JP2010054452A - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
欠陥検査装置及び欠陥検査方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】試料11上の検査対象領域の撮像画像31を撮像する撮像手段13と、撮像画像31から欠陥候補41a〜50aを検出する欠陥候補検出手段14と、検査対象領域における欠陥のないパターン情報33を格納する格納手段15と、欠陥のないパターン情報33から擬似欠陥候補41b〜49bを検出する擬似欠陥候補検出手段16と、欠陥候補41a〜50aと擬似欠陥候補41b〜49bとを位置的に対応付けし、対応付けができなかった欠陥候補50aを欠陥37として登録する欠陥候補限定手段17とを有する。
【選択図】図1
Description
(1)試料から検査対象領域の画像と、検査対象領域と同じパターンをもつ別の位置(多くは最も近い位置)の画像とを撮像し、それら画像の差分処理を行うことにより欠陥を検出する検出方法。
(2)試料から検査対象領域の画像を撮像し、あらかじめ用意していた欠陥のないパターン情報の画像との差分処理を行うことにより欠陥を検出する検出方法。
(3)試料から検査対象領域の画像を撮像し、その画像から欠陥のないパターン情報の画像を合成し、それらの画像の差分処理を行うことにより欠陥を検出する検出方法(特許文献1等参照)。
(4)試料から検査対象領域の画像を撮像し、試料の設計データをシミュレーション等により欠陥のないパターン情報に近い画像に変形し、それらの画像の差分処理を行うことにより欠陥を検出する検出方法(特許文献2等参照)。
(5)試料から検査対象領域の画像を撮像し、その画像から輪郭線を抽出し、設計データ又は設計データを変形させた欠陥のないパターン情報と抽出した輪郭線の対応付けを距離情報を用いて行い、対応づけできなかった輪郭線の周辺部位を欠陥として検出する検出方法(特許文献3等参照)。
まず、(1)の検出方法は、検査対象領域と同じパターンをもつ別の位置の画像を撮像するための撮像手段の移動時間及び撮像時間が必要であるが、これらの時間によって、欠陥検査方法に要する全体の時間が長くなり、欠陥検査方法における試料のスループットが低下している。
次に、(2)の検出方法は、複数の検査対象領域の欠陥検出を単一の欠陥のないパターン情報で行うため、試料の製造プロセスが変動することによる画像の変動を欠陥と間違う場合が有る。
(3)の検出方法は、周期性の高いパターンに対しては有効であるが、周期性の低いパターンに対しては適切な欠陥のないパターン情報の画像を合成するのが困難である。
(4)の検出方法は、欠陥のないパターン情報に近い画像への変形が難しい上、変形に長時間を要する。
(5)の検出方法は、一般に輪郭線の数が多いため対応付けに誤りが生じやすい。
また、欠陥候補41a〜50aは輪郭線より数が少なくなるので、迅速な欠陥検査が可能であり、欠陥検出の誤りを低減できる。
11 被検査試料
12 試料台
13 撮像手段
14 欠陥候補検出手段
15 格納手段
16 擬似欠陥候補検出手段
17 欠陥候補限定手段
18 ファイルシステム
19 表示制御手段
20 表示手段
21 格納制御手段
22 ファイルシステム
23 ネットワーク
31 撮像画像(ウェーハ画像)
32 欠陥候補画像
33 欠陥のないパターン情報(CAD画像)
34 欠陥のないパターン情報(CAD画像)(変形)
35 擬似欠陥候補画像
36 欠陥検出結果
37 欠陥
41a、42a、43a、44a、45a、46a、47a、48a、49a、50a 欠陥候補
40b、41b、42b、43b、44b、45b、46b、47b、48b、49b 擬似欠陥候補
Claims (7)
- 試料上の検査対象領域の撮像画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像画像から欠陥候補を検出する欠陥候補検出手段と、
前記検査対象領域における欠陥のないパターン情報を格納する格納手段と、
前記欠陥のないパターン情報から欠陥と間違われる可能性がある擬似欠陥候補を検出する擬似欠陥候補検出手段と、
前記欠陥候補と前記擬似欠陥候補とを位置的に対応付けし、対応付けができなかった前記欠陥候補を欠陥として登録する欠陥候補限定手段とを有することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記欠陥候補検出手段は、前記撮像画像から抽出した周期性の低い部位を、欠陥候補とし、
前記擬似欠陥候補検出手段は、前記欠陥のないパターン情報から抽出した周期性の低い部位を、擬似欠陥候補とすることを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。 - 前記欠陥候補検出手段は、前記撮像画像の部位毎に、フーリエ変換又は自己相関処理を用いて周期性を算出し、算出した周期性が所定の閾値より高い前記部位を除去し、
前記擬似欠陥候補検出手段は、前記欠陥のないパターン情報の部位毎に、フーリエ変換又は自己相関処理を用いて周期性を算出し、算出した周期性が所定の閾値より高い前記部位を除去し前記擬似欠陥候補とはしないことを特徴とする請求項2に記載の欠陥検査装置。 - 前記欠陥候補限定手段は、
前記撮像画像と前記欠陥のないパターン情報との位置合わせを行い、
前記欠陥候補の前記撮像画像上の位置に対応する前記欠陥のないパターン情報上の位置に位置する前記擬似欠陥候補に、前記欠陥候補を対応付けすることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。 - 前記欠陥のないパターン情報は、前記試料の設計データであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。
- 前記撮像手段は、電子顕微鏡を有し、前記撮像画像は、前記電子顕微鏡で撮像した画像であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の欠陥検査装置。
- 試料上の検査対象領域の撮像画像を撮像し、
前記撮像画像から欠陥候補を検出し、
前記検査対象領域における欠陥のないパターン情報を格納し、
前記欠陥のないパターン情報から欠陥と間違われる可能性がある擬似欠陥候補を検出し、
前記欠陥候補と前記擬似欠陥候補とを位置的に対応付けし、
対応付けができなかった前記欠陥候補を欠陥として登録することを特徴とする欠陥検査方法。
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JP2009236697A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Fujitsu Microelectronics Ltd | フォトマスクの検査方法及び検査装置 |
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