JP2010101766A - 電圧発生装置及びこれを用いたicテスタ - Google Patents
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Abstract
【課題】各リレーを個別に開閉することなく、リレーの診断を行える電圧発生装置及びこれを用いたICテスタを実現することを目的にする。
【解決手段】本発明は、並列に接続された複数のリレーにより同時に開閉を行い、これらのリレーを介して、電圧出力を行う電圧発生装置及びこれを用いたICテスタに改良を加えたものである。本装置は、リレー間の少なくとも一方の同士間に設けられる抵抗と、この抵抗の一端、他端、リレーの一端、他端の既知でない電圧を、リレーのオン時に測定する電圧測定部と、この電圧測定部が測定した電圧に基づいて、リレーの診断を行う診断部とを備えたことを特徴とする装置である。
【選択図】図1
【解決手段】本発明は、並列に接続された複数のリレーにより同時に開閉を行い、これらのリレーを介して、電圧出力を行う電圧発生装置及びこれを用いたICテスタに改良を加えたものである。本装置は、リレー間の少なくとも一方の同士間に設けられる抵抗と、この抵抗の一端、他端、リレーの一端、他端の既知でない電圧を、リレーのオン時に測定する電圧測定部と、この電圧測定部が測定した電圧に基づいて、リレーの診断を行う診断部とを備えたことを特徴とする装置である。
【選択図】図1
Description
本発明は、並列に接続された複数のリレーにより同時に開閉を行い、これらのリレーを介して、電圧出力を行う電圧発生装置及びこれを用いたICテスタに関し、各リレーを個別に開閉することなく、リレーの診断を行える電圧発生装置及びこれを用いたICテスタに関するものである。
ICテスタは、被測定対象(以下DUT)であるIC、LSI等に試験信号を与え、DUTの出力により、DUTの良否の判定を行っている。そして、DUTに対して電源を供給する場合、大電流の電圧を、リレー、ケーブル等を介して、DUTに供給している。このような装置を図4に示し説明する。
図4において、ドライバDは大電流の電圧を発生させる。リレーSW1〜SW4は、並列に設けられ、一端がドライバDの出力端に接続され、他端からDUTに出力する。
このような装置は、リレーSW1〜SW4を図示しない制御部により同時にオンし、DUTに対して、ドライバDから大電流の電圧を与える。
このような装置では、リレーSW1〜SW4を並列に設けて、同時に開閉することにより、電流定格を確保している。一般に、リレーは、有寿命部品で、かつ、不良率が高い部品であり、オン抵抗の劣化等の故障が起こる。そして、リレーを並列にした場合、仮に1個のリレーが壊れても、他のリレーが壊れない限り電流を流すことが可能で、リレーの絶対定格を越えた使い方になり、発火や発煙などを引き起こしてしまう。
そこで、各リレーを別々に制御して、上記特許文献1等のように、個別にリレーを診断することが考えられるが、個別にリレーの開閉を行わなくてはならない。また、実装密度向上を目的に2メークや3メークのリレーを採用した場合、別々に開閉できない。
本発明の目的は、各リレーを個別に開閉することなく、リレーの診断を行える電圧発生装置及びこれを用いたICテスタを実現することにある。
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
並列に接続された複数のリレーにより同時に開閉を行い、これらのリレーを介して、電圧出力を行う電圧発生装置において、
前記リレー間の少なくとも一方の同士間に設けられる抵抗と、
この抵抗の一端、他端、前記リレーの一端、他端の既知でない電圧を、前記リレーのオン時に測定する電圧測定部と、
この電圧測定部が測定した電圧に基づいて、前記リレーの診断を行う診断部と
を備えたことを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明であって、
前記リレーの一端または他端に電気的に接続される電流源を設け、前記診断部が電流源の電流値と共に、リレーの診断を行うことを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、
並列に接続された複数の第1のリレーにより同時に開閉を行い、これらの第1のリレーを介して、電圧出力を行うと共に、この電圧出力を電圧測定部により電圧測定を行う電圧発生装置において、
前記電圧測定部の測定経路に設けられる第2のリレーと、
前記第1のリレーの入力端を一端に接続し、前記電圧測定部の入力端を他端に接続する抵抗と、
前記第2のリレーのオン、オフ時に、前記電圧測定部が測定した電圧に基づいて、前記第1のリレーの診断を行う診断部と
を有することを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項3記載の発明であって、
前記第1のリレーの出力端に接続される負荷抵抗を設けたことを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、ICテスタにおいて、
請求項1〜4のいずれかに記載の電圧発生装置を用いたことを特徴とするものである。
並列に接続された複数のリレーにより同時に開閉を行い、これらのリレーを介して、電圧出力を行う電圧発生装置において、
前記リレー間の少なくとも一方の同士間に設けられる抵抗と、
この抵抗の一端、他端、前記リレーの一端、他端の既知でない電圧を、前記リレーのオン時に測定する電圧測定部と、
この電圧測定部が測定した電圧に基づいて、前記リレーの診断を行う診断部と
を備えたことを特徴とするものである。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明であって、
前記リレーの一端または他端に電気的に接続される電流源を設け、前記診断部が電流源の電流値と共に、リレーの診断を行うことを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、
並列に接続された複数の第1のリレーにより同時に開閉を行い、これらの第1のリレーを介して、電圧出力を行うと共に、この電圧出力を電圧測定部により電圧測定を行う電圧発生装置において、
前記電圧測定部の測定経路に設けられる第2のリレーと、
前記第1のリレーの入力端を一端に接続し、前記電圧測定部の入力端を他端に接続する抵抗と、
前記第2のリレーのオン、オフ時に、前記電圧測定部が測定した電圧に基づいて、前記第1のリレーの診断を行う診断部と
を有することを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項3記載の発明であって、
前記第1のリレーの出力端に接続される負荷抵抗を設けたことを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、ICテスタにおいて、
請求項1〜4のいずれかに記載の電圧発生装置を用いたことを特徴とするものである。
本発明によれば、以下のような効果がある。
請求項1,2,5によれば、リレー間の一方の同士間に抵抗を設け、リレーのオン時に、電圧測定部が抵抗の一端、他端、リレーの一端、他端の電圧を測定し、診断部がリレーの各オン抵抗値を求めるので、各リレーを個別に開閉することなく、各リレーの診断が行える。
請求項1,2,5によれば、リレー間の一方の同士間に抵抗を設け、リレーのオン時に、電圧測定部が抵抗の一端、他端、リレーの一端、他端の電圧を測定し、診断部がリレーの各オン抵抗値を求めるので、各リレーを個別に開閉することなく、各リレーの診断が行える。
また、請求項3〜5によれば、電圧測定部が、複数の第1のリレーの両端の電圧を測定し、診断部が複数の第1のリレーの電圧変化を判断するので、各第1のリレーを個別に開閉することなく、第1のリレーの診断が行える。
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。
図1において、ドライバDは大電流の電圧を発生させる。リレーSW1〜SW4は、並列に設けられ、一端(入力端)がドライバDの出力端に接続される。そして、リレーSW1の他端(出力端)はDUTに接続される。抵抗R1〜R3は、それぞれ、リレーSW1〜SW4間の他端同士間に設けられる。電流源Iは、一端をスイッチSW1の他端に接続し、他端を接地する。マルチプレクサ1は、抵抗R1〜R3の一端、他端に接続され、リレーSW1〜SW4の一端に接続され、選択を行う。電圧測定部2は、マルチプレクサ1の出力を入力し、測定を行う。診断部3は、電圧測定部2が測定した電圧値、電流源Iの電流値(既知)に基づいて、リレーSW1〜SW4の診断を行う。
このような装置の動作を以下に説明する。図2は図1に示す装置の等価回路図で、r1〜r4は、それぞれリレーSW1〜SW4のオン抵抗値とする。そして、V1〜V4は、リレーSW1〜SW4の他端の電圧値、V5はリレーSW1の一端の電圧値である。電流i1〜i4は、それぞれ抵抗R3〜R1、電流源Iの電流値である。
図示しない制御部が、リレーSW1〜SW4をオンとする。そして、電流源Iが、定電流i4を流す。制御部が、マルチプレクサ1にリレーSW1〜SW4の他端、リレーSW1の一端を順に選択し、電圧測定部2が電圧測定を行い、電圧値V1〜V5を得る。そして、診断部3が、電流値i4と電圧値V1〜V5により、オン抵抗r1〜r4を求め、オン抵抗の変化、つまり、オン抵抗が大きくなれば、リレーSW1〜SW4の故障を検出する。
次に、オン抵抗の具体的な求め方を説明する。まず、抵抗R1〜R3の抵抗値がrとすると、電流値i3〜i1はそれぞれ以下のように求められる。
i3=(V2−V1)/r、i2=(V3−V2)/r、i1=(V4−V3)/r
i3=(V2−V1)/r、i2=(V3−V2)/r、i1=(V4−V3)/r
これら電流値i1〜i4と電圧値V1〜V5により、オン抵抗値r1〜r4はそれぞれ以下のように求められる。
r1=(V5−V1)/(i4−i3)、r2=(V5−V2)/(i4−i3−i2)、r3=(V5−V3)/(i4−i3−i2−i1)、r4=(V5−V4)/i1
r1=(V5−V1)/(i4−i3)、r2=(V5−V2)/(i4−i3−i2)、r3=(V5−V3)/(i4−i3−i2−i1)、r4=(V5−V4)/i1
このように、リレーSW1〜SW4の一端同士間に抵抗R1〜R3を設け、マルチプレクサ1で選択し、電圧測定部2が抵抗R1〜R3の一端、他端、リレーSW1〜SW4の一端の電圧を測定し、診断部3がリレーSW1〜SW4の各オン抵抗値を求めるので、各リレーSW1〜SW4を個別に開閉することなく、各リレーSW1〜SW4の診断が行える。
次に、他の実施例を図3に示し説明する。図3において、電圧出力部4は、D/A変換器41、バッファアンプ42を有し、大電流の電圧出力を行う。D/A変換器41は、バッファアンプ42の非反転入力端子に出力端が接続される。第1のリレーSW5〜SW7は、並列に設けられ、電圧出力部4のバッファアンプ42の出力端に一端(入力端)が接続される。電圧測定部5は、A/D変換器51、バッファアンプ52を有し、電圧測定を行う。A/D変換器51は、バッファアンプ52の出力端に入力端が接続される。第2のリレーSW8は、電圧測定部5の測定経路、つまり、リレーSW5〜SW7の出力端と電圧測定部5のバッファアンプ52の非反転入力端子との間に設けられる。診断部6は、第2のリレーSW8のオン、オフ時に、電圧測定部5が測定した電圧値に基づいて、リレーSW5〜SW7の診断を行う。制御部7は、リレーSW5〜SW7を同時に開閉し、リレーSW8を開閉する。負荷抵抗RLは、第1のリレーSW5〜SW7の他端(出力端)に一端が接続され、他端が接地される。電圧計8は、負荷抵抗RLの電圧を測定する。抵抗Rは、第1のリレーSW5〜SW7の入力端を一端に接続し、電圧測定部5の入力端を他端に接続する。ここで、抵抗Rは、リレーSW8のオン抵抗(一般に100mΩ程度)に対して十分大きな値(数MΩ)とする。
このような装置の動作を以下に説明する。制御部7が、リレーSW5〜SW8をオンとする。そして、電圧出力部4が電圧出力を行い、電流ILを流すと、電圧計8が負荷抵抗RLの電圧VL=RL×ILを測定する。このとき、電圧測定部5も測定し、V1とする。VLとV1の比較により、診断部6が電圧測定部5の補正(校正)が行われる。
次に、制御部7が、リレーSW5〜SW7をオンとし、リレーSW8をオフとする。再び、電圧出力部4が電流ILを流すと、電圧計8が負荷抵抗RLの電圧VLを測定する。そして、電圧測定部5が、電圧出力部4の出力端の電圧V2、つまり、抵抗Rを介して、リレーSW5〜SW7の合成抵抗による電圧V3と負荷抵抗RLの電圧V(=V1)との和を測定する。そして、V(V1),V2,V3の関係は下記のようになる。ここで、リレーSW5〜SW7のオン抵抗r5〜r7とする。
V2=(r5×r6×r7)/(r5+r6+r7)×IL+V
V3=(r5×r6×r7)/(r5+r6+r7)×IL
V3=V2−V1
V3=(r5×r6×r7)/(r5+r6+r7)×IL
V3=V2−V1
リレーSW5〜SW7の1つでも故障すると、電圧V3が変化するので、リレーSW5〜SW7が故障していることがわかる。例えば、RL=1[Ω]、r5〜r7=100[mΩ]、IL=1[A]とする。この場合、V1=1[V]、V2=1.033[V]、V3=0.033[V]となる。そして、リレーSW6が故障していた場合、V1=1[V]、V2=1.05[V]、V3=0.05[V]となり、診断部6がV3の電圧変化により、リレーSW5〜SW7の故障と判断する。
そして、DUTを接続する場合、負荷抵抗RL、電圧計8を取り外して、DUTを接続する。
このように、電圧測定部5が、リレーSW5〜SW7の両端の電圧を測定し、診断部6がリレーSW5〜SW7の電圧変化を判断するので、各リレーを個別に開閉することなく、リレーSW5〜SW7の診断が行える。
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、電流源Iを設けた構成を示したが、ドライバDが定電流を出力すれば、電流源Iを設けなくともよい。この場合、ドライバDの出力電圧値が既知であれば、電圧測定部2により電圧値V5を求めなくともよい。
また、抵抗R1〜R3は、リレーSW1〜SW4の他端同士間に設けた構成を示したが、一端同士間に設ける構成でもよい。
また、1本のケーブルによりDUTに接続する例を示したが、ケーブルの定格確保のため、DUT接続時に、リレー各SW1〜SW4の他端からケーブルを設け、DUTに接続する構成にしてもよい。
そして、4つのリレーSW1〜SW4を設けた構成を示したが、2以上のリレーであればよい。
さらに、マルチプレクサ1により選択する構成を示したが、電圧測定部2が選択する構成でもよい。
また、電圧計8の電圧Vにより、電圧測定部5の電圧V1の校正を行う構成を示したが、電圧計8の電圧Vにより校正を行わない構成でもよい。
そして、負荷抵抗RLを設けた構成を示したが、負荷抵抗RLの代わりに、電流源にしたり、所望電位に接続、例えば、接地する構成でもよい。要するに、リレーSW5〜SW7の出力端の電圧を測定できればよい。
SW1〜SW4 リレー
SW5〜SW7 第1のリレー
SW8 第2のリレー
R1〜R3,R 抵抗
RL 負荷抵抗
I 電流源
2,5 電圧測定部
3,6 診断部
SW5〜SW7 第1のリレー
SW8 第2のリレー
R1〜R3,R 抵抗
RL 負荷抵抗
I 電流源
2,5 電圧測定部
3,6 診断部
Claims (5)
- 並列に接続された複数のリレーにより同時に開閉を行い、これらのリレーを介して、電圧出力を行う電圧発生装置において、
前記リレー間の少なくとも一方の同士間に設けられる抵抗と、
この抵抗の一端、他端、前記リレーの一端、他端の既知でない電圧を、前記リレーのオン時に測定する電圧測定部と、
この電圧測定部が測定した電圧に基づいて、前記リレーの診断を行う診断部と
を備えたことを特徴とする電圧発生装置。 - 前記リレーの一端または他端に電気的に接続される電流源を設け、前記診断部が電流源の電流値と共に、リレーの診断を行うことを特徴とする請求項1記載の電圧発生装置。
- 並列に接続された複数の第1のリレーにより同時に開閉を行い、これらの第1のリレーを介して、電圧出力を行うと共に、この電圧出力を電圧測定部により電圧測定を行う電圧発生装置において、
前記電圧測定部の測定経路に設けられる第2のリレーと、
前記第1のリレーの入力端を一端に接続し、前記電圧測定部の入力端を他端に接続する抵抗と、
前記第2のリレーのオン、オフ時に、前記電圧測定部が測定した電圧に基づいて、前記第1のリレーの診断を行う診断部と
を有することを特徴とする電圧発生装置。 - 前記第1のリレーの出力端に接続される負荷抵抗を設けたことを特徴とする請求項3記載の電圧発生装置。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の電圧発生装置を用いたことを特徴とするICテスタ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008273787A JP2010101766A (ja) | 2008-10-24 | 2008-10-24 | 電圧発生装置及びこれを用いたicテスタ |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102051177B1 (ko) * | 2016-10-19 | 2019-12-17 | 주식회사 엘지화학 | 전압 분배를 이용한 스위치 진단 장치 및 방법 |
-
2008
- 2008-10-24 JP JP2008273787A patent/JP2010101766A/ja active Pending
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KR102051177B1 (ko) * | 2016-10-19 | 2019-12-17 | 주식회사 엘지화학 | 전압 분배를 이용한 스위치 진단 장치 및 방법 |
US11515719B2 (en) | 2016-10-19 | 2022-11-29 | Lg Energy Solution, Ltd. | Device and method for diagnosing switch using voltage distribution |
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