JP2010098340A - Piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and method of manufacturing piezoelectric oscillator - Google Patents

Piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, and method of manufacturing piezoelectric oscillator Download PDF

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公三 小野
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve a problem that there is a limit to thickness reduction and the frequency of a piezoelectric vibration piece shifts from a desired frequency due to an influence of heat generation of an oscillation circuit etc. <P>SOLUTION: A piezoelectric oscillator (10) includes: a piezoelectric vibrator (11) which houses the piezoelectric vibration piece (114) and is provided with a pair of first electrode portions (111) on a bottom surface; a circuit module (13) which is disposed on the same plane with the piezoelectric vibrator (11) and on which a circuit element is mounted; and a lead frame (12) which electrically connects the piezoelectric vibrator (11) with the circuit module (13), and is provided with a pair of second electrode portions (122). <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、圧電振動子、圧電発振器及び圧電発振器の製造方法に関し、特に圧電振動子と回路モジュールとを同一の平面に並んで配置した圧電振動子、圧電発振器及び圧電発振器の製造方法に関する。   The present invention relates to a piezoelectric vibrator, a piezoelectric oscillator, and a method for manufacturing a piezoelectric oscillator, and more particularly to a piezoelectric vibrator, a piezoelectric oscillator, and a method for manufacturing a piezoelectric oscillator in which a piezoelectric vibrator and a circuit module are arranged in the same plane.

携帯電話機等の移動体通信機器の普及に伴う小型化及び低価格化の急激な進展により、これらの通信機器に使用される圧電発振器に対しても、薄型化、小型化、低価格化の要求が高まっている。   Due to the rapid progress of miniaturization and price reduction with the spread of mobile communication devices such as mobile phones, demands for thinning, miniaturization, and price reduction are also required for piezoelectric oscillators used in these communication devices. Is growing.

特許文献1に示された圧電発振器が提案されている。図9(a)は、その圧電発振器の断面図である。図9(a)のように、パッケージ40の凹部内に圧電振動片41と半導体部品42とを上下に共に収納した状態で、開口部が蓋体43により気密封止される。なお、パッケージ40はセラミック等からなり、半導体部品42は発振回路を構成するコンデンサ、抵抗、及び集積回路などを含む。また、図9(b)は、図9(a)に示された圧電発振器の底面図である。   A piezoelectric oscillator disclosed in Patent Document 1 has been proposed. FIG. 9A is a cross-sectional view of the piezoelectric oscillator. As shown in FIG. 9A, the opening is hermetically sealed by the lid 43 in a state where the piezoelectric vibrating piece 41 and the semiconductor component 42 are housed together vertically in the recess of the package 40. The package 40 is made of ceramic or the like, and the semiconductor component 42 includes a capacitor, a resistor, an integrated circuit, and the like that constitute an oscillation circuit. FIG. 9B is a bottom view of the piezoelectric oscillator shown in FIG.

また、特許文献2に開示された圧電発振器は、図9に示された圧電発振器をより薄型化するために、図10(a)及び(b)のように、回路基板45の上に圧電振動子46及びモジュール基板47を隣接するように搭載する。さらに、圧電発振器はそのモジュール基板47の上に回路素子48を実装した後、圧電振動子46、回路素子48及びモジュール基板47が封止材49により覆わられている。
特開2004−015441号公報 特開2007−036536号公報
In addition, the piezoelectric oscillator disclosed in Patent Document 2 has piezoelectric vibration on a circuit board 45 as shown in FIGS. 10A and 10B in order to make the piezoelectric oscillator shown in FIG. 9 thinner. The child 46 and the module substrate 47 are mounted so as to be adjacent to each other. Further, after the circuit element 48 is mounted on the module substrate 47 of the piezoelectric oscillator, the piezoelectric vibrator 46, the circuit element 48 and the module substrate 47 are covered with a sealing material 49.
JP 2004-015441 A JP 2007-036536 A

特許文献1に開示された圧電発振器は、上下に水晶振動子と半導体部品とを実装するため、圧電発振器の全体の高さが大きくなって薄型化が図られない問題がある。また、圧電振動片と発振回路を構成する抵抗などの半導体部品とが同じ凹部内に収納された構造である。このため、発振回路の発熱などの影響によって圧電振動片の周波数がシフトし、所望の周波数からずれる問題もある。従って、圧電発振器の全体の薄型化を図ることや圧電振動子の動作温度を一定に維持することには限界がある。   The piezoelectric oscillator disclosed in Patent Document 1 has a problem that since the crystal oscillator and the semiconductor component are mounted on the upper and lower sides, the overall height of the piezoelectric oscillator is increased and the thickness cannot be reduced. In addition, the piezoelectric vibrating piece and a semiconductor component such as a resistor constituting the oscillation circuit are housed in the same recess. For this reason, there is also a problem that the frequency of the piezoelectric vibrating piece shifts due to the influence of heat generation of the oscillation circuit and deviates from a desired frequency. Therefore, there is a limit to reducing the overall thickness of the piezoelectric oscillator and maintaining the operating temperature of the piezoelectric vibrator constant.

特許文献2に開示された圧電発振器は、前述の問題を解決するために、回路基板の上に圧電振動子と回路モジュールとを同一の平面に隣接されるように設ける。しかし、その圧電発振器の全体の高さは、少なくとも回路基板の厚さに圧電振動子又は回路モジュールの厚さを加えた高さである。このため更なる薄型化を図ることができないし、圧電振動子と回路モジュールとをワイヤーボンディングで接続するなどの追加工程が増えてしまいコストの上昇を招いている。   In order to solve the above-described problem, the piezoelectric oscillator disclosed in Patent Document 2 is provided with a piezoelectric vibrator and a circuit module on a circuit board so as to be adjacent to each other on the same plane. However, the total height of the piezoelectric oscillator is at least the thickness of the circuit board plus the thickness of the piezoelectric vibrator or circuit module. For this reason, further thinning cannot be achieved, and additional steps such as connecting the piezoelectric vibrator and the circuit module by wire bonding increase, resulting in an increase in cost.

本発明は前述の問題に鑑み、圧電発振器の高さがより低くなり、回路の発熱によって圧電振動子が影響されない圧電発振器及び圧電発振器の製造方法を提供することにある。   In view of the above-described problems, the present invention provides a piezoelectric oscillator in which the height of the piezoelectric oscillator is further reduced and the piezoelectric vibrator is not affected by the heat generated by the circuit, and a method for manufacturing the piezoelectric oscillator.

第1観点における圧電振動子は、圧電振動片と圧電振動片を収容するパッケージとを含み、側面には少なくとも四つの接続端子が形成され、底面には一対の電極部と、接続端子のうちの一対の接続端子と一対の電極部とをそれぞれ接続する引出部とが形成される。
このような構成によれば、圧電発振器の小型化、薄型化に適した圧電振動子が提供できる。
A piezoelectric vibrator according to a first aspect includes a piezoelectric vibrating piece and a package that accommodates the piezoelectric vibrating piece, and at least four connection terminals are formed on a side surface, and a pair of electrode portions and a connection terminal are provided on a bottom surface. A lead portion for connecting the pair of connection terminals and the pair of electrode portions, respectively, is formed.
According to such a configuration, a piezoelectric vibrator suitable for downsizing and thinning of the piezoelectric oscillator can be provided.

第2観点における圧電発振器は、圧電振動片を収容し、底面に一対の第一電極部が設けられた圧電振動子と、圧電振動子と同一の平面に並んで配置され、回路素子が実装された回路モジュールと、圧電振動子と回路モジュールとを電気接続するとともに、一対の第二電極部が設けられたリードフレームとを備える。
このような構成によれば、特許文献2で必須であった回路基板が不要となり、圧電振動子と回路モジュールとが同一の平面に設けられる。なお、圧電発振器の高さは、圧電振動子の厚さと電極部の厚さとを加えた高さとなり、全体圧電発振器の薄型化が可能である。さらに、回路モジュールからの熱によって、圧電振動子の周波数がシフトし、所望の周波数からずれることを防止することができる。
The piezoelectric oscillator according to the second aspect accommodates a piezoelectric vibrating piece and is arranged side by side on the same plane as the piezoelectric vibrator having a pair of first electrode portions provided on the bottom surface and mounted with a circuit element. And a lead frame provided with a pair of second electrode portions and electrically connecting the piezoelectric vibrator and the circuit module.
According to such a configuration, the circuit board essential in Patent Document 2 is not required, and the piezoelectric vibrator and the circuit module are provided on the same plane. Note that the height of the piezoelectric oscillator is the sum of the thickness of the piezoelectric vibrator and the thickness of the electrode portion, and the overall piezoelectric oscillator can be made thinner. Furthermore, it is possible to prevent the frequency of the piezoelectric vibrator from shifting due to the heat from the circuit module and deviating from the desired frequency.

第3観点における圧電発振器において、圧電振動子の側面は、リードフレームを介して回路モジュールに接続する四つの接続端子を含み、圧電振動子の底面は、四つの接続端子のうちの一対の接続端子と一対の第一電極部とをそれぞれ接続する引出部を含む。   In the piezoelectric oscillator according to the third aspect, the side surface of the piezoelectric vibrator includes four connection terminals that are connected to the circuit module via the lead frame, and the bottom surface of the piezoelectric vibrator is a pair of connection terminals of the four connection terminals. And a pair of first electrode portions.

第4観点における圧電発振器のリードフレームは、圧電振動子の接続端子に接続される第一リード部と、第二電極部に接続される第二リード部とを備える。
第3、及び第4観点によれば、回路基板が不要となり、圧電振動子と回路モジュールとが同一の平面に並んで配置される。
The lead frame of the piezoelectric oscillator according to the fourth aspect includes a first lead portion connected to the connection terminal of the piezoelectric vibrator and a second lead portion connected to the second electrode portion.
According to the third and fourth aspects, the circuit board is unnecessary, and the piezoelectric vibrator and the circuit module are arranged side by side on the same plane.

第5観点における圧電発振器は、圧電振動子と回路モジュールとを封止材により覆う。
このような構成によれば、水分などの影響を受けることを防止できる。
The piezoelectric oscillator in the fifth aspect covers the piezoelectric vibrator and the circuit module with a sealing material.
According to such a structure, it can prevent receiving the influence of a water | moisture content etc.

第6観点における圧電発振器において、第一リード部及び第二リード部は封止材に覆われ、一対の第一電極部と一対の第二電極部とが封止材に覆われていない。
このように封止すれば、第一電極及び第二電極が外に露出して外部電源に接続されて圧電振動子及び回路モジュールに給電することができる。
In the piezoelectric oscillator according to the sixth aspect, the first lead portion and the second lead portion are covered with a sealing material, and the pair of first electrode portions and the pair of second electrode portions are not covered with the sealing material.
By sealing in this way, the first electrode and the second electrode can be exposed to the outside and connected to an external power source to supply power to the piezoelectric vibrator and the circuit module.

第7観点における圧電発振器の製造方法は、一対の第一電極部を有する圧電振動子を用意する工程と、回路素子が実装された回路モジュールを用意する工程と、一対の第二電極部が形成されたリードフレームを用意する工程と、リードフレームを介して回路モジュールを圧電振動子と同一の平面に並んで配置して電気接続する工程と、一対の第一電極部及び一対の第二電極部が表面に露出するように、圧電振動子と回路モジュールとを封止材で覆う工程とを備える。
このような方法によれば、特許文献2で必須であった回路基板が不要で、薄型化が可能となる圧電発振器が製造できる。さらに、回路モジュールからの熱によって、圧電振動子の周波数がシフトし、所望の周波数からずれることが防止できる圧電発振器が製造される。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric oscillator manufacturing method comprising: preparing a piezoelectric vibrator having a pair of first electrode portions; preparing a circuit module on which circuit elements are mounted; and forming a pair of second electrode portions. A prepared lead frame, a step of arranging and electrically connecting the circuit modules in the same plane as the piezoelectric vibrator via the lead frame, a pair of first electrode portions and a pair of second electrode portions And a step of covering the piezoelectric vibrator and the circuit module with a sealing material so that is exposed to the surface.
According to such a method, the circuit board which is essential in Patent Document 2 is unnecessary, and a piezoelectric oscillator that can be thinned can be manufactured. Furthermore, a piezoelectric oscillator that can prevent the frequency of the piezoelectric vibrator from being shifted from the desired frequency by heat from the circuit module is manufactured.

第8観点における圧電発振器の製造方法において、圧電振動子を用意する工程は、回路モジュールに接続される四つの接続端子を側面に形成する工程と、一対の第一電極部と第一電極部に接続する一対の引出部とを底面に形成する工程とを備える。   In the piezoelectric oscillator manufacturing method according to the eighth aspect, the step of preparing the piezoelectric vibrator includes a step of forming four connection terminals connected to the circuit module on the side surface, a pair of the first electrode portion and the first electrode portion. Forming a pair of drawer portions to be connected to the bottom surface.

第9観点における圧電発振器の製造方法において、リードフレームを用意する工程は、接続端子に接続される第一リード部を形成する工程と、第二電極部に接続される第二リード部を形成する工程とを備える。   In the piezoelectric oscillator manufacturing method according to the ninth aspect, the step of preparing the lead frame includes forming a first lead portion connected to the connection terminal and forming a second lead portion connected to the second electrode portion. A process.

第10観点における圧電発振器の製造方法において、第一リード部は第一母材に複数形成されており、第二電極部及び第二リード部は第二母材に複数形成されており、第一母材は封止材で覆われる前に第一電極部及び第一リード部から切り離し、第二母材は封止材で覆われた後に第二電極部から切り離す。
このように母材を用いた製造方法は、圧電振動子と回路モジュールとをワイヤーボンディングで接続するなどの追加工程が不要となり、量産化を図ることができる。従って、製造コストを低減できる。
In the piezoelectric oscillator manufacturing method according to the tenth aspect, a plurality of first lead portions are formed on the first base material, and a plurality of second electrode portions and second lead portions are formed on the second base material. The base material is separated from the first electrode portion and the first lead portion before being covered with the sealing material, and the second base material is separated from the second electrode portion after being covered with the sealing material.
As described above, the manufacturing method using the base material does not require an additional process such as connecting the piezoelectric vibrator and the circuit module by wire bonding, and can achieve mass production. Therefore, the manufacturing cost can be reduced.

本発明は、圧電振動子と回路モジュールとが同一の平面に並んで設けられているので、圧電発振器の薄型化が可能となる。また、回路モジュールからの熱によって、圧電振動子の周波数がシフトし、所望の周波数からずれることも防止できる。また、圧電振動子と回路モジュールとが封止材により覆われたので、水分などの影響を受けることも防止できる。さらに、圧電振動子と回路モジュールとをワイヤーボンディングで接続するなどの追加工程が不要なので、製造コストを低減することができる。   In the present invention, since the piezoelectric vibrator and the circuit module are provided side by side on the same plane, the piezoelectric oscillator can be thinned. Further, it is possible to prevent the frequency of the piezoelectric vibrator from being shifted due to heat from the circuit module and deviating from a desired frequency. Further, since the piezoelectric vibrator and the circuit module are covered with the sealing material, it is possible to prevent the influence of moisture and the like. Furthermore, since an additional process such as connecting the piezoelectric vibrator and the circuit module by wire bonding is not required, the manufacturing cost can be reduced.

(第一の実施例)
以下、第一の実施例に係る圧電振動子11、圧電発振器10及び圧電発振器10の製造方法について、図1ないし図6を参照しながら説明する。
(First embodiment)
Hereinafter, the piezoelectric vibrator 11, the piezoelectric oscillator 10, and the method for manufacturing the piezoelectric oscillator 10 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.

<圧電振動子11について>
図1は、本実施例に係る圧電振動子11の構成を示す図である。そのうち、(a)は底面図、(b)は(a)のB−B断面図、(c)は(a)のC−C断面図である。
<About the piezoelectric vibrator 11>
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a piezoelectric vibrator 11 according to the present embodiment. Among them, (a) is a bottom view, (b) is a BB cross-sectional view of (a), and (c) is a CC cross-sectional view of (a).

図1(a)に示されたように、本実施例の圧電振動子11は、セラミックより構成されたパッケージ116の長辺の両隅部に一対の第一電極部111が設けられ、他方の長辺の中央付近に四つの接続端子112が等間隔に形成される。その四つの接続端子112の外側の一対の接続端子112Aが引出部113を介して一対の第一電極部111にそれぞれ連結される。なお、本実施例で接続端子112の底面は半円形であるが、側面から見ると円筒を半分に割った形状である(図2を参照)。また、接続端子112は他の四角柱を半分に割った形状でもよい。   As shown in FIG. 1A, the piezoelectric vibrator 11 of this embodiment is provided with a pair of first electrode portions 111 at both corners of the long side of a package 116 made of ceramic, Four connection terminals 112 are formed at equal intervals near the center of the long side. A pair of connection terminals 112 </ b> A outside the four connection terminals 112 are respectively connected to the pair of first electrode portions 111 via the lead-out portions 113. In the present embodiment, the bottom surface of the connection terminal 112 is semicircular, but when viewed from the side, the cylinder is divided in half (see FIG. 2). The connection terminal 112 may have a shape obtained by dividing another quadrangular prism in half.

図1(b)に示されたように、本実施例の圧電振動子11の内部に、圧電振動片114及び導電接着剤115を含んでいる。ここで、圧電振動片114は真空又は不活性ガスの状態であるパッケージ116の中に収容される。また、圧電振動片114は導電接着剤115によりパッケージ116の内底面に固着してパッケージ116の中に収容される。さらに、圧電振動片114は水晶振動片を含み、AT振動片、SAW振動片、音叉型振動片などの様々な種類がある。
また、図1(c)に示されたように、第一電極部111は引出部113より薄くになっている。
As shown in FIG. 1B, a piezoelectric vibrating piece 114 and a conductive adhesive 115 are included in the piezoelectric vibrator 11 of this embodiment. Here, the piezoelectric vibrating piece 114 is housed in a package 116 that is in a vacuum or inert gas state. The piezoelectric vibrating piece 114 is fixed to the inner bottom surface of the package 116 by the conductive adhesive 115 and is accommodated in the package 116. Further, the piezoelectric vibrating piece 114 includes a crystal vibrating piece, and there are various types such as an AT vibrating piece, a SAW vibrating piece, and a tuning fork type vibrating piece.
Further, as shown in FIG. 1C, the first electrode portion 111 is thinner than the lead portion 113.

本実施例で、四つの接続端子112のうちの外側の一対の接続端子112Aは外部電源(図示しない)に接続される第一電極部111に電気接続される。また、図示していないが、四つの接続端子112のうちの内側の一対の接続端子112Bはパッケージ116に設けた配線パターン及び導電接着剤115によって圧電振動片114に電気接続される。つまり、圧電振動子11の四つの接続端子112のうち、外側の一対の接続端子112Aは圧電振動子11から外部へ、内側の一対の接続端子112Bは外部から圧電振動子11へ信号を伝送する。   In this embodiment, the pair of outer connection terminals 112A out of the four connection terminals 112 are electrically connected to the first electrode portion 111 connected to an external power source (not shown). Although not shown, a pair of inner connection terminals 112 </ b> B among the four connection terminals 112 are electrically connected to the piezoelectric vibrating piece 114 by a wiring pattern provided on the package 116 and a conductive adhesive 115. That is, out of the four connection terminals 112 of the piezoelectric vibrator 11, the pair of outer connection terminals 112 </ b> A transmits signals from the piezoelectric vibrator 11 to the outside, and the pair of inner connection terminals 112 </ b> B transmits signals from the outside to the piezoelectric vibrator 11. .

前述の構成によれば、圧電発振器10の小型化、薄型化に適した圧電振動子11が提供できる。   According to the above-described configuration, the piezoelectric vibrator 11 suitable for reducing the size and thickness of the piezoelectric oscillator 10 can be provided.

<圧電発振器10について>
次に、圧電発振器10について、図2ないし図4を参照しながら説明する。
<About the piezoelectric oscillator 10>
Next, the piezoelectric oscillator 10 will be described with reference to FIGS.

図2は本実施例に係る圧電発振器10の組立分解図である。
図2に示されたように、圧電発振器10は図1に示された圧電振動子11と、リードフレーム12と、回路モジュール13とを含んでいる。ここで、リードフレーム12は、圧電振動子11の接続端子112に接続される四つの第一リード部121(圧電振動子11の接続端子112A、112Bに対応する121A、121Bを含む)と、一対の第一電極部111に対応する一対の第二電極部122と、その一対の第二電極部122に接続される一対の第二リード部123とを備える。ここで、一対の第二リード部123は一対の第二電極部122の上にそれぞれ設けられる。また、製造し易くするために、複数の第一リード部121は第一母材124により連結され、複数の第二電極部122及び第二リード部123は第二母材125により連結されている。さらに、回路モジュール13は、その内に複数の回路素子(IC、トランジスタ、抵抗、コンデンサ、サーミスタなどの少なくとも1つ)が形成されている。
FIG. 2 is an exploded view of the piezoelectric oscillator 10 according to this embodiment.
As shown in FIG. 2, the piezoelectric oscillator 10 includes the piezoelectric vibrator 11 shown in FIG. 1, a lead frame 12, and a circuit module 13. Here, the lead frame 12 includes a pair of four first lead parts 121 (including 121A and 121B corresponding to the connection terminals 112A and 112B of the piezoelectric vibrator 11) connected to the connection terminal 112 of the piezoelectric vibrator 11 and a pair. A pair of second electrode portions 122 corresponding to the first electrode portion 111 and a pair of second lead portions 123 connected to the pair of second electrode portions 122. Here, the pair of second lead portions 123 are provided on the pair of second electrode portions 122, respectively. In order to facilitate manufacture, the plurality of first lead parts 121 are connected by a first base material 124, and the plurality of second electrode parts 122 and the second lead part 123 are connected by a second base material 125. . Further, the circuit module 13 has a plurality of circuit elements (at least one of IC, transistor, resistor, capacitor, thermistor, etc.) formed therein.

図3は本実施例に係る圧電発振器10を組み立てた後、後述する封止材14で覆う前の状態を示す斜視図である。
図3に示されたように、圧電振動子11と回路モジュール13とはリードフレーム12によって同一の平面に並んで設置される。ここで、第一リード部121A、121Bが図2に示された圧電振動子11の接続端子112A、112Bにそれぞれ接続され、圧電振動子11の上面が第一母材124に当接されるように設置する。これにより、第一リード部121が安定して接続端子112に接する。また、回路モジュール13は第一リード部121及び第二リード部123の端子より構成された平面の上に設置される。
FIG. 3 is a perspective view showing a state before the piezoelectric oscillator 10 according to the present embodiment is assembled and before being covered with a sealing material 14 to be described later.
As shown in FIG. 3, the piezoelectric vibrator 11 and the circuit module 13 are installed side by side on the same plane by the lead frame 12. Here, the first lead portions 121A and 121B are connected to the connection terminals 112A and 112B of the piezoelectric vibrator 11 shown in FIG. 2, respectively, and the upper surface of the piezoelectric vibrator 11 is brought into contact with the first base material 124. Install in. As a result, the first lead 121 is stably in contact with the connection terminal 112. The circuit module 13 is installed on a plane constituted by the terminals of the first lead portion 121 and the second lead portion 123.

図4は本実施例に係る圧電発振器10の連結構成を示す図であり、そのうち、(a)は底面図、(b)は側面図である。
図4(a)に示されたように、リードフレーム12の第一リード部121と第二リード部123との六つの端子は、回路モジュール13の底面に備えられた六つの端子(長手方向に2列等間隔(2×3行列)に形成される。)にそれぞれ接続される。なお、回路モジュール13の端子は、圧電発振器10を制御する端子(図示しない)と、圧電振動片114への二つの入出力端子(図示しない)と、アース接続された端子(図示しない)と、回路素子に電源供給を行う端子(図示しない)と、圧電発振器10の出力端子(図示しない)とを含む。
4A and 4B are diagrams showing the connection configuration of the piezoelectric oscillator 10 according to the present embodiment, in which FIG. 4A is a bottom view and FIG. 4B is a side view.
As shown in FIG. 4A, the six terminals of the first lead portion 121 and the second lead portion 123 of the lead frame 12 have six terminals (in the longitudinal direction) provided on the bottom surface of the circuit module 13. 2 columns are formed at equal intervals (2 × 3 matrix). The terminal of the circuit module 13 includes a terminal (not shown) for controlling the piezoelectric oscillator 10, two input / output terminals (not shown) to the piezoelectric vibrating piece 114, a terminal connected to the ground (not shown), A terminal (not shown) for supplying power to the circuit element and an output terminal (not shown) of the piezoelectric oscillator 10 are included.

図4(b)に示されたように、第一電極部111及び第二電極部122は平面PLの同一面の上にあり、他の引出部113、第一リード部121及び第二リード部123は全てそのPLと接しないように設けられている。   As shown in FIG. 4B, the first electrode portion 111 and the second electrode portion 122 are on the same plane of the plane PL, and the other lead portion 113, the first lead portion 121, and the second lead portion. 123 is provided so as not to contact the PL.

図2ないし図4に示されたように、圧電発振器10は圧電振動子11及び回路モジュール13がリードフレーム12を介して電気接続され、回路モジュール13の発振回路や温度補償回路によって動作する。まず、圧電振動子11の第一電極部111及びリードフレーム12の第二電極部122が外部電源(図示しない)に接続される。また、第一電極部111は引出部113と外側の一対の接続端子112A及び第一リード部121Aとにより、第二電極部122は第二リード部123により回路モジュール13に電気接続される。さらに、回路モジュール13と圧電振動子11とは内側の一対の第一リード部121B及び接続端子112Bによって、信号を伝送する。従って、圧電発振器10は回路モジュール13の発振回路または温度補償回路などによって、圧電振動片114を発振させ、温度補償を行う。   As shown in FIGS. 2 to 4, the piezoelectric oscillator 10 is electrically connected to the piezoelectric vibrator 11 and the circuit module 13 via the lead frame 12, and operates by an oscillation circuit and a temperature compensation circuit of the circuit module 13. First, the first electrode portion 111 of the piezoelectric vibrator 11 and the second electrode portion 122 of the lead frame 12 are connected to an external power source (not shown). The first electrode portion 111 is electrically connected to the circuit module 13 by the lead portion 113 and the pair of outer connection terminals 112 </ b> A and the first lead portion 121 </ b> A, and the second electrode portion 122 is electrically connected by the second lead portion 123. Further, the circuit module 13 and the piezoelectric vibrator 11 transmit signals through a pair of inner first lead portions 121B and connection terminals 112B. Accordingly, the piezoelectric oscillator 10 oscillates the piezoelectric vibrating reed 114 by the oscillation circuit or the temperature compensation circuit of the circuit module 13 and performs temperature compensation.

<圧電発振器10の製造方法について>
次に、本実施例で説明した圧電発振器10の製造方法について、図面を参考しながら説明する。図5は、本実施例に係る圧電発振器10の製造工程を示すフローチャートである。以下、図5に示された順番に従って本実施例の圧電発振器10の製造方法を説明する。
<About the manufacturing method of the piezoelectric oscillator 10>
Next, a method for manufacturing the piezoelectric oscillator 10 described in this embodiment will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a flowchart showing a manufacturing process of the piezoelectric oscillator 10 according to the present embodiment. Hereinafter, the manufacturing method of the piezoelectric oscillator 10 of the present embodiment will be described in the order shown in FIG.

まず、圧電振動子11が用意される(ステップS11)。この工程は図5の破線S11に示されたように以下のステップを含んでいる。   First, the piezoelectric vibrator 11 is prepared (step S11). This process includes the following steps as indicated by a broken line S11 in FIG.

導電接着剤115により、圧電振動片114が真空又は不活性ガスの状態であるパッケージ116の内底面に固着して収容される(ステップS111)。ここで、導電接着剤115としては、銀フィラなどの導電材料を含有したシリコーン系樹脂が用いられる。圧電振動片114は、化学蒸着及びエッチングなどにより水晶片の両面にニッケル(Ni)又はクロム(Cr)の下地に金(Au)又は銀(Ag)などの金属を順次に覆って発振用電極を形成する。また、パッケージ116はセラミックなどより構成され、発振回路及び温度補償回路を構成する配線パターンを有する。   The piezoelectric vibrating piece 114 is fixed and accommodated on the inner bottom surface of the package 116 in a vacuum or inert gas state by the conductive adhesive 115 (step S111). Here, as the conductive adhesive 115, a silicone resin containing a conductive material such as silver filler is used. The piezoelectric vibrating piece 114 is formed by covering a quartz piece with a metal such as gold (Au) or silver (Ag) sequentially on the both sides of a quartz piece by chemical vapor deposition and etching, etc. Form. The package 116 is made of ceramic or the like, and has a wiring pattern that constitutes an oscillation circuit and a temperature compensation circuit.

圧電振動子11の側面の中央付近に等間隔に接続端子112を形成する(ステップS112)。ここで、接続端子112は四つであり、圧電振動子11の長辺の側面に円筒又は四角柱の形状になるように掘り切って形成される。   Connection terminals 112 are formed at equal intervals near the center of the side surface of the piezoelectric vibrator 11 (step S112). Here, there are four connection terminals 112, which are formed by digging into the long side surface of the piezoelectric vibrator 11 so as to have a cylindrical or quadrangular prism shape.

圧電振動子11の底面に第一電極部111及び引出部113が形成される(ステップS113)。まず、一対の第一電極部111を接続端子112が設けられている辺に対向する他の長辺の両隅部に形成する。そして、前述の接続端子112の外側の一対の接続端子112Aと一対の第一電極部111とを繋げる引出部113が形成される。ここで、第一電極部111及び引出部113にはFe−Ni系合金が広く用いられる。   The first electrode portion 111 and the lead portion 113 are formed on the bottom surface of the piezoelectric vibrator 11 (step S113). First, the pair of first electrode portions 111 is formed at both corners of the other long side facing the side where the connection terminal 112 is provided. Then, a lead portion 113 that connects the pair of connection terminals 112A outside the connection terminal 112 and the pair of first electrode portions 111 is formed. Here, an Fe—Ni-based alloy is widely used for the first electrode part 111 and the lead part 113.

次に、圧電振動子11と回路モジュール13とを接続するリードフレーム12が用意される(ステップS12)。図5の破線S12に示されたように、ステップS12は金型によって第一リード部121を形成し(ステップS121)、金型で第二電極部122及び第二リード部123を形成する(ステップS122)。ここで、熱膨張、電気特性、強度から考えて第一リード部121、第二電極部122及び第二リード部123には、Fe−Ni系合金が広く用いられ、図2に示された形状を形成する。さらに、複数の第一リード部121は第一母材124により、複数の第二電極部122及び第二リード部123は第二母材125により連結されて同時に製造される。   Next, a lead frame 12 for connecting the piezoelectric vibrator 11 and the circuit module 13 is prepared (step S12). As shown by the broken line S12 in FIG. 5, in step S12, the first lead portion 121 is formed by a mold (step S121), and the second electrode portion 122 and the second lead portion 123 are formed by a mold (step S121). S122). Here, in view of thermal expansion, electrical characteristics, and strength, the first lead portion 121, the second electrode portion 122, and the second lead portion 123 are widely used Fe-Ni alloys and have the shape shown in FIG. Form. Further, the plurality of first lead parts 121 are connected by the first base material 124, and the plurality of second electrode parts 122 and the second lead part 123 are connected by the second base material 125 to be manufactured at the same time.

また、IC、トランジスタ、抵抗、コンデンサ、サーミスタなどの回路素子が実装され、発振回路と温度補償回路とを含む回路モジュール13が用意される(ステップS13)。図5の破線S13に示されたように、ステップS13は半田により回路素子を固着し(ステップS131)、底面にリートフレーム12の端子が接続される接続端子を形成する(ステップS132)。また、回路素子を樹脂により覆う。   In addition, a circuit module 13 including circuit elements such as an IC, a transistor, a resistor, a capacitor, and a thermistor and including an oscillation circuit and a temperature compensation circuit is prepared (step S13). As indicated by the broken line S13 in FIG. 5, in step S13, the circuit element is fixed by solder (step S131), and a connection terminal to which the terminal of the REIT frame 12 is connected is formed on the bottom surface (step S132). The circuit element is covered with resin.

その後、導電性接着剤又は半田などにより圧電振動子11をリードフレーム12に固着する(ステップS14)。この時、圧電振動子11の接続端子112をリードフレーム12の第一リード部121に接続し、圧電振動子11の上面に第一母材124が当接されることで、圧電振動子11をリードフレーム12に固着する。   Thereafter, the piezoelectric vibrator 11 is fixed to the lead frame 12 with a conductive adhesive or solder (step S14). At this time, the connection terminal 112 of the piezoelectric vibrator 11 is connected to the first lead portion 121 of the lead frame 12, and the first base material 124 is brought into contact with the upper surface of the piezoelectric vibrator 11, thereby It is fixed to the lead frame 12.

また、回路モジュール13を圧電振動子11と同一の平面に並んで配置するようにリードフレーム12に固着する(ステップS15)。ここで、図4に示されたように、回路モジュール13の六つの端子とリードフレーム12の端子とを合わせるように回路モジュール13をリードフレーム12に固着する。   Further, the circuit module 13 is fixed to the lead frame 12 so as to be arranged in the same plane as the piezoelectric vibrator 11 (step S15). Here, as shown in FIG. 4, the circuit module 13 is fixed to the lead frame 12 so that the six terminals of the circuit module 13 and the terminals of the lead frame 12 are aligned.

次に、第一リード部121から第一母材124を切り離す(ステップS16)。リードフレーム12によって圧電振動子11と回路モジュール13とを固着した後、複数の第一リード部121から図2及び図3に一点鎖線で示された第一母材124を切り離す。   Next, the first base material 124 is separated from the first lead portion 121 (step S16). After the piezoelectric vibrator 11 and the circuit module 13 are fixed to each other by the lead frame 12, the first base material 124 indicated by a one-dot chain line in FIGS.

また、一対の第一電極部111及び一対の第二電極部122が表面に露出するように、圧電振動子11、リードフレーム12及び回路モジュール13を封止材14で覆う(ステップS17)。図4(b)示されたように、第一電極部111及びの第二電極部122は引出部113、第一リード部121及び第二リード部123より低く設けているので、それらを表面に露出するように封止することができる。図6(a)及び(b)は、封止材14で封止した後の状態を示す。図6(a)は封止材14としてエポキシ系樹脂などの熱硬化性樹脂が用いられて圧電振動子11と回路モジュール13とを覆った状態を示す斜視図である。図6(b)は一対の第一電極部111及び一対の第二電極部122が表面に露出された状態を示す底面図である。   In addition, the piezoelectric vibrator 11, the lead frame 12, and the circuit module 13 are covered with the sealing material 14 so that the pair of first electrode portions 111 and the pair of second electrode portions 122 are exposed on the surface (step S17). As shown in FIG. 4B, the first electrode portion 111 and the second electrode portion 122 are provided lower than the lead portion 113, the first lead portion 121, and the second lead portion 123, so that they are on the surface. It can be sealed so that it is exposed. 6A and 6B show a state after sealing with the sealing material 14. FIG. 6A is a perspective view showing a state in which a thermosetting resin such as an epoxy resin is used as the sealing material 14 to cover the piezoelectric vibrator 11 and the circuit module 13. FIG. 6B is a bottom view showing a state in which the pair of first electrode portions 111 and the pair of second electrode portions 122 are exposed on the surface.

最後、第二電極部122に連結されている第二母材125を複数の圧電発振器10から切り離す(ステップS18)工程である。前述の過程を経て複数の圧電発振器10が第二母材125に連結されている状態となる。その複数の圧電発振器10から第二母材125を切り離すことで本実施例に係る圧電発振器10の製造が終わることになる。ステップS18で第二母材125が切り離されるまで、複数の圧電発振器10が繋がっているため、一度に多くの圧電発振器10を扱うことができる。   Finally, the second base material 125 connected to the second electrode portion 122 is separated from the plurality of piezoelectric oscillators 10 (step S18). The plurality of piezoelectric oscillators 10 are connected to the second base material 125 through the above-described process. By separating the second base material 125 from the plurality of piezoelectric oscillators 10, the manufacture of the piezoelectric oscillator 10 according to the present embodiment is completed. Since the plurality of piezoelectric oscillators 10 are connected until the second base material 125 is separated in step S18, many piezoelectric oscillators 10 can be handled at a time.

本実施例の製造方法によって形成された圧電発振器10は、圧電振動子11と回路モジュール13とがリードフレーム12により同一の平面に並んで設けられているので、圧電発振器10の薄型化が可能になる。そして、回路モジュール13からの熱によって、圧電振動子11の周波数がシフトし、所望の周波数からずれることが防止できる。また、圧電振動子11と回路モジュール13とを封止材14により覆うので、水分などの影響を受けることも防止できる。さらに、第一母材124及び第二母材125によって同時に複数の圧電発振器10が製造できるので、製造コストを低減することができる。   In the piezoelectric oscillator 10 formed by the manufacturing method of this embodiment, since the piezoelectric vibrator 11 and the circuit module 13 are provided in the same plane by the lead frame 12, the piezoelectric oscillator 10 can be thinned. Become. And it can prevent that the frequency of the piezoelectric vibrator 11 shifts with the heat | fever from the circuit module 13, and shift | deviates from a desired frequency. Further, since the piezoelectric vibrator 11 and the circuit module 13 are covered with the sealing material 14, it is possible to prevent the influence of moisture or the like. Furthermore, since a plurality of piezoelectric oscillators 10 can be manufactured simultaneously with the first base material 124 and the second base material 125, the manufacturing cost can be reduced.

(第二の実施形態)
以下、第二の実施例に係る圧電振動子21、圧電発振器20及び圧電発振器20の製造方法について、図面を参照しながら説明する。ここで、同じ部材には同じ記号を付いて説明する。
(Second embodiment)
Hereinafter, a method of manufacturing the piezoelectric vibrator 21, the piezoelectric oscillator 20, and the piezoelectric oscillator 20 according to the second embodiment will be described with reference to the drawings. Here, the same members will be described with the same symbols.

<圧電振動子21について>
図7は、本実施例に係る圧電発振器20の組立分解図である。図7に示されたように、本実施例の圧電振動子21は、真空又は不活性ガスの状態であるパッケージ216の中に圧電振動片114を収容されている。また、セラミックより構成されたパッケージ216の長辺の側面の中央付近に二つの接続端子212が等間隔に形成される。なお、本実施例で接続端子212は側面から見ると円筒を半分に割った形状である。接続端子212は他の四角柱を半分に割った形状でもよい。
<About the piezoelectric vibrator 21>
FIG. 7 is an exploded view of the piezoelectric oscillator 20 according to the present embodiment. As shown in FIG. 7, the piezoelectric vibrator 21 of the present embodiment has a piezoelectric vibrating piece 114 housed in a package 216 that is in a vacuum or inert gas state. Further, two connection terminals 212 are formed at equal intervals near the center of the long side surface of the package 216 made of ceramic. In this embodiment, the connection terminal 212 has a shape in which a cylinder is divided in half when viewed from the side. The connection terminal 212 may have a shape obtained by dividing another quadrangular prism in half.

本実施例で、二つの接続端子212はパッケージ216に設けた配線パターン(図示しない)及び圧電振動片114をパッケージ216の中に固着した導電接着剤(図示しない)によって圧電振動片114に電気接続されている。   In this embodiment, the two connection terminals 212 are electrically connected to the piezoelectric vibrating piece 114 by a wiring pattern (not shown) provided on the package 216 and a conductive adhesive (not shown) in which the piezoelectric vibrating piece 114 is fixed in the package 216. Has been.

前述の構成によれば、圧電発振器20の小型化、薄型化に適した圧電振動子21が提供できる。   According to the above-described configuration, the piezoelectric vibrator 21 suitable for reducing the size and thickness of the piezoelectric oscillator 20 can be provided.

<圧電発振器20について>
図7に示されたように、圧電発振器20は本実施例で説明した圧電振動子21と、リードフレーム22と、回路モジュール13とを含んでいる。ここで、リードフレーム22は、一対の第一電極部211と、外側の二つリード部221Aが一対の第一電極部211に接続される四つの第一リード部221と、一対の第一電極部211に対応する一対の第二電極部122と、その一対の第二電極部122に接続される一対の第二リード部123とを備える。また、第一電極部211及び第二電極部122は同一の平面に位置し、第一リード部221及び第二リード部123は第一電極部211及び第二電極部122の上にそれぞれ設けている。また、製造し易くするために、複数の第一電極部211及び第一リード部221は第一母材224により連結され、複数の第二電極部122は第二母材125により連結されている。さらに、図示しなかったが、圧電振動子21及び回路モジュール13は、図3のようにリードフレーム22によって同一の平面に並んで配置される。
<About the piezoelectric oscillator 20>
As shown in FIG. 7, the piezoelectric oscillator 20 includes the piezoelectric vibrator 21, the lead frame 22, and the circuit module 13 described in this embodiment. Here, the lead frame 22 includes a pair of first electrode portions 211, four first lead portions 221 in which two outer lead portions 221A are connected to the pair of first electrode portions 211, and a pair of first electrodes. A pair of second electrode portions 122 corresponding to the portion 211 and a pair of second lead portions 123 connected to the pair of second electrode portions 122 are provided. The first electrode portion 211 and the second electrode portion 122 are located on the same plane, and the first lead portion 221 and the second lead portion 123 are provided on the first electrode portion 211 and the second electrode portion 122, respectively. Yes. Further, in order to facilitate manufacture, the plurality of first electrode portions 211 and the first lead portions 221 are connected by a first base material 224, and the plurality of second electrode portions 122 are connected by a second base material 125. . Further, although not shown, the piezoelectric vibrator 21 and the circuit module 13 are arranged side by side on the same plane by the lead frame 22 as shown in FIG.

なお、本実施例の圧電発振器20の連結構成は図4に示された構成と同じなので、ここで説明を省略する。第一の実施例のように、第一電極部211及び第二電極部122は同一の平面の上にあり、第一リード部221及び第二リード部123はその平面の上に設けられている。   In addition, since the connection structure of the piezoelectric oscillator 20 of a present Example is the same as the structure shown by FIG. 4, description is abbreviate | omitted here. As in the first embodiment, the first electrode portion 211 and the second electrode portion 122 are on the same plane, and the first lead portion 221 and the second lead portion 123 are provided on the plane. .

本実施例の圧電発振器20は、圧電振動子21及び回路モジュール13がリードフレーム22を介して電気接続され、回路モジュール13の発振回路や温度補償回路によって動作する。まず、リードフレーム22の第一電極部211及び第二電極部222が外部電源(図示しない)に接続される。ここで、一対の第一電極部211は外側の一対の第一リード部221Aにより、一対の第二電極部122は一対の第二リード部123により回路モジュール13に電気接続される。また、回路モジュール13と圧電振動子21とはリードフレーム22の内側の一対の第一リード部221B及び圧電振動子21に設けた一対の接続端子212によって信号を伝送する。従って、圧電発振器20は回路モジュール13の発振回路または温度補償回路などによって、圧電振動片114を発振させ、温度補償を行う。   In the piezoelectric oscillator 20 of this embodiment, the piezoelectric vibrator 21 and the circuit module 13 are electrically connected via the lead frame 22 and are operated by the oscillation circuit and the temperature compensation circuit of the circuit module 13. First, the first electrode portion 211 and the second electrode portion 222 of the lead frame 22 are connected to an external power source (not shown). Here, the pair of first electrode portions 211 is electrically connected to the circuit module 13 by a pair of outer first lead portions 221 </ b> A, and the pair of second electrode portions 122 is electrically connected by a pair of second lead portions 123. The circuit module 13 and the piezoelectric vibrator 21 transmit signals through a pair of first lead portions 221 </ b> B inside the lead frame 22 and a pair of connection terminals 212 provided on the piezoelectric vibrator 21. Therefore, the piezoelectric oscillator 20 oscillates the piezoelectric vibrating reed 114 by the oscillation circuit or the temperature compensation circuit of the circuit module 13 and performs temperature compensation.

<圧電発振器20の製造方法について>
図8は、本実施例に係る圧電発振器20の製造工程を示すフローチャートである。以下、図8に示された順番に従って本実施例の圧電発振器20の製造方法を説明する。
<About the manufacturing method of the piezoelectric oscillator 20>
FIG. 8 is a flowchart showing the manufacturing process of the piezoelectric oscillator 20 according to this embodiment. Hereinafter, the manufacturing method of the piezoelectric oscillator 20 of the present embodiment will be described in the order shown in FIG.

まず、圧電振動子21が用意される(ステップS21)。図8の破線S21に示されたように以下のステップを含んでいる。   First, the piezoelectric vibrator 21 is prepared (step S21). As shown by the broken line S21 in FIG. 8, the following steps are included.

導電接着剤(図示しない)により、圧電振動片114が真空又は不活性ガスの状態であるパッケージ216の内底面に固着して収容される(ステップS211)。ここで、パッケージ216は、セラミックなどより構成され、発振回路及び温度補償回路を構成する配線パターンを有する。   With the conductive adhesive (not shown), the piezoelectric vibrating reed 114 is fixed and accommodated on the inner bottom surface of the package 216 in a vacuum or inert gas state (step S211). Here, the package 216 is made of ceramic or the like, and has a wiring pattern constituting an oscillation circuit and a temperature compensation circuit.

圧電振動子21の側面の中央付近に一対の接続端子212が形成される(ステップS212)。ここで、接続端子212は圧電振動子21の長辺の側面に円筒の形状又は四角柱になるように掘り切って形成される。   A pair of connection terminals 212 is formed near the center of the side surface of the piezoelectric vibrator 21 (step S212). Here, the connection terminal 212 is formed by digging into the long side surface of the piezoelectric vibrator 21 so as to form a cylindrical shape or a quadrangular prism.

次に、圧電振動子21と回路モジュール13とを接続するリードフレーム22が用意される(ステップS22)。図8の破線S22に示されたように、ステップS22は金型によって第一電極部211及び第一リード部221を形成し(ステップS221)、金型によって第二電極部122及び第二リード部123を形成する(ステップS222)。ここで、熱膨張、電気特性、強度から考えて、第一電極部211及び第一リード部221は、Fe−Ni系合金が広く用いられ、図7に示されたような形状を形成する。さらに、複数の第一電極部211及び第一リード部221は第一母材224により、複数の第二電極部122及び第二リード部123は第二母材125により連結されて同時に製造される。   Next, a lead frame 22 for connecting the piezoelectric vibrator 21 and the circuit module 13 is prepared (step S22). As shown by the broken line S22 in FIG. 8, in step S22, the first electrode portion 211 and the first lead portion 221 are formed by a mold (step S221), and the second electrode portion 122 and the second lead portion are formed by the mold. 123 is formed (step S222). Here, in view of thermal expansion, electrical characteristics, and strength, the first electrode portion 211 and the first lead portion 221 are widely used Fe-Ni alloys, and form a shape as shown in FIG. Further, the plurality of first electrode portions 211 and the first lead portion 221 are connected by the first base material 224, and the plurality of second electrode portions 122 and the second lead portion 123 are connected by the second base material 125 to be simultaneously manufactured. .

また、IC、トランジスタ、抵抗、コンデンサ、サーミスタなどの回路素子が実装され、発振回路と温度補償回路とを含む回路モジュール13が用意される(ステップS23)。図8の破線S23に示されたように、ステップS23は半田により回路素子を固着し(ステップS231)、底面にリートフレーム22の端子が接続される接続端子を形成する(ステップS232)。また、回路素子を樹脂により覆う。   Further, a circuit module 13 including a circuit element such as an IC, a transistor, a resistor, a capacitor, and a thermistor and including an oscillation circuit and a temperature compensation circuit is prepared (step S23). As indicated by the broken line S23 in FIG. 8, in step S23, the circuit element is fixed by solder (step S231), and a connection terminal to which the terminal of the REIT frame 22 is connected is formed on the bottom surface (step S232). The circuit element is covered with resin.

その後、導電性接着剤又は半田などにより圧電振動子21がリードフレーム22に固着される(ステップS24)。この時、圧電振動子21を外側の一対の第一リード部221Aの上に搭載し、圧電振動子21の接続端子212を内側の一対の第一リード部221Bに当接することで、圧電振動子21をリードフレーム22に固着する。   Thereafter, the piezoelectric vibrator 21 is fixed to the lead frame 22 with a conductive adhesive or solder (step S24). At this time, the piezoelectric vibrator 21 is mounted on the outer pair of first lead portions 221A, and the connection terminals 212 of the piezoelectric vibrator 21 are brought into contact with the inner pair of first lead portions 221B, thereby making the piezoelectric vibrator 21 is fixed to the lead frame 22.

また、回路モジュール13を圧電振動子21と同一の平面に並んで配置するようにリードフレーム22に固着する(ステップS25)。ここで、図4のように、回路モジュール13の六つの端子とリードフレーム22の端子とを合わせるように回路モジュール13をリードフレーム22に固着する。   Further, the circuit module 13 is fixed to the lead frame 22 so as to be arranged in the same plane as the piezoelectric vibrator 21 (step S25). Here, as shown in FIG. 4, the circuit module 13 is fixed to the lead frame 22 so that the six terminals of the circuit module 13 and the terminals of the lead frame 22 are aligned.

また、第一電極部211及び第一リード部221から第一母材224を切り離す(ステップS26)。リードフレーム22によって圧電振動子21と回路モジュール13とを固着した後、複数の第一電極部211及び第一リード部221から図7に一点鎖線で示された第一母材224を切り離す。   Further, the first base material 224 is separated from the first electrode portion 211 and the first lead portion 221 (step S26). After the piezoelectric vibrator 21 and the circuit module 13 are fixed by the lead frame 22, the first base material 224 indicated by a one-dot chain line in FIG. 7 is separated from the plurality of first electrode portions 211 and the first lead portions 221.

また、一対の第一電極部211及び一対の第二電極部122が表面に露出するように、圧電振動子21、リードフレーム22及び回路モジュール13を封止材(図示しない)で覆う(ステップS27)。第一電極部211及び第二電極部122は第一リード部221A、221B及び第二リード部123より低い平面に設けているので、それらを表面に露出するように封止することができる。図6(a)及び(b)は封止材14により封止した後の状態を示す。   Further, the piezoelectric vibrator 21, the lead frame 22, and the circuit module 13 are covered with a sealing material (not shown) so that the pair of first electrode portions 211 and the pair of second electrode portions 122 are exposed on the surface (step S27). ). Since the first electrode portion 211 and the second electrode portion 122 are provided on a lower plane than the first lead portions 221A, 221B and the second lead portion 123, they can be sealed so as to be exposed on the surface. 6A and 6B show a state after sealing with the sealing material 14.

最後、第二電極部122に連結されている第二母材125を圧電発振器20から切り離す(ステップS28)。前述の過程を経て複数の圧電発振器20が第二母材125に連結されている状態となる。その複数の圧電発振器20から第二母材125を切り離すことで本実施例に係る圧電発振器20の製造が終わることになる。   Finally, the second base material 125 connected to the second electrode portion 122 is separated from the piezoelectric oscillator 20 (step S28). The plurality of piezoelectric oscillators 20 are connected to the second base material 125 through the above-described process. By separating the second base material 125 from the plurality of piezoelectric oscillators 20, the manufacture of the piezoelectric oscillator 20 according to the present embodiment is completed.

本実施例の製造方法によって形成された圧電発振器20は、圧電振動子21と回路モジュール13とがリードフレーム22により同一の平面に並んで設けられているので、圧電発振器20の薄型化が可能になる。そして、回路モジュール13からの熱によって、圧電振動子21の周波数がシフトし、所望の周波数からずれることが防止できる。また、圧電振動子21と回路モジュール13とを封止材により覆うので、水分などの影響を受けることも防止できる。さらに、第一母材224及び第二母材125によって同時に複数の圧電発振器20が製造できるので、製造コストを低減することができる。   In the piezoelectric oscillator 20 formed by the manufacturing method of the present embodiment, the piezoelectric vibrator 21 and the circuit module 13 are provided on the same plane by the lead frame 22, so that the piezoelectric oscillator 20 can be thinned. Become. The frequency of the piezoelectric vibrator 21 is shifted by the heat from the circuit module 13 and can be prevented from deviating from a desired frequency. In addition, since the piezoelectric vibrator 21 and the circuit module 13 are covered with the sealing material, the influence of moisture or the like can be prevented. Furthermore, since the plurality of piezoelectric oscillators 20 can be manufactured simultaneously by the first base material 224 and the second base material 125, the manufacturing cost can be reduced.

また、第一の実施例に比べると、圧電振動子11の底面に第一電極部111及び引出部113を設ける代わりに、第一電極部211が第一リード部221と一緒に製造される。さらに、四つの接続端子112の代わりに、二つの接続端子212のみ形成されて圧電振動子21の製造工程がより簡単になる。   Compared to the first embodiment, the first electrode portion 211 is manufactured together with the first lead portion 221 instead of providing the first electrode portion 111 and the extraction portion 113 on the bottom surface of the piezoelectric vibrator 11. Furthermore, instead of the four connection terminals 112, only the two connection terminals 212 are formed, and the manufacturing process of the piezoelectric vibrator 21 becomes easier.

以上、薄型化を達成すると共に、発振周波数の安定化、電力の低消費化、組立性の向上、及び低コスト化という各種要求を同時に満足することができる薄型の圧電発振器が得られる。   As described above, it is possible to obtain a thin piezoelectric oscillator capable of satisfying various requirements such as stabilization of oscillation frequency, reduction of power consumption, improvement of assembling property, and cost reduction while achieving reduction in thickness.

また、本発明の最適な実施例について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施例に様々な変更・変形を加えて実施することができる。   Further, although the optimal embodiment of the present invention has been described in detail, it will be apparent to those skilled in the art that the present invention can be implemented with various modifications and variations within the technical scope thereof.

第一の実施例に係る圧電振動子の構成を示す図である。そのうち、(a)は底面図、(b)は(a)のB−B断面図、(c)は(a)のC−C断面図である。It is a figure which shows the structure of the piezoelectric vibrator which concerns on a 1st Example. Among them, (a) is a bottom view, (b) is a BB cross-sectional view of (a), and (c) is a CC cross-sectional view of (a). 第一の実施例に係る圧電発振器の組立分解図である。It is an assembly exploded view of the piezoelectric oscillator according to the first embodiment. 第一の実施例に係る圧電発振器を組立した後の斜視図である。It is a perspective view after assembling the piezoelectric oscillator according to the first embodiment. 第一の実施例に係る圧電発振器の連結構成を示す図である。そのうち、(a)は底面図、(b)は側面図である。It is a figure which shows the connection structure of the piezoelectric oscillator which concerns on a 1st Example. Among these, (a) is a bottom view and (b) is a side view. 第一の実施例に係る圧電発振器の製造工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing process of the piezoelectric oscillator which concerns on a 1st Example. 本発明に係る圧電振動子と回路モジュールとを封止材により覆った状態を示す図である。そのうち、(a)は斜視図、(b)は底面図である。It is a figure which shows the state which covered the piezoelectric vibrator and circuit module which concern on this invention with the sealing material. Among them, (a) is a perspective view and (b) is a bottom view. 第二の実施例に係る圧電発振器の組立分解図である。It is an assembly exploded view of the piezoelectric oscillator according to the second embodiment. 第二の実施例に係る圧電発振器の製造工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the manufacturing process of the piezoelectric oscillator which concerns on a 2nd Example. 従来の圧電振動子と半導体部品とが上下に形成された圧電発振器の構成を示す図である。そのうち、(a)は一例の断面図、(b)は(a)の底面図である。It is a figure which shows the structure of the conventional piezoelectric oscillator with which the piezoelectric vibrator and the semiconductor component were formed up and down. Among them, (a) is a sectional view of an example, and (b) is a bottom view of (a). 従来の圧電振動子と回路モジュールとが回路基板の上に隣接するように形成された圧電発振器の構成を示す図である。そのうち、(a)は平面図、(b)は断面図である。It is a figure which shows the structure of the piezoelectric oscillator formed so that the conventional piezoelectric vibrator and the circuit module might adjoin on a circuit board. Among these, (a) is a plan view and (b) is a cross-sectional view.

符号の説明Explanation of symbols

10、20 …… 圧電発振器
11、21 …… 圧電振動子
12、22 …… リードフレーム
13 …… 回路モジュール
14 …… 封止材
111、211 …… 第一電極部
112、112A、112B、212 …… 接続端子
113 …… 引出部
114 …… 圧電振動片
115 …… 導電接着剤
116、216 …… パッケージ
121、121A、121B、221、221A、221B …… 第一リード部
122 …… 第二電極部
123 …… 第二リード部
124、224 …… 第一母材
125 …… 第二母材
40 …… パッケージ
41 …… 圧電振動片
42 …… 半導体部品
43 …… 蓋体
44 …… 電極
45 …… 回路基板
46 …… 圧電振動子
47 …… モジュール基板
48 …… 回路素子
49 …… 封止材
10, 20 ... Piezoelectric oscillators 11, 21 ... Piezoelectric vibrators 12, 22 ... Lead frame 13 ... Circuit module 14 ... Sealing material 111, 211 ... First electrode portions 112, 112A, 112B, 212 ... ... Connection terminal 113 ... Leading part 114 ... Piezoelectric vibrating piece 115 ... Conductive adhesive 116, 216 ... Package 121, 121A, 121B, 221, 221A, 221B ... First lead part 122 ... Second electrode part 123 ...... Second lead portion 124, 224 ...... First base material 125 ...... Second base material 40 ...... Package 41 ...... Piezoelectric vibrating piece 42 ...... Semiconductor component 43 ...... Lid 44 ... Electrode 45 ...... Circuit board 46 ... Piezoelectric vibrator 47 ... Module board 48 ... Circuit element 49 ... Sealing material

Claims (10)

圧電振動片と前記圧電振動片を収容するパッケージとを含む圧電振動子であって、
側面には、少なくとも四つの接続端子が形成され、
底面には、一対の電極部と、前記接続端子のうちの一対の接続端子と前記一対の電極部とをそれぞれ接続する引出部とが形成されることを特徴とする圧電振動子。
A piezoelectric vibrator including a piezoelectric vibrating piece and a package for housing the piezoelectric vibrating piece,
On the side, at least four connection terminals are formed,
The piezoelectric vibrator according to claim 1, wherein the bottom surface includes a pair of electrode portions and a lead portion that connects the pair of connection terminals of the connection terminals and the pair of electrode portions.
圧電振動片を収容し、底面に一対の第一電極部が設けられた圧電振動子と、
前記圧電振動子と同一の平面に並んで配置され、回路素子が実装された回路モジュールと、
前記圧電振動子と前記回路モジュールとを電気接続するとともに、一対の第二電極部が設けられたリードフレームと、
を備えることを特徴とする圧電発振器。
A piezoelectric vibrator containing a piezoelectric vibrating piece and having a pair of first electrode portions provided on the bottom surface;
A circuit module in which circuit elements are mounted and arranged in the same plane as the piezoelectric vibrator;
While electrically connecting the piezoelectric vibrator and the circuit module, a lead frame provided with a pair of second electrode portions,
A piezoelectric oscillator comprising:
前記圧電振動子の側面は、前記リードフレームを介して前記回路モジュールに接続される四つの接続端子を含み、
前記圧電振動子の底面は、前記四つの接続端子のうちの一対の接続端子と前記一対の第一電極部とをそれぞれ接続する引出部を含むことを特徴とする請求項2に記載の圧電発振器。
The side surface of the piezoelectric vibrator includes four connection terminals connected to the circuit module via the lead frame,
3. The piezoelectric oscillator according to claim 2, wherein a bottom surface of the piezoelectric vibrator includes a lead portion that connects a pair of connection terminals of the four connection terminals and the pair of first electrode portions, respectively. .
前記リードフレームは、前記圧電振動子の接続端子に接続される第一リード部と、前記第二電極部に接続される第二リード部とを備えることを特徴とする請求項3に記載の圧電発振器。   4. The piezoelectric device according to claim 3, wherein the lead frame includes a first lead portion connected to a connection terminal of the piezoelectric vibrator and a second lead portion connected to the second electrode portion. Oscillator. 前記圧電振動子と前記回路モジュールとを封止材により覆うことを特徴とする請求項4に記載の圧電発振器。   The piezoelectric oscillator according to claim 4, wherein the piezoelectric vibrator and the circuit module are covered with a sealing material. 前記第一リード部及び第二リード部は前記封止材に覆われ、前記一対の第一電極部と前記一対の第二電極部とが前記封止材に覆われていないことを特徴とする請求項5に記載の圧電発振器。   The first lead portion and the second lead portion are covered with the sealing material, and the pair of first electrode portions and the pair of second electrode portions are not covered with the sealing material. The piezoelectric oscillator according to claim 5. 一対の第一電極部を有する圧電振動子を用意する工程と、
回路素子が実装された回路モジュールを用意する工程と、
一対の第二電極部が形成されたリードフレームを用意する工程と、
前記リードフレームを介して前記回路モジュールを前記圧電振動子と同一の平面に並んで配置して電気接続する工程と、
前記一対の第一電極部及び前記一対の第二電極部が表面に露出するように、前記圧電振動子と前記回路モジュールとを封止材で覆う工程と、
を備えることを特徴とする圧電発振器の製造方法。
Preparing a piezoelectric vibrator having a pair of first electrode parts;
Preparing a circuit module on which circuit elements are mounted;
Preparing a lead frame in which a pair of second electrode portions are formed;
Arranging and electrically connecting the circuit module in the same plane as the piezoelectric vibrator via the lead frame;
Covering the piezoelectric vibrator and the circuit module with a sealing material so that the pair of first electrode portions and the pair of second electrode portions are exposed on the surface;
A method for manufacturing a piezoelectric oscillator, comprising:
前記圧電振動子を用意する工程は、
前記回路モジュールに接続される四つの接続端子を側面に形成する工程と、
前記一対の第一電極部と前記第一電極部に接続する一対の引出部とを底面に形成する工程と、
を備えることを特徴とする請求項7に記載の圧電発振器の製造方法。
The step of preparing the piezoelectric vibrator includes
Forming four connection terminals connected to the circuit module on a side surface;
Forming the pair of first electrode portions and the pair of lead portions connected to the first electrode portion on the bottom surface;
The manufacturing method of the piezoelectric oscillator of Claim 7 characterized by the above-mentioned.
前記リードフレームを用意する工程は、
前記接続端子に接続される第一リード部を形成する工程と、
前記第二電極部に接続される第二リード部を形成する工程と、
を備えることを特徴とする請求項7に記載の圧電発振器の製造方法。
The step of preparing the lead frame includes
Forming a first lead portion connected to the connection terminal;
Forming a second lead portion connected to the second electrode portion;
The manufacturing method of the piezoelectric oscillator of Claim 7 characterized by the above-mentioned.
前記第一リード部は第一母材に複数形成されており、前記第二電極部及び第二リード部は第二母材に複数形成されており、
前記第一母材は、前記封止材で覆われる前に第一電極部及び前記第一リード部から切り離し、
前記第二母材は、前記封止材で覆われた後に前記第二電極部から切り離すことを特徴とする請求項9に記載の圧電発振器の製造方法。
A plurality of the first lead parts are formed on the first base material, and a plurality of the second electrode parts and the second lead parts are formed on the second base material,
The first base material is separated from the first electrode portion and the first lead portion before being covered with the sealing material,
The method for manufacturing a piezoelectric oscillator according to claim 9, wherein the second base material is separated from the second electrode portion after being covered with the sealing material.
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