JP2010056405A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008221709A JP5305792B2 (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008221709A JP5305792B2 (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010056405A JP2010056405A (ja) | 2010-03-11 |
| JP2010056405A5 true JP2010056405A5 (ja) | 2011-10-13 |
| JP5305792B2 JP5305792B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=42071982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008221709A Active JP5305792B2 (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5305792B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
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Family Cites Families (7)
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|---|---|---|---|---|
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| JP4799268B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2011-10-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ムラ検査装置およびムラ検査方法 |
| JP4523516B2 (ja) * | 2005-08-08 | 2010-08-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布膜のむら検出方法、塗布膜のむら検出用プログラム、基板処理方法および基板処理装置 |
| JP2007258658A (ja) * | 2006-02-24 | 2007-10-04 | Tokyo Electron Ltd | 塗布液の吐出検知方法及びその装置並びに塗布液の吐出検知用プログラム |
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2008
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