JP2010086026A - 静電容量センサモジュールの検査方法及びその検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 静電容量方式タッチセンサの主構成部分である静電容量センサモジュールについて、手間と人手がかからず、また検査毎に判定にばらつきが生じない検査方法及びその検査装置を提供する。
【解決手段】 絶縁基板に複数の検査電極が形成され、静電容量センサモジュールである被検査試料の入力側の面に載置されて当該被検査試料2のセンサ電極に前記検査電極が一定の間隔を開けて対向する検査治具3と、前記検査電極を任意の固定電位に1つ又は数個ごとに順次自動的に切り替える切替手段7と、前記電位の切り替えごとに前記被検査試料にて検知された前記検査治具との間の静電容量の変化値と基準とする静電容量の変化値との差を算出し、当該差が所定の数値を超える場合には、前記被検査試料を不良品と判定する判定手段8と、前記判定手段による判定結果を知らせる報知手段9と、を備えた静電容量センサモジュールの検査装置1。
【選択図】 図1
【解決手段】 絶縁基板に複数の検査電極が形成され、静電容量センサモジュールである被検査試料の入力側の面に載置されて当該被検査試料2のセンサ電極に前記検査電極が一定の間隔を開けて対向する検査治具3と、前記検査電極を任意の固定電位に1つ又は数個ごとに順次自動的に切り替える切替手段7と、前記電位の切り替えごとに前記被検査試料にて検知された前記検査治具との間の静電容量の変化値と基準とする静電容量の変化値との差を算出し、当該差が所定の数値を超える場合には、前記被検査試料を不良品と判定する判定手段8と、前記判定手段による判定結果を知らせる報知手段9と、を備えた静電容量センサモジュールの検査装置1。
【選択図】 図1
Description
本発明は、人手がかからず、また検査毎に判定にばらつきが生じない静電容量センサモジュールの検査方法及びその検査装置に関する。
従来から、表示画面上に設置されることで、ユーザが直感的に操作可能な入力装置としてタッチパネルがあり、例えば、車載用ナビゲーションシステム、携帯情報端末(PDA)、又は発券機に用いられている。このようなタッチパネルにおいて画面上に表示された操作画面をユーザが直接触れることで、上述のナビゲーションシステム、PDA又は発券機は、ユーザの操作位置に対応する処理を実行することができる。他にも、携帯ゲーム機や携帯電話機にもタッチパネルが使用されているものがあり、最近ではスマートフォンのようなデジタルオーディオプレーヤーやデジタルカメラ・携帯情報端末の機能を持つ多機能化機種では、広い表示機能を求めるためにも、操作部分を画面に集約できるタッチパネルが採用されるようになってきている。
また、タッチパネルだけでなく、触れただけでオン/オフを検知するタッチスイッチも、機械式スイッチを排除してすっきりとした形状を実現し、デザイン性の向上を図れるとして各種機器での搭載が進んでいる。
これらのタッチパネル及びタッチスイッチ(以下、総称してタッチセンサ)における位置検出の方式としては、抵抗膜方式、静電容量方式、超音波方式、光(赤外線)方式、電磁誘導方式及び歪方式が知られている。
そして、上記タッチセンサは、その性能の確認のために工場にて所定の性能評価(検査)が行われている。例えば、タッチセンサの性能評価(検査)項目には、検査者が一台ごとに実際に指を近づけ指を左右前後に最上部から最下部まで動かして、所定の入力が得られるか否かの判定を行うものがある。
しかし、上記の検査方法は大きな手間と人手がかかるという問題があり、その製品企画数量が多くなればなるほど問題も深刻であった。また、検査者が交代すれば、検査毎に判定にばらつきが生じる可能性もある。
そこで、タッチセンサを人手によらず検査することが検討されおり、すでに抵抗膜方式タッチセンサに関しては特許文献1に検査装置が開示されている。
以下、特許文献1に開示された抵抗膜方式タッチセンサの検査装置について、簡単に説明する。図11は評価中のタッチセンサの断面図を示し、図12は検査装置の全体構成を示す図である。図11に示す抵抗膜方式タッチセンサ20は、フィルム部材21Aに透明導電膜21Bが成膜された上部電極21、ガラス部材22Aに透明伝導膜22Bが成膜された下部電極22、各電極から引き出されたフレキシブル・テイル(配線板)23、およびドットスペーサ24等から構成されている。図中、25は入力ペン、26は載置台を示す。前記下部電極22の透明導電膜22B上には、微細なマトリックス状に突設した複数のドットスペーサ24が設けられ、それらを介して互いに非接触状態が保たれ、上部、下部電極21、22は互いに対面するように貼着されている。図12(a)(b)に示す検査装置は、往復直線運動をするシリンダ部材35と一体に連動し、被検査試料34の平面を所定の間隔で打点する触圧ペン36Bを備えたソレノイド33Bと、当該被検査試料34を固定する載置台30Aと、前記シリンダ部材35を駆動する制御手段Bと、前記被検査試料34の検査結果の可否を決定する判定手段とを有し、前記ソレノイド33Bが二次元的にマトリックス状にソレノイド配置板32Bに複数個配列されている。そして、検査開始とともに、指定された範囲の各ソレノイド(触圧ペン)33Bが順次打点を開始し、時分割検出回路を介して、各座標の電位を測定するものである。
しかしながら、特許文献1に開示された検査装置は、二次元的にマトリックス状に配列された触圧ペン36で、被検査試料34に所定の圧力で打点する(図13参照)ことで自動検査するものであり、人間の指が近づくことにより微弱な静電容量の変化をとらえて位置検出する静電容量方式には使えない。
したがって、本発明は、以上のような従来技術の課題を考慮し、静電容量方式タッチセンサの主構成部分である静電容量センサモジュールについて、手間と人手がかからず、また検査毎に判定にばらつきが生じない検査方法及びその検査装置を提供することにある。
本発明は、上記技術的課題を解決するために、人間の指が近づくことにより微弱な静電容量の変化をとらえて位置検出する静電容量センサモジュールの良否を検査するための方法であって、絶縁基板に複数の検査電極が形成された検査治具を前記静電容量センサモジュールである被検査試料の入力側の面に載置して当該被検査試料のセンサ電極に前記検査電極を一定の間隔を開けて対向させるステップと、前記検査電極を任意の固定電位に1つ又は数個ごとに順次自動的に切り替えるステップと、前記電位の切り替えごとに前記被検査試料にて前記検査治具との間の静電容量の変化値を検知するステップと、検知された前記検査治具との間の静電容量の変化値と基準とする静電容量の変化値との差を算出し、当該差が所定の数値を超える場合には、前記被検査試料を不良品と判定するステップと、前記判定結果を知らせるステップと、を含むように構成した。
また、前記構成の検査方法において、前記前記判定を前記電位の切り替えごとに行ない、前記不良判定が出た時点で、不良判定された前記被検査試料について前記電位の切り替えを終了するようにした。
また、前記構成の検査方法において、前記基準とする静電容量の変化値が0.01〜100PFであるようにした。
また、本発明は、人間の指が近づくことにより微弱な静電容量の変化をとらえて位置検出する静電容量センサモジュールの良否を検査するための装置であって、絶縁基板に複数の検査電極が形成され、前記静電容量センサモジュールである被検査試料の入力側の面に載置されて当該被検査試料のセンサ電極に前記検査電極が一定の間隔を開けて対向する検査治具と、前記検査電極を任意の固定電位に1つ又は数個ごとに順次自動的に切り替える切替手段と、前記電位の切り替えごとに前記被検査試料にて検知された前記検査治具との間の静電容量の変化値と基準とする静電容量の変化値との差を算出し、当該差が所定の数値を超える場合には、前記被検査試料を不良品と判定する判定手段と、前記判定手段による判定結果を知らせる報知手段と、を備えるように構成した。
また、前記構成の検査装置において、前記判定手段が、前記電位の切り替えごと判定するものであり、前記切替手段が、前記判定手段によって不良判定が出た時点で、不良判定された前記被検査試料について切り替えを終了するものとした。
また、前記構成の検査装置において、前記基準とする静電容量の変化値が0.01〜100PFであるようにした。
本発明は、検査者の指の代わりに自動的に任意の固定電位に切り替えることのできる電極を備えた検査治具を使い、その切り替えによって生じた静電容量値の変化でもって被検査試料の良否を判定するので、検査者が交代しても、検査毎に判定にばらつきが生じる可能性はなく、確実に検査を行うことができる。
また、検査治具に形成された電極を複数個にし、複数の電極各々に自動的に任意の固定電位に切り替えることができるので、手間がかからず、短時間で検査を終えることができる。また、一度、検査開始の指示した後は人手も不要となる。
以下、図面に示した実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。
図1は本発明の一実施例に係る静電容量センサモジュールの検査装置の一実施例を示す構成図である。また、図2は、複数の検査電極が形成された検査治具を被検査試料に載置する例を示す模式図である。また、図3は、検査電極を任意の固定電位に順次切り替え可能なスイッチの例を示す平面図である。また、図4及び図5は、複数の検査電極のうちの一つがアースされたことによって電極に発生していたプラス電荷が消去され、検査電極と被検査試料との間に発生していた静電容量値が変化した状態の例を示す模式図である。また、図6は、本発明に係る検査治具の一実施例を示す斜視図である。また、図7及び図8は、本発明で検査される静電容量センサモジュールの一実施例を示す裏面斜視図である。
図1から図7において、1は検査装置、2は被検査試料、2aは被検査試料のセンサ電極、2bは被検査試料の支持基板、3は検査治具、4は検査治具の絶縁基板、5は検査治具の検査電極、6はスイッチ、7は切替手段、8は判定手段、9は報知手段、15は引き出し回路、16は非アース電極、17はアース回路、18はアース電極である。
前記被検査試料2は、人間の指が近づくことにより微弱な静電容量の変化をとらえて位置検出する静電容量センサモジュールである。基本的構成は、支持基板2bに複数のセンサ電極2aが形成されたセンサ部分と、センサ部分から検出データを取り出すICチップ及びフレキシブルプリント基板とかとからなる。
例えば、図7に示す静電容量センサモジュールは、支持基板2bの裏面に複数のセンサ電極2aがボタンパターンやスライダパターンで形成され、各センサ電極2aからの引き回し線がICチップ2dを備えたフレキシブルプリント基板(FPC)2cと接続されたものであり、タッチスイッチに用いられる。
また。図8に示す静電容量センサモジュールの例は、支持基板2bの裏面に第1の次元に定位された第1の複数のセンサ電極2a(X軸トレースアレイ)が形成され、その裏面に接着された別の支持基板2bの裏面にさらに前記第1の次元に垂直である第2の次元に定位された第2の複数のセンサ電極2a(Y軸トレースアレイ)が形成され、各センサ電極2aからの引き回し線がICチップ2dを備えたフレキシブルプリント基板2cと接続されたものであり、主にタッチパネルに用いられる。
前記支持基板2bの材質としては、例えば、ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂などの各種樹脂フィルム(あるいは樹脂シート又は樹脂板)のほか、ガラス板・セラミック板・紙などであってもよい。また透明材料であってもよいし、不透明な材料であっても構わない。なお、図2においては、当該支持基板2bの前記センサ電極2aの設けられていない面が前記検査治具3と接触しているが、この面は必ずしも静電容量センサモジュールを製品に実装した後の入力面とはならない。例えば、前記静電容量センサモジュールを絶縁基材で構成される筐体の裏側に貼付けることによりタッチセンサとする場合には、当該筐体の表面がタッチセンサの入力面となる。また、前記静電容量センサモジュールの前記センサ電極2a側の面を絶縁基材で構成される筐体の裏面と対向させて貼付けることもある。
図2のように前記被検査試料2の前記支持基板2bが前記センサ電極2aと前記検査治具3の前記検査電極5との間に位置する場合、前記支持基板2bの厚みは、静電容量センサモジュールの性能に応じて適宜設定する。なぜなら、前記センサ電極2aと前記検査電極5との間に位置する前記支持基板2bの厚みを厚く設定しすぎると発生する静電容量値が小さくて差が正確な検出ができず、逆に厚みを薄く設定しすぎると電圧をかけた際にスパークするおそれがあるためである。
前記センサ電極2aの例としては、パターン化されたインジウムスズ酸化物からなる透明導電膜が挙げられるが、これ以外の透明導電材料であってもよいし、不透明な導電材料であっても構わない。前記センサ電極2aのパターン化の方法としてはフォトリソ、エッチング、印刷などいずれの方法であってもよい。
前記検査治具3は、絶縁基板4に複数の検査電極5が形成され、前記被検査試料2の入力側の面に載置されて当該被検査試料2の前記センサ電極2aに前記検査電極5が一定の間隔を開けて対向するものである。図2のように前記被検査試料2の前記支持基板2bが前記センサ電極2aと前記検査電極5との間に介在する場合、前記支持基板2bの厚みが前記センサ電極2aと前記検査電極5との間の距離を決める。なお、前述したように前記静電容量センサモジュールの前記センサ電極2a側の面を絶縁基材で構成される筐体の裏面と対向させて貼付けて使用する場合、すなわち前記被検査試料2の入力側の面が前記センサ電極2aを露出する場合には、前記検査治具3は前記検査電極5を覆う絶縁基材を備えるようにする。検査治具3を前記被検査試料2に対して載置する方法は、検査者が検査治具3を手に持って直接置いても構わないし、上下動する機械に固定した検査治具3を検査者が手動操作にて降下させてもよい。具体的な例としては、ポリエステル樹脂フィルム、ガラスエポキシ基板などからなる絶縁基板4上に円形状(図6参照)や角形状に銅・銀・ニッケルなどの導電体が検査電極5として複数形成されたフレキシブルプリント基板などが挙げられる。検査電極5が形成されてさえいれば、これに限定されない。検査電極5を構成する導電体のパターン化方法としては、フォトリソ、エッチング、印刷などいずれの方法であってもよい。
前記検査電極5の面積は、前記被検査試料2の前記センサ電極2aとの間の距離およびセンサ性能に応じて適宜設定する。検査電極5の面積を小さく設定しすぎると発生する静電容量値が小さくて差が検出できず検査の精度が低下し、検査電極5の面積を大きく設定しすぎると電圧をかけた際にスパークするおそれがあるためである。
前記切替手段7は、前記検査電極5を任意の固定電位に1つ又は数個ごとに順次切り替え可能な前記スイッチ6(図3参照)を、コンピュータ制御により順次自動的に切り替えるものである。なお、本発明で任意の固定電位にするのは、静電容量センサモジュールである前記被検査試料2に人間の指が触れた状態を擬似的に作り出すためである。
前記スイッチ6の電気的接続法としては、例えば、複数の前記検査電極5全てから引き出し回路15を設け、当該複数の引き出し回路15各々とそれに対応する複数のアース回路17とを接続するスイッチ6が順次連続して移動することにより複数の前記検査電極5各々に対してオンーオフが自動的かつ連続的になされるもの(図3(a)参照)や、複数の前記検査電極5全てから引き出し回路15を設け、一つだけのアース回路17とそれと接続しているスイッチ6が順次連続して移動することにより複数の前記検査電極5各々に対してオンーオフが自動的かつ連続的になされるもの(図3(b)参照)などが挙げられるが、これらの例に限定されない。
図4では、図3(a)または図3(b)などの電気的接続法により、複数の検査電極5のうちの一つがアース回路17と接続されアースされた電極(以下、アース電極16と呼ぶ)となって、前記被検査試料2の前記センサ電極2aと前記支持基板2b介して対向した状態になっている。このアースがされることにより、アースされていない電極(以下、非アース電極18と呼ぶ)の状態での発生電位からアース電極16の状態での固定電位に電位が変化し、前記検査電極5と前記被検査試料2との間に発生していた静電容量の値が変化する。
図4の状態での静電容量の変化値を測定した後、再び前記切替手段7にて複数の検査電極5のうちの別の一つがアース回路17と接続されてアース電極16となり、前記検査電極5と前記被検査試料2との間に発生していた静電容量の値が再び変化する(図5参照)。この状態での静電容量の変化値を測定した後、次々と固定電位の切り替えが繰り返し行なわれる。これらの静電容量の変化値のデータは、コンピュータに送られて判定手段による判定が行なわれる。
このように、前記スイッチ6を前記切替手段7にて順次自動的に切り替えることによって、従来、検査者が一台ごとに実際に指を近づけ指を左右前後に最上部から最下部まで動かして得ていた入力状態を、擬似的に作り出すということができる。この場合、検査に手間がかからず、短時間で検査を行うことができる。また、検査毎に入力のばらつきが生じる可能性はなく、確実に検査を行うことができる。
なお、前記静電容量の変化値は、前記センサ電極2aのパターン、アース電極16の面積、前記検査電極5と前記被検査試料2の前記センサ電極2aとの間の距離に依存するので、これらの条件が同じ状態であれば、基準とする静電容量センサモジュールでの静電容量の変化値と前記被検査試料2での静電容量の変化値とは原理的に同じになるはずである。
前記判定手段8は、前記被検査試料2にて測定(検知)された前記検査治具3との間の静電容量の変化値と、基準とする静電容量の変化値との差を算出し、当該差によって前記被検査試料2を良否を判定するものである。その判定は、測定(検知)された静電容量の変化値と基準とする静電容量の変化値との差が所定の数値以下であれば(理想的には0が好ましい)、前記被検査試料2を良品と判定する。逆に、当該差が所定の数値を超える場合には前記被検査試料2を不良品と判定する。前記基準とする静電容量の変化値は、前記基準とする静電容量センサモジュールについて予め測定した結果であり、そのデータはコンピュータの記憶装置に記憶されている。
前記基準とする静電容量の変化値は、0.01〜100PF程度が好ましい。静電容量の変化値が100PFを超える静電容量センサモジュールは、設定するのが難しいなどの問題があり、又、実際の指での使用を想定した場合、この程度で充分である。静電容量の変化値が0.01PFに満たない静電容量センサモジュールでは、信号が小さすぎて検出できないなどの問題があるからである。より安定して検出ができ設定しやすい静電容量センサモジュールは、0.5〜10PFの変化値のものである。
前記報知手段9は、前記判定手段8による判定結果を検査装置の傍にいる者に知らせるものである。例えば、ブザー等の音によって判定結果を知らせることができる。また、LCDやCRT等のディスプレイ表示、ランプ点灯等によって判定結果を知らせることができる。
以上のように構成された検査装置1を用いた、静電容量センサモジュールの検査方法は下記の通りである。すなわち、絶縁基板4に複数の検査電極5が形成された検査治具3を前記静電容量センサモジュールである被検査試料2の入力側の面に載置して当該被検査試料2のセンサ電極2aに前記検査電極5を一定の間隔を開けて対向させるステップ(S1)と、前記検査電極5を任意の固定電位に1つ又は数個ごとに順次自動的に切り替えるステップ(S2)と、前記電位の切り替えごとに前記被検査試料2にて前記検査治具3との間の静電容量の変化値を検知するステップ(S3)と、検知された前記検査治具3との間の静電容量の変化値と基準とする静電容量の変化値との差を算出し、当該差が所定の数値を超える場合には、前記被検査試料2を不良品と判定するステップ(S4)と、前記判定結果を知らせるステップ(S5)と、を含んでいる。なお、S2、S4及びS5は、コンピュータ中の切替手段7、判定手段8、報知手段9によって自動的に行なわれ、検査者は、前記被検査試料2に前記検査治具3を載置した後、自動検査の開始ボタンを押すだけでよい。
前記検査方法においては、前記被検査試料2のすべての前記センサ電極2aについてS2及びS3のステップを行ない、すべての測定データを記憶装置に一旦記憶させておき、最後にまとめてS4のステップを行なうことができる。また、前記検査方法においては、前記被検査試料2の1つ又は数個の前記センサ電極2aごとにS2乃至S4のステップを行なうこともできる。後者の場合、前記不良判定が出た時点で、不良判定された前記被検査試料2についてS2を終了するようにすれば、より短時間で検査を行うことができる。
また、本発明の静電容量センサモジュールの検査装置1は、前記実施形態で用いる装置構成の他に、さらに、未検査の前記被検査試料2を所定の検査位置に自動的に搬入する作業と、検査済みの前記被検査試料2を前記検査位置から自動的に搬出する作業とを、同一又は別々の装置で行なう試料搬送手段10を備えていてもよい(図9参照)。前記試料搬送手段10は、例えばロボットアームやベルトコンベヤなどである。
この装置によれば、前記検査ステップに加えて、さらに、前記ステップS1の前に、未検査の前記被検査試料2を所定の検査位置に自動的に搬入するステップ、ステップS5の後に、検査済みの前記被検査試料2を前記検査位置から自動的に搬出するステップを有し、前記被検査試料2ごとに全ての検査ステップを繰り返すようにすれば、連続して複数の前記被検査試料の検査が行なえるので、さらに検査時間が短くて済む。
また、本発明の静電容量センサモジュールの検査装置1は、前記実施形態で用いる装置構成の他に、前記被検査試料2が複数個配置され、さらに、一の未検査の前記被検査試料2のところまで前記検査治具3を自動的に移動して前記被検査試料2上に載置させ、検査後に別の未検査の前記被検査試料2のところまで前記検査治具3を自動的に移動して前記被検査試料2上に載置させることを繰り返す検査治具移動手段11を備えていてもよい(図10参照)。前記検査治具移動手段11は、例えばロボットアームなどである。
この装置によれば、前記被検査試料2を複数個配置し、前記検査ステップに加えて、さらに、一の未検査の前記被検査試料2のところまで前記検査治具3を自動的に移動して前記被検査試料2上に載置するステップ、検査後に別の未検査の前記被検査試料2のところまで前記検査治具3を自動的に移動して前記被検査試料2上に載置するステップを有し、前記被検査試料2ごとに全ての検査ステップを繰り返すようにすれば、前記試料搬送手段10を備えた装置と同様に、検査時間の短縮効果が得られる。
なお、図1から図6では任意の固定電位に切り替える例としてアースの例を記載しているが、このアースする手法に限定されるわけではなく、その他の手法により任意の固定電位に切り替えてもよい。
(実施例1) ポリイミドフィルムを絶縁基板とし、検査電極が圧延銅を材質とし直径4mmの円形状パターンからなり、ピッチ5mmの間隔で縦10列、横20列で複数形成された検査治具を用意した。そして、前記検査治具の各電極に対して引き出し回路が設けられ、各引き出し回路とそれに対応する固定電位切り替え回路(アース回路)とが連続的にオンーオフできるスライダースイッチと接続した。当該スライダースイッチは、コンピュータにより自動制御されて切替手段を構成するようにした。
一方、サイズ50mm×100mm、厚さ100μmの2軸延伸ポリエステルフィルムを支持基板とし、その裏面にエッチングにより製品のスイッチ形状に応じてパターン化されたインジウムスズ酸化物からなる透明導電膜がセンサ電極として複数形成された静電容量モジュールを、被検査試料として100個準備した。これらの被検査試料は全て判定手段を備えたコンピュータと接続されている。
そして、ロボットによって1個ずつ前記検査治具を吸着し自動的に搬送し、被検査試料の支持基板表面に載置して当該被検査試料のセンサ電極に前記検査電極を一定の間隔を開けて対向させた。
つぎに、検査者の操作により以下の自動検査を開始した。すなわち、前記スライダースイッチが順次自動的に連続して移動され、それにより前記複数の検査電極と固定電位切り替え回路とが連続的にオンーオフされ、前記電位の切り替えごとに前記被検査試料にて前記検査治具との間の静電容量の変化値を検知する。この静電容量の変化値は、コンピュータに送られて判定手段による判定が行なわれる。判定手段で判定された良否結果は、静電容量の変化値とともに報知手段であるディスプレイに表示された。なお、本検査では、静電容量の変化値と基準とする静電容量の変化値との差が0.5以下のものを不良品と判定するように判定手段のプログラムを設定した。
その結果、検査した前記被検査試料100個のうち97個が基準の静電容量センサモジュールの場合とほぼ同様の2〜7PFの数値を表示し、3個については変化値がほとんどゼロを表示し、当該3個の被検査試料を不良品と自動判定した。後で、これら前記被検査試料100個について一人の検査者が一個ずつ指をタッチして再検査したところ、前記97個が良品で数値のかなり異なっていた3個は不良品であることが確認された。従来の検査者が一個ずつ指をタッチして検査する方法では100個を検査するのに30分以上かかっていたが、上記検査装置を用いて検査した時間は8分であった
(実施例2) ポリエステルフィルムを絶縁基板とし、検査電極が銀ペーストを材質とし一辺4mmの正方形パターンからなり、ピッチ5mmの間隔で縦10列、横20列で複数形成された検査治具を用意した。そして、前記検査治具の各電極に対して引き出し回路が設けられ、各引き出し回路とそれに対応する固定電位切り替え回路(アース回路)とが連続的にオンーオフできるスライダースイッチと接続した。当該スライダースイッチは、コンピュータにより自動制御されて切替手段を構成するようにした。
一方、サイズ50mm×100mm、厚さ100μmの2軸延伸ポリエステルフィルムを支持基板とし、その裏面にエッチングにより製品のスイッチ形状に応じてパターン化された亜鉛酸化物からなる透明導電膜がセンサ電極として複数形成された静電容量モジュールを、被検査試料として100個準備した。これらの被検査試料は全て判定手段を備えたコンピュータと接続されている。
そして、ロボットによって1個ずつ前記検査治具を吸着し自動的に搬送し、被検査試料の支持基板表面に載置して当該被検査試料のセンサ電極に前記検査電極を一定の間隔を開けて対向させた。
つぎに、検査者の操作により、前記スライダースイッチが順次自動的に連続して移動され、それにより前記複数の電極と固定電位切り替え回路とが連続的にオンーオフされ、判定手段の表示部には各電極と固定電位切り替え回路とが接続された際に生じた静電容量の変化値が、次々と連続的に表示された。残りの99個の静電容量についても同様に実施した後、これらの静電容量と同じ仕様で回路が正確に形成されたことが予めわかっている標準の静電容量についても同様に実施した。
つぎに、検査者の操作により実施例1と同様の自動検査を開始した。その結果、検査した前記被検査試料100個のうち98個が基準の静電容量センサモジュールの場合とほぼ同様の0.6PF〜3PFの数値を表示し、2個については変化値がゼロを表示し、当該2個の被検査試料を不良品と自動判定した。後で、これら静電容量100個について一人の検査者が一個ずつ指をタッチして再検査したところ、前記98個が良品で数値のかなり異なっていた2個は不良品であることが確認された。従来の検査者が一個ずつ指をタッチして検査する方法では100個を検査するのに30分以上かかっていたが、上記検査治具を用いて検査した時間は9分であった。
なお、前記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。本発明は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、請求の範囲による本発明の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。
1 検査装置
2 被検査試料
2a センサ電極
2b 支持基板
2c FPC
2d ICチップ
3 検査治具
4 絶縁基板
5 検査電極
6 スイッチ
7 切替手段
8 判定手段
9 報知手段
10 試料搬送手段
11 検査治具移動手段
15 引き出し回路
16 非アース電極
17 アース回路
18 アース電極
2 被検査試料
2a センサ電極
2b 支持基板
2c FPC
2d ICチップ
3 検査治具
4 絶縁基板
5 検査電極
6 スイッチ
7 切替手段
8 判定手段
9 報知手段
10 試料搬送手段
11 検査治具移動手段
15 引き出し回路
16 非アース電極
17 アース回路
18 アース電極
Claims (6)
- 人間の指が近づくことにより微弱な静電容量の変化をとらえて位置検出する静電容量センサモジュールの良否を検査するための方法であって、
絶縁基板に複数の検査電極が形成された検査治具を前記静電容量センサモジュールである被検査試料の入力側の面に載置して当該被検査試料のセンサ電極に前記検査電極を一定の間隔を開けて対向させるステップと、
前記検査電極を任意の固定電位に1つ又は数個ごとに順次自動的に切り替えるステップと、
前記電位の切り替えごとに前記被検査試料にて前記検査治具との間の静電容量の変化値を検知するステップと、
検知された前記検査治具との間の静電容量の変化値と基準とする静電容量の変化値との差を算出し、当該差が所定の数値を超える場合には、前記被検査試料を不良品と判定するステップと、
前記判定結果を知らせるステップと、
を含むことを特徴とする静電容量センサモジュールの検査方法。 - 前記判定を前記電位の切り替えごとに行ない、前記不良判定が出た時点で、不良判定された前記被検査試料について前記電位の切り替えを終了する請求項2記載の静電容量センサモジュールの検査方法。
- 前記基準とする静電容量の変化値が0.01〜100PFである請求項1又は請求項2のいずれかに記載の静電容量センサモジュールの検査方法。
- 人間の指が近づくことにより微弱な静電容量の変化をとらえて位置検出する静電容量センサモジュールの良否を検査するための装置であって、
絶縁基板に複数の検査電極が形成され、前記静電容量センサモジュールである被検査試料の入力側の面に載置されて当該被検査試料のセンサ電極に前記検査電極が一定の間隔を開けて対向する検査治具と、
前記検査電極を任意の固定電位に1つ又は数個ごとに順次自動的に切り替える切替手段と、
前記電位の切り替えごとに前記被検査試料にて検知された前記検査治具との間の静電容量の変化値と基準とする静電容量の変化値との差を算出し、当該差が所定の数値を超える場合には、前記被検査試料を不良品と判定する判定手段と、
前記判定手段による判定結果を知らせる報知手段と、
を備えたことを特徴とする静電容量センサモジュールの検査装置。 - 前記判定手段が、前記電位の切り替えごと判定するものであり、前記切替手段が、前記判定手段によって不良判定が出た時点で、不良判定された前記被検査試料について切り替えを終了するものである請求項4記載の静電容量センサモジュールの検査装置。
- 前記基準とする静電容量の変化値が0.01〜100PFである請求項4又は請求項5のいずれかに記載の静電容量センサモジュールの検査装置。
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Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012093187A (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Denso Corp | 乗員検知センサの検査装置および検査方法 |
KR101192956B1 (ko) | 2010-11-05 | 2012-10-19 | (주)디지엔티 | 정전식 터치스크린 패널 성능 테스트 시스템 및 방법, 정전식 터치스크린 패널 성능 테스트 장치, 정전식 터치스크린 패널 제조방법 및 기록매체 |
JP2013025780A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Touch Panel Kenkyusho:Kk | 静電容量式タッチパネルの検査・評価装置 |
WO2013020356A1 (zh) * | 2011-08-05 | 2013-02-14 | Jiang Wei | 利用电容式触摸屏识别独特接触物的系统 |
JP2013206167A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Ntt Docomo Inc | タッチパネル構造、タッチパネル構造用ジャケット |
WO2014174636A1 (ja) * | 2013-04-25 | 2014-10-30 | 原 庸一朗 | データ通信装置及びプログラム |
WO2014208129A1 (ja) * | 2013-06-28 | 2014-12-31 | シャープ株式会社 | タッチパネル用電極基板の検査方法 |
JP2015035200A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-02-19 | 日本電産リード株式会社 | タッチパネル検査装置 |
US9207273B2 (en) | 2013-01-14 | 2015-12-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for inspecting touch panel and method thereof |
WO2016068016A1 (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-06 | シャープ株式会社 | タッチパネル評価データ取得装置 |
JP2016219041A (ja) * | 2010-05-18 | 2016-12-22 | ダイナミックス インコーポレイテッド | 光パルス及びタッチセンサ式ディスプレイを介して通信するカード及び装置のためのシステム及び方法 |
JP2017503186A (ja) * | 2013-12-19 | 2017-01-26 | クラルス ビジョン, インコーポレイテッド | 容量性タッチスクリーンフィルムを試験する方法および装置 |
KR101738928B1 (ko) | 2015-03-12 | 2017-05-24 | 솔로몬 시스테크 리미티드 | 인셀 타입 터치 센서의 오픈 불량 감지방법 |
US9863991B2 (en) | 2013-06-28 | 2018-01-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Inspection device |
US10430704B2 (en) | 2007-12-24 | 2019-10-01 | Dynamics Inc. | Payment cards and devices with displays, chips, RFIDs, magnetic emulators, magnetic encoders, and other components |
CN114894348A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-08-12 | 华南理工大学 | 离子电容式柔性压力传感器的性能优化方法、装置及介质 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001056310A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-02-27 | Sony Corp | 半導体装置の検査方法 |
JP2004355545A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Pentel Corp | 静電容量型デジタル式タッチパネル装置 |
JP2005292090A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Sony Corp | 検査装置、検査治具および検査方法 |
JP2005310093A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Touch Panel Kenkyusho:Kk | 抵抗膜式タッチパネルの評価装置 |
JP2006004089A (ja) * | 2004-06-16 | 2006-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | タッチパネル自動補正装置およびタッチパネル自動補正方法 |
JP2007305879A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Mt Picture Display Co Ltd | 半導体装置の検査方法及び検査装置 |
JP2010044730A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-25 | Nec Corp | タッチパネル検査装置およびタッチパネル検査方法 |
-
2008
- 2008-09-29 JP JP2008251082A patent/JP2010086026A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001056310A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-02-27 | Sony Corp | 半導体装置の検査方法 |
JP2004355545A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Pentel Corp | 静電容量型デジタル式タッチパネル装置 |
JP2005292090A (ja) * | 2004-04-05 | 2005-10-20 | Sony Corp | 検査装置、検査治具および検査方法 |
JP2005310093A (ja) * | 2004-04-23 | 2005-11-04 | Touch Panel Kenkyusho:Kk | 抵抗膜式タッチパネルの評価装置 |
JP2006004089A (ja) * | 2004-06-16 | 2006-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | タッチパネル自動補正装置およびタッチパネル自動補正方法 |
JP2007305879A (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Mt Picture Display Co Ltd | 半導体装置の検査方法及び検査装置 |
JP2010044730A (ja) * | 2008-07-17 | 2010-02-25 | Nec Corp | タッチパネル検査装置およびタッチパネル検査方法 |
Cited By (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11055600B2 (en) | 2007-12-24 | 2021-07-06 | Dynamics Inc. | Cards with serial magnetic emulators |
US11037045B2 (en) | 2007-12-24 | 2021-06-15 | Dynamics Inc. | Cards and devices with magnetic emulators with zoning control and advanced interiors |
US10579920B2 (en) | 2007-12-24 | 2020-03-03 | Dynamics Inc. | Systems and methods for programmable payment cards and devices with loyalty-based payment applications |
US10997489B2 (en) | 2007-12-24 | 2021-05-04 | Dynamics Inc. | Cards and devices with multifunction magnetic emulators and methods for using same |
US11062195B2 (en) | 2007-12-24 | 2021-07-13 | Dynamics Inc. | Cards and devices with multifunction magnetic emulators and methods for using same |
US11494606B2 (en) | 2007-12-24 | 2022-11-08 | Dynamics Inc. | Cards and devices with magnetic emulators with zoning control and advanced interiors |
US10467521B2 (en) | 2007-12-24 | 2019-11-05 | Dynamics Inc. | Payment cards and devices with gift card, global integration, and magnetic stripe reader communication functionality |
US10430704B2 (en) | 2007-12-24 | 2019-10-01 | Dynamics Inc. | Payment cards and devices with displays, chips, RFIDs, magnetic emulators, magnetic encoders, and other components |
US11238329B2 (en) | 2007-12-24 | 2022-02-01 | Dynamics Inc. | Payment cards and devices with gift card, global integration, and magnetic stripe reader communication functionality |
JP2019071105A (ja) * | 2010-05-18 | 2019-05-09 | ダイナミックス インコーポレイテッド | 光パルス及びタッチセンサ式ディスプレイを介して通信するカード及び装置のためのシステム及び方法 |
JP2016219041A (ja) * | 2010-05-18 | 2016-12-22 | ダイナミックス インコーポレイテッド | 光パルス及びタッチセンサ式ディスプレイを介して通信するカード及び装置のためのシステム及び方法 |
JP2012093187A (ja) * | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Denso Corp | 乗員検知センサの検査装置および検査方法 |
KR101192956B1 (ko) | 2010-11-05 | 2012-10-19 | (주)디지엔티 | 정전식 터치스크린 패널 성능 테스트 시스템 및 방법, 정전식 터치스크린 패널 성능 테스트 장치, 정전식 터치스크린 패널 제조방법 및 기록매체 |
JP2013025780A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Touch Panel Kenkyusho:Kk | 静電容量式タッチパネルの検査・評価装置 |
WO2013020356A1 (zh) * | 2011-08-05 | 2013-02-14 | Jiang Wei | 利用电容式触摸屏识别独特接触物的系统 |
JP2013206167A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Ntt Docomo Inc | タッチパネル構造、タッチパネル構造用ジャケット |
US9207273B2 (en) | 2013-01-14 | 2015-12-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Apparatus for inspecting touch panel and method thereof |
JPWO2014174636A1 (ja) * | 2013-04-25 | 2017-02-23 | 原 庸一朗 | データ通信装置及びプログラム |
EP2991000A4 (en) * | 2013-04-25 | 2016-12-28 | Hara Yoichiro | DATA COMMUNICATION DEVICE AND PROGRAM |
WO2014174636A1 (ja) * | 2013-04-25 | 2014-10-30 | 原 庸一朗 | データ通信装置及びプログラム |
US9863991B2 (en) | 2013-06-28 | 2018-01-09 | Sharp Kabushiki Kaisha | Inspection device |
US9846512B2 (en) | 2013-06-28 | 2017-12-19 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for inspecting touch-panel electrode substrate |
US20160124575A1 (en) * | 2013-06-28 | 2016-05-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for inspecting touch-panel electrode substrate |
WO2014208129A1 (ja) * | 2013-06-28 | 2014-12-31 | シャープ株式会社 | タッチパネル用電極基板の検査方法 |
JP2015035200A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-02-19 | 日本電産リード株式会社 | タッチパネル検査装置 |
JP2017503186A (ja) * | 2013-12-19 | 2017-01-26 | クラルス ビジョン, インコーポレイテッド | 容量性タッチスクリーンフィルムを試験する方法および装置 |
WO2016068016A1 (ja) * | 2014-10-28 | 2016-05-06 | シャープ株式会社 | タッチパネル評価データ取得装置 |
KR101738928B1 (ko) | 2015-03-12 | 2017-05-24 | 솔로몬 시스테크 리미티드 | 인셀 타입 터치 센서의 오픈 불량 감지방법 |
CN114894348A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-08-12 | 华南理工大学 | 离子电容式柔性压力传感器的性能优化方法、装置及介质 |
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