JP2010048370A - 接続用工具 - Google Patents

Abstract

【課題】シール部材の圧入代の全周に均一な力を加えることができ、接続部の環状突起をシール部材の圧入代に圧入することができ、確実にシールさせる。
【解決手段】第１部品及び第２部品を引き寄せるために、接続機構を用いること、接続機構は、機構本体と一対のアーム２３から構成されていること、一対のアームは第１アーム２６と第２アーム２７から構成されていること、第１部品に接続機構の第１アーム２６と嵌合させる接続部の第１取付溝を有すること、第２部品に接続機構の第２アーム２７と嵌合させる接続部の第２取付溝を有すること、接続機構の第１アーム及び第２アームを第１取付溝及び第２取付溝に嵌合させ、第１アームと第２アームとを近接させることで、第１部品と第２部品とを接続シール部材に圧入する。
【選択図】図１２

Description

本発明は、薬液を扱う流体用機器に使用される、樹脂よりなる第１部品と樹脂よりなる第２部品とを互いに接続する流体用機器の接続シール部材を使用し、該接続シール部材に形成された凹部に該第１部品と該第２部品とを仮挿入し、該第１部品と該第２部品とを圧入することで該第１部品と該第２部品とを接続することができ、該第１部品と該第２部品とを圧入する際に用いられる接続用工具に関する。

本発明の対象物である第１流体機器（請求項における「第１部品」に相当する。）や第２流体機器（請求項における「第２部品」に相当する。）は、半導体製造工程に用いられるものであり侵食性の高い流体を流すため、耐食性の高い樹脂により構成されている。
この場合、第１流体機器及び第２流体機器を接続するためのシール構造が重要になる。
本出願人は、樹脂である第１流体機器と第２流体機器を接続させるため、特許第３７８０２７７号に示す、断面形状がＨ形であるシール部材（請求項における「接続シール部材」に相当する。）を提案してきた。
図１９に、シール部材６の断面図を示す。
具体的には、図１９に示すように本体部１１の形状は、断面Ｈ型をなし、断面が左右で線対称形状になっている。本体部１１には環状溝１１ａ、１１ｂが形成されている。環状溝１１ａ，１１ｂは、開口部より奥側の内側内壁と外側内壁に、全周にわたり圧入代１１ｃ、１１ｄがそれぞれ設けられている。
そして、シール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂに第１流体機器及び第２流体機器の接続部の環状突起を圧入したときに、圧入代１１ｃ、１１ｄはシール面圧を発生させ、シールを確実にすることができ、また、シール力が低下するのを防止することができるのである。

図２８において、第１流体機器１２０、第２流体機器１３０、シール部材６を示す。
第１流体機器１２０及び第２流体機器１３０は、接続部のみを示し、その先の部分は省略した。
第１流体機器１２０の接続部１２２には、環状突起１２２ａが形成されている。第２流体機器１３０の接続部１３２には、環状突起１３２ａが形成されている。環状突起１２２ａは、シール部材６の環状溝１１ａに設けられた圧入代１１ｃ、１１ｄの手前まで挿入されている。環状突起１３２ａは、シール部材６の環状溝１１ｂに設けられた圧入代１１ｃ、１１ｄの手前まで挿入されている。
また、図２８に示すように、第１流体機器１２０及び第２流体機器１３０には、製造された時点から、接続機構を取り付けるための、取付溝１２１、１３１が形成されている。

従来、第１流体機器１２０や第２流体機器１３０などの樹脂管を接続する際に用いられていた接続機構として、図２７に示す接続機構２０１がある。
図２７に示すように、接続機構２０１は、機構本体２０２と、アーム２０３とから構成されている。機構本体２０２は、固定部２０６と可動部２０７により構成されている。アーム２０３は固定された第１アーム２０４と前後に摺動可能な第２アーム２０５とから構成されている。第１アーム２０４と第２アーム２０５の先端は、図２８に示す、取付溝１２１、１３１と嵌合するため、図２９に示すような、取付溝１２１、１３１に沿った形状でＵ字部２０５ａを形成している。第１アーム２０４についても図示しないが、図２９に示したＵ字部と同様のＵ字部２０４ａが形成されている。第２アーム２０５は、接続時に大きな負荷がかかるため、図２７及び図２８に示すように、あらかじめ先端に向けて内側へ傾斜するように取付けられている。

第１流体機器１２０及び第２流体機器１３０を接続する際には、接続機構２０１を接続したい第１流体機器１２０及び第２流体機器１３０まで近付け、第１アーム２０４と第２アーム２０５の先端のＵ字部２０４ａ、２０５ａを取付溝１２１、１３１に嵌合させる。
可動部２０７を固定部２０６に移動させることにより、第２アーム２０５が第１アーム２０４に近接する。それにより、第２アーム２０５と当接する接続部１２１を介して、第１流体機器１２０は、第２流体機器１３０に近付く。第１流体機器１２０が第２流体機器１３０に近付くことで、第１流体機器１２０の環状突起１２２ａ及び第２流体機器１３０の環状突起１３２ａは、シール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入される。
以上の一連の動作によって、第１流体機器１２０の環状突起１２２ａと第２流体機器１３０の環状突起１３２ａをシール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入することができ、両部品を接続することができる。

特許第３７８０２７７号 特開２００３−１８１７７６号公報

しかし、シール部材６は、図１９に示すような、従来に存在しない、特徴的な形状をしているため、第１流体機器１２０及び第２流体機器１３０を接続する際には、従来から用いられているような上記接続機構２０１によっては確実に接続することができない恐れがあった。
図１９に示すように、シール部材６には、全周にわたり圧入代１１ｃ、１１ｄが形成されているため、全周に均一な力を加えなければ、第１流体機器１２０の環状突起１２２ａ及び第２流体機器１３０の環状突起１３２ａを全周にわたって均一に圧入することができないからである。
例えば、円周状の一部に力が加えられ、その部分のみ圧入代１１ｃ、１１ｄと第１流体機器１２０の環状突起１２２ａが接合した場合には、その他の部分については、力の偏在から、圧入代１１ｃ、１１ｄの全周にわたって均一に圧入することはできない恐れがある。シール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄは、全周にわたり形成されており、一部分に力が加えられると、その部分に応力集中がおき、シール部材６の一部分は、変形したり、又は樹脂であることから傷がつくこともある。そのため、シール性が悪くなるという問題があった。
また、力が不均一に加わっている他の部分では、圧入代１１ｃ、１１ｄに第１流体機器１２０の環状突起１２２ａを圧入することができなくなる恐れがあるという問題があった。さらに、他の部分は、一部分がシール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入された後に、圧入されるため、無理に圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入され、圧入代１１ｃ、１１ｄが変形してしまうという問題があった。圧入代１１ｃ、１１ｄを含むシール部材６は樹脂製であるため、塑性変形し、一度変形すると元に戻らないため問題となる。

具体的には、図２８に示すように、接続機構２０１の第２アーム２０５があらかじめ先端に向けて内側へ傾斜するように取付けられていると、図２８及び図２９に示すように、第２アーム２０５が取付溝１２１と接するのは、Ｕ字部２０５ａの先端部分２０５ｂだけである。そのため、第２アーム２０５を移動させた時に、力が加わってくるのは先端部２０５ｂであり、先端部２０５ｂに応力集中が発生する。先端部２０５ｂの力が第１流体機器１２０の環状突起１２２ａの一部に加わることになるため圧入代１１ｃ、１１ｄについても先端部２０５ｂに近い部分が最初に圧入されることになる。そうすると、環状突起１２２ａが圧入代１１ｃ、１１ｄに対して、傾いて挿入されることになるため、圧入代１１ｃ、１１ｄが変形、又は、傷がつくことがあるという問題があった。
また、先端部２０５ｂの力が加わる部分以外は、力の偏在により、圧入代１１ｃ、１１ｄの全周に均一の力が働かないため、環状突起１２２ａ、１３２ａを圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入することができない場合が生じるという問題もあった。
さらに、先端部２０５ｂの力が加わる部分以外の部分は、先端部２０５ｂに近い圧入代１１ｃ、１１ｄの部分が圧入された後に、無理に圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入されるため圧入代１１ｃ、１１ｄや環状突起１２２ａ、１３２ａが変形してしまうという問題があった。
したがって、環状突起１２２ａ、１３２ａの全周にわたって均一に力が加わらないと、完全にシールできないことがあり、又、圧入代１１ｃ、１１ｄが変形、又は傷がつくこともあり、その結果、薬液が漏れる恐れがあった。

一方、接続用工具が大きいと装置内での作業ができないという問題がある。接続機構２０１は、複雑な構造を採るため、大きくならざるを得えず、半導体製造ラインでは作業性が悪くなるという問題があった。
また、作業のたびに、第１アームと第２アームを第１流体機器と第２流体機器の接続部の幅に合わせると手間がかかり、作業性が悪くなる問題があった。

以上の問題から、第１流体機器及び第２流体機器を引き寄せる力を有し、シール部材の全周にわたり均一な力を加えることができる接続用工具が望まれている。本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、シール部材の全周にわたり均一な力を加えることができる接続用工具を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明に係る接続用工具は、以下の構成を有する。
（１）薬液用機器に使用される、樹脂よりなる第１部品と樹脂よりなる第２部品とを互いに接続する薬液用機器の接続シール部材を使用し、接続シール部材に形成された凹部に第１部品と第２部品の接続部を仮挿入し、第１部品と該第２部品の接続部を該凹部に圧入することで第１部品と第２部品とを接続する接続用工具において、第１部品及び第２部品を引き寄せるために、接続機構を用いること、接続機構は、機構本体と一対のアームから構成されていること、一対のアームは第１アームと第２アームから構成されていること、第１部品に接続機構の第１アームと嵌合させる接続部の第１取付溝を有すること、第２部品に接続機構の第２アームと嵌合させる接続部の第２取付溝を有すること、接続機構の第１アーム及び第２アームを第１取付溝及び第２取付溝に嵌合させ、第１アームと第２アームとを近接させることで、第１部品と第２部品とを接続シール部材に圧入すること、を特徴とする。
（２）（１）の接続用工具において、第１部品の接続部の接続面と第２部品の接続部の接続面が平行に引き寄せられること、を特徴とする。
（３）（１）及び（２）に記載する接続用工具において、第１取付溝に嵌合させる、半円筒形状をし、かつ、半円筒形状の円周の最上部にはホルダ係合部を有する一対の第１ホルダを用いること、第２取付溝に嵌合させる、半円筒形状をし、かつ、半円筒形状の円周の最上部にはホルダ係合部を有する一対の第２ホルダを用いること、接続機構の第１アーム及び第２アームを第１ホルダ及び第２ホルダに係合させ、第１アームと第２アームとを近接させることで、第１部品と第２部品とを接続シール部材に圧入すること、を特徴とする。

（４）（１）乃至（３）に記載する接続用工具のいずれか１つにおいて、接続機構は、第２アームはねじの推力を利用して第１アームに近接すること、を特徴とする。
（５）（１）乃至（２）に記載する接続用工具のいずれか１つにおいて、接続機構は、２本の柄を交差部で回動自在に連結していること、柄は、先端部が内向きに屈曲し、柄の回動軸に対して平行になるように支軸をそれぞれ配置されていること、支軸には、加圧プレートの支持部が回動可能に保持されていること、を特徴とする。
（６）（１）乃至（５）に記載する接続用工具のいずれか１つにおいて、第１アームと第２アームとの間に、第１アームと第２アームが所定距離以上に近付かないための係止部材を有すること、を特徴とする。
（７）（１）乃至（６）に記載する接続用工具のいずれか１つにおいて、第１アーム及び第２アームは、取替え可能であること、第１アーム及び第２アームは、接続口径毎に大きさの異なる部品であること、を特徴とする。
（８）（１）乃至（７）に記載する接続用工具のいずれか１つにおいて、接続シール部材に形成された凹部に第１部品の接続部と第２部品の接続部が初期位置に仮挿入された状態でなければ、第１アームを第１取付溝又は第１ホルダに係合させることができないこと、接続シール部材に形成された凹部に第１部品の接続部と第２部品の接続部が初期位置に仮挿入された状態でなければ、第２アームを第２取付溝又は第２ホルダに係合させることができないこと、を特徴とする。

次に、第１流体機器及び第２流体機器の接続に用いられる上記接続用工具の作用及び効果について説明する。
例えば、始めに、第１流体機器の環状突起にシール部材の一方の面を環状溝に沿って圧入代の手前までの状態に仮止めする。次にシール部材の他方の面に第２流体機器の環状突起を環状溝に沿って圧入代の手前までの状態に仮止めする。
接続機構を準備し、第１流体機器の第１取付溝及び第２流体機器の第２取付溝にアームのアーム係合部を係合させる。次に、機構本体のレバーを引き寄せることにより、第２アームを第１アームに近付ける。近付けることにより第２アームが第１アーム側に引き寄せられるため第１流体機器と第２流体機器が近接し、第１流体機器の環状突起及び第２流体機器の環状突起がシール部材の圧入代に圧入されシールされる。シールされた状態で、接続機構は保持される。シールが圧入された状態にあるときに、連結部材で挟むようにシール部材を含む接続部に被せる。連結部材を挟むように被せた後に、爪及び引寄部材を嵌めることにより、接続が完了する。

上記（１）の構成を採ることにより、シール部材の圧入代の全周に均一な力を加えることができ、接続部の環状突起をシール部材の圧入代に圧入することができ、確実にシールさせることができる。
また、上記（２）の構成を採ることにより、第１流体機器の接続部の接続面と第２流体機器の接続部の接続面が平行に引き寄せられることができ、シール部材の圧入代の全周に均一な力を加えることができ、接続部の環状突起をシール部材の圧入代に圧入することができ、確実にシールさせることができる。
また、上記（３）の構成を採ることにより、第１流体機器と第２流体機器を接続する際に、ホルダは小径部が第１取付溝及び第２取付溝と全周にわたって嵌合しているため、アームをホルダに係合させ、第２アームを第１アームへ近づけることにより、ホルダの全周にわたって力を加えることができる。そのため、シール部材の圧入代の全周に均一な力を加えることができ、接続部の環状突起をシール部材の圧入代に圧入することができ、確実にシールさせることができる。
また、上記（４）の構成を採ることにより、アームはねじの推力を利用して移動するため、接続用治具を小型化することができるため、狭い場所でも第１流体機器と第２流体機器を接続することができる。また、第２アームは、ロッドにガイドされ平行に移動することができるため、シール部材の圧入代の全周に均一な力を加えることができ、接続部の環状突起をシール部材の圧入代に圧入することができ、確実にシールさせることができる。

また、上記（５）の構成を採ることにより、加圧プレートが支軸に回動自在に取付けられているため、加圧時には、加圧プレートは、支軸を基点として、回動するため、加圧プレートは、平行を保ちながら加圧することができる。そのため、シール部材の圧入代の全周に均一な力を加えることができ、接続部の環状突起をシール部材の圧入代に圧入することができ、確実にシールさせることができる。
また、上記（６）の構成を採ることにより、アームには前記第１アームと前記第２アームが所定距離以上に近付かないようにするための係止部材があるので過大な力がシール部に加わり過ぎることはない。すなわち、係止部材が当接することにより、それ以上の力を加えることはできないため、過大な力により、シール部材を傷つけることはなく、又、変形させることもない。
また、上記（７）の構成を採ることにより、１つの接続機構の機構本体を有するだけで、第２アーム及び第１アームを交換することで、様々な接続口径の第１流体機器及び第２流体機器の接続に対応することができる。
また、上記（８）の構成を採ることにより、第１アーム及び第２アームを、取付溝、又は、第１ホルダ、第２ホルダに係合することができず、第２アームを第１アームに近づけることができない。その結果、シール部材に力を加えることもないため、接続部の変形、又は損傷が発生しない。また、接続部の環状突起をシール部材の圧入代に圧入することができ、確実にシールさせることができる。

（第１実施形態）
＜流体接続機器の全体構成＞
図２には、第１流体機器２、第２流体機器３、シール部材６の接続前の外観斜視図を示す。図１３は、図２の断面図を示す。
具体的には、第１及び第２接続部４，５は、円筒状をなし、流路４ｈ，５ｈが端面に開口している。第１及び第２接続部４，５の端面には、流路開口部の周りに、シール溝４ａ，５ａが形成されている。シール溝４ａ，５ａには、環状突起４ｂ，５ｂが流路４ｈ，５ｈと同心円状に突設されている。第１及び第２接続部４，５は、端面外周に沿って、凸部４ｇ，５ｇが外向きに突設されている。

第１及び第２接続部４，５の外周面には、後述する第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０が取り付けられる第１及び第２取付溝４ｆ（請求項における「第１溝」に相当する。），５ｆ（請求項における「第２溝」に相当する。）がそれぞれ環状に形成されている。第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆの端面側内側面４ｉ，５ｉは、第１及び第２接続部４，５の端面と平行に形成され、流路４ｈ，５ｈの軸線に対して直角なフラット状をなす。

第１及び第２接続部４，５は、第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆと第１及び第２接続部４，５の端面との間に、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃがそれぞれ環状に形成されている。第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃは、環状突起４ｂ，５ｂに対応する深さまで形成されている。第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの端面側内側面４ｄ，５ｄは、第１及び第２接続部４，５の端面と平行に形成され、流路４ｈ，５ｈの軸線に対して直角なフラット状をなす。そして、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃは、端面側内側面４ｄ，５ｄの開口部より奥側に、接続部側テーパ４ｅ，５ｅが形成されている。接続部側テーパ４ｅ，５ｅは、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの奥側へ行くにつれて第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの溝幅を狭めるように形成されている。
なお、図１３では、シール部材６を見やすくするため、把持部１２の外周線を省略している。

＜ホルダの全体構成＞
図２１に、第１ホルダ４０の外観斜視図を示す。
第１ホルダ４０、及び第２ホルダ５０の形状は同様であるため、ここでは、第１ホルダ４０を説明することにより、第２ホルダ５０の説明を割愛する。
第１ホルダ４０は、半円形状の２つのホルダ部材４０Ａ、４０Ｂから構成されている。ホルダ部材４０Ａ、４０Ｂを組み合わせると、一つの円形状の第１ホルダ４０になる。第１ホルダ４０は、引寄せ力に耐え得る強度があるものを使用する。
ホルダ部材４０Ａの半円形状の外周部の中心には、外側へ突出した円柱形状の係合部４１ａが形成されている。
ホルダ部材４０Ａの半円形状の内側には、大径部４２ａ、及び小径部４３ａが形成されている。大径部４２ａには接続面４２１ａが形成されている。小径部４３ａには、接続面４３１ａ及び４３２ａが形成されている。接続面４２１ａと接続面４３２ａは平行に形成され、その間には垂直に、接続面４３１ａが形成されている。接続面４２１ａ、４３１ａ、４３２ａとで段差を形成している。
小径部４３ａの形状は、取付溝４ｆと同様の環状形状をしている。
ホルダ部材４０Ｂは、ホルダ部材４０Ａと同様の構成をとるため、ホルダ部材４０Ｂの説明は割愛する。

＜シール部材の全体構成＞
図１８は、図２に示すシール部材６の平面図である。図１９は、図１８示すシール部材６のＡ−Ａ断面図である。
シール部材６は、ＰＦＡなどの硬くて耐腐食性がある樹脂を材質とし、本体部１１と把持部１２と張出部１３とを備える。

図１８及び図１９に示すように、本体部１１は、短い円筒形状に形作られている。本体部１１は、第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂに嵌合する環状溝１１ａ，１１ｂが両端面に形成され、断面Ｈ型をなし、断面が左右で線対称形状になっている。環状溝１１ａ，１１ｂは、図１４に示すように、溝幅が第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂの肉厚方向幅寸法と同一又は僅かに大きく形成されている。環状溝１１ａ，１１ｂは、開口部より奥側の内側内壁と外側内壁に、圧入代１１ｃ、１１ｄがそれぞれ設けられ、環状溝１１ａ，１１ｂの開口部より奥側の溝幅を小さくしている。シール部材６は、内周面と外周面に、シール溝４ａ，５ａの底部に設けた傾斜（図１３参照）と対応するように傾斜が設けられ、シール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂに第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂを圧入したときに、シール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂの幅が広がり、シール力が低下するのを防止している。

図１８及び図１９に示すように、シール部材６の外周面には、張出部１３が外向きに突設されている。張出部１３は、本体部１１の外周面に沿って環状に形成されている。張出部１３の外縁部には、複数の把持部１２が所定間隔を空けて一体的に接続している。各把持部１２は、第１及び第２接続部４，５の凸部４ｇ，５ｇに引っ掛けて係合する引掛部１２ａが、内向きに（中心に向かって）突き出して設けられている。なお、図１９では、シール部材６を見やすくするため、把持部１２の外周線を省略している。

＜接続機構の全体構成＞
図１に接続機構２１を示す。図７に、接続機構２１の一部を図示している。
図１に示すように、接続機構２１は、機構本体２２及びアーム２３から構成されている。機構本体２２は、ヘッド２４及び可動把手２５から構成されている。
アーム２３は、力を伝達する際の変形を防ぐため、剛性がある金属(ステンレス等)を材質とする。アーム２３は、第１アーム２６及び第２アーム２７から構成されている。
図７に示すように、第１アーム２６は平板状であり、その先端はＵ字形の切欠きにより２股に分かれている。さらに、その２つの先端部には、各々半円筒の内側Ｕ字形状に成形されたフック部２６ａ、２６ｂが形成されている。
第２アーム２７は、第１アーム２６と対称の形状をなす。第２アーム２７は平板状であり、その先端はＵ字形の切欠きにより２股に分かれている。さらに、その２つの先端部には、各々半円筒の内側Ｕ字形状に成形されたフック部２７ａ、２７ｂが形成されている。
ヘッド２４内部の構造については、従来技術を用いるため、説明を割愛する。

＜連結部材の全体構成＞
図２２に、連結部材７０の分解図を示す。図２３に、図２２に示す連結部材７０を構成する第１分割片と第２分割片を組み合わせた図を示す。図２４に、図２２に示す連結部材７０と引寄部材の外観斜視図を示す。図２５に、図２２に示す連結部材７０に引寄部材を取付けた状態の図を示す。図２６に、図２２に示す連結部材７０を引寄部材で増し締めした状態の図を示す。
図２２に示すように、連結部材７０は、第１分割片７０Ａと第２分割片７０Ｂが別個に設けられている。第１及び第２分割片７０Ａ，７０Ｂは、第１流体機器２と第２流体機器３を引き寄せた引寄時に互いに延設部７１Ａ、７１Ｂを隙間無く当接させるように、延設部７１Ａ、７１Ｂの互いに当接させる面に傾斜が設けられている。そのため、第１及び第２分割片７０Ａ、７０Ｂは、図２４に示す初期組立時において、所定の角度をもった隙間Ｓ１が延設部７１Ａ、７１Ｂの間に設けられる。図２２及び図２３に示すように、延設部７１Ａ、７１Ｂには、引寄部材８０を装着するための装着孔７２Ａ、７２Ｂ（「装着部」の一例）が四角形状に形成されている。

図２２に示すように、第１分割片７０Ａは、延設部７１Ａと反対側に一対の支持壁７３Ａが平行に設けられ、その支持壁７３Ａの間に回転軸７５Ａが架設されている。一方、第２分割片７０Ｂは、延設部７１Ｂと反対側に、Ｕ字形の回転係合部７６Ｂが設けられている。回転係合部７６Ｂは、第２分割片７１Ｂが第１分割片７１Ａに当接する分割面と反対側に開口している。回転係合部７６Ｂの開口部は、幅が回転軸７５Ａの直径より小さく形成されている。連結部材７０は、回転係合部７６Ｂに回転軸７５Ａを圧入して挿入することにより回動連結部７７が構成される。このような連結部材７０は、回転軸７５Ａが回転係合部７６Ｂから外れにくいため、第１分割片７０Ａと第２分割片７０Ｂとがバラバラにならずに一体的に連結される。

図２４に示すように、引寄部材８０は、樹脂製のクリップ部材８１と、樹脂製のナット部材８２とを備える。引寄部材８０は、クリップ部材８１を連結部材７０の装着孔７２Ａ、７２Ｂに押し込むことにより、連結部材７０にワンタッチ装着されるように構成されている。

次に、第１流体機器２及び第２流体機器３の接続手順を示す。接続手順は、以下の５工程により行われる。

＜第１工程＞
図２は、第１流体機器２、第２流体機器３、シール部材６の外観斜視図を示す。図３は、図２の第１流体機器２の環状突起４ｂをシール部材６の環状溝１１ａに仮接続した状態の外観斜視図を示す。図４は、図３の第２流体機器３の環状突起５ｂをシール部材６の環状溝１１ｂに仮接続した状態の外観斜視図を示す。図１３に、図２の断面図を示す。図１４に、図４の断面図を示す。
図２に示すように第１流体機器２、第２流体機器３、シール部材６を用意する。
次に、図１４に示すように、例えば、第１接続部４の凸部４ｇにシール部材６の引掛部１２ａを引っ掛け、シール部材６を第１接続部４の外周に脱落しないように装着する。引掛部１２ａが外側に弾性変形しやすいため、簡単に第１接続部４の凸部４ｇに装着できる。
このとき、第１接続部４の環状突起４ｂは、先端部がシール部材６の環状溝１１ａの圧入代１１ｃ、１１ｄの入口に当接するまで挿入される。
それから、第２接続部５も第１接続部４と同様の作業を行う。すなわち、第２接続部５の凸部５ｇにシール部材６の引掛部１２ａを引っ掛け、シール部材６を第２接続部５の外周に脱落しないように装着する。引掛部１２ａが外側に弾性変形しやすいため、簡単に第２接続部５の凸部５ｇに装着できる。
このとき、第２接続部５の環状突起５ｂは、先端部がシール部材６の環状溝１１ｂの圧入代１１ｃ、１１ｄの入口に当接するまで挿入される。

＜第２工程＞
図５は、図４の状態に、第２ホルダ５０を接合し、第１ホルダ４０を接合する前の状態を表した外観斜視図を示す。図６は、図４の状態に、第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０を接合した状態を表した外観斜視図を示す。図１５は、図６に後述するフック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂを係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂに装着した状態の断面図を示す。
図５に示すように、図４の状態で、ホルダ部材４０Ａ、４０Ｂを第１流体機器２と嵌合させる。第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０を嵌合させると、図６に示した状態になる。
図１５の断面図に示すように、ホルダ部材４０Ａの小径部４３ａは、第１流体機器２の取付溝４ｆと同じ環状形状をしているため、確実に嵌合することができる。
ホルダ部材４０Ａは、小径部４３ａが、取付溝４ｆと確実に嵌合することにより、ホルダ部材４０Ａは、第１接続部４と一体的になり、一体的に作用することができる。
但し、ホルダ部材４０Ａは取り外し可能な部材であるため、縦方向へ引っ張られると外れるようになっている。

＜第３工程＞
図７は、図６の状態に、第１アーム２６及び第２アーム２７を近付けた状態を表した外観斜視図を示す。図８は、図６の状態に、第１アーム２６及び第２アーム２７のフック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂを係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂに係合した状態を表した外観斜視図を示す。
図６の状態にあるときに、接続機構２１の第１アーム２６及び第２アーム２７を図７に示すように、第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０に近付ける。そして第１アーム２６のフック部２６ａを係合部４１ａに、フック部２６ｂを係合部４１ｂに嵌合させる。第２アーム２７のフック部２７ａを係合部５１ａに、フック部２７ｂを図示しない係合部５１ｂに嵌合させる。第１アーム２６及び第２アーム２７が第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０に嵌合された状態を図８に示す。
図８の状態の平面図を図２０に示す。
この時点では、図１５に示すように、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの端面側内側面４ｄ，５ｄの間の幅Ｗ１が、連結部材７０の保持溝７４Ａの幅（第１突部７８Ａと第２突部７９Ａとの間の幅）Ｗ２より広く、連結部材７０を第１及び第２接続部４，５に装着できない。

＜第４工程＞
図９は、図８の状態から、第２アーム２７を第１アーム２６側に近付かせた状態を表した外観斜視図を示す。図１５は、図９の断面図を示す。
図８に示した状態から、第２アーム２７を第１アーム２６側に近付けさせるため、図１に示す可動把手２５をヘッド２４へ近付ける。それにより、図示しないヘッド２４内部のギアにより第２アーム２７を第１アーム２６側へと近付けさせることができる。
図１５に示すように、第２アーム２７を近付けさせることにより、第１アーム２６及び第２アーム２７と係合している係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂを介して、第１ホルダ４０、第２ホルダ５０及び第１流体機器２、第２流体機器３が近付く。第１ホルダ４０、第２ホルダ５０及び第１流体機器２、第２流体機器３が近付くことにより、第１及び第２接続部４，５は、第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆの端面側内側面４ｉ，５ｉを、流路４ｈ，５ｈの軸線に沿って加圧され続ける。これにより、第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂがシール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂに円周方向に均一に圧入されていき、圧入代１１ｃ、１１ｄを押しつぶして圧入することができる。圧入代１１ｃ、１１ｄを押しつぶすことにより、シールを確実にすることができ、また、シール力が低下するのを防止することができるのである。

第２ホルダ５０を第２アーム２７により、第１ホルダ４０側へ近付けさせるとき、第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０には、係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂを介して、互いに引き寄せられる力が生じる。
図１５に示すように、第１流体機器２の接続部４の内側面４ｉの全周にわたって、第１ホルダ４０の小径部４３ａ、４３ｂの接合面４３１ａ、４３１ｂが接合している。また、第２流体機器３の接続部５の内側面５ｉの全周にわたって、第２ホルダ５０の小径部５３ａ、５３ｂの接続面５３１ａ、５３１ｂが接合している。
そのため、第１アーム２６から係合部４１ａ、４１ｂに生じた力は、小径部４３ａ、４３ｂの接合面４３１ａ、４３１ｂを介して、接続部４の内側面４ｉの全周にわたって均一に力を加えることができる。また、第２アーム２７から係合部５１ａ、５１ｂ生じた力は、小径部５３ａ、５３ｂの接合面５３１ａ、５３１ｂを介して、接続部５の内側面５ｉの全周にわたって均一に力を加えることができる。
接続部４の内側面４ｉの全周にわたって均一に力を加えることができることにより、結果として、環状突起４ｂを環状溝１１ａの圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入するだけの必要な力を加えることができる。したがって、環状突起４ｂを全周にわたって圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入することができる。
また、接続部５の内側面５ｉの全周にわたって均一に力を加えることができることにより、結果として、環状突起５ｂを環状溝１１ｂの圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入するだけの必要な力を加えることができる。したがって、環状突起５ｂを全周にわたって圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入することができる。

フック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂは内側Ｕ字形状に成形されているため、係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂと係合させることができる。そのため、作業中に、係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂから突然外れることはないため、確実に作業することができる。
また、フック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂは内側Ｕ字形状であり、係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂが円筒形状であることにより、第２アーム２７が第１アーム２６に近付いた時にも、フック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂは、常に係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂの中心に当接することができる。すなわち、フック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂと係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂは固定されていないため、力が発生する中心部分に当接する場所が変化する。
フック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂが、係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂで係合し、係合部がホルダの中心に位置することで力のバランスを一定に保つことができ、結果として、第１アーム２６及び第２アーム２７が係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂに加えた力は、小径部４３ａ、４３ｂ、５３ａ、５３ｂの接続面４３１ａ、４３１ｂ、５３１ａ、５３１ｂを介して、接続部４、５の内側面４ｉ、５ｉの全周にわたって常に均一に力を加えることができる。

図１７に示すように、ホルダ部材４０Ａは、小径部４３ａが、取付溝４ｆと確実に嵌合することにより、第１接続部４と一体的になり、一体的に作用することができる。
一体的に作用するとき、図１７に示すように、ホルダ部材４０Ａの大径部４２ａの接続面４２１ａが接続部４と接していることにより、係合部４１ａに対して第２ホルダ５０側へと力が掛かっても係合部４１ａが湾曲して力が分散されることはない。すなわち、円筒形状の係合部４１ａに力が掛かった場合、ホルダ部材４０Ａの大径部４２ａのような、土台となるものがなければ、係合部４１ａは横からの力により湾曲してしまうのである。
したがって、土台となるホルダ部材４０Ａの大径部４２ａがあることにより、係合部４１ａが湾曲して力が分散されることはない。

幅Ｗ１が幅Ｗ２より大きい場合には、環状突起４ｂ，５ｂを環状溝１１ａ，１１ｂに圧入する量が少なく、所定のシール力が得られていない。この場合には、更に可動把手２５をヘッド２４へ近付け、第２アーム２７を第１アーム２６の方向へと近付けさせる。

＜第５工程＞
図１０は、図９の状態に連結部材７０を開口させてシール部材６の上から挟むようにして被せた状態の外観斜視図を示す。図１１は、図１０の状態に第１分割片７０Ａの係止爪７１１Ａを第２分割片７０Ｂの挿通孔７１１Ｂに挿通した状態の外観斜視図を示す。図１２は、図１１の状態に引寄部材８０を装着孔７２Ａ、７２Ｂに装着した状態の外観斜視図を示す。
図９及び図１６に示す第１流体機器２と第２流体機器３が引き寄せられた状態にあるとき、すなわち、第１及び第２装着溝４ｃ，５ｃの端面側内側面４ｄ，５ｄの間の幅Ｗ１が、幅Ｗ２と同じ幅となっている時に、連結部材７０を開口させてシール部材６の上から挟むようにして被せる。
具体的には、連結部材７０は、図２２及び図２３に示すように、回転軸７５Ａを回転係合部７６Ｂの開口部に圧入することにより、第１及び第２分割片７０Ａ、７０Ｂとが一体化される。そして、シール部材６を挟むように被せることで、図２３の図中矢印に示すように、回動連結部７７を支点として第１分割片７０Ａを第２分割片７０Ｂに対して回転させる。そして、係止爪７１１Ａを撓ませながら挿通孔７１１Ｂに挿通する。図１１及び図２３に示すように、係止爪７１１Ａは、挿通孔７１１Ｂを通過すると復元して、先端部７１２Ａを挿通孔７１１Ｂの開口部外周に引っ掛ける。これにより、第１及び第２分割片７０Ａ、７０Ｂは、回動連結部７７と係止爪７１１Ａとにより両端部を連結される。このとき、連結部材７０は、延設部７１Ａ、７１Ｂの間に隙間Ｓ１を空けた状態でシール部材６を挟むように取付けられる。

次に、図１２、図２４及び図２５に示すように、連結部材７０には、初期組立時に、引寄部材８０が予め装着される。引寄部材８０は、一対の可撓片８１ｂ，８１ｂの下端部を装着孔７２Ａに位置合わせして、装着孔７２Ａへ向かって挿入される。このとき、係止部８１ｃ，８１ｃの外側面に形成したテーパが装着孔７２Ａの内壁に押圧され、可撓片８１ｂ，８１ｂが溝８１ａ側へ撓む。可撓片８１ｂ，８１ｂは、係止部８１ｃ、８１ｃが装着孔７２Ａ、７２Ｂを通過して延設部７１Ａ、７１Ｂからの押圧力を解除されると、復元して係止部８１ｃ，８１ｃを延設部７１Ｂに引っ掛け、引寄部材８０を装着孔７２Ａ、７２Ｂから抜けにくくする。

よって、流体機器接続構造は、引寄部材８０のクリップ部材８１を装着孔７２Ａ、７２Ｂに押し込めば、引寄部材８０を連結部材７０にワンタッチで簡単に装着できるので、作業性が良い。特に、流体機器ユニットは、例えば、多数の流体機器を備えるウエハ洗浄装置に組み付けた場合、他の流体機器の奥側に配置されることがある。この場合でも、引寄部材８０は、工具を用いることなく、装着孔７２Ａ、７２Ｂに押し込むだけで、簡単に連結部材７０に装着できる。

ここで、連結部材７０は、回転係合部７６Ｂが、第２分割片７０Ｂの分割面と反対向きに開口している。そのため、連結部材７０が第１流体機器２及び第２流体機器３の熱変形や流体圧等により第１及び第２分割片７０Ａ、７０Ｂを離間させる方向の力を受けたとしても、回転軸７５Ａが回転係合部７６Ｂに異方向に支持され、回転係合部７６Ｂから外れない。

引寄部材８０により連結部材７０を固定した後に、第１アーム２６のフック部２６ａ、２６ｂを係合部４１ａ、４１ｂから取外す。また、第２アーム７のフック部２７ａ、２７ｂを係合部５１ａ、５１ｂから取外す。
その後、第１ホルダ４０、及び第２ホルダ５０を第１流体機器２及び第２流体機器３から取外して全工程を終了する。
以上、全工程により、第１流体機器２と第２流体機器３の接続工程は終了する。

以上述べたように、本第１実施形態の接続用工具は、取付溝４ｆに嵌合させる、半円筒形状をし、かつ、半円筒形状の円周の最上部にはホルダ係合部を有する一対の第１ホルダ４０を用いること、取付溝５ｆに嵌合させる、半円筒形状をし、かつ、半円筒形状の円周の最上部にはホルダ係合部を有する一対の第２ホルダ５０を用いること、接続機構の第１アーム２６及び第２アーム２７の先端部には、ホルダ係合部と係合可能な２つのアーム係合部材２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂが形成されていること、接続機構の第１アーム２６及び第２アーム２７を第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０に係合させ、第１アーム２６と第２アーム２７とを近接させることで、第１流体機器２と第２流体機器３をシール部材６に圧入すること構成を有しているので、第１流体機器２と第２流体機器３を接続する際に、第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０は小径部が取付溝４ｆ及び取付溝５ｆと全周にわたって嵌合しているため、第１アーム２６及び第２アーム２７が第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０を可動させると、第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０の全周にわたって力を加えることができる。そのため、シール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄの全周に均一な力を加えることができ、接続部４、５の環状突起４ｂ、５ｂをシール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入することができ、シール部材６の全周にわたり確実にシールさせることができる。
また、第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０の全周に均一な力を加えることができるため、第１流体機器２と第２流体機器３を平行のまま移動させることができる。

フック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂは内側Ｕ字形状に成形されているため、係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂと係合させることができる。そのため、作業中に、係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂから突然外れることはないため、確実に作業することができる。
また、フック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂは内側Ｕ字形状であり、係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂが円筒形状であることにより、第２アーム２７が第１アーム２６に近付いた時にも、フック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂは、常に係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂの中心に当接することができる。すなわち、フック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂと係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂは固定されていないため、力が発生する中心部分に当接する場所が変化する。
フック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂが、常に係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂで係合し、係合部がホルダの中心に位置することで力のバランスを一定に保つことができ、結果として、第１アーム２６及び第２アーム２７が係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂに加えた力は、小径部４３ａ、４３ｂ、５３ａ、５３ｂの接続面４３１ａ、４３１ｂ、５３１ａ、５３１ｂを介して、接続部４、５の内側面４ｉ、５ｉの全周にわたって常に均一に力を加えることができる。

また、第１ホルダ４０は、第１流体機器２と円周面で接していることにより、全周に均一に力が加わること、及び、第２ホルダ５０は、第２流体機器５０と円周面で接していることにより、全周に均一に力が加わること、により、第１流体機器４０及び第２流体機器５０を引き寄せる際に、接続面の平行を保って引き寄せることができ、シール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄの全周に均一な力を加えることができ、接続部４の環状突起４ｂ、接続部５の環状突起５ｂをシール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入することができ、確実にシールさせることができる。

（第２実施形態）
図３４及び図３５を用いて第２実施形態について説明する。
図３４は、第２実施形態である接続機構１５０の外観斜視図を示す。図３５は、図３４を略した平面図を示し、可動する構造を説明するため、ねじ１５２及びロッド１５６の一部分を断面図として示す。シール部材６、第１流体機器２、及び第２流体機器３は、第１実施形態と同様であるため、第２実施形態において、説明は割愛する。
接続機構１５０は、ハンドル１５１、ねじ１５２、及び本体１５５から構成されている。ハンドル１５１とねじ１５２は接合しており、ハンドル１５１を回転させると、ねじ１５２も一体的に回転する。ねじ１５２には雄ねじ１５２ａが螺刻されている。ねじ１５２は、本体１５５と螺合している。具体的には、本体１５５には雌ねじ１５５ａが螺刻されているため、雄ねじ１５２ａが、雌ねじ１５５ａと螺合している。
ロッド１５６は、一端が第２アーム１５４と摺接しており、他端は、第１アーム１５３と固設されている。第２アーム１５６は、ロッド１５６と摺接されていることにより、直線的に動くことができる。ロッド１５６の第１アーム１５３側には、係止部１５６ａが形成されている。
図３４に示すように、本体１５５は、略釣鐘形状をしており、釣鐘形状の底面に当たる部分には第１アーム１５３が固設されている。本体１５５の釣鐘形状には内側部１５５ａ、１５５ｂ、１５５ｃ、及び第１アーム１５３に囲まれた部分に溝部１５５ｄがある。溝部１５５ｄに第２アーム１５４が摺動可能に挿設されている。
第１アーム１５３及び第２アーム１５４の先端部には、ホルダ係合部と係合可能なアーム係合部を形成することもできる。

第２実施形態の作用及び効果について説明する。
第１アーム１５３の係合部１５３ａを、第２流体機器３の取付溝５ｆに取り付け、第２アーム１５４の係合部１５４ａを、第１流体機器２の取付溝４ｆに取り付ける。
次に、ハンドル１５１を時計回りに回転させる。ハンドル１５１を回転させると、ねじ１５２も一体的に回転し、ねじ１５２は、第１アーム１５３に近付いていく。ねじ１５２と第２アーム１５４は、接合しているため、ねじ１５２が第１アーム１５３に近付くと、第２アーム１５４も第１アーム１５３へ近付く。第２アーム１５４が第１アーム１５３に近付く際に、第２アーム１５４が、ロッド１５６に摺接されているため、ロッド１５６にガイドされ平行に移動することができる。さらに、第２アーム１５４は、溝部１５５ｄに挿設されているため、平行に移動することができる。
第２アーム１５４が第１アーム１５３と平行に摺動することにより、第１流体機器２の接続部４の接続面と第２流体機器３の接続部５の接続面を平行に引き寄せることができ、シール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄの全周に均一な力を加えることができ、接続部４，５の環状突起４ｂ、５ｂをシール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入することができ、確実にシールさせることができる。
ロッド１５６には、係止部１５６ａが形成されているため、第２アーム１５４がロッド１５６にガイドされると、第２アーム１５４は、係止部１５６ａで係止する。そのため、第２アーム１５４と第１アーム１５３との間に、過大な力が掛かり過ぎることはなく、シール部や、その周辺を破損させることはない。

接続機構１５０は、第１実施形態の接続機構２１と比較すると、第２実施形態では、第２アーム１５４を移動させる部分は、ハンドル１５１であるのに対して、接続機構２１では、本体２２である。接続機構２１は、可動把手２５をヘッド２４へ可動させる力を、第２アーム２７を第１アーム２６へ近付かせる力に変換させるため、本体２２内部に複数のギアが必要となるため、本体２２は、大きくならざるを得ない。それに対して、接続機構１５０は、ハンドル１５１を回転させる推力を、そのまま第２アーム１５４を第１アーム１５３に近づけさせる力に変換できるため、単純な構造となり、接続機構１５０を小さくすることができる。
したがって、接続機構１５０は、接続機構２１と比較して小さいため、接続機構１５０を用いれば、接続機構２１が使用できないような狭い場所でも、第１流体機器２と第２流体機器３を接続することができる。
第２アーム１５４及び第１アーム１５３の先端部には、ホルダ係合部と係合可能なアーム係合部を形成することもできる。

（第３実施例）
図３６及び図３７を用いて第２実施形態について説明する。
例えば、接続機構を、図３６に示す接続機構５０１とすることもできる。
図３６は、接続機構５０１の外観斜視図である。
接続機構５０１は、力を伝達する際の変形を防ぐために、剛性がある金属（ステンレス等）を材質とする。接続機構５０１は、２本の柄５１６Ａ，５１６Ｂを交差部５１７で回動自在に連結している。各支軸５１８には、加圧プレート５１９の支持部５１９ｂが回動可能に保持されている。加圧プレート５１９には、第１及び第２接続部４，５の第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆに嵌め合わされるＵ字部５１９ａが形成されている。尚、柄５１６Ａ，５１６Ｂは、第１及び第２接続部４，５の引き寄せを容易にするために、柄５１６Ａ，５１６Ｂは、各支軸５１８と交差部５１７の間の長さよりも、交差部５１７から把持部分までの長さを、長くしている。
Ｕ字部５１９ａの先端部には、ホルダ係合部と係合可能なアーム係合部を形成することもできる。

図３７は、接続機構５０１による引き寄せ方法を示す。
図３７に示すように、接続機構５０１の加圧プレート５１９，５１９に形成したＵ字部５１９ａ，５１９ａの奥まで第１及び第２接続部４，５を挿入し、加圧プレート５１９，５１９を第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆに配置する。
そこで、接続機構５０１の柄５１６Ａ，５１６Ｂを握って、図中矢印に示すように、第１及び第２接続部４，５を互いに近づく方向に加圧して引き寄せる。このとき、加圧プレート５１９，５１９は、支軸５１８，５１８を基点に回動する。その上、第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆの端面側内側面４ｉ，５ｉは、第１及び第２接続部４，５の端面と平行（流路４ｈ，５ｈの軸線に対して垂直）である。そのため、第１及び第２接続部４，５は、加圧プレート５１９，５１９に第１及び第２取付溝４ｆ，５ｆの端面側内側面４ｉ，５ｉを、流路４ｈ，５ｈの軸線に沿って加圧され続ける。これにより、第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂがシール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂに円周方向に均一に圧入されていく。

加圧プレート５１９、５１９が支軸５１８，５１８に回動自在に取付けられているため、加圧時には、加圧プレート５１９、５１９は、支軸５１８，５１８を基点として、回動する。そのため、加圧プレート５１９と加圧プレート５１９は、平行を保ちながら加圧することができる。
そのため、シール部材６の環状溝１１ａ，１１ｂの全周に均一な力を加えることができ、第１及び第２接続部４，５の環状突起４ｂ，５ｂをシール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入することができ、シール部材６の全周にわたり確実にシールさせることができる。また、第１流体機器２と第２流体機器３を平行のまま移動させることができる。

尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、第１実施形態における第１アーム２６及び第２アーム２７は、初期位置になければ、第１アームを取付溝４ｆ、又は、第１ホルダ４０に、第２アームを取付溝５ｆ、又は第２ホルダ５０に係合させることができないようにする。その他、第２実施形態及び第３実施形態についても転用可能である。
シール部材６に形成された環状溝１１ａに第１流体機器２の第１接続部４の環状突起４ｂを挿入し、シール部材６に形成された環状溝１１ｂに第２流体機器３の第２接続部５の環状突起５ｂを、圧入代１１ｃ、１１ｄの入口に当接するまで挿入する。当該圧入代１１ｃ、１１ｄの入口に当接するまで挿入した状態を初期位置とし、初期位置に挿入された状態でなければ、第１アームを取付溝４ｆ、又は、第１ホルダ４０に、第２アームを取付溝５ｆ、又は第２ホルダ５０に係合させることができない。
初期位置にない状態で、第１アーム及び第２アームを、取付溝又はホルダに係合することができ、第２アームを第１アームに近付かせることができるとすると、軸が合いにくく、シール部材６に傷をつけてしまう可能性がある。例えば、円周上の環状突起４ｂの一部分は、シール部材６の環状溝１１ｂに挿入され圧入代１１ｃ、１１ｄの前まで挿入された状態にあるが、対角線上にある他部分は、シール部材６の環状溝１１ａに挿入され圧入代１１ｃ、１１ｄの手前まで挿入された初期位置の状態にないときに、シール部材６に力が加わると、一部分のみに応力集中がおき、圧入代１１ｃ、１１ｄが変形、又は傷がつくことがある。また、力の偏在により圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入することができない場合が生じる。
それに対して、初期位置にない状態でなければ、第１アーム及び第２アームを、取付溝、又は、ホルダに係合することができなければ、第２アームを第１アームに近づけることができず、シール部材６に力を加えることもできないため、圧入代１１ｃ、１１ｄの変形、又は損傷を防ぐことができる。また、接続部４，５の環状突起４ｂ、５ｂをシール部材６の圧入代１１ｃ、１１ｄに圧入することができ、確実にシールさせることができる。

第１アーム２６及び第２アーム２７を、初期位置になければ、第１アームを取付溝４ｆ、又は、第１ホルダ４０に、第２アームを取付溝５ｆ、又は第２ホルダ５０に係合させることができないとするためには、第１アーム及び第２アームが全開のときでなければ、第１アームを第１ホルダ、又は、取付溝４ｆに、第２アームを第１ホルダ、又は、取付溝５ｆに係合させることができないこととする必要がある。第１アームと第２アームが開いた状態で、ホルダ、又は、取付溝に係合させることができるのでは、初期位置以外で係合可能となってしまい、無理矢理係合させ、第１アーム２６を第２アーム２７に近付かせ、圧入代１１ｃ、１１ｄを変形又は傷つけることになるからである。
そこで、第１アーム及び第２アームは、第１流体機器及び第２流体機器の大きさに合わせて、第１アーム及び第２アームを取り替えることとする。第１アーム及び第２アームを取り替えることとすれば、第１アームと第２アームが全開でなければ係合することができないこととし、初期位置でない場合には、第１アーム及び第２アームを取付溝、又は、ホルダに係合することができないとすることができるからである。
図３０に第１流体機器３０２と第２流体機器３０３が大口径の場合の実施例を示す。図３１に第１流体機器４０２と第２流体機器４０３が小口径の場合の実施例を示す。
第１流体機器３０２及び第２流体機器３０３が大口径の場合には、図３０に示すような、大口径用の第１アーム３１６及び第２アーム３１５を使用する。そして、第１アーム３１６及び第２アーム３１５を全開にしたときに、第１流体機器３０２の取付溝３０２ｆ及び第２流体機器３０３の取付溝３０３ｆに係合することができる。

しかし、図３１に示すような、第１流体機器４０２及び第２流体機器４０３が小口径である場合には、図３０に示す、大口径用の第１アーム３１６及び第２アーム３１５では接続部の大きさが異なるため、使用することができない。また、初期位置の状態で、第１アーム及び第２アームを全開にした状態でなければ、第２アーム及び第１アームを取付溝４０２ｆ、４０３ｆに係合できないようにしているため、図３０に示す、大口径用の第１アーム３１６及び第２アーム３１５の場合は、取付溝４０２ｆ、４０３ｆに係合させることができない。
そこで、小口径の場合には、図３１に示すように、小口径に対応した、第１アーム４１６及び第２アーム４１５に取替え可能であることとした。第２アーム４１５の係合部４１５ａと根元部４１５ｂは平行に形成され、中間部４１５ｃは、係合部４１５ａ、根元部４１５ｂと各々直角に接合している。
係合部４１５ａと根元部４１５ｂとの位置をずらすことにより、小口径の場合でも、機構本体をそのままに、アームを付け替えるだけで第１流体機器４０２と第２流体機器４０３を接続することができる。また、係合部４１５ａと根元部４１５ｂとの位置をずらすことにより、第２アーム４１５を全開にした状態にあるときに初期位置の状態となるようにできる。そのため、第２アーム４１５及び第１アーム４１６を全開にした状態とすることで係合させることができる。第２アーム４１５と第１アーム４１６を全開にすることは、取付溝４０２ｆ、４０３ｆの間隔に合わせるための調整を行う必要がないので、仮挿入された状態で第２アームを第１アームに近づけることができ、確実にシールさせることができる。
その他、接続口径毎に大きさの異なる第１流体機器及び第２流体機器に対応して、取り付け可能な第１アーム及び第２アームを用意することで、接続機構の機構本体をそのままに、様々な大きさの第１流体機器及び第２流体機器の接続に対応することができる。

また、図３２に、第２アーム９１と第１アーム９２に係止部材９０を取付けられた図を示す。図３３は、第２アーム９１を可動させ、第２アーム９１と第１アーム９２が係止部材９０により係止された図を示す。
第２アーム９１及び第１アーム９２の内側部には係止部材９０が取付けられている。係止部材９０は、第１アーム９２と第２アーム９１が所定距離以上に近付かないためのものである。係止部材９０が取付けられていることにより、第２アーム９１を第１アーム９２側へ近付かせたときにも、第２アーム９１と第１アーム９２は、係止部材９０が当接するため、それ以上の力を加え過ぎることはない。
そのため、第２アーム９１と第１アーム９２との間に、部分的に過大な力が掛かり過ぎることはなく、シール部や、その周辺を破損させることはない。

接続機構２１の正面図を示す。 第１流体機器２、第２流体機器３、シール部材６の接続前の外観斜視図を示す。 図２の第１流体機器２にシール部材６を仮接続した状態の外観斜視図を示す。 図３のシール部材６に第２流体機器３を仮接続した状態の外観斜視図を示す。 図４の状態に、第２ホルダ５０を接合し、第１ホルダ４０を接合する前の状態を表した外観斜視図を示す。 図４の状態に、第１ホルダ４０及び第２ホルダ５０を接合した状態を表した外観斜視図を示す。 図６の状態に、第１アーム２６及び第２アーム２７を近付けた状態を表した外観斜視図を示す。 図６の状態に、第１アーム２６及び第２アーム２７のフック部２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂを係合部４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂに係合した状態を表した外観斜視図を示す。 図８の状態から、第２アーム２７を第１アーム２６側に近付けさせた状態を表した外観斜視図を示す。 図９の状態に連結部材７０を開口させてシール部材６の上から挟むようにして被せた状態の外観斜視図を示す。 図１０の状態に第１分割片７０Ａの係止爪７１１Ａを第２分割片７０Ｂの挿通孔７１１Ｂに挿通した状態の外観斜視図を示す。 図１１の状態に引寄部材８０を装着孔７２Ａ、７２Ｂに装着した状態の外観斜視図を示す。 図２の状態の断面図を示す。 図４の状態の断面図を示す。 図８の状態の断面図を示す。 図９の状態の断面図を示す。 図１５のＬの拡大図を示す。 図２に示すシール部材６の平面図を示す。 図１８に示すシール部材６のＡ−Ａ断面図を示す。 図８の平面図を示す。 図５に示す第１ホルダ４０の拡大図を示す。 流体機器接続構造に使用する連結部材７０の分解図を示す。 図２２に示す連結部材７０を構成する第１分割片と第２分割片を組み合わせた図を示す。 図２２に示す連結部材７０と引寄部材の外観斜視図を示す。 図２２に示す連結部材７０に引寄部材を取付けた状態の図を示す。 図２２に示す連結部材７０を引寄部材で増し締めした状態の図を示す。 従来技術である接続機構２０１の正面図を示す。 第１流体機器１２０、第２流体機器１３０、シール部材６を示す。 第２アーム２０５の先端部を抽出した側面図を示す。 第１流体機器２と第２流体機器３が大口径の場合の実施例を示す。 第１流体機器２と第２流体機器３が小口径の場合の実施例を示す。 第２アーム９１と第１アーム９２に係止部材９０を取付けられた図を示す。 第２アーム９１を第１アーム９２に近付けさせ、第２アーム９１と第１アーム９２が係止部材９０により係止された図を示す。 第２実施形態である接続機構１５０の外観斜視図を示す。 図３４の平面図を示し、ねじが可動する構造を説明するため、ねじ１５２及びロッド１５６の一部分を断面図として示す。 接続機構５０１の外観斜視図を示す。 接続機構５０１による引き寄せ方法を示す。

符号の説明

２ 第１流体機器
３ 第２流体機器
４ 第１接続部
４ｂ 環状突起
４ｆ 第１取付溝
５ 第２接続部
５ｂ 環状突起
５ｆ 第２取付溝
６ シール部材
１１ 本体部
１１ａ、１１ｂ 環状溝
１１ｃ、１１ｄ 圧入代
２１ 接続機構
２２ 機構本体
２３ アーム
２６ 第１アーム
２７ 第２アーム
２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂ フック部
４０ 第１ホルダ
４０Ａ、４０Ｂ ホルダ部材
５０ 第２ホルダ
５０Ａ、５０Ｂ ホルダ部材
４１ａ、４１ｂ、５１ａ、５１ｂ 係合部材
７０ 連結部材
８０ 引寄部材

Claims (8)

1. 薬液用機器に使用される、樹脂よりなる第１部品と樹脂よりなる第２部品とを互いに接続する薬液用機器の接続シール部材を使用し、該接続シール部材に形成された凹部に該第１部品と該第２部品の接続部を仮挿入し、該第１部品と該第２部品の接続部を該凹部に圧入することで該第１部品と該第２部品とを接続する接続用工具において、
   前記第１部品及び前記第２部品を引き寄せるために、接続機構を用いること、
   前記接続機構は、機構本体と一対のアームから構成されていること、
   前記一対のアームは第１アームと第２アームから構成されていること、
   前記第１部品に前記接続機構の前記第１アームと嵌合させる接続部の第１取付溝を有すること、
   前記第２部品に前記接続機構の前記第２アームと嵌合させる接続部の第２取付溝を有すること、
   前記接続機構の前記第１アーム及び前記第２アームを前記第１取付溝及び前記第２取付溝に嵌合させ、前記第１アームと前記第２アームとを近接させることで、前記第１部品と前記第２部品とを前記接続シール部材に圧入すること、
   を特徴とする接続用工具。
2. 請求項１の接続用工具において、
   前記第１部品の接続部の接続面と前記第２部品の接続部の接続面が平行に引き寄せられること、
   を特徴とする接続用工具。
3. 請求項１及び請求項２に記載する接続用工具において、
   前記第１取付溝に嵌合させる、半円筒形状をし、かつ、半円筒形状の円周の最上部にはホルダ係合部を有する一対の第１ホルダを用いること、
   前記第２取付溝に嵌合させる、半円筒形状をし、かつ、半円筒形状の円周の最上部にはホルダ係合部を有する一対の第２ホルダを用いること、
   前記接続機構の前記第１アーム及び前記第２アームを前記第１ホルダ及び前記第２ホルダに係合させ、前記第１アームと前記第２アームとを近接させることで、前記第１部品と前記第２部品とを前記接続シール部材に圧入すること、
   を特徴とする接続用工具。
4. 請求項１乃至請求項３に記載する接続用工具のいずれか１つにおいて、
   前記接続機構は、前記第２アームはねじの推力を利用して前記第１アームに近接すること、
   を特徴とする接続用工具。
5. 請求項１乃至請求項２に記載する接続用工具のいずれか１つにおいて、
   前記接続機構は、２本の柄を交差部で回動自在に連結していること、
   前記柄は、先端部が内向きに屈曲し、前記柄の回動軸に対して平行になるように支軸をそれぞれ配置されていること、
   前記支軸には、加圧プレートの支持部が回動可能に保持されていること、
   を特徴とする接続用工具。
6. 請求項１乃至請求項５に記載する接続用工具のいずれか１つにおいて、
   前記第１アームと前記第２アームとの間に、前記第１アームと前記第２アームが所定距離以上に近付かないための係止部材を有すること、
   を特徴とする接続用工具。
7. 請求項１乃至請求項６に記載する接続用工具のいずれか１つにおいて、
   前記第１アーム及び前記第２アームは、取替え可能であること、
   前記第１アーム及び前記第２アームは、接続口径毎に大きさの異なる部品であること、
   を特徴とする接続用工具。
8. 請求項１乃至請求項７に記載する接続用工具のいずれか１つにおいて、
   前記接続シール部材に形成された凹部に前記第１部品の接続部と前記第２部品の接続部が初期位置に仮挿入された状態でなければ、前記第１アームを前記第１取付溝又は前記第１ホルダに係合させることができないこと、
   前記接続シール部材に形成された凹部に前記第１部品の接続部と前記第２部品の接続部が初期位置に仮挿入された状態でなければ、前記第２アームを前記第２取付溝又は前記第２ホルダに係合させることができないこと、
   を特徴とする接続用工具。

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