JP2010113586A - レイアウト密度検証システム、レイアウト密度検証方法、及びレイアウト密度検証用プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】メタル密度チェックの精度を向上し、メタル密度チェック実行時のメモリ使用量、処理負荷、及び処理時間を削減する。
【解決手段】ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルにおいて、メタル密度チェックを行う際にチェック単位となるウィンドウの１辺の長さ分と同等、もしくは長さ分以上だけ、マクロ外周部から内側にレイアウト形状を見せるような構造を持たせたマクロモデルを作成することで、マクロモデル使用時のメタル密度チェックの精度を向上させると共に、処理実行時のメモリ消費量及び実行時間の削減を行う。
【選択図】図６

Description

本発明は、レイアウト密度検証システムに関し、特にＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ Ｓｃａｌｅ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）レイアウト設計用マクロモデルを作成し使用するレイアウト密度検証システムに関する。

従来は、ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルにおいて、全面メタルパターンのモデルを使用する手法や、マクロの配線形状を展開する手法、マクロ内のメタル密度の分布を領域別のテーブル形式で保持する手法、等が用いられていた。

図１に示すような全面メタルパターンのモデルを使用する手法では、マクロ内部のメタル密度が１００％で計算される。しかし、この手法では、マクロモデルのメタル層の状態が実際のメタル密度を全く反映していないため、マクロ周辺にダミーメタルが十分挿入されず、チップ組み上げ後にメタル密度エラーが発生する可能性が残る。

図２に示すようなマクロの配線形状を展開する手法では、メタル密度の見積もり精度は向上するが、複雑なマクロ内配線形状を展開するため、計算時のメモリ消費量が大きくなる。また、マクロ内部のメタル層の複雑な図形情報を全て保持する必要があり、図形情報を格納するためのメモリ容量が多く必要となる。

図３に示すようなマクロ内のメタル密度の分布を領域別のテーブル形式で保持する手法では、メタル密度の見積もりは一定の精度で行えるが、メタル密度の表示方法が抽象化されたものになっているため、計算値に誤差が発生し、チップ組み上げ後にメタル密度エラーが発生する可能性が残る。また、この手法では、密度の表現をＲＥＣＴ単位で行っているため、チェック時のウィンドウ（チェックウィンドウ）とＲＥＣＴの境界が一致しない場合、誤差が発生する可能性がある。通常、ＲＥＣＴ構造体については、四角形（矩形）の左上隅と右下隅の座標を定義する。

また、図４に示すようなマクロ境界の一定部分についてレイアウト形状を表現したモデルが、主に配線ルール遵守の観点から用いられることがある。図４に示されたモデルは、配線ＤＲＣ（Ｄｅｓｉｇｎ Ｒｕｌｅ Ｃｈｅｃｋ）のみ考慮したモデルである。この場合、マクロ境界からの距離は、配線ルール上の最大メタル幅に対するスペーシングルールが及ぶ範囲までとなっており、メタル密度が正確に表現されていない。

関連する技術として、特開２００５−２２８２０８号公報（特許文献１）にチップのレイアウト密度検証方法が開示されている。
この関連技術は、チップ上への各種回路部品を表すマクロを配置するレイアウトにおける密度検証方法であって、チップへ配置するマクロのレイアウトデータ作成の段階で、マクロの特定層のデータ密度を算出し、マクロのレイアウトデータ作成の段階で作成されるマクロの端子情報やサイズ情報を含むファイルに、パラメータとして当該マクロに対応付けて付与し、マクロの端子情報やサイズ情報を元にチップへマクロの配置をするレイアウト段階で、パラメータを参照することにより、マクロの密度を反映したチップ上における密度の検証を行う。

特開２００５−２２８２０８号公報

ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルについて、マクロ外周部から、一定の距離分だけ内部の配線形状を保持したモデルを作成し、このモデルを用いてメタル密度チェック及び修正を行う。

本発明のレイアウト密度検証システムは、レイアウトデータに含まれるマクロの座標情報を取得し、レイアウトデータに含まれるマクロの数、位置、及び形状を特定するレイアウトデータ解析部と、メタル密度チェックを行う際にチェック単位となるウィンドウの１辺の長さを特定し、レイアウトデータに含まれるマクロに対し、マクロの外周から内側に向かって、少なくともウィンドウの１辺の長さの幅の領域を確保し、確保された幅の領域だけ内部の配線形状を保持し、他の内部領域をメタルでマスクしたモデルを作成するモデル作成部と、作成されたモデルに対し、メタルでマスクされた領域のメタル密度を１００％と判断し、内部の配線形状が保持された領域のメタル密度チェックを行い、マクロのメタル密度の分布をチェックするメタル密度チェック部とを具備する。

本発明のレイアウト密度検証方法は、レイアウトデータに含まれるマクロの座標情報を取得し、レイアウトデータに含まれるマクロの数、位置、及び形状を特定するステップと、メタル密度チェックを行う際にチェック単位となるウィンドウの１辺の長さを特定するステップと、レイアウトデータに含まれるマクロに対し、マクロの外周から内側に向かって、少なくともウィンドウの１辺の長さの幅の領域を確保し、確保された幅の領域だけ内部の配線形状を保持し、他の内部領域をメタルでマスクしたモデルを作成するステップと、作成されたモデルに対し、メタルでマスクされた領域のメタル密度を１００％と判断し、内部の配線形状が保持された領域のメタル密度チェックを行い、マクロのメタル密度の分布をチェックするステップとを含む。

本発明のレイアウト密度検証用プログラムは、レイアウトデータに含まれるマクロの座標情報を取得し、レイアウトデータに含まれるマクロの数、位置、及び形状を特定するステップと、メタル密度チェックを行う際にチェック単位となるウィンドウの１辺の長さを特定するステップと、レイアウトデータに含まれるマクロに対し、マクロの外周から内側に向かって、少なくともウィンドウの１辺の長さの幅の領域を確保し、確保された幅の領域だけ内部の配線形状を保持し、他の内部領域をメタルでマスクしたモデルを作成するステップと、作成されたモデルに対し、メタルでマスクされた領域のメタル密度を１００％と判断し、内部の配線形状が保持された領域のメタル密度チェックを行い、マクロのメタル密度の分布をチェックするステップとをコンピュータに実行させるためのプログラムである。

メタル密度チェックの精度を向上し、メタル密度チェック実行時のメモリ使用量、処理負荷、及び処理時間を削減する。

以下に、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。
図５を参照すると、本発明のレイアウト密度検証システムは、記憶部１０と、処理部２０と、表示部３０を備える。

記憶部１０は、レイアウトデータ、及び当該レイアウトデータに基づく処理結果データを記憶する。このとき、記憶部１０は、外部の入力装置や記憶装置からレイアウトデータを取得する。或いは、記憶部１０は、レイアウトデータを予め記憶していても良い。記憶部１０の例として、メモリ等の半導体記憶装置、ハードディスク等の外部記憶装置（ストレージ）、又は、記憶媒体（メディア）等が考えられる。但し、実際には、これらの例に限定されない。

処理部２０は、レイアウトデータに基づいて、メタル密度チェックを行い、処理結果データを作成する。メタル密度チェックとは、所定の領域内のメタル密度の分布のチェックを示す。処理部２０の例として、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）やマイクロプロセッサ（ｍｉｃｒｏｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）等の処理装置、又は同様の機能を有する半導体集積回路（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ（ＩＣ））等が考えられる。なお、処理部２０は、各々の機能をコンピュータに実行させるためのプログラムでも良い。但し、実際には、これらの例に限定されない。

表示部３０は、処理結果データを表示する。表示部３０の例として、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）やＰＤＰ（プラズマディスプレイ）、有機ＥＬディスプレイ（ｏｒｇａｎｉｃ ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ ｄｉｓｐｌａｙ）等の表示装置、又は、表示内容を壁やスクリーンに投影するプロジェクタ等の映写装置、表示内容を用紙等に印刷するプリンタ等の印刷装置等が考えられる。或いは、表示部３０は、外部の表示装置や記憶装置に処理結果データを出力するためのインターフェース（Ｉ／Ｆ：ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）でも良い。すなわち、表示部３０は、何らかの出力装置であれば良い。但し、実際には、これらの例に限定されない。

処理部２０は、レイアウトデータ解析部２１と、モデル作成部２２と、メタル密度チェック部２３と、メタル密度修正部２４を備える。

レイアウトデータ解析部２１は、レイアウトデータを解析し、マクロの数や位置、及び形状を特定する。例えば、レイアウトデータ解析部２１は、マクロの頂点部（隅／角）の座標情報を抽出し、座標情報に基づいて、マクロの数や位置を特定する。このとき、レイアウトデータ解析部２１は、座標情報の数が４つであれば、マクロの形状が四角形（矩形）であると判定する。

モデル作成部２２は、個々のマクロに対し、マクロ外周部（マクロの外縁／端）からマクロの内側に向かって、一定の距離分だけ内部の配線形状を保持したモデル（ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデル）を作成する。このとき、モデル作成部２２は、配線形状が保持された領域以外の部分はメタルでマスクする。本発明では、モデル作成部２２は、メタル密度チェックを行う際にチェック単位となるウィンドウ（チェックウィンドウ）の１辺の長さを特定し、マクロ外周部から内側に向かって、ウィンドウの１辺の長さと同じか、それ以上の幅の領域を確保し、確保された幅の領域だけ内部の配線形状を保持したモデルを作成する。すなわち、モデル作成部２２は、マクロの外周部に沿って、少なくともウィンドウの１辺の長さと同じ幅の領域を確保し、確保された幅の領域だけ内部の配線形状を保持したモデルを作成する。このとき、確保された幅の領域が、ウィンドウの１辺の長さを超過する場合、超過分は、ウィンドウの１辺の長さを超えない長さであると好適である。その理由は、本発明では、最低限、マクロ外周部からウィンドウ分の領域だけ内部の配線形状を保持できていれば良く、必要以上の領域に内部の配線形状を保持すると、マクロのメタル密度チェックにおける負荷が増えるためである。

ここでは、モデル作成部２２は、マクロの形状が四角形（矩形）であれば、マクロ内の領域をテーブル化する。また、モデル作成部２２は、マクロの形状が四角形（矩形）で無ければ、マクロ外周部から、一定の距離分だけ内部の配線形状を保持したモデルを作成する。通常、マクロの形状が四角形（矩形）で無い場合、多角形であることが多い。すなわち、モデル作成部２２は、マクロの形状が四角形（矩形）のような単純な形状であれば、テーブル形式でのメタル密度の検証方法を選択する。その理由は、マクロの形状が四角形（矩形）であれば、ウィンドウがテーブル形式で区切られたテーブル内の各領域の境界にかかる場合でも、メタル密度チェックを容易に行うことができるからである。また、多角形形状のマクロに対しては、テーブル形式のマクロモデルでは誤差が発生しやすいためである。例えば、テーブル形式のマクロモデルを多角形形状のマクロに対して適用した場合、マクロの形状によっては、区切られた領域の境界等の問題で、ウィンドウが３つ以上の領域にまたがることもあり、１つの領域内のメタル密度の分布を正確に把握できない事態が考えられる。

メタル密度チェック部２３は、マクロの頂点部（隅／角）の１つから順番に、ウィンドウサイズ分ずつ、マクロのメタル密度チェックを行う。例えば、メタル密度チェック部２３は、上面図で示されたマクロの左上から右下まで、行あるいは列に沿って、ウィンドウサイズ分ずつ、マクロのメタル密度チェックを行う。なお、ウィンドウサイズとは、ウィンドウにより覆われた領域、もしくはウィンドウの枠により囲まれた領域を示す。また、メタル密度チェック部２３は、メタル密度チェックの結果を示すデータを作成し、記憶部１０に格納する。或いは、メタル密度チェック部２３は、メタル密度チェックの結果を示すデータを、直接、外部に出力しても良い。更に、メタル密度チェック部２３は、マクロのメタル密度が所定の基準を満たしているか判定する。

メタル密度修正部２４は、マクロのメタル密度が所定の基準を満たしていない場合、メタル密度を修正する。例えば、メタル密度修正部２４は、予め設定された規則に従って、マクロの内部の配線のレイアウトを修正する。或いは、メタル密度修正部２４は、外部入力に応じて、マクロの内部の配線のレイアウトを修正する。

図６を参照して、本発明に係るＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルについて説明する。
本発明のレイアウト密度検証システムでは、ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルにおいて、マクロ外周部から内側にレイアウト形状を見せるように、メタル密度チェックを行う際に、少なくともチェック単位となるウィンドウの１辺の長さの幅の領域を確保する。確保された領域以外の部分はメタルでマスクする。

通常、ウィンドウの形状は正方形であり、ウィンドウサイズは仕様により決まっている。なお、ウィンドウサイズは、任意に変更可能にしても良い。

図７を参照して、本発明におけるレイアウト密度検証の手順について説明する。
（１）ステップＳ１０１
レイアウトデータ解析部２１は、レイアウトデータを参照する。ここでは、レイアウトデータ解析部２１は、記憶部１０に格納されたレイアウトデータを読み取る。

（２）ステップＳ１０２
レイアウトデータ解析部２１は、レイアウトデータに基づいて、レイアウトデータの配線層の階層毎に、マクロ情報と、形状情報を取得し、レイアウトデータに含まれるマクロの数を確認する。マクロ情報には、レイアウトデータに含まれるマクロの数を示す情報を含む。形状情報は、マクロの頂点部（隅／角）の位置を示す座標情報を含む。ここでは、レイアウトデータ解析部２１は、レイアウトデータの配線層のうち最下位層から順に、マクロ情報と、形状情報を取得し、レイアウトデータに含まれるマクロの数を確認する。

（３）ステップＳ１０３
レイアウトデータ解析部２１は、マクロ毎に、マクロの形状が四角形（矩形）か否か判定する。例えば、レイアウトデータ解析部２１は、マクロの頂点部（隅／角）の座標情報の数が４つであれば、マクロの形状が四角形（矩形）であると判定する。

（４）ステップＳ１０４
モデル作成部２２は、マクロの形状が四角形（矩形）であれば、マクロ内の領域をテーブル化する。ここでは、モデル作成部２２は、マクロ内の領域をテーブル形式に区切ったモデルを作成する。なお、区切られたテーブル内の各領域のサイズは、ウィンドウサイズにしても良い。

（５）ステップＳ１０５
メタル密度チェック部２３は、区切られたテーブル内の各領域におけるメタル密度の分布をチェックし、マクロ内のメタル密度の分布を領域別のテーブル形式で表現した結果データを作成し、記憶部１０に格納する。

（６）ステップＳ１０６
モデル作成部２２は、マクロの形状が四角形（矩形）で無ければ、本発明に係るＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルを作成する。ここでは、モデル作成部２２は、図６に示すようなＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルを作成する。通常、マクロの形状が四角形（矩形）で無い場合、多角形であることが多い。

（７）ステップＳ１０７
メタル密度チェック部２３は、ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルにおいて、一部又は全部がマスクされていない領域のメタル密度の分布をチェックし、一部又は全部がマスクされていない領域のメタル密度を示す結果データを作成し、記憶部１０に格納する。或いは、外部に出力する。なお、ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルにおいて、全面的にマスクされている領域のメタル密度は、常に１００％となる。従って、メタル密度チェック部２３は、無条件に、全面的にマスクされている領域のメタル密度を１００％と判断する。

（８）ステップＳ１０８
メタル密度チェック部２３は、マクロのメタル密度チェックが終了すると、対象となる階層内の残りのマクロのメタル密度チェックを開始する。例えば、メタル密度チェック部２３は、レイアウトデータ解析部２１又はモデル作成部２２に、マクロのメタル密度チェックが終了した旨を通知し、残りのマクロのメタル密度チェックのための処理の開始を要求するようにしても良い。なお、実際には、メタル密度チェック部２３は、同一階層内の全てのマクロのメタル密度チェックを同時に行うようにしても良い。

（９）ステップＳ１０９
メタル密度チェック部２３は、対象となる階層内の全てのマクロのメタル密度チェックが終了すると、上位階層にあるマクロのメタル密度チェックを開始する。

（１０）ステップＳ１１０
メタル密度チェック部２３は、レイアウトデータに含まれる全ての配線層のマクロのメタル密度チェックを完了すると、記憶部１０に格納されている個々のメタル密度チェックの結果データに基づいて、個々のマクロのメタル密度が基準を満たしているか否か判定する。なお、実際には、メタル密度チェック部２３は、対象となる階層内の全てのマクロのメタル密度チェックを完了する毎に、或いは、個々のマクロのメタル密度チェックを完了する毎に、記憶部１０に格納されている個々のマクロのメタル密度が基準を満たしているか否か判定するようにしても良い。メタル密度チェック部２３は、全ての配線層のマクロのメタル密度が基準を満たしている場合、処理を終了する。

（１１）ステップＳ１１１
メタル密度修正部２４は、メタル密度チェックが行われたマクロのうち１つでもメタル密度が基準を満たしていない場合、メタル密度が基準を満たすように、内部の配線形状を変更し、メタル密度を修正する。ここでは、メタル密度修正部２４は、修正後のデータに基づいて、格納されているレイアウトデータを更新し、再度、メタル密度チェックのための処理を開始する。

図８を参照して、ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルの生成手順について説明する。

（１）ステップＳ２０１
レイアウトデータ解析部２１は、レイアウトデータを解析し、マクロの数や位置、及び形状を特定する。このとき、レイアウトデータ解析部２１は、マクロ毎に、マクロの内部構造を確認する。ここでは、図９に示すように、マクロは、ピンと、ワイヤーと、ダミーメタルを含むものとする。

（２）ステップＳ２０２
モデル作成部２２は、図１０に示すように、マクロ境界から内側にメタル密度のチェックウインドウの１辺に相当する距離で内部領域を設定する。

（３）ステップＳ２０３
モデル作成部２２は、内部領域内の各層の配線、及びＶＩＡ（上下層配線の接続部）を削除する。ここでは、図１１に示すように、モデル作成部２２は、内部領域内のワイヤーやダミーメタルを削除する。

（４）ステップＳ２０４
モデル作成部２２は、内部領域、及び残った配線、ＶＩＡ、及びピンをＯＢＳ図形に変換し、ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルとする。ここでは、図１２に示すように、モデル作成部２２は、内部領域内を全面メタルとし、マクロの全体図をＯＢＳ図形に変換する。なお、ＯＢＳ図形とは、モデル内に配線禁止領域を示した図形である。

以上のように、本発明は、ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルにおいて、メタル密度チェックを行う際にチェック単位となるウィンドウの１辺の長さ分と同等、もしくは長さ分以上だけ、マクロ外周部から内側にレイアウト形状を見せるような構造を持たせたマクロモデルを作成することで、マクロモデル使用時のメタル密度チェックの精度を向上させると共に、処理実行時のメモリ消費量及び実行時間の削減を行うことを特徴とする。

本発明では、ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルについて、マクロ外周部から、一定の距離分だけ内部の配線形状を保持したモデルを作成し、このモデルを用いてメタル密度チェック及び修正を行う。

本発明により、メタル密度チェックの精度を向上し、メタル密度チェック実行時のメモリ使用量、処理負荷、及び処理時間を削減する。その理由は、マクロ外周部からメタル密度チェックのウィンドウサイズ分だけマクロ内の配線形状を保持しており、マクロ周辺部におけるメタル密度の状況を正確に表現できるためである。また、マクロ内部のチェック不要な部分がマスクされており、モデルのデータ量が削減されているためである。

以上、本発明の実施形態を詳述してきたが、実際には上記の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の変更があっても本発明に含まれる。

図１は、全面メタルパターンのモデルの例を示す図である。 図２は、マクロの配線形状を展開したモデルの例を示す図である。 図３は、マクロ内のメタル密度の分布を領域別のテーブル形式で保持したモデルの例を示す図である。 図４は、配線ＤＲＣ（Ｄｅｓｉｇｎ Ｒｕｌｅ Ｃｈｅｃｋ）のみ考慮したモデルの例を示す図である。 図５は、本発明のレイアウト密度検証システムの構成例を示すブロック図である。 図６は、本発明に係るＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルの例を示す図である。 図７は、本発明におけるレイアウト密度検証手順を示すフローチャートである。 図８は、ＬＳＩレイアウト設計用マクロモデルの生成手順を示すフローチャートである。 図９は、マクロの内部構造を示す概念図である。 図１０は、内部領域を設定したモデルの例を示す概念図である。 図１１は、内部領域の配線を削除したモデルの例を示す概念図である。 図１２は、ＯＢＳ図形に変換したモデルの例を示す概念図である。

符号の説明

１０… 記憶部
２０… 処理部
２１… レイアウトデータ解析部
２２… モデル作成部
２３… メタル密度チェック部
２４… メタル密度修正部
３０… 表示部

Claims (15)

1. レイアウトデータに含まれるマクロの座標情報を取得し、前記レイアウトデータに含まれるマクロの数、位置、及び形状を特定するレイアウトデータ解析部と、
   メタル密度チェックを行う際にチェック単位となるウィンドウの１辺の長さを特定し、前記レイアウトデータに含まれるマクロに対し、前記マクロの外周から内側に向かって、少なくとも前記ウィンドウの１辺の長さの幅の領域を確保し、前記確保された幅の領域だけ内部の配線形状を保持し、他の内部領域をメタルでマスクしたモデルを作成するモデル作成部と、
   前記作成されたモデルに対し、メタルでマスクされた領域のメタル密度を１００％と判断し、内部の配線形状が保持された領域のメタル密度チェックを行い、前記マクロのメタル密度の分布をチェックするメタル密度チェック部と
   を具備する
   レイアウト密度検証システム。
2. 請求項１に記載のレイアウト密度検証システムであって、
   前記レイアウトデータ解析部は、前記マクロの形状が矩形か否か判定し、
   前記モデル作成部は、前記マクロの形状が矩形でなければ、前記マクロの外周から内側に向かって、少なくとも前記ウィンドウの１辺の長さの幅の領域を確保し、前記確保された幅の領域内に内部の配線形状を保持し、他の内部領域をメタルでマスクしたモデルを作成する
   レイアウト密度検証システム。
3. 請求項２に記載のレイアウト密度検証システムであって、
   前記モデル作成部は、前記マクロの形状が矩形であれば、前記マクロ内の領域をテーブル形式に区切り、
   前記メタル密度チェック部は、前記区切られたテーブル内の各領域におけるメタル密度の分布をチェックし、前記マクロのメタル密度の分布を領域別のテーブル形式で表現した結果データを作成する
   レイアウト密度検証システム。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載のレイアウト密度検証システムであって、
   前記メタル密度チェック部は、配線層の最下位層から順に、同一階層内のマクロのメタル密度の分布をチェックし、同一階層内の全てのマクロのメタル密度の分布のチェックを完了した場合、上位層のマクロのメタル密度の分布をチェックする
   レイアウト密度検証システム。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載のレイアウト密度検証システムであって、
   前記レイアウトデータに含まれるマクロのうち、少なくとも１つのマクロのメタル密度が所定の基準を満たしていない場合、メタル密度が所定の基準を満たしていないマクロのメタル密度を修正し、前記レイアウトデータを更新し、前記更新されたレイアウトデータを前記レイアウトデータ解析部に提供するメタル密度修正部
   を更に具備する
   レイアウト密度検証システム。
6. レイアウトデータに含まれるマクロの座標情報を取得し、前記レイアウトデータに含まれるマクロの数、位置、及び形状を特定するステップと、
   メタル密度チェックを行う際にチェック単位となるウィンドウの１辺の長さを特定するステップと、
   前記レイアウトデータに含まれるマクロに対し、前記マクロの外周から内側に向かって、少なくとも前記ウィンドウの１辺の長さの幅の領域を確保し、前記確保された幅の領域だけ内部の配線形状を保持し、他の内部領域をメタルでマスクしたモデルを作成するステップと、
   前記作成されたモデルに対し、メタルでマスクされた領域のメタル密度を１００％と判断し、内部の配線形状が保持された領域のメタル密度チェックを行い、前記マクロのメタル密度の分布をチェックするステップと
   を含む
   レイアウト密度検証方法。
7. 請求項６に記載のレイアウト密度検証方法であって、
   前記マクロの形状が矩形か否か判定するステップと、
   前記マクロの形状が矩形でなければ、前記マクロの外周から内側に向かって、少なくとも前記ウィンドウの１辺の長さの幅の領域を確保し、前記確保された幅の領域内に内部の配線形状を保持し、他の内部領域をメタルでマスクしたモデルを作成するステップと
   を更に含む
   レイアウト密度検証方法。
8. 請求項７に記載のレイアウト密度検証方法であって、
   前記マクロの形状が矩形であれば、前記マクロ内の領域をテーブル形式に区切るステップと、
   前記区切られたテーブル内の各領域におけるメタル密度の分布をチェックし、前記マクロのメタル密度の分布を領域別のテーブル形式で表現した結果データを作成するステップと
   を更に含む
   レイアウト密度検証方法。
9. 請求項６乃至８のいずれか一項に記載のレイアウト密度検証方法であって、
   配線層の最下位層から順に、同一階層内のマクロのメタル密度の分布をチェックするステップと、
   同一階層内の全てのマクロのメタル密度の分布のチェックを完了した場合、上位層のマクロのメタル密度の分布をチェックするステップと
   を更に含む
   レイアウト密度検証方法。
10. 請求項６乃至９のいずれか一項に記載のレイアウト密度検証方法であって、
    前記レイアウトデータに含まれるマクロのうち、少なくとも１つのマクロのメタル密度が所定の基準を満たしていない場合、メタル密度が所定の基準を満たしていないマクロのメタル密度を修正し、前記レイアウトデータを更新するステップ
    を更に含む
    レイアウト密度検証方法。
11. レイアウトデータに含まれるマクロの座標情報を取得し、前記レイアウトデータに含まれるマクロの数、位置、及び形状を特定するステップと、
    メタル密度チェックを行う際にチェック単位となるウィンドウの１辺の長さを特定するステップと、
    前記レイアウトデータに含まれるマクロに対し、前記マクロの外周から内側に向かって、少なくとも前記ウィンドウの１辺の長さの幅の領域を確保し、前記確保された幅の領域だけ内部の配線形状を保持し、他の内部領域をメタルでマスクしたモデルを作成するステップと、
    前記作成されたモデルに対し、メタルでマスクされた領域のメタル密度を１００％と判断し、内部の配線形状が保持された領域のメタル密度チェックを行い、前記マクロのメタル密度の分布をチェックするステップと
    をコンピュータに実行させるための
    レイアウト密度検証用プログラム。
12. 請求項１１に記載のレイアウト密度検証用プログラムであって、
    前記マクロの形状が矩形か否か判定するステップと、
    前記マクロの形状が矩形でなければ、前記マクロの外周から内側に向かって、少なくとも前記ウィンドウの１辺の長さの幅の領域を確保し、前記確保された幅の領域内に内部の配線形状を保持し、他の内部領域をメタルでマスクしたモデルを作成するステップと
    を更にコンピュータに実行させるための
    レイアウト密度検証用プログラム。
13. 請求項１２に記載のレイアウト密度検証用プログラムであって、
    前記マクロの形状が矩形であれば、前記マクロ内の領域をテーブル形式に区切るステップと、
    前記区切られたテーブル内の各領域におけるメタル密度の分布をチェックし、前記マクロのメタル密度の分布を領域別のテーブル形式で表現した結果データを作成するステップと
    を更にコンピュータに実行させるための
    レイアウト密度検証用プログラム。
14. 請求項１１乃至１３のいずれか一項に記載のレイアウト密度検証用プログラムであって、
    配線層の最下位層から順に、同一階層内のマクロのメタル密度の分布をチェックするステップと、
    同一階層内の全てのマクロのメタル密度の分布のチェックを完了した場合、上位層のマクロのメタル密度の分布をチェックするステップと
    を更にコンピュータに実行させるための
    レイアウト密度検証用プログラム。
15. 請求項１１乃至１４のいずれか一項に記載のレイアウト密度検証用プログラムであって、
    前記レイアウトデータに含まれるマクロのうち、少なくとも１つのマクロのメタル密度が所定の基準を満たしていない場合、メタル密度が所定の基準を満たしていないマクロのメタル密度を修正し、前記レイアウトデータを更新するステップ
    を更にコンピュータに実行させるための
    レイアウト密度検証用プログラム。

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