JP2010053018A - 単結晶引上装置 - Google Patents

Abstract

【課題】単結晶引き上げ装置において、ワイヤの巻取り限界検出手段の設置方法および引上げ結晶の上限検出機構を提供する。
【解決手段】ワイヤ巻上げ機構によりワイヤ１２が巻上げられると、カプラ１４が引上げられ、中段フランジ２０の開口３４周辺部に当接し、該中段フランジ２０を押し上げる。これにより、中段フランジ２０が上昇し、右側部も上昇し、リミットスイッチ３０のパッド３２が右方向に移動させられ、リミットスイッチ３０が作動する。前記リミットスイッチ３０をワイヤ１４が引上げられる環境とは隔離された環境に配置することにより、スペースユーティリティ上有利となり、配置の自由度も高くなり、保守管理が容易となる。また、検出手段の選択の範囲が広がる。
【選択図】図１

Description

本発明は、単結晶引上装置の引上げ機構に関し、特に、引上げ結晶の上限リミットの検出手段及び機構に関する。

ＣＺ法若しくはＭＣＺ法によるシリコン等の単結晶引上装置では、原料となるシリコン融液を高温で生成し冷却しながら引上げることにより、縦長のインゴットを製造する。高温の融液を使用するので、引上装置内を減圧不活性雰囲気にするために隔離壁からなる筺体で大気から隔離する必要があり、また、結晶成長開始時は小さな種結晶をぶら下げるだけでよいが、成長後は縦長の棒状となるインゴットを上記筐体内に収納しかつ筐体外へ製品として取出す必要がある。このような引上げ成長工程は、バッチ工程となるため、生産効率はインゴットの長さが長い方が高くなる。インゴットの長さを長くするためには、原料となるシリコン融液を多く備え、引上げのための巻取り装置までの高さを高くし、かつ、その高さを十分に活用するためにはワイヤ巻上げの上限を高く設定する必要がある。しかし、装置の背を高くすると装置そのもの、及び、これを収納する建屋の建設コストの増大を招くおそれがある。また、ワイヤを引上げ過ぎるとワイヤ巻上げ装置を破損するおそれがあり、安全を考慮すれば、ギリギリまで引上げるべきではない。ただし、引き上げの上限を安定して精度良く検出及び管理できるならば、ギリギリまで引上げることは可能となる。従って、ワイヤ引上げの上限を精度良く検出することが望まれる。

このようなワイヤ巻上げの上限を検出するための検出手段としては、巻上げドラムの回転位置を検出するセンサを設け、ドラムの回転角度に基づいて種結晶を保持するホルダーの上昇限界を間接的に判断するものがあり、また、種結晶を保持するホルダーの上端部が所定位置まで上昇したことを光センサで検知し、そこをワイヤ巻上げの上限とする手段がある。更に、ホルダーが所定位置まで上昇したとき、該ホルダーがワイヤガイドを移動させ、そのワイヤガイドの移動を検出することによりシードホルダの上昇を停止させる検出手段がある。

しかしながら、巻上げドラムの位置を検出する検出手段では、ワイヤ交換によってワイヤの長さが変更されると、ドラムへの巻き回数が変わり、ホルダーの上限位置も変化してしまう。このため、センサによる巻上げ上限の判断のタイミングを再調整しなければならない。また、ホルダーを光センサで検出する方法では、該ホルダーの最上端の形状、ホルダーの揺れ、光センサの光軸のズレ等によって、検出精度が悪化するおそれがある。従って、該ホルダーが所定位置まで上昇しワイヤガイドを移動させて、その移動を検出する検出手段が提案されている（例えば、特許文献１）。

特開２０００−９５５９４号公報

しかしながら、このような構成では、検出手段及びワイヤ等が同じ環境下に置かれるので、検出手段の保守点検が容易な大気中にこれらの構成要素を配置した場合は、特殊環境下での単結晶の引き上げが困難となる。また、検出手段及びワイヤ等を共に特殊環境下に置くと、検出手段のメンテナンスが困難となり、また検出手段の微調整が難しくなる。特に、検出手段の可動部に施される潤滑用のオイル等の揮発成分により、単結晶引上げ環境が汚染されるおそれもある。また、特殊環境の領域は小さい（又は狭い）方が、生産性や経済性の観点から好ましく、このような特殊環境内に検出手段及びその取付治具等を備えることはあまり好ましくない。

以上のような課題に鑑みて、本発明では、ワイヤの巻取り限界（上限）を検出できる手段を単結晶引上げ環境とは異なる環境下に配置すると共に、ワイヤ等の環境から隔離しつつもワイヤの巻取り状況を把握可能なメカニズムを提供する。

より具体的には、以下のようなものを提供することができる。
（１）特殊環境下でワイヤにより単結晶を引上げながら結晶成長させる単結晶引上装置において、前記ワイヤの引上げ装置を含む引上げ機構部と、前記単結晶が前記ワイヤに吊下げられるプルチャンバと、前記引上げ機構部及び前記プルチャンバの間に配置される中間部と、前記引上げ機構部、前記中間部、そして前記プルチャンバを通って前記単結晶を吊下げ、引上げることのできるワイヤと、吊下げられた前記単結晶及び前記ワイヤの間に備えられ、これらを接続するカプラと、を備える単結晶引上装置において、前記中間部は、前記引上げ機構部の下端部と前記プルチャンバの上端部とを気密的にかつ伸縮可能に接続する伸縮管と、前記伸縮管の内壁に固定され、前記カプラの当接部に押圧される押圧部を下面に有し、前記ワイヤを前記プルチャンバへと自由に垂れ下げ可能な開口を有する位置指示部材と、前記伸縮管の外壁に固定され、前記位置指示部材の移動に連動して移動する検出用指示部材と、前記ワイヤの引上げによる前記カプラの移動による、前記当接部の前記押圧部への押圧による前記位置指示部材の移動に連動する前記検出用指示部材の移動を検出する検出手段と、を備え、前記検出手段は、前記カプラが置かれる環境から前記伸縮管により隔離されることを特徴とする引上げ結晶の上限検出機構を提供することができる。

上記伸縮管は、例えば、ベローズ（日本語に訳すと「ふいご」「蛇腹」と言う意味を持ち、ここでは、主に金属で製作した筒状のものにひだを設け、伸縮性・気密性・バネ性を持たせたものをいう）を含んでよい。上記位置指示部材は、上記カプラの上方に配置され、前記カプラの上部若しくは上面の当接部に押圧される押圧部を有してよく、前記伸縮管の内壁に固定されることにより、前記伸縮管の伸縮に伴って、前記引上げ機構部及び前記プルチャンバの間の位置を変えることができる。即ち、前記引上げ機構部又は前記プルチャンバから見て上下に移動することができる。また、前記伸縮管の外壁に固定される前記位置指示部材の移動に連動して移動する検出用指示部材は、一体になることもできる。ここで、一般に、前記引上げ機構部及び前記プルチャンバは、それぞれここには記載されない支持部材によりその位置が固定されるので、前記伸縮管は、位置決めされた前記引上げ機構部及び前記プルチャンバの一定の間隔の間を気密的に接続する。このような伸縮管により、引上げ機構部とプルチャンバとの間の芯ズレに柔軟に対応することができる。

（２）前記中間部は、前記引上げ機構部の下端部に配置される第１のフランジと、前記プルチャンバの上端部に配置された第３のフランジと、を備え、前記位置指示部材及び前記検出用指示部材は、第２のフランジを構成し、前記伸縮管は、前記第１のフランジ及び前記第２のフランジを気密的に接続する第１の伸縮管と、前記第２のフランジ及び前記第３のフランジを気密的に接続する第２の伸縮管と、から構成されることを特徴とする上記（１）記載の上限検出機構を提供することができる。

また、特殊環境下でワイヤにより単結晶を引上げながら結晶成長させる単結晶引上装置であって、前記ワイヤの引上げ装置を含む引上げ機構部と、前記単結晶が前記ワイヤに吊下げられるプルチャンバと、前記引上げ機構部及び前記プルチャンバの間に配置される中間部と、前記引上げ機構部、前記中間部、そして前記プルチャンバを通って前記単結晶を吊下げ、引上げることのできるワイヤと、吊下げられた前記単結晶及び前記ワイヤの間に備えられるカプラと、を備える単結晶引上装置において、前記中間部には、前記引上げ機構部の下端部に配置される第１のフランジと、前記第１のフランジから第１の伸縮管により気密的に接続された第２のフランジと、前記第２のフランジから第２の伸縮管により気密的に接続され、前記プルチャンバの上端部に配置された第３のフランジと、前記ワイヤの引上げによる前記カプラの移動に従ってその押圧部が押される前記第２のフランジの移動を検出する検出手段と、を備え、前記検出手段は、前記ワイヤが置かれる環境から前記第１及び第２の伸縮管により隔離されることを特徴とする引上げ結晶の上限検出機構を提供することができる。

ここで、特殊環境とは、減圧、加圧、腐食性雰囲気等、種々の雰囲気を含んでよい。ここでいうフランジは、伸縮管や通常のパイプ等の配管の端部に配置される部材を含むことができる。このフランジの形状は問われないが、スペースユーティリティ上、プレート状のものが好ましい。特に、配管内を通過する液体や気体等の流体を気密的に隣接する若しくは対向する配管に接続することが可能なものを含むことができる。

（３）前記第２のフランジを自重により最も低い位置である基底状態に静置可能な係止部を更に備えると共に、該係止部は前記カプラの前記当接部の押圧による前記第２のフランジの上昇移動を妨げない構造を備えることを特徴とする上記（２）に記載の上限検出機構を提供することができる。

上記係止部は、第２のフランジの下側面より第２のフランジを支持するので、第２のフランジは上方に移動可能に載置される。

（４）前記第２のフランジの押圧部は前記カプラの前記当接部に当接されるが、該押圧部は前記第２のフランジの上側フランジ面よりも前記第１のフランジ側にあることを特徴とする上記（２）又は（３）に記載の上限検出機構を提供することができる。

（５）前記検出手段は前記第２のフランジの上側フランジ面に接触してその移動を検出する接触部を備え、該接触部は、前記上側フランジ面の面取り部に接触することを特徴とする上記（２）から（４）のいずれかに記載の上限検出機構を提供することができる。

（６）前記第２のフランジは、前記当接部に接触する軟質性の押圧リングを前記押圧部に備えることを特徴とする上記（２）から（５）のいずれかに記載の上限検出機構を提供することができる。

以上のように、検出手段（例えば、リミットスイッチ）を特殊環境（特殊雰囲気、温度等）を要しない系外に配置することができ、スペースユーティリティ上有利であり、配置の自由度が高くなり、保守管理が容易となる。また、検出手段の選択の範囲が広がる。更に、電源供給や信号出力等のための配線にハーメチックシール等のような特殊インターフェースを用いる必要がない。

本発明の実施例の上限検出機構の概略断面模式図である。（ａ）は上限検出装置の作動前の状況を示し、（ｂ）は上限検出装置の作動後の状態を示す。 本発明の別の実施例の上限検出機構の概略断面模式図である。（ａ）は上限検出装置の作動前の状況を示し、（ｂ）は上限検出装置の作動後の状態を示す。（ｃ）は上側フランジの上方から見た一部略式上面図である。 図１と同様な上限検出機構を用いたシリコン単結晶引上装置の概略断面図である。 図１と同様な上限検出機構において、フランジに面取りを施した実施例の概略断面図である。 図１と同様な上限検出機構において、中断フランジの下側フランジ面の中心近傍に押圧リングを設けた実施例の概略断面図である。 図１と同様な上限検出機構において、中段フランジを使用しない別の実施例を概略断面図で示す。 図６の上限検出機構において、ＡＡ断面で切った同機構を上方から見た部分拡大斜視図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施例について詳しく説明するが、以下の記載は、本発明の実施例を説明するためになされたもので、本発明はこれらの実施例に限定するものではない。また、同一若しくは同種類の要素については、同一若しくは関連性のある符号を用い、重複する説明は省略する。

図１は、本発明の実施例である上限検出機構１０の略式断面模式図を示す。（ａ）は上限検出装置の作動前の状況を示し、（ｂ）は上限検出装置の作動後の状態を示す。上方のワイヤ巻上げ機構から吊下げられたワイヤ１２は、カプラ１４に接続され、該カプラ１４を介して種結晶１６を吊下げる。このような一連の吊下げ部材は、鉛直方向にそれぞれの中心をほぼ揃えて連なる、上段フランジ１８、中段フランジ２０、下段フランジ２４の中心部の開口を貫いている。上段フランジ１８と中段フランジ２０の間には、上段ベローズ２６が気密的に備えられ、中段フランジ２０と下段フランジ２４の間には、下段ベローズ２８が気密的に備えられる。これらのベローズ２６、２８は、ベローズ内と外（系内と外）を画成する。中段フランジ２０の中心部の開口３４は、カプラ１４の上端部３６よりも小さく、カプラ１４が引上げられると、上端部３６が開口３４の周辺に当接し、中段フランジを押し上げる。中段フランジ２０には、図中左側のベローズ２６、２８の外に貫通孔２９があり、上段フランジ１８からぶら下げられるロッド２２が挿通する。ロッド２２の下端には係止部２３が貫通孔２９よりも大きいボス部に形成されている。図中右側には、リミットスイッチ３０が図示しない治具により固定され、リミットスイッチ３０のパッド３２と中段フランジ２０とが接触すると、リミットスイッチの腕部が右側に押圧され移動する。それにより、腕部の動きに連動するリミットスイッチ内部のスイッチが作動する。このリミットスイッチとしては、例えば、オムロン社製のＳＨＬ−Ｗ２１５５を用いることができる。

上方のワイヤ巻上げ機構によりワイヤ１２が巻上げられると、カプラ１４が引上げられ、中段フランジ２０の開口３４周辺部に当接し、該中段フランジ２０を押し上げる。これにより、中段フランジ２０が上昇し、右側部も上昇し、リミットスイッチ３０のパッド３２が右方向に移動させられ、リミットスイッチが作動する。尚、このとき上段ベローズ２６が縮まり、下段ベローズ２８が伸びる。一般にベローズは、極端に縮んだ場合、縮みに対して反発抵抗（反発力）が急速に立ち上がり、逆に極端に伸びた場合、伸びに対して反発抵抗（反伸び力）が急速に立ち上がる。また、一般に圧縮方向（縮み方向）に対する耐力は高いので、過度なワイヤの引き上げを抑制することができる。

図２は、本発明の別の実施例である上限検出機構１１の略式断面模式図を示す。（ａ）は上限検出装置の作動前の状況を示し、（ｂ）は上限検出装置の作動後の状態を示す。（ｃ）は上側フランジの上方から見た一部略式上面図である。中段フランジ２１の中心部の開口と、コーン状の押圧部４２及び押圧部４２の中心部の開口４４を除けば、残りは図１のものと同様であるので、説明は省略する。中段フランジ２１の中心部には、カプラ１４よりも大きな開口が設けられており、カプラ１４の更なる上昇を認容する。その上には、中段フランジ２１の中心部の開口周辺から台形状にキャップを形成する円錐台の外殻が上方に設置される。この円錐台の外殻は、ロー付け等により中段フランジ２１に溶接することができる。

上方のワイヤ巻上げ機構によりワイヤ１２が巻上げられると、カプラ１４が引上げられ、中段フランジ２１の開口を超えて、円錐台の外殻の押圧部４２に当接する。開口４４は、カプラ１４の上端部３６よりも小さいので、カプラ１４が押圧部４２を押し上げる。これにより、中段フランジ２１が上昇し、右側部も上昇し、リミットスイッチ３０のパッド３２が右方向に移動させられ、リミットスイッチが作動する。尚、このとき上段ベローズ２６が縮まり、下段ベローズ２８が伸びる。一般にベローズは、極端に縮んだ場合、縮みに対して反発抵抗（反発力）が急速に立ち上がり、逆に極端に伸びた場合、伸びに対して反発抵抗（反伸び力）が急速に立ち上がる。また、一般に圧縮方向（縮み方向）に対する耐力は高いので、過度なワイヤの引き上げを抑制することができる。更に、円錐台の外殻の上面４３が、上段フランジ１８の開口よりも大きい場合は、この上面４３がストッパとして働く。また、（ｃ）に示すように小さい場合であっても、円錐面がストッパとして働くこともできる。

図３は、図１と同様な引上機構を用いたシリコン単結晶引上装置１００の概略断面図である。図１と共通する部分の説明は省略する。ワイヤ１２は、ワイヤガイド４６を通過し、巻取りドラム４８に巻き取られる。このような引上げ機構を含むのが引上機構部４９である。上段フランジ１８は、この引上機構部４９の下端部に固定される。下段ベローズ２８は、プルチャンバ５２の円筒部の上端面に気密的に固定される。この上端面は、通常のフランジ形態とは少し異なるが、このような形式のものであっても、本願の下段フランジと同等である。ワイヤ１２の下端のカプラ１４の下には種結晶１６が配置されている。プルチャンバ５２は、直下の炉部に連通しており、炉内には、黒鉛坩堝５８の内側に石英坩堝５６が回転軸６２上に回転自在に配置され、石英坩堝５６内には融液５４が貯えられている。この融液５４は黒鉛ヒータ６４により加熱されるが、その回りは、断熱材６６により覆われている。この図から分かるように、上限ぎりぎりまでワイヤ１２を引上げることができれば、より長いシリコンインゴットを得ることができる。

図４は、図１と同様な上限検出機構１１０において、フランジに面取りを施した実施例の概略断面図である。基本的には図１と同じ構造であるので、重複する説明は省略する。中段フランジ２０の右側には、テーパ面若しくは面取り面とも呼ばれる斜面２５が形成され、中段フランジ２０の上昇に従いリミットスイッチ３０のパッド３２が接触した場合に、パッド３２にかかる力が図中右向きに作用するように傾斜している。ここで、パッドの代わりにローラを用いれば、上向きの力が右向きの力に変換されるというこの効果を有効に使うことができる。

図５は、図１と同様な上限検出機構において、中断フランジの下側フランジ面の中心近傍に押圧リングを設けた実施例の概略断面図である。基本的に図１と同じ構造であるので、重複する説明は省略する。カプラ１４の上端面（若しくは当接部）３６が、中段フランジ２０の中央部の開口３４の下側の押圧部に当接する際に、押圧リング３３が介在するように、中段フランジ２０の下側面に押圧リング３３をロー付け等により固定する。この押圧リング３３は、上端面３６が当接する際の衝撃を緩和するもので、弾性体が好ましく、ステンレスより軟質の材料、例えば、ＰＴＦＥ（テフロン（登録商標））、炭素繊維強化複合材、銅等が好ましい。

図６は、本発明の別の実施例である上限検出機構１３の略式断面模式図であり、図７は、これをＡＡ断面によって切り、上方から見た拡大部分斜視図である。これらは、上限検出装置の作動前の状況を示す。以下、図１と共通する説明は、省略する。上方のワイヤ巻上げ機構から吊下げられたワイヤ１２は、カプラ１４に接続され、該カプラ１４を介して種結晶１６を吊下げる。このような一連の吊下げ部材は、鉛直方向にそれぞれの中心をほぼ揃えて連なる上段フランジ１８及び下段フランジ２４の中心部の開口３４ｂを貫いている。上段フランジ１８と下段フランジ２４の間には、ベローズ２８が気密的に備えられる。このベローズ２８の内外壁は、ベローズ内と外（系内と外）を画成する。中心ハブ部３４ａから、３本のスポーク様に放射状に延びる板材２０ａ、２０ｂ、２０ｃは、対応するベローズ２８の内壁に溶接等により固定される。特に板材２０ａは、ベローズ２８の壁を突き抜け、ベローズ外に突出している。中心ハブ部３４ａには、カプラ１４の上端面（若しくは当接部）３６よりも小さい径の開口３４ｂがあり、ワイヤ１２の引上げに従って、カプラ１４が上昇すると、ハブ部３４ａの下面（若しくは押圧部）３４ｃに当接し、ハブ部３４ａと共に板材２０ａ、２０ｂ、２０ｃ（位置指示部材に相当）が上昇する。これにより、板材２０ａのベローズ外に突出する部分も上昇する。この突出部分（ベローズ２８の外壁に固定される部分に相当）には、バカ孔としての貫通孔２９があり、上段フランジ１８から吊下げられたロッド２２が挿通する。ロッド２２の下端には係止部２３があり、この突出部分を下から支持する。この支持により、カプラ１４が押圧しない時に位置指示部材が所定の位置を維持することができる。ベローズ２８は、いわゆる溶接ベローズであり、容易に伸縮可能であるが、横方向のズレに対して規制するため、係止部２３一箇所の支持で十分その水平位置を維持できる。しかしながら、板材２０ｂ、２０ｃにおいて、板材２０ａと同様に係止部を設けることもできる。ＡＡ断面においては、ベローズ２８の蛇腹部の小径部を切っており、切断面２８ａが板材２０ａの上面とツライチの関係にある。本図においては、イラストの都合上、蛇腹の大径部２８ｂの下側で、ベローズ２８を破断させている。リミットスイッチ３０のパッド３２と板材２０ａの突出部の上面とが接触すると、リミットスイッチの腕部が右側に押圧され移動する。それにより、腕部の動きに連動するリミットスイッチ内部のスイッチが作動する。また、図５と同様、中心ハブ部３４ａの押圧部（下側面）押圧リングを設けることもできる。

以上述べてきたように、本発明の上限検出機構では、精度良くワイヤ引き上げの上限を検出し、巻上げ装置を停止させることができる。特に、この上限を種々の要素に基づいて、適宜変更することができ、また、リミットスイッチの自由度が大きくなる。また、リミットスイッチの作動に有利な構造も容易に準備することができる。更に、カプラとフランジの衝撃を緩和することもできる。

１０、１１、１１０ 上限検出機構
１２ ワイヤ
１４ カプラ
１６ 種結晶
１８ 上段フランジ
２０、２１ 中段フランジ
２２ ロッド
２３ 係止部
２４ 下段フランジ
２５ テーパ部（面取り部）
２６、２８ ベローズ
３０ リミットスイッチ
３２ パッド
３３ リング
３４、４４ 開口
４２ 押圧部
４６ ワイヤガイド
４８ 巻上げドラム
４９ 引上機構部
５２ プルチャンバ
５４ 融液
５６ 石英坩堝
５８ 黒鉛坩堝
６４ ヒータ
６６ 断熱材

Claims (6)

1. 特殊環境下でワイヤにより単結晶を引上げながら結晶成長させる単結晶引上装置において、
   前記ワイヤの引上げ装置を含む引上げ機構部と、
   前記単結晶が前記ワイヤに吊下げられるプルチャンバと、
   前記引上げ機構部及び前記プルチャンバの間に配置される中間部と、
   前記引上げ機構部、前記中間部、そして前記プルチャンバを通って前記単結晶を吊下げ、引上げることのできるワイヤと、
   吊下げられた前記単結晶及び前記ワイヤの間に備えられ、これらを接続するカプラと、を備える単結晶引上装置において、
   前記中間部は、
   前記引上げ機構部の下端部と前記プルチャンバの上端部とを気密的にかつ伸縮可能に接続する伸縮管と、
   前記伸縮管の内壁に固定され、前記カプラの当接部に押圧される押圧部を下面に有し、前記ワイヤを前記プルチャンバへと自由に垂れ下げ可能な開口を有する位置指示部材と、
   前記伸縮管の外壁に固定され、前記位置指示部材の移動に連動して移動する検出用指示部材と、
   前記ワイヤの引上げによる前記カプラの移動による、前記当接部の前記押圧部への押圧による前記位置指示部材の移動に連動する前記検出用指示部材の移動を検出する検出手段と、を備え、
   前記検出手段は、前記カプラが置かれる環境から前記伸縮管により隔離されることを特徴とする引上げ結晶の上限検出機構。
2. 前記中間部は、
   前記引上げ機構部の下端部に配置される第１のフランジと、
   前記プルチャンバの上端部に配置された第３のフランジと、を備え、
   前記位置指示部材及び前記検出用指示部材は、第２のフランジを構成し、
   前記伸縮管は、前記第１のフランジ及び前記第２のフランジを気密的に接続する第１の伸縮管と、前記第２のフランジ及び前記第３のフランジを気密的に接続する第２の伸縮管と、から構成されることを特徴とする請求項２に記載の上限検出機構。
3. 前記第２のフランジを自重により基底状態に静置可能な係止部を更に備えると共に、該係止部は前記カプラの前記当接部の押圧による前記第２のフランジの上昇移動を妨げない構造を備えることを特徴とする請求項２に記載の上限検出機構。
4. 前記第２のフランジの押圧部は前記カプラの前記当接部に当接されるが、該押圧部は前記第２のフランジの上側フランジ面よりも前記第１のフランジ側にあることを特徴とする請求項２又は３に記載の上限検出機構。
5. 前記検出手段は前記第２のフランジの上側フランジ面に接触してその移動を検出する接触部を備え、該接触部は、前記上側フランジ面の面取り部に接触することを特徴とする請求項２から４のいずれかに記載の上限検出機構。
6. 前記第２のフランジは、前記当接部に接触する軟質性の押圧リングを前記押圧部に備えることを特徴とする請求項２から５のいずれかに記載の上限検出機構。

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