JP2010088161A - 超音波モータおよび案内装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 可動体を磨擦駆動させてもパーティクルの発生が少ない超音波モータおよび案内装置を提供する。
【解決手段】 振動体５と、振動体５の振動を相手部材に伝達する押圧部材６とを備えてなる超音波モータ１において、押圧部材６の少なくとも表面は、酸化アルミニウムが６０質量％以上７０質量％以下であり、かつ炭化チタンが３０質量％以上４０質量％以下の焼結体を有してなり、前記焼結体の切断面における少なくとも１本の１０μｍ以上の直線上に存在する前記炭化チタンの結晶粒子の個数の比率は、前記直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数および酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対して５５％以上７５％以下である。
【選択図】 図１

Description

本発明は、超音波モータと、直線運動または回転運動する可動体を超音波モータにて駆動させる案内装置とに関する。また、案内装置は、特に、精密加工機械、精密測定装置および半導体製造装置等に使用可能なものに関する。

超音波モータは、振動体に超音波領域の固有振動を励振し、その振動によって生じる磨擦力を介して可動体（被駆動体）を駆動するモータである。このような超音波モータの最小振幅はナノメートルオーダーと小さいため、可動体を高精度に位置決めすることができる。しかも、超音波モータは、可動体を磨擦駆動させるため、その駆動力は大きく、これまでカメラのレンズズーム機構、および腕時計のバイブレーションアラームなど回転運動系への実用化が行われている。最近では、直線運動系への適用も試みられている。

図５に示すように、超音波モータ３１は、圧電セラミック板３２の一方の主面に４分割された電極膜３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを有する。対角に位置する電極膜３３ａと電極膜３３ｄを結線するとともに、対角に位置する電極膜３３ｂと電極膜３３ｃを結線している。さらに、他方の主面には、ほぼ全面に電極膜３４を形成した振動体３５と、圧電セラミック板３２の端面に設けた押圧部材３６とを有している。上記一方の主面に形成した電極膜３３ａと電極膜３３ｂにそれぞれ位相を異ならせた電圧を印加するとともに、他方の主面に形成した電極膜３４を接地することにより、圧電セラミック板３２に縦振動と横振動を発生させ、これらの振動の合成によって押圧部材３６を楕円運動させるようになっている。

図６に示すように、案内装置３７は、ベース盤３８上にクロスローラガイド等の一対のガイド部材３９を備え、これらのガイド部材３９によって可動体としてのステージ４０が直線的に案内されるようになっている。

また、ステージ４０の一方の側面には駆動力伝達部材４１が、ステージ４０の他方の側面にはリニアスケール４２がそれぞれ設置され、リニアスケール４２と対向する位置には測定ヘッド４３を設けて位置検出手段４４を構成する。また、駆動力伝達部材４１には、その長手方向に対して垂直に超音波モータ３１の押圧部材３６を当接させている。ステージ４０の移動に伴う位置検出手段４４からの位置情報と、予め設定してあるステージ４０の移動プロファイルに基づく基準位置情報との偏差に応じて変化するパラメータを基に制御部４５にて、例えばＰＩＤ演算処理を行ってドライバ４６に超音波モータ３１への指令信号を出力するフィードバック制御を行うことにより、超音波モータ３１がその指令信号に応じて駆動し、その押圧部材３６との磨擦駆動によりステージ４０をガイド部材３９に沿って移動させるようになっている。

なお、図中４７は超音波モータ３１を収容するケースである。超音波モータ３１はケース４７内において、４つのバネ４８により挟持されており、超音波モータ３１の後端とケース４７との間に設けられたスプリング４９によって超音波モータ３１の押圧部材３６を駆動力伝達部材４１に押し付けるようになっている。

また、５０は超音波モータ３１の押し付け力を測定するためのロードセルである。

超音波モータ３１の押圧部材３６は、駆動力伝達部材４１に押し付けられた状態で摺動することから、耐磨耗性に優れた材料により形成する必要があり、このような材料としてアルミナを主成分とし、副成分として炭化チタンを含有するアルミナ質焼結体により形成した押圧部材が提案されている（例えば、特許文献１を参照）。
特開２００３−１８８７０号公報

この超音波モータ３１の押圧部材３６は、ある程度磨耗や脱粒を抑えられる。しかし、精密測定装置，半導体製造装置等のパーティクルの抑制が厳しく要求される装置にこの超音波モータ３１を用いた案内装置３７を搭載すると、発生した磨耗粉や脱粒粉がパーティクルとなり、必ずしもこの要求を十分満たすものではなかった。

本発明は、上述のような課題を解決するためのものであって、可動体を磨擦駆動させてもパーティクルの発生が少ない超音波モータおよび案内装置を提供するものである。

本発明の超音波モータは、振動体と、該振動体の振動を相手部材に伝達する押圧部材とを備えてなる超音波モータにおいて、前記押圧部材の少なくとも表面は、酸化アルミニウムが６０質量％以上７０質量％以下であり、かつ炭化チタンが３０質量％以上４０質量％以下の焼結体により形成してなり、前記焼結体の切断面における少なくとも１本の１０μｍ以上の直線上に存在する前記炭化チタンの結晶粒子の個数の比率は、前記直線上に存在する前記炭化チタンの結晶粒子の個数および前記酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対して５５％以上７５％以下であることを特徴とする。

本発明の案内装置は、超音波モータを構成する前記押圧部材を可動体に当接させて配置し、前記超音波モータの振動を前記押圧部材を介して伝達することにより前記可動体を磨擦駆動させるようにしたことを特徴とする。

本発明の超音波モータによれば、酸化アルミニウムの結晶粒子より硬度が高い炭化チタンの結晶粒子は分散して酸化アルミニウムの結晶粒子に対してアンカー効果を及ぼす。その結果、本発明の超音波モータによって、可動体を磨擦駆動させても、結晶粒子は脱粒しにくくなって、パーティクルの発生を抑えることできる。さらに、押圧部材の製造工程において、スライシングマシーンやダイシングソーを用いて基板から押圧部材を切り出しても、結晶粒子はほとんど脱粒しなくなる。

また、本発明の案内装置によれば、パーティクルの発生が抑えられているため、信頼性が高い。

以下、本発明を実施するための最良の形態（以下、本実施形態）について図面を用いて説明する。

図１に示すように、本実施形態の超音波モータ１は、超音波領域の振動を発生させる圧電セラミック板２の一方の主面に格子状に配置された電極３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを備えている。また、圧電セラミック板２の他方の主面には、ほぼ全面に電極４が形成された振動体５と、振動体５の端面に接続され、振動体５の振動を相手部材に伝達する押圧部材６とを備えている。

超音波モータ１は、例えば多重モード型である。圧電セラミック板２は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸バリウム、ニオブ酸リチウムチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ），チタン酸鉛（ＰＴ），チタン酸バリウム（ＢＴ），ビスマス（Ｂｉ）層状化合物，タングステンブロンズ化合物またはニオブ（Ｎｂ）酸アルカリ化合物等のペロブスカイト構造を示す化合物のいずれかで形成すればよい。

また、対角線上に配置された電極３ａ，３ｄが配線７ａによって、また電極３ｂ，３ｃが配線７ｂによって電気的に接続されている。

そして、一方の主面に配置された電極３ａと電極３ｂとに位相を９０°異ならせた電圧を印加するとともに、他方の主面に形成された電極４を接地することにより、圧電セラミック板２に縦振動と横振動を発生させ、これらの振動の合成によって押圧部材６をある方向に楕円運動させることができるようになっている。また、電極３ａと電極３ｂにそれぞれ位相を反転させた電圧を印加することにより押圧部材６を前記方向に対して反対方向に楕円運動させることができるようになっている。

この結果、押圧部材６が押し当てられた可動体８は、図２（ａ），（ｂ）に示すように、押圧部材６の回転方向に移動する。

なお、電圧を印加しない状態では、可動体８は、押し当てられた押圧部材６に保持されて、停止状態が維持される。

本実施形態の超音波モータ１を構成する押圧部材６の少なくとも表面は、酸化アルミニウムが６０質量％以上７０質量％以下であり、かつ炭化チタンが３０質量％以上４０質量％以下の焼結体を有している。また、焼結体の切断面における少なくとも１本の１０μｍ以上の直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数の比率は、この直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数および酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対して５５％以上７５％以下である。

押圧部材６は、酸化アルミニウムが有する機械的特性，耐磨耗性および耐熱性をできるだけ維持しながら、炭化チタンにより速やかに電荷を除去したり、破壊靱性を調整したりするように構成されている。押圧部材６における炭化チタンの含有量は、導電性および機械加工性に影響を及ぼす。すなわち、炭化チタンの含有量が少ない場合、体積固有抵抗が高くなることで導電性が低下して、押圧部材６および可動体８から脱粒した結晶粒子等のパーティクルが押圧部材６に付着しやすい。一方、炭化チタンの含有量が多いと、押圧部材６の靱性が高くなり機械加工性は低下する。

本実施形態で炭化チタンの含有率を３０質量％以上４０質量％以下としたのは、この範囲では高い導電性および高い機械加工性を維持することができるからである。

押圧部材６を構成する元素１００質量％（但し、炭素（Ｃ）および酸素（Ｏ）を除く。）中における酸化アルミニウムおよび酸化チタンの比率は、蛍光Ｘ線分析法またはＩＣＰ（Inductivity Coupled Plasma）発光分析法によりＡｌおよびＴｉの各比率を求め、Ａｌについては酸化物に、Ｔｉについては炭化物に換算すればよい。

押圧部材６の導電性については体積固有抵抗を求めて評価すればよく、体積固有抵抗は、４端子法に基づいて測定すればよい。体積固有抵抗は、押圧部材６に帯電した電荷を良好に除去できるという点から、２×１０^―１Ω・ｍ以下であることが好ましく、特に２×１０^―３Ω・ｍ以下であることが好適である。また、押圧部材６の機械加工性については、研磨加工における単位時間当たりの研磨量を測定することにより評価すればよい。

このような押圧部材６は、主成分および副成分がそれぞれＡｌ_２Ｏ_３およびＴｉＣである複合焼結体からなり、焼結助剤としてＴｉＯ_２が用いられる。このＴｉＯ_２は、焼成工程で焼成雰囲気中に含まれる微量の一酸化炭素（ＣＯ）により、式（１）に示すようにＴｉＯに還元される。還元されたＴｉＯは、式（２）に示すように、ＴｉＣに固溶して、新たにＴｉＣ_ｘＯ_ｙ（ｘ＋ｙ＜１、かつｘ＞＞ｙ）を生成する。なお、ｘ＝０．８５〜０．９，ｙ＝０．１〜０．１５である。

ＴｉＯ_２＋ＣＯ→ＴｉＯ＋ＣＯ_２・・・（１）
ＴｉＯ＋ＴｉＣ→ＴｉＣ_ｘＯ_ｙ（ｘ＋ｙ＜１、かつｘ＞＞ｙ）・・・（２）
生成したＴｉＣ_ｘＯ_ｙは、ＴｉＯの固溶量ｙに応じて密度が異なり、固溶量ｙを０．１５にすると、押圧部材６の密度が最も大きくなる。

焼結助剤として添加したＴｉＯ_２は、そのほとんどがＴｉＣ_ｘＯ_ｙに変化する。特に、ｘ＝０．８５〜０．９，ｙ＝０．１〜０．１５の範囲では、ＴｉＣへのＴｉＯの固溶により内部に発生する直径が３００ｎｍ〜５００ｎｍの微小な気孔を低減でき、気孔の凝集も抑制することができる。その結果、焼結体における気孔の平均気孔径を２００ｎｍ以下とし、焼結体における気孔の面積占有率を０．０３％以下とすることができる。

この原子数ｘおよびｙを求めるには、まず、蛍光Ｘ線分析法またはＩＣＰ発光分光分析法により、ＡｌおよびＴｉの含有量を測定し、ＣおよびＯ_２の含有量については、炭素分析装置および酸素分析装置を用いて測定する。次に、Ａｌを酸化物に換算し、酸素分析装置を用いて測定したＯ_２量からＡｌの酸化物換算に必要なＯ_２量を差し引いたものがＴｉＣ_ｘＯ_ｙのＯ_２量となる。これにより、Ｔｉ，Ｃ，Ｏ_２の各元素の含有量が明らかとなり、これらの各元素の含有量をＴｉ，Ｃについては原子量、Ｏ_２については分子量で除すことにより各元素のモル数が求められ、Ｔｉのモル数を１としたときの各元素の比がｘおよびｙの原子数となる。

あるいは、透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscope（ＴＥＭ））を用いて、エネルギー分散型Ｘ線分光法（Energy dispersive X-ray Spectroscopy（ＥＤＳ））により、原子数ｘおよびｙを求めてもよく、所望の精度に応じて測定精度の高い方法を用いればよい。

本実施形態では、押圧部材６を形成する焼結体の切断面において、少なくとも１本の１０μｍ以上の直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数を、直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数および酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対して５５％以上７５％以下にする。これにより、酸化アルミニウムの結晶粒子より硬度が高い炭化チタンの結晶粒子は、分散して酸化アルミニウムの結晶粒子に対してアンカー効果を及ぼす。その結果、磨擦駆動させているときに結晶粒子は脱粒しにくくなって、パーティクルの発生も抑えることできる。さらに、押圧部材の製造工程において、スライシングマシーンやダイシングソーを用いて基板から押圧部材を切り出しても、結晶粒子はほとんど脱粒しなくなる。

ここで、炭化チタンの結晶粒子の個数の比率を求めるのに焼結体の切断面における少なくとも１本の直線の長さを１０μｍ以上としたのは、以下の理由による。本実施形態の超音波モータ１を構成する押圧部材６を形成する焼結体の平均結晶粒径が０．２５μｍ以下であって、直線の長さが１０μｍ以上であれば、焼結体全体の炭化チタンの結晶粒子の個数および酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対する炭化チタンの結晶粒子の個数の比率を精度よく求めることができるからである。なお、測定の精度を十分に確保しつつ必要以上に手間をかけ過ぎないようにするには、直線の長さの上限は１００μｍ以下とすることが好適である。

また、この直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数および酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対する炭化チタンの結晶粒子の個数の比率については、以下のような手順で求めることができる。

まず、押圧部材６の任意の面をダイヤモンド砥粒を用いて研磨加工して鏡面とする。その後、この面を燐酸により数１０秒程度エッチング処理する。次に、走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope（ＳＥＭ））を用いて、エッチング処理した面のうちで任意の場所を選び、倍率を１０，０００〜１３，０００倍程度で撮影して５μｍ×８μｍの範囲の画像（以下、この画像をＳＥＭ画像という。）を得る。得られたＳＥＭ画像を例えばＪｔｒｉｍというフリーソフトを用いて画像処理する。具体的には、ＳＥＭ画像をグレースケールに変換し、その後、フィルターによって細かいノイズを除去して、ＳＥＭ画像よりもコントラストを強調した画像を求める。

次に、このコントラストが強調された画像にこの画像の輝度（明暗）を強調する処理を行なった後に、２値化処理をする。この処理によって得られた画像により、その画像における各結晶粒子が占める面積を画素数として表示させる。なお、２値化処理とは画像の濃度を白か黒の２つの値に変換する処理をいい、この２値化処理では、酸化アルミニウムの結晶粒子は黒色、炭化チタンの結晶粒子は白色として処理される。

そして、例えば「画像から面積」（製作者：赤尾鉄平）というフリーソフトを用いて、表示された画素数から炭化チタンの結晶粒子および酸化アルミニウムの結晶粒子がそれぞれ占有する面積に変換する。次に、これらの結晶粒子の占有する面積の合計を１００μｍ^２とした場合の炭化チタンの結晶粒子および酸化アルミニウムの結晶粒子の面積をそれぞれ算出する。次に、算出したそれぞれの結晶粒子の面積が占める部分を正方形とみなして、その正方形の一辺の長さを求め、それぞれの平均結晶粒径で除すことで炭化チタンおよび酸化アルミニウムの各結晶粒子の個数を求めることができる。そして、得られた炭化チタンの結晶粒子の個数を炭化チタンおよび酸化アルミニウムの各結晶粒子の個数の合計で除することによって、任意の１０μｍの直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数および酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対する炭化チタンの結晶粒子の個数の比率を算出することができる。なお、任意の１０μｍ以上１００μｍ以下の直線上にある炭化チタンの結晶粒子の比率を求める場合には、この炭化チタンの結晶粒子の個数の比率は基本的にはどの場所でも変わらないので、前述の結晶粒子の占有する面積の合計を１００μｍ^２〜１００００μｍ^２の範囲に設定すればよい。

また、炭化チタンの結晶粒子の平均結晶粒径の大きさによって、超音波モータ１を構成する押圧部材６の加工性が異なる。炭化チタンの結晶粒子の平均結晶粒径が小さいと、酸化アルミニウムの結晶粒子の異常な粒成長が抑制されやすくなる。このため、過大な酸化アルミニウムの結晶粒子が存在しないようになり、結晶粒子は脱粒しにくくなる。

特に、押圧部材６を形成する焼結体における炭化チタンの結晶粒子は、平均結晶粒径が０．２５μｍ以下であることが好適である。平均結晶粒径が０．２５μｍ以下の微粒な炭化チタンの結晶粒子により、酸化アルミニウムの結晶粒子の異常な粒成長がより抑制されやすくなるために、結晶粒子はさらに脱粒しにくくなるからである。

また、平均結晶粒径が０．２５μｍ以下であると、個々の結晶粒子が小さいために結晶粒界は多くなり、押圧部材６を得るための板状の焼結体を短冊状、角柱状に順次切断するときに発生した応力は結晶粒界により吸収あるいは緩和が進む。このため、押圧部材６内における残留応力は低減する。

押圧部材６を形成する焼結体の炭化チタンの平均結晶粒径（ＤＴ）と酸化アルミニウムの平均結晶粒径（ＤＡ）との関係は、スライシングマシーンやダイシングソーで切断するときの加工性に影響を与える。炭化チタンの平均結晶粒径（ＤＴ）に対する酸化アルミニウムの平均結晶粒径（ＤＡ）の比（ＤＡ／ＤＴ）が大きくなると、軟質な酸化アルミニウムが表面に多く露出した状態になる。このため、表面を研磨した場合、研磨した面の表面粗さが大きくなる傾向が強くなる。一方、炭化チタンの平均結晶粒径（ＤＴ）に対する酸化アルミニウムの平均結晶粒径（ＤＡ）の比（ＤＡ／ＤＴ）が小さくなると、硬質な炭化チタンが表面に多く露出した状態になるので、加工効率が低下する傾向が強くなる。

したがって、押圧部材６を形成する焼結体の炭化チタンの平均結晶粒径（ＤＴ）に対する酸化アルミニウムの平均結晶粒径（ＤＡ）の比（ＤＡ／ＤＴ）を１以上２以下とすることが好ましい。焼結体中の任意の断面における酸化アルミニウムが占める面積は、炭化チタンが占める面積の１〜２倍程度になるため、短冊状または角柱状に切断するときの加工効率を低下させることなく、表面粗さの小さい表面を形成することができる。

また、焼結体における脱粒を抑制するという観点から、焼結体における結晶粒子は、平均結晶粒径が０．２５μｍ以下（但し、０μｍを除く。）、最大結晶粒径が１μｍ以下であることが好適である。

なお、上述した焼結体の平均結晶粒径，最大結晶粒径，炭化チタンの平均結晶粒径（ＤＴ）および酸化アルミニウムの平均結晶粒径（ＤＡ）は、以下のような手順で求めることができる。

まず、焼結体の任意の面をダイヤモンド砥粒を用いて研磨加工して鏡面とした後、この面を燐酸により数１０秒程度エッチング処理する。次に、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、エッチング処理した面のうちで任意の場所を選び、倍率を１００００〜１３０００倍程度で撮影した５μｍ×８μｍの範囲の画像（以下、この画像をＳＥＭ画像と称す。）を得る。そして、ＳＥＭ画像を例えば「Image-Pro Plus」という画像解析ソフト（日本ビジュアルサイエンス（株）製）を用いて解析することにより、焼結体の平均結晶粒径，最大結晶粒径，炭化チタンの平均結晶粒径（ＤＴ）および酸化アルミニウムの平均結晶粒径（ＤＡ）を求めることができ、その比（ＤＡ／ＤＴ）も算出することができる。

加えて、押圧部材６を形成する焼結体における酸化アルミニウムの結晶粒子は、平均結晶粒径が０．２５μｍ以下であることがより好適である。酸化アルミニウムの結晶粒子の平均結晶粒径が０．２５μｍ以下であることによって、酸化アルミニウムの結晶粒子と炭化チタンの結晶粒子とが共に微粒となるために、結晶粒子が脱粒するおそれをさらに低減することができるからである。

また、押圧部材６を形成する焼結体は、平均気孔径については２００ｎｍ以下であることが好ましく、前記焼結体における気孔の面積占有率については０．０３％以下であることが好ましい。

焼結体における気孔の平均気孔径が２００ｎｍ以下であると、焼結体を切断しても、気孔の周囲に存在する粒子間結合が弱い粒子にクラックが伝播しにくくなる。また、焼結体における気孔の面積占有率が０．０３％以下であると、気孔が占める面積が極めて小さいことから、焼結体を加工しているときに気孔同士が起点となって発生するルーズクラックを抑制することができ、脱粒のおそれをさらに低減することができる。

また、気孔は各結晶粒子の三重点や二面界粒界部ではなく、結晶粒子の内部に存在することがより好適である。気孔が結晶粒子の内部に存在することで、脱粒のおそれをさらに低減することができるからである。

さらに、気孔が結晶粒子の内部や界面で凝集せずに散在することがより好適である。気孔が凝集せずに散在することで、気孔同士が起点となって発生するルーズクラックを抑制することができ、脱粒のおそれをさらに低減することができるからである。

また、押圧部材６を形成する焼結体は、焼結助剤として、酸化マグネシウム，酸化ジルコニウム，酸化珪素，酸化イットリウム，酸化イッテルビウム等の酸化物を含むと、焼結が促進されるので、焼結体を容易に得ることができる。しかしながら、マグネシウム，ジルコニウム，シリコン，イットリウムおよびイッテルビウムはいずれも常磁性金属であるため、これら金属の酸化物が多くなり過ぎると、磁性を示すようになり、磁性を嫌う用途、例えば、電子ビーム露光装置等に搭載する案内装置としては用い難くなる。このような観点から、前記焼結体は、焼結助剤として常磁性の金属酸化物を０．６質量％以下含んでいることが好適である。一方、常磁性の金属酸化物が０．１質量％未満となると、焼結体を得ることが難しくなるので、常磁性の金属酸化物は０．１質量％以上含むことが好適である。

なお、酸化アルミニウム，炭化チタンおよび焼結助剤としての常磁性の金属酸化物に含まれている不可避不純物は微量混入していても何等差し支えない。

また、図３に示す案内装置９は、超音波モータ１を構成する押圧部材６を可動体８に当接させて配置し、超音波モータ１の振動を押圧部材６を介して伝達することにより可動体８を磨擦駆動させるようにしたものである。この案内装置９は、ベース盤１０上にクロスローラガイド等の一対のガイド部材１１を備え、ステージ１２と、ステージ１２を超音波モータ１の駆動力によって摩擦駆動させる駆動力伝達部材１３とからなる可動体８をガイド部材１１によって直線的に案内するようになっている。駆動力伝達部材１３は、例えば、
酸化アルミニウムの含有量が９９．５質量％以上であって、ビッカース硬度が１６ＧＰａ以上の酸化アルミニウム質焼結体からなるものであり、押圧部材６に対向する面の表面粗さは、算術平均高さ（Ｒａ）で０．０４μｍ以下であることが好適である。

なお、押圧部材６に対向する面の算術平均高さ（Ｒａ）はＪＩＳ Ｂ ０６０１：２００１（ＩＳＯ ４２８７：１９９７）に準拠して求めればよい。ここで、測定長さおよびカットオフ値をそれぞれ５ｍｍおよび０．８ｍｍとし、触針式の表面粗さ計を用いて測定する場合であれば、先端半径が２μｍの触針を当て、触針の走査速度は０．５ｍｍ／秒とすればよい。

また、ステージ１２の一方の側面には駆動力伝達部材１３を、可動体８の他方の側面にはリニアスケール１４をそれぞれ設置し、リニアスケール１４と対向する位置には測定ヘッド１５を設けて位置検出手段１６を構成するとともに、駆動力伝達部材１３には、その長手方向に対して垂直に超音波モータ１の押圧部材６を当接させてあり、可動体８の移動に伴う位置検出手段１６からの位置情報と、予め設定してある可動体８の移動プロファイルに基づく基準位置情報との偏差に応じて変化するパラメータを基に制御部１７にて例えばＰＩＤ演算処理を行ってドライバ１８に超音波モータ１への指令信号を出力するフィードバック制御を行うことにより、超音波モータ１をその指令信号に応じて楕円振動させ、超音波モータ１の押圧部材６と可動体８の駆動力伝達部材１３との磨擦駆動により可動体８をガイド部材１１に沿って移動させるようになっている。

なお、超音波モータ１は、ケース１９に収容されており、超音波モータ１はこのケース１９内で、バネ等の挟持部材２０により挟持され、超音波モータ１の後端とケース１９との間に設置されたスプリング等の弾性部材２１により、超音波モータ１の押圧部材６を駆動力伝達部材１３に押し付けられるようになっている。この押し付けられる力は、ロードセル２２によって検出される。

なお、図３では可動体８が直線運動する案内装置を例にとって説明したが、可動体が回転運動する案内装置にも適用することができる。

次に、本実施形態の超音波モータを構成する押圧部材の製造方法の一例について説明する。

本実施形態の超音波モータ１を構成する押圧部材６を得るためには、酸化アルミニウムの粉末を６０質量％以上７０質量％以下、酸化チタンの粉末を０．２質量％以上１０質量％以下および残部を炭化チタンの粉末とした原料をボールミル，ビーズミル，振動ミル，コロイドミル，アトライターあるいは高速ミキサー等に投入して、直径が２．８８ｍｍ以下の粉砕用のビーズにより平均粒径が０．５μｍ以下（但し、０μｍを除く。）になるまで均一に混合し、粉砕する。このビーズを用いて混合して粉砕することにより、焼結体の平均結晶粒径を０．２５μｍ以下にすることができる。

粉砕した原料の平均粒径は、液相沈降法，遠心沈降光透過法，レーザー回折散乱法あるいはレーザードップラー法等により測定することができる。

なお、焼結を促進してより緻密にするためには、前記原料に対し焼結助剤として常磁性の金属酸化物、例えば酸化マグネシウム，酸化ジルコニウム，酸化珪素，酸化イットリウム，酸化イッテルビウムの少なくともいずれか１種を０．１質量％以上０．６質量％以下加えてもよい。

次に、粉砕した原料に結合剤，分散剤等の成形助剤を添加して均一に混合した後に、転動造粒機，噴霧乾燥機，圧縮造粒機等の各種造粒機を用いて、例えば平均粒径を１００μｍ以下の顆粒にする。平均粒径を１００μｍ以下の顆粒としたのは、粉砕された原料が凝集したり、原料を構成する組成が分離したりする現象を起こりにくくするためであり、特に平均粒径を１０μｍ以下の顆粒とすることがより好適である。そして、得られた顆粒を乾式加圧成形，冷間等方静水圧成形等の成形手段で所望の形状に成形して成形体とした後に、加圧焼結装置内に配置する。

図４は、加圧焼結装置内におけるこの成形体の配置状態を示す断面図である。

板状の成形体２３は、その両主面よりカーボン質の離型材２４を介して黒鉛製スペーサ２５で挟まれ、段積み状態で配置される。このようにカーボン質の離型材２４を介することで、ＴｉＯ_２が焼成工程で還元されて発生する二酸化炭素（ＣＯ_２）が容易に排出されるため、焼結体の密度のばらつきを制御することができるからである。このように成形体２３を配置した後に、アルゴン，ヘリウム，ネオン，窒素あるいは真空等の雰囲気中で１４００℃以上１７００℃以下の範囲の温度で加圧焼結することで、板状の焼結体を得ることができる。この板状の焼結体は、例えば、直径が１０２ｍｍ以上１５３ｍｍ以下、厚みが４．２ｍｍ以上５ｍｍ以下の基板である。ここで、加圧焼結温度は１４００℃以上１７００℃以下としたのは、加圧焼結温度が１４００℃未満では十分焼結させることができないからであり、加圧焼結温度が１７００℃を超えると、炭化チタンの粉末が成長し結晶組織が不均一になりやすく、炭化チタンが本来備えている機能を十分に発揮することができなくなるからである。また、加圧焼結温度を１４００℃以上１７００℃以下の範囲の温度とすることで、炭化チタンの粉末を均一に分散することができる。

焼結方法について加圧焼結を選択したのは、焼結体の緻密化を促進し、押圧部材に求められる強度を得るためであり、加圧力は３０ＭＰａ以上とすることが好適である。図４中の白抜き矢印はこの加圧力の方向を示している。

なお、加圧焼結後に、必要に応じて熱間等方加圧焼結（ＨＩＰ）を行なってもよい。熱間等方加圧焼結（ＨＩＰ）を行なうことで抗折強度を容易に８００ＭＰａ以上にすることができる。

また、炭素質材料を含む遮蔽材２５を成形体２２の周囲に配置して加圧焼結することが好適である。このように成形体２２の周囲に遮蔽材２５を配置することで、炭化チタンの粒子から酸化チタンの粒子への変質を防ぎ、機械的特性の優れた焼結体とすることができるからである。

上述の方法で得られた焼結体をスライシングマシーンやダイシングソーを用いて短冊状、角柱状に順次切断することにより、押圧部材６を得ることができ、必要に応じて、側面をに研削加工を施し、円柱状にしてもよい。

さらに、研磨により、可動体８に当接する面（以下、可動体に当接する面を当接面という。）の表面粗さは、算術平均高さ（Ｒａ）で０．３μｍ以下として、曲率半径が１８０ｍｍ以上の球面からなる凸状に形成しても好適である。当接面をこのようにすることにより、可動体８と偏当たりしたとしても、磨擦力の変動を大幅に低減することができ、安定した磨擦駆動が得られるからである。

なお、当接面の算術平均高さ（Ｒａ）はＪＩＳ Ｂ ０６０１：２００１（ＩＳＯ ４２８７：１９９７）に準拠して求めればよい。ここで、測定長さおよびカットオフ値をそれぞれ５ｍｍおよび０．８ｍｍとし、触針式の表面粗さ計を用いて測定する場合であれば、先端半径が２μｍの触針を当て、触針の走査速度は０．５ｍｍ／秒とすればよい。
また、当接面の曲率半径は、３次元形状測定機を用いて求めればよい。

上述した製造方法で得られた押圧部材６は、焼結体の切断面における少なくとも１本の１０μｍ以上の直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数の比率が、直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数および酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対して５５％以上７５％以下であるので、スライシングマシーンやダイシングソーを用いて短冊状、角柱状に順次切断しても、結晶粒子はほとんど脱粒しなくなる。

そして、このような製造方法で得られた押圧部材６を振動体４に取り付けることによって得られた超音波モータ１を案内装置９に搭載すれば、押圧部材６の磨耗を少なくできるだけではなく、相手部材である駆動力伝達部材１３の磨耗も少なくすることができ、かつ傷等の発生も低減させることができるため、案内装置を長期間にわたり駆動させることができる。また、押圧部材６と駆動力伝達部材１３との間にパーティクルの介在を減少させられるため、押圧部材６と駆動力伝達部材１３との接触状態を安定させることができ、可動体８の位置決め精度に悪影響を与えることがない。さらに、駆動力伝達部材１３との磨擦熱によって、押圧部材６の当接面に酸化アルミニウムや炭化チタンより磨擦係数の大きい酸化チタンを生成させることができるため、可動体８を高速移動させるために超音波モータ１の駆動力を高めても滑りにくくなるため、ステージ１３を高速で移動させることができる。

以上、本実施形態では、多重モード型の超音波モータ１を例にとって説明したが、本発明の超音波モータは、単一振動モードの定在波型や進行波型、複数振動モードのモード変換型、複合振動型等の超音波モータにも適用できる。

以下、本発明の実施例を具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
＜実施例１＞
まず、酸化アルミニウム，炭化チタン，酸化チタン，酸化イッテルビウムの各種粉末，成形用バインダーおよび分散剤を所定量ビーズミルに投入し、メディアとしてビーズの平均粒径が表１に示す値のものを用い、原料の粉砕粒径が表１に示す粉砕粒径となるようにして、１４種類のスラリーを作製した。

なお、スラリー中の原料の粉砕粒径は、ＪＩＳ Ｚ ８８２３−２：２００４で規定する光透過式遠心沈降法を用いて平均粒径を測定した。その値を表１に示す。作製した各スラリーを噴霧乾燥法を用いて顆粒とした。その後、この顆粒を成形型に充填し乾式加圧成形して１４種類の成形体を得た。次に、この成形体を図４に示すように種類毎に１４段配置し、真空雰囲気中、１６００℃で加圧焼結した後、熱間等方加圧焼結（ＨＩＰ）を行ない、直径が１５２．４ｍｍ、厚みが４．２ｍｍの試料Ｎｏ．１〜１４の焼結体を作製した。

そして、蛍光Ｘ線分析装置（理学電機工業（株）製、RigakuＺＳＸ100ｅ）を用いてこの焼結体を形成する元素１００質量％（但し、炭素（Ｃ）および酸素（Ｏ）を除く。）に対するＡｌおよびＴｉの各比率を測定した。Ａｌについては酸化アルミニウムに、Ｔｉについては炭化チタンに換算した。各試料における酸化アルミニウムおよび炭化チタンの比率を表１に示す。

なお、酸化イッテルビウムについては、いずれの試料においても１質量％未満の微量であったため、表１には記載していない。

各試料の導電性については、ＪＩＳ Ｃ ２１４１−１９９２に準拠して体積固有抵抗を測定して、体積固有抵抗が４×１０^−１Ω・ｍ以下である試料を合格とし、４×１０^−１Ω・ｍを超える試料は、この試料から押圧部材を形成した場合、押圧部材に帯電した電荷を速やかに除去することができないために、不合格とした。

また、各試料の密度については、ＪＩＳ Ｒ １６３４−１９９６に準拠して測定して、密度が４．２６ｇ／ｃｍ^３以上である試料を合格とした。４．２６ｇ／ｃｍ^３未満の試料では、この試料から押圧部材を形成すると、表面に気孔が発生しやすくなって、可動体を磨擦駆動させているときに押圧部材に存在する気孔の周辺から酸化アルミニウムの結晶粒子の脱粒のおそれが高くなるので不合格とした。

また、１０μｍ以上の直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数および酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対する炭化チタンの結晶粒子の個数の比率については、以下のような手順で求めた。

即ち、試料の表面をダイヤモンド砥粒を用いて研磨加工して鏡面とした。その後、この面を燐酸により数１０秒程度エッチング処理した。次に、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、エッチング処理した面のうちで任意の場所を選び、倍率１３，０００倍で撮影してＳＥＭ画像を得た。得られたＳＥＭ画像から「Ｊｔｒｉｍ」というフリーソフトと「画像から面積」（製作者：赤尾鉄平）というフリーソフトとを用いてそれぞれの結晶粒子の面積を求めその面積を正方形とみなし、その一辺をそれぞれの平均結晶粒径を用いて除すことで１０μｍの直線上に炭化チタンの結晶粒子および酸化アルミニウムの結晶粒子それぞれの個数を求めた。この結果から、１０μｍの直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数および酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対する炭化チタンの結晶粒子の個数の比率を求めた。その結果を表１に示す。

なお、炭化チタンの結晶粒子および酸化アルミニウムの結晶粒子の平均結晶粒径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用い、倍率を１３０００倍にして撮影した５μｍ×８μｍの範囲の画像を、画像解析ソフト（Image-Pro Plus、日本ビジュアルサイエンス（株）製）で解析することで求めた。

また、各試料の機械加工性については、各試料の中心部から長さが７０ｍｍ，幅が３ｍｍ，厚みが４．２ｍｍの短冊状の試料１０本をダイヤモンドブレードを備えたスライシングマシーンで切り出し、切断面に発生するチッピングの最大値を金属顕微鏡を用いて、倍率４００倍で測定し評価した。

なお、このときのダイヤモンドブレードにはＳＤ１２００を用い、このダイヤモンドブレードの回転数を１００００ｒｐｍとし、送り速度を１００ｍｍ／分とし、１回の切り込み量を２ｍｍとして切り出した。

また、チッピングの最大寸法が８μｍ以上ある場合には、可動体を磨擦駆動させているときにパーティクルの発生が多くなるために、問題ありとして不合格とし、また、チッピングの最大寸法が８μｍ未満のときは問題なしとして合格とした。

これら測定値は表１に示す通りである。

表１に示す通り、試料Ｎｏ．１〜１１は、体積固有抵抗が４×１０^−１Ω・ｍ以下、密度が４．２６ｇ／ｃｍ^３以上であることから体積固有抵抗および密度については合格であるが、本発明の範囲外である試料Ｎｏ．１〜３，５は、チッピングの大きさは８μｍ以上であることから不合格とした。これは、炭化チタンの結晶粒子の個数の比率が５５％未満であるために、焼成のときに異常な粒成長をした酸化アルミニウムの結晶粒子が発生し、焼結体から短冊状に切り出したときに、この酸化アルミニウムの結晶粒子が脱粒したものと思われる。一方、本発明の試料Ｎｏ．４，６〜１１は、チッピングの大きさは８μｍ未満であることから合格とした。これらは、炭化チタンが３０質量％以上４０質量％以下の本発明の範囲内であったため、導電性，機械加工性ともに高い。そして、各試料の切断面における１０μｍ以上の直線上に存在する炭化チタンの結晶粒子の個数の比率が５５％以上７５％以下であるために、密度が高く緻密化されており、スライシングマシーンによる切り出しによって発生するチッピングも小さいことが分かる。また、本発明の範囲外である試料Ｎｏ．１２〜１４については、チッピングの大きさが８μｍ以上であることから不合格とした。試料Ｎｏ．1２，１３については、炭化チタンが２５質量％と３０質量％に比べ少ないために炭化チタンの結晶粒子の個数および酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対して相対的に炭化チタンの結晶粒子の個数が少なくなる。このため、炭化チタンの結晶粒子の個数の比率が５５％未満となって焼成のときに異常な粒成長をした酸化アルミニウムの結晶粒子が発生して、焼結体から短冊状に切り出したときに、この酸化アルミニウムの結晶粒子が脱粒したものと思われる。さらに、試料Ｎｏ．１４については、炭化チタンの結晶粒子の個数の比率が７５％より高いことから、焼結工程で酸化アルミニウムの焼結が阻害され、焼結体から短冊状に切り出したときに、試料に存在する気孔の周辺から酸化アルミニウムの結晶粒子の脱粒が発生したものと思われる。

＜実施例２＞
次に、炭化チタンの結晶粒子の平均結晶粒径と加工性との関係を確認するために、スライシングマシーンで切り出した切断面に発生するチッピングのうち径方向の寸法が最も大きいものの値を表２に示す。このときのダイヤモンドブレードには実施例１と同一規格のものを使用した。また、スライシングマシーンの条件としては、実施例１の条件に対して送り速度を１４０ｍｍ／分として、加工条件を厳しくした。

まず、実施例１で用いた試料Ｎｏ．８の原料を用いて、表２に示すように粉砕時間が異なるスラリーを作製した。作製した各スラリーを噴霧乾燥法で顆粒とした後に、この顆粒を成形型に充填し、乾式加圧成形して５種類の成形体を作製して、残りの工程および焼結体の大きさは実施例１と同一として、試料Ｎｏ．１５〜１９を作製した。

また、各試料の炭化チタンの結晶粒子の平均結晶粒径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用い、倍率を１３０００倍にして撮影した５μｍ×８μｍの範囲の画像を画像解析ソフト（Image-Pro Plus、日本ビジュアルサイエンス（株）製）で解析して求めた。また、各試料の機械加工性については、各試料の中心部から長さが７０ｍｍ，幅が３ｍｍ，厚みが４．２ｍｍの短冊状の試料１０本をダイヤモンドブレードを備えたスライシングマシーンで切り出し、切断面に発生するチッピングの最大値は金属顕微鏡を用いて倍率４００倍で測定して、チッピングの最大値を測定した。

これら測定値は表２に示す通りである。

表２に示すように、炭化チタンの結晶粒子の平均結晶粒径が０．２５μｍ以下である試料Ｎｏ．１７〜１９は、ダイヤモンドブレードの送り速度を１４０ｍｍ／分として加工条件を厳しくして加工しても、ＴｉＣ結晶粒子の平均結晶粒径が０．２５μｍ以下と微粉のためにチッピングの最大値は６μｍ以下と小さく、良好であることが分かる。

＜実施例３＞
本実施例では、押圧部材を形成する焼結体について、平均気孔径および気孔の面積占有率と機械加工性との関係を確認した。

押圧部材６は、基本的に実施例１と同様の条件で作製した。ただし、本実施例では、実施例１で用いた試料Ｎｏ．９（表１参照）の原料を用いて表３に示すように粉砕粒径を異ならせて７種類のスラリーを作製し、これらのスラリーから試料Ｎｏ．２０〜２６を作製した。

平均気孔径および気孔の面積占有率は、焼結体の断面を「クロスセクションポリッシャー」（日本電子（株）製）にて加工して鏡面とした後に、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて得られるＳＥＭ画像に基づいて測定した。ＳＥＭ画像は、鏡面における任意の場所を１５視野（１２．６μｍ×８．８μｍ）選び、倍率を１００００倍にして１５視野分撮影した。

平均気孔径は、得られたＳＥＭ画像から全気孔の最大長径を測定し、その平均値を算出した。平均気孔径の測定結果は、表３に示す通りである。

気孔の面積占有率の測定においては、まず得られたＳＥＭ画像から「Ｊｔｒｉｍ」というフリーソフトと「画像から面積」（製作者：赤尾鉄平）を用いて気孔の面積を求め、１５視野における気孔の総面積を算出した。さらに、１５視野分のＳＥＭ画像の総面積（１２．６μｍ×８．８μｍ×１５）の比率を求め、気孔の面積占有率を算出した。気孔の面積占有率の測定結果を表３に示す。

押圧部材の機械加工性は、基本的に実施例１と同様にしてチッピングの最大値として評価した。ただし、ダイヤモンドブレードは実施例１と同一規格のものを使用したが、実施例２と同様に、ダイヤモンドブレードの送り速度を１４０ｍｍ／分として、実施例１よりも加工条件を厳しく設定した。チッピングの最大値については、切断面における短冊片の長手方向の寸法が最も大きいものを選択し、表３に示す通りである。

表３に示すように、平均気孔径が２００nｍ以下である試料Ｎｏ．２２〜２６は、ダイヤモンドブレードの送り速度を１４０ｍｍ／分として加工条件を厳しくしても、チッピングの最大値は６μｍ以下と小さく機械加工性に優れるものであった。特に、平均気孔径が１００ｎｍ以下である試料Ｎｏ．２５，２６では、チッピングの最大値は３μｍ以下と機械加工性が良好であることが分かる。

気孔の面積占有率が０．０３％以下である試料Ｎｏ．２２〜２６は、チッピングの最大値は６μｍ以下と小さく機械加工性に優れるものであった。特に、気孔の面積占有率が０．０２％以下である試料Ｎｏ．２５，２６では、チッピングの最大値は３μｍ以下と機械加工性が良好であることが分かる。

実施例１〜３の結果から、本発明の超音波モータを用いれば、可動体を磨擦駆動させても、結晶粒子は脱粒しにくくなって、パーティクルの発生を抑えることが確認できた。

また、このような優れた本発明の超音波モータを用いて本発明の案内装置を作製すれば、可動体を磨擦駆動させても、パーティクルの発生が抑えられるため、信頼性が高い装置とすることができる。

＜実施例４＞
本実施例では、押圧部材を形成する焼結体に焼結助剤として含まれる常磁性の金属酸化物と最大磁束密度との関係を確認した。

押圧部材６は、基本的に実施例１と同様の条件で作製した。ただし、本実施例では、実施例１で用いた試料Ｎｏ．９（表１参照）の原料を用いて表４に示すように焼結助剤の種類および含有量を異ならせて８種類のスラリーを作製し、これらのスラリーから試料Ｎｏ．２７〜３４を作製した。

そして、押圧部材６を形成する材料と同一の材料から、長さ３ｍｍ、幅３ｍｍ、厚み１．２ｍｍの板状体を作製して、交番磁力計（（株）東京インスツルメンツ製 ２９００−０４Ｃ型）を用いて、板状体の最大磁束密度を測定した。

これらの結果を表４に示す。

表４に示す通り、試料Ｎｏ．２９，３０，３２，３３は、焼結助剤として常磁性の金属酸化物を０．６質量％以下含んでいることから、最大磁束密度が低いことが分かる。このため、磁性を嫌う用途、例えば、電子ビーム露光装置等の案内装置に好適に用いることができる。

本発明の一態様に係る超音波モータを説明する図であり、（ａ）は超音波モータの正面図、（ｂ）は背面図である。 本発明の一態様に係る超音波モータの動作を示す正面図である。 本発明の一態様に係る案内装置を説明する図であり、超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置の平面図である。 加圧焼結装置内における成形体の配置状態を示す断面図である。 従来の超音波モータの一例を説明する図であり、（ａ）は超音波モータの正面図、（ｂ）は背面図である。 従来の超音波モータを可動体の駆動源とする案内装置の一例を示す平面図である。

符号の説明

１： 超音波モータ
２：圧電セラミック板
３：電極
４：電極
５：振動体
６：押圧部材
７：配線
８：可動体
９： 案内装置
１０：ベース盤
１１：ガイド部材
１２：ステージ
１３：駆動力伝達部材
１４：リニアスケール
１５：測定ヘッド
１６：位置検出手段
１７：制御部
１８：ドライバ
１９：ケース
２０：挟持部材
２１：弾性部材
２２：ロードセル
２３：成形体
２４：離型材
２５：黒鉛製スペーサ
２６：遮蔽材

Claims (9)

1. 振動体と、該振動体の振動を相手部材に伝達する押圧部材とを備えてなる超音波モータにおいて、前記押圧部材の少なくとも表面は、酸化アルミニウムが６０質量％以上７０質量％以下であり、かつ炭化チタンが３０質量％以上４０質量％以下の焼結体を有してなり、前記焼結体の切断面における少なくとも１本の１０μｍ以上の直線上に存在する前記炭化チタンの結晶粒子の個数の比率は、前記直線上に存在する前記炭化チタンの結晶粒子の個数および前記酸化アルミニウムの結晶粒子の個数の合計に対して５５％以上７５％以下であることを特徴とする超音波モータ。
2. 前記焼結体における前記炭化チタンの結晶粒子は、平均結晶粒径が０．２５μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の超音波モータ。
3. 前記焼結体における炭化チタンの平均結晶粒径（ＤＴ）に対する酸化アルミニウムの平均結晶粒径（ＤＡ）の比（ＤＡ／ＤＴ）は、１以上２以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の超音波モータ。
4. 前記焼結体における結晶粒子は、平均結晶粒径が０．２５μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の超音波モータ。
5. 前記焼結体における結晶粒子は、最大結晶粒径が１μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の超音波モータ。
6. 前記焼結体における気孔の平均気孔径は、２００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の超音波モータ。
7. 前記焼結体における気孔の面積占有率は、０．０３％以下であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の超音波モータ。
8. 前記焼結体は、焼結助剤として常磁性の金属酸化物を０．６質量％以下含んでいることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載の超音波モータ。
9. 請求項１乃至８のいずれかに記載の超音波モータを構成する前記押圧部材を可動体に当接させて配置し、前記超音波モータの振動を前記押圧部材を介して伝達することにより前記可動体を磨擦駆動させるようにしたことを特徴とする案内装置。