JP2010058035A - パターン膜形成部材の製造方法、パターン膜形成部材、電気光学装置、電子機器、液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基材に対する液滴吐出のサイクルタイムを短くする。
【解決手段】基材にパターン膜が形成されたパターン膜形成部材の製造方法であって、
前記基材をテーブルに載置する基材載置工程と、前記基材に向けて前記パターン膜の材料となる液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと前記基材が載置された前記テーブルとを相対的に移動させながら、前記吐出ヘッドから前記基材に向けて前記液滴を吐出して、前記基材に前記液状体を塗布する塗布工程と、前記基材に塗布された前記液状体を固化する固化工程と、を有し、前記基材載置工程では、平面視において、前記基材の端部が前記吐出ヘッドに近接するように、前記基材を前記テーブルに載置する。
【選択図】図５

Description

本発明は、パターン膜形成部材の製造方法、パターン膜形成部材、電気光学装置、電子機器、液滴吐出装置に関する。

例えば、パターン膜形成部材としてのカラーフィルタとなる基材等に向けて液状体を液滴として吐出する液滴吐出装置は、基材を載置するテーブルと、吐出ヘッドと、テーブルと吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動手段等を備えている。そして、基材をテーブルの中央部に載置した後に、吐出ヘッドと基材が載置されたテーブルとを相対移動させながら、吐出ヘッドから液状体を液滴として吐出して、液滴を基材に付着させる構成を採用している（例えば、特許文献１を参照）。

特開２００３−２８３１０４号公報

しかし、例えば、基材の大きさや形状、或いは基材のテーブルへの載置方向等、基材の態様によっては、テーブルに載置された基材と吐出ヘッドとの初期的な距離が長くなり、吐出ヘッドから基材に液滴を吐出するまでの移動時間が延長され、サイクルタイムが長くなってしまう、という課題があった。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法は、基材にパターン膜が形成されたパターン膜形成部材の製造方法であって、前記基材をテーブルに載置する基材載置工程と、前記パターン膜の材料となる液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと前記基材が載置された前記テーブルとを相対的に移動させながら、前記吐出ヘッドから前記基材に向けて前記液滴を吐出して、前記基材に前記液状体を塗布する塗布工程と、前記基材に塗布された前記液状体を固化する固化工程と、を有し、前記基材載置工程では、平面視において、前記基材の端部が前記吐出ヘッドに近接するように、前記基材を前記テーブルに載置することを特徴とする。

この構成によれば、平面視において、基材の端部と吐出ヘッドとが近接するように、基材をテーブルに載置することにより、基材と吐出ヘッドとの初期的な距離が短くなる。従って、基材に対して吐出ヘッドから液滴を吐出するまでの移動時間が短縮され、サイクルタイムを短くすることができる。

［適用例２］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法の前記基材載置工程では、前記吐出ヘッドが配置された方向の前記テーブルの端部を基準として、前記基準に合わせて前記基材を前記テーブルに載置することを特徴とする。

この構成によれば、基材を吐出ヘッド側のテーブルの端部を基準として載置することにより、基材と吐出ヘッドとの初期的な距離が短くなる。従って、基材に対して吐出ヘッドから液滴を吐出するまでの移動時間が短縮され、サイクルタイムを短くすることができる。

［適用例３］上記適用例にかかるパターン膜形成部材の製造方法の前記基材載置工程では、前記基材の態様に応じて、前記テーブルに対する前記基材の載置方向を選択することを特徴とする。

この構成によれば、基材の態様に応じて、テーブルへの載置方向を選択することにより、更に、作業性が向上し、サイクルタイムを短くすることができる。基材の態様としては、例えば、基材の大きさや形状等の他、基材に形成するパターン膜の大きさや形状等が考えられる。

［適用例４］本適用例にかかるパターン膜形成部材は、上記のパターン膜形成部材の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。

この場合、パターン膜形成部材は、例えば、カラーフィルタ、有機ＥＬ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）の部材等がこれに該当する。

［適用例５］本適用例にかかる電気光学装置は、上記のパターン膜形成部材を備えたことを特徴とする。

この場合、電気光学装置は、例えば、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等がこれに該当する。

［適用例６］本適用例にかかる電子機器は、上記の電気光学装置を搭載したことを特徴とする。

この場合、電子機器は、例えば、カラーフィルタや有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）を搭載したテレビ受像機、パーソナルコンピュータの他、各種の電子製品がこれに該当する。

［適用例７］本適用例にかかる液滴吐出装置は、基材を載置するテーブルと、液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記基材に向けて前記吐出ヘッドから前記液滴を吐出する開始時点において、前記液状体が最初に塗布される前記基材の被塗布領域と前記吐出ヘッドとの平面視における距離を制御する制御部と、前記テーブルと前記吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動部と、を備えたことを特徴とする。

この構成によれば、液滴を吐出する開始時点において、基材の被塗布領域と吐出ヘッドとの距離が最短となるように位置制御が可能となる。従って、基材の被塗布領域と吐出ヘッドとの距離が短くなれば、基材に対して吐出ヘッドから液滴を吐出するまでの移動時間が短縮されるので、サイクルタイムを短くすることができる。

以下、本発明を具体化した実施態様について図面に従って説明する。なお、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材ごとに縮小を異ならせて図示している。

（パターン膜形成部材の構成）
まず、パターン膜形成部材の構成について説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの構成について説明する。図１は、カラーフィルタの構成を示し、図１（ａ）は、平面図であり、同図（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ断面図である。

図１（ａ），（ｂ）において、カラーフィルタ１は、基材１０と、基材１０の上に形成された区画部１１と、区画部１１によって区画されたパターン膜領域としての色素膜領域１６と、色素膜領域１６に形成されたパターン膜としての色素膜１４と、区画部１１と色素膜１４の上に形成された保護膜１８等で構成されている。

基材１０は、透明性を有し、一般にガラス基材が用いられるが、他にプラスチック等も使用可能であり、カラーフィルタとしての透過率、強度等の必要特性を有するものであれば特に限定されるものではない。また、基材１０は、その大きさや形状等様々な態様を有し、特に限定されない。なお、本実施形態では、図１（ａ）に示すように、長方形の形状を有する基材１０を例に挙げて説明することとする。

区画部１１は、遮光性を有し、金属、樹脂等を用いることができる。また、区画部１１によって区画された色素膜領域１６は、その大きさや形状等様々な態様を有し、特に限定されない。なお、本実施形態では、図１（ａ）に示すように、長方形の形状を有し、その長辺が基材１０の長辺と平行するように区画された色素膜領域１６を例に挙げて説明することとする。

（液滴吐出装置の構成）
次に、カラーフィルタ１の製造に用いられる液滴吐出装置の構成について説明する。図２は、液滴吐出装置の構成を示す斜視図である。

図２において、液滴吐出装置３０は、色素膜１４の材料となる液状体を液滴として吐出するヘッド部５０を有するヘッド機構部３２と、ヘッド部５０から吐出された液滴の吐出対象である基材１０等を載置するワーク機構部３３と、ヘッド部５０に液状体を供給する材料供給部３４と、ヘッド部５０の保守を行うメンテナンス機構部３５と、基材１０等をワーク機構部３３に供給する基材供給装置３６と、これら各機構部および供給部を統括的に制御する制御部３７等を備えている。

液滴吐出装置３０は、床上に設置された複数の支持脚４１と、支持脚４１の上側に設置された定盤４２を備えている。定盤４２の上側には、ワーク機構部３３が定盤４２の長手方向（Ｘ軸方向）に延在するように配置されている。ワーク機構部３３の上方には、定盤４２に固定された２本の支持柱５２で支持されているヘッド機構部３２が、ワーク機構部３３と直交する方向（Ｙ軸方向）に延在して配置されている。また、定盤４２の一方の端部には、ヘッド機構部３２のヘッド部５０から連通して液状体を供給する材料供給部３４が配置されている。そして、ヘッド機構部３２の一方の支持柱５２近傍には、メンテナンス機構部３５がワーク機構部３３と並んでＸ軸方向に延在するように配置されている。さらに、定盤４２の下側には、制御部３７が備えられている。また、定盤４２の側方に基材供給装置３６が配置されている。

ヘッド機構部３２は、液状体を吐出するヘッド部５０と、ヘッド部５０を懸架したヘッドキャリッジ５１と、ヘッドキャリッジ５１のＹ軸方向への移動をガイドするＹ軸ガイド５３と、Ｙ軸ガイド５３の側方にＹ軸ガイド５３と平行に設置されたＹ軸リニアモータ５４等を備えている。

ワーク機構部３３は、ヘッド機構部３２の下方に位置し、ヘッド機構部３２とほぼ同様の構成でＸ軸方向に延在するように配置されており、基材１０を載置しているテーブル６１と、テーブル６１の移動をガイドするＸ軸ガイド６３と、Ｘ軸ガイド６３の側方にＸ軸ガイド６３と平行に設置されたＸ軸リニアモータ６４等を備えている。これらの構成により、ヘッド部５０と基材１０とは、それぞれＹ軸方向およびＸ軸方向に往復自在に移動することができる。

ヘッド部５０に液状体を供給する材料供給部３４は、タンク７５と、ポンプ７４と、タンク７５からポンプ７４を経てヘッド部５０までを接続する流路チューブ７９とを備えている。

次に、ヘッド部５０に備えられた吐出ヘッドの構造について説明する。図３は、吐出ヘッドの構造を示し、図３（ａ）は一部破断した斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。

図３（ａ）において、吐出ヘッド１１０は、振動板１１４と、ノズルプレート１１５を備えている。振動板１１４とノズルプレート１１５との間には、液溜まり１１６が配置され、孔１１８を介して供給される液状体が常に充填されるようになっている。また、振動板１１４と、ノズルプレート１１５との間には、複数の隔壁１１２が位置している。そして、振動板１１４と、ノズルプレート１１５と、一対の隔壁１１２とによって囲まれた部分がキャビティ１１１である。キャビティ１１１は、ノズル１２０に対応して設けられているため、キャビティ１１１の数とノズル１２０の数とは同じである。キャビティ１１１には、一対の隔壁１１２間に位置する供給口１１７を介して、液溜まり１１６から液状体が供給される。

図３（ｂ）に示すように、振動板１１４上には、それぞれのキャビティ１１１に対応して振動子１１３が取り付けられている。振動子１１３は、ピエゾ素子１１３ｃと、ピエゾ素子１１３ｃを挟む一対の電極１１３ａ，１１３ｂを有する。この一対の電極１１３ａ，１１３ｂに駆動電圧を与えることで、対応するノズル１２０から液状体が液滴１２１となって吐出される。なお、液状体を吐出させるために、振動子１１３の代わりに電気熱変換素子を用いてもよく、電気熱変換素子による液状体の熱膨張を利用して、液滴として吐出することができる。このように構成された吐出ヘッド１１０が、ヘッド部５０に単数或いは複数個配置されている。

図２に戻り、次に、メンテナンス機構部３５について説明する。メンテナンス機構部３５は、キャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７、およびフラッシングユニット８８のメンテナンスユニットを備えている。さらに、メンテナンスユニットを載置するメンテキャリッジ８１と、メンテキャリッジ８１の移動をガイドするメンテキャリッジガイド８２と、メンテキャリッジ８１と一体の螺合部８５と、螺合部８５が螺合するボールねじ８４と、ボールねじ８４を回転させるメンテモータ８３とを備えている。これにより、メンテモータ８３が正逆回転すると、ボールねじ８４が回転し、螺合部８５を介してメンテキャリッジ８１が、Ｘ軸方向に移動する。メンテキャリッジ８１がヘッド部５０のメンテナンスのために移動するときには、Ｙ軸ガイド５３に沿ってヘッド部５０が移動して、メンテナンスユニットの直上部に臨んでいる。これらのメンテナンスユニットにより、液滴吐出装置３０の非稼動時や基材１０を交換載置している加工待ち時などに、吐出ヘッド１１０の状態を保全して良好な吐出状態を保つことができる。

次に、基材供給装置３６について説明する。基材供給装置３６は、床等の設置面に置かれる基台９１と、基台９１に対して昇降移動する第１昇降モータ９２を備えた昇降軸９３と、昇降軸９３を中心として回転する第１回転モータ９４を備えた第１アーム９５と、第１アーム９５に対して回転する第２回転モータ９６を備えた第２アーム９７と、第２アーム９７の先端に設けられた基材保持部９８等で構成されている。そして、基材１０を収容する基材収容部等から基材１０を取り出し、これを保持し、上記の移動機構を用いて、テーブル６１の載置面の所定の位置に基材１０を載置することができる。なお、基材供給装置３６の構成は、上記の構成に限定されず、基材１０を保持しながら、テーブル６１の載置面に移送可能な構成であればよい。

次に、以上述べた構成を制御する制御部３７の構成について説明する。図４は、制御部３７の構成を示すブロック図である。制御部３７は、指令部１３０と駆動部１４０とを備え、指令部１３０は、ＣＰＵ１３２、記憶手段としてのＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４および入出力インターフェース１３１からなり、ＣＰＵ１３２が入出力インターフェース１３１を介して入力される各種信号を、ＲＯＭ１３３、ＲＡＭ１３４のデータに基づき処理し、入出力インターフェース１３１を介して駆動部１４０へ制御信号を出力する。

駆動部１４０は、ヘッドドライバ１４１、モータドライバ１４２、ポンプドライバ１４３及びメンテドライバ１４５から構成されている。モータドライバ１４２は、指令部１３０の制御信号により、Ｘ軸リニアモータ６４、Ｙ軸リニアモータ５４を制御し、基材１０やヘッド部５０の移動を制御する。また、メンテモータ８３を制御してメンテナンス機構部３５の必要なユニットをメンテナンス位置へ移動させる。さらに、基材供給装置３６の第１昇降モータ９２と第１及び第２回転モータ９４，９６を制御して基材１０をテーブル６１の所定の位置に載置させる。ヘッドドライバ１４１は、吐出ヘッド１１０からの液状体の吐出を制御し、モータドライバ１４２の制御と同調して、基材１０上の所定位置に吐出などが行えるようにする。また、ポンプドライバ１４３は、液状体の吐出状態に対応してポンプ７４を制御し、吐出ヘッド１１０への供給を最適に制御する。そして、メンテドライバ１４５は、メンテナンス機構部３５のキャッピングユニット８６、ワイピングユニット８７およびフラッシングユニット８８を制御する。

（パターン膜形成部材の製造方法）
次に、パターン膜形成部材の製造方法について説明する。なお、本実施形態では、パターン膜形成部材としてのカラーフィルタの製造方法について説明する。図５は、本実施形態にかかるカラーフィルタの製造方法を示す工程図である。

図５（ａ）の基材載置工程では、基材１０をテーブル６１の載置面に載置する。具体的には、区画部１１が形成された基材１０を基材供給装置３６によってテーブル６１に載置する。なお、区画部１１は、例えば、フォトリソグラフィー法等によって形成することができる。そして、区画部１１の形成によって区画された領域はパターン膜領域としての色素膜領域１６となる。

基材１０のテーブル６１における載置位置は、制御部３７の指令部１３０から制御信号により制御される。具体的には、指令部１３０からの制御信号に従って基材供給装置３６の第１昇降モータ９２、第１及び第２回転モータ９４，９６を制御することにより、所望する所定の位置に基材１０を載置する。本実施形態では、吐出ヘッド１１０が配置された方向のテーブル６１の端部を基準Ｔｍとして、当該基準Ｔｍに基材１０の端部を合わせ込み、基材１０をテーブル６１に載置する。すなわち、本実施形態では、基材１０をテーブル６１の中心Ｔｏから吐出ヘッド１１０（ヘッド部５０）が配置された側にずれた位置に載置する。このように、平面視において、基材１０をテーブル６１の中心部ではなく、基材１０を吐出ヘッド１１０側に寄せて載置することにより、例えば、基材１０’をテーブル６１の中心部に載置した場合（図の破線部分）における基材１０’と吐出ヘッド１１０との距離Ｄ０よりも、図に示したように、基材１０をテーブル６１の端部に合わせて載置した場合の基材１０と吐出ヘッド１１０との距離Ｄ１の方が短くなる。

さらに、基材１０の態様に応じて、テーブル６１に対する基材１０の載置方向を選択することもできる。ここで、基材１０の態様とは、例えば、基材１０の大きさや形状等のことをいう。本実施形態では、図５（ａ）に示すように、長方形の形状を有する基材１０を用いた場合には、基材１０の長辺側が吐出ヘッド１１０（ヘッド部５０）と対向するように（基材１０の長辺側と吐出ヘッド１１０の長辺側とが平行に配列するように）載置する。

また、別の載置方向の選択としては、基材１０に形成された色素膜領域１６の形状に合わせてテーブル６１に対する載置方向を選択することもできる。例えば、図１（ａ）に示したように、本実施形態の色素膜領域１６は長方形の形状を有している。この場合、吐出ヘッド１１０（ヘッド部５０）に対して、色素膜領域１６の長辺側が吐出ヘッド１１０（ヘッド部５０）と対向するように（色素膜領域１６の長辺側と吐出ヘッド１１０の長辺側とが平行に配列するように）載置することも可能である。このようにすれば、色素膜領域１６内への液滴の吐出処理が容易となる。

図５（ｂ）の塗布工程では、基材１０に向けて液状体を液滴１２１として吐出する吐出ヘッド１１０と基材１０が載置されたテーブル６１とを相対的に移動させながら、吐出ヘッド１１０から基材１０に向けて液滴１２１を吐出して、基材１０に液状体を塗布する。本実施形態では、基材１０が載置されたテーブル６１を移動させながら、吐出ヘッド１１０から色素膜領域１６に向けて液状体を液滴１２１として吐出して、基材１０の面に液状体１４ａを付着させる。

図５（ｃ）の固化工程では、基材１０に塗布された液状体１４ａを固化する。固化する方法としては、例えば、加熱乾燥等を行う。そして、液状体１４ａを固化することによって色素膜１４が形成される。

その後、必要に応じて、区画部１１と色素膜１４の上に保護膜１８を形成する。保護膜１８の形成方法としては、スピンコート法等が用いられ、材料としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂材料、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができる。

以上、上記の製造方法によって、カラーフィルタ１が形成される。

（電気光学装置）
次に、本実施形態にかかる電気光学装置について説明する。図６は、電気光学装置としての液晶ディスプレイの構成を示す断面図である。

図６において、液晶ディスプレイ１５０は、カラーフィルタ１と、カラーフィルタ１に対向して配置された素子基材１５１と、シール材１５２によって接着されたカラーフィルタ１と素子基材１５１の隙間に充填された液晶１５３等で構成されている。

カラーフィルタ１の保護膜１８の上には共通電極１６１が形成され、共通電極１６１の上には配向膜１６２が形成されている。また、基材１０の色素膜１４が形成された面の反対面には偏光板１７５が備えられている。

素子基材１５１は、透明性を有する基材１７０と、基材１７０の上に形成されたＴＦＴ（Thin Film Transistor）素子１７１と、基材１７０とＴＦＴ素子１７１の上に形成された配向膜１７２等で構成されている。また、基材１７０のＴＦＴ素子１７１が形成された面の反対面には偏光板１７６が備えられている。

（電子機器）
次に、本実施形態にかかる電子機器について説明する。図７は、電子機器としてのテレビ受像機の構成を示す斜視図である。図７において、テレビ受像機１８０の表示部に液晶ディスプレイ１５０が搭載されている。

従って、上記の実施形態によれば、以下に示す効果がある。

（１）テーブル６１の端部に基準Ｔｍを設け、当該基準Ｔｍに合わせて基材１０をテーブル６１に載置することにより、平面視において、基材１０と吐出ヘッド１１０との初期的な距離を短くした。従って、吐出ヘッド１１０から基材１０に向けて液滴１２１を吐出するまでの移動時間が短くなるので、サイクルタイムを短縮させることができる。

（２）基材１０の形状が長方形である場合に、基材１０の長辺側が吐出ヘッド１１０と対向する載置方向とするとともに、テーブル６１の端部に設けられた基準Ｔｍに合わせて基材１０をテーブル６１に載置したので、さらに、作業効率を高めることができる。

なお、上記の実施形態に限定されるものではなく、以下のような変形例が挙げられる。

（変形例１）本実施形態では、テーブル６１に対する基材１０の載置位置を制御したが、これに限定されない。例えば、テーブル６１の中央部等に基材１０を載置して、吐出ヘッド１１０（ヘッド部５０）が基材１０の端部に近接するように、吐出ヘッド１１０（ヘッド部５０）の初期的な位置を制御してもよい。このようにしても、基材１０と吐出ヘッド１１０（ヘッド部５０）との距離を短くすることができる。

（変形例２）本実施形態では、基材供給装置３６に対して制御信号を発信させ、テーブル６１に対する基材１０の載置位置を制御したが、この構成に限定されない。例えば、基材１０をテーブル６１に載置した後に、載置された基材１０を吐出ヘッド１１０側に移動させるスライド部を設け、スライド部に対して制御信号を発信させ、基材１０の載置位置を制御してもよい。このようにしても、上記と同様の効果を得ることができる。

（変形例３）本実施形態では、テーブル６１の端部に基準Ｔｍを設け、当該基準Ｔｍに合わせて基材１０をテーブル６１に載置することにより、基材１０と吐出ヘッド１１０との距離を短くしたが、この構成に限定されない。例えば、基材１０の端部と吐出ヘッド１１０との平面視における距離をカメラ等で検出し、当該検出されたデータに基づいて、基材１０をテーブル６１に載置する構成であってもよい。このようにすれば、さらに、基材１０と吐出ヘッド１１０との距離を短くすることができる。また、テーブル６１の大きさと基材１０の大きさとの関係に関わらず、例えば、基材１０がテーブル６１よりも大きい場合であっても、基材１０と吐出ヘッド１１０との初期的な距離を制御することができる。

（変形例４）本実施形態では、基材載置工程において、基材１０の長辺側が吐出ヘッド１１０に対向する向きとし、かつ、テーブル６１の端部に合わせて基材１０を載置したが、これに限定されない。例えば、基材１０の短辺側を吐出ヘッド１１０に対向する向きとし、かつ、テーブル６１の端部に合わせて基材１０を載置するようにしてもよい。このようにしても、上記と同様の効果を得ることができる。さらに、基材１０の態様において、例えば、正方形等であってもよく、基材１０の大きさにあっては特に限定されない。

（変形例５）上記の実施形態では、パターン膜形成部材としてカラーフィルタ１を例として説明したが、これに限定されることなく、例えば、ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ−Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光部材、シリカガラス前駆体、金属化合物等の導電部材、誘電体部材等についても適用することができる。

パターン膜形成部材の構成を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図。 液滴吐出装置の構成を示す斜視図。 吐出ヘッドの構成を示し、（ａ）は一部破断した斜視図、（ｂ）は断面図。 液滴吐出装置の制御部の構成を示すブロック図。 パターン膜形成部材の製造方法を示す工程図。 電気光学装置の構成を示す断面図。 電子機器の構成を示す斜視図。

符号の説明

１…パターン膜形成部材としてのカラーフィルタ、１０…基材、１１…区画部、１４…パターン膜としての色素膜、１４ａ…液状体、１６…パターン膜領域としての色素膜領域、３０…液滴吐出装置、３２…ヘッド機構部、３３…ワーク機構部、３４…材料供給部、３５…メンテナンス機構部、３６…基材供給装置、３７…制御部、５０…ヘッド部、５３…Ｙ軸ガイド、５４…Ｙ軸リニアモータ、６１…テーブル、６３…Ｘ軸ガイド、６４…Ｘ軸リニアモータ、１１０…吐出ヘッド、１２０…ノズル、１２１…液滴、１３０…指令部、１３１…入出力インターフェース、１３２…ＣＰＵ、１３３…ＲＯＭ、１３４…ＲＡＭ、１４０…駆動部、１４２…モータドライバ、１５０…電気光学装置としての液晶ディスプレイ、１８０…電子機器としてのテレビ受像機。

Claims (7)

1. 基材にパターン膜が形成されたパターン膜形成部材の製造方法であって、
   前記基材をテーブルに載置する基材載置工程と、
   前記パターン膜の材料となる液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと前記基材が載置された前記テーブルとを相対的に移動させながら、前記吐出ヘッドから前記基材に向けて前記液滴を吐出して、前記基材に前記液状体を塗布する塗布工程と、
   前記基材に塗布された前記液状体を固化する固化工程と、を有し、
   前記基材載置工程では、
   平面視において、前記基材の端部が前記吐出ヘッドに近接するように、前記基材を前記テーブルに載置することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
2. 請求項１に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
   前記基材載置工程では、
   前記吐出ヘッドが配置された方向の前記テーブルの端部を基準として、前記基準に合わせて前記基材を前記テーブルに載置することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
3. 請求項１または２に記載のパターン膜形成部材の製造方法において、
   前記基材載置工程では、
   前記基材の態様に応じて、前記テーブルに対する前記基材の載置方向を選択することを特徴とするパターン膜形成部材の製造方法。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載のパターン膜形成部材の製造方法を用いて製造されたパターン膜形成部材。
5. 請求項４に記載のパターン膜形成部材を備えた電気光学装置。
6. 請求項５に記載の電気光学装置を搭載した電子機器。
7. 基材を載置するテーブルと、
   液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、
   前記基材に向けて前記吐出ヘッドから前記液滴を吐出する開始時点において、前記液状体が最初に塗布される前記基材の被塗布領域と前記吐出ヘッドとの平面視における距離を制御する制御部と、
   前記テーブルと前記吐出ヘッドとを相対的に移動させる移動部と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。

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