JP2010046830A - Manufacturing method of gas barrier film, gas barrier film and gas barrier bag - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガスバリア性を有するフィルムの製造方法、ガスバリアフィルム及び該フィルムで形成されたガスバリアバッグに関する。 The present invention relates to a method for producing a film having gas barrier properties, a gas barrier film, and a gas barrier bag formed from the film.
特許文献１には、半導体露光装置においてフォトレジスト溶液を送液するシステムとして低溶出性のポリテトラフルオロエチレン（以下、「ＰＴＦＥ」という）で成るパックにフォトレジスト溶液を入れ気体の圧力で送液するシステムが開示されている。しかし、ＰＴＦＥは低溶出性、耐薬品性には優れるが気体透過性が大きく、すなわちガスバリア性が小さく気泡が混入し易いという欠点がある。フォトレジスト溶液に気泡が存在するとシリコンウエハ上に欠陥が生じ露光不良が発生する。特に近年、回路幅が狭小になってきていることから、僅かな気泡の存在も問題になってきている。 In Patent Document 1, as a system for feeding a photoresist solution in a semiconductor exposure apparatus, the photoresist solution is put in a pack made of polytetrafluoroethylene (hereinafter referred to as “PTFE”) having a low elution property and fed at a gas pressure. A system is disclosed. However, although PTFE is excellent in low elution property and chemical resistance, it has a disadvantage that gas permeability is large, that is, gas barrier property is small and bubbles are easily mixed. If bubbles exist in the photoresist solution, defects occur on the silicon wafer, resulting in poor exposure. In particular, since the circuit width has become narrow in recent years, the presence of slight bubbles has become a problem.
この問題を解消するものとして、特許文献２には、液晶ポリエステルを連続相とし液晶ポリエステルと反応性を有する官能基を有する共重合体を分散相とする液晶ポリエステル樹脂組成物よりなる層と、熱可塑性樹脂よりなる層とを有する積層構造の液体バッグが開示されている。この液体バッグによれば液晶ポリエステル樹脂組成物はガスバリア性に優れるためフォトレジスト溶液への気泡の混入を防止することができる。
上述した液晶ポリエステル樹脂組成物よりなる層と熱可塑性樹脂よりなる層とを有する積層構造の液体バッグでは、液晶ポリエステル樹脂組成物よりなる層と熱可塑性樹脂よりなる層とが密着性に劣るため液体バッグの取り扱い中に剥離する場合がある。そして、液晶ポリエステル樹脂組成物よりなる層と熱可塑性樹脂よりなる層とが剥離してしまうと、液晶ポリエステル樹脂組成物よりなる層と熱可塑性樹脂よりなる層との間に気体が入り込み、液体バッグ内に収容されている液体を、例えば圧力を使用して送液しようとする場合に、送液量が不正確になったり、送液応答性が悪化するおそれがある。液晶ポリエステル樹脂組成物よりなる層と熱可塑性樹脂よりなる層との密着性を高めるためには接着剤を使用すればよいが、接着剤の成分がフォトレジスト溶液に溶出するおそれがある。また、一般の熱可塑性樹脂は、耐薬品性、低溶出性および耐熱性などに劣る。以上のように、ＰＴＦＥのようなフッ素樹脂は、耐薬品性、低溶出性および耐熱性などに優れるものの、ガスバリア性に劣ると共に液晶ポリエステル樹脂組成物との密着性にも劣り、耐薬品性、低溶出性および耐熱性に優れ、かつ良好なガスバリア性を有する液体バッグの出現が望まれている。 In a liquid bag having a laminated structure having a layer made of the above-mentioned liquid crystal polyester resin composition and a layer made of a thermoplastic resin, the liquid bag made of a liquid crystal polyester resin composition and the layer made of a thermoplastic resin are inferior in adhesiveness, so that the liquid May peel during bag handling. When the layer made of the liquid crystal polyester resin composition and the layer made of the thermoplastic resin are peeled off, gas enters between the layer made of the liquid crystal polyester resin composition and the layer made of the thermoplastic resin, and the liquid bag For example, when the liquid contained in the liquid is to be fed using pressure, the liquid feeding amount may be inaccurate or the liquid feeding responsiveness may deteriorate. An adhesive may be used to increase the adhesion between the layer made of the liquid crystal polyester resin composition and the layer made of the thermoplastic resin, but the adhesive component may be eluted into the photoresist solution. Moreover, a general thermoplastic resin is inferior in chemical resistance, low elution property, heat resistance, etc. As described above, a fluororesin such as PTFE is excellent in chemical resistance, low elution property, heat resistance, and the like, but is inferior in gas barrier properties and adhesiveness with a liquid crystal polyester resin composition, and has chemical resistance, The appearance of a liquid bag having excellent low elution and heat resistance and good gas barrier properties is desired.
本発明は、上述した事情からなされたものであり、本発明の目的は、耐薬品性、低溶出性、耐熱性などに優れ、積層構造であっても積層間の密着性に優れかつガスバリア性に優れたガスバリアフィルムの製造方法、ガスバリアフィルム及び該フィルムで形成されたガスバリアバッグを提供することにある。 The present invention has been made from the above-described circumstances, and the object of the present invention is excellent in chemical resistance, low elution, heat resistance, etc., and has excellent adhesion between layers and gas barrier properties even in a laminated structure. An object of the present invention is to provide a method for producing a gas barrier film, a gas barrier film, and a gas barrier bag formed of the film.
上記目的達成のため、本発明のガスバリア性を有するフィルムの製造方法は、液晶ポリマ樹脂フィルムを表面処理し、該液晶ポリマ樹脂フィルムに接着性官能基を有するフッ素
樹脂フィルムを積層融着すると同時に、該フッ素樹脂フィルムに接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルムを積層融着することを特徴としている。また、本発明のガスバリア性を有するフィルムは、液晶ポリマ樹脂フィルムと、該液晶ポリマ樹脂フィルムに積層融着された接着性官能基を有するフッ素樹脂フィルムと、該フッ素樹脂フィルムに積層融着された接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルムとを備えたことを特徴としている。
In order to achieve the above object, the method for producing a film having gas barrier properties according to the present invention comprises surface-treating a liquid crystal polymer resin film and laminating and fusing a fluororesin film having an adhesive functional group on the liquid crystal polymer resin film, A fluororesin film having no adhesive functional group is laminated and fused to the fluororesin film. The film having gas barrier properties of the present invention was laminated and fused to a liquid crystal polymer resin film, a fluororesin film having an adhesive functional group laminated and fused to the liquid crystal polymer resin film, and the fluororesin film. And a fluororesin film having no adhesive functional group.
これにより、液晶ポリマ樹脂フィルムと接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルムとの間に、接着性官能基を有するフッ素樹脂フィルムを挟んで積層融着しているので、接着性官能基を有するフッ素樹脂フィルムにより各積層間において優れた密着性を確保することができる。さらに、接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルムにより液晶ポリマ樹脂フィルムを保護しつつ、この液晶ポリマ樹脂フィルムにより優れたガスバリア性を確保することができる。 As a result, the liquid crystal polymer resin film and the fluororesin film having no adhesive functional group are laminated and fused with the fluororesin film having the adhesive functional group interposed therebetween. The resin film can ensure excellent adhesion between the respective layers. Furthermore, while protecting a liquid crystal polymer resin film with the fluororesin film which does not have an adhesive functional group, the gas barrier property excellent in this liquid crystal polymer resin film can be ensured.
また、前記液晶ポリマ樹脂フィルムは、表面処理されていることを特徴としている。これにより、液晶ポリマ樹脂フィルムと接着性官能基を有するフッ素樹脂フィルムとの密着強度をさらに高めることができる。 Further, the liquid crystal polymer resin film is characterized by being surface-treated. Thereby, the adhesive strength of a liquid crystal polymer resin film and the fluororesin film which has an adhesive functional group can further be raised.
上記目的達成のため、本発明のガスバリアバッグは、上記ガスバリアフィルムを前記接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルムが対面するように合わせ、該合わせフィルムの外周辺同士を融着して袋状に形成したことを特徴としている。
これにより、接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルム同士は密着性に優れているため、内容物の漏れが無く、各積層間において優れた密着性を有し、かつ優れたガスバリア性を有するガスバリアバッグとすることができる。
In order to achieve the above object, the gas barrier bag of the present invention is formed in a bag shape by aligning the gas barrier film so that the fluororesin film not having the adhesive functional group faces, and fusing the outer periphery of the laminated film together. It is characterized by the formation.
As a result, since the fluororesin films having no adhesive functional group are excellent in adhesiveness, there is no leakage of the contents, excellent adhesiveness between the respective laminates, and a gas barrier having excellent gas barrier properties It can be a bag.
以下、本発明の実施形態について説明する。尚、以下に説明する実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. The embodiments described below do not limit the invention according to the claims, and all the combinations of features described in the embodiments are not necessarily essential to the solution means of the invention. Absent.
図１は、本発明の実施形態に係るガスバリアフィルムの断面構造を示す図である。このガスバリアフィルム１は、液晶ポリエステル（以下、「ＬＣＰ」という）でなるフィルム２の両面に接着性官能基を有するフッ素樹脂でなるフィルム３が積層融着され、かかる接着性官能基を有する各フッ素樹脂でなるフィルム３に接着性官能基を有しないフッ素樹脂でなるフィルム４が積層融着された多層（本例では５層）構造となっている。このようなＬＣＰフィルム２を中心に対称の積層構造とすることにより、熱変形に強く、またＬＣＰフィルム２を傷付きから保護することができる。 FIG. 1 is a diagram showing a cross-sectional structure of a gas barrier film according to an embodiment of the present invention. The gas barrier film 1 includes a film 2 made of a liquid crystal polyester (hereinafter referred to as “LCP”) and a film 3 made of a fluororesin having an adhesive functional group on both surfaces, and each fluorine having the adhesive functional group. The film 3 made of resin has a multilayer (in this example, 5 layers) structure in which a film 4 made of a fluororesin having no adhesive functional group is laminated and fused. By adopting a symmetrical laminated structure with such an LCP film 2 as the center, it is resistant to thermal deformation, and the LCP film 2 can be protected from scratches.
ＬＣＰは、ガスバリア性に優れており、熱溶融状態で液晶性を示すサーモトロピック液晶ポリマと呼ばれるポリエステルである。具体的には、芳香族ジカルボン酸と芳香族ジオールと芳香族ヒドロキシカルボン酸との組み合わせからなるもの、異種の芳香族ヒドロキシカルボン酸の組み合わせからなるもの、芳香族ジカルボン酸と核置換芳香族ジオールとの組み合わせからなるもの、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルに芳香族ヒドロキシカルボン酸を反応させて得られるもの等が挙げられる。 LCP is a polyester called a thermotropic liquid crystal polymer that has excellent gas barrier properties and exhibits liquid crystallinity in a hot melt state. Specifically, a combination of an aromatic dicarboxylic acid, an aromatic diol and an aromatic hydroxycarboxylic acid, a combination of different types of aromatic hydroxycarboxylic acids, an aromatic dicarboxylic acid and a nucleus-substituted aromatic diol, And those obtained by reacting an aromatic hydroxycarboxylic acid with a polyester such as polyethylene terephthalate.
このＬＣＰは、積層時の密着性を高めるために既知の表面処理、例えばプラズマ処理、コロナ放電、ＵＶ照射等の物理的手法や、薬品によるケミカルエッチングやプライマあるいはカップリング剤等の化学的手法が施されているが、かかる表面処理が施されていないＬＣＰであっても良い。
接着性官能基を有するフッ素樹脂は、ヒドロキシル基を含む単量体（モノマ）とヒドロキシル基を含まない単量体（モノマ）との共重合で得ることができる熱可塑性のポリマで
ある。
This LCP uses known surface treatments such as plasma treatment, corona discharge, UV irradiation, and other chemical methods such as chemical etching using chemicals, primers, or coupling agents in order to improve adhesion during lamination. Although it has been applied, it may be an LCP that has not been subjected to such surface treatment.
The fluororesin having an adhesive functional group is a thermoplastic polymer that can be obtained by copolymerization of a monomer (monomer) containing a hydroxyl group and a monomer (monomer) containing no hydroxyl group.
ヒドロキシル基を含む単量体の例を以下に示す。ただし、ヒドロキシル基を含む単量体はこれらに制限されることはなく、適用可能なその他のヒドロキシル基を含む単量体であっても良い。
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｒ−ＣＨ2−ＯＨ，
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｒ−ＣＨ2−ＯＨ，
ＣＦ2＝ＣＨ−Ｒ−ＣＨ2−ＯＨ，
ＣＦ2＝ＣＦ−Ｏ−Ｒ−ＣＨ2−ＯＨ，
ＣＨ2＝ＣＨ−Ｏ−Ｒ−ＣＨ2−ＯＨ，
ＣＦ2＝ＣＦＣＦ2−Ｏ−Ｒ−ＣＨ2−ＯＨ，
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2−Ｒ−ＣＨ2−ＯＨ，
ＣＨ2＝ＣＦＣＦ2−Ｏ−Ｒ−ＣＨ2−ＯＨ，
The example of the monomer containing a hydroxyl group is shown below. However, the monomer containing a hydroxyl group is not limited thereto, and may be another monomer containing a hydroxyl group that can be applied.
CF 2 = CF-R-CH 2 -OH,
CH 2 = CH-R-CH 2 -OH,
CF 2 = CH-R-CH 2 -OH,
CF 2 = CF-O-R -CH 2 -OH,
CH 2 = CH-O-R -CH 2 -OH,
CF 2 = CFCF 2 —O—R—CH 2 —OH,
CH 2 = CFCF 2 -R-CH 2 -OH,
CH 2 = CFCF 2 —O—R—CH 2 —OH,
なお、Ｒは、
ａ：−（ＣＸ2）l−，
ｂ：−（ＯＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2）m−，
ｃ：−（ＯＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3））m−，
ｄ：−（ＯＣＦ（ＣＦ3））n−，
ｅ：−（ＯＣＦ2ＣＦ2）n−，
の中から選択された何れか１つ又は２つ以上の組み合わせである。
また、ＸはＨ（水素）又はＦ（フッ素）であり、
ｌ：０〜４０、ｍ：０〜１０、ｎ：０〜１０である。
R is
a:-(CX 2 ) l- ,
b :-( OCF (CF 3) CF 2) m -,
c :-( OCF 2 CF (CF 3 )) m -,
d :-( OCF (CF 3)) n -,
e :-( OCF 2 CF 2) n -,
Any one or a combination of two or more selected from the above.
X is H (hydrogen) or F (fluorine);
1: 0-40, m: 0-10, n: 0-10.
ヒドロキシル基を含まない単量体の例としては、エチレン、プロピレン、テトラフロロエチレン、ヘキサフロロプロピレン、パーフロロアルキルビニルエーテル、クロロトリフロロエチレン、フッ化ビニリデン等の中から１つを選択して用いるか、又はこれらの中から２つ以上の組み合わせを選択して用いることができる。好適には、テトラフロロエチレンとパーフロロアルキルビニルエーテルの組み合わせ、すなわちテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（以下、「ＰＦＡ」という）が耐熱性の観点から優れている。 As an example of a monomer that does not contain a hydroxyl group, is one selected from ethylene, propylene, tetrafluoroethylene, hexafluoropropylene, perfluoroalkyl vinyl ether, chlorotrifluoroethylene, vinylidene fluoride, etc. Or a combination of two or more of these can be selected and used. Preferably, a combination of tetrafluoroethylene and perfluoroalkyl vinyl ether, that is, a tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (hereinafter referred to as “PFA”) is excellent from the viewpoint of heat resistance.
接着性官能基を有しないフッ素樹脂としては、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、パーフロロエチレン−ヘキサフルオロプロピレンコポリマー（ＦＥＰ）等を用いることができる。好適には、ＰＦＡが相互に融着可能である観点および液体と接した場合に、フッ素イオンや不純物などの溶出物が極めて少ない等の観点から優れている。
ＬＣＰフィルム２やフッ素樹脂フィルム３、４の成形方法としては、Ｔダイを設置した押出機から溶融したＬＣＰ及び各フッ素樹脂をそれぞれシート状に押し出して巻き取るＴダイ法、環状ダイスを設置した押出機から溶融したＬＣＰ及び各フッ素樹脂をそれぞれ円筒状に押し出して巻き取るインフレーション法等がある。また、ガスバリアフィルム１の成形方法としては、成形したＬＣＰフィルム２及びフッ素樹脂フィルム３、４を上記積層順に重ね合わせて熱間プレス加工して積層融着する方法等がある。
As the fluororesin having no adhesive functional group, PFA, PTFE, ethylene-tetrafluoroethylene copolymer (ETFE), perfluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP), or the like can be used. Preferably, it is excellent from the viewpoint that PFAs can be fused to each other and from the viewpoint that the amount of eluate such as fluorine ions and impurities is extremely small when in contact with a liquid.
The LCP film 2 and the fluororesin films 3 and 4 can be formed by a T die method in which the melted LCP and each fluororesin are extruded from a extruder provided with a T die and wound up, respectively, and an extrusion provided with an annular die. There is an inflation method in which LCP melted from the machine and each fluororesin are extruded into a cylindrical shape and wound. Further, as a method for forming the gas barrier film 1, there is a method in which the formed LCP film 2 and the fluororesin films 3 and 4 are superposed in the order of lamination and hot-pressed and laminated and bonded.
図２は、上記ガスバリアフィルム１により形成したガスバリアバッグを示す平面図である。このガスバリアバッグ１０は、内容物が封入される本体１１と、内容物を外部へ注ぐ注入口１２を備えている。このようなガスバリアバッグ１０を作製する方法としては、先ず、ガスバリアフィルム１を本体１１の大きさの矩形状に切断したものを２枚用意する。そして、２枚のガスバリアフィルム１を接着性官能基を有しないフッ素樹脂でなるフィルム４同士が対面するように合わせると共に、合わせた２枚のガスバリアフィルム１の外周
一辺に注入口１２の根元部分を差し込む。そして、合わせた２枚のガスバリアフィルム１の外周四辺同士及び２枚のガスバリアフィルム１の外周一辺と注入口１２の根元部分とを溶融シール１１ａして袋状に形成する。以上によりガスバリアバッグ１０を作製することができる。
FIG. 2 is a plan view showing a gas barrier bag formed by the gas barrier film 1. The gas barrier bag 10 includes a main body 11 in which contents are enclosed, and an inlet 12 for pouring the contents to the outside. As a method for producing such a gas barrier bag 10, first, two sheets obtained by cutting the gas barrier film 1 into a rectangular shape having the size of the main body 11 are prepared. Then, the two gas barrier films 1 are aligned so that the films 4 made of fluororesin having no adhesive functional group face each other, and the root portion of the injection port 12 is formed on one side of the outer periphery of the two gas barrier films 1 combined. Plug in. Then, the four outer peripheral sides of the two gas barrier films 1 combined and one outer peripheral side of the two gas barrier films 1 and the root portion of the inlet 12 are melt-sealed 11a to form a bag. Thus, the gas barrier bag 10 can be manufactured.
次に、以下のように実施例１〜４及び比較例１〜２の各フィルム及び各多層フィルムを作製し、それぞれのガスバリア性、密着強度について検討した。さらに、各フィルムを用いてバッグを作製し、それぞれの成形性について検討した。
[実施例１]
＜フィルムの作製＞
ＰＦＡ（ダイキン工業製、ネオフロンＰＦＡ、ＡＰ−２３０）を単軸の押出機で４００°Ｃの温度で溶融させ、その押出機先端のＴダイより溶融樹脂を押し出し、温度１２０°Ｃの冷却ロールに接触させ、引取りを行うことで厚さ５０μｍのＰＦＡフィルムを得た。
Next, each film of Examples 1-4 and Comparative Examples 1-2 and each multilayer film were produced as follows, and each gas barrier property and adhesive strength were examined. Furthermore, bags were prepared using each film, and each moldability was examined.
[Example 1]
<Production of film>
PFA (manufactured by Daikin Industries, NEOFLON PFA, AP-230) is melted at a temperature of 400 ° C with a single-screw extruder, and the molten resin is extruded from a T-die at the tip of the extruder, into a cooling roll at a temperature of 120 ° C. The PFA film having a thickness of 50 μm was obtained by contacting and pulling.
変性ＰＦＡ（ダイキン工業製、ＲＡＰ１ＲＣ（以下、「ＲＡＰ」という））を単軸の押出機で３４０°Ｃの温度で溶融させ、その押出機先端のＴダイより溶融樹脂を押し出し、温度１２０°Ｃの冷却ロールに接触させ、引取りを行うことで厚さ１２．５μｍのＲＡＰフィルムを得た。 Modified PFA (manufactured by Daikin Industries, RAP1RC (hereinafter referred to as “RAP”)) is melted at a temperature of 340 ° C. with a single-screw extruder, and the molten resin is extruded from a T-die at the tip of the extruder, and the temperature is 120 ° C. A RAP film having a thickness of 12.5 μm was obtained by bringing the film into contact with a cooling roll of No. 1 and taking it out.
＜多層フィルムの作製＞
上記で作製したＰＦＡフィルムとＲＡＰフィルムと以下に述べるＬＣＰフィルムを用い、ＰＦＡ／ＲＡＰ／ＬＣＰ／ＲＡＰ／ＰＦＡの順にレイアップし、温度２９５°Ｃ、圧力１ＭＰａ、時間５分の条件で熱間プレス加工を行い厚さ１５０μｍの多層フィルムとした。なお、ここで用いたＬＣＰフィルムは、厚さ２５μｍのＬＣＰフィルム（ジャパンゴアテックス社製、バイアック（登録商標））を真空プラズマで表面処理したものを用いた。＜バッグの作製＞
上記各多層フィルムを１００ｍｍ角のサイズに切り取り、２枚を重ね合わせてポリイミドフィルム２枚で挟み込み、幅１０ｍｍ、長さ１５０ｍｍ程度の温度制御機構付き金属製シールバーにて、バー設定温度３１５°Ｃ、圧力０．５ＭＰａ、シール時間３０秒の条件で外周三辺を溶融シールして袋状のバッグを作製した。
<Production of multilayer film>
Using the PFA film and RAP film prepared above and the LCP film described below, lay-up is performed in the order of PFA / RAP / LCP / RAP / PFA, and hot pressing is performed at a temperature of 295 ° C., a pressure of 1 MPa, and a time of 5 minutes. Processing was performed to obtain a multilayer film having a thickness of 150 μm. The LCP film used here was a surface-treated LCP film having a thickness of 25 μm (manufactured by Japan Gore-Tex Co., Ltd., BIAC (registered trademark)) with vacuum plasma. <Production of bag>
Each multilayer film is cut into a 100 mm square size, and the two sheets are overlapped and sandwiched between two polyimide films. The bar set temperature is 315 ° C. with a metal seal bar with a temperature control mechanism of 10 mm width and 150 mm length. Then, the outer peripheral three sides were melt-sealed under the conditions of a pressure of 0.5 MPa and a sealing time of 30 seconds to produce a bag-like bag.
[実施例２]
ＰＦＡフィルム厚さを２５μｍ、ＲＡＰフィルム厚さを２５μｍ、ＬＣＰフィルム厚さを５０μｍとした以外は、実施例１と同様の方法で多層フィルム及びバッグを作製した。[実施例３]
ＰＦＡフィルム厚さを１２．５μｍ、ＲＡＰフィルム厚さを１２．５μｍ、ＬＣＰフィルムを１００μｍとした以外は、実施例１と同様の方法で多層フィルム及びバッグを作製した。
[実施例４]
ＬＣＰフィルムに表面処理を行わないこと以外は、実施例１と同様の方法で多層フィルム及びバッグを作製した。
[Example 2]
A multilayer film and a bag were produced in the same manner as in Example 1 except that the PFA film thickness was 25 μm, the RAP film thickness was 25 μm, and the LCP film thickness was 50 μm. [Example 3]
A multilayer film and a bag were produced in the same manner as in Example 1 except that the PFA film thickness was 12.5 μm, the RAP film thickness was 12.5 μm, and the LCP film was 100 μm.
[Example 4]
A multilayer film and a bag were produced in the same manner as in Example 1 except that the surface treatment was not performed on the LCP film.
[比較例１]
厚さ１５０μｍのＰＴＦＥフィルム（ニチアス製）を１００ｍｍ角のサイズに切り取り、２枚のＰＴＦＥフィルム間のシール部分に厚さ２５μｍのＰＦＡフィルムを挟んで重ね合わせ、幅１０ｍｍ、長さ１５０ｍｍ程度の温度制御機構付き金属製シールバーにて、バー設定温度３２０°Ｃ、圧力０．５ＭＰａ、シール時間３０秒の条件で外周四辺を溶融シールして袋状のバッグを作製した。
[比較例２]
厚さ５０μｍのＰＦＡフィルム／表面処理した厚さ５０μｍのＬＣＰフィルム／厚さ５
０μｍのＰＦＡフィルムの構成で、実施例１と同様の方法で多層フィルム及びバッグを作製した。
[Comparative Example 1]
Cut a 150μm thick PTFE film (made by NICHIAS) into a 100mm square size and put a 25μm thick PFA film on the seal between the two PTFE films, and control the temperature about 10mm wide and 150mm long Using a metal seal bar with a mechanism, the outer peripheral four sides were melt-sealed under the conditions of a bar setting temperature of 320 ° C., a pressure of 0.5 MPa, and a sealing time of 30 seconds to produce a bag-like bag.
[Comparative Example 2]
50 μm thick PFA film / surface treated 50 μm thick LCP film / thickness 5
A multilayer film and a bag were produced in the same manner as in Example 1 with the configuration of a 0 μm PFA film.
＜ガスバリア性の評価方法＞
バッグ化する前の多層フィルムを使用しＪＩＳ Ｋ７１２６−１に準拠した差圧方法によりガスバリア性の評価を行った。ガス透過率測定装置（ＧＴＲテック（株）製、ＧＴＲ−３０ＸＡＤ２）を用い、多層フィルムを透過したガス量をガスクロマトグラフで検知し、試験面積当たりのガス透過量として求めた。試験条件は試験温度２３°Ｃ、試験差圧１ａｔｍ、試験ガスは乾燥窒素ガスとした。
＜密着強度の評価方法＞
一辺のシール部分に垂直に幅１５ｍｍにて切り出し、ＪＩＳ Ｚ０２３８ 『ヒートシール軟包装袋及び半剛性容器の試験方法』に準拠し強度を評価した。測定は引張試験機（ＮＭＢ社製、ＴＣＭ−１００）を用い、引っ張り速度３００ｍｍ／ｍｉｎで行った。
<Gas barrier property evaluation method>
Gas barrier properties were evaluated by a differential pressure method based on JIS K7126-1 using a multilayer film before making into a bag. Using a gas permeability measuring device (GTR-30XAD2 manufactured by GTR Tech Co., Ltd.), the amount of gas that permeated through the multilayer film was detected by a gas chromatograph and determined as the amount of gas per test area. The test conditions were a test temperature of 23 ° C., a test differential pressure of 1 atm, and the test gas was dry nitrogen gas.
<Evaluation method of adhesion strength>
It was cut out with a width of 15 mm perpendicular to the seal part on one side, and the strength was evaluated in accordance with JIS Z0238 “Test method for heat-sealed soft packaging bags and semi-rigid containers”. The measurement was performed using a tensile tester (manufactured by NMB, TCM-100) at a pulling speed of 300 mm / min.
図３は、実施例１〜４及び比較例１〜２の各多層フィルムのガスバリア性、密着強度の結果を示す図である。実施例１〜３は変性ＰＦＡフィルムを用いた場合であるが、ガス透過が少なく、優れたガスバリア性を有しつつ、密着強度も高い。実施例４はＬＣＰフィルムの表面処理なしの場合であるが、優れたガスバリア性を有するが、密着強度が若干低い。このことから、ＬＣＰフィルムの表面処理は行った方が好ましいといえる。比較例１は従来のＰＴＦＥフィルムの場合であり、ガス透過が多く、ガスバリア性に劣り、密着強度も低い。比較例２は変性ＰＦＡフィルムを用いなかった場合であり、優れたガスバリア性を有するが、密着強度が弱く、実用上問題がある。また、実施例１〜４及び比較例１ではバッグの成形性は良好であったが、比較例２ではＰＦＡフィルムとＬＣＰフィルムとの密着が弱く簡単に剥離してしまいバッグとして実用に適さなかった。 FIG. 3 is a diagram showing the results of gas barrier properties and adhesion strength of the multilayer films of Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2. Examples 1 to 3 are cases where a modified PFA film was used, but there was little gas permeation, excellent gas barrier properties, and high adhesion strength. Example 4 is a case where the surface treatment of the LCP film is not performed, but has excellent gas barrier properties, but the adhesion strength is slightly low. From this, it can be said that the surface treatment of the LCP film is preferably performed. Comparative Example 1 is a case of a conventional PTFE film, which has a lot of gas permeation, inferior gas barrier properties, and low adhesion strength. Comparative Example 2 is a case where a modified PFA film was not used, and although it has excellent gas barrier properties, the adhesion strength is weak and there is a problem in practical use. In Examples 1 to 4 and Comparative Example 1, the moldability of the bag was good, but in Comparative Example 2, the adhesion between the PFA film and the LCP film was weak and easily peeled off, which was not suitable for practical use as a bag. .
尚、上述した実施形態では、ガスバリアフィルム１としては、接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルム４／接着性官能基を有するフッ素樹脂フィルム３／ＬＣＰフィルム２／接着性官能基を有するフッ素樹脂フィルム３／接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルム４の５層構造としたが、ＬＣＰフィルム２／接着性官能基を有するフッ素樹脂フィルム３／接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルム４の３層構造としても同様の効果を得ることができる。
また、ガスバリアバッグ１０としては、２枚のガスバリアフィルム１を合わせて外周四辺同士を溶融シールして袋状に形成したが、１枚のガスバリアフィルム１を折り返して外周三辺同士を溶融シールして袋状に形成しても良い。
In the embodiment described above, as the gas barrier film 1, the fluororesin film 4 having no adhesive functional group / the fluororesin film 3 having an adhesive functional group / LCP film 2 / the fluororesin film having an adhesive functional group. 3 / 5-layer structure of fluororesin film 4 having no adhesive functional group, but 3 layers of LCP film 2 / fluororesin film 3 having adhesive functional group 3 / fluororesin film 4 having no adhesive functional group Similar effects can be obtained with the structure.
Further, as the gas barrier bag 10, two gas barrier films 1 are combined and melt-sealed at the four outer sides to form a bag shape, but one gas barrier film 1 is folded and the three outer sides are melt-sealed. You may form in a bag shape.
本発明に係るガスバリアバッグは、フォトレジスト溶液を封入する容器として有効であるが、インク材料、有機ＥＬ材料、液晶材料、その他ポリイミド等の樹脂材料等を封入する容器としても適用が可能である。 The gas barrier bag according to the present invention is effective as a container for enclosing a photoresist solution, but can also be applied as a container for enclosing an ink material, an organic EL material, a liquid crystal material, and other resin materials such as polyimide.
１ ガスバリアフィルム、２ ＬＣＰフィルム、３ 接着性官能基を有するフッ素樹脂フィルム、４ 接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルム、１０ ガスバリアバッグ、１
１ 本体、１２ 注入口
1 gas barrier film, 2 LCP film, 3 fluororesin film having an adhesive functional group, 4 fluororesin film not having an adhesive functional group, 10 gas barrier bag, 1
1 body, 12 inlet
Claims (4)
液晶ポリマ樹脂フィルムを表面処理し、
該液晶ポリマ樹脂フィルムに接着性官能基を有するフッ素樹脂フィルムを積層融着すると同時に、該フッ素樹脂フィルムに接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルムを積層融着することを特徴とするガスバリアフィルムの製造方法。 A method for producing a film having gas barrier properties,
Surface treatment of liquid crystal polymer resin film,
A gas barrier film characterized in that a fluororesin film having an adhesive functional group is laminated and fused to the liquid crystal polymer resin film, and at the same time, a fluororesin film having no adhesive functional group is laminated and fused to the fluororesin film. Production method.
液晶ポリマ樹脂フィルムと、
該液晶ポリマ樹脂フィルムに積層融着された接着性官能基を有するフッ素樹脂フィルムと、
該フッ素樹脂フィルムに積層融着された接着性官能基を有しないフッ素樹脂フィルムとを備えたことを特徴とするガスバリアフィルム。 A film having gas barrier properties,
A liquid crystal polymer resin film;
A fluororesin film having an adhesive functional group laminated and fused to the liquid crystal polymer resin film;
A gas barrier film comprising: a fluororesin film having no adhesive functional group laminated and fused to the fluororesin film.
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