JP2010131554A - 塗布方法および塗布装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子に塗料を塗布する塗布方法および塗布装置において、安定した層厚で迅速に塗布することができるようにする。
【解決手段】レンズ本体1のレンズ縁面1cの外径よりも大径の拡径状態と、レンズ縁面1cの外径よりも小径の縮径状態とが切り替え可能な内周面7cを有する環状塗布機構7を用い、内周面7cが拡径状態とされた環状塗布機構7を、レンズ本体1のレンズ縁面1cの外周側に隙間を空けて対向配置する対向配置工程と、この対向配置工程によってレンズ本体1のレンズ縁面1cの外周側に配置された環状塗布機構7の内周面7cを縮径状態とする縮径工程と、この縮径工程によって縮径状態とされた環状塗布機構7の内周面7cを拡径状態に戻す拡径工程とを備え、縮径工程が終了するまでに、塗料20を内周面7cに供給することで、縮径工程において、レンズ縁面1cに塗料20を塗布する。
【選択図】図2

Description

本発明は、円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子に塗料を塗布するための塗布方法および塗布装置に関する。
従来、例えば、レンズなどの円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子は、光学素子の外径決め工程である心取り切削により外周部が粗面化され、いわゆる砂目になっていることが多い。光学機器の性能向上に伴って、外周部の粗面での散乱光が像面に到達し、許容できないゴースト、フレアなどが発生する場合がある。この場合、光学素子の外周部に、予め、例えば黒色塗料などの光吸収性塗料を塗布して遮光層を形成している。
光学素子の外周部は光学素子の位置決めに用いられるので、必要な位置決め精度を確保するためには、遮光層は薄層に形成しかつ膜厚バラツキも抑制する必要がある。
このため、人手によらずに、光学素子の外周部に塗料を塗布する塗布装置および塗布方法が、種々提案されている。
例えば、特許文献1には、光学素子を保持する保持手段と、光学素子に塗布するための塗料を供給するための塗料供給手段と、回転することにより塗料供給手段から供給される塗料が移される第1ロールと、回転することにより第1ロールから塗料が移される第2ロールであって、光学素子に塗料を転写するための第2ロールと、第1ロールと塗料供給手段の間隔を調整し第1ロールと第2ロールとの軸間隔を調整するための軸間調整装置とを備える光学素子用塗料の塗布装置が記載されている。
この塗布装置では、光学素子を被塗布物固定機構部に固定し、被塗布物固定機構部を回転させ、塗料供給手段から、第1ロール、第2ロールを経て移送される塗料を、第2ロールから光学素子の外周部の粗面に転写する。このとき、軸間調整装置を備えることで、被塗布物固定機構部の回転軸と第2ロールの回転軸との軸間距離を調整して塗布を行うようにしている。
特開平7−308614号公報
しかしながら、上記のような従来の塗布装置および塗布方法には、以下のような問題があった。
特許文献1に記載の技術では、軸間調整装置を備えることで、被塗布物固定機構部の回転軸と第2ロールの回転軸との軸間距離を調整して塗料の塗布を行うため、一定膜厚の塗布が可能とされている。特許文献1には、詳細な装置構成が開示されていないが、このような軸間調整装置を構成するには、少なくとも、被塗布面と各ローラのローラ面との間の位置関係を高精度に検出する検出手段と、この検出手段の検出信号に応じて、各回転軸の位置をリアルタイムに制御する制御手段とが必要となる。このため、装置構成が複雑となり、高価な装置となってしまうという問題がある。
また、光学素子を高精度に芯出しして固定し、ローラとの間の軸間距離を固定することも考えられるが、各光学素子を固定するたびに芯出し工程を行わなければならないため作業時間が増大し、迅速な塗布が行えないという問題がある。
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子に塗料を、安定した層厚で迅速に塗布することができる塗布方法および塗布装置を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために、本発明の塗布方法は、円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子に塗料を塗布するための塗布方法であって、前記光学素子の前記被塗布面の外径よりも大径の拡径状態と、前記被塗布面の外径よりも小径の縮径状態とが切り替え可能な内周面を有する円環状の内径可変部材を用い、前記内周面が前記拡径状態とされた前記内径可変部材を、前記光学素子の前記被塗布面の外周側に隙間を空けて対向配置する対向配置工程と、該対向配置工程によって前記光学素子の前記被塗布面の外周側に配置された前記内径可変部材の前記内周面を縮径状態とする縮径工程と、該縮径工程によって縮径状態とされた前記内径可変部材の前記内周面を拡径状態に戻す拡径工程とを備え、前記縮径工程が終了するまでに、前記塗料を前記内周面に供給することで、前記縮径工程において、前記被塗布面に前記塗料を塗布する方法とする。
この発明によれば、対向配置工程において、内周面が拡径状態とされた内径可変部材を、光学素子の被塗布面の外周側に隙間を空けて対向配置させる。次に、縮径工程において内径可変部材を縮径状態とする。このとき内周面が縮径して光学素子の被塗布面に押圧される。これにより、光学素子は、内径可変部材の内周面によって、被塗布面の中心が縮径中心に一致する状態に押圧され、芯出しされていく。この縮径工程が終了する前までに、塗料を内周面に供給しておく。これにより、縮径工程が終了するまでに、内周面と被塗布面との間に塗料が介在し、塗料が、内周面を介して被塗布面の周方向にわたって均一に押圧され、塗料の層厚が均一化される。次に、拡径工程によって、内周面を拡径状態とする。これにより、内径可変部材の内周面が、被塗布面に塗布された塗料層から離間し、被塗布面に塗料が転写された光学素子を内径可変部材から離脱させることが可能となる。
ここで、「縮径工程が終了するまでに」とは、対向配置工程の実行開始前、対向配置工程実行中、縮径工程実行中、およびこれらの工程の間の時間帯を含む。
また、本発明の塗布方法では、前記対向配置工程が終了するまでに、前記内周面に対して径方向内側から前記塗料を供給することが好ましい。
この場合、内径可変部材の内周面の径方向内側に、光学素子の被塗布面が対向配置される前の空きスペースが形成された状態で内周面に供給することができるので、内周面への塗料の供給が容易となる。
ここで、「対向配置工程が終了するまでに」とは、対向配置工程の実行開始前、対向配置工程実行中を含む。
また、本発明の塗布方法では、前記縮径工程の実行中に、前記内周面に対して径方向外側から前記塗料を供給することが好ましい。
この場合、内周面に対して径方向外側から塗料を供給するため、対向配置工程によって、内周面に径方向内側から被塗布面が対向配置された状態であっても、塗料の供給が可能となる。そして、縮径工程の実行中に塗料を供給するので、内周面に塗料を供給する工程と縮径工程とを並行して行うことができる。
本発明の第1の塗布装置は、円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子に塗料を塗布するための塗布装置であって、前記光学素子を該光学素子の光学面で保持する保持台と、前記光学素子の前記被塗布面の外径よりも大径の拡径状態と、前記被塗布面の外径よりも小径の縮径状態とが切り替え可能な内周面を有する円環状の内径可変部材と、該内径可変部材の前記内周面を前記拡径状態および前記縮径状態のいずれかに選択的に切り替える内径切替部と、前記内径可変部材の前記内周面に前記塗料を供給する塗料供給部と、前記内径可変部材の前記内周面を、前記塗料供給部による塗料供給位置と、前記保持台に保持された前記光学素子の前記被塗布面に対し径方向に対向する塗布動作位置との間で、相対移動させる相対移動機構とを備える構成とする。
この発明によれば、相対移動機構によって、内径可変部材を塗料供給位置に相対移動させ、塗料供給部によって、内径可変部材の内周面に塗料を供給することができる。また、光学素子を保持台に保持させ、内径切替部によって内径可変部材の内周面を拡径状態としてから、相対移動機構によって、内周面に塗料が供給された内径可変部材を塗布動作位置に、相対移動させることができる。そして、塗布動作位置に相対移動された内径可変部材の内周面を内径切替部によって拡径状態から縮径状態に切り替えることで、内周面を光学素子の被塗布面に押圧せしめ、内周面上の塗料を被塗布面に押圧して塗布することができる。次に、内径可変部材を内径切替部によって拡径状態とすることで、光学素子を内径可変部材から離脱させることができる。
このため、本発明の第1の塗布装置は、本発明の塗布方法に用いることができる塗布装置となっている。
また、本発明の第1の塗布装置では、前記内径可変部材は、伸縮性を有する材料からなり、径方向内側が前記内周面を形成する内壁部と、該内壁部の径方向外側を囲んで、前記内壁部との間に、円環状の管路を形成する管路部とを備え、前記内径切替部は、前記管路部に流体を導入して前記管路部内の内圧を変化させることにより、前記内壁部を変形させる流体圧調整機構からなることが好ましい。
この場合、流体圧調整機構によって、内径可変部材の管路部および内壁部によって形成される円環状の管路内の流体圧を増圧することで、内壁部を径方向内側に膨脹させて縮径状態を実現し、流体圧を減圧することで、拡径状態を実現することができる。縮径状態は流体圧を用いて実現するため、周方向により均一に縮径を行うことができ、これによって、光学素子の被塗布面を周方向により均一に押圧することができる。
また、本発明の第1の塗布装置では、前記塗料供給位置と、前記塗布動作位置とは、前記保持台に保持された前記光学素子の前記被塗布面の中心軸に沿う方向に設けられたことが好ましい。
この場合、相対移動機構は、光学素子の被塗布面の中心軸に沿って往復動作を行う機構でよいため、例えば、マニピュレータなどの複雑な機構を用いることなく簡素な構成とすることができる。
本発明の第2の塗布装置は、円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子に塗料を塗布するための塗布装置であって、前記光学素子を該光学素子の光学面で保持する保持台と、前記光学素子の前記被塗布面の外径よりも大径の拡径状態と前記被塗布面の外径よりも小径の縮径状態とが切り替え可能な内周面を有する円環状とされ、伸縮性を有するとともに前記塗料が透過可能な多孔質材料からなり前記内周面を形成する内壁部と、該内壁部の径方向外側を囲んで前記内壁部との間に円環状の管路を形成する管路部とを有する内径可変部材と、前記管路部に前記塗料を導入して前記管路部内の内圧を変化させることにより、前記内壁部を変形させるとともに、前記内周面に前記管路内から前記塗料を供給する流体圧調整機構を有し、該流体圧調整機構により前記内径可変部材の前記内周面を前記拡径状態および前記縮径状態のいずれかに選択的に切り替える内径切替部と、前記内径可変部材の前記内周面を、前記保持台に保持された前記光学素子の前記被塗布面に対し径方向に対向する塗布動作位置と、該塗布動作位置から退避する退避位置との間で、相対移動させる相対移動機構とを備える構成とする。
この発明によれば、光学素子を保持台に保持させ、内径切替部によって内周面が拡径状態とされた内径可変部材を、相対移動機構によって、退避位置から塗布動作位置に相対移動させることができる。そして、内径切替部によって、内径可変部材の内周面を縮径状態とする。このとき、流体圧調整機構によって、内径可変部材の管路内の塗料が増圧され、これにより内壁部が径方向内側に変形して、内周面が縮径する。また、内壁部は塗料を透過する多孔質材料からなるため、この内周面の縮径に伴って、塗料が径方向外側から内周面に向かって浸透され、内周面に径方向外側から塗料が供給される。この結果、縮径とともに、内周面と被塗布面との間に滲出した塗料が内周面によって被塗布面に押圧されていくため、この内周面上の塗料を被塗布面に塗布することができる。次に、内径可変部材を内径切替部によって拡径状態とすることで、光学素子を内径可変部材から離脱させることができる。
このため、本発明の第2の塗布装置は、本発明の塗布方法に用いることができる塗布装置となっている。
また、本発明の第2の塗布装置では、前記塗料供給位置と、前記退避位置とは、前記保持台に保持された前記光学素子の前記被塗布面の中心軸に沿う方向に設けられたことが好ましい。
この場合、相対移動機構は、光学素子の被塗布面の中心軸に沿って往復動作を行う機構でよいため、簡素な構成とすることができる。
本発明の塗布方法および塗布装置によれば、光学素子の被塗布面の外周側に隙間を空けて対向配置してから塗料が供給された内周面を縮径状態とすることで、被塗布面に塗料を塗布するので、円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子に塗料を、安定した層厚で迅速に塗布することができるという効果を奏する。
以下では、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
[第1の実施形態]
本発明の第1の実施形態に係る塗布装置について説明する。
図1(a)、(b)は、それぞれ本発明の第1の実施形態に係る塗布装置で塗料が塗布された光学素子の一例を示す平面図およびそのA−A断面図である。図2(a)は、本発明の第1の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す模式的な平面図である。図2(b)は、図2(a)におけるB−B断面図である。
本実施形態の塗布装置は、円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子に塗料を塗布するためのものである。このような光学素子の一例として、以下では、図1(a)、(b)に示すレンズ本体1の場合の例で説明する。
レンズ本体1は、例えば、ガラスによって形成され、凸面からなるレンズ面1a、1b(光学面)を表裏に備えた両凸レンズである。そして、これらレンズ面1a、1bの外周部には、円筒面状のレンズ縁面1cが形成されている。本実施形態では、レンズ縁面1cは、いわゆる砂目加工がなされた粗面である。また、レンズ縁面1cの中心軸Lは、レンズ本体1の光軸に一致されている。
このようなレンズ本体1は、この状態で光学機器などに使用すると、レンズ面1a、1bから入射し、レンズ本体1内部からレンズ縁面1cに向かう光がレンズ縁面1cで散乱され、散乱された一部の反射光が像面に到達して、フレアやゴーストを発生させるおそれがある。
本実施形態の塗布装置は、このようなフレアやゴーストにつながる散乱光を抑制するため、レンズ縁面1cを被塗布面として、例えば黒色エポキシ系塗料など、光吸収性を有する塗料20(図2(b)参照)を塗布して乾燥させることで、レンズ縁面1cに入射光を吸収する遮光膜層2を形成するものである。
本実施形態の塗布装置60の概略構成は、図2(a)、(b)に示すように、基台3上に、保持台5、2本のガイド支柱4(相対移動機構)、2つのスライダ6(相対移動機構)、環状塗布機構7(内径可変部材)、流体圧調整機構8(内径切替部)、および塗料供給機構12(塗料供給部)を備える。また、特に図示しないが、各スライダ6、環状塗布機構7、流体圧調整機構8、および塗料供給機構12の各動作を制御するための制御ユニットを備えている。
保持台5は、レンズ本体1の外径Dよりもわずかに小さい外径を有する略円柱状部材からなり、上端側にレンズ本体1のレンズ面1bを、上下方向および水平方向に載置時に位置決めして保持する保持面5aを有し、基台3の中央部に固定して配置されている。そして、保持面5aによって、レンズ本体1をその光軸が略鉛直方向に沿う状態で、基台3の上方に保持することができるようになっている。
保持面5aの形状は、図2(b)等では、模式的に表しているため、レンズ面1bと略同じ曲率を有する凹球面として描いているが、このような形状に限定されるものではない。
このような形状では、レンズ本体1の位置決めを正確に行うことができるため、後述する塗布動作位置における環状塗布機構7との間の隙間を正確に設定することができる。
ただし、この環状塗布機構7の移動時にレンズ本体1が環状塗布機構7と干渉しない程度の範囲に位置決めできれば、例えば、保持面5aは、レンズ面1bを複数の突起によって上下方向に支持し水平方向外力が作用した場合に水平方向に容易に移動できる構成としてもよい。この構成によれば、位置決め精度を緩めることができるので、製作が容易になる。
保持台5の材質は、保持されたレンズ本体1を傷つけない材質であればよく、例えば、合成樹脂などを採用することができる。
ガイド支柱4は、スライダ6の移動を鉛直方向にガイドするために、基台3上に立設された部材であり、本実施形態では、保持台5を挟んで対向する2箇所に1つずつ設けられている。
スライダ6は、各ガイド支柱4に沿って鉛直方向に沿ってそれぞれ移動可能に設けられた部材であり、例えば、不図示の制御ユニットによって移動量が制御されるボールネジ送り機構やリニアモータなどからなる駆動機構が接続され、ガイド支柱4の延在方向に沿って移動できるようになっている。
各スライダ6の保持台5側の面には、環状塗布機構7が、例えばネジ止めなどによって取り付け可能になっている。
環状塗布機構7は、図2(a)に示すように、平面視円環状とされ保持台5の水平方向の中心軸に同軸に配置された状態で、外周面において2つのスライダ6に固定されている。
環状塗布機構7は、図2(b)に示すように、円環の中心軸を通る鉛直方向の断面がコ字状とされ、それぞれ環状塗布機構7の上面、外周面、および下面を構成するケーシング部7b(管路部)と、ケーシング部7bの内周側の開口を覆い環状塗布機構7の内周面7cを形成する弾性壁部7a(内壁部)とを備える。
このため、環状塗布機構7の内部には、ケーシング部7bと弾性壁部7aとで囲まれた円環状の管路である円環管路7dが形成されている。
そして、図2(a)に示すように、ケーシング部7bの外周面には、流体圧調整機構8に連通する管路8aが接続されている。
流体圧調整機構8は、ポンプおよび圧力調整弁を備え、円環管路7d内に、圧力が調整された空気を供給して、円環管路7d内の内圧を変化させるためのものである。
弾性壁部7aの材質は、塗料20および塗料20の溶剤に対する耐薬品性を有するとともに、伸縮性を有する材料、例えば、耐薬品性ゴム、フッ素系ゴム、耐薬品性エラストマーなどを好適に採用することができる。
ケーシング部7bの材質は、例えば、金属や、弾性壁部7aよりも高剛性を有する合成樹脂などを採用することができる。
このような構成により、流体圧調整機構8によって、円環管路7d内の内圧が変化されると、弾性壁部7aの膨脹量が変化して、内周面7cの内径が変化する。例えば、円環管路7d内が大気圧に調整されているとき、弾性壁部7aは収縮状態にあり、内周面7cの内径がd(ただし、d>D)の拡径状態となっている。また、円環管路7d内が大気圧より高圧の一定圧のときには、弾性壁部7aが径方向内側に膨脹し、このように変形した内周面7cの最小の内径がdmin(ただし、dmin<D)の縮径状態となる。
内径dminの大きさは、内周面7c内にレンズ本体1を配置して縮径状態とした場合に、レンズ縁面1cに押圧された内周面7cが、レンズ縁面1cの軸方向の全体を押圧できるような寸法に設定する。
環状塗布機構7の拡径状態において、環状塗布機構7の内周側にレンズ本体1が配置された場合、レンズ本体1が内周面7cの中心と正確に同軸に配置された場合には、内周面7cとレンズ縁面1cとの間には、径方向に、Δ=(d−D)/2の隙間が形成される。本実施形態では、レンズ本体1の保持台5上での水平方向の配置誤差は、Δより小さくなるようにする。
塗料供給機構12は、環状塗布機構7の内周面7cの表面に塗料20を塗布するためのもので、各ガイド支柱4上に架設され、環状塗布機構7の弾性壁部7aを覆う範囲に設けられている。
本実施形態では、各ガイド支柱4上に架設され、塗料タンク(不図示)から塗料20を吸引して一定条件で塗料20を供給する塗料供給機構本体12bと、塗料供給機構本体12bの下面側に配置され塗料供給機構本体12bから供給された塗料20を吐出する塗料吐出部12aとを備える。
塗料吐出部12aの側部には、塗料20を吐出する吐出口12cが内周面7cを軸方向に覆う長さに形成されている。そして、吐出口12cの高さ方向の位置は、図2(b)に示すように、環状塗布機構7が保持台5上のレンズ本体1の上方の一定位置(以下、塗料供給位置と称する)に移動されたときに、環状塗布機構7の内周面7cに近接して対向する位置に設けられる。
また、塗料吐出部12aは、塗料供給機構本体12bに内蔵された回転駆動機構(不図示)によって、吐出口12cが塗料供給位置における内周面7cに対する対向距離を一定に保つ状態で、周方向に移動できるように保持されている。
次に、本実施形態の塗布方法について、塗布装置60の動作とともに説明する。
図3(a)、(b)は、それぞれ、本発明の第1の実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法の塗料供給工程、対向配置工程の模式的な工程説明図である。図4(c)は、本発明の第1の実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法の縮径工程の模式的な工程説明図である。
本実施形態の塗布方法は、光学素子保持工程、塗料供給工程、対向配置工程、縮径工程、および拡径工程を備え、これらの各工程を順次行う塗布方法である。
まず、光学素子保持工程を行う。本工程は、被塗布面に塗料を塗布する光学素子を保持台に保持する工程である。
本実施形態では、レンズ本体1のレンズ面1bを保持台5の保持面5a上に載置する。このため、レンズ本体1は、レンズ縁面1cの中心軸Lが鉛直方向に沿わされた状態で保持される。このときの配置誤差は、環状塗布機構7の内周面7cの中心軸の位置に対して、Δより小さくなっている。
配置誤差の許容値は、保持面5aの形状が、レンズ本体1を水平方向に移動しやすいほど、大きく設定することができる。保持面5aの形状が、レンズ本体1の水平方向の位置を移動できないように位置決めするものである場合には、この位置決め位置は、予め内周面7cの中心軸に一致するように調整しておく。
以下では、保持面5aはレンズ本体1の水平方向の移動が容易であり、レンズ本体1には、許容範囲内の配置誤差が発生しうる場合の例で説明する。
次に、塗料供給工程を行う。本工程は、内径可変部材の内周面に、塗料を供給する工程である。
まず、図3(a)に示すように、制御ユニットにより各スライダ6を駆動して、環状塗布機構7を塗料供給位置に移動する。このとき、本実施形態では、少なくとも塗料供給位置に移動するまでの間に、流体圧調整機構8によって、円環管路7d内の圧力が大気圧となるように設定し内周面7cを拡径状態としている。
塗料供給位置に移動後、塗料供給機構12によって、吐出口12cから一定量の塗料20を吐出させつつ、塗料吐出部12aを塗料供給位置に位置する内周面7cの周方向に沿って回転させ、少なくとも一周回転したところで、塗料20の吐出を停止する。
これにより、塗料20が、内周面7c上で略一定厚さに塗布される。
なお、内周面7cの縮径状態で必要な範囲に塗料20を供給できる場合には、縮径状態で、塗料20の供給を行ってもよい。ただし、この場合には、次の対向配置工程に移行するまでに拡径状態に戻しておく。
次に、対向配置工程を行う。本工程は、内周面が拡径状態とされた内径可変部材を、光学素子の被塗布面の外周側に隙間を空けて対向配置する工程である。
保持台5と環状塗布機構7とは、それぞれの中心軸が同軸に配置されており、レンズ本体1の保持面5aに対する配置誤差も許容範囲内に収められているため、塗布動作位置では、レンズ縁面1cと内周面7cとの間に隙間が形成されている。
そのため、各スライダ6を下方に駆動すれば、内周面7cとレンズ縁面1cとが互いに干渉することなく、環状塗布機構7を下降させることができる。そして、内周面7cが、保持台5上に載置されたレンズ縁面1cに対向する位置(以下では、塗布動作位置と称する)に停止させる。この結果、環状塗布機構7の内周面7cは、レンズ縁面1cに対して、隙間を空けて対向配置される。
次に、縮径工程を行う。本工程は、光学素子の被塗布面の外周側に配置された内径可変部材の内周面を縮径状態とする工程である。
すなわち、流体圧調整機構8によって円環管路7d内の内圧を増加させる。これにより、図4(c)に示すように、弾性壁部7aが径方向内側に向かって膨脹し、円環管路7dの内圧が所定圧に達すると、レンズ本体1が配置されていない場合の内周面7cの最小内径がdminとなる縮径状態となる。
本工程では内周面7cはレンズ縁面1cに対向しているため、内周面7cは、縮径が進む過程で、レンズ縁面1cと同径まで縮径した部分から、順次、塗料20を介してレンズ縁面1cに押圧される。
このとき、レンズ本体1に水平方向に配置誤差がある場合には、レンズ縁面1cの周方向の一部から押圧が始まるが、このような偏った押圧力によって、保持面5a上でレンズ本体1が水平方向に移動されるため、レンズ本体1は次第に本来の水平方向の配置位置に向かって調芯されていく。
そして、調芯状態では、内周面7cからの押圧力は、周方向に均等に作用し、内周面7cは、レンズ縁面1cとの間の軸方向の接触幅が、周方向に均等に増大していく。
そして、円環管路7d内が縮径状態となる内圧に達すると、レンズ縁面1cの全体に内周面7cが押圧される状態となる。
この結果、内周面7c上の塗料20は、レンズ縁面1cに略均一な圧力によって押圧され、層厚が均一化された状態で、レンズ縁面1cと内周面7cとの間に挟まれ、レンズ縁面1c側に転写されていく。
このような塗料20の層厚の均一化作用は、レンズ本体1の配置誤差がある場合と同様に、塗料供給工程で、内周面7c上に塗布された塗料20の塗布ムラに対しても有効に作用する。したがって、塗料供給機構12において、塗料20の吐出ムラや、塗料吐出部12aの回転ムラなどの許容範囲を広げることができ、構成や動作制御を簡素化することができ、高精度を要しない機構を採用したり、供給動作を高速化したりすることが可能となる。
次に、拡径工程を行う。本工程は、縮径工程によって縮径状態とされた前記内径可変部材の内周面を拡径状態に戻す工程である。
すなわち、流体圧調整機構8によって円環管路7d内の内圧を拡径状態の圧力(本実施形態では大気圧)まで徐々に減少させる。これにより、内周面7cが拡径され、レンズ縁面1c上に転写された塗料20の層を残して、レンズ縁面1cの軸方向の両端側(上下方向の両端)から、レンズ縁面1cに対して、内周面7cがレンズ縁面1c上に転写された塗料20の層から徐々に剥がされて離間していく。
そして、拡径状態に達すると、内周面7cは、図3(b)に示すように、レンズ縁面1cに対して隙間を空けて離間する。その際、レンズ本体1の配置誤差は、縮径工程において調芯されているので、周方向の隙間が略均一になっている。
このようにして、レンズ縁面1c上に塗料20が塗布され、環状塗布機構7の押圧状態が解除されるので、レンズ本体1の取り出し、移送が可能となる。塗料20が乾燥すれば、遮光膜層2を備えたレンズ50が完成する。
本実施形態では、各スライダ6を上方の塗料供給位置に移動し(図3(a)参照)、レンズ本体1の側方に空間を空けてから、レンズ本体1を取り出す。
以上で、レンズ本体1の塗布の全工程が終了する。
さらに、続けて他のレンズ本体1に塗布を行う場合には、上記の各工程を同様に繰り返す。
このように、本実施形態の塗布装置60では、光学素子保持工程、塗料供給工程、対向配置工程、縮径工程、および拡径工程を順次行うことで、レンズ縁面1cの全周を、円環管路7d内の空気圧によって略同時に径方向に均一に押圧して、塗料20を塗布することができる。そのため、例えば、レンズ本体1の配置誤差や、塗料20の供給ムラがあっても、塗料20を膜厚が略均一となるように塗布することができる。
また、このような塗布は、周方向に同時に行われるため、レンズ本体1および塗布手段のいずれかを回転させて、塗料20をレンズ縁面1cの周方向に順次塗布していく場合に比べて、迅速に塗布を行うことができる。
また、塗料20の塗布厚さを制御するために、レンズ縁面1cと塗布手段との間の塗布厚さ方向の位置関係の制御を行う必要がないため、簡素な構成とすることができる。
また、塗布装置60では、塗料供給位置と塗布動作位置とが、鉛直方向の上下に設けられているので、水平方向に省スペースな装置とすることができる。また、これらの塗料供給位置と塗布動作位置との間で、環状塗布機構7を1軸方向に移動するだけでよいので、簡素な相対移動機構を用いることができる。
[第2の実施形態]
本発明の第2の実施形態に係る塗布装置について説明する。
図5(a)は、本発明の第2の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す模式的な平面図である。図5(b)は、図5(a)におけるC−C断面図である。
本実施形態の塗布装置60Aは、図5(a)、(b)に示すように、上記第1の実施形態の塗布装置60の塗料供給機構12を削除し、環状塗布機構7、流体圧調整機構8に代えて、環状塗布機構17(内径可変部材)、流体圧調整機構8A(内径切替部)を備える。以下、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
環状塗布機構17は、図5(b)に示すように、上記第1の実施形態の環状塗布機構7の弾性壁部7aに代えて、多孔質壁部17a(内壁部)を備え、ケーシング部7bの外周面には、流体圧調整機構8Aに連通する管路8aが接続されている。
多孔質壁部17aは、ケーシング部7bの内周側の開口を覆い環状塗布機構17の内周面7cを形成するものである。
多孔質壁部17aの材質は、塗料20および塗料20の溶剤に対する耐薬品性を有するとともに、伸縮性を有する多孔質材料、例えば、耐薬品性ゴム、フッ素系ゴム、耐薬品性エラストマーの連続気泡を有する発泡体や、塗料20が浸透、滲出可能な多孔質樹脂膜などを採用することができる。
流体圧調整機構8Aは、ポンプおよび圧力調整弁を備え、管路8aを通して、円環管路7d内に、圧力が調整された塗料20を導入し、円環管路7d内の内圧を変化させるためのものである。
このような構成により、塗布装置60Aは、流体圧調整機構8Aから、円環管路7dに塗料20を導入して、円環管路7d内の内圧を変化させることにより、多孔質壁部17aを変形させるとともに、内周面7cに円環管路7dから塗料20を供給することができる。そのため、環状塗布機構17は、上記第1の実施形態の塗料供給部の機能を兼ねている。
したがって、本実施形態の各ガイド支柱4、各スライダ6からなる相対移動機構は、上記第1の実施形態と同様の構成からなるものの、環状塗布機構17の内周面7cを、塗布動作位置と、塗布動作位置から退避する退避位置との間で、相対移動させる相対移動機構になっている点が上記第1の実施形態と異なる。
本実施形態の退避位置は、図5(b)に示すように、保持台5の上端と環状塗布機構17の下端との間がレンズ本体1の厚さよりも大きく離間され、レンズ本体1を側方から挿入して保持面5a上に載置できるような位置に設定される。
本実施形態の塗布装置60Aによれば、光学素子保持工程、対向配置工程、縮径工程、および拡径工程の各工程を順次行うことにより、レンズ本体1のレンズ縁面1cに塗料20を塗布することができる。
以下では、塗布装置60Aの動作について、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
本実施形態の光学素子保持工程、対向配置工程は、それぞれ上記第1の実施形態と同様の工程である。ただし、光学素子保持工程において、環状塗布機構17は、各スライダ6によって上方の退避位置に移動しておく。
対向配置工程の後に、縮径工程を行う。本工程は、光学素子の被塗布面の外周側に配置された内径可変部材の内周面を縮径状態とする工程である。
ただし、本実施形態では、流体圧調整機構8Aによって、円環管路7dに塗料20を導入して、円環管路7d内の内圧を増加させる。
これにより、多孔質壁部17aは、上記第1の実施形態の弾性壁部7aと同様に、内圧の増加に応じて径方向内側に膨脹し、内周面7cが縮径される。その際、多孔質壁部17aの孔部には、円環管路7dから塗料20が浸透され、内周面7cに滲出される。
このとき、内周面7cには、周方向に均一な圧力が作用するため、周方向の滲出量も均一となる。そのため、例えば、周方向に沿って、順次、塗料20を供給する場合に比べて、迅速に塗料20を供給することができる。
この結果、レンズ縁面1c側に縮径する内周面7cは、内周面7c上に、塗料20が供給された状態で、内径がDに達した部分から、順次、塗料20を介してレンズ縁面1cに押圧される。
縮径状態では、塗料20の増圧が停止されるとともに、多孔質壁部17aがレンズ縁面1cに押圧されることで、多孔質壁部17aの孔部が閉止されるため、塗料20の供給も停止される。
本工程では、レンズ本体1に対して調芯作用が働き、押圧された塗料の層厚が均一化されることは、第1の実施形態の場合と全く同様である。すなわち、内周面7c上の塗料20は、レンズ縁面1cに略均一な圧力によって押圧され、層厚が均一化された状態で、レンズ縁面1cと内周面7cとの間に挟まれ、レンズ縁面1c側に転写されていく。
また、本工程における塗料20の滲出量は、多孔質壁部17aが伸縮性を有するため、多孔質壁部17aの膨脹に伴って各孔部の大きさが拡張し、縮径が進むとともに増大していくものである。
そこで、本実施形態では、多孔質壁部17aの孔部の大きさや多孔質壁部17aの厚さを調整して適切な透過抵抗を設けておくことで、縮径がある程度進んで、内周面7cがレンズ縁面1cに当接する直前に、塗料20が内周面7cに供給されるように設定することができる。
この場合、拡径状態および縮径の初期には、塗料20が内周面7cに滲出しないので、塗料20が空気中に露出される時間が短縮され、塗布に必要な塗料20を空気中での経時変化が少ない状態で、レンズ縁面1cに塗布することができる。
また、塗料20の乾燥、漏出などを抑制することができる。そのため、塗料20の消費量を低減することができる。
次に、拡径工程を行う。本工程は、縮径工程によって縮径状態とされた前記内径可変部材の内周面を拡径状態に戻す工程であり、円環管路7dの塗料20の圧を大気圧につり合う圧に減圧することによって、拡径状態とする点を除いて、上記第1の実施形態と同様である。
このようにして、レンズ縁面1c上に塗料20が塗布され、環状塗布機構17の押圧状態が解除されるので、レンズ本体1の取り出し、移送が可能となる。塗料20が乾燥すれば、遮光膜層2を備えたレンズ50が完成する。
本実施形態では、内周面7cを拡径状態とした後、各スライダ6を駆動して、環状塗布機構17を上方の退避位置に移動し、レンズ本体1の側方に空間を空けてから、レンズ本体1を取り出す。
以上で、レンズ本体1の塗布の全工程が終了する。
さらに、続けて他のレンズ本体1に塗布を行う場合には、上記工程を同様に繰り返す。
このように、本実施形態の塗布装置60Aでは、内周面7cに対して径方向外側から塗料20を供給することで、縮径工程の実行中に塗料を供給する塗布方法を行うことができる塗布装置になっている。
このため、環状塗布機構7を退避位置に移動した状態で内周面7cに塗料20の供給を供給し、塗布動作位置に移動するという手間が省けるため、迅速な塗布を行うことができる。
また、塗料20が内周面7c上に露出されている時間を短縮することができるので、塗料20が周囲環境の影響を受けにくく、高品質な遮光膜層2を形成することができる。
[第3の実施形態]
本発明の第3の実施形態に係る塗布装置について説明する。
図6(a)は、本発明の第3の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す、図5(a)のC−C断面に相当する模式的な断面図である。図6(b)は、本発明の第3の実施形態に係る塗布装置の動作説明図である。
本実施形態の塗布装置60Bは、図2(a)、図6(a)、(b)に示すように、上記第1の実施形態の塗布装置60の塗料供給機構12を削除し、塗料供給部15を追加したものである。以下、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
塗料供給部15は、図6(a)に示すように、保持台5の側面の外周側に、保持台5と同軸で、レンズ縁面1cと同径に設けられた円環部材であり、外周面において少なくともレンズ縁面1cの軸方向の長さよりも広い幅の円筒領域15aに塗料20を供給するものである。
本実施形態では、円筒領域15aは多孔質材料で形成され、塗料供給部15の内部側から、上記第2の実施形態の流体圧調整機構8Aと同様の機構によって、塗料20を圧送し、円筒領域15aに滲出させる構成を採用している。
この場合の多孔質材料は、塗料20および塗料20の溶剤に対する耐薬品性を備え、内部および表面に塗料20を浸透、滲出可能な材質であれば、適宜のゴム、合成樹脂の多孔質体や、繊維状体を採用することができる。なお、多孔質材料は弾性を有する低硬度の材料でもよいし、変形しにくい高硬度の材料でもよい。
本実施形態の塗布装置60Bによれば、光学素子保持工程、塗料供給工程、対向配置工程、縮径工程、および拡径工程の各工程を順次行うことにより、レンズ本体1のレンズ縁面1cに塗料20を塗布することができる。
ただし、本実施形態では、塗料供給位置は、環状塗布機構7の内周面7cが、保持台5の下方側に下降され、塗料供給部15の円筒領域15aに対向する位置になる。そして、本実施形態では、各スライダ6、各ガイド支柱4によって構成される相対移動機構は、環状塗布機構7をこの塗料供給位置と上記第1の実施形態と同様の塗布動作位置との間で、環状塗布機構7を移動させるものとなっている。
以下では、塗布装置60Bの動作について、上記第1の実施形態と異なる点を中心に説明する。
本実施形態の光学素子保持工程は、上記第1の実施形態と同様の工程である。ただし、光学素子保持工程において、環状塗布機構7は、予め流体圧調整機構8によって内周面7cを拡径状態とされた状態で、各スライダ6によって下方の塗料供給位置に移動されている。
次に、塗料供給工程を行う。本工程は、内径可変部材の内周面に、径方向内側から塗料を供給する工程である。
本工程では、塗料供給位置に配置された環状塗布機構7の円環管路7dに、流体圧調整機構8によって円環管路7d内の圧力を増加させ、内周面7cを縮径状態とする。
本工程の塗料供給位置では、内周面7cは円筒領域15aに略一定の隙間を空けて対向しているため、内周面7cは、縮径が進む過程で、円筒領域15aと同径まで縮径した部分から、順次、塗料20を介して円筒領域15aに押圧される。これにより、円筒領域15aに供給された塗料20が、内周面7cに塗布される。
次に、流体圧調整機構8によって、円環管路7d内の圧力を減少させ、内周面7cを拡径状態とする。
これにより、内周面7c上に、塗料20が供給される。内周面7c上に供給される塗料20の量は、円筒領域15aに対する押圧力が周方向に均一であるため、周方向に均一となっている。
次に、対向配置工程を行う。本工程は、第1の実施形態の対向配置工程と同様な工程であるが、本実施形態では、各スライダ6を上方に駆動して、環状塗布機構7を塗布動作位置に停止させる点が異なる。
次に、縮径工程、拡径工程を順次行う。これらの工程は、上記第1の実施形態と同様の工程である。
このようにして、レンズ縁面1c上に塗料20が塗布され、環状塗布機構7の押圧状態が解除されるので、レンズ本体1の取り出し、移送が可能となる。塗料20が乾燥すれば、遮光膜層2を備えたレンズ50が完成する。
本実施形態では、内周面7cを拡径状態とした後、各スライダ6を駆動して、環状塗布機構7を下方の塗料供給位置に移動し、レンズ本体1の側方に空間を空けてから、レンズ本体1を取り出す。
以上で、レンズ本体1の塗布の全工程が終了する。
さらに、続けて他のレンズ本体1に塗布を行う場合には、上記工程を同様に繰り返す。
このように本実施形態では、塗料供給部15によって、塗料20を円筒領域15aに供給し、環状塗布機構7の縮径動作を用いて、円筒領域15aから内周面7cへ塗料20を供給するという2段階の部分工程を経て、塗料20が供給される。
すなわち、環状塗布機構7と塗料供給部15との協働によって、塗料20が内周面7c上に供給されるので、例えば、上記第1の実施形態のように、塗料吐出部12aを内周面7cの周方向に移動して塗料20を供給する場合に比べて、塗料供給部15の可動部の機構が簡素化される。また、塗料20の供給に要する時間が短縮される。
また、塗料供給部15を、保持台5の外周部に配置することにより、塗料供給位置を光学素子保持工程の支障とならない保持面5aの下方側に設けることができるので、塗料供給位置を、保持面5aの上方に設ける場合に比べて、装置高さを低減することができる。
なお、上記の第1の実施形態の説明では、内径可変部材が、伸縮性を有する材料からなり、径方向内側が前記内周面を形成する内壁部と、この内壁部の径方向外側を囲んで、内壁部との間に、円環状の管路を形成する管路部とを備え、内径切替部が、管路部に流体を導入して管路部内の内圧を変化させることにより、内壁部を変形させる流体圧調整機構からなる場合の例で説明したが、このような構成には限定されない。すなわち、内径可変部材は、光学素子の被塗布面の外径よりも大径の拡径状態と、被塗布面の外径よりも小径の縮径状態とが切り替え可能な内周面を有する円環状部材であればよく、内径切替部は、内径可変部材の内周面を拡径状態および縮径状態のいずれかに選択的に切り替えることができればよい。
ここで、上記第1の実施形態の、環状塗布機構7に代えて用いることができる内径可変部材の変形例について説明する。
図7(a)は、本発明の第1の実施形態に用いることができる変形例の内径可変部材の一例を示す模式的な平面図である。図7(b)は、図7(a)におけるE−E断面図である。図7(c)は、本発明の第1の実施形態に用いることができる変形例の内径可変部材の縮径状態のE−E断面図である。
環状塗布機構27は、図7(a)、(b)に示すように、上方に開口し、底面の中央に円開口を有する有底円筒状の固定部27bと、固定部27bの底面部に、開口側に延ばされ、周方向に等ピッチで立設された8本のアクチュエータ27d(内径切替部)と、各アクチュエータ27dの上端に固定され、固定部27bと同軸、同径の円開口を中央に備える円環状の可動板27cと、固定部27bおよび可動板27cの内周側の端面の間に架設され周方向に各円開口を覆うように設けられた可撓性を有する弾性壁部27aと、各アクチュエータ27dに駆動電圧を供給する電圧制御部28(内径切替部)とを備えている。
固定部27b、可動板27cの材質は、例えば、ステンレス鋼板などの金属からなる。
アクチュエータ27dは、固定部27bと可動板27cとの間の距離をhとh(ただし、h<h)との間で変化させるため1軸アクチュエータであり、本実施形態では、圧電素子アクチュエータを採用している。そして、固定部27b、可動板27cは、アクチュエータ27dに電圧を供給するための電極を兼ねている。
弾性壁部27aは、図7(a)に示すように、径方向および軸方向に沿う断面では、軸方向の端部から中央に向かって、円開口の中心側に向かってわずかに突出する湾曲を有しており、これらの頂部によって形成される最小内径部の内径が拡径状態の内径dとされる。
弾性壁部27aの材質は、環状塗布機構7の弾性壁部7aと同様な材質を採用することができる。
本変形例の環状塗布機構27によれば、電圧制御部28によって、アクチュエータ27dに固定部27b、可動板27cを介して電圧を供給することで、アクチュエータ27dの高さを、hとhとの間で切り替えることができる。図7(c)に示すように、アクチュエータ27dの高さhになると、固定部27b、可動板27cに端部が固定された弾性壁部27aが、鉛直面内で屈曲されるとともに、周方向に圧縮されて、軸方向の中央部における径方向内側の突出量が増大し、これにより、内径がdminの縮径状態が得られる。
このように、本変形例は、内周面7cを、流体圧を用いることなく、アクチュエータ27dの収縮力によって、弾性壁部27aを屈曲させることで縮径を行う場合の例となっている。
また、上記の説明では、保持台に保持された光学素子を固定し、相対移動機構は内径可変部材のみを移動させる場合の例で説明したが、相対移動機構は、内径可変部材と光学素子との位置関係を相対的に変える相対移動ができればよく、例えば、内径可変部材を固定して、光学素子および保持台を移動する構成としてもよい。また、内径可変部材と、光学素子および保持台とをそれぞれ移動する構成としてもよい。
また、上記の第1の実施形態の説明では、対向配置工程に先だって、塗料供給工程を行う場合の例で説明したが、内周面に径方向内側から塗料を供給する場合、対向配置工程が終了するまでに、塗料を供給すればよい。
例えば、上記第1の実施形態において、塗料供給位置(図2(b)参照)における環状塗布機構7の内周面7cの下端側に円環状の塗料供給部を配置し、対向配置工程において、環状塗布機構7が下降される間に、塗料20を供給し、環状塗布機構7の移動に伴って、内周面7cに順次軸方向に塗料20が供給されるようにしてもよい。
このようにすれば、塗料供給部を可動保持することなく塗料を供給することができる。また、内周面7cの一部がレンズ縁面1cに対向する状態で並行して、内周面7cに塗料20を供給することもできるので、塗料供給位置と塗布動作位置をより近接させることができる。これにより、工程の時間短縮を図ることができる。
また、上記の第2の実施形態の説明では、縮径工程の実行中に、塗料の供給を行う場合の例で説明したが、内周面に径方向外側から塗料を供給する場合、対向配置工程の開始前から縮径工程が終了するまでの間の、いずれのタイミングで塗料をしてもよい。
また、上記の第3の実施形態の説明では、塗料供給部15に径方向内側から塗料20を供給する場合の例で説明したが、例えば、塗料供給部15を保持台5の中心軸回りに回転可能に保持し、円筒領域15aに対して径方向外側から、例えば、転写ローラ機構や吐出ノズル機構などの塗料供給手段を用いて、塗料20を供給するようにしてもよい。
この場合、塗料供給手段は、円筒領域15aに対して径方向に進退可能な構成として、環状塗布機構7が塗料供給位置まで下降する際は、退避できるようにしておく。
また、上記の各実施形態、変形例に説明したすべての構成要素は、本発明の技術的思想の範囲で適宜組み合わせて実施することができる。
本発明の第1の実施形態に係る塗布装置で塗料が塗布された光学素子の一例を示す平面図およびそのA−A断面図である。 本発明の第1の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す模式的な平面図、およびそのB−B断面図である。 本発明の第1の実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法の塗料供給工程、対向配置工程の模式的な工程説明図である。 本発明の第1の実施形態に係る塗布装置を用いた塗布方法の縮径工程の模式的な工程説明図である。 本発明の第2の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す模式的な平面図、およびそのC−C断面図である。 本発明の第3の実施形態に係る塗布装置の概略構成を示す模式的な断面図、および動作説明図である。 本発明の第1の実施形態に用いることができる変形例の内径可変部材の一例を示す模式的な平面図、そのE−E断面図、およびその縮径状態のE−E断面図である。
符号の説明
1 レンズ本体(光学素子)
1b レンズ面(光学面)
1c レンズ縁面(被塗布面)
2 遮光膜層
4 ガイド支柱(相対移動機構)
5 保持台
6 スライダ(相対移動機構)
7、17、27 環状塗布機構(内径可変部材)
7a、27a 弾性壁部(内壁部)
7b ケーシング部(管路部)
7c 内周面
7d 円環管路(円環状の管路)
8、8A 流体圧調整機構(内径切替部)
12 塗料供給機構(塗料供給部)
12a 塗料吐出部
15 塗料供給部
17a 多孔質壁部(内壁部)
20 塗料
27d アクチュエータ(内径切替部)
28 電圧制御部(内径切替部)
50 レンズ
60、60A、60B、60C 塗布装置
中心軸(被塗布面の中心軸)

Claims (8)

  1. 円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子に塗料を塗布するための塗布方法であって、
    前記光学素子の前記被塗布面の外径よりも大径の拡径状態と、前記被塗布面の外径よりも小径の縮径状態とが切り替え可能な内周面を有する円環状の内径可変部材を用い、
    前記内周面が前記拡径状態とされた前記内径可変部材を、前記光学素子の前記被塗布面の外周側に隙間を空けて対向配置する対向配置工程と、
    該対向配置工程によって前記光学素子の前記被塗布面の外周側に配置された前記内径可変部材の前記内周面を縮径状態とする縮径工程と、
    該縮径工程によって縮径状態とされた前記内径可変部材の前記内周面を拡径状態に戻す拡径工程とを備え、
    前記縮径工程が終了するまでに、前記塗料を前記内周面に供給することで、前記縮径工程において、前記被塗布面に前記塗料を塗布することを特徴とする塗布方法。
  2. 前記対向配置工程が終了するまでに、前記内周面に対して径方向内側から前記塗料を供給することを特徴とする請求項1に記載の塗布方法。
  3. 前記縮径工程の実行中に、前記内周面に対して径方向外側から前記塗料を供給することを特徴とする請求項1に記載の塗布方法。
  4. 円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子に塗料を塗布するための塗布装置であって、
    前記光学素子を該光学素子の光学面で保持する保持台と、
    前記光学素子の前記被塗布面の外径よりも大径の拡径状態と、前記被塗布面の外径よりも小径の縮径状態とが切り替え可能な内周面を有する円環状の内径可変部材と、
    該内径可変部材の前記内周面を前記拡径状態および前記縮径状態のいずれかに選択的に切り替える内径切替部と、
    前記内径可変部材の前記内周面に前記塗料を供給する塗料供給部と、
    前記内径可変部材の前記内周面を、前記塗料供給部による塗料供給位置と、前記保持台に保持された前記光学素子の前記被塗布面に対し径方向に対向する塗布動作位置との間で、相対移動させる相対移動機構とを備えることを特徴とする塗布装置。
  5. 前記内径可変部材は、
    伸縮性を有する材料からなり、径方向内側が前記内周面を形成する内壁部と、
    該内壁部の径方向外側を囲んで、前記内壁部との間に、円環状の管路を形成する管路部とを備え、
    前記内径切替部は、
    前記管路部に流体を導入して前記管路部内の内圧を変化させることにより、前記内壁部を変形させる流体圧調整機構からなることを特徴とする請求項4に記載の塗布装置。
  6. 前記塗料供給位置と、前記塗布動作位置とは、前記保持台に保持された前記光学素子の前記被塗布面の中心軸に沿う方向に設けられたことを特徴とする請求項4または5に記載の塗布装置。
  7. 円筒面状の被塗布面を外周部に有する光学素子に塗料を塗布するための塗布装置であって、
    前記光学素子を該光学素子の光学面で保持する保持台と、
    前記光学素子の前記被塗布面の外径よりも大径の拡径状態と前記被塗布面の外径よりも小径の縮径状態とが切り替え可能な内周面を有する円環状とされ、伸縮性を有するとともに前記塗料が透過可能な多孔質材料からなり前記内周面を形成する内壁部と、該内壁部の径方向外側を囲んで前記内壁部との間に円環状の管路を形成する管路部とを有する内径可変部材と、
    前記管路部に前記塗料を導入して前記管路部内の内圧を変化させることにより、前記内壁部を変形させるとともに、前記内周面に前記管路内から前記塗料を供給する流体圧調整機構を有し、該流体圧調整機構により前記内径可変部材の前記内周面を前記拡径状態および前記縮径状態のいずれかに選択的に切り替える内径切替部と、
    前記内径可変部材の前記内周面を、前記保持台に保持された前記光学素子の前記被塗布面に対し径方向に対向する塗布動作位置と、該塗布動作位置から退避する退避位置との間で、相対移動させる相対移動機構とを備えることを特徴とする塗布装置。
  8. 前記塗料供給位置と、前記退避位置とは、前記保持台に保持された前記光学素子の前記被塗布面の中心軸に沿う方向に設けられたことを特徴とする請求項7に記載の塗布装置。
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