JP2010075877A - Paste coating device - Google Patents

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Masahiro Nakajima
昌宏 中島
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Shibaura Mechatronics Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a paste coating device capable of improving transportability without carrying out change of a screw shaft length and removal of a screw shaft. <P>SOLUTION: A moving mechanism 6a includes: a support stage 13 movably supporting a first support base 11A and a second support base 11B and enabling partition into a coating region H1 and a retreat region H2; a first screw shaft 51b and a pair of first bearing members 51c arranged on the support stage 13; a first motor 51d mounted at the first bearing member 51c on the second support base 11B side; a first nut body 51a arranged at the end on the first motor 51d side of the first support base 11A; a second screw shaft 52b and a pair of second bearing members 52c arranged on the support stage 13; a second motor 52d mounted at the second bearing member 52c on the first support base 11A side; and a second nut body 52a arranged at the end on the second motor 52d side of the second support base 11B. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、塗布対象物にペーストを塗布するペースト塗布装置に関する。   The present invention relates to a paste application device that applies a paste to an object to be applied.

ペースト塗布装置は、液晶表示パネルなどの様々な装置を製造するために用いられている。このペースト塗布装置は、塗布対象物に対してペーストを塗布する塗布ヘッドを備えており、その塗布ヘッドを移動させながら塗布対象物にペーストを塗布し、塗布対象物上に所定のペーストパターンを形成する(例えば、特許文献1参照)。   Paste applicators are used to manufacture various devices such as liquid crystal display panels. This paste coating apparatus includes a coating head that applies a paste to a coating object, and applies the paste to the coating object while moving the coating head to form a predetermined paste pattern on the coating object. (For example, refer to Patent Document 1).

特に、液晶表示パネルの製造では、2枚の基板を貼り合わせるため、ペースト塗布装置は、塗布対象物である基板に対して液晶表示パネルの表示領域を囲むように、シール剤などのシール性及び接着性を有するペーストを塗布する。このようなペースト塗布装置は、液晶表示パネルの大型化に伴って大きくなってしまう。
特開平9−323056号公報
In particular, in the manufacture of a liquid crystal display panel, since two substrates are bonded together, the paste application apparatus has a sealing property such as a sealing agent and the like so as to surround the display area of the liquid crystal display panel with respect to the substrate that is the application target. An adhesive paste is applied. Such a paste coating apparatus becomes larger as the liquid crystal display panel becomes larger.
JP-A-9-323056

しかしながら、ペースト塗布装置が大きくなると、トラックなどの車両によりそのペースト塗布装置を搬送することが困難になり、ペースト塗布装置の輸送性が低下してしまう。特に、車両に応じて運搬可能な大きさが決まるため、その大きさよりペースト塗布装置の大きさを小さくする必要がある。   However, when the paste coating apparatus becomes large, it becomes difficult to transport the paste coating apparatus by a vehicle such as a truck, and the transportability of the paste coating apparatus is lowered. In particular, since the size that can be transported is determined depending on the vehicle, it is necessary to make the size of the paste application device smaller than that size.

このため、ペースト塗布装置を分割する場合があるが、塗布ヘッドを支持するコラムを移動させるコラム移動機構には、ボールネジ(ねじ軸)が高精度に組み込まれている。このボールネジを分割することは精度低下などの要因となるため避けられ、搬送時にボールネジが取り外されることがある。   For this reason, the paste coating apparatus may be divided, but a ball screw (screw shaft) is incorporated with high accuracy in a column moving mechanism that moves a column that supports the coating head. Dividing the ball screw is avoided because it causes a decrease in accuracy, and the ball screw may be removed during transportation.

ところが、ボールネジを取り外した場合には、ペースト塗布装置の設置場所での高精度な再組立作業は困難な作業となるため、搬送時にボールネジを取り外すことも避けられる。このため、コラム移動機構の分割サイズはボールネジの長さによって限定されることになる。また、そのボールネジの長さはコラムの必要な移動範囲(使用ストローク)により決定されるため、輸送性向上のために安易に短くすることはできない。   However, when the ball screw is removed, it is difficult to perform a highly accurate reassembly operation at the place where the paste application device is installed, so it is also possible to avoid removing the ball screw during transportation. For this reason, the division size of the column moving mechanism is limited by the length of the ball screw. Further, since the length of the ball screw is determined by the necessary moving range (usage stroke) of the column, it cannot be easily shortened for improving the transportability.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、ねじ軸長さの変更及びねじ軸の取り外しを行うことなく、輸送性を向上させることができるペースト塗布装置を提供することである。   This invention is made | formed in view of the above, The objective is providing the paste coating device which can improve transportability, without changing a screw shaft length and removing a screw shaft. is there.

本発明の実施の形態に係る特徴は、ペースト塗布装置において、塗布対象物が載置される載置台と、載置台上の塗布対象物にペーストを塗布する第1塗布ヘッドと、載置台上の塗布対象物にペーストを塗布する第2塗布ヘッドと、第1塗布ヘッドを支持する第1支持部材と、第2塗布ヘッドを支持する第2支持部材と、載置台を両側から挟むように設けられ、第1支持部材の両端部及び第2支持部材の両端部を支持し、第1塗布ヘッドが載置台上の塗布対象物にペーストを塗布する塗布範囲及び塗布範囲以外の退避範囲にわたって第1支持部材及び第2支持部材を移動させる機構であって、塗布範囲と退避範囲とに分けて分割可能に形成された一対の移動機構と、一対の移動機構の分割位置に対応させて分割可能に形成され、載置台及び一対の移動機構を支持する架台とを備え、一対の移動機構は、それぞれ、第1支持部材の端部が載置される第1支持台と、第1支持台に並べて設けられ、第2支持部材の端部が載置される第2支持台と、第1支持台及び第2支持台を並ぶ方向に移動可能に支持するステージであって、塗布範囲及び退避範囲に対応させて分割可能に形成され、塗布範囲に対応する基準ステージを有する支持ステージと、基準ステージ上に設けられ、第1支持台を塗布範囲及び退避範囲にわたって移動させるための第1ねじ軸と、基準ステージ上に設けられ、第1ねじ軸の両端を回転可能に支持する一対の第1軸受け部材と、一対の第1軸受け部材の一方である第2支持台側の第1軸受け部材に取り付けられ、第1ねじ軸を回転させる第1モータと、第1支持台の第1モータ側の端部に設けられ、第1ねじ軸に組み合わされる第1ナット体と、基準ステージ上に第1ねじ軸に沿うように設けられ、第2支持台を塗布範囲及び退避範囲にわたって移動させるための第2ねじ軸と、基準ステージ上に設けられ、第2ねじ軸の両端を回転可能に支持する一対の第2軸受け部材と、一対の第2軸受け部材の一方である第1支持台側の第2軸受け部材に取り付けられ、第2ねじ軸を回転させる第2モータと、第2支持台の第2モータ側の端部に設けられ、第2ねじ軸に組み合わされる第2ナット体とを具備していることである。   A feature according to the embodiment of the present invention is that, in the paste application apparatus, a mounting table on which the application target is placed, a first application head that applies paste to the application target on the mounting table, and the mounting table A second application head for applying a paste to the object to be applied; a first support member for supporting the first application head; a second support member for supporting the second application head; and a mounting table sandwiched from both sides. The first support member supports both ends of the first support member and both ends of the second support member, and the first support over the retraction range other than the application range and the application range where the first application head applies the paste to the application object on the mounting table. A mechanism for moving the member and the second support member, the pair of movement mechanisms formed so as to be divided into an application range and a retreat range, and formed so as to be divided corresponding to the division positions of the pair of movement mechanisms. A mounting table and a pair A pair of moving mechanisms, the pair of moving mechanisms being respectively provided side by side on the first support base on which the end of the first support member is placed, and the second support member. The second support table on which the end is placed, and a stage that supports the first support table and the second support table so as to be movable in the line-up direction, are formed so as to be divided according to the application range and the retreat range. A support stage having a reference stage corresponding to the application range; a first screw shaft provided on the reference stage for moving the first support base over the application range and the retraction range; and provided on the reference stage. A pair of first bearing members that rotatably support both ends of one screw shaft, and a first bearing member on the second support base that is one of the pair of first bearing members, rotate the first screw shaft. The first motor and the first support base A first nut body provided at the end on the motor side and combined with the first screw shaft, and provided on the reference stage along the first screw shaft, the second support is moved over the application range and the retraction range. A second screw shaft, a pair of second bearing members provided on the reference stage and rotatably supporting both ends of the second screw shaft, and a first support base side which is one of the pair of second bearing members A second motor which is attached to the second bearing member and rotates the second screw shaft, and a second nut body which is provided at an end of the second support base on the second motor side and which is combined with the second screw shaft. It is equipped.

本発明によれば、ねじ軸長さの変更及びねじ軸の取り外しを行うことなく、輸送性を向上させることができる。   According to the present invention, the transportability can be improved without changing the screw shaft length and removing the screw shaft.

本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。   An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1ないし図3に示すように、本発明の実施の形態に係るペースト塗布装置1は、塗布対象物としての基板K1が水平状態(基板K1のペーストが塗布される面が図1及び図2に示すX軸方向とそれに直交するY軸方向に沿う状態)で載置される基板ステージ2と、捨て塗布用の基板K2がそれぞれ水平載置される第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bと、基板ステージ2上の基板K1にシール剤などのシール性及び接着性を有するペーストをそれぞれ塗布する複数の塗布ヘッド4と、各塗布ヘッド4をそれぞれ支持する第1支持部材5A及び第2支持部材5Bと、塗布ヘッド4が基板ステージ2上の基板K1にペーストを塗布する塗布範囲H1及びその塗布範囲以外の退避範囲H2にわたって第1支持部材5A及び第2支持部材5BをY軸方向に沿って移動させる支持部材移動機構6と、基板ステージ2、第1捨て塗布ステージ3A、第2捨て塗布ステージ3B及び支持部材移動機構6を支持する架台7とを備えている。   As shown in FIG. 1 to FIG. 3, the paste coating apparatus 1 according to the embodiment of the present invention is such that the substrate K1 as a coating object is in a horizontal state (the surface on which the paste of the substrate K1 is applied is shown in FIG. 1 and FIG. The substrate stage 2 placed in a state along the X-axis direction and the Y-axis direction perpendicular thereto), the first waste application stage 3A on which the waste application substrate K2 is placed horizontally, and the second waste application. A plurality of application heads 4 for applying a paste having sealing properties such as a sealing agent to the substrate 3 on the stage 3B, the substrate stage 2, and a first support member 5A and a first support member 5A for supporting the application heads 4; The first support member 5A and the second support member 5B and the application range H1 in which the coating head 4 applies the paste to the substrate K1 on the substrate stage 2 and the retreat range H2 other than the application range. A support member moving mechanism 6 that moves the holding member 5B along the Y-axis direction, and a base 7 that supports the substrate stage 2, the first discard coating stage 3A, the second discard coating stage 3B, and the support member moving mechanism 6. ing.

基板ステージ2は、架台7の上面に固定されて設けられた載置台である。この基板ステージ2は、基板K1を吸着する吸着機構(図示せず)を備えており、その吸着機構により上面の載置面に基板K1を固定して保持する。なお、吸着機構としては、例えばエアー吸着機構などを用いる。このような基板ステージ2の載置面には、ガラス基板などの製品用の基板K1が載置される。   The substrate stage 2 is a mounting table that is fixed to the upper surface of the gantry 7. The substrate stage 2 includes an adsorption mechanism (not shown) that adsorbs the substrate K1, and the substrate K1 is fixed and held on the upper mounting surface by the adsorption mechanism. For example, an air adsorption mechanism is used as the adsorption mechanism. On the mounting surface of the substrate stage 2, a product substrate K 1 such as a glass substrate is mounted.

第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bは、基板ステージ2を挟むように架台7の上面にそれぞれ設けられている。これらの第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bは、捨て塗布用の基板K2を吸着する吸着機構(図示せず)をそれぞれ備えており、各吸着機構により上面の載置面に基板K2を固定して保持する。なお、吸着機構としては、例えばエアー吸着機構などを用いる。このような第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bの各々の載置面には、ガラス基板などの捨て塗布用の基板K2がそれぞれ載置される。   The first discard coating stage 3A and the second discard coating stage 3B are respectively provided on the upper surface of the gantry 7 so as to sandwich the substrate stage 2 therebetween. The first discard coating stage 3A and the second discard coating stage 3B are each provided with a suction mechanism (not shown) that sucks the substrate K2 for discard coating, and the substrate is placed on the upper mounting surface by each suction mechanism. Hold K2 fixed. For example, an air adsorption mechanism is used as the adsorption mechanism. On each mounting surface of the first discard coating stage 3A and the second discard coating stage 3B, a discard coating substrate K2 such as a glass substrate is mounted.

ここで、捨て塗布は、各塗布ヘッド4による塗布が設定時間以上停止していた場合など、各塗布ヘッド4の塗布精度の低下や吐出不良の発生を防止するため、第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3B上の基板K2に対してペーストを塗布する動作である。   Here, the discard application is performed in order to prevent the application accuracy of each application head 4 from being lowered and the occurrence of ejection failure when application by each application head 4 has been stopped for a set time or longer. In this operation, the paste is applied to the substrate K2 on the second discard application stage 3B.

各塗布ヘッド4は、ペーストを収容するシリンジなどの収容筒4aと、その収容筒4aに連通してペーストを吐出するノズル4b(図2参照)とをそれぞれ有している。これらの塗布ヘッド4は、気体供給チューブなどを介して気体供給部に接続されている。この各塗布ヘッド4は、収容筒4a内に供給される気体により、収容筒4a内のペーストをノズル4bから吐出する。このような各塗布ヘッド4は、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bにヘッド移動機構8によりX軸方向に移動可能にそれぞれ設けられている。なお、ペーストとしては、シール性及び接着性を有するペーストを用いているが、これに限るものではなく、例えば、シール性及び接着性のどちらか一方を有するペーストや他の特性を有するペーストなどを用いるようにしてもよい。   Each coating head 4 has a storage cylinder 4a such as a syringe for storing a paste, and a nozzle 4b (see FIG. 2) that communicates with the storage cylinder 4a and discharges the paste. These coating heads 4 are connected to a gas supply unit via a gas supply tube or the like. Each coating head 4 discharges the paste in the storage cylinder 4a from the nozzle 4b by the gas supplied into the storage cylinder 4a. Each of the coating heads 4 is provided on the first support member 5A and the second support member 5B so as to be movable in the X-axis direction by the head moving mechanism 8. As the paste, a paste having a sealing property and an adhesive property is used. However, the paste is not limited to this. For example, a paste having either a sealing property or an adhesive property or a paste having other properties is used. You may make it use.

ヘッド移動機構8は、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bにそれぞれ設けられている。このヘッド移動機構8は、各塗布ヘッド4をそれぞれ保持する複数の保持部8aと、それらの保持部8aをそれぞれ支持して水平面に直交するZ軸方向に移動させる複数のZ軸移動機構8bと、それらのZ軸移動機構8bを支持してX軸方向に移動させるX軸移動機構8cとを備えている。   The head moving mechanism 8 is provided on each of the first support member 5A and the second support member 5B. The head moving mechanism 8 includes a plurality of holding portions 8a that respectively hold the coating heads 4, and a plurality of Z-axis moving mechanisms 8b that support the holding portions 8a and move in the Z-axis direction orthogonal to the horizontal plane. And an X-axis moving mechanism 8c that supports these Z-axis moving mechanisms 8b and moves them in the X-axis direction.

保持部8aは、着脱可能に塗布ヘッド4の収容筒4aを保持する部材である。また、Z軸移動機構8bは、保持部8aをZ軸方向、すなわち基板ステージ2に対して接離させる接離方向に移動させる移動機構である。このZ軸移動機構8bとしては、例えば送りねじ機構を用いる。X軸移動機構8cは、各塗布ヘッド4をX軸方向、すなわち第1支持部材5A及び第2支持部材5Bの移動方向に水平面内で直交する方向に移動させる移動機構である。このX軸移動機構8cとしては、例えばリニアモータ機構や送りねじ機構を用いる。   The holding part 8a is a member that holds the accommodating cylinder 4a of the coating head 4 in a detachable manner. The Z-axis moving mechanism 8b is a moving mechanism that moves the holding portion 8a in the Z-axis direction, that is, the contacting / separating direction in which the holding unit 8a contacts / separates with respect to the substrate stage 2. For example, a feed screw mechanism is used as the Z-axis moving mechanism 8b. The X-axis moving mechanism 8c is a moving mechanism that moves each coating head 4 in the X-axis direction, that is, in a direction perpendicular to the moving direction of the first support member 5A and the second support member 5B in the horizontal plane. As this X-axis moving mechanism 8c, for example, a linear motor mechanism or a feed screw mechanism is used.

第1支持部材5A及び第2支持部材5Bは、各塗布ヘッド4をそれぞれ2個ずつ支持するコラムである。これらの第1支持部材5A及び第2支持部材5Bは、その移動方向に交差する方向、例えば直交する方向に延伸させて形成されている。さらに、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bは、例えば直方体形状にそれぞれ形成されており、基板ステージ2の載置面に対して平行に設けられている。このような第1支持部材5A及び第2支持部材5Bは、支持部材移動機構6により塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって移動し、塗布範囲H1内で基板ステージ2の載置面に対向する位置に各塗布ヘッド4を位置付け、さらに、退避範囲H2内で捨て塗布ステージ3A、3Bの載置面に対向する位置に各塗布ヘッド4を位置付ける。   The first support member 5 </ b> A and the second support member 5 </ b> B are columns that support two coating heads 4 each. The first support member 5A and the second support member 5B are formed by extending in a direction crossing the moving direction, for example, a direction orthogonal to the moving direction. Further, the first support member 5 </ b> A and the second support member 5 </ b> B are each formed in a rectangular parallelepiped shape, for example, and are provided in parallel to the mounting surface of the substrate stage 2. The first support member 5A and the second support member 5B are moved over the application range H1 and the retreat range H2 by the support member moving mechanism 6, and are located at positions facing the placement surface of the substrate stage 2 within the application range H1. Each coating head 4 is positioned, and each coating head 4 is positioned at a position facing the placement surface of the coating stages 3A and 3B in the retreat range H2.

ここで、塗布範囲H1は、各塗布ヘッド4が基板ステージ2上の基板K1にペーストを塗布する場合の移動範囲、すなわち製品用の基板K1に対する塗布を行う移動範囲である。また、退避範囲H2は、塗布範囲H1以外の範囲であり、特に、各塗布ヘッド4が第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3B上の基板K2にペーストを塗布する場合の移動範囲、すなわち捨て塗布用の基板K2に対する塗布を行う退避範囲であり、さらに、基板ステージ2上の基板K1を交換する場合の退避範囲である。   Here, the application range H1 is a movement range in which each application head 4 applies paste to the substrate K1 on the substrate stage 2, that is, a movement range in which application to the product substrate K1 is performed. Further, the retreat range H2 is a range other than the application range H1, and in particular, a moving range when each application head 4 applies paste to the substrate K2 on the first discard application stage 3A and the second discard application stage 3B, In other words, it is a retreat range in which the application to the substrate K2 for disposal application is performed, and further, a retreat range when the substrate K1 on the substrate stage 2 is replaced.

支持部材移動機構6は、架台7の上面に設けられており、塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを移動可能に支持している。この支持部材移動機構6は、塗布範囲H1及び退避範囲H2に区分して分割可能に形成されている。このような支持部材移動機構6は、第1支持部材5Aの延伸方向の両端部及び第2支持部材5Bの延伸方向の両端部を支持してY軸方向に移動させる一対のY軸移動機構6a、6bにより構成されている。   The support member moving mechanism 6 is provided on the upper surface of the gantry 7 and supports the first support member 5A and the second support member 5B so as to be movable over the application range H1 and the retreat range H2. The support member moving mechanism 6 is formed so as to be divided into an application range H1 and a retreat range H2. Such a support member moving mechanism 6 supports a pair of Y-axis moving mechanisms 6a that support both ends in the extending direction of the first support member 5A and both ends in the extending direction of the second support member 5B to move in the Y-axis direction. , 6b.

一対のY軸移動機構6a、6bは、基板ステージ2さらに第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bを挟むように、Y軸方向に沿うように架台7の上面にそれぞれ設けられている。これらのY軸移動機構6a、6bには、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bが架け渡されて設けられている。   The pair of Y-axis moving mechanisms 6a and 6b are respectively provided on the upper surface of the gantry 7 along the Y-axis direction so as to sandwich the substrate stage 2 and the first discard coating stage 3A and the second discard coating stage 3B. . A first support member 5A and a second support member 5B are provided across these Y-axis moving mechanisms 6a and 6b.

各Y軸移動機構6a、6bはそれぞれ、図4に示すように、第1支持部材5Aの延伸方向の端部を支持する第1支持台11Aと、第2支持部材5Bの延伸方向の端部を支持する第2支持台11Bと、第1支持台11A及び第2支持台11Bにそれぞれ設けられた複数のスライダ12(図3参照)と、Y軸方向に伸びる溝部Mを有して第1支持台11A及び第2支持台11Bを移動可能に支持する支持ステージ13と、その支持ステージ13の上面に設けられ第1支持台11A及び第2支持台11BをY軸方向に案内する一対のガイドレール14と、溝部M内に設けられ第1支持台11AをY軸方向に移動させる第1支持台移動機構51と、溝部M内に設けられ第2支持台11BをY軸方向に移動させる第2支持台移動機構52とを具備している。   As shown in FIG. 4, each of the Y-axis moving mechanisms 6a and 6b includes a first support base 11A that supports an end portion of the first support member 5A in the extending direction and an end portion of the second support member 5B in the extending direction. A first support base 11B, a plurality of sliders 12 (see FIG. 3) respectively provided on the first support base 11A and the second support base 11B, and a groove M extending in the Y-axis direction. A support stage 13 that movably supports the support base 11A and the second support base 11B, and a pair of guides provided on the upper surface of the support stage 13 to guide the first support base 11A and the second support base 11B in the Y-axis direction. The rail 14, the first support base moving mechanism 51 provided in the groove M for moving the first support base 11A in the Y-axis direction, and the second support base 11B provided in the groove M for moving the second support base 11B in the Y-axis direction. 2 support base moving mechanism 52 .

第1支持台11A及び第2支持台11Bは、それぞれ平板状に形成されており、支持ステージ13に並べて移動可能に水平にして設けられている。各スライダ12(図3参照)は、それぞれ対応するガイドレール14にスライド移動可能に取り付けられている。一対のガイドレール14は、支持ステージ13の溝部Mを避けて支持ステージ13の上面にそれぞれ設けられている。これらのガイドレール14は、それぞれ平行にして支持ステージ13の上面に配置され、ネジなどにより固定されている。第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52は、例えば、ステッピングモータなどの回転式のモータを駆動源とするボールねじ機構である。   The first support base 11 </ b> A and the second support base 11 </ b> B are each formed in a flat plate shape, and are arranged horizontally on the support stage 13 so as to be movable. Each slider 12 (see FIG. 3) is slidably attached to the corresponding guide rail 14. The pair of guide rails 14 is provided on the upper surface of the support stage 13 so as to avoid the groove M of the support stage 13. These guide rails 14 are arranged in parallel on the upper surface of the support stage 13 and fixed by screws or the like. The first support base moving mechanism 51 and the second support base moving mechanism 52 are, for example, ball screw mechanisms that use a rotary motor such as a stepping motor as a drive source.

第1支持台移動機構51は、第1支持台11Aに取り付けられた第1ナット体51aと、その第1ナット体51aが組み合わされてY軸方向に沿って設けられた第1ねじ軸51bと、その第1ねじ軸51bの両端を回転可能に支持する一対の第1軸受け部材51cと、第1ねじ軸51bを回転させる駆動源である第1モータ51dとを備えている。   The first support base moving mechanism 51 includes a first nut body 51a attached to the first support base 11A, and a first screw shaft 51b provided along the Y-axis direction by combining the first nut bodies 51a. A pair of first bearing members 51c that rotatably support both ends of the first screw shaft 51b, and a first motor 51d that is a drive source for rotating the first screw shaft 51b are provided.

第1ねじ軸51bはY軸方向に平行に支持ステージ13上に設けられており、一対の第1軸受け部材51cも第1ねじ軸51bの両端を支持可能に支持ステージ13上に設けられている。第1ねじ軸51bの長さは、第1支持台11Aが塗布範囲H1及び退避範囲H2(必要な移動範囲)にわたって移動可能な長さである。また、第1モータ51dは、一対の第1軸受け部材51cの一方である第2支持台11B側(図4中の右側)の第1軸受け部材51cに着脱可能に取り付けられている。第1ナット体51aは第1支持台11Aの裏面であって第1モータ51d側の端部に設けられている。   The first screw shaft 51b is provided on the support stage 13 in parallel with the Y-axis direction, and the pair of first bearing members 51c are also provided on the support stage 13 so as to support both ends of the first screw shaft 51b. . The length of the first screw shaft 51b is such a length that the first support 11A can move over the application range H1 and the retreat range H2 (necessary movement range). The first motor 51d is detachably attached to the first bearing member 51c on the second support base 11B side (the right side in FIG. 4) which is one of the pair of first bearing members 51c. The first nut body 51a is provided on the back surface of the first support base 11A and at the end on the first motor 51d side.

第2支持台移動機構52は、第2支持台11Bに取り付けられた第2ナット体52aと、その第2ナット体52aが組み合わされてY軸方向に沿って設けられた第2ねじ軸52bと、その第2ねじ軸52bの両端を回転可能に支持する一対の第2軸受け部材52cと、第2ねじ軸52bを回転させる駆動源である第2モータ52dとを備えている。   The second support base moving mechanism 52 includes a second nut body 52a attached to the second support base 11B and a second screw shaft 52b provided along the Y-axis direction by combining the second nut bodies 52a. A pair of second bearing members 52c that rotatably support both ends of the second screw shaft 52b, and a second motor 52d that is a drive source for rotating the second screw shaft 52b are provided.

第2ねじ軸52bは、第1ねじ軸51bに沿ってY軸方向に平行に設けられており、一対の第2軸受け部材52cも第2ねじ軸52bの両端を支持可能に支持ステージ13上に設けられている。第2ねじ軸52bの長さは、第2支持台11Bが塗布範囲H1及び退避範囲H2(必要な移動範囲)にわたって移動可能な長さである。第2モータ52dは、一対の第2軸受け部材52cの一方である第1支持台11A側(図4中の左側)の第2軸受け部材52cに着脱可能に取り付けられている。これにより、第2モータ52dは、第1モータ51dに対して第1支持台11A及び第2支持台11Bを介して反対側に位置することになる。第2ナット体52aは、第2支持台11Bの裏面であって第2モータ52d側の端部に設けられている。   The second screw shaft 52b is provided in parallel to the Y-axis direction along the first screw shaft 51b, and the pair of second bearing members 52c can also support both ends of the second screw shaft 52b on the support stage 13. Is provided. The length of the second screw shaft 52b is a length that allows the second support 11B to move over the application range H1 and the retreat range H2 (necessary movement range). The second motor 52d is detachably attached to the second bearing member 52c on the first support base 11A side (left side in FIG. 4) which is one of the pair of second bearing members 52c. Accordingly, the second motor 52d is positioned on the opposite side of the first motor 51d via the first support base 11A and the second support base 11B. The second nut body 52a is provided on the back surface of the second support 11B and at the end on the second motor 52d side.

ここで、第1支持台11Aは第2支持台11Bと第2モータ52dとの間に設けられており、第2支持台11Bは第1支持台11Aと第1モータ51dとの間に設けられている。これにより、第1モータ51dは第2支持台11Bを間にして第1支持台11Aを移動させ、第2モータ52dは第1支持台11Aを間にして第2支持台11Bを移動させることになる。   Here, the first support base 11A is provided between the second support base 11B and the second motor 52d, and the second support base 11B is provided between the first support base 11A and the first motor 51d. ing. Thus, the first motor 51d moves the first support 11A with the second support 11B in between, and the second motor 52d moves the second support 11B with the first support 11A in between. Become.

このような第1支持台11A及び第2支持台11Bは、図5に示すように、支持ステージ13の端部まで移動し、塗布範囲H1及び退避範囲H2(必要な移動範囲)にわたって移動することが可能である。なお、図5では、第1支持台11Aはその第1ナット体51aが第1軸受け部材51cに当接して停止している状態であり、第2支持台11Bはその第2ナット体52aが第2軸受け部材52cに当接して停止している状態である。   As shown in FIG. 5, the first support base 11 </ b> A and the second support base 11 </ b> B move to the end of the support stage 13 and move over the application range H <b> 1 and the retreat range H <b> 2 (necessary movement range). Is possible. In FIG. 5, the first support base 11A is in a state in which the first nut body 51a is in contact with the first bearing member 51c and stopped, and the second support base 11B has the second nut body 52a in the second state. The two-bearing member 52c is in contact with and stopped.

ここで、例えば、図6に示すように、図5と逆に、第1支持台移動機構51が第2支持台11Bを移動させ、第2支持台移動機構52が第1支持台11Aを移動させるような構造を採用した場合には、第1支持台11A及び第2支持台11Bは支持ステージ13の端部まで移動することが不可能となり、塗布範囲H1及び退避範囲H2(必要な移動範囲)にわたって移動することができなくなる。なお、図6では、第1支持台11Aはその第2ナット体52aが第2軸受け部材52cに当接して停止している状態であり、第2支持台11Bはその第1ナット体51aが第1軸受け部材51cに当接して停止している状態である。   Here, for example, as shown in FIG. 6, contrary to FIG. 5, the first support base moving mechanism 51 moves the second support base 11B, and the second support base movement mechanism 52 moves the first support base 11A. In the case of adopting such a structure, the first support base 11A and the second support base 11B cannot move to the end of the support stage 13, and the application range H1 and the retreat range H2 (required movement range). ) Cannot move over. In FIG. 6, the first support base 11A is in a state where the second nut body 52a is in contact with the second bearing member 52c and stopped, and the second support base 11B has the first nut body 51a in the first state. In this state, the bearing is in contact with the one bearing member 51c.

このように端部までの移動が不可となる場合には、図7に示すように、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52をそれぞれ逆方向にY軸方向に沿って、第1支持台11A及び第2支持台11Bが支持ステージ13の端部まで移動可能となる距離だけ装置外側に向かって位置をずらして配置する必要がある。この場合には、その分だけ第1支持台移動機構51が図6中の右側に移動し、第2支持台移動機構52が図6中の左側に移動し、図7に示すような配置となるため、搬送サイズが図7中のHbのように図5及び図6中のHaよりも大きくなってしまう。なお、搬送サイズは第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bの切断を避ける必要があるため、第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bの長さに依存することになる。   When it is impossible to move to the end in this way, as shown in FIG. 7, the first support base moving mechanism 51 and the second support base moving mechanism 52 are respectively moved in the opposite direction along the Y-axis direction. It is necessary to dispose the first support base 11A and the second support base 11B while shifting the positions toward the outside of the apparatus by a distance that allows the first support base 11B and the second support base 11B to move to the end of the support stage 13. In this case, the first support base moving mechanism 51 moves to the right side in FIG. 6 and the second support base movement mechanism 52 moves to the left side in FIG. Therefore, the transport size becomes larger than Ha in FIGS. 5 and 6 as Hb in FIG. In addition, since it is necessary to avoid the cutting | disconnection of the 1st screw shaft 51b and the 2nd screw shaft 52b, the conveyance size will depend on the length of the 1st screw shaft 51b and the 2nd screw shaft 52b.

一方、図4に示すように、第1モータ51dが第2支持台11Bを間にして第1支持台11Aを移動させ、第2モータ52dが第1支持台11Aを間にして第2支持台11Bを移動させる構造を採用することによって、図7に示すような構造を採用しなくても、第1支持台11A及び第2支持台11Bは塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって移動することが可能である。さらに、図7に示すように第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52の位置をずらして配置する必要がないため、図7に示すような構造を採用した場合に比べ、搬送サイズを小さくすることができる(図5中のHa<図7中のHb)。   On the other hand, as shown in FIG. 4, the first motor 51d moves the first support base 11A with the second support base 11B in between, and the second motor 52d has the second support base 11A in between. By adopting a structure for moving 11B, the first support base 11A and the second support base 11B can move over the application range H1 and the retreat range H2 without using the structure shown in FIG. It is. Furthermore, since it is not necessary to shift the positions of the first support base moving mechanism 51 and the second support base moving mechanism 52 as shown in FIG. 7, the transport is compared with the case where the structure shown in FIG. 7 is adopted. The size can be reduced (Ha in FIG. 5 <Hb in FIG. 7).

前述のY軸移動機構6a、6bは、図8及び図9に示すように、塗布範囲H1及び退避範囲H2に分けて分割可能にそれぞれ形成されている。例えば、各Y軸移動機構6a、6bは三分割可能に、架台7の上面に固定された本体部P1と、その本体部P1に連結可能に形成され架台7の上面に着脱可能に設けられる二つの分割部P2、P3としてそれぞれ形成されている(図8及び図9参照)。特に、各Y軸移動機構6a、6bは、一対のガイドレール14の各々の分割位置G1、G2を同一直線上からずらして分割可能に形成されている。   As shown in FIGS. 8 and 9, the Y-axis moving mechanisms 6a and 6b described above are formed so as to be divided into a coating range H1 and a retreat range H2, respectively. For example, each of the Y-axis moving mechanisms 6a and 6b can be divided into three parts, a main body part P1 fixed to the upper surface of the gantry 7, and a main body part P1 that can be connected to the main body P1 and detachably provided on the upper surface of the gantry 7. The two divided portions P2 and P3 are formed (see FIGS. 8 and 9). In particular, the Y-axis moving mechanisms 6a and 6b are formed so as to be capable of being divided by shifting the dividing positions G1 and G2 of the pair of guide rails 14 from the same straight line.

ここで、本体部P1の支持ステージ13は基準ステージ13aとなり、分割部P2の支持ステージ13は分割ステージ13bとなり、分割部P3の支持ステージ13は分割ステージ13cとなる。この基準ステージ13aと各分割ステージ13b、13cとは、その分割部分を階段状にして連結可能に形成されている。   Here, the support stage 13 of the main body part P1 becomes the reference stage 13a, the support stage 13 of the division part P2 becomes the division stage 13b, and the support stage 13 of the division part P3 becomes the division stage 13c. The reference stage 13a and each of the divided stages 13b and 13c are formed so that the divided portions can be connected in a step shape.

基準ステージ13aは、支持ステージ13の一部であって塗布範囲H1に対応する分割範囲のステージである。この基準ステージ13a上には、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52が固定されて設けられている。このような基準ステージ13aは、架台7の上面にボルトなどの締結手段を用いて固定されている。また、基準ステージ13aは、分割ステージ13b、13cを取り付ける場合の基準となる第1基準面M1及び第2基準面M2を有している。第1基準面M1は基準ステージ13aに水平方向に沿って設けられた平面であり、第2基準面M2は第1基準面M1に直交する平面である。さらに、基準ステージ13aは、位置決め用の位置決めピン21がそれぞれ挿入される複数の位置決め穴22を有している。位置決めピン21は、基準ステージ13aに対する分割ステージ13b、13cの位置決めを行うためのピンである。   The reference stage 13a is a part of the support stage 13 and a stage in a divided range corresponding to the application range H1. On the reference stage 13a, the first support base moving mechanism 51 and the second support base moving mechanism 52 are fixedly provided. Such a reference stage 13a is fixed to the upper surface of the gantry 7 using fastening means such as bolts. The reference stage 13a has a first reference surface M1 and a second reference surface M2 that serve as a reference when the divided stages 13b and 13c are attached. The first reference plane M1 is a plane provided on the reference stage 13a along the horizontal direction, and the second reference plane M2 is a plane orthogonal to the first reference plane M1. Furthermore, the reference stage 13a has a plurality of positioning holes 22 into which positioning pins 21 for positioning are respectively inserted. The positioning pin 21 is a pin for positioning the divided stages 13b and 13c with respect to the reference stage 13a.

各分割ステージ13b、13cは、基準ステージ13aに連結可能に形成され、架台7に対して着脱可能に設けられている。これらの分割ステージ13b、13cは、第1基準面M1に当接する第1当接面T1及び第2基準面M2に当接する第2当接面T2をそれぞれ有している。また、各分割ステージ13b、13cは、位置決めピン21が各々貫通する複数の貫通孔23をそれぞれ有している。各位置決めピン21が、それぞれ対応する貫通孔23を通過して基準ステージ13aの各位置決め穴22に挿入され、基準ステージ13aに対する各分割ステージ13b、13cの位置決めが行われる。   Each of the divided stages 13b and 13c is formed so as to be connectable to the reference stage 13a, and is detachably attached to the gantry 7. Each of the split stages 13b and 13c has a first contact surface T1 that contacts the first reference surface M1 and a second contact surface T2 that contacts the second reference surface M2. Each of the split stages 13b and 13c has a plurality of through holes 23 through which the positioning pins 21 pass. Each positioning pin 21 passes through the corresponding through hole 23 and is inserted into each positioning hole 22 of the reference stage 13a, and positioning of each of the divided stages 13b and 13c with respect to the reference stage 13a is performed.

ここで、各分割ステージ13b、13cの第1当接面T1が基準ステージ13aの第1基準面M1に当接することで、各分割ステージ13b、13cの高さ方向の位置決めが行われ、各分割ステージ13b、13cの第2当接面T2が基準ステージ13aの第2基準面M2に当接することで、Y軸方向、すなわちガイドレール14が延びる方向の位置決めが行われ、各位置決めピン21が、それぞれ対応する貫通孔23を通過して基準ステージ13aの各位置決め穴22に挿入されることで、各分割ステージ13b、13cの幅方向(X軸方向)の位置決めが行われる。これにより、基準ステージ13aに対する各分割ステージ13b、13cの組立調整が容易になり、さらに、組立精度の再現性が向上する。   Here, the first abutment surface T1 of each of the split stages 13b and 13c abuts on the first reference surface M1 of the reference stage 13a, thereby positioning the split stages 13b and 13c in the height direction. The second contact surface T2 of the stages 13b and 13c contacts the second reference surface M2 of the reference stage 13a, so that positioning in the Y-axis direction, that is, the direction in which the guide rail 14 extends, is performed. Each of the divided stages 13b and 13c is positioned in the width direction (X-axis direction) by passing through the corresponding through holes 23 and being inserted into the positioning holes 22 of the reference stage 13a. This facilitates assembly adjustment of each of the divided stages 13b and 13c with respect to the reference stage 13a, and further improves the reproducibility of the assembly accuracy.

この各分割ステージ13b、13cは、基準ステージ13aに連結した状態において、その下面と架台7の上面との間に隙間が生じるように形成されている。各分割ステージ13b、13cの下面には、各分割ステージ13b、13cを支持する複数の支持ピン24がそれぞれ設けられている。例えば、支持ピン24は各分割ステージ13b、13cに2本ずつ設けられている。これらの支持ピン24は、その高さ調整が可能に形成されており、架台7の上面に当接して各分割ステージ13b、13cを支持する。支持ピン24は、その外周にねじ山が形成されたピンであり、各分割ステージ13b、13cにそれぞれ形成された複数のねじ穴25に挿入されている。各支持ピン24は、ロックナット26を備え、高さ調整が完了すると固定される。   Each of the divided stages 13b and 13c is formed such that a gap is formed between the lower surface thereof and the upper surface of the gantry 7 in a state where the divided stages 13b and 13c are connected to the reference stage 13a. A plurality of support pins 24 for supporting the respective division stages 13b and 13c are provided on the lower surfaces of the respective division stages 13b and 13c. For example, two support pins 24 are provided on each of the divided stages 13b and 13c. These support pins 24 are formed such that their heights can be adjusted, and abut against the upper surface of the gantry 7 to support the divided stages 13b and 13c. The support pin 24 is a pin having a screw thread formed on the outer periphery thereof, and is inserted into a plurality of screw holes 25 formed in each of the divided stages 13b and 13c. Each support pin 24 includes a lock nut 26 and is fixed when the height adjustment is completed.

このように、支持ピン24により分割ステージ13b、13cを架台7の上面に支持するようにしたので、重量物である支持部材5A、5Bが分割ステージ13b、13c上に移動したときに、分割ステージ13b、13cに撓みが生じることが防止される。そのため、ガイドレール14における分割位置G1、G2に隙間が生じることを防止することが可能になるので、支持部材5A、5Bがガイドレール14の分割位置G1、G2を通過するときに生じる衝撃が緩和され、通過時の衝撃によるスライダ12の損傷を防ぐことができる。したがって、支持部材5A、5Bの良好な移動状態を維持することが可能であり、安定したペーストの塗布動作を行うことができる。   As described above, since the split stages 13b and 13c are supported on the upper surface of the gantry 7 by the support pins 24, when the heavy support members 5A and 5B are moved onto the split stages 13b and 13c, the split stage. The bending of 13b and 13c is prevented from occurring. Therefore, since it becomes possible to prevent a gap from being generated at the division positions G1 and G2 in the guide rail 14, the impact generated when the support members 5A and 5B pass through the division positions G1 and G2 of the guide rail 14 is mitigated. Thus, it is possible to prevent the slider 12 from being damaged by an impact during passage. Therefore, it is possible to maintain a favorable moving state of the support members 5A and 5B, and a stable paste application operation can be performed.

架台7は、床面上に設置され、基板ステージ2、第1捨て塗布ステージ3A、第2捨て塗布ステージ3B及び支持部材移動機構6を床面に対して所定の高さ位置に支持する架台である。この架台7は、支持部材移動機構6、すなわち一対のY軸移動機構6aの分割位置に対応させて分割可能に形成されている。例えば、一対のY軸移動機構6aは三分割可能にそれぞれ形成されているので、これに対応させて、架台7も、三分割可能に本体架台7aと二つの分割架台7b、7cとして形成されている(図9参照)。この分割位置は、一対のY軸移動機構6aの分割位置、すなわち本体部P1と二つの分割部P2、P3との境界位置である。なお、分割架台7b、7cは、本体架台7aに対して、ボルトなどの締結手段を用いて連結されて一体化される。   The gantry 7 is a gantry that is installed on the floor and supports the substrate stage 2, the first discard coating stage 3A, the second discard coating stage 3B, and the support member moving mechanism 6 at a predetermined height position with respect to the floor. is there. The gantry 7 is formed so as to be capable of being divided corresponding to the dividing position of the support member moving mechanism 6, that is, the pair of Y-axis moving mechanisms 6a. For example, the pair of Y-axis moving mechanisms 6a are formed so as to be divided into three parts, and accordingly, the gantry 7 is also formed as a main body gantry 7a and two divided gantry 7b, 7c so as to be divided into three parts. (See FIG. 9). This division position is a division position of the pair of Y-axis moving mechanisms 6a, that is, a boundary position between the main body portion P1 and the two division portions P2 and P3. The divided mounts 7b and 7c are connected and integrated with the main body mount 7a by using fastening means such as bolts.

このような架台7(分割架台7b、7c)の上面と分割ステージ13b、13cの下面との間の隙間の大きさに合わせて、支持ピン24の高さを調整するようにしたので、本体架台7aに組み付けた分割架台7b、7cの上面の高さが、搬送の前後、すなわち分割の前後で異なっていたとしても、分割ステージ13b、13cを分割架台7b、7cで確実に支持し、分割ステージ13b、13cの撓みを防止することができる。このため、本体架台7aに対して分割架台7b、7cを高い精度で組み付けなくても済み、重量物である架台7の搬送後の設置作業を容易に行うことができる。なお、支持ピン24は、分割ステージ13b、13cを支持する高さ調整自在の支持調整部材として機能する。   Since the height of the support pin 24 is adjusted according to the size of the gap between the upper surface of the gantry 7 (the divided gantry 7b and 7c) and the lower surface of the split stage 13b and 13c, the main body gantry Even if the heights of the upper surfaces of the divided bases 7b and 7c assembled to 7a are different before and after conveyance, that is, before and after the splitting, the divided stages 13b and 13c are securely supported by the divided bases 7b and 7c. The bending of 13b and 13c can be prevented. For this reason, it is not necessary to assemble the divided bases 7b and 7c with high accuracy with respect to the main body base 7a, and the installation work after transporting the base 7 which is a heavy object can be easily performed. The support pin 24 functions as a height-adjustable support adjustment member that supports the split stages 13b and 13c.

次に、前述のペースト塗布装置1が行う塗布動作(製品製造動作)及び捨て塗布動作(メンテナンス動作)について説明する。なお、捨て塗布動作は、各塗布ヘッド4による塗布が設定時間以上停止していた場合などに行われる。   Next, the application operation (product manufacturing operation) and the discard application operation (maintenance operation) performed by the paste application apparatus 1 will be described. The discard application operation is performed when application by each application head 4 has been stopped for a set time or more.

塗布動作では、ペースト塗布装置1は、支持部材移動機構6としての一対のY軸移動機構6a、6bにより第1支持部材5A及び第2支持部材5BをY軸方向に移動させ、各ヘッド移動機構8のX軸移動機構8cにより各塗布ヘッド4をX軸方向にそれぞれ移動させ、基板ステージ2上の基板K1の各塗布開始位置に各塗布ヘッド4をそれぞれ対向させる。次いで、ペースト塗布装置1は、塗布動作用の塗布条件(ギャップなど)に基づいて、各ヘッド移動機構8のZ軸移動機構8bにより各塗布ヘッド4をZ軸方向にそれぞれ移動させ、待機位置から塗布位置に各塗布ヘッド4を位置付ける。   In the application operation, the paste application apparatus 1 moves the first support member 5A and the second support member 5B in the Y-axis direction by a pair of Y-axis movement mechanisms 6a and 6b as the support member movement mechanism 6, and moves each head movement mechanism. The X-axis moving mechanism 8c moves the coating heads 4 in the X-axis direction so that the coating heads 4 face the coating start positions of the substrate K1 on the substrate stage 2, respectively. Next, the paste coating apparatus 1 moves each coating head 4 in the Z-axis direction by the Z-axis moving mechanism 8b of each head moving mechanism 8 based on the coating conditions (gap, etc.) for the coating operation, and from the standby position. Each coating head 4 is positioned at the coating position.

ここで、待機位置及び塗布位置は、基板ステージ2上の基板K1に対して所定の距離だけ離反する離反位置である。待機位置は、各塗布ヘッド4が塗布を行わない場合の離反位置であり、各塗布ヘッド4のノズル4bの先端と基板K1の表面との間にはノズル4bが基板K1に接触しない充分な間隔が形成される。また、塗布位置は、各塗布ヘッド4が塗布を行う場合の離反位置であり、各塗布ヘッド4のノズル4bの先端と基板K1の表面との間には所定のギャップが形成される。なお、ギャップは、基板K1の表面にペーストを所定の塗布量で塗布する場合に必要なノズル4bの先端と基板K1の表面との離間距離である。   Here, the standby position and the application position are separation positions that are separated from the substrate K1 on the substrate stage 2 by a predetermined distance. The stand-by position is a separation position when each coating head 4 does not perform coating, and a sufficient interval between the tip of the nozzle 4b of each coating head 4 and the surface of the substrate K1 so that the nozzle 4b does not contact the substrate K1. Is formed. The application position is a separation position when each application head 4 performs application, and a predetermined gap is formed between the tip of the nozzle 4b of each application head 4 and the surface of the substrate K1. The gap is a separation distance between the tip of the nozzle 4b and the surface of the substrate K1, which is necessary when applying a paste at a predetermined application amount on the surface of the substrate K1.

その後、ペースト塗布装置1は、塗布動作用の塗布条件(吐出圧力や移動速度など)に基づいて、各塗布ヘッド4のノズル4bからペーストを吐出させながら、一対のY軸移動機構6a、6bにより第1支持部材5A及び第2支持部材5BをY軸方向に塗布範囲H1にわたって移動させ、各ヘッド移動機構8のX軸移動機構8cにより各塗布ヘッド4をX軸方向に移動させ、基板ステージ2上の基板K1にペーストを塗布し、所定のペーストパターンを形成する。ここで、各塗布ヘッド4が形成するペーストパターン(塗布パターン)は同一であり、例えば矩形枠状である。所定のペーストパターンの形成が完了すると、ペースト塗布装置1は、各ヘッド移動機構8のZ軸移動機構8bにより各塗布ヘッド4をZ軸方向にそれぞれ移動させ、塗布位置から元の待機位置に各塗布ヘッド4を位置付ける。   Thereafter, the paste applying apparatus 1 uses a pair of Y-axis moving mechanisms 6a and 6b while discharging the paste from the nozzle 4b of each application head 4 based on the application conditions for the application operation (e.g., discharge pressure and moving speed). The first support member 5A and the second support member 5B are moved in the Y-axis direction over the coating range H1, and each coating head 4 is moved in the X-axis direction by the X-axis moving mechanism 8c of each head moving mechanism 8. A paste is applied to the upper substrate K1 to form a predetermined paste pattern. Here, the paste pattern (application pattern) formed by each application head 4 is the same, for example, a rectangular frame shape. When the formation of the predetermined paste pattern is completed, the paste application apparatus 1 moves each application head 4 in the Z-axis direction by the Z-axis movement mechanism 8b of each head movement mechanism 8 to move each application head from the application position to the original standby position. The application head 4 is positioned.

ここで、吐出圧力は、塗布ヘッド4内のペーストをノズル4bから吐出させるための気体圧力であり、移動速度は、ペーストを塗布する場合のノズル4bと基板K1との相対移動速度である。   Here, the discharge pressure is a gas pressure for discharging the paste in the coating head 4 from the nozzle 4b, and the moving speed is a relative moving speed between the nozzle 4b and the substrate K1 when the paste is applied.

最後に、ペースト塗布装置1は、一対のY軸移動機構6a、6bにより第1支持部材5A及び第2支持部材5BをY軸方向に塗布範囲H1から退避範囲H2に移動させ、第1捨て塗布ステージ3A上の基板K2に第1支持部材5Aの各塗布ヘッド4を対向させ、加えて、第2捨て塗布ステージ3B上の基板K2に第2支持部材5Bの各塗布ヘッド4を対向させ、基板ステージ2上の基板K1の交換に待機する。基板K1の交換が完了すると、前述の塗布動作を繰り返す。   Finally, the paste application apparatus 1 moves the first support member 5A and the second support member 5B in the Y-axis direction from the application range H1 to the retreat range H2 by the pair of Y-axis moving mechanisms 6a and 6b, and first discard application Each coating head 4 of the first support member 5A is made to face the substrate K2 on the stage 3A. In addition, each coating head 4 of the second support member 5B is made to face the substrate K2 on the second discard coating stage 3B, and the substrate Wait for replacement of the substrate K1 on the stage 2. When the replacement of the substrate K1 is completed, the above-described coating operation is repeated.

なお、塗布動作は、第1支持部材5A、第2支持部材5B及び4つの塗布ヘッド4をそれぞれ塗布範囲H1で移動させて行うものに限らず、一方の支持部材、例えば、第2支持部材5Bを退避範囲H2に退避させておき、第1支持部材5Aとそれに支持された塗布ヘッド4を塗布範囲H1で移動させて行うようにしてもよい。   The application operation is not limited to the operation performed by moving the first support member 5A, the second support member 5B, and the four application heads 4 within the application range H1, but one support member, for example, the second support member 5B. May be retreated in the retreat range H2, and the first support member 5A and the application head 4 supported thereby may be moved within the application range H1.

一方、捨て塗布動作では、ペースト塗布装置1は、一対のY軸移動機構6a、6bにより、第1支持部材5A及び第2支持部材5BをY軸方向に塗布範囲H1から退避範囲H2に移動させ、第1捨て塗布ステージ3A上の基板K2に第1支持部材5Aの各塗布ヘッド4を対向させ、第2捨て塗布ステージ3B上の基板K2に第2支持部材5Bの各塗布ヘッド4を対向させる。次いで、ペースト塗布装置1は、捨て塗布動作用の塗布条件(ギャップなど)に基づいて、各ヘッド移動機構8のZ軸移動機構8bにより各塗布ヘッド4をZ軸方向にそれぞれ移動させ、待機位置から塗布位置に各塗布ヘッド4を位置付ける。   On the other hand, in the discard coating operation, the paste coating apparatus 1 moves the first support member 5A and the second support member 5B from the coating range H1 to the retreat range H2 in the Y-axis direction by the pair of Y-axis moving mechanisms 6a and 6b. Each coating head 4 of the first support member 5A is opposed to the substrate K2 on the first discard coating stage 3A, and each coating head 4 of the second support member 5B is opposed to the substrate K2 on the second discard coating stage 3B. . Next, the paste application apparatus 1 moves each application head 4 in the Z-axis direction by the Z-axis movement mechanism 8b of each head movement mechanism 8 based on the application conditions (gap, etc.) for the discard application operation, and waits at the standby position. Each coating head 4 is positioned at the coating position.

その後、ペースト塗布装置1は、捨て塗布動作用の塗布条件(吐出圧力や移動速度など)に基づいて、各塗布ヘッド4のノズル4bからペーストを吐出させながら、各ヘッド移動機構8のX軸移動機構8cにより各塗布ヘッド4をX軸方向に移動させ、例えば、第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3B上の基板K2に対してペーストを直線状に塗布する。この捨て塗布が完了すると、ペースト塗布装置1は、各ヘッド移動機構8のZ軸移動機構8bにより各塗布ヘッド4をZ軸方向にそれぞれ移動させ、塗布位置から元の待機位置に各塗布ヘッド4を位置付ける。この捨て塗布動作により、各塗布ヘッド4の塗布精度の低下や吐出不良の発生が防止される。   Thereafter, the paste application apparatus 1 moves the X axis of each head moving mechanism 8 while discharging the paste from the nozzle 4b of each application head 4 based on the application conditions (discharge pressure, movement speed, etc.) for the discard application operation. Each coating head 4 is moved in the X-axis direction by the mechanism 8c, and, for example, the paste is linearly applied to the substrate K2 on the first discard coating stage 3A and the second discard coating stage 3B. When the discard coating is completed, the paste coating apparatus 1 moves each coating head 4 in the Z-axis direction by the Z-axis moving mechanism 8b of each head moving mechanism 8 to move each coating head 4 from the coating position to the original standby position. Position. By this discarding application operation, it is possible to prevent the application accuracy of each application head 4 from being lowered and the occurrence of ejection failure.

このようなペースト塗布装置1を搬送する場合には、図9に示すように、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bは塗布範囲H1内に位置付けられ、次いで、支持部材移動機構6としての一対のY軸移動機構6a、6bが本体部P1と二つの分割部P2、P3として三分割され、その後、架台7も、本体架台7aと二つの分割架台7b、7cとして三分割される。これにより、ペースト塗布装置1が小さく分割されるので、ペースト塗布装置1の輸送性を向上させることができる。さらに、一対のY軸移動機構6a、6bは塗布範囲H1内で分割されないので、ペースト塗布装置1を分割しても、塗布範囲H1内の組付け精度を維持することが可能になる。これにより、一対のY軸移動機構6a、6bの塗布範囲H1内の組付け精度を維持しながら、ペースト塗布装置1の輸送性を向上させることができる。   When transporting such a paste application device 1, as shown in FIG. 9, the first support member 5A and the second support member 5B are positioned within the application range H1, and then as the support member moving mechanism 6 The pair of Y-axis moving mechanisms 6a and 6b is divided into three parts as a main body part P1 and two divided parts P2 and P3. Thereafter, the gantry 7 is also divided into three parts as a main body gantry 7a and two divided gantry parts 7b and 7c. Thereby, since the paste coating device 1 is divided into small parts, the transportability of the paste coating device 1 can be improved. Further, since the pair of Y-axis moving mechanisms 6a and 6b are not divided within the application range H1, it is possible to maintain the assembly accuracy within the application range H1 even if the paste application device 1 is divided. Thereby, the transportability of the paste coating apparatus 1 can be improved while maintaining the assembly accuracy within the coating range H1 of the pair of Y-axis moving mechanisms 6a and 6b.

特に、分割工程では、図8及び図9に示すように、支持ステージ13が基準ステージ13a及び各分割ステージ13b、13cに分割される。このとき、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52は基準ステージ13a上に収容されており、基準ステージ13aから水平方向に著しく突出することはない。なお、この分割工程においては、必要に応じて第1モータ51d及び第2モータ52dを取り外し、その後、設置場所で取り付けるようにしてもよい。一方、図7に示すような構造を採用した場合には、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52が基準ステージ13aから水平方向に著しく突出するため、搬送サイズが大きくなり、輸送性が低下してしまう。   In particular, in the dividing step, as shown in FIGS. 8 and 9, the support stage 13 is divided into a reference stage 13a and divided stages 13b and 13c. At this time, the first support base moving mechanism 51 and the second support base moving mechanism 52 are accommodated on the reference stage 13a, and do not significantly protrude in the horizontal direction from the reference stage 13a. In this division step, the first motor 51d and the second motor 52d may be removed as necessary, and then attached at the installation location. On the other hand, when the structure as shown in FIG. 7 is adopted, the first support base moving mechanism 51 and the second support base moving mechanism 52 significantly protrude in the horizontal direction from the reference stage 13a. Transportability will decrease.

したがって、図5に示すような構造を採用することによって、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52が基準ステージ13aから水平方向に突出することがなくなり、輸送サイズを小さくすることが可能になり、さらに、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52を分解せずに搬送することが可能になるので、塗布範囲H1内の組付け精度が維持されつつ、ペースト塗布装置1の輸送性が向上する。特に、各ねじ軸51b、52bを取り外すことなく輸送することが可能になるので、塗布範囲H1内の組付け精度は確実に維持される。   Therefore, by adopting the structure as shown in FIG. 5, the first support base moving mechanism 51 and the second support base moving mechanism 52 do not protrude in the horizontal direction from the reference stage 13a, and the transport size is reduced. In addition, the first support base moving mechanism 51 and the second support base moving mechanism 52 can be transported without being disassembled, so that the assembling accuracy within the coating range H1 is maintained and the paste is maintained. The transportability of the coating apparatus 1 is improved. In particular, since the screw shafts 51b and 52b can be transported without being removed, the assembly accuracy within the application range H1 is reliably maintained.

ここで、搬送前、すなわちペースト塗布装置1の製品出荷前、ペースト塗布装置1の各部、特に、各Y軸移動機構6a、6bは組付け精度が高く組み込まれている。このため、ペースト塗布装置1の各部を分割して搬送した場合には、搬送後、設置場所で再び組付け精度が高くなるようにペースト塗布装置1の各部を組み込む必要が生じるが、各Y軸移動機構6a、6bを塗布範囲H1内で分割した場合には、その組付け精度を搬送前まで戻すことは困難である。特に、各Y軸移動機構6a、6bのように塗布動作に関する部品の組付け精度は高い必要があり、組付け精度の低下は良好な塗布を困難にする要因となる。また、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bの各々の重量は数トンあるため、各Y軸移動機構6a、6bから第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを取り外すことも困難である。   Here, before conveyance, that is, before product shipment of the paste application device 1, each part of the paste application device 1, especially the Y-axis moving mechanisms 6a and 6b, is incorporated with high assembling accuracy. For this reason, when each part of the paste coating apparatus 1 is divided and conveyed, it is necessary to incorporate each part of the paste coating apparatus 1 so that the assembling accuracy is increased again at the installation location after the conveyance. When the moving mechanisms 6a and 6b are divided within the application range H1, it is difficult to return the assembly accuracy to before the conveyance. In particular, it is necessary that the assembly accuracy of the parts related to the application operation as in each of the Y-axis moving mechanisms 6a and 6b is high, and a decrease in the assembly accuracy becomes a factor that makes it difficult to perform satisfactory application. Further, since the weight of each of the first support member 5A and the second support member 5B is several tons, it is difficult to remove the first support member 5A and the second support member 5B from the Y-axis moving mechanisms 6a and 6b. .

以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、塗布範囲H1及び退避範囲H2に分けて支持部材移動機構6としての一対のY軸移動機構6a、6bを分割可能に形成し、一対のY軸移動機構6a、6bの分割位置に対応させて架台7を分割可能に形成することによって、ペースト塗布装置1を搬送する場合、ペースト塗布装置1が小さく分割されるので、ペースト塗布装置1の輸送性を向上させることができ、さらに、搬送後の設置作業も容易に行うことができる。   As described above, according to the embodiment of the present invention, the pair of Y-axis moving mechanisms 6a and 6b as the support member moving mechanism 6 are formed so as to be divided into the coating range H1 and the retreat range H2, and the pair When the paste applicator 1 is conveyed by forming the gantry 7 so as to be split in correspondence with the division positions of the Y-axis moving mechanisms 6a and 6b, the paste applicator 1 is divided into small parts. Transportability can be improved, and installation work after transport can be easily performed.

特に、一対のY軸移動機構6a、6bは塗布範囲H1及び退避範囲H2に分けて分割されるので、塗布範囲H1内の組付け精度を維持しながら、ペースト塗布装置1の輸送性を向上させることができ、さらに、塗布範囲H1内の組付け精度を維持することが可能になるので、搬送後の設置場所で、搬送前の塗布精度を容易に再現することができる。その結果、搬送後の設置場所においても、搬送前と同様に基板K1に対してペーストを均一な塗布量で良好に塗布することが可能になるので、液晶漏れやギャップムラが防止された品質の良い液晶表示パネルを製造することができる。   In particular, since the pair of Y-axis moving mechanisms 6a and 6b are divided into the application range H1 and the retreat range H2, the transportability of the paste application device 1 is improved while maintaining the assembly accuracy in the application range H1. In addition, since the assembly accuracy within the coating range H1 can be maintained, the coating accuracy before transport can be easily reproduced at the installation location after transport. As a result, it is possible to satisfactorily apply the paste to the substrate K1 with a uniform application amount at the installation location after the transfer, as well as before the transfer. A good liquid crystal display panel can be manufactured.

また、第1モータ51dが第2支持台11Bを間にして第1支持台11Aを移動させ、第2モータ52dが第1支持台11Aを間にして第2支持台11Bを移動させる構造を採用することによって、図7に示すように第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52の位置をずらして配置する必要がないため、図7に示すような構造を採用した場合に比べ、搬送サイズを小さくすることが可能となる(図5中のHa<図7中のHb)。これにより、ねじ軸長さの変更及びねじ軸の取り外しを行うことなく、輸送性を向上させることができる。   Further, a structure is adopted in which the first motor 51d moves the first support 11A with the second support 11B in between, and the second motor 52d moves the second support 11B with the first support 11A in between. By doing so, it is not necessary to shift the positions of the first support base moving mechanism 51 and the second support base moving mechanism 52 as shown in FIG. 7, so that the structure as shown in FIG. 7 is adopted. Thus, the transport size can be reduced (Ha in FIG. 5 <Hb in FIG. 7). Thereby, transportability can be improved without changing the screw shaft length and removing the screw shaft.

さらに、一対のY軸移動機構6a、6bが第1支持台11A及び第2支持台11Bを塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって移動させるための第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bを具備している場合でも、第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bを取り外したりすることなく輸送することが可能になるので、塗布範囲H1内の組付け精度を確実に維持することができる。加えて、塗布範囲H1内の組付け精度を維持することが可能になるので、搬送後の設置場所で、搬送前の塗布精度を容易に再現することができる。その結果、搬送後の設置場所においても、搬送前と同様に基板K1に対してペーストを均一な塗布量で良好に塗布することが可能になるので、液晶漏れやギャップムラが防止された品質の良い液晶表示パネルを製造することができる。   Further, the pair of Y-axis moving mechanisms 6a and 6b includes a first screw shaft 51b and a second screw shaft 52b for moving the first support base 11A and the second support base 11B over the application range H1 and the retreat range H2. Even in this case, since the first screw shaft 51b and the second screw shaft 52b can be transported without being removed, the assembly accuracy within the application range H1 can be reliably maintained. In addition, since the assembly accuracy within the coating range H1 can be maintained, the coating accuracy before transport can be easily reproduced at the installation location after transport. As a result, it is possible to satisfactorily apply the paste to the substrate K1 with a uniform application amount at the installation location after the transfer, as well as before the transfer. A good liquid crystal display panel can be manufactured.

また、一対のY軸移動機構6a、6bは基板ステージ2を両側から挟むように架台7に設けられ、第1支持部材5Aの両端部及び第2支持部材5Bの両端部を支持して塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを移動させることから、基板K1が大型化し、それに応じて第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを大きくした場合でも、それら第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを安定して移動させることが可能になるので、基板K1の大型化に伴う塗布不良の発生を防止することができる。   The pair of Y-axis moving mechanisms 6a and 6b are provided on the gantry 7 so as to sandwich the substrate stage 2 from both sides, and support both end portions of the first support member 5A and both end portions of the second support member 5B. Since the first support member 5A and the second support member 5B are moved over the H1 and the retreat range H2, even when the substrate K1 is enlarged and the first support member 5A and the second support member 5B are enlarged accordingly, they Since it becomes possible to move the first support member 5A and the second support member 5B stably, it is possible to prevent the occurrence of poor coating due to the increase in size of the substrate K1.

また、Y軸移動機構6aは、第1支持台11A及び第2支持台11Bを塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって案内する複数のガイドレール14を具備し、それらのガイドレール14の各々の分割位置G1、G2を同一直線上からずらして分割可能に形成されていることから、Y軸移動機構6aが各ガイドレール14の各々の分割位置G1、G2を同一直線上にして分割可能に形成されている場合に比べ、ガイドレール14の連結部分のがたつきが第1支持台11A及び第2支持台11Bに同時に影響を与えることがなくなるので、ガイドレール14の連結部分のがたつきによる第1支持台11A及び第2支持台11Bに対する影響を抑えることができる。例えば、第1支持台11Aあるいは第2支持台11Bが有する一対のスライダ12が連結部を通過する際に生じる衝撃を分散させて緩和することができる。その結果として、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bの平行度の変化などによる塗布不良の発生を抑えることができる。   The Y-axis moving mechanism 6a includes a plurality of guide rails 14 for guiding the first support base 11A and the second support base 11B over the application range H1 and the retreat range H2, and each divided position of the guide rails 14 is provided. Since G1 and G2 are formed so as to be separated from the same straight line, the Y-axis moving mechanism 6a is formed so as to be capable of being divided with the respective dividing positions G1 and G2 of each guide rail 14 being on the same straight line. Compared with the case where the guide rail 14 is not rattling, the first support base 11A and the second support base 11B are not affected at the same time. The influence on the support base 11A and the second support base 11B can be suppressed. For example, the impact generated when the pair of sliders 12 included in the first support base 11A or the second support base 11B passes through the connecting portion can be dispersed and reduced. As a result, it is possible to suppress the occurrence of poor coating due to changes in the parallelism of the first support member 5A and the second support member 5B.

(他の実施の形態)
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、前述の実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。
(Other embodiments)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, some components may be deleted from all the components shown in the above-described embodiment. Furthermore, you may combine the component covering different embodiment suitably.

前述の実施の形態においては、第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bを設けているが、これに限るものではなく、例えば、第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bのどちらか一方だけを設けるようにしてもよい。この場合には、第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bのどちらか一方が第1支持部材5Aの各塗布ヘッド4と第2支持部材5Bの各塗布ヘッド4とにより兼用されることになる。また、この場合には、捨て塗布ステージが1つになるので、二つの支持部材5A、5Bの退避範囲H2を捨て塗布ステージ側の一方のみとし、支持部材移動機構6及び架台7を二分割可能に形成すればよい。   In the above-described embodiment, the first discard coating stage 3A and the second discard coating stage 3B are provided. However, the present invention is not limited to this, for example, the first discard coating stage 3A and the second discard coating stage 3B. Only one of them may be provided. In this case, one of the first discard coating stage 3A and the second discard coating stage 3B is shared by the coating heads 4 of the first support member 5A and the coating heads 4 of the second support member 5B. become. Further, in this case, since there is only one disposal coating stage, the retreat range H2 of the two support members 5A and 5B is set to only one side on the disposal coating stage side, and the support member moving mechanism 6 and the gantry 7 can be divided into two. What is necessary is just to form.

また、前述の実施の形態においては、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを設けているが、これに限るものではなく、例えば、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bに加えてさらに支持部材を設けるようにしてもよい。前述の実施の形態においては、塗布ヘッド4を4つ設けているが、これに限るものではなく、例えば、塗布ヘッド4を6つ設けるようにしてもよく、その数は限定されない。   In the above-described embodiment, the first support member 5A and the second support member 5B are provided. However, the present invention is not limited to this. For example, in addition to the first support member 5A and the second support member 5B. Further, a support member may be provided. In the above-described embodiment, four coating heads 4 are provided. However, the present invention is not limited to this. For example, six coating heads 4 may be provided, and the number thereof is not limited.

また、前述の実施の形態においては、捨て塗布ステージ3A、3Bを架台7の本体架台7aに配置した構成で説明しているが、これに限るものではなく、例えば、分割架台7b、7cにそれぞれ配置するようにしてもよい。   Further, in the above-described embodiment, the disposal coating stages 3A and 3B are described as being arranged on the main body base 7a of the base 7, but the present invention is not limited to this, and for example, the divided bases 7b and 7c are respectively provided. It may be arranged.

また、前述の実施の形態においては、基板ステージ2を架台7上に固定し、支持部材5A、5B及び塗布ヘッド4を移動させて、基板K1の表面にペーストを塗布する構成で説明しているが、これに限るものではなく、例えば、基板ステージ2をY軸方向やX軸方向などに移動可能に形成するようにしてもよい。   In the above-described embodiment, the substrate stage 2 is fixed on the gantry 7 and the support members 5A and 5B and the coating head 4 are moved to apply the paste to the surface of the substrate K1. However, the present invention is not limited to this. For example, the substrate stage 2 may be formed so as to be movable in the Y-axis direction or the X-axis direction.

例えば、基板ステージ2を支持部材5A、5Bの移動方向(Y軸方向)と同じ方向に移動可能に構成した場合には、基板K1と塗布ヘッド4とをY軸方向に相対移動させるときに、基板ステージ2と支持部材5A、5Bとを互いに相反する方向に移動(例えば、同じ速度で)させることが可能となる。このようにすると、支持部材5A、5BのみをY軸方向に移動させる場合に比べて、基板ステージ2及び支持部材5A、5Bの移動速度が半分になるから、基板ステージ2及び支持部材5A、5Bの移動に伴う慣性力が小さくなり、基板ステージ2及び支持部材5A、5Bの加速あるいは減速に起因して生じる振動を低減させることができる。そのため、Y軸方向に沿うペーストパターンの始端及び終端の形状や塗布方向がY軸方向からX軸方向へ転換するペーストパターンのコーナー部の形状を所望の形状で精度良く塗布することが可能となり、品質の良い液晶表示パネルを製造することができる。   For example, when the substrate stage 2 is configured to be movable in the same direction as the movement direction (Y-axis direction) of the support members 5A and 5B, when the substrate K1 and the coating head 4 are relatively moved in the Y-axis direction, It is possible to move the substrate stage 2 and the supporting members 5A and 5B in opposite directions (for example, at the same speed). In this case, since the moving speed of the substrate stage 2 and the supporting members 5A and 5B is halved compared with the case where only the supporting members 5A and 5B are moved in the Y-axis direction, the substrate stage 2 and the supporting members 5A and 5B are reduced. As a result, the inertial force associated with the movement of the substrate is reduced, and the vibration caused by the acceleration or deceleration of the substrate stage 2 and the supporting members 5A and 5B can be reduced. Therefore, it becomes possible to accurately apply the shape of the corner portion of the paste pattern in which the shape and application direction of the paste pattern along the Y-axis direction and the application direction change from the Y-axis direction to the X-axis direction, in a desired shape, A high-quality liquid crystal display panel can be manufactured.

また、第1モータ51d及び第2モータ52dを第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bに対して同軸上に配置するものとしたが、これに限られるものではなく、ベルトやギヤなどの動力伝達手段を介して第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bの軸心上から外れた位置に配置してもよい。   Further, the first motor 51d and the second motor 52d are arranged coaxially with respect to the first screw shaft 51b and the second screw shaft 52b. However, the present invention is not limited to this, and power such as a belt or a gear is used. You may arrange | position in the position which remove | deviated from the axial center of the 1st screw shaft 51b and the 2nd screw shaft 52b via a transmission means.

本発明の実施の一形態に係るペースト塗布装置の概略構成を示す平面図である。It is a top view which shows schematic structure of the paste coating device which concerns on one Embodiment of this invention. 図1に示すペースト塗布装置の概略構成を示す正面図である。It is a front view which shows schematic structure of the paste coating device shown in FIG. 図1に示すペースト塗布装置の概略構成を示す側面図である。It is a side view which shows schematic structure of the paste coating device shown in FIG. 図1ないし図3に示すペースト塗布装置が備えるY軸移動機構の概略構成を示す平面図である。It is a top view which shows schematic structure of the Y-axis moving mechanism with which the paste coating apparatus shown in FIG. 図4に示すY軸移動機構が備える第1支持台及び第2支持台の移動範囲を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the movement range of the 1st support stand with which the Y-axis movement mechanism shown in FIG. 4 is provided, and a 2nd support stand. 図4に示すY軸移動機構の第1比較例を示す平面図である。It is a top view which shows the 1st comparative example of the Y-axis moving mechanism shown in FIG. 図4に示すY軸移動機構の第2比較例を示す平面図である。It is a top view which shows the 2nd comparative example of the Y-axis moving mechanism shown in FIG. 図4に示すY軸移動機構の分割状態を説明するための正面図である。It is a front view for demonstrating the division | segmentation state of the Y-axis moving mechanism shown in FIG. 図2に示すペースト塗布装置の分割状態を説明するための正面図である。It is a front view for demonstrating the division | segmentation state of the paste coating device shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 ペースト塗布装置
2 載置台
4 塗布ヘッド(第1塗布ヘッド)
4 塗布ヘッド(第2塗布ヘッド)
5A 第1支持部材
5B 第2支持部材
6a 移動機構(Y軸移動機構)
6b 移動機構(Y軸移動機構)
7 架台
11A 第1支持台
11B 第2支持台
13 支持ステージ
13a 基準ステージ
51a 第1ナット体
51b 第1ねじ軸
51c 第1軸受け部材
51d 第1モータ
52a 第2ナット体
52b 第2ねじ軸
52c 第2軸受け部材
52d 第2モータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Paste coating apparatus 2 Mounting stand 4 Coating head (1st coating head)
4 Coating head (second coating head)
5A 1st support member 5B 2nd support member 6a Movement mechanism (Y-axis movement mechanism)
6b Movement mechanism (Y-axis movement mechanism)
7 Stand 11A 1st support stand 11B 2nd support stand 13 Support stage 13a Reference stage 51a 1st nut body 51b 1st screw shaft 51c 1st bearing member 51d 1st motor 52a 2nd nut body 52b 2nd screw shaft 52c 2nd Bearing member 52d Second motor

Claims (1)

塗布対象物が載置される載置台と、
前記載置台上の前記塗布対象物にペーストを塗布する第1塗布ヘッドと、
前記載置台上の前記塗布対象物にペーストを塗布する第2塗布ヘッドと、
前記第1塗布ヘッドを支持する第1支持部材と、
前記第2塗布ヘッドを支持する第2支持部材と、
前記載置台を両側から挟むように設けられ、前記第1支持部材の両端部及び前記第2支持部材の両端部を支持し、前記第1塗布ヘッドが前記載置台上の前記塗布対象物に前記ペーストを塗布する塗布範囲及び前記塗布範囲以外の退避範囲にわたって前記第1支持部材及び前記第2支持部材を移動させる機構であって、前記塗布範囲と前記退避範囲とに分けて分割可能に形成された一対の移動機構と、
前記一対の移動機構の分割位置に対応させて分割可能に形成され、前記載置台及び前記一対の移動機構を支持する架台と、
を備え、
前記一対の移動機構は、それぞれ、
前記第1支持部材の端部が載置される第1支持台と、
前記第1支持台に並べて設けられ、前記第2支持部材の端部が載置される第2支持台と、
前記第1支持台及び前記第2支持台を並ぶ方向に移動可能に支持するステージであって、前記塗布範囲及び前記退避範囲に対応させて分割可能に形成され、前記塗布範囲に対応する基準ステージを有する支持ステージと、
前記基準ステージ上に設けられ、前記第1支持台を前記塗布範囲及び前記退避範囲にわたって移動させるための第1ねじ軸と、
前記基準ステージ上に設けられ、前記第1ねじ軸の両端を回転可能に支持する一対の第1軸受け部材と、
前記一対の第1軸受け部材の一方である前記第2支持台側の前記第1軸受け部材に取り付けられ、前記第1ねじ軸を回転させる第1モータと、
前記第1支持台の前記第1モータ側の端部に設けられ、前記第1ねじ軸に組み合わされる第1ナット体と、
前記基準ステージ上に前記第1ねじ軸に沿うように設けられ、前記第2支持台を前記塗布範囲及び前記退避範囲にわたって移動させるための第2ねじ軸と、
前記基準ステージ上に設けられ、前記第2ねじ軸の両端を回転可能に支持する一対の第2軸受け部材と、
前記一対の第2軸受け部材の一方である前記第1支持台側の前記第2軸受け部材に取り付けられ、前記第2ねじ軸を回転させる第2モータと、
前記第2支持台の前記第2モータ側の端部に設けられ、前記第2ねじ軸に組み合わされる第2ナット体と、
を具備していることを特徴とするペースト塗布装置。
A mounting table on which a coating object is mounted;
A first application head for applying a paste to the application object on the mounting table;
A second application head for applying a paste to the application object on the mounting table;
A first support member for supporting the first application head;
A second support member for supporting the second application head;
It is provided so as to sandwich the mounting table from both sides, supports both ends of the first support member and both ends of the second support member, and the first application head is applied to the application object on the mounting table. A mechanism for moving the first support member and the second support member over an application range in which paste is applied and a retraction range other than the application range, and is formed so as to be divided into the application range and the retraction range. A pair of moving mechanisms,
A pedestal that is formed so as to be capable of being divided corresponding to the division position of the pair of moving mechanisms, and supports the mounting table and the pair of moving mechanisms;
With
The pair of moving mechanisms are respectively
A first support on which an end of the first support member is placed;
A second support table provided side by side on the first support table, on which an end of the second support member is placed;
A stage that supports the first support table and the second support table so as to be movable in a line-up direction, and is formed so as to be divided corresponding to the application range and the retraction range, and corresponds to the application range. A support stage having
A first screw shaft provided on the reference stage for moving the first support over the application range and the retraction range;
A pair of first bearing members provided on the reference stage and rotatably supporting both ends of the first screw shaft;
A first motor attached to the first bearing member on the second support base side, which is one of the pair of first bearing members, and rotating the first screw shaft;
A first nut body provided at an end of the first support base on the first motor side and combined with the first screw shaft;
A second screw shaft provided on the reference stage so as to be along the first screw shaft, and for moving the second support base over the application range and the retraction range;
A pair of second bearing members provided on the reference stage and rotatably supporting both ends of the second screw shaft;
A second motor which is attached to the second bearing member on the first support base side which is one of the pair of second bearing members and rotates the second screw shaft;
A second nut body provided at an end portion of the second support base on the second motor side and combined with the second screw shaft;
A paste coating apparatus comprising:
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