JP2010075877A - Paste coating device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、塗布対象物にペーストを塗布するペースト塗布装置に関する。 The present invention relates to a paste application device that applies a paste to an object to be applied.
ペースト塗布装置は、液晶表示パネルなどの様々な装置を製造するために用いられている。このペースト塗布装置は、塗布対象物に対してペーストを塗布する塗布ヘッドを備えており、その塗布ヘッドを移動させながら塗布対象物にペーストを塗布し、塗布対象物上に所定のペーストパターンを形成する(例えば、特許文献1参照)。 Paste applicators are used to manufacture various devices such as liquid crystal display panels. This paste coating apparatus includes a coating head that applies a paste to a coating object, and applies the paste to the coating object while moving the coating head to form a predetermined paste pattern on the coating object. (For example, refer to Patent Document 1).
特に、液晶表示パネルの製造では、2枚の基板を貼り合わせるため、ペースト塗布装置は、塗布対象物である基板に対して液晶表示パネルの表示領域を囲むように、シール剤などのシール性及び接着性を有するペーストを塗布する。このようなペースト塗布装置は、液晶表示パネルの大型化に伴って大きくなってしまう。
しかしながら、ペースト塗布装置が大きくなると、トラックなどの車両によりそのペースト塗布装置を搬送することが困難になり、ペースト塗布装置の輸送性が低下してしまう。特に、車両に応じて運搬可能な大きさが決まるため、その大きさよりペースト塗布装置の大きさを小さくする必要がある。 However, when the paste coating apparatus becomes large, it becomes difficult to transport the paste coating apparatus by a vehicle such as a truck, and the transportability of the paste coating apparatus is lowered. In particular, since the size that can be transported is determined depending on the vehicle, it is necessary to make the size of the paste application device smaller than that size.
このため、ペースト塗布装置を分割する場合があるが、塗布ヘッドを支持するコラムを移動させるコラム移動機構には、ボールネジ(ねじ軸)が高精度に組み込まれている。このボールネジを分割することは精度低下などの要因となるため避けられ、搬送時にボールネジが取り外されることがある。 For this reason, the paste coating apparatus may be divided, but a ball screw (screw shaft) is incorporated with high accuracy in a column moving mechanism that moves a column that supports the coating head. Dividing the ball screw is avoided because it causes a decrease in accuracy, and the ball screw may be removed during transportation.
ところが、ボールネジを取り外した場合には、ペースト塗布装置の設置場所での高精度な再組立作業は困難な作業となるため、搬送時にボールネジを取り外すことも避けられる。このため、コラム移動機構の分割サイズはボールネジの長さによって限定されることになる。また、そのボールネジの長さはコラムの必要な移動範囲(使用ストローク)により決定されるため、輸送性向上のために安易に短くすることはできない。 However, when the ball screw is removed, it is difficult to perform a highly accurate reassembly operation at the place where the paste application device is installed, so it is also possible to avoid removing the ball screw during transportation. For this reason, the division size of the column moving mechanism is limited by the length of the ball screw. Further, since the length of the ball screw is determined by the necessary moving range (usage stroke) of the column, it cannot be easily shortened for improving the transportability.
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、ねじ軸長さの変更及びねじ軸の取り外しを行うことなく、輸送性を向上させることができるペースト塗布装置を提供することである。 This invention is made | formed in view of the above, The objective is providing the paste coating device which can improve transportability, without changing a screw shaft length and removing a screw shaft. is there.
本発明の実施の形態に係る特徴は、ペースト塗布装置において、塗布対象物が載置される載置台と、載置台上の塗布対象物にペーストを塗布する第1塗布ヘッドと、載置台上の塗布対象物にペーストを塗布する第2塗布ヘッドと、第1塗布ヘッドを支持する第1支持部材と、第2塗布ヘッドを支持する第2支持部材と、載置台を両側から挟むように設けられ、第1支持部材の両端部及び第2支持部材の両端部を支持し、第1塗布ヘッドが載置台上の塗布対象物にペーストを塗布する塗布範囲及び塗布範囲以外の退避範囲にわたって第1支持部材及び第2支持部材を移動させる機構であって、塗布範囲と退避範囲とに分けて分割可能に形成された一対の移動機構と、一対の移動機構の分割位置に対応させて分割可能に形成され、載置台及び一対の移動機構を支持する架台とを備え、一対の移動機構は、それぞれ、第1支持部材の端部が載置される第1支持台と、第1支持台に並べて設けられ、第2支持部材の端部が載置される第2支持台と、第1支持台及び第2支持台を並ぶ方向に移動可能に支持するステージであって、塗布範囲及び退避範囲に対応させて分割可能に形成され、塗布範囲に対応する基準ステージを有する支持ステージと、基準ステージ上に設けられ、第1支持台を塗布範囲及び退避範囲にわたって移動させるための第1ねじ軸と、基準ステージ上に設けられ、第1ねじ軸の両端を回転可能に支持する一対の第1軸受け部材と、一対の第1軸受け部材の一方である第2支持台側の第1軸受け部材に取り付けられ、第1ねじ軸を回転させる第1モータと、第1支持台の第1モータ側の端部に設けられ、第1ねじ軸に組み合わされる第1ナット体と、基準ステージ上に第1ねじ軸に沿うように設けられ、第2支持台を塗布範囲及び退避範囲にわたって移動させるための第2ねじ軸と、基準ステージ上に設けられ、第2ねじ軸の両端を回転可能に支持する一対の第2軸受け部材と、一対の第2軸受け部材の一方である第1支持台側の第2軸受け部材に取り付けられ、第2ねじ軸を回転させる第2モータと、第2支持台の第2モータ側の端部に設けられ、第2ねじ軸に組み合わされる第2ナット体とを具備していることである。 A feature according to the embodiment of the present invention is that, in the paste application apparatus, a mounting table on which the application target is placed, a first application head that applies paste to the application target on the mounting table, and the mounting table A second application head for applying a paste to the object to be applied; a first support member for supporting the first application head; a second support member for supporting the second application head; and a mounting table sandwiched from both sides. The first support member supports both ends of the first support member and both ends of the second support member, and the first support over the retraction range other than the application range and the application range where the first application head applies the paste to the application object on the mounting table. A mechanism for moving the member and the second support member, the pair of movement mechanisms formed so as to be divided into an application range and a retreat range, and formed so as to be divided corresponding to the division positions of the pair of movement mechanisms. A mounting table and a pair A pair of moving mechanisms, the pair of moving mechanisms being respectively provided side by side on the first support base on which the end of the first support member is placed, and the second support member. The second support table on which the end is placed, and a stage that supports the first support table and the second support table so as to be movable in the line-up direction, are formed so as to be divided according to the application range and the retreat range. A support stage having a reference stage corresponding to the application range; a first screw shaft provided on the reference stage for moving the first support base over the application range and the retraction range; and provided on the reference stage. A pair of first bearing members that rotatably support both ends of one screw shaft, and a first bearing member on the second support base that is one of the pair of first bearing members, rotate the first screw shaft. The first motor and the first support base A first nut body provided at the end on the motor side and combined with the first screw shaft, and provided on the reference stage along the first screw shaft, the second support is moved over the application range and the retraction range. A second screw shaft, a pair of second bearing members provided on the reference stage and rotatably supporting both ends of the second screw shaft, and a first support base side which is one of the pair of second bearing members A second motor which is attached to the second bearing member and rotates the second screw shaft, and a second nut body which is provided at an end of the second support base on the second motor side and which is combined with the second screw shaft. It is equipped.
本発明によれば、ねじ軸長さの変更及びねじ軸の取り外しを行うことなく、輸送性を向上させることができる。 According to the present invention, the transportability can be improved without changing the screw shaft length and removing the screw shaft.
本発明の実施の一形態について図面を参照して説明する。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1ないし図3に示すように、本発明の実施の形態に係るペースト塗布装置1は、塗布対象物としての基板K1が水平状態(基板K1のペーストが塗布される面が図1及び図2に示すX軸方向とそれに直交するY軸方向に沿う状態)で載置される基板ステージ2と、捨て塗布用の基板K2がそれぞれ水平載置される第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bと、基板ステージ2上の基板K1にシール剤などのシール性及び接着性を有するペーストをそれぞれ塗布する複数の塗布ヘッド4と、各塗布ヘッド4をそれぞれ支持する第1支持部材5A及び第2支持部材5Bと、塗布ヘッド4が基板ステージ2上の基板K1にペーストを塗布する塗布範囲H1及びその塗布範囲以外の退避範囲H2にわたって第1支持部材5A及び第2支持部材5BをY軸方向に沿って移動させる支持部材移動機構6と、基板ステージ2、第1捨て塗布ステージ3A、第2捨て塗布ステージ3B及び支持部材移動機構6を支持する架台7とを備えている。
As shown in FIG. 1 to FIG. 3, the paste coating apparatus 1 according to the embodiment of the present invention is such that the substrate K1 as a coating object is in a horizontal state (the surface on which the paste of the substrate K1 is applied is shown in FIG. 1 and FIG. The
基板ステージ2は、架台7の上面に固定されて設けられた載置台である。この基板ステージ2は、基板K1を吸着する吸着機構(図示せず)を備えており、その吸着機構により上面の載置面に基板K1を固定して保持する。なお、吸着機構としては、例えばエアー吸着機構などを用いる。このような基板ステージ2の載置面には、ガラス基板などの製品用の基板K1が載置される。
The
第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bは、基板ステージ2を挟むように架台7の上面にそれぞれ設けられている。これらの第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bは、捨て塗布用の基板K2を吸着する吸着機構(図示せず)をそれぞれ備えており、各吸着機構により上面の載置面に基板K2を固定して保持する。なお、吸着機構としては、例えばエアー吸着機構などを用いる。このような第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bの各々の載置面には、ガラス基板などの捨て塗布用の基板K2がそれぞれ載置される。
The first
ここで、捨て塗布は、各塗布ヘッド4による塗布が設定時間以上停止していた場合など、各塗布ヘッド4の塗布精度の低下や吐出不良の発生を防止するため、第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3B上の基板K2に対してペーストを塗布する動作である。
Here, the discard application is performed in order to prevent the application accuracy of each
各塗布ヘッド4は、ペーストを収容するシリンジなどの収容筒4aと、その収容筒4aに連通してペーストを吐出するノズル4b(図2参照)とをそれぞれ有している。これらの塗布ヘッド4は、気体供給チューブなどを介して気体供給部に接続されている。この各塗布ヘッド4は、収容筒4a内に供給される気体により、収容筒4a内のペーストをノズル4bから吐出する。このような各塗布ヘッド4は、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bにヘッド移動機構8によりX軸方向に移動可能にそれぞれ設けられている。なお、ペーストとしては、シール性及び接着性を有するペーストを用いているが、これに限るものではなく、例えば、シール性及び接着性のどちらか一方を有するペーストや他の特性を有するペーストなどを用いるようにしてもよい。
Each
ヘッド移動機構8は、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bにそれぞれ設けられている。このヘッド移動機構8は、各塗布ヘッド4をそれぞれ保持する複数の保持部8aと、それらの保持部8aをそれぞれ支持して水平面に直交するZ軸方向に移動させる複数のZ軸移動機構8bと、それらのZ軸移動機構8bを支持してX軸方向に移動させるX軸移動機構8cとを備えている。
The
保持部8aは、着脱可能に塗布ヘッド4の収容筒4aを保持する部材である。また、Z軸移動機構8bは、保持部8aをZ軸方向、すなわち基板ステージ2に対して接離させる接離方向に移動させる移動機構である。このZ軸移動機構8bとしては、例えば送りねじ機構を用いる。X軸移動機構8cは、各塗布ヘッド4をX軸方向、すなわち第1支持部材5A及び第2支持部材5Bの移動方向に水平面内で直交する方向に移動させる移動機構である。このX軸移動機構8cとしては、例えばリニアモータ機構や送りねじ機構を用いる。
The
第1支持部材5A及び第2支持部材5Bは、各塗布ヘッド4をそれぞれ2個ずつ支持するコラムである。これらの第1支持部材5A及び第2支持部材5Bは、その移動方向に交差する方向、例えば直交する方向に延伸させて形成されている。さらに、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bは、例えば直方体形状にそれぞれ形成されており、基板ステージ2の載置面に対して平行に設けられている。このような第1支持部材5A及び第2支持部材5Bは、支持部材移動機構6により塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって移動し、塗布範囲H1内で基板ステージ2の載置面に対向する位置に各塗布ヘッド4を位置付け、さらに、退避範囲H2内で捨て塗布ステージ3A、3Bの載置面に対向する位置に各塗布ヘッド4を位置付ける。
The first support member 5 </ b> A and the second support member 5 </ b> B are columns that support two
ここで、塗布範囲H1は、各塗布ヘッド4が基板ステージ2上の基板K1にペーストを塗布する場合の移動範囲、すなわち製品用の基板K1に対する塗布を行う移動範囲である。また、退避範囲H2は、塗布範囲H1以外の範囲であり、特に、各塗布ヘッド4が第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3B上の基板K2にペーストを塗布する場合の移動範囲、すなわち捨て塗布用の基板K2に対する塗布を行う退避範囲であり、さらに、基板ステージ2上の基板K1を交換する場合の退避範囲である。
Here, the application range H1 is a movement range in which each
支持部材移動機構6は、架台7の上面に設けられており、塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを移動可能に支持している。この支持部材移動機構6は、塗布範囲H1及び退避範囲H2に区分して分割可能に形成されている。このような支持部材移動機構6は、第1支持部材5Aの延伸方向の両端部及び第2支持部材5Bの延伸方向の両端部を支持してY軸方向に移動させる一対のY軸移動機構6a、6bにより構成されている。
The support member moving mechanism 6 is provided on the upper surface of the
一対のY軸移動機構6a、6bは、基板ステージ2さらに第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bを挟むように、Y軸方向に沿うように架台7の上面にそれぞれ設けられている。これらのY軸移動機構6a、6bには、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bが架け渡されて設けられている。
The pair of Y-
各Y軸移動機構6a、6bはそれぞれ、図4に示すように、第1支持部材5Aの延伸方向の端部を支持する第1支持台11Aと、第2支持部材5Bの延伸方向の端部を支持する第2支持台11Bと、第1支持台11A及び第2支持台11Bにそれぞれ設けられた複数のスライダ12(図3参照)と、Y軸方向に伸びる溝部Mを有して第1支持台11A及び第2支持台11Bを移動可能に支持する支持ステージ13と、その支持ステージ13の上面に設けられ第1支持台11A及び第2支持台11BをY軸方向に案内する一対のガイドレール14と、溝部M内に設けられ第1支持台11AをY軸方向に移動させる第1支持台移動機構51と、溝部M内に設けられ第2支持台11BをY軸方向に移動させる第2支持台移動機構52とを具備している。
As shown in FIG. 4, each of the Y-
第1支持台11A及び第2支持台11Bは、それぞれ平板状に形成されており、支持ステージ13に並べて移動可能に水平にして設けられている。各スライダ12(図3参照)は、それぞれ対応するガイドレール14にスライド移動可能に取り付けられている。一対のガイドレール14は、支持ステージ13の溝部Mを避けて支持ステージ13の上面にそれぞれ設けられている。これらのガイドレール14は、それぞれ平行にして支持ステージ13の上面に配置され、ネジなどにより固定されている。第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52は、例えば、ステッピングモータなどの回転式のモータを駆動源とするボールねじ機構である。
The first support base 11 </ b> A and the second support base 11 </ b> B are each formed in a flat plate shape, and are arranged horizontally on the
第1支持台移動機構51は、第1支持台11Aに取り付けられた第1ナット体51aと、その第1ナット体51aが組み合わされてY軸方向に沿って設けられた第1ねじ軸51bと、その第1ねじ軸51bの両端を回転可能に支持する一対の第1軸受け部材51cと、第1ねじ軸51bを回転させる駆動源である第1モータ51dとを備えている。
The first support
第1ねじ軸51bはY軸方向に平行に支持ステージ13上に設けられており、一対の第1軸受け部材51cも第1ねじ軸51bの両端を支持可能に支持ステージ13上に設けられている。第1ねじ軸51bの長さは、第1支持台11Aが塗布範囲H1及び退避範囲H2(必要な移動範囲)にわたって移動可能な長さである。また、第1モータ51dは、一対の第1軸受け部材51cの一方である第2支持台11B側(図4中の右側)の第1軸受け部材51cに着脱可能に取り付けられている。第1ナット体51aは第1支持台11Aの裏面であって第1モータ51d側の端部に設けられている。
The
第2支持台移動機構52は、第2支持台11Bに取り付けられた第2ナット体52aと、その第2ナット体52aが組み合わされてY軸方向に沿って設けられた第2ねじ軸52bと、その第2ねじ軸52bの両端を回転可能に支持する一対の第2軸受け部材52cと、第2ねじ軸52bを回転させる駆動源である第2モータ52dとを備えている。
The second support
第2ねじ軸52bは、第1ねじ軸51bに沿ってY軸方向に平行に設けられており、一対の第2軸受け部材52cも第2ねじ軸52bの両端を支持可能に支持ステージ13上に設けられている。第2ねじ軸52bの長さは、第2支持台11Bが塗布範囲H1及び退避範囲H2(必要な移動範囲)にわたって移動可能な長さである。第2モータ52dは、一対の第2軸受け部材52cの一方である第1支持台11A側(図4中の左側)の第2軸受け部材52cに着脱可能に取り付けられている。これにより、第2モータ52dは、第1モータ51dに対して第1支持台11A及び第2支持台11Bを介して反対側に位置することになる。第2ナット体52aは、第2支持台11Bの裏面であって第2モータ52d側の端部に設けられている。
The
ここで、第1支持台11Aは第2支持台11Bと第2モータ52dとの間に設けられており、第2支持台11Bは第1支持台11Aと第1モータ51dとの間に設けられている。これにより、第1モータ51dは第2支持台11Bを間にして第1支持台11Aを移動させ、第2モータ52dは第1支持台11Aを間にして第2支持台11Bを移動させることになる。
Here, the
このような第1支持台11A及び第2支持台11Bは、図5に示すように、支持ステージ13の端部まで移動し、塗布範囲H1及び退避範囲H2(必要な移動範囲)にわたって移動することが可能である。なお、図5では、第1支持台11Aはその第1ナット体51aが第1軸受け部材51cに当接して停止している状態であり、第2支持台11Bはその第2ナット体52aが第2軸受け部材52cに当接して停止している状態である。
As shown in FIG. 5, the first support base 11 </ b> A and the second support base 11 </ b> B move to the end of the
ここで、例えば、図6に示すように、図5と逆に、第1支持台移動機構51が第2支持台11Bを移動させ、第2支持台移動機構52が第1支持台11Aを移動させるような構造を採用した場合には、第1支持台11A及び第2支持台11Bは支持ステージ13の端部まで移動することが不可能となり、塗布範囲H1及び退避範囲H2(必要な移動範囲)にわたって移動することができなくなる。なお、図6では、第1支持台11Aはその第2ナット体52aが第2軸受け部材52cに当接して停止している状態であり、第2支持台11Bはその第1ナット体51aが第1軸受け部材51cに当接して停止している状態である。
Here, for example, as shown in FIG. 6, contrary to FIG. 5, the first support
このように端部までの移動が不可となる場合には、図7に示すように、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52をそれぞれ逆方向にY軸方向に沿って、第1支持台11A及び第2支持台11Bが支持ステージ13の端部まで移動可能となる距離だけ装置外側に向かって位置をずらして配置する必要がある。この場合には、その分だけ第1支持台移動機構51が図6中の右側に移動し、第2支持台移動機構52が図6中の左側に移動し、図7に示すような配置となるため、搬送サイズが図7中のHbのように図5及び図6中のHaよりも大きくなってしまう。なお、搬送サイズは第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bの切断を避ける必要があるため、第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bの長さに依存することになる。
When it is impossible to move to the end in this way, as shown in FIG. 7, the first support
一方、図4に示すように、第1モータ51dが第2支持台11Bを間にして第1支持台11Aを移動させ、第2モータ52dが第1支持台11Aを間にして第2支持台11Bを移動させる構造を採用することによって、図7に示すような構造を採用しなくても、第1支持台11A及び第2支持台11Bは塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって移動することが可能である。さらに、図7に示すように第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52の位置をずらして配置する必要がないため、図7に示すような構造を採用した場合に比べ、搬送サイズを小さくすることができる(図5中のHa<図7中のHb)。
On the other hand, as shown in FIG. 4, the
前述のY軸移動機構6a、6bは、図8及び図9に示すように、塗布範囲H1及び退避範囲H2に分けて分割可能にそれぞれ形成されている。例えば、各Y軸移動機構6a、6bは三分割可能に、架台7の上面に固定された本体部P1と、その本体部P1に連結可能に形成され架台7の上面に着脱可能に設けられる二つの分割部P2、P3としてそれぞれ形成されている(図8及び図9参照)。特に、各Y軸移動機構6a、6bは、一対のガイドレール14の各々の分割位置G1、G2を同一直線上からずらして分割可能に形成されている。
As shown in FIGS. 8 and 9, the Y-
ここで、本体部P1の支持ステージ13は基準ステージ13aとなり、分割部P2の支持ステージ13は分割ステージ13bとなり、分割部P3の支持ステージ13は分割ステージ13cとなる。この基準ステージ13aと各分割ステージ13b、13cとは、その分割部分を階段状にして連結可能に形成されている。
Here, the
基準ステージ13aは、支持ステージ13の一部であって塗布範囲H1に対応する分割範囲のステージである。この基準ステージ13a上には、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52が固定されて設けられている。このような基準ステージ13aは、架台7の上面にボルトなどの締結手段を用いて固定されている。また、基準ステージ13aは、分割ステージ13b、13cを取り付ける場合の基準となる第1基準面M1及び第2基準面M2を有している。第1基準面M1は基準ステージ13aに水平方向に沿って設けられた平面であり、第2基準面M2は第1基準面M1に直交する平面である。さらに、基準ステージ13aは、位置決め用の位置決めピン21がそれぞれ挿入される複数の位置決め穴22を有している。位置決めピン21は、基準ステージ13aに対する分割ステージ13b、13cの位置決めを行うためのピンである。
The
各分割ステージ13b、13cは、基準ステージ13aに連結可能に形成され、架台7に対して着脱可能に設けられている。これらの分割ステージ13b、13cは、第1基準面M1に当接する第1当接面T1及び第2基準面M2に当接する第2当接面T2をそれぞれ有している。また、各分割ステージ13b、13cは、位置決めピン21が各々貫通する複数の貫通孔23をそれぞれ有している。各位置決めピン21が、それぞれ対応する貫通孔23を通過して基準ステージ13aの各位置決め穴22に挿入され、基準ステージ13aに対する各分割ステージ13b、13cの位置決めが行われる。
Each of the divided
ここで、各分割ステージ13b、13cの第1当接面T1が基準ステージ13aの第1基準面M1に当接することで、各分割ステージ13b、13cの高さ方向の位置決めが行われ、各分割ステージ13b、13cの第2当接面T2が基準ステージ13aの第2基準面M2に当接することで、Y軸方向、すなわちガイドレール14が延びる方向の位置決めが行われ、各位置決めピン21が、それぞれ対応する貫通孔23を通過して基準ステージ13aの各位置決め穴22に挿入されることで、各分割ステージ13b、13cの幅方向(X軸方向)の位置決めが行われる。これにより、基準ステージ13aに対する各分割ステージ13b、13cの組立調整が容易になり、さらに、組立精度の再現性が向上する。
Here, the first abutment surface T1 of each of the split stages 13b and 13c abuts on the first reference surface M1 of the
この各分割ステージ13b、13cは、基準ステージ13aに連結した状態において、その下面と架台7の上面との間に隙間が生じるように形成されている。各分割ステージ13b、13cの下面には、各分割ステージ13b、13cを支持する複数の支持ピン24がそれぞれ設けられている。例えば、支持ピン24は各分割ステージ13b、13cに2本ずつ設けられている。これらの支持ピン24は、その高さ調整が可能に形成されており、架台7の上面に当接して各分割ステージ13b、13cを支持する。支持ピン24は、その外周にねじ山が形成されたピンであり、各分割ステージ13b、13cにそれぞれ形成された複数のねじ穴25に挿入されている。各支持ピン24は、ロックナット26を備え、高さ調整が完了すると固定される。
Each of the divided
このように、支持ピン24により分割ステージ13b、13cを架台7の上面に支持するようにしたので、重量物である支持部材5A、5Bが分割ステージ13b、13c上に移動したときに、分割ステージ13b、13cに撓みが生じることが防止される。そのため、ガイドレール14における分割位置G1、G2に隙間が生じることを防止することが可能になるので、支持部材5A、5Bがガイドレール14の分割位置G1、G2を通過するときに生じる衝撃が緩和され、通過時の衝撃によるスライダ12の損傷を防ぐことができる。したがって、支持部材5A、5Bの良好な移動状態を維持することが可能であり、安定したペーストの塗布動作を行うことができる。
As described above, since the split stages 13b and 13c are supported on the upper surface of the
架台7は、床面上に設置され、基板ステージ2、第1捨て塗布ステージ3A、第2捨て塗布ステージ3B及び支持部材移動機構6を床面に対して所定の高さ位置に支持する架台である。この架台7は、支持部材移動機構6、すなわち一対のY軸移動機構6aの分割位置に対応させて分割可能に形成されている。例えば、一対のY軸移動機構6aは三分割可能にそれぞれ形成されているので、これに対応させて、架台7も、三分割可能に本体架台7aと二つの分割架台7b、7cとして形成されている(図9参照)。この分割位置は、一対のY軸移動機構6aの分割位置、すなわち本体部P1と二つの分割部P2、P3との境界位置である。なお、分割架台7b、7cは、本体架台7aに対して、ボルトなどの締結手段を用いて連結されて一体化される。
The
このような架台7(分割架台7b、7c)の上面と分割ステージ13b、13cの下面との間の隙間の大きさに合わせて、支持ピン24の高さを調整するようにしたので、本体架台7aに組み付けた分割架台7b、7cの上面の高さが、搬送の前後、すなわち分割の前後で異なっていたとしても、分割ステージ13b、13cを分割架台7b、7cで確実に支持し、分割ステージ13b、13cの撓みを防止することができる。このため、本体架台7aに対して分割架台7b、7cを高い精度で組み付けなくても済み、重量物である架台7の搬送後の設置作業を容易に行うことができる。なお、支持ピン24は、分割ステージ13b、13cを支持する高さ調整自在の支持調整部材として機能する。
Since the height of the
次に、前述のペースト塗布装置1が行う塗布動作(製品製造動作)及び捨て塗布動作(メンテナンス動作)について説明する。なお、捨て塗布動作は、各塗布ヘッド4による塗布が設定時間以上停止していた場合などに行われる。
Next, the application operation (product manufacturing operation) and the discard application operation (maintenance operation) performed by the paste application apparatus 1 will be described. The discard application operation is performed when application by each
塗布動作では、ペースト塗布装置1は、支持部材移動機構6としての一対のY軸移動機構6a、6bにより第1支持部材5A及び第2支持部材5BをY軸方向に移動させ、各ヘッド移動機構8のX軸移動機構8cにより各塗布ヘッド4をX軸方向にそれぞれ移動させ、基板ステージ2上の基板K1の各塗布開始位置に各塗布ヘッド4をそれぞれ対向させる。次いで、ペースト塗布装置1は、塗布動作用の塗布条件(ギャップなど)に基づいて、各ヘッド移動機構8のZ軸移動機構8bにより各塗布ヘッド4をZ軸方向にそれぞれ移動させ、待機位置から塗布位置に各塗布ヘッド4を位置付ける。
In the application operation, the paste application apparatus 1 moves the
ここで、待機位置及び塗布位置は、基板ステージ2上の基板K1に対して所定の距離だけ離反する離反位置である。待機位置は、各塗布ヘッド4が塗布を行わない場合の離反位置であり、各塗布ヘッド4のノズル4bの先端と基板K1の表面との間にはノズル4bが基板K1に接触しない充分な間隔が形成される。また、塗布位置は、各塗布ヘッド4が塗布を行う場合の離反位置であり、各塗布ヘッド4のノズル4bの先端と基板K1の表面との間には所定のギャップが形成される。なお、ギャップは、基板K1の表面にペーストを所定の塗布量で塗布する場合に必要なノズル4bの先端と基板K1の表面との離間距離である。
Here, the standby position and the application position are separation positions that are separated from the substrate K1 on the
その後、ペースト塗布装置1は、塗布動作用の塗布条件(吐出圧力や移動速度など)に基づいて、各塗布ヘッド4のノズル4bからペーストを吐出させながら、一対のY軸移動機構6a、6bにより第1支持部材5A及び第2支持部材5BをY軸方向に塗布範囲H1にわたって移動させ、各ヘッド移動機構8のX軸移動機構8cにより各塗布ヘッド4をX軸方向に移動させ、基板ステージ2上の基板K1にペーストを塗布し、所定のペーストパターンを形成する。ここで、各塗布ヘッド4が形成するペーストパターン(塗布パターン)は同一であり、例えば矩形枠状である。所定のペーストパターンの形成が完了すると、ペースト塗布装置1は、各ヘッド移動機構8のZ軸移動機構8bにより各塗布ヘッド4をZ軸方向にそれぞれ移動させ、塗布位置から元の待機位置に各塗布ヘッド4を位置付ける。
Thereafter, the paste applying apparatus 1 uses a pair of Y-
ここで、吐出圧力は、塗布ヘッド4内のペーストをノズル4bから吐出させるための気体圧力であり、移動速度は、ペーストを塗布する場合のノズル4bと基板K1との相対移動速度である。
Here, the discharge pressure is a gas pressure for discharging the paste in the
最後に、ペースト塗布装置1は、一対のY軸移動機構6a、6bにより第1支持部材5A及び第2支持部材5BをY軸方向に塗布範囲H1から退避範囲H2に移動させ、第1捨て塗布ステージ3A上の基板K2に第1支持部材5Aの各塗布ヘッド4を対向させ、加えて、第2捨て塗布ステージ3B上の基板K2に第2支持部材5Bの各塗布ヘッド4を対向させ、基板ステージ2上の基板K1の交換に待機する。基板K1の交換が完了すると、前述の塗布動作を繰り返す。
Finally, the paste application apparatus 1 moves the
なお、塗布動作は、第1支持部材5A、第2支持部材5B及び4つの塗布ヘッド4をそれぞれ塗布範囲H1で移動させて行うものに限らず、一方の支持部材、例えば、第2支持部材5Bを退避範囲H2に退避させておき、第1支持部材5Aとそれに支持された塗布ヘッド4を塗布範囲H1で移動させて行うようにしてもよい。
The application operation is not limited to the operation performed by moving the
一方、捨て塗布動作では、ペースト塗布装置1は、一対のY軸移動機構6a、6bにより、第1支持部材5A及び第2支持部材5BをY軸方向に塗布範囲H1から退避範囲H2に移動させ、第1捨て塗布ステージ3A上の基板K2に第1支持部材5Aの各塗布ヘッド4を対向させ、第2捨て塗布ステージ3B上の基板K2に第2支持部材5Bの各塗布ヘッド4を対向させる。次いで、ペースト塗布装置1は、捨て塗布動作用の塗布条件(ギャップなど)に基づいて、各ヘッド移動機構8のZ軸移動機構8bにより各塗布ヘッド4をZ軸方向にそれぞれ移動させ、待機位置から塗布位置に各塗布ヘッド4を位置付ける。
On the other hand, in the discard coating operation, the paste coating apparatus 1 moves the
その後、ペースト塗布装置1は、捨て塗布動作用の塗布条件(吐出圧力や移動速度など)に基づいて、各塗布ヘッド4のノズル4bからペーストを吐出させながら、各ヘッド移動機構8のX軸移動機構8cにより各塗布ヘッド4をX軸方向に移動させ、例えば、第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3B上の基板K2に対してペーストを直線状に塗布する。この捨て塗布が完了すると、ペースト塗布装置1は、各ヘッド移動機構8のZ軸移動機構8bにより各塗布ヘッド4をZ軸方向にそれぞれ移動させ、塗布位置から元の待機位置に各塗布ヘッド4を位置付ける。この捨て塗布動作により、各塗布ヘッド4の塗布精度の低下や吐出不良の発生が防止される。
Thereafter, the paste application apparatus 1 moves the X axis of each
このようなペースト塗布装置1を搬送する場合には、図9に示すように、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bは塗布範囲H1内に位置付けられ、次いで、支持部材移動機構6としての一対のY軸移動機構6a、6bが本体部P1と二つの分割部P2、P3として三分割され、その後、架台7も、本体架台7aと二つの分割架台7b、7cとして三分割される。これにより、ペースト塗布装置1が小さく分割されるので、ペースト塗布装置1の輸送性を向上させることができる。さらに、一対のY軸移動機構6a、6bは塗布範囲H1内で分割されないので、ペースト塗布装置1を分割しても、塗布範囲H1内の組付け精度を維持することが可能になる。これにより、一対のY軸移動機構6a、6bの塗布範囲H1内の組付け精度を維持しながら、ペースト塗布装置1の輸送性を向上させることができる。
When transporting such a paste application device 1, as shown in FIG. 9, the
特に、分割工程では、図8及び図9に示すように、支持ステージ13が基準ステージ13a及び各分割ステージ13b、13cに分割される。このとき、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52は基準ステージ13a上に収容されており、基準ステージ13aから水平方向に著しく突出することはない。なお、この分割工程においては、必要に応じて第1モータ51d及び第2モータ52dを取り外し、その後、設置場所で取り付けるようにしてもよい。一方、図7に示すような構造を採用した場合には、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52が基準ステージ13aから水平方向に著しく突出するため、搬送サイズが大きくなり、輸送性が低下してしまう。
In particular, in the dividing step, as shown in FIGS. 8 and 9, the
したがって、図5に示すような構造を採用することによって、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52が基準ステージ13aから水平方向に突出することがなくなり、輸送サイズを小さくすることが可能になり、さらに、第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52を分解せずに搬送することが可能になるので、塗布範囲H1内の組付け精度が維持されつつ、ペースト塗布装置1の輸送性が向上する。特に、各ねじ軸51b、52bを取り外すことなく輸送することが可能になるので、塗布範囲H1内の組付け精度は確実に維持される。
Therefore, by adopting the structure as shown in FIG. 5, the first support
ここで、搬送前、すなわちペースト塗布装置1の製品出荷前、ペースト塗布装置1の各部、特に、各Y軸移動機構6a、6bは組付け精度が高く組み込まれている。このため、ペースト塗布装置1の各部を分割して搬送した場合には、搬送後、設置場所で再び組付け精度が高くなるようにペースト塗布装置1の各部を組み込む必要が生じるが、各Y軸移動機構6a、6bを塗布範囲H1内で分割した場合には、その組付け精度を搬送前まで戻すことは困難である。特に、各Y軸移動機構6a、6bのように塗布動作に関する部品の組付け精度は高い必要があり、組付け精度の低下は良好な塗布を困難にする要因となる。また、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bの各々の重量は数トンあるため、各Y軸移動機構6a、6bから第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを取り外すことも困難である。
Here, before conveyance, that is, before product shipment of the paste application device 1, each part of the paste application device 1, especially the Y-
以上説明したように、本発明の実施の形態によれば、塗布範囲H1及び退避範囲H2に分けて支持部材移動機構6としての一対のY軸移動機構6a、6bを分割可能に形成し、一対のY軸移動機構6a、6bの分割位置に対応させて架台7を分割可能に形成することによって、ペースト塗布装置1を搬送する場合、ペースト塗布装置1が小さく分割されるので、ペースト塗布装置1の輸送性を向上させることができ、さらに、搬送後の設置作業も容易に行うことができる。
As described above, according to the embodiment of the present invention, the pair of Y-
特に、一対のY軸移動機構6a、6bは塗布範囲H1及び退避範囲H2に分けて分割されるので、塗布範囲H1内の組付け精度を維持しながら、ペースト塗布装置1の輸送性を向上させることができ、さらに、塗布範囲H1内の組付け精度を維持することが可能になるので、搬送後の設置場所で、搬送前の塗布精度を容易に再現することができる。その結果、搬送後の設置場所においても、搬送前と同様に基板K1に対してペーストを均一な塗布量で良好に塗布することが可能になるので、液晶漏れやギャップムラが防止された品質の良い液晶表示パネルを製造することができる。
In particular, since the pair of Y-
また、第1モータ51dが第2支持台11Bを間にして第1支持台11Aを移動させ、第2モータ52dが第1支持台11Aを間にして第2支持台11Bを移動させる構造を採用することによって、図7に示すように第1支持台移動機構51及び第2支持台移動機構52の位置をずらして配置する必要がないため、図7に示すような構造を採用した場合に比べ、搬送サイズを小さくすることが可能となる(図5中のHa<図7中のHb)。これにより、ねじ軸長さの変更及びねじ軸の取り外しを行うことなく、輸送性を向上させることができる。
Further, a structure is adopted in which the
さらに、一対のY軸移動機構6a、6bが第1支持台11A及び第2支持台11Bを塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって移動させるための第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bを具備している場合でも、第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bを取り外したりすることなく輸送することが可能になるので、塗布範囲H1内の組付け精度を確実に維持することができる。加えて、塗布範囲H1内の組付け精度を維持することが可能になるので、搬送後の設置場所で、搬送前の塗布精度を容易に再現することができる。その結果、搬送後の設置場所においても、搬送前と同様に基板K1に対してペーストを均一な塗布量で良好に塗布することが可能になるので、液晶漏れやギャップムラが防止された品質の良い液晶表示パネルを製造することができる。
Further, the pair of Y-
また、一対のY軸移動機構6a、6bは基板ステージ2を両側から挟むように架台7に設けられ、第1支持部材5Aの両端部及び第2支持部材5Bの両端部を支持して塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを移動させることから、基板K1が大型化し、それに応じて第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを大きくした場合でも、それら第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを安定して移動させることが可能になるので、基板K1の大型化に伴う塗布不良の発生を防止することができる。
The pair of Y-
また、Y軸移動機構6aは、第1支持台11A及び第2支持台11Bを塗布範囲H1及び退避範囲H2にわたって案内する複数のガイドレール14を具備し、それらのガイドレール14の各々の分割位置G1、G2を同一直線上からずらして分割可能に形成されていることから、Y軸移動機構6aが各ガイドレール14の各々の分割位置G1、G2を同一直線上にして分割可能に形成されている場合に比べ、ガイドレール14の連結部分のがたつきが第1支持台11A及び第2支持台11Bに同時に影響を与えることがなくなるので、ガイドレール14の連結部分のがたつきによる第1支持台11A及び第2支持台11Bに対する影響を抑えることができる。例えば、第1支持台11Aあるいは第2支持台11Bが有する一対のスライダ12が連結部を通過する際に生じる衝撃を分散させて緩和することができる。その結果として、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bの平行度の変化などによる塗布不良の発生を抑えることができる。
The Y-
(他の実施の形態)
なお、本発明は、前述の実施の形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能である。例えば、前述の実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。
(Other embodiments)
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, some components may be deleted from all the components shown in the above-described embodiment. Furthermore, you may combine the component covering different embodiment suitably.
前述の実施の形態においては、第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bを設けているが、これに限るものではなく、例えば、第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bのどちらか一方だけを設けるようにしてもよい。この場合には、第1捨て塗布ステージ3A及び第2捨て塗布ステージ3Bのどちらか一方が第1支持部材5Aの各塗布ヘッド4と第2支持部材5Bの各塗布ヘッド4とにより兼用されることになる。また、この場合には、捨て塗布ステージが1つになるので、二つの支持部材5A、5Bの退避範囲H2を捨て塗布ステージ側の一方のみとし、支持部材移動機構6及び架台7を二分割可能に形成すればよい。
In the above-described embodiment, the first discard
また、前述の実施の形態においては、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bを設けているが、これに限るものではなく、例えば、第1支持部材5A及び第2支持部材5Bに加えてさらに支持部材を設けるようにしてもよい。前述の実施の形態においては、塗布ヘッド4を4つ設けているが、これに限るものではなく、例えば、塗布ヘッド4を6つ設けるようにしてもよく、その数は限定されない。
In the above-described embodiment, the
また、前述の実施の形態においては、捨て塗布ステージ3A、3Bを架台7の本体架台7aに配置した構成で説明しているが、これに限るものではなく、例えば、分割架台7b、7cにそれぞれ配置するようにしてもよい。
Further, in the above-described embodiment, the
また、前述の実施の形態においては、基板ステージ2を架台7上に固定し、支持部材5A、5B及び塗布ヘッド4を移動させて、基板K1の表面にペーストを塗布する構成で説明しているが、これに限るものではなく、例えば、基板ステージ2をY軸方向やX軸方向などに移動可能に形成するようにしてもよい。
In the above-described embodiment, the
例えば、基板ステージ2を支持部材5A、5Bの移動方向(Y軸方向)と同じ方向に移動可能に構成した場合には、基板K1と塗布ヘッド4とをY軸方向に相対移動させるときに、基板ステージ2と支持部材5A、5Bとを互いに相反する方向に移動(例えば、同じ速度で)させることが可能となる。このようにすると、支持部材5A、5BのみをY軸方向に移動させる場合に比べて、基板ステージ2及び支持部材5A、5Bの移動速度が半分になるから、基板ステージ2及び支持部材5A、5Bの移動に伴う慣性力が小さくなり、基板ステージ2及び支持部材5A、5Bの加速あるいは減速に起因して生じる振動を低減させることができる。そのため、Y軸方向に沿うペーストパターンの始端及び終端の形状や塗布方向がY軸方向からX軸方向へ転換するペーストパターンのコーナー部の形状を所望の形状で精度良く塗布することが可能となり、品質の良い液晶表示パネルを製造することができる。
For example, when the
また、第1モータ51d及び第2モータ52dを第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bに対して同軸上に配置するものとしたが、これに限られるものではなく、ベルトやギヤなどの動力伝達手段を介して第1ねじ軸51b及び第2ねじ軸52bの軸心上から外れた位置に配置してもよい。
Further, the
1 ペースト塗布装置
2 載置台
4 塗布ヘッド(第1塗布ヘッド)
4 塗布ヘッド(第2塗布ヘッド)
5A 第1支持部材
5B 第2支持部材
6a 移動機構(Y軸移動機構)
6b 移動機構(Y軸移動機構)
7 架台
11A 第1支持台
11B 第2支持台
13 支持ステージ
13a 基準ステージ
51a 第1ナット体
51b 第1ねじ軸
51c 第1軸受け部材
51d 第1モータ
52a 第2ナット体
52b 第2ねじ軸
52c 第2軸受け部材
52d 第2モータ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
4 Coating head (second coating head)
5A
6b Movement mechanism (Y-axis movement mechanism)
7
Claims (1)
前記載置台上の前記塗布対象物にペーストを塗布する第1塗布ヘッドと、
前記載置台上の前記塗布対象物にペーストを塗布する第2塗布ヘッドと、
前記第1塗布ヘッドを支持する第1支持部材と、
前記第2塗布ヘッドを支持する第2支持部材と、
前記載置台を両側から挟むように設けられ、前記第1支持部材の両端部及び前記第2支持部材の両端部を支持し、前記第1塗布ヘッドが前記載置台上の前記塗布対象物に前記ペーストを塗布する塗布範囲及び前記塗布範囲以外の退避範囲にわたって前記第1支持部材及び前記第2支持部材を移動させる機構であって、前記塗布範囲と前記退避範囲とに分けて分割可能に形成された一対の移動機構と、
前記一対の移動機構の分割位置に対応させて分割可能に形成され、前記載置台及び前記一対の移動機構を支持する架台と、
を備え、
前記一対の移動機構は、それぞれ、
前記第1支持部材の端部が載置される第1支持台と、
前記第1支持台に並べて設けられ、前記第2支持部材の端部が載置される第2支持台と、
前記第1支持台及び前記第2支持台を並ぶ方向に移動可能に支持するステージであって、前記塗布範囲及び前記退避範囲に対応させて分割可能に形成され、前記塗布範囲に対応する基準ステージを有する支持ステージと、
前記基準ステージ上に設けられ、前記第1支持台を前記塗布範囲及び前記退避範囲にわたって移動させるための第1ねじ軸と、
前記基準ステージ上に設けられ、前記第1ねじ軸の両端を回転可能に支持する一対の第1軸受け部材と、
前記一対の第1軸受け部材の一方である前記第2支持台側の前記第1軸受け部材に取り付けられ、前記第1ねじ軸を回転させる第1モータと、
前記第1支持台の前記第1モータ側の端部に設けられ、前記第1ねじ軸に組み合わされる第1ナット体と、
前記基準ステージ上に前記第1ねじ軸に沿うように設けられ、前記第2支持台を前記塗布範囲及び前記退避範囲にわたって移動させるための第2ねじ軸と、
前記基準ステージ上に設けられ、前記第2ねじ軸の両端を回転可能に支持する一対の第2軸受け部材と、
前記一対の第2軸受け部材の一方である前記第1支持台側の前記第2軸受け部材に取り付けられ、前記第2ねじ軸を回転させる第2モータと、
前記第2支持台の前記第2モータ側の端部に設けられ、前記第2ねじ軸に組み合わされる第2ナット体と、
を具備していることを特徴とするペースト塗布装置。 A mounting table on which a coating object is mounted;
A first application head for applying a paste to the application object on the mounting table;
A second application head for applying a paste to the application object on the mounting table;
A first support member for supporting the first application head;
A second support member for supporting the second application head;
It is provided so as to sandwich the mounting table from both sides, supports both ends of the first support member and both ends of the second support member, and the first application head is applied to the application object on the mounting table. A mechanism for moving the first support member and the second support member over an application range in which paste is applied and a retraction range other than the application range, and is formed so as to be divided into the application range and the retraction range. A pair of moving mechanisms,
A pedestal that is formed so as to be capable of being divided corresponding to the division position of the pair of moving mechanisms, and supports the mounting table and the pair of moving mechanisms;
With
The pair of moving mechanisms are respectively
A first support on which an end of the first support member is placed;
A second support table provided side by side on the first support table, on which an end of the second support member is placed;
A stage that supports the first support table and the second support table so as to be movable in a line-up direction, and is formed so as to be divided corresponding to the application range and the retraction range, and corresponds to the application range. A support stage having
A first screw shaft provided on the reference stage for moving the first support over the application range and the retraction range;
A pair of first bearing members provided on the reference stage and rotatably supporting both ends of the first screw shaft;
A first motor attached to the first bearing member on the second support base side, which is one of the pair of first bearing members, and rotating the first screw shaft;
A first nut body provided at an end of the first support base on the first motor side and combined with the first screw shaft;
A second screw shaft provided on the reference stage so as to be along the first screw shaft, and for moving the second support base over the application range and the retraction range;
A pair of second bearing members provided on the reference stage and rotatably supporting both ends of the second screw shaft;
A second motor which is attached to the second bearing member on the first support base side which is one of the pair of second bearing members and rotates the second screw shaft;
A second nut body provided at an end portion of the second support base on the second motor side and combined with the second screw shaft;
A paste coating apparatus comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008248636A JP2010075877A (en) | 2008-09-26 | 2008-09-26 | Paste coating device |
Applications Claiming Priority (1)
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Family
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