように設けられている。なお、このようなクリーンローラに関する先行技術としては、特許文献１に開示のものがある。 For example, a clean roller device is used to remove dust attached to a work such as a printed wiring board. This clean roller device includes a clean roller (adhesive rubber roller body) that comes into contact with a workpiece and an adhesive roller that comes into contact with the clean roller. The adhesive roller is provided with an adhesive tape wound in a roll shape, and dust adhering to the clean roller is transferred to the adhesive tape. When the adhesive tape becomes dirty, the adhesive tape is pulled out from the adhesive roller and cut so that a new adhesive tape comes into contact with the clean roller. In addition, there exists a thing disclosed in patent document 1 as a prior art regarding such a clean roller.

特開２００４−１７００８号公報JP 2004-17008 A

ところで、上述の特許文献１に開示されているクリーンローラ装置は、設置面に略水平にワークを搬送しながら、当該ワークから塵埃の除去を行っている。これに対して、製造ラインのスペース的な問題で、表面にフィルムが貼付されているワークに対して、鉛直方向に沿って当該ワークを搬送するタイプのクリーンローラ装置が考案されつつある。 Incidentally, the clean roller device disclosed in Patent Document 1 described above removes dust from the workpiece while conveying the workpiece substantially horizontally to the installation surface. On the other hand, a clean roller device of a type that conveys a workpiece along a vertical direction with respect to a workpiece having a film attached to the surface has been devised due to a space problem in the production line.

このタイプのクリーンローラ装置では、ワークが鉛直方向に沿って進行するため、当該ワークが落下しないように注意する必要がある。しかしながら、塵埃の転写性を良好にすべく、粘着テープに対するクリーンローラの押圧力を強くすると、ワークに貼付されているフィルムが剥がれてしまう虞がある。 In this type of clean roller device, since the workpiece advances along the vertical direction, care must be taken so that the workpiece does not fall. However, if the pressing force of the clean roller against the adhesive tape is increased to improve the transferability of dust, the film attached to the workpiece may be peeled off.

本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、鉛直方向に沿ってワークが搬送されるタイプのクリーンローラ装置において、当該ワークが落下しないと共にワークからフィルムが剥がれないようにすることが可能なクリーンローラ装置を提供しよう、とするものである。 The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and the object of the present invention is to prevent the workpiece from dropping and the film from being peeled off from the workpiece in a clean roller device of a type in which the workpiece is conveyed along the vertical direction. It is an object of the present invention to provide a clean roller device that can be used.

上記課題を解決するために、本発明は、ワークを搬送しつつ、当該ワークに付着している塵埃を除去するためのクリーンローラ装置であって、第１の駆動源の作動により駆動させられると共に、ワークの一方の面に、ワークの移動に伴って転動しつつ接触し、当該ワークの一方の面に付着している塵埃を吸着保持する塵埃吸着ローラ体と、ワークの他方の面に、ワークの移動に伴って転動しつつ接触すると共に、塵埃吸着ローラ体とでワークを鉛直方向に沿って移動させるベースローラ体と、粘着テープが巻回されている粘着テープロールを保持する粘着テープ保持部と、塵埃吸着ローラ体をベースローラ体に向けて押し付ける付勢力を与える第２の駆動源と、粘着テープロールを塵埃吸着ローラ体に向けて押し付ける付勢力を与える第３の駆動源と、ワークの有無を検出する基板検出センサと、基板検出センサでのワークの検出から所定時間が経過する前には第２の駆動源のみを作動させると共に、所定時間の経過後のワークが塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれている状態のときには少なくとも第３の駆動源を作動させて、所定時間の経過前よりも大きな付勢力を塵埃吸着ローラ体に対して与えるように制御する制御手段と、を具備するものである。 In order to solve the above problems, the present invention is a clean roller device for removing dust adhering to a workpiece while conveying the workpiece, and is driven by the operation of a first drive source. The dust adsorption roller body that contacts one surface of the workpiece while rolling with the movement of the workpiece and adsorbs and holds the dust adhering to one surface of the workpiece, and the other surface of the workpiece, A base roller body that makes contact with rolling while moving the workpiece and moves the workpiece along the vertical direction with the dust adsorbing roller body, and an adhesive tape that holds an adhesive tape roll around which the adhesive tape is wound A holding unit; a second drive source that applies a biasing force that presses the dust adsorbing roller body toward the base roller body; and a third drive that applies a biasing force that presses the adhesive tape roll toward the dust adsorbing roller body. The power source, the substrate detection sensor for detecting the presence or absence of a workpiece, and only the second drive source is operated before a predetermined time has elapsed since the detection of the workpiece by the substrate detection sensor, and the workpiece after the predetermined time has elapsed. Is in a state of being sandwiched between the dust adsorbing roller body and the base roller body, at least the third drive source is operated so as to apply a larger urging force to the dust adsorbing roller body than before the lapse of a predetermined time. Control means for controlling.

このように構成する場合、基板検出センサでのワークの検出から所定時間の経過後には、ワークの搬送により、当該ワークは塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれている状態となる。このときには、制御手段は、少なくとも第３の駆動源を作動させる。それにより、基板検出センサでのワークの検出から所定時間の経過前の第２の駆動源のみが作動しているときよりも、大きな付勢力を塵埃吸着ローラ体に与える。このように第２の駆動源および第３の駆動源の作動を制御すれば、ワークの先端が塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれる部分を通過した後に、より強い押圧力を付与して、ワークの表面から一層良好に塵埃を除去することが可能となる。また、ワークの先端が塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれる部分を通過する前に、より強い押圧力を付与する場合のように、ワークからフィルムが剥がれてしまうのを防止可能となる。 When configured in this way, after a predetermined time has elapsed since the detection of the workpiece by the substrate detection sensor, the workpiece is sandwiched between the dust adsorbing roller body and the base roller body by the conveyance of the workpiece. At this time, the control means operates at least the third drive source. Thereby, a larger urging force is applied to the dust adsorbing roller body than when only the second drive source before the elapse of a predetermined time from the detection of the workpiece by the substrate detection sensor is operating. By controlling the operation of the second drive source and the third drive source in this way, a stronger pressing force is applied after the tip of the workpiece passes through the portion sandwiched between the dust adsorption roller body and the base roller body. Thus, it becomes possible to remove dust from the surface of the workpiece even better. In addition, it is possible to prevent the film from peeling off from the workpiece as in the case of applying a stronger pressing force before the tip of the workpiece passes through the portion sandwiched between the dust adsorption roller body and the base roller body. .

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、制御手段は、所定時間の経過後は、第２の駆動源の作動を停止させ、かつ第３の駆動源のみを作動させると共に、第３の駆動源は、制御手段によって第２の駆動源が作動している状態よりも大きな付勢力を塵埃吸着ローラ体に対して与えるように制御されることが好ましい。 In addition, according to another aspect of the present invention, in the above-described invention, the control unit stops the operation of the second drive source and activates only the third drive source after the predetermined time has elapsed. The drive source 3 is preferably controlled by the control means so as to apply a larger urging force to the dust adsorbing roller body than when the second drive source is operating.

このように構成する場合、所定時間の経過後には、第３の駆動源のみが作動して、第２の駆動源が作動している状態よりも大きな付勢力を塵埃吸着ローラ体に対して与える。それにより、ワークの先端が塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれる部分を通過した後に、より強い押圧力を付与して、ワークの表面から一層良好に塵埃を除去することが可能となる。また、ワークの先端が塵埃吸着ローラ体とベースローラ体とで挟み込まれる部分を通過する前に、より強い押圧力を付与する場合のように、ワークからフィルムが剥がれてしまうのを防止可能となる。 In such a configuration, after a predetermined time elapses, only the third drive source is activated, and a larger urging force than that in the state where the second drive source is activated is applied to the dust adsorbing roller body. . As a result, after the tip of the workpiece passes through the portion sandwiched between the dust adsorbing roller body and the base roller body, it is possible to apply a stronger pressing force and remove dust from the surface of the workpiece better. . In addition, it is possible to prevent the film from peeling off from the workpiece as in the case of applying a stronger pressing force before the tip of the workpiece passes through the portion sandwiched between the dust adsorption roller body and the base roller body. .

さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、塵埃吸着ローラ体は、鉛直方向とは交差する摺動方向に沿って摺動可能に設けられていると共に、ベースローラ体は、摺動方向に沿って摺動しない構成となっていることが好ましい。 Furthermore, in another aspect of the present invention, in the above-described invention, the dust adsorbing roller body is provided so as to be slidable along a sliding direction intersecting the vertical direction, and the base roller body is slidable. It is preferable that the structure does not slide along the direction.

このように構成する場合、ベースローラ体は摺動せずに塵埃吸着ローラ体のみが摺動する。そのため、ワークの搬送経路における基準およびワークを挟み込む基準が明確となり、ワークに対して良好に押圧力を及ぼさせることが可能となる。 In such a configuration, only the dust adsorbing roller body slides without sliding the base roller body. For this reason, the reference in the workpiece conveyance path and the reference for sandwiching the workpiece are clarified, and it is possible to exert a good pressing force on the workpiece.

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、粘着テープ保持部は、粘着テープロールが摺動方向に対して上または下に位置ずれするように配置されていることが好ましい。 According to another aspect of the present invention, in the above-described invention, the adhesive tape holding part is preferably arranged so that the adhesive tape roll is displaced upward or downward with respect to the sliding direction.

このように構成する場合、粘着テープロールは、摺動方向に沿って並ばず、上または下に位置ずれする状態となる。そのため、クリーンローラ装置の幅方向の寸法を低減させることが可能となり、クリーンローラ装置をコンパクト化することが可能となる。 When comprised in this way, an adhesive tape roll will be in the state which does not line up along a sliding direction but is displaced up or down. Therefore, it becomes possible to reduce the dimension of the clean roller device in the width direction, and the clean roller device can be made compact.

さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、第２の駆動源は、押さえアームに回転トルクを与えるロータリアクチュエータであると共に、第３の駆動源は、リニアアクチュエータであることが好ましい。 Furthermore, in another aspect of the present invention, in the above-described invention, it is preferable that the second drive source is a rotary actuator that applies a rotational torque to the pressing arm, and the third drive source is a linear actuator.

このように構成する場合、ロータリアクチュエータは、押さえアームを介して塵埃吸着ローラ体を押し付ける付勢力を与える。そのため、リニアアクチュエータのように、粘着テープロールを介して塵埃吸着ローラ体を押し付けないので、粘着テープロールの使用に伴う直径の変化の影響を受けることがない。そのため、塵埃吸着ローラ体を押し付ける際のタイミングに変動を来たすことがない。 In the case of such a configuration, the rotary actuator applies a biasing force that presses the dust adsorbing roller body through the pressing arm. Therefore, unlike the linear actuator, the dust adsorbing roller body is not pressed through the adhesive tape roll, so that it is not affected by the change in diameter associated with the use of the adhesive tape roll. Therefore, there is no fluctuation in the timing when pressing the dust adsorbing roller body.

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、基板検出センサは、ワークの投入を検出する第１の基板検出センサと、ワークの鉛直方向における下端を検出する第２の基板検出センサと、を備えることが好ましい。 According to another aspect of the present invention, in the above-described invention, the substrate detection sensor includes a first substrate detection sensor that detects the loading of a workpiece, and a second substrate detection sensor that detects a lower end of the workpiece in the vertical direction. Are preferably provided.

このように構成する場合、ワークの投入を第１の基板検出センサで検出することにより、第２の駆動源等の駆動を開始させることが可能となる。加えて、第１の基板検出センサでワークの後端を検出することで、ワークが塵埃吸着ローラ体とベースローラ体との間で挟み込まれている状態から抜けてしまうのを防止するように制御可能となる。また、第２の基板検出センサでワークの鉛直方向における下端が検出されるので、ワークがクリーンローラ装置の下端にぶつかってしまうのを防止可能となる。 In the case of such a configuration, it is possible to start driving of the second drive source and the like by detecting the input of the workpiece by the first substrate detection sensor. In addition, the first substrate detection sensor detects the rear end of the work to prevent the work from being removed from the state of being sandwiched between the dust adsorbing roller body and the base roller body. It becomes possible. Further, since the lower end of the workpiece in the vertical direction is detected by the second substrate detection sensor, it is possible to prevent the workpiece from colliding with the lower end of the clean roller device.

本発明によると、鉛直方向に沿ってワークが搬送されるタイプのクリーンローラ装置において、当該ワークが落下しないと共にワークからフィルムが剥がれないようにすることが可能となる。 According to the present invention, in a clean roller device of a type in which a workpiece is conveyed along a vertical direction, it is possible to prevent the workpiece from falling and a film from being peeled off from the workpiece.

以下、本発明の一実施の形態に係るクリーンローラ装置１０について、図１から図８に基づいて説明する。なお、以下の実施の形態においては、上下方向（鉛直方向）とは、図１におけるＺ方向を指すものとする。 Hereinafter, a clean roller device 10 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In the following embodiments, the vertical direction (vertical direction) refers to the Z direction in FIG.

なお、本実施の形態に係るクリーンローラ装置１０は、縦型と呼ばれるタイプのものであり、搬送経路が鉛直方向に沿うように構成されている。このため、ワークＷは、上方から投入され、クリーンローラ装置１０の内部を通過後に、再び上方から取り出す構成となっている。 The clean roller device 10 according to the present embodiment is of a type called a vertical type, and is configured such that the conveyance path is along the vertical direction. For this reason, the workpiece | work W is thrown in from the upper direction, after throwing in from the upper direction after passing the inside of the clean roller apparatus 10. FIG.

＜クリーンローラ装置の概略構成＞
図１から図３に、クリーンローラ装置１０の全体構成を示す。図１は、クリーンローラ装置１０の左側面図であり、図２は、クリーンローラ装置１０の正面図である。また、図３は、クリーンローラ装置１０の右側面図である。また、図４は、クリーンローラ装置１０の平面図である。なお、図１および図３では、クリーンローラ装置１０のうち、ワークＷを搬送する部位が分かるように、当該ワークＷの搬送にかかわる部分を透視して示している。 <Schematic configuration of clean roller device>
1 to 3 show the overall configuration of the clean roller device 10. FIG. 1 is a left side view of the clean roller device 10, and FIG. 2 is a front view of the clean roller device 10. FIG. 3 is a right side view of the clean roller device 10. FIG. 4 is a plan view of the clean roller device 10. In FIGS. 1 and 3, a portion of the clean roller device 10 that is related to the conveyance of the workpiece W is shown in a transparent manner so that the portion that conveys the workpiece W can be understood.

なお、本実施の形態におけるワークＷは、その表面にフィルムが貼付されているものである。ここで、ワークＷは、ワークＷの一方の表面（片面）だけにフィルムが貼付されているものでも良く、ワークＷの両方の表面（両面）にフィルムが貼付されているものでも良い。 In addition, the workpiece | work W in this Embodiment has the film affixed on the surface. Here, the workpiece W may be one in which a film is stuck on only one surface (one side) of the workpiece W, or may be one in which films are stuck on both surfaces (both sides) of the workpiece W.

このクリーンローラ装置１０は、フレーム部２０（図２参照）と、搬送機構３０と、クリーンユニット４０と、制御部１００（図８参照）と、を主要な構成要素としている。 The clean roller device 10 includes a frame unit 20 (see FIG. 2), a transport mechanism 30, a clean unit 40, and a control unit 100 (see FIG. 8) as main components.

これらのうち、フレーム部２０は、側板２１を具備しており、この側板２１には、後述する支持スライダ６２を摺動自在とするための溝部２２（図６参照）が設けられている。また、搬送機構３０は、モータ３１と、駆動プーリ（図示省略）と、ベルト（図示省略）と、従動プーリ（図示省略）と、不図示のギヤ輪列と、搬送ローラ３２と、を具備している。 Among these, the frame portion 20 includes a side plate 21, and the side plate 21 is provided with a groove portion 22 (see FIG. 6) for allowing a support slider 62 described later to slide freely. The transport mechanism 30 includes a motor 31, a drive pulley (not shown), a belt (not shown), a driven pulley (not shown), a gear train not shown, and a transport roller 32. ing.

これらのうち、モータ３１（第１の駆動源に対応）は、例えばハウジングの内部にギヤを内蔵するギヤードモータであり、所定の減速比で減速させられた回転が、出力軸３１ａに与えられている。また、この出力軸３１ａには、駆動プーリが取り付けられていて、当該出力軸３１ａと同期して回転する。また、この駆動プーリには、無端のベルトが掛け渡されている。ベルトは、従動プーリにも掛け渡されている。この従動プーリは、粘着ラバーローラ体５１の回転軸５１１（図６参照）の一端側に取り付けられていて、当該従動プーリを介して、粘着ラバーローラ体５１が回転可能となっている。 Among these, the motor 31 (corresponding to the first drive source) is a geared motor with a gear built in the housing, for example, and rotation reduced by a predetermined reduction ratio is given to the output shaft 31a. Yes. Further, a drive pulley is attached to the output shaft 31a and rotates in synchronization with the output shaft 31a. An endless belt is stretched around the drive pulley. The belt is also stretched around a driven pulley. The driven pulley is attached to one end side of the rotation shaft 511 (see FIG. 6) of the adhesive rubber roller body 51, and the adhesive rubber roller body 51 is rotatable via the driven pulley.

なお、本実施の形態では、下方に位置する２つの粘着ラバーローラ体５１のうち、一方の粘着ラバーローラ体５１（後述する固定粘着ラバーローラ体５１Ａ）の回転軸５１１の一端側に、従動プーリが設けられている。 In the present embodiment, of the two adhesive rubber roller bodies 51 positioned below, one driven rubber pulley body 51 (fixed adhesive rubber roller body 51A described later) is connected to one end side of the rotating shaft 511 on the driven pulley. Is provided.

また、従動プーリが取り付けられている回転軸５１１には、伝達ギヤ３３も取り付けられている。伝達ギヤ３３は、上方に位置する回転軸５１１に取り付けられている伝達ギヤ３３と噛み合い、上方側の回転軸５１１にも駆動力を伝達可能としている。 A transmission gear 33 is also attached to the rotating shaft 511 to which the driven pulley is attached. The transmission gear 33 meshes with the transmission gear 33 attached to the rotary shaft 511 positioned above, so that the driving force can be transmitted to the upper rotary shaft 511.

＜クリーンローラ装置１０のクリーンユニット４０の構成の詳細＞
図１、図２および図３等に示すように、クリーンローラ装置１０が具備するクリーンユニット４０には、ベースロール対５０Ａと、可動ロール対５０Ｂとが設けられている。ベースロール対５０Ａは、粘着ラバーローラ体５１が摺動せずに固定的に設けられている（以下、必要に応じて、この粘着ラバーローラ体５１を固定粘着ラバーローラ体５１Ａ（塵埃吸着ローラ体に対応）と称呼する。）。一方、可動ロール対５０Ｂは、粘着ラバーローラ体５１が図６における左右方向（矢示Ａ方向；鉛直方向とは交差する摺動方向）に移動可能に設けられている。このようなベースロール対５０Ａおよび可動ロール対５０Ｂが、それぞれ上下方向に並ぶように配置されている。 <Details of Configuration of Clean Unit 40 of Clean Roller Device 10>
As shown in FIGS. 1, 2, 3, and the like, the clean unit 40 included in the clean roller device 10 is provided with a base roll pair 50 A and a movable roll pair 50 B. The pair of base rolls 50A is fixedly provided without sliding the adhesive rubber roller body 51 (hereinafter, the adhesive rubber roller body 51 is fixed to the fixed adhesive rubber roller body 51A (dust adsorbing roller body if necessary). ).)). On the other hand, the movable roll pair 50B is provided such that the adhesive rubber roller body 51 can move in the left-right direction in FIG. 6 (the direction indicated by arrow A; the sliding direction intersecting the vertical direction). Such a pair of base rolls 50A and a pair of movable rolls 50B are arranged so as to be aligned in the vertical direction.

これらベースロール対５０Ａおよび可動ロール対５０Ｂは、粘着ラバーローラ体５１と、粘着テープロール体５３とから構成されている。粘着ラバーローラ体５１は、回転軸５１１と、粘着ラバー層５１２とを有している。粘着ラバー層５１２は、回転軸５１１の外側に、所定の長さ範囲に亘って設けられている。この粘着ラバー層５１２は、塵埃を付着可能な粘着ラバーを材質として形成されている。なお、かかる粘着ラバー層５１２は、その表面側に吸着層（図示省略）が設けられていて、この吸着層はシリコンゴム等のような、塵埃の吸着性に優れる材質から構成されている。また、吸着層の下層側には、例えばニトリルゴムやカーボンゴム等のような導電層を設けるように構成しても良い。 The base roll pair 50 A and the movable roll pair 50 B are composed of an adhesive rubber roller body 51 and an adhesive tape roll body 53. The adhesive rubber roller body 51 has a rotating shaft 511 and an adhesive rubber layer 512. The adhesive rubber layer 512 is provided outside the rotating shaft 511 over a predetermined length range. The adhesive rubber layer 512 is made of an adhesive rubber capable of adhering dust. The adhesive rubber layer 512 is provided with an adsorption layer (not shown) on the surface side, and the adsorption layer is made of a material having excellent dust adsorbability such as silicon rubber. Further, a conductive layer such as nitrile rubber or carbon rubber may be provided on the lower layer side of the adsorption layer.

また、回転軸５１１の一端部および他端部には、マウント部材５１３が配置されている。マウント部材５１３には、例えば円孔５１３ａが形成されていて、その円孔５１３ａに軸受としてのベアリング５１４が挿入されている。なお、ベースロール対５０Ａの粘着ラバーローラ体５１においては、このようにマウント部材５１３の円孔５１３ａにベアリング５１４を配置せずに、側板２１に円孔を形成して、当該円孔にベアリング５１４を配置する構成を採用しても良い。 Mount members 513 are disposed at one end and the other end of the rotating shaft 511. For example, a circular hole 513a is formed in the mount member 513, and a bearing 514 as a bearing is inserted into the circular hole 513a. In the adhesive rubber roller body 51 of the pair of base rolls 50A, the bearing 514 is not formed in the circular hole 513a of the mount member 513 as described above, but a circular hole is formed in the side plate 21, and the bearing 514 is provided in the circular hole. You may employ | adopt the structure which arranges.

また、可動ロール対５０Ｂの粘着ラバーローラ体５１（以下、必要に応じて、この粘着ラバーローラ体５１を可動粘着ラバーロール体５１Ｂ（ベースローラ体に対応）と称呼する。）のマウント部材５１３は、側板２１に形成されている溝部２２に沿って摺動可能に設けられている。ここで、図６に示すように、ベースロール対５０Ａ側のマウント部材５１３（以下、マウント部材５１３Ａとする。）には、バネ受け部材５１５Ａが取り付けられていると共に、可動ロール対５０Ｂ側のマウント部材５１３（以下、マウント部材５１３Ｂとする。）にも、同様にバネ受け部材５１５Ｂが取り付けられている。そして、これらのバネ受け部材５１５Ａ，５１５Ｂの間には、支持軸５１６を介して、反発バネ５１７が取り付けられている。それにより、粘着ラバーローラ体５１（粘着ラバー層５１２）は、後述する押さえアーム５２２によって押圧されていないときには、互いに接触しない状態となっている。 Further, the mounting member 513 of the adhesive rubber roller body 51 of the movable roll pair 50B (hereinafter, this adhesive rubber roller body 51 is referred to as a movable adhesive rubber roll body 51B (corresponding to the base roller body) if necessary). The side plate 21 is slidably provided along the groove portion 22. Here, as shown in FIG. 6, a spring receiving member 515A is attached to a mount member 513 (hereinafter referred to as a mount member 513A) on the base roll pair 50A side, and a mount on the movable roll pair 50B side is mounted. A spring receiving member 515B is similarly attached to the member 513 (hereinafter referred to as a mount member 513B). A repulsion spring 517 is attached between the spring receiving members 515A and 515B via a support shaft 516. Accordingly, the adhesive rubber roller body 51 (adhesive rubber layer 512) is not in contact with each other when not pressed by a pressing arm 522 described later.

なお、可動ロール対５０Ｂにおける回転軸５１１には、マウント部材５１３Ｂよりも回転軸５１１の端部寄りであって側板２１に近接する部位に、当接ベアリング５１８が取り付けられている。当接ベアリング５１８は、後述する押さえアーム５２２が押圧する部位である。 Note that a contact bearing 518 is attached to the rotating shaft 511 in the movable roll pair 50B at a position closer to the end of the rotating shaft 511 and closer to the side plate 21 than the mount member 513B. The abutment bearing 518 is a portion that is pressed by a pressing arm 522 described later.

また、粘着ラバーローラ体５１に近接して、粘着テープロール７０が配置されている。これらのうち、上部に位置する粘着テープロール７０は、本実施の形態では、粘着ラバーローラ体５１の回転軸５１１を結ぶ軸線Ａよりも、上部に位置している。また、下部に位置する粘着テープロール７０は、本実施の形態では、粘着ラバーローラ体５１の回転軸５１１を結ぶ軸線Ｂよりも、下部に位置している。このような配置を採用することで、粘着テープロール７０が上方側、および下方側にそれぞれオフセットされた配置となる。かかる粘着テープロール７０の配置により、クリーンローラ装置１０の幅方向に突出する寸法を低減可能となる。また、上部に位置する粘着テープロール７０と下部に位置する粘着テープロール７０とが互いに離間し、両者の間にスペースを確保することが可能となっている。 Further, an adhesive tape roll 70 is disposed in the vicinity of the adhesive rubber roller body 51. Among these, the adhesive tape roll 70 located in the upper part is located above the axis A connecting the rotation shaft 511 of the adhesive rubber roller body 51 in the present embodiment. Moreover, the adhesive tape roll 70 located in the lower part is located below the axis B connecting the rotation shaft 511 of the adhesive rubber roller body 51 in the present embodiment. By adopting such an arrangement, the adhesive tape roll 70 is arranged so as to be offset on the upper side and the lower side, respectively. The arrangement of the adhesive tape roll 70 can reduce the size of the clean roller device 10 protruding in the width direction. Moreover, the adhesive tape roll 70 located in the upper part and the adhesive tape roll 70 located in the lower part are separated from each other, and a space can be secured between them.

なお、本実施の形態では、図１および図３に示すように、固定粘着ラバーローラ体５１Ａおよび可動粘着ラバーローラ体５１Ｂのいずれにも、粘着テープロール７０が近接して配置されている。 In the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 3, an adhesive tape roll 70 is disposed adjacent to both the fixed adhesive rubber roller body 51 A and the movable adhesive rubber roller body 51 B.

上述のような、粘着テープロール７０の配置を可能とするために、図２、図６に示すように、粘着テープロール体５３は、軸線Ａよりも上方または軸線Ｂよりも下方に位置するように粘着テープ保持部６０を有している。この粘着テープ保持部６０は、回転保持部６１と、支持スライダ６２と、リニアアクチュエータ６３と、を具備している。これらのうち、回転保持部６１は、粘着テープロール７０の両端側を保持しつつ、粘着テープロール７０を回転させる部分である。この回転保持部６１は、ネジ等での取り付け状態を解除すれば、容易に図２における矢示Ｂ方向に沿った移動が可能に設けられている。そして、この矢示Ｂ方向に沿う移動により、粘着テープロール７０の交換が可能となっている。 In order to enable the arrangement of the adhesive tape roll 70 as described above, the adhesive tape roll body 53 is positioned above the axis A or below the axis B as shown in FIGS. Has an adhesive tape holding part 60. The adhesive tape holding unit 60 includes a rotation holding unit 61, a support slider 62, and a linear actuator 63. Among these, the rotation holding unit 61 is a part that rotates the adhesive tape roll 70 while holding both ends of the adhesive tape roll 70. The rotation holding portion 61 is provided so that it can be easily moved along the direction indicated by the arrow B in FIG. The adhesive tape roll 70 can be exchanged by movement along the arrow B direction.

また、図２に示すように、回転保持部６１には、回転軸６１ａが設けられていて、この回転保持部６１は支持スライダ６２に回転自在に軸支される。また、回転保持部６１の端部には、略円盤形状のロール保持部６１ｂが設けられている。このロール保持部６１ｂは、粘着テープロール７０が取り付けられる部分であり、当該粘着テープロール７０の巻芯筒７１の筒孔に挿入される。なお、ロール保持部６１ｂには、フランジ６１ｃが設けられていて、このフランジ６１ｃにて筒孔への挿入が規制される。 As shown in FIG. 2, the rotation holding portion 61 is provided with a rotation shaft 61 a, and the rotation holding portion 61 is rotatably supported by the support slider 62. Further, a substantially disc-shaped roll holding portion 61 b is provided at the end of the rotation holding portion 61. The roll holding part 61 b is a part to which the adhesive tape roll 70 is attached, and is inserted into the cylindrical hole of the core cylinder 71 of the adhesive tape roll 70. The roll holding portion 61b is provided with a flange 61c, and insertion into the cylindrical hole is restricted by the flange 61c.

また、粘着テープ保持部６１ｂに取り付けられる粘着テープロール７０は、図７に示すように、巻芯筒７１と、テープ巻回構造７２と、から構成されている。巻芯筒７１は、円筒状の巻芯部分であり、軸方向に挿通する筒孔（図示省略）を具備している。また、テープ巻回構造７２は、巻芯筒７１に粘着テープを多数巻回させたものである。また、粘着テープロール７０においては、粘着テープは、巻回の内側が粘着面となっており、この粘着面が粘着ラバー層５１２で吸着されている塵埃を保持可能となっている。そのため、粘着面の塵埃に対する粘着力は、粘着ラバー層５１２の塵埃に対する粘着力よりも大きくなっている。なお、粘着テープは、例えば紙、プラスチック等の基材に対して、例えばゴム系、アクリル系等の粘着剤を塗布し、粘着剤層を形成することによって構成されている。 Moreover, the adhesive tape roll 70 attached to the adhesive tape holding | maintenance part 61b is comprised from the core cylinder 71 and the tape winding structure 72, as shown in FIG. The core cylinder 71 is a cylindrical core portion and includes a cylindrical hole (not shown) that is inserted in the axial direction. The tape winding structure 72 is obtained by winding a number of adhesive tapes around the core tube 71. Further, in the adhesive tape roll 70, the adhesive tape has an adhesive surface inside the winding, and this adhesive surface can hold dust adsorbed by the adhesive rubber layer 512. Therefore, the adhesive force of the adhesive surface to dust is larger than the adhesive force of the adhesive rubber layer 512 to dust. The pressure-sensitive adhesive tape is configured by applying a pressure-sensitive adhesive such as rubber or acrylic to a base material such as paper or plastic to form a pressure-sensitive adhesive layer.

また、図６に示すように、支持スライダ６２は、軸支部６２１と、摺動ガイド部６２２とを有している。軸支部６２１は、上述の回転保持部６１の回転軸６１ａを回転自在に軸支している。また、摺動ガイド部６２２は、側板２１に設けられている溝部２２（図６参照）に沿った幅方向の移動をガイドする部分である。そのため、この摺動ガイド部６２２は、溝部２２に嵌まり込むフランジ部６２２ａを具備している。また、摺動ガイド部６２２の一端部は、リニアアクチュエータ６３のロッド部６３ａに連結されている。そのため、リニアアクチュエータ６３の作動により、ロッド部６３ａが左右方向に摺動すると、その摺動に伴って、摺動ガイド部６２２も左右方向に移動する。その結果、粘着テープ保持部６１ｂ（図２参照）に支持されている粘着テープロール７０は、左右方向に移動する。 Further, as shown in FIG. 6, the support slider 62 has a shaft support 621 and a sliding guide 622. The shaft support portion 621 rotatably supports the rotation shaft 61a of the rotation holding portion 61 described above. The sliding guide portion 622 is a portion that guides the movement in the width direction along the groove portion 22 (see FIG. 6) provided in the side plate 21. Therefore, the sliding guide part 622 includes a flange part 622 a that fits into the groove part 22. One end portion of the sliding guide portion 622 is connected to the rod portion 63 a of the linear actuator 63. Therefore, when the rod portion 63a slides in the left-right direction by the operation of the linear actuator 63, the sliding guide portion 622 also moves in the left-right direction along with the sliding. As a result, the adhesive tape roll 70 supported by the adhesive tape holding part 61b (see FIG. 2) moves in the left-right direction.

また、第３の駆動源に対応するリニアアクチュエータ６３は、例えば空気圧によってロッド部６３ａを上下方向に作動させるものであり、制御部１００によって、その作動が制御されている。なお、リニアアクチュエータ６３の本体部６３ｂは、側板２１に取り付けられている。このリニアアクチュエータ６３は、反発バネ５１７の弾性力に抗しながら可動粘着ラバーローラ体５１Ｂを押し込み、固定粘着ラバーローラ体５１Ａに対して可動粘着ラバーローラ体５１Ａを接触させるものである。このとき、リニアアクチュエータ６３は、ロータリアクチュエータ５２よりも大きな付勢力を可動粘着ラバーローラ体５１Ｂに対して与える。その付勢力は、ワークＷを落下させない状態で挟み込むのには十分過ぎるものであって、塵埃を粘着ラバーローラ体５１から粘着テープロール７０に転写させるのに必要な程度のものとなっている。 Further, the linear actuator 63 corresponding to the third drive source operates the rod portion 63a in the vertical direction by, for example, air pressure, and its operation is controlled by the control unit 100. The main body 63 b of the linear actuator 63 is attached to the side plate 21. The linear actuator 63 pushes the movable adhesive rubber roller body 51B against the elastic force of the repulsion spring 517, and brings the movable adhesive rubber roller body 51A into contact with the fixed adhesive rubber roller body 51A. At this time, the linear actuator 63 applies a biasing force larger than that of the rotary actuator 52 to the movable adhesive rubber roller body 51B. The urging force is sufficient to sandwich the workpiece W in a state where the workpiece W is not dropped, and is necessary to transfer dust from the adhesive rubber roller body 51 to the adhesive tape roll 70.

また、側板２１には、第２の駆動源に対応するロータリアクチュエータ５２が取り付けられている。ロータリアクチュエータ５２は、本実施の形態では、粘着ラバーローラ体５１に対して、側板２１を挟んで反対側の位置（外側）に取り付けられている。また、ロータリアクチュエータ５２は、図５に示すように、粘着ラバーローラ体５１よりも下方に位置している。 Further, a rotary actuator 52 corresponding to the second drive source is attached to the side plate 21. In the present embodiment, the rotary actuator 52 is attached to the opposite side (outside) of the adhesive rubber roller body 51 with the side plate 21 interposed therebetween. Further, the rotary actuator 52 is positioned below the adhesive rubber roller body 51 as shown in FIG.

このロータリアクチュエータ５２は、出力軸５２１を有していて、ロータリアクチュエータ５２の作動時には、この出力軸５２１を回転させるためのトルクを与える。この出力軸５２１には、押さえアーム５２２が取り付けられている。そのため、ロータリアクチュエータ５２が作動すると、押さえアーム５２２が図６において反時計回りに回動して、当接ベアリング５１８を押し込む。それにより、可動粘着ラバーローラ体５１Ｂが、反発バネ５１７の弾性力に抗しながら固定粘着ラバーローラ体５１Ａに対して接触しようとする。このとき、ロータリアクチュエータ５２によって、可動粘着ラバーローラ体５１Ａが固定粘着ラバーローラ体５１Ａを押し込む付勢力は、ワークＷを落下させない状態で挟み込みつつ送り込むのに十分な付勢力に対応している。しかしながら、この付勢力は、塵埃を粘着ラバーローラ体５１から粘着テープロール７０に転写させるのには、やや不十分なものである場合が多く、加えてワークＷに貼付されているフィルムが、その端部から剥がれる程、大きなものとはなっていない。 The rotary actuator 52 has an output shaft 521, and provides torque for rotating the output shaft 521 when the rotary actuator 52 is operated. A pressing arm 522 is attached to the output shaft 521. Therefore, when the rotary actuator 52 is actuated, the pressing arm 522 rotates counterclockwise in FIG. 6 and pushes the contact bearing 518. Thereby, the movable adhesive rubber roller body 51B tries to contact the fixed adhesive rubber roller body 51A against the elastic force of the repulsion spring 517. At this time, the urging force by which the movable adhesive rubber roller body 51A pushes the fixed adhesive rubber roller body 51A by the rotary actuator 52 corresponds to the urging force sufficient to feed the workpiece W while it is not dropped. However, this urging force is often insufficient to transfer dust from the adhesive rubber roller body 51 to the adhesive tape roll 70, and in addition, the film adhered to the workpiece W is It is not large enough to peel off from the edge.

また、図８に示すように、クリーンローラ装置１０には、基板検出センサ８０が配置されている。基板検出センサ８０は、例えば透過型の光センサであり、制御部１００に出力するように電気的に配置されている。この基板検出センサ８０は、ワークＷの有無を検出可能となっている。なお、本実施の形態では、ベースロール対５０Ａおよび可動ロール対５０Ｂが存在する部位よりも上部に基板検出センサ８０ａ（第１の基板検出センサに対応）が配置されている。また、ベースロール対５０Ａおよび可動ロール対５０Ｂが存在する部位の直下に基板検出センサ８０ｂが配置されている。さらに、搬送経路の下端部近傍には、基板検出センサ８０ｃ（第２の基板検出センサに対応）が配置されている。 Further, as shown in FIG. 8, a substrate detection sensor 80 is disposed in the clean roller device 10. The substrate detection sensor 80 is, for example, a transmissive optical sensor, and is electrically arranged to output to the control unit 100. The substrate detection sensor 80 can detect the presence or absence of the workpiece W. In the present embodiment, substrate detection sensor 80a (corresponding to the first substrate detection sensor) is disposed above the portion where base roll pair 50A and movable roll pair 50B are present. In addition, a substrate detection sensor 80b is disposed immediately below a portion where the base roll pair 50A and the movable roll pair 50B are present. Further, a substrate detection sensor 80c (corresponding to the second substrate detection sensor) is disposed in the vicinity of the lower end of the transport path.

また、図１に示すように、クリーンローラ装置１０のワークＷの搬送経路における入口近傍には、静電除電バー８１が設けられている。静電除電バー８１は、ベースロール対５０Ａ側および可動ロール対５０Ｂのそれぞれに設けられている。この静電除電バー８１により、ワークＷの静電気が除去される。 As shown in FIG. 1, an electrostatic charge removal bar 81 is provided in the vicinity of the entrance of the clean roller device 10 in the conveyance path of the workpiece W. The electrostatic charge removal bar 81 is provided on each of the base roll pair 50A side and the movable roll pair 50B. The static electricity of the workpiece W is removed by the static electricity removing bar 81.

また、図１に示すように、基体部１１の側面には、操作パネル９０が設けられている。この操作パネル９０には、装置全体の電源のオン／オフを切り替える電源スイッチ９１、装置全体の運転を開始させるための運転スイッチ９２、装置全体の運転を停止させるための停止スイッチ９３、モータ３１の回転数の調整を行うための速度調整ツマミ９４等を具備している。なお、速度調整ツマミ９４等での操作によって与えられる信号は、制御部１００に入力される。 As shown in FIG. 1, an operation panel 90 is provided on the side surface of the base portion 11. The operation panel 90 includes a power switch 91 for switching on / off the power of the entire apparatus, an operation switch 92 for starting the operation of the entire apparatus, a stop switch 93 for stopping the operation of the entire apparatus, and a motor 31. A speed adjustment knob 94 for adjusting the rotational speed is provided. A signal given by an operation with the speed adjustment knob 94 or the like is input to the control unit 100.

＜クリーンローラ装置の制御系統の構成＞
続いて、クリーンローラ装置１０が具備する、制御手段としての制御部１００について、図８に基づいて説明する。制御部１００には、基板検出センサからの検出信号が入力される。また、制御部１００は、不図示のＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭ、ＲＡＭ、不揮発性メモリ等）、バス、タイマ、インターフェース等を有していて、上述のメモリの中の、所定のシーケンス制御に関するプログラムおよびデータがＣＰＵで実行され、制御部１００の各構成が協働することにより、機能的には、図８のブロック図に示すような構成が実現される。 <Configuration of control system of clean roller device>
Next, the control unit 100 as a control unit included in the clean roller device 10 will be described with reference to FIG. A detection signal from the substrate detection sensor is input to the control unit 100. The control unit 100 includes a CPU (not shown), a memory (ROM, RAM, non-volatile memory, etc.), a bus, a timer, an interface, and the like. The data is executed by the CPU and the components of the control unit 100 cooperate to functionally realize the configuration shown in the block diagram of FIG.

図８に示すように、制御部１００は、機能的には、主制御部１０１と、モータ制御部１０２と、リニアアクチュエータ制御部１０３と、ロータリアクチュエータ制御部１０４を有していて、その他、モータドライバ１０５と、リニアアクチュエータドライバ１０６と、ロータリアクチュエータドライバ１０７とを有している。主制御部１０１は、クリーンローラ装置１０の全体の制御を司る部分であり、操作パネル９０等からの指令、またはクリーンローラ装置１０に接続される不図示のコンピュータ等からの指令が入力される。そして、入力された指令に基づいて、モータ制御部１０２、リニアアクチュエータ制御部１０３、および／またはロータリアクチュエータ制御部１０４に対して、所定の駆動指令に関する信号を出力する。 As shown in FIG. 8, the control unit 100 functionally includes a main control unit 101, a motor control unit 102, a linear actuator control unit 103, and a rotary actuator control unit 104. A driver 105, a linear actuator driver 106, and a rotary actuator driver 107 are provided. The main control unit 101 is a part that controls the entire clean roller device 10, and receives a command from the operation panel 90 or the like, or a command from a computer (not shown) connected to the clean roller device 10. Based on the input command, a signal related to a predetermined drive command is output to the motor control unit 102, the linear actuator control unit 103, and / or the rotary actuator control unit 104.

モータ制御部１０２は、速度調整ツマミ９４の操作に基づいて、モータ３１に印加する電力を制御する指令を、モータドライバ１０５側に与える。そして、モータドライバ１０５では、モータ３１に所定の電力を与えて、モータ３１を回転駆動させる。なお、このモータ制御部１０２には、不図示のロータリエンコーダが具備するロータリセンサ８２からの検出信号が供給され、モータ３１の回転数が、速度調整ツマミ９４によって与えられる回転数を保持するように、フィードバック制御を行うように構成しても良い。 The motor control unit 102 gives a command for controlling the power applied to the motor 31 to the motor driver 105 side based on the operation of the speed adjustment knob 94. The motor driver 105 applies predetermined power to the motor 31 to drive the motor 31 to rotate. The motor control unit 102 is supplied with a detection signal from a rotary sensor 82 provided in a rotary encoder (not shown) so that the rotational speed of the motor 31 is maintained at the rotational speed given by the speed adjustment knob 94. The feedback control may be performed.

なお、フィードバック制御としては、比例制御（Ｐ制御）、ＰＩ制御、ＰＩＤ制御を行うようにしても良い。 As feedback control, proportional control (P control), PI control, and PID control may be performed.

また、リニアアクチュエータ制御部１０３も、リニアアクチュエータ６３に与える電力を制御する指令をリニアアクチュエータドライバ１０６側に与え、当該リニアアクチュエータ６３を所定の加圧力で作動させる。また、リニアアクチュエータ制御部１０３には、基板検出センサ８０ａ〜８０ｃ、およびロータリセンサ８２からの検出信号が入力される。そして、リニアアクチュエータ制御部１０３では、これらの検出信号に基づいて、上下のリニアアクチュエータ６３の作動をそれぞれ制御する。 Also, the linear actuator control unit 103 gives a command for controlling the electric power supplied to the linear actuator 63 to the linear actuator driver 106 side, and operates the linear actuator 63 with a predetermined pressure. In addition, detection signals from the substrate detection sensors 80 a to 80 c and the rotary sensor 82 are input to the linear actuator control unit 103. The linear actuator controller 103 controls the operations of the upper and lower linear actuators 63 based on these detection signals.

また、ロータリアクチュエータ制御部１０４も、ロータリアクチュエータ５２に与える電力を制御する指令をロータリアクチュエータドライバ１０７側に与え、当該ロータリアクチュエータ５２を所定の加圧力で作動させる。また、ロータリアクチュエータ制御部１０４には、基板検出センサ８０ａ〜８０ｃ、およびロータリセンサ８２からの検出信号が入力される。そして、ロータリアクチュエータ制御部１０４では、これらの検出信号に基づいて、上下のロータリアクチュエータ５２の作動をそれぞれ制御する。 The rotary actuator control unit 104 also gives a command to control the electric power to be given to the rotary actuator 52 to the rotary actuator driver 107 side, and operates the rotary actuator 52 with a predetermined pressure. In addition, detection signals from the substrate detection sensors 80 a to 80 c and the rotary sensor 82 are input to the rotary actuator control unit 104. The rotary actuator control unit 104 controls the operations of the upper and lower rotary actuators 52 based on these detection signals.

＜クリーンローラ装置の動作＞
以上のような構成を具備するクリーンローラ装置１０の動作に関して、以下に説明する。最初に、クリーンローラ装置１０に粘着テープロール７０を取り付けて、クリーンローラ装置１０が作動可能な状態とする。 <Operation of clean roller device>
The operation of the clean roller device 10 having the above configuration will be described below. First, the adhesive tape roll 70 is attached to the clean roller device 10 so that the clean roller device 10 is operable.

また、上述の粘着テープロール７０の取り付けに前後して、電源スイッチ９１をオン側に切り替える。そして、速度調整ツマミ９４を回転させて、ワークＷの搬送速度を所望の搬送速度に設定する。この後に、運転スイッチ９２を押下すると、運転が開始され、制御部１００はモータ３１に対して、設定された回転速度で駆動させる指令を与える。この状態で、作業者が上部の搬入口からワークＷをクリーンローラ装置１０の内部に投入する。そのとき、ワークＷは搬送ローラ３２によって搬入がガイドされる。 Further, the power switch 91 is switched to the ON side before and after the attachment of the adhesive tape roll 70 described above. Then, the speed adjusting knob 94 is rotated to set the transport speed of the workpiece W to a desired transport speed. Thereafter, when the operation switch 92 is pressed, the operation is started, and the control unit 100 gives a command to drive the motor 31 at the set rotational speed. In this state, the operator inputs the workpiece W into the clean roller device 10 from the upper carry-in entrance. At that time, the work W is guided by the conveyance roller 32.

また、ワークＷがクリーンローラ装置１０の内部に搬入されると、その状態が基板検出センサ８０ａによって検出される。それにより、主制御部１０１は、モータ制御部１０２およびロータリアクチュエータ制御部１０４に指令を与える。そして、かかる指令に基づいて、ロータリアクチュエータ制御部１０４は、ロータリアクチュエータドライバ１０７を介してロータリアクチュエータ５２を作動させる。すると、押さえアーム５２２が当接ベアリング５１８を押し込み、可動粘着ラバーローラ体５１Ｂが固定粘着ラバーローラ体５１Ａに接触する。それにより、ワークＷを一対の粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂで挟み込むことが可能な状態となる。 Further, when the workpiece W is carried into the clean roller device 10, the state thereof is detected by the substrate detection sensor 80a. Thereby, the main control unit 101 gives a command to the motor control unit 102 and the rotary actuator control unit 104. Based on the command, the rotary actuator control unit 104 operates the rotary actuator 52 via the rotary actuator driver 107. Then, the pressing arm 522 pushes the contact bearing 518, and the movable adhesive rubber roller body 51B contacts the fixed adhesive rubber roller body 51A. As a result, the workpiece W can be sandwiched between the pair of adhesive rubber roller bodies 51A and 51B.

なお、基板検出センサ８０ａのみがワークＷを検出する状態（基板検出センサ８０ｂ，８０ｃがワークＷを検出していない状態）では、リニアアクチュエータ６３は作動しないように主制御部１０１およびリニアアクチュエータ制御部１０３によって制御される。 Note that, in a state where only the substrate detection sensor 80a detects the workpiece W (a state where the substrate detection sensors 80b and 80c do not detect the workpiece W), the main controller 101 and the linear actuator controller so that the linear actuator 63 does not operate. 103.

また、ロータリアクチュエータ５２の作動に前後して、モータ制御部１０２は、主制御部１０１からの指令に基づいて、モータドライバ１０５を介してモータ３１を作動させる。それにより、ワークＷが粘着ラバー層５１２の回転速度によって、所定の送り速度で搬送される状態となる。なお、このとき、基板検出センサ８０ｂは、ワークＷの先端をまだ検出しておらず、ワークＷの先端が下方の粘着ラバーローラ体５１の間を通過していない状態に対応する。 Before and after the operation of the rotary actuator 52, the motor control unit 102 operates the motor 31 via the motor driver 105 based on a command from the main control unit 101. Thereby, the workpiece W is in a state of being conveyed at a predetermined feeding speed by the rotation speed of the adhesive rubber layer 512. At this time, the substrate detection sensor 80b corresponds to a state where the tip of the workpiece W has not yet been detected and the tip of the workpiece W has not passed between the lower adhesive rubber roller bodies 51.

ところで、暫くの間ワークＷが下方に向かって搬送されると、基板検出センサ８０ｂがワークＷを検出する。すると、ワークＷの先端は、上下いずれの粘着ラバーローラ体５１においても挟み込まれている状態に対応する。そのため、基板検出センサ８０ｂがワークＷを検出すると、主制御部１０１からの指令に基づいて、リニアアクチュエータ制御部１０３は、リニアアクチュエータドライバ１０６を介してリニアアクチュエータ６３を作動させる。それにより、粘着テープロール７０が粘着ラバーローラ体５１（粘着ラバー層５１２）に押し付けられる。 By the way, when the workpiece W is conveyed downward for a while, the substrate detection sensor 80b detects the workpiece W. Then, the tip of the workpiece W corresponds to a state where it is sandwiched between the upper and lower adhesive rubber roller bodies 51. Therefore, when the substrate detection sensor 80 b detects the workpiece W, the linear actuator control unit 103 operates the linear actuator 63 via the linear actuator driver 106 based on a command from the main control unit 101. Thereby, the adhesive tape roll 70 is pressed against the adhesive rubber roller body 51 (adhesive rubber layer 512).

ここで、リニアアクチュエータ６３による粘着ラバー層５１２への粘着テープロール７０の押し付け力は、ロータリアクチュエータ５２による、可動粘着ラバーローラ体５１Ｂの固定粘着ラバーローラ体５１Ａへの押し付け力よりも大きくなるように設定されている。それにより、ワークＷは、ロータリアクチュエータ５２による押圧力よりも強い力で、粘着ラバー層５１２の間に挟持される。また、かかる強い押圧力の作用により、粘着ラバー層５１２はワークＷに対して強力に吸着する状態となり、ワークＷから一層良好に塵埃が除去される。加えて、粘着ラバー層５１２から粘着テープロール７０に対して、塵埃を良好に転写可能となる。 Here, the pressing force of the adhesive tape roll 70 to the adhesive rubber layer 512 by the linear actuator 63 is larger than the pressing force of the movable adhesive rubber roller body 51B to the fixed adhesive rubber roller body 51A by the rotary actuator 52. Is set. Thereby, the workpiece W is sandwiched between the adhesive rubber layers 512 with a force stronger than the pressing force by the rotary actuator 52. Further, due to the action of the strong pressing force, the adhesive rubber layer 512 is strongly adsorbed to the workpiece W, and dust is removed from the workpiece W even better. In addition, the dust can be satisfactorily transferred from the adhesive rubber layer 512 to the adhesive tape roll 70.

なお、リニアアクチュエータ６３による強い押圧力がワークＷに作用すると、ロータリアクチュエータ５２は停止させられる。そのため、以後はリニアアクチュエータ６３の作動による押圧力がワークＷに作用する状態となる。 Note that when the strong pressing force by the linear actuator 63 acts on the workpiece W, the rotary actuator 52 is stopped. Therefore, thereafter, the pressing force due to the operation of the linear actuator 63 acts on the workpiece W.

ところで、ワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂにより挟み込まれる前の段階で、リニアアクチュエータ６３が作動すると、粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂは、互いに強力に押し付けられる状態となる。その状態で、ワークＷの先端が通過すると、ワークＷに貼付されているフィルムは、貼付の端部から剥がれてしまう虞がある。 By the way, when the linear actuator 63 is actuated before the tip of the workpiece W is sandwiched between the adhesive rubber roller bodies 51A and 51B, the adhesive rubber roller bodies 51A and 51B are strongly pressed against each other. In this state, when the tip of the work W passes, the film attached to the work W may be peeled off from the end of the attachment.

しかしながら、上述のようにワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間を通過するまでは、ロータリアクチュエータ５２のみが作動するように制御されると、ワークＷの表面からフィルムが剥がれるのを防止することが可能となる。 However, if the rotary actuator 52 is controlled so that only the rotary actuator 52 operates until the tip of the workpiece W passes between the adhesive rubber roller bodies 51A and 51B as described above, the film is peeled off from the surface of the workpiece W. It becomes possible to prevent.

以上のようなワークＷの押圧状態（リニアアクチュエータ６３のみが作動する状態）でワークＷが下方に向かって暫く搬送される。そして、ワークＷの先端が基板検出センサ８０ｃによって検出される場合、そのままモータ３１の駆動を継続すると、ワークＷの後端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間を完全に通り過ぎてしまい、ワークＷが粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂで保持されずに落下してしまう虞が生じる。そこで、モータ制御部１０２は、基板検出センサ８０ｃによってワークＷの先端が検出されると、モータ３１を逆転させて、ワークＷが上方に向かい持ち上げられる向きに移動させる。そして、ワークＷの先端が上方の粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間を抜けるまで移動させる。なお、ワークＷの先端が上方の粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間を抜けるとき、作業者がワークＷを把持する。 The workpiece W is transported downward for a while in the pressed state of the workpiece W (a state where only the linear actuator 63 is operated). When the front end of the work W is detected by the substrate detection sensor 80c, if the motor 31 is continuously driven, the rear end of the work W passes completely between the adhesive rubber roller bodies 51A and 51B. May fall without being held by the adhesive rubber roller bodies 51A and 51B. Therefore, when the front end of the workpiece W is detected by the substrate detection sensor 80c, the motor control unit 102 reverses the motor 31 and moves the workpiece W in a direction in which the workpiece W is lifted upward. And it moves until the front-end | tip of the workpiece | work W passes between the upper adhesion rubber roller bodies 51A and 51B. Note that when the tip of the workpiece W passes between the upper adhesive rubber roller bodies 51A and 51B, the operator grips the workpiece W.

なお、ワークＷの長さ寸法が所定より短い場合には、ワークＷの先端が基板検出センサ８０ｃにより検出されるよりも前の段階で、ワークＷの後端が基板検出センサ８０ａを通過する。このとき、ロータリセンサ８２でのカウントに基づいてモータ３１を停止させ、ワークＷの後端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間を抜けないようにしても良い。 When the length of the workpiece W is shorter than a predetermined length, the rear end of the workpiece W passes through the substrate detection sensor 80a at a stage before the tip of the workpiece W is detected by the substrate detection sensor 80c. At this time, the motor 31 may be stopped based on the count of the rotary sensor 82 so that the rear end of the work W does not pass between the adhesive rubber roller bodies 51A and 51B.

また、粘着テープに徐々に塵埃が転写されていくと、粘着テープの塵埃の吸着性能が悪化する。そのため、例えば所定の時間だけ粘着テープによる塵埃の吸着を行わせた後に、粘着テープロール７０を引き出して、外周に露出している粘着テープを粘着テープロール７０から剥がして切り取る。それにより、新たな粘着テープが外周に露出する状態となり、粘着テープの塵埃の吸着性能を回復させることが可能となる。 Moreover, when dust is gradually transferred to the adhesive tape, the dust adsorption performance of the adhesive tape deteriorates. Therefore, for example, after dust is adsorbed by the adhesive tape for a predetermined time, the adhesive tape roll 70 is pulled out, and the adhesive tape exposed on the outer periphery is peeled off from the adhesive tape roll 70 and cut off. As a result, a new adhesive tape is exposed to the outer periphery, and the dust adsorption performance of the adhesive tape can be recovered.

＜効果＞
以上のような構成のクリーンローラ装置１０によれば、ワークＷが粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂで挟み込まれている状態のときには、制御部１００は、リニアアクチュエータ６３を作動させる。それにより、ロータリアクチュエータ５２のみが作動しているときよりも、大きな付勢力を粘着ラバーローラ体５１に与える。このようにリニアアクチュエータ６３およびロータリアクチュエータ５２の作動を制御すれば、ワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂで挟み込まれる部分を通過した後に、より強い押圧力を付与して、ワークＷの表面から一層良好に塵埃を除去することが可能となる。また、より強い押圧力の付与により、粘着ラバー層５１２から粘着テープロール７０に対して、塵埃を良好に転写可能となる。 <Effect>
According to the clean roller device 10 configured as described above, the control unit 100 operates the linear actuator 63 when the workpiece W is sandwiched between the adhesive rubber roller bodies 51A and 51B. Thereby, a larger biasing force is applied to the adhesive rubber roller body 51 than when only the rotary actuator 52 is operating. If the operations of the linear actuator 63 and the rotary actuator 52 are controlled in this way, a stronger pressing force is applied after the tip of the workpiece W passes through the portion sandwiched between the adhesive rubber roller bodies 51A and 51B. It becomes possible to remove dust from the surface even better. Further, by applying a stronger pressing force, it is possible to transfer dust from the adhesive rubber layer 512 to the adhesive tape roll 70 satisfactorily.

また、ワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂで挟み込まれる部分を通過する前に、より強い押圧力を付与する場合には、ワークＷからフィルムが剥がれてしまう（フィルムの端部から剥がれてしまう）虞がある。しかしながら、本実施の形態では、ワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１で挟み込まれる部分を通過した後に、より強い押圧力を付与している。そのため、ワークＷからフィルムが剥がれるのを良好に防止可能となっている。 In addition, when a stronger pressing force is applied before the tip of the workpiece W passes through the portion sandwiched between the adhesive rubber roller bodies 51A and 51B, the film is peeled off from the workpiece W (the film is peeled off from the end portion of the film). There is a risk. However, in the present embodiment, a stronger pressing force is applied after the tip of the work W has passed through the portion sandwiched between the adhesive rubber roller bodies 51. Therefore, it is possible to satisfactorily prevent the film from being peeled off from the workpiece W.

また、本実施の形態では、制御部１００は、リニアアクチュエータ６３による強い押圧力がワークＷに作用すると、ロータリアクチュエータ５２を停止させるように制御する。そのため、以後はリニアアクチュエータ６３のみが作動して、その押圧力がワークＷに作用する状態となる。この押圧力は、ロータリアクチュエータ５２による押圧力よりも大きな付勢力であるため、ワークＷの先端が粘着ラバーローラ体５１で挟み込まれる部分を通過した後に、ワークＷからフィルムが剥がれてしまうのを防止可能しつつ、より強い押圧力を付与して、ワークＷの表面から一層良好に塵埃を除去することが可能となる。 In the present embodiment, the controller 100 controls the rotary actuator 52 to stop when a strong pressing force by the linear actuator 63 acts on the workpiece W. Therefore, after that, only the linear actuator 63 operates, and the pressing force acts on the workpiece W. Since this pressing force is an urging force larger than the pressing force by the rotary actuator 52, it is possible to prevent the film from being peeled off from the workpiece W after the tip of the workpiece W passes through the portion sandwiched between the adhesive rubber roller bodies 51. In addition, it is possible to remove dust from the surface of the work W better by applying a stronger pressing force.

さらに、本実施の形態では、固定粘着ラバーローラ体５１Ａは摺動せずに、可動粘着ラバーローラ体５１Ｂのみが摺動可能に設けられている。このため、ワークＷの搬送経路における基準およびワークＷを挟み込む基準が明確となり、ワークＷに対して良好に押圧力を及ぼさせることが可能となる。 Further, in the present embodiment, the fixed adhesive rubber roller body 51A does not slide, and only the movable adhesive rubber roller body 51B is slidable. For this reason, the reference | standard in the conveyance path | route of the workpiece | work W and the reference | standard which pinches | interposes the workpiece | work W become clear, and it becomes possible to exert a favorable pressing force with respect to the workpiece | work W.

また、本実施の形態では、粘着テープ保持部６１ｂは、粘着テープロール７０が摺動方向に対して上または下に位置ずれするように配置されている。このため、粘着テープロール７０は、摺動方向に沿って並ばず、上または下に位置ずれする状態となる。そのため、クリーンローラ装置１０の幅方向の寸法を低減させることが可能となり、クリーンローラ装置１０をコンパクト化することが可能となる。 Moreover, in this Embodiment, the adhesive tape holding | maintenance part 61b is arrange | positioned so that the adhesive tape roll 70 may be displaced up or down with respect to the sliding direction. For this reason, the adhesive tape rolls 70 are not lined up in the sliding direction but are shifted upward or downward. Therefore, it becomes possible to reduce the dimension of the clean roller device 10 in the width direction, and the clean roller device 10 can be made compact.

さらに、本実施の形態では、ロータリアクチュエータ５２は、押さえアーム５２２を介して可動粘着ラバーローラ体５１Ｂを押し付ける付勢力を与える。そのため、リニアアクチュエータ６３のように、粘着テープロール７０を介して可動粘着ラバーローラ体５１Ｂを押し付けないので、粘着テープロール７０の使用に伴う直径の変化の影響を受けることがない。そのため、可動粘着ラバーローラ体５１Ｂを押し付ける際のタイミングに変動を来たすことがない。 Further, in the present embodiment, the rotary actuator 52 applies a biasing force that presses the movable adhesive rubber roller body 51 B via the pressing arm 522. Therefore, unlike the linear actuator 63, the movable adhesive rubber roller body 51 B is not pressed through the adhesive tape roll 70, so that it is not affected by the change in diameter associated with the use of the adhesive tape roll 70. Therefore, there is no fluctuation in the timing when pressing the movable adhesive rubber roller body 51B.

また、本実施の形態では、ワークＷの投入を基板検出センサ８０ａで検出することにより、ロータリアクチュエータ５２の駆動を開始させることが可能となる。加えて、基板検出センサ８０ａでワークＷの後端を検出することで、ワークＷが粘着ラバーローラ体５１Ａ，５１Ｂの間で挟みこまれている状態から抜けて、ワークＷが落下してしまうのを防止するように制御可能となる。また、基板検出センサ８０ｃでワークＷの鉛直方向における下端が検出されるので、ワークＷがクリーンローラ装置１０の下端にぶつかってしまうのを防止可能となる。 In the present embodiment, it is possible to start driving the rotary actuator 52 by detecting the loading of the workpiece W by the substrate detection sensor 80a. In addition, by detecting the rear end of the workpiece W by the substrate detection sensor 80a, the workpiece W falls out of the state where the workpiece W is sandwiched between the adhesive rubber roller bodies 51A and 51B, and the workpiece W falls. It becomes controllable to prevent this. Further, since the lower end of the workpiece W in the vertical direction is detected by the substrate detection sensor 80c, the workpiece W can be prevented from colliding with the lower end of the clean roller device 10.

＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態に係るクリーンローラ装置１０について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。 <Modification>
The clean roller device 10 according to the embodiment of the present invention has been described above, but the present invention can be variously modified in addition to this. This will be described below.

上述の実施の形態においては、ベースロール対５０Ａと可動ロール対５０Ｂとが、上下に２つずつ並んだ構成となっている。しかしながら、クリーンローラ装置は、このような構成には限られず、ベースロール対５０Ａと可動ロール対５０Ｂとが１つずつしか存在しない構成を採用しても良く、ベースロール対５０Ａと可動ロール対５０Ｂとが３つ以上存在する構成を採用しても良い。 In the above-described embodiment, the base roll pair 50A and the movable roll pair 50B are configured so that two pairs are arranged vertically. However, the clean roller device is not limited to such a configuration, and a configuration in which there is only one base roll pair 50A and one movable roll pair 50B may be adopted. The base roll pair 50A and the movable roll pair 50B may be employed. A configuration in which three or more exist may be adopted.

また、上述の実施の形態では、基板検出センサ８０ｂがワークＷを検出すると、リニアアクチュエータ制御部１０３がリニアアクチュエータ６３を作動させるように制御している。しかしながら、基板検出センサ８０ａがワークＷを検出してから、リニアセンサ８２で所定だけカウントされた後に、リニアアクチュエータ６３を作動させるように制御しても良い。 In the above-described embodiment, when the substrate detection sensor 80b detects the workpiece W, the linear actuator control unit 103 controls the linear actuator 63 to operate. However, after the substrate detection sensor 80a detects the workpiece W, the linear actuator 63 may be controlled to operate after the linear sensor 82 has counted the predetermined amount.

さらに、上述の実施の形態では、制御部１００は、リニアアクチュエータ６３による強い押圧力がワークＷに作用する場合、ロータリアクチュエータ５２の作動を停止させるように制御している。しかしながら、ロータリアクチュエータ５２の作動を停止させずに、リニアアクチュエータ６３と共にロータリアクチュエータ５２も作動させるようにしても良い。 Further, in the above-described embodiment, when the strong pressing force by the linear actuator 63 acts on the workpiece W, the control unit 100 performs control so that the operation of the rotary actuator 52 is stopped. However, the rotary actuator 52 may be operated together with the linear actuator 63 without stopping the operation of the rotary actuator 52.

また、上述の実施の形態では、ワークＷの表裏両面から塵埃を除去するタイプのクリーンローラ装置１０について述べている。しかしながら、クリーンローラ装置としては、片面のみから塵埃を除去するタイプであっても良い。片面のみから塵埃を除去するタイプのクリーンローラ装置では、固定粘着ラバーローラ体５１Ａに代えて、単にガイドローラを配置するように構成すれば足りる。 In the above-described embodiment, the clean roller device 10 of the type that removes dust from both the front and back surfaces of the workpiece W is described. However, the clean roller device may be of a type that removes dust from only one side. In a clean roller device of the type that removes dust from only one surface, it is sufficient to simply configure a guide roller in place of the fixed adhesive rubber roller body 51A.

さらに、上述の実施の形態では、ワークＷは、鉛直方向に沿って搬送される状態となっている。しかしながら、ワークＷの搬送方向は、鉛直方向に限られるものではなく、鉛直方向に対して傾斜していても良い。 Furthermore, in the above-described embodiment, the workpiece W is in a state of being conveyed along the vertical direction. However, the conveyance direction of the workpiece W is not limited to the vertical direction, and may be inclined with respect to the vertical direction.

また、上述の実施の形態では、基板検出センサ８０ａ〜８０ｃを備える構成について述べている。しかしながら、基板検出センサ８０ｂを省略する構成を採用しても良い。 Moreover, in the above-mentioned embodiment, the structure provided with the board | substrate detection sensors 80a-80c is described. However, a configuration in which the substrate detection sensor 80b is omitted may be employed.

さらに、上述の実施の形態では、塵埃吸着ローラ体としては、粘着ラバーローラ体を用いているが、塵埃の吸着性に優れる材質が表面を覆っていれば、その材質は、シリコンゴム等には限られず、種々の材質を利用可能である。 Further, in the above-described embodiment, an adhesive rubber roller body is used as the dust adsorbing roller body. However, if the material excellent in dust adsorbing property covers the surface, the material is not made of silicon rubber or the like. Without limitation, various materials can be used.

本発明のクリーンローラ装置は、基板洗浄の分野において利用することができる。 The clean roller device of the present invention can be used in the field of substrate cleaning.

本発明のクリーンローラ装置の全体構成を示す左側面図である。It is a left view which shows the whole structure of the clean roller apparatus of this invention. 図１のクリーンローラ装置の全体構成を示す正面図である。It is a front view which shows the whole structure of the clean roller apparatus of FIG. 図１のクリーンローラ装置の全体構成を示す右側面図である。It is a right view which shows the whole structure of the clean roller apparatus of FIG. 図１のクリーンローラ装置の全体構成を示す平面図である。It is a top view which shows the whole structure of the clean roller apparatus of FIG. 図１のクリーンローラ装置の全体の中で、リニアアクチュエータおよびロータリアクチュエータの配置関係を示す図である。It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship of a linear actuator and a rotary actuator in the whole clean roller apparatus of FIG. 図１のクリーンローラ装置のうち、粘着ラバーローラ体付近を拡大して示す側面図である。It is a side view which expands and shows the adhesion rubber roller body vicinity among the clean roller apparatuses of FIG. クリーンユニットの作動イメージを示す図である。It is a figure which shows the operation | movement image of a clean unit. クリーンローラ装置の制御部の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the control part of a clean roller apparatus.

Explanation of symbols

１０…クリーンローラ装置、１１…基体部、１２…上部洗浄部、２０…フレーム部、３０…搬送機構、３１…モータ（第１の駆動源に対応）、４０…クリーンユニット、５０Ａ…ベースロール対、５０Ｂ…可動ロール対、５１…粘着ラバーローラ体（塵埃吸着ローラ体に対応）、５１Ａ…固定粘着ラバーローラ体、５１Ｂ…可動粘着ラバーローラ体、
５２…ロータリアクチュエータ（第２の駆動源に対応）、６０…粘着テープ保持部、６１…回転保持部、６２…支持スライダ、６３…リニアアクチュエータ（第３の駆動源に対応）、８０，８０ａ，８０ｂ，８０ｃ…基板検出センサ、９０…操作パネル、９４…速度調整ツマミ、１００…制御部（制御手段に対応）、１０１…主制御部、１０２…モータ制御部、１０３…リニアアクチュエータ制御部、１０４…ロータリアクチュエータ制御部、５１１…回転軸、５１２…粘着ラバー層、５１３…マウント部材、５１８…当接ベアリング DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Clean roller apparatus, 11 ... Base | substrate part, 12 ... Upper part washing | cleaning part, 20 ... Frame part, 30 ... Conveyance mechanism, 31 ... Motor (corresponding to 1st drive source), 40 ... Clean unit, 50A ... Base roll pair , 50B ... movable roll pair, 51 ... adhesive rubber roller body (corresponding to dust adsorbing roller body), 51A ... fixed adhesive rubber roller body, 51B ... movable adhesive rubber roller body,
52 ... Rotary actuator (corresponding to the second drive source), 60 ... Adhesive tape holder, 61 ... Rotation holder, 62 ... Support slider, 63 ... Linear actuator (corresponding to the third drive source), 80, 80a, 80b, 80c ... substrate detection sensor, 90 ... operation panel, 94 ... speed adjustment knob, 100 ... control unit (corresponding to control means), 101 ... main control unit, 102 ... motor control unit, 103 ... linear actuator control unit, 104 ... Rotary actuator controller, 511 ... Rotating shaft, 512 ... Adhesive rubber layer, 513 ... Mount member, 518 ... Contact bearing

Claims

A clean roller device for removing dust adhering to the workpiece while conveying the workpiece to which the film is attached,
It is driven by the operation of the first drive source, and comes into contact with one surface of the workpiece while rolling with the movement of the workpiece, and sucks and holds the dust adhering to the one surface of the workpiece. A dust adsorbing roller body,
A base roller body that contacts the other surface of the workpiece while rolling with the movement of the workpiece, and that moves the workpiece along the vertical direction with the dust suction roller body,
An adhesive tape holding part for holding an adhesive tape roll around which the adhesive tape is wound;
A second drive source for applying a biasing force to press the dust adsorbing roller body toward the base roller body;
A third drive source for applying a biasing force to press the adhesive tape roll against the dust adsorbing roller body;
A substrate detection sensor for detecting the presence or absence of the workpiece;
Before the predetermined time elapses from the detection of the work by the substrate detection sensor, only the second driving source is operated, and the work after the predetermined time elapses is the dust adsorbing roller body and the base roller. Control means for controlling the dust adsorbing roller body so as to apply at least a third biasing force to the dust adsorbing roller body by operating at least the third drive source when sandwiched between the bodies. ,
A clean roller device comprising:

The clean roller device according to claim 1,
The control means stops the operation of the second drive source after the elapse of the predetermined time and operates only the third drive source, and the third drive source is controlled by the control means. Control is performed so as to apply a larger urging force to the dust adsorbing roller body than when the second drive source is operating.
A clean roller device.

The clean roller device according to claim 1 or 2,
The dust adsorbing roller body is provided so as to be slidable along a sliding direction intersecting the vertical direction,
The base roller body is configured not to slide along the sliding direction.
A clean roller device.

In the clean roller device according to claim 3,
The adhesive tape holding part is arranged such that the adhesive tape roll is displaced upward or downward with respect to the sliding direction.
A clean roller device.

In the clean roller device according to any one of claims 1 to 4,
The second drive source is a rotary actuator that applies rotational torque to the holding arm,
The third drive source is a linear actuator;
A clean roller device.

The clean roller device according to claim 1,
The substrate detection sensor is
A first substrate detection sensor for detecting the insertion of the workpiece;
A second substrate detection sensor for detecting a lower end of the workpiece in the vertical direction;
A clean roller device comprising: