JP2010116578A - スパッタ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のスパッタ蒸発源に直流パルス電力を供給する電源装置を備えたスパッタ装置において、電源装置は、1台の直流電源と、電力貯蔵部に蓄えた電力を各スパッタ蒸発源毎に分配供給するパルス分配供給手段と、前記複数のスパッタ蒸発源の少なくとも一つに設けられて当該スパッタ蒸発源に流れる電流を測定するための電流センサと、該電流センサの出力に基づいて当該スパッタ蒸発源に流れるパルスピーク電流検出値を求めるパルスピーク電流検出部と、該パルスピーク電流検出部で検出したパルスピーク電流検出値がアーク放電を発生させないためのパルスピーク電流目標値を超えないように前記直流電源の出力を制御するパルスピーク電流制御部とを備える。
【選択図】図1
Description
前記電源装置は、1台の直流電源と、該直流電源からの電力を蓄える電力貯蔵部と、該電力貯蔵部に蓄えた電力を前記複数のスパッタ蒸発源毎に分配供給するパルス分配供給手段と、前記複数のスパッタ蒸発源の少なくとも一つに設けられて当該スパッタ蒸発源に流れる電流を測定するための電流センサと、該電流センサの出力に基づいて当該スパッタ蒸発源に流れるパルスピーク電流検出値を求めるパルスピーク電流検出部と、該パルスピーク電流検出部で検出したパルスピーク電流検出値がアーク放電を発生させないためのパルスピーク電流目標値を超えないように前記直流電源の出力を制御するパルスピーク電流制御部と、を備えていることを特徴とするスパッタ装置である。
2…電源装置
3…真空チャンバー
4A〜4D…スパッタ蒸発源
5…回転ステージ
10…直流電源
12A〜12C…半導体スイッチング素子(パルス分配供給手段)
11…コンデンサ(電力貯蔵部)
13A〜13C…電流センサ
14A〜14C…パルス電流平均値検出部
15…パルス電流平均値制御部
16A〜16C…パルスピーク電流検出部
17…パルスピーク電流値制御部
18…パルス電流制御部
W…円筒状成膜対象物
Claims (4)
- 複数のスパッタ蒸発源に直流パルス電力を供給する電源装置を備え、成膜対象物の表面にパルススパッタリングによる成膜を行うスパッタ装置において、
前記電源装置は、1台の直流電源と、該直流電源からの電力を蓄える電力貯蔵部と、該電力貯蔵部に蓄えた電力を前記複数のスパッタ蒸発源毎に分配供給するパルス分配供給手段と、前記複数のスパッタ蒸発源の少なくとも一つに設けられて当該スパッタ蒸発源に流れる電流を測定するための電流センサと、該電流センサの出力に基づいて当該スパッタ蒸発源に流れるパルスピーク電流検出値を求めるパルスピーク電流検出部と、該パルスピーク電流検出部で検出したパルスピーク電流検出値がアーク放電を発生させないためのパルスピーク電流目標値を超えないように前記直流電源の出力を制御するパルスピーク電流制御部と、を備えていることを特徴とするスパッタ装置。 - 複数のスパッタ蒸発源に直流パルス電力を供給する電源装置を備え、成膜対象物の表面にパルススパッタリングによる成膜を行うスパッタ装置において、
前記電源装置は、
1台の直流電源と、
該直流電源からの電力を蓄える1台の電力貯蔵部と、
前記電力貯蔵部の陰極側に接続され、前記電力貯蔵部に蓄えた電力を前記各スパッタ蒸発源毎に分配供給する複数のパルス分配供給手段と、
前記複数のスパッタ蒸発源の各々に対応して設けられ、各スパッタ蒸発源に流れる電流を測定するための複数の電流センサと、
前記各電流センサの出力に基づいて、それぞれ、各スパッタ蒸発源に流れるパルスピーク電流検出値を求めるパルスピーク電流検出部と、
前記各スパッタ蒸発源について、それぞれ、アーク放電を発生させないためのパルスピーク電流目標値を設定し、前記複数のスパッタ蒸発源の全てがパルスピーク電流目標値以下となるように、前記直流電源の出力を制御するパルスピーク電流値制御部と、
を備えていることを特徴とするスパッタ装置。 - 前記各電流センサの出力に基づいて、それぞれ、各スパッタ蒸発源に流れる所定周期におけるパルス電流の平均値を求めるパルス電流平均値検出部と、前記各スパッタ蒸発源について、それぞれ、目標パルス電流平均値を設定するとともに、前記求めたパルス電流平均値が前記目標パルス電流平均値を超えないように前記各パルス分配供給手段を制御するパルス電流平均値制御部と、を備えていることを特徴とする請求項2記載のスパッタ装置。
- 前記電力貯蔵部がコンデンサで構成され、前記パルス分配供給手段が半導体スイッチング素子で構成されていることを特徴とする請求項1、2又は3記載のスパッタ装置。
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