JP2010040262A - フィラメントランプ - Google Patents

Abstract

【課題】 各々のフィラメントに独立に給電可能に連結された内部リードが接続する金属箔を封止部に備えつつも、フィラメントへの電力入力を高めたときでも、大電流を流すことが可能なフィラメントランプを提供すること。
【解決手段】 各フィラメント１２ａ、１２ｂの両端に連結された内部リード１３a、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄと、各内部リード１３a、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが一端に接続する封止部３ａ、３ｂに設けられた複数の金属箔１１a、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄと、各金属箔１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄの他端に接続する外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄとを備えるフィラメントランプにおいて、
隣り合う金属箔１１ａ、１１ｂ、（１１ｃ、１１ｄ）には、一方の表面に外部リード１４ａ、（１４ｄ）が接続され、他方の裏面に外部リード１４ｂ、（１４ｃ）が接続されることを特徴とする。
【選択図】 図２

Description

本発明は、半導体ウェハの加熱・太陽電池加熱又は液晶の加熱処理に用いられるフィラメントランプに関する。

半導体製造工程における光照射式加熱装置は、成膜、拡散、アニール等、広範囲に渡って利用されており、いずれの処理も板状の被処理物等の半導体ウェハを急速に加熱することができ、１０００℃以上にまで数秒間〜数十秒間で昇温させるものである。近年は更に高速で昇温させることが要求されてきており、ランプに投入される電力が大きくなってきている。これはスパイクアニールと呼ばれており、２００℃／秒を超える高速で昇温させ、目的温度に達したら直ちに冷却することが行われる。このスパイクアニールにより非常に薄い拡散層（シャロージャンクション）を形成させることができ、半導体素子の性能を向上させることができる。

また、加熱時、半導体ウェハの温度分布が不均一になると、半導体ウェハにスリップと呼ばれる現象、即ち、結晶転移の欠陥が発生し、不良品となるおそれがある。そこで光照射式加熱装置を用いて半導体ウェハを加熱処理する場合には、半導体ウェハの温度分布が均一になるように、加熱・高温保持・冷却する必要がある。温度分布を均一にする提案として、特開２００６−２７９００８には１本の発光管に独立に給電可能な複数のフィラメントを具備したフィラメントランプが提案されており、これにより部分的にフィラメントに入力する電力を変えることができ、高均一な温度分布になるよう調整することができる。

図６は、従来のフィラメントランプ１を示す斜視図である。
両端が端部封止部３ａ、３ｂで気密に封止された直管状の発光管２内には、コイル状のフィラメント１２ａ、１２ｂが発光管２の管軸方向に伸びるよう順次に並んで配置され、各フィラメント１２ａ、１２ｂの両端には、それぞれ給電用の内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄが連結されている。

上記の各フィラメントの内部リードは、それぞれ両端封止部に延びて、個別に金属箔を介して外部リードに電気的に接続されている。
即ち、各フィラメント１２ａ、１２ｂの一端側の内部リード１３ａ、１３ｂはそれぞれ一端側封止部３ａの金属箔１１ａ、１１ｂを介して、一端側の外部リード１４ａ、１４ｂに電気的に接続されている。
同様に、他端側の内部リード１３ｃ、１３ｄはそれぞれ他端側封止部３ｂの金属箔１１ｃ、１１ｄを介して、端側の外部リード１４ｃ、１４ｄに電気的に接続されている。
特開２００６−２７９００８公報

半導体ウェハの急速加熱にはフィラメント１２ａ、１２ｂへの電力入力を高めることが求められており、大電流を流すことが可能な構造を必要としている。また、太陽電池製造工程においても、これまで以上に大きな基板を加熱することが求められており、フィラメントランプ１の発光長を長くすることが求められ、これに伴ってフィラメント１２ａ、１２ｂが長くなり、各々のフィラメント１２ａ、１２ｂが必要とする電力も大きくなっている。

フィラメント１２ａ、１２ｂへの電力入力を高めるためには、フィラメント１２ａ、１２ｂに電力を供給する内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄや、これらに導通する外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの径を大きくし、大電流を流すことを可能にしなければならない。

しかしながら、内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄや外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは、フィラメントランプの両端に形成された２つの封止部３ａ、３ｂにおいて、金属箔１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄを介して電気的に接続される。封止部３ａ、３ｂの幅は径に依存するため、内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄや外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄは限られたスペースに配置しなければならない。

内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄや外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄがあるところでは、周囲のガラスを完全に密着させることができず、内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄや外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの周囲に空気層が存在し、未完全封止領域となっている。内部リード１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄや外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄの径が大きくなれば、未完全封止領域も大きくなってしまう。

フィラメントランプ１では、２つの封止部３ａ、３ｂの限られたスペースに金属箔１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄや外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄを配置するため、未完全封止領域が大きくなってしまうと、隣接する外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄとの絶縁が図れないことや、封止部３ａ、３ｂにおいて外部リード１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄが固定できない問題が発生する。

本発明は、上記の問題点に鑑み、各々のフィラメントに独立に給電可能に連結された内部リードが接続する金属箔を封止部に備えつつも、フィラメントへの電力入力を高めたときでも、大電流を流すことが可能なフィラメントランプを提供することを目的とする。

本願第１の発明は、両端に封止部が形成された発光管と、前記発光管の内部に管軸方向に順次並んで配設された複数のフィラメントと、各フィラメントの両端に連結された内部リードと、各内部リードが一端に接続する封止部に設けられた複数の金属箔と、各金属箔の他端に接続する外部リードとを備えるフィラメントランプにおいて、隣り合う金属箔には、一方の表面に外部リードが接続され、他方の裏面に外部リードが接続されることを特徴とする。

また、本願第２の発明は、第１の発明において、前記外部リードが接続される金属箔の面に前記内部リードが接続されることを特徴とする。

本願第１の発明によれば、隣り合う金属箔には、一方の表面に外部リードが接続され、他方の裏面に外部リードが接続されるので、隣り合うように配置される一方の外部リードの周囲に形成される未完全封止領域は、金属箔の表面に広がるように形成され、他方の外部リードの周囲に形成される未完全封止領域は、金属箔の裏面に広がるように形成される。このように互いが広がる方向が異なるので、隣り合う未完全封止領域を連結されにくくすることができる。

本願第２の発明によれば、外部リードが接続される金属箔の面に内部リードが接続されるので、隣り合う金属箔に接続する内部リードを、互いに異なる面に接続させることができる。そして、内部リードの周囲に形成される未完全封止領域が互いに異なる方向に広がるようになり、各々の未完全封止領域が連結することを防ぐことができる。

図１は、第１の実施形態のフィラメントランプ１を示す斜視図である。
フィラメントランプ１は、例えば石英ガラス等の光透過性材料からなる発光管２を備える。発光管２の両端には金属箔１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが埋設されたピンチシールにより封止部３ａ、３ｂが形成され、発光管内部が気密に封止されている。発光管２の内部には、例えばタングステンからなり、発光管２の軸方向において２つに分割されたフィラメント１２ａ、１２ｂが、同一軸上に発光管２の軸に沿って空間を隔てて配設されている。

フィラメント１２ａは、一端側に金属箔１１ａに接続された内部リード１３ａが電気的に接続され、他端側に金属箔１１ｄに接続された内部リード１３ｄが電気的に接続されている。
フィラメント１２ｂは、フィラメント１２ａと同様にして、一端側に金属箔１１ｃに接続された内部リード１３ｃが電気的に接続され、他端側に金属箔１１ｂに接続された内部リード１３ｂが電気的に接続されている。

ピンチシールされた封止部３ａに、フィラメント１２ａに連結される内部リード１３ａを接続する金属箔１１ａと、フィラメント１２ｂに連結される内部リード１３ｂを接続する金属箔１１ｂとが、横に並列して埋設されている。封止部３ｂに、フィラメント１２ｂに連結される内部リード１３ｃを接続する金属箔１１ｃと、フィラメント１２ａに連結される内部リード１３ｄを接続する金属箔１１ｄとが、横に並列して埋設されている。

さらに、封止部３ａ側の金属箔１１ａ、１１ｂには、それぞれ封止部３ａから外部に導出する外部リード１４ａ、１４ｂが電気的に接続され、封止部３ｂ側の金属箔１１ｃ、１１ｄにも同様にして、それぞれ外部リード１４ｃ、１４ｄが電気的に接続されている。これにより、フィラメント１２ａは外部リード１４ａ、１４ｄに電気的に接続され、フィラメント１２ｂは外部リード１４ｂ、１４ｃに電気的に接続される。

図２は、第１の実施形態のフィラメントランプにおける封止部３ａの拡大斜視図である。
封止部３ａは、発光管２を加熱しながら潰して、ガラスとガラスを加熱溶着させて気密に封止している。また、ガラスは絶縁部材のため、金属箔１１ａ、１１ｂの周囲をガラスで溶着させることによって、隣に配置される金属箔１１ｂ、１１ａと絶縁し、独立に給電することができる。

半導体ウェハや太陽電池の加熱に用いられるフィラメントランプは、各々のフィラメントに流す電流が大きいので、金属箔１１ａ、１１ｂに流れる電流も大きい。封止部３ａを気密に封止して外部との絶縁を図るために、金属箔１１ａ、１１ｂは、封止部３ａの縁からの離間距離Ｅを１．５ｍｍ以上に保つように配置される。また、金属箔１１ａと金属箔１１ｂとの絶縁も図るために、互いの離間距離Ｄを１．０ｍｍ以上に保つように配置される。

また、フィラメントに電力を供給する内部リード１３ａ、１３ｂや、これらに導通する外部リード１４ａ、１４ｂの径は、φ０．６〜１．５ｍｍとなっている。内部リード１３ａ、１３ｂや外部リード１４ａ、１４ｂに流れる電流が大きくても耐え得るように太くして、フィラメントに大電流を流すことを可能にしている。

上記するように金属箔１１ａ、１１ｂは封止部３ａの限られたスペースに配設されるため、金属箔１１ａ、１１ｂの箔幅Ｆ_１、Ｆ_２が２〜４ｍｍとなる比較的箔幅Ｆ_１、Ｆ_２の小さいものが用いられるのに対し、内部リード１３ａ、１３ｂや外部リード１４ａ、１４ｂは大電流を流せるように径が比較的大きいものが用いられる。したがって、封止部３ａに複数の金属箔１１ａ、１１ｂが配設され、フィラメントに大電力が供給しなければならないフィラメントランプでは、箔幅Ｆ_１、Ｆ_２の狭い金属箔１１ａ、１１ｂに、径が大きい内部リード１３ａ、１３ｂと外部リード１４ａ、１４ｂとが接続される。

図３は、図２に示す封止部３ａのＡ−Ａ´断面図である。
金属箔１１ａの裏面に外部リード１４ａが接続され、金属箔１１ｂの表面に外部リード１４ｂが接続されている。つまり、隣り合う金属箔１１ａ、１１ｂには、一方の金属箔１１ｂの表面に外部リード１４ｂが接続され、他方の金属箔１１ａの裏面に外部リード１４ａが接続されている。外部リード１４ａ、１４ｂが接続する金属箔１１ａ、１１ｂに、ピンチシールによってガラスを密着させることによって封止部３ａが形成されている。

しかし、外部リード１４ａ、１４ｂがあるところでは、周囲のガラスを密着させることができず、外部リード１４ａ、１４ｂの周囲に空気層が存在し、未完全封止領域１５ａ、１５ｂが形成されている。未完全封止領域１５ａ、１５ｂは、金属箔１１ａ、１１ｂを底辺とし、外部リード１４ａ、１４ｂの外周を結ぶ断面略台形状に形成される。未完全封止領域１５ａ、１５ｂの横幅が最も大きくなるのは、金属箔１１ａ、１１ｂと接する面であり、未完全封止領域１５ａ、１５ｂの最大幅Ｇ_１、Ｇ_２を有する。未完全封止領域１５ａ、１５ｂの最大幅Ｇ_１、Ｇ_２の大きさは、発光管２のガラスの肉厚をｔ、外部リード１４ａ、１４ｂの径をＲとしたとき、だいたい２×（Ｒ＋ｔ）と表すことができる。

金属箔１１ａ、１１ｂの箔幅Ｆ_１、Ｆ_２は２〜４ｍｍしかないのに、外部リード１４ａ、１４ｂの径がφ０．６〜１．５ｍｍあり、さらに、発光管２のガラスの肉厚ｔが１．０ｍｍのときは、未完全封止領域１５ａ、１５ｂの最大幅Ｇ_１、Ｇ_２が３．２〜５．０ｍｍとなるので、金属箔１１ａ、１１ｂと外部リード１４ａ、１４ｂとが接続する面において、外部リード１４ａ、１４ｂの軸を中心として両側に形成される未完全封止領域１５ａ、１５ｂの幅Ｇ_１、Ｇ_２は、金属箔１１ａ、１１ｂの箔幅Ｆ_１、Ｆ_２より大きくなる。

すなわち、金属箔１１ａ、１１ｂの外部リード１４ａ、１４ｂが接続する箇所では、金属箔１１ａ、１１ｂの周りにガラスが密着しておらず、電気的絶縁が図りにくい状態になっている。特に、外部リード１４ａ、１４ｂが形成する未完全封止領域１５ａ、１５ｂは、発光管に封入される不活性ガスなどと異なり、フィラメントランプが配置される周囲と同じガス状態になるため、太陽電池加熱のように真空状態にされた装置内にフィラメントランプが配置される場合、沿面放電が発生しやすくなる。このような状態で隣り合う外部リード１４ａ、１４ｂが形成する未完全封止領域１５ａ、１５ｂが連結すると、金属箔１４ａと金属箔１４ｂとの間で放電し、それぞれが電気的に接続するフィラメントに独立給電することができなくなる。

封止部３ａはピンチシールによって封止されるが、ガラス自体に粘性があるため、隣り合う外部リード１４ａ、１４ｂが形成する未完全封止領域１５ａ、１５ｂは連結されやすい。例えば、このような金属箔と外部リードが密に配置される封止部において、隣り合う金属箔の両方ともに、外部リードを表面に接続した場合、それぞれの未完全封止領域の端と端が繋がって連結し、両方に引っ張られて未完全封止領域が膨らんで、隣り合う金属箔の間が浮いて絶縁が図れない状態になってしまう。

そこで、隣り合う金属箔１１ａ、１１ｂには、一方の金属箔１１ｂの表面に外部リード１４ｂが接続され、他方の金属箔１１ａの裏面に外部リード１４ａが接続されている。隣り合うように配置される一方の外部リード１４ａの周囲に形成される未完全封止領域１５ａは、金属箔１１ａの裏面に広がるように形成され、他方の外部リード１４ｂの周囲に形成される未完全封止領域１５ｂは、金属箔１１ｂの表面に広がるように形成される。このように互いが広がる方向が異なるので、隣り合う未完全封止領域１５ａと未完全封止領域１５ｂとが連結されにくくすることができる。

なお、図２に示すように、内部リード１３ａは、外部リード１４ａが接続している金属箔１１ａの裏面に接続され、内部リード１３ｂは、外部リード１４ｂが接続している金属箔１１ｂの表面に接続されている。内部リード１３ａ、１３ｂの周囲に形成される未完全封止領域には、不活性ガスが多く含まれる発光管の内部と同じガス空間となるので、大気と同じ空気層となる外部リード１４ａ、１４ｂの周囲に形成される未完全封止領域１５ａ、１５ｂに比べて沿面放電が発生しにくい。

しかし、外部リード１４ａ、１４ｂが接続される金属箔１１ａ、１１ｂの面に内部リード１３ａ、１３ｂを接続することによって、隣り合う金属箔１１ａ、１１ｂに接続する内部リード１３ａ、１３ｂを、互いに異なる面に接続させることになる。そして、内部リード１３ａ、１３ｂの周囲に形成される未完全封止領域が互いに異なる方向に広がるようになり、各々の未完全封止領域が連結することを防ぐことができる。

図４は、第２の実施形態のフィラメントランプ１を示す斜視図である。
発光管２内には、３つのフィラメント２４、２５、２６が管軸方向に並んで配置されている。各封止部３ａ、３ｂの直近に配置された２つのフィラメント２４、２６の両端にそれぞれ連結された内部リード２４ａ、２４ｂ、２６ａ、２６ｂが、フィラメント２４、２６の直近の同一封止部方向に延在して、該封止部３ａ、３ｂで保持されるとともに、２つのフィラメント２４、２６の間に配置されたフィラメント２５の両端に連結された内部リード２５ａ、２５ｂが、発光管２の軸方向において互いに異なる方向に延在して両端の各封止部３ａ、３ｂで保持されている。

詳細には、一端部の封止部３ａに直近するフィラメント２４の内部リード２４ａ、２４ｂは、封止部３ａから延在してそれぞれフィラメント２４の端部に接続されている。これら内部リード２４ａ、２４ｂは共に、同一の封止部３ａにおいて金属箔２１ａ、２１ｂと接続するように保持されている。

一方、中央部に位置するフィラメント２５の内部リード２５ａ、２５ｂはそれぞれ両端の封止部３ａ、３ｂ方向に延在し、当該封止部３ａ、３ｂで金属箔２２ａ、２２ｂと接続するように保持されている。
他端側の封止部３ｂに直近するフィラメント２６に関しても、上記フィラメント２４と同様に、その内部リード２６ａ、２６ｂは他端部の封止部３ｂ内で金属箔２３ａ、２３ｂと接続するように保持されている。

金属箔２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂには、それぞれ外部リード２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂが接続されている。

また、発光管２の内部の封止部３ａ、３ｂ近傍には、ガラスブリッジ３６が設けられている。該ガラスブリッジ３６は、一対の円柱状ガラス部材からなり、その間にそれぞれ内部リード２４ａ、２４ｂ、２５ａ、内部リード２５ｂ、２６ａ、２６ｂが狭持される。

上記のような構成とすることにより、中央部のフィラメント２５の近傍には内部リードが延在することがなく、被処理体の直上に位置するフィラメント２５からの照射光が内部リードによって遮られることがなく、均一照射が達成される。

このような第２の実施形態のフィラメントランプ１においても、一方の封止部３ａにおいて、隣り合う金属箔２１ａ、２１ｂ、２２ａには、中央に配置される金属箔２１ａの表面に外部リード２７ａが接続され、両端に配置される金属箔２１ｂ、２２ａの裏面に外部リード２７ｂ、２８ａが接続されている。また、他方の封止部３ｂにおいて、隣り合う金属箔２２ｂ、２３ａ、２３ｂには、中央に配置される金属箔２３ａの裏面に外部リード２９ａが接続され、両端に配置される金属箔２２ｂ、２３ｂの表面に外部リード２８ｂ、２９ｂが接続されている。すなわち、隣り合う金属箔２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂに接続する外部リード２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂを、互いに異なる面に接続させている。

封止部３ａにおいて、隣り合うように配置される一方の外部リード２７ａの周囲に形成される未完全封止領域は、金属箔２１ａの表面に広がるように形成され、他方の外部リード２７ｂ、２８ａの周囲に形成される未完全封止領域は、金属箔２１ｂ、２２ａの裏面に広がるように形成される。また、封止部３ｂにおいて、隣り合うように配置される一方の外部リード２９ａの周囲に形成される未完全封止領域は、金属箔２３ａの裏面に広がるように形成され、他方の外部リード２８ｂ、２９ｂの周囲に形成される未完全封止領域は、金属箔２２ｂ、２３ｂの表面に広がるように形成される。このように隣り合う未完全封止領域の広がる方向が互いに異なるので、未完全封止領域同士が連結されにくくなる。

また、外部リード２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂが接続される金属箔２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂの面に内部リード２４ａ、２４ｂ、２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂを接続させている。このようにして、隣り合う金属箔２１ａ、２１ｂ、２２ａ、（２２ｂ、２３ａ、２３ｂ）に接続する内部リード２４ａ、２４ｂ、２５ａ、（２５ｂ、２６ａ、２６ｂ）を、互いに異なる面に接続させることができる。そして、内部リード２４ａ、２４ｂ、２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの周囲に形成される未完全封止領域が互いに異なる方向に広がるようになり、各々の未完全封止領域が連結することを防ぐことができる。

なお、本発明の金属箔２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂに対する外部リード２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂの接続方法や、内部リード２４ａ、２４ｂ、２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの接続方法は、フィラメントランプ１の封止部３ａ、３ｂに配置される構成であるので、発光管１の内部の構造によらず適用することができる。

図５は、第３の実施形態のフィラメントランプの一方の封止部３ａを示す斜視図である。
第１の実施形態に示すフィラメントランプも、第２の実施形態に示すフィラメントランプも、封止部３ａ、３ｂがピンチシールされたものであるが、第３の実施形態に示すようにピンチシールに替えてシュリンクシールにしたフィラメントランプに対しても本発明の金属箔の内部リードと外部リードとの接続構成を適用することができる。

石英ガラスからなる円柱状のガラス体４２の外周面に、一方の端面から外周面上に概ね等間隔に長尺状の溝４５が複数形成されており、他方の端面も同様に形成されている。ガラス体４２の外周面の中央に金属箔４１ａ、４１ｂ、４１ｃが軸方向に並列に複数配置されている。金属箔４１ｂの裏面に外部リード４４ｂと内部リード４３ｂが接続され、その両隣に配置される金属箔４１ａ、４１ｃには、その表面に外部リード４４ａ、４４ｃと内部リード４３ａ、４３ｃとが接続される。

金属箔４１ｂの裏面に接続される外部リード４４ｂと内部リード４３ｂとは、ガラス体４２に形成された溝４５の内部に配設されているため、金属箔４１ｂの裏面に外部リード４４ｂと内部リード４３ｂとを配設しても、金属箔４１ｂをガラス体４２の外表面に滑らかに配置することができる。ガラス体４２に図示しない発光管を加熱収縮してシュリンクシールすることにより、気密に封止することができる。

シュリンクシールでは、金属箔４１ａ、４１ｂ、４１ｃをガラス体４２の外周面に配置するため、発光管の径と同等の幅しかないピンチシールに配置するときよりも、金属箔４１ａ、４１ｂ、４１ｃを配置するスペースの余裕ができる。さらに、隣り合う金属箔４１ａ、４１ｂ、４１ｃに接続する外部リード４４ａ、４４ｂ、４４ｃを、互いに異なる面に接続させているので、外部リード４４ａ、４４ｂ、４４ｃの周囲に形成される未完全封止領域は互いに広がる方向が異なり、隣り合う未完全封止領域が連結されにくくすることができる。

また、外部リード４４ａ、４４ｂ、４４ｃが接続される金属箔４１ａ、４１ｂ、４１ｃの面に内部リード４３ａ、４３ｂ、４３ｃを接続しているので、隣り合う金属箔４１ａ、４１ｂ、４１ｃに接続する内部リード４３ａ、４３ｂ、４３ｃを、互いに異なる面に接続させることができる。そして、内部リード４３ａ、４３ｂ、４３ｃの周囲に形成される未完全封止領域が互いに異なる方向に広がるようになり、各々の未完全封止領域が連結することを防ぐことができる。

このような構成により、シュリンクシールにより金属箔４１ａ、４１ｂ、４１ｃを配置するスペースを広げ、金属箔４１ａ、４１ｂ、４１ｃが接続する外部リード４４ａ、４４ｂ、４４ｃや内部リード４３ａ、４３ｂ、４３ｃを、互いに異なる面に接続させることによって、互いの経路を絶縁してフィラメントに独立給電することができる。特に、多数の独立給電されるフィラメントを有するフィラメントランプにおいて、配置すべき金属箔４１ａ、４１ｂ、４１ｃが増えた場合でも、各々の経路の絶縁を図りつつ、２つの封止部に配置することが可能になる。

本発明のフィラメントランプを示す斜視図 本発明のフィラメントランプにおける封止部の拡大斜視図 本発明のフィラメントランプにおける金属箔の拡大斜視図 本発明のフィラメントランプを示す斜視図 本発明のフィラメントランプの一方の封止部を示す斜視図 従来のフィラメントランプを示す斜視図である。

符号の説明

１ フィラメントランプ
２ 発光管
３ａ、３ｂ 封止部
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ 金属箔
１２ａ、１２ｂ フィラメント
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ 内部リード
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ 外部リード
２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ、２３ａ、２３ｂ 金属箔
２４、２５、２６ フィラメント
２４ａ、２４ｂ 内部リード
２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ、２９ａ、２９ｂ 外部リード
４１ａ、４１ｂ、４１ｃ 金属箔
４２ ガラス体
４３ａ、４３ｂ、４３ｃ 内部リード
４４ａ、４４ｂ、４４ｃ 外部リード

Claims (2)

1. 両端に封止部が形成された発光管と、前記発光管の内部に管軸方向に順次並んで配設された複数のフィラメントと、各フィラメントの両端に連結された内部リードと、各内部リードが一端に接続する封止部に設けられた複数の金属箔と、各金属箔の他端に接続する外部リードとを備えるフィラメントランプにおいて、
   隣り合う金属箔には、一方の表面に外部リードが接続され、他方の裏面に外部リードが接続されることを特徴とするフィラメントランプ。
2. 前記外部リードが接続される金属箔の面に前記内部リードが接続されることを特徴とする請求項１に記載のフィラメントランプ。

Images