JP2010074060A - エッチング液の調製方法、エッチング方法及びエッチング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液状のテトラエトキシシランを水または気体と混合した後、これを流動する燐酸溶液中に少量ずつ添加し、所望量のテトラエトキシシランを溶解させて燐酸溶液を調製することを特徴とするエッチング液の調製方法、エッチング方法及びエッチング装置を構成したことにある。
【選択図】図1
Description
液状のTEOSを脱イオン水(以下、全て「DIW」としました。)と混合した後、これを流動する燐酸溶液中に少量ずつ添加し、所望量のTEOSを溶解させて燐酸溶液を調製する。流動する燐酸溶液とは、流動している燐酸溶液を用いるか又は燐酸溶液を流動させながら使用することも含むものである。
上記珪素濃度が、30ppm以下では、所望の珪素濃度とはならず、添加効果が不十分であり、一方、80ppm以上になると、シリコン基板上に珪素が析出してしまうため、好ましくない。
TEOS添加後、TEOS供給ライン10のTEOSを窒素ガス供給ライン14より供給される窒素ガスにてパージし、DIWとともに廃液ライン15より排液する。
155℃にて循環運転中の86質量%燐酸溶液55リットル中にTEOS、40ミリリットルを2.5ミリリットル/分にて、その体積の10倍の25ミリリットル/分のDIWと混合しながら添加した後、1時間、155℃にて加温循環運転を行った。又、TEOS添加前後にて燐酸溶液中珪素濃度のICP−AES分析、シリコン基板上の窒化珪素膜及び酸化珪素膜のエッチングレート測定を行った。
次に図1のエッチング装置を用い、155℃にて循環運転中の86質量%燐酸溶液55リットル中にTEOS、60ミリリットルを、2.5ミリリットル/分にて、混合用にDIWに代えて、30ミリリットル/分の窒素ガスと混合して添加した後、1時間、155℃にて加温循環運転を行った。又、実施例1と同様にTEOS添加前後にて燐酸溶液中珪素濃度のICP−AES分析、シリコン基板上の窒化珪素膜及び酸化珪素膜のエッチングレート測定を行った。
2:燐酸溶液循環ライン
3:燐酸溶液循環ライン
4:高温薬液循環装置
5:循環ポンプ
6:循環フィルター
7:ラインヒーター
8a:DIW供給ライン
8b:混合ライン
9:TEOS供給タンク
10:TEOS供給ライン
11:シリンジポンプ
12:TEOSリターンライン
13:TEOS供給ライン
14:窒素ガス供給ライン
15:排液ライン
Claims (14)
- 液状のテトラエトキシシランを水または気体と混合した後、これを流動する燐酸溶液中に少量ずつ添加し、所望量のテトラエトキシシランを溶解させて燐酸溶液を調製することを特徴とするエッチング液の調製方法。
- 流動する燐酸溶液として高温で流動する燐酸溶液を使用したことを特徴とする請求項1に記載のエッチング液の調製方法。
- 流動する燐酸溶液を120℃〜180℃としたことを特徴とする請求項1または2に記載のエッチング液の調製方法。
- 液状のテトラエトキシシランに混合する気体が、水蒸気、空気、窒素ガス又は、希ガスよりなる群より選ばれた少なくとも一つであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のエッチング液の調製方法。
- 液状のテトラエトキシシランに混合する気体が、窒素ガスであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のエッチング液の調製方法。
- 流動する燐酸溶液中に溶解したテトラエトキシシランの珪素濃度が30〜80ppmになるよう調整したことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のエッチング液の調製方法。
- 液状のテトラエトキシシランを水または気体と混合した後、これを流動する燐酸溶液中に1〜5ミリリットル/分ずつ添加することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のエッチング液の調製方法。
- エッチング槽において燐酸溶液を使用して半導体基板上に形成される窒化珪素膜をエッチングするエッチング方法において、液状のテトラエトキシシランを水または気体と混合した後、これを高温にて循環運転中の流動する燐酸溶液の循環ラインに少量ずつ添加し、所望量のテトラエトキシシランを溶解させて燐酸溶液を調製し、この燐酸溶液を用いて半導体基板上に形成される窒化珪素膜をエッチングすることを特徴とするエッチング方法。
- 循環運転中の流動する燐酸溶液を120℃〜180℃としたことを特徴とする請求項8に記載のエッチング方法。
- 液状のテトラエトキシシランに混合する気体が、水蒸気、空気、窒素ガス又は、希ガスよりなる群より選ばれた少なくとも一つであることを特徴とする請求項8または9に記載のエッチング方法。
- 液状のテトラエトキシシランに混合する気体が、窒素ガスであることを特徴とする請求項8〜10のいずれか1項に記載のエッチング方法。
- 流動する燐酸溶液中に溶解したテトラエトキシシランの珪素濃度が30〜80ppmになるよう調製した流動する燐酸溶液を使用することを特徴とする請求項8〜11のいずれか1項に記載のエッチング方法。
- 液状のテトラエトキシシランを水または気体と混合した後、これを高温で循環中の流動する燐酸溶液の循環ラインに1〜5ミリリットル/分ずつ添加することを特徴とする請求項8〜12のいずれか1項に記載のエッチング方法。
- 流動する燐酸溶液を使用して半導体基板上に形成される窒化珪素膜をエッチングするエッチング槽と、燐酸溶液を高温で循環する循環ラインと、液状のテトラエトキシシランを供給するラインと、水または気体を供給するラインと、液状のテトラエトキシシランと水または気体を混合し、これを前記循環ラインに供給するラインとよりなり、所望量のテトラエトキシシランを溶解させて流動する燐酸溶液を調製し、この流動する燐酸溶液を循環して使用し、エッチング槽内の半導体基板上に形成される窒化珪素膜をエッチングすることを特徴とするエッチング装置。
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