JP2010078450A - 回転駆動ユニット及び回転駆動ユニットを有する半導体検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査装置100は、駆動ユニット50によってテストヘッド9を回転させる。駆動ユニット50の回転軸S1は、テストヘッド9(重量物)の交差する2側平面9a、9bの一方9aに平行である。駆動ユニット50は、2側平面9a、9bの夫々を延長した2つの交差平面La、Lbによって画定される4領域A〜Dのうち、テストヘッド9を含む領域Cの対角領域Aで本体7(基部筐体)に固定されている。検査装置100において、回転軸S1の方向が側平面9bに平行となるように駆動ユニット50を付け替える場合、駆動ユニット50の位置を変えることなく、その固定方向のみを変更すればよい。回転軸の配置が異なる装置バリエーションを安価に用意できる。
【選択図】図2
Description
7a、7b:本体の側平面
9:テストヘッド(重量物)
9a。9b:テストヘッドの側平面
13、14、15:スペーサ平板
50:回転駆動ユニット
51:モータ
55:支持プレート
57:連結部材
58:平板架台
59:搭載面
70:ギアボックス
74:キャリア
100、200:半導体検査装置
Claims (5)
- 基部筐体に固定されるとともに、基部筐体の上部を覆う重量物を回転させる回転駆動ユニットであり、
回転駆動ユニットの回転軸が、重量物の交差する2側平面の一方に平行であり、
回転駆動ユニットが、前記2側平面の夫々を延長した2つの交差平面によって画定される4領域のうち、重量物を含む領域の対角領域で基部筐体に固定されていることを特徴とする回転駆動ユニット。 - 回転駆動ユニットはモータを有しており、モータの回転軸が回転駆動ユニットの回転軸と同軸であることを特徴とする請求項1に記載の回転駆動ユニット。
- 回転駆動ユニットは、基部筐体の側面から前記対角領域へ水平に伸びる平板架台の上面に、回転軸が前記2側平面のいずれか一方に平行となるように選択可能に固定されることを特徴とする請求項1又は2に記載の回転駆動ユニット。
- 回転駆動ユニットは、前記平板架台の上面に複数のボルトで固定されており、回転軸が前記2側平面の一方に平行になるように平板架台に固定されるときの隣接ボルト間のピッチと、回転軸が前記2側平面の他方に平行になるように平板架台に固定されるときの隣接ボルト間のピッチが等しいことを特徴とする請求項3に記載の回転駆動ユニット。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の回転駆動ユニットを有する半導体検査装置であり、
前記基部筐体が、半導体デバイスを収納する本体であり、前記重量物が、半導体デバイスの検査プローブを備えるテストヘッドであることを特徴とする半導体検査装置。
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JP2008246864A JP5075074B2 (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 回転駆動ユニット及び回転駆動ユニットを有する半導体検査装置 |
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---|---|---|---|---|
JP2005214687A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Taiheiyo Cement Corp | テストヘッド |
WO2005093820A1 (ja) * | 2004-03-25 | 2005-10-06 | Tokyo Electron Limited | 重量物の旋回装置 |
JP2006098388A (ja) * | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Tokyo Electron Ltd | 重量物の旋回装置 |
-
2008
- 2008-09-25 JP JP2008246864A patent/JP5075074B2/ja active Active
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