JP2010031363A5 - 堆積膜成形装置および電子写真感光体の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、被処理基体上に堆積膜を形成するための堆積膜形成装置および堆積膜を形成して電子写真感光体を製造する方法に関するものである。本発明は、特にプラズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法によって堆積膜を形成する堆積膜形成装置に関する。

上述した目的を達成するため、本発明に係る堆積膜形成装置は、減圧可能な反応容器と、前記反応容器の内部に配置されており前記反応容器と電気的に接続されている、前記反応容器の内部に設置される基体ホルダの長手方向の一端側を保持するための基体ホルダ保持手段とを有する堆積膜形成装置であって、前記反応容器の内部に導入された堆積膜形成用の原料ガスを励起させることで励起種を生成し、前記基体ホルダ保持手段に保持された基体ホルダに装着された基体上に堆積膜を形成するための堆積膜形成装置において、
前記反応容器が、導電性棒状体を備え、前記導電性棒状体が、前記基体ホルダ保持手段に保持された前記基体ホルダの長手方向に移動または伸縮して、前記基体ホルダの長手方向の一端側とは逆側となる前記基体ホルダの長手方向の他端側に位置する前記反応容器に電気的に接続しうることを特徴とする。

更に、前記導電性棒状体が、前記基体ホルダ保持手段に保持された前記基体ホルダの長手方向に移動または伸縮して、前記基体ホルダの長手方向の他端側にも電気的に接続しうる。または、前記導電性棒状体が、前記基体ホルダ保持手段に保持された前記基体ホルダの長手方向の他端側に電気的に接続された状態で、前記基体ホルダの長手方向に移動または伸縮しうる。

Claims (10)

1. 減圧可能な反応容器と、前記反応容器の内部に配置されており前記反応容器と電気的に接続されている、前記反応容器の内部に設置される基体ホルダの長手方向の一端側を保持するための基体ホルダ保持手段とを有する堆積膜形成装置であって、前記反応容器の内部に導入された堆積膜形成用の原料ガスを励起させることで励起種を生成し、前記基体ホルダ保持手段に保持された基体ホルダに装着された基体上に堆積膜を形成するための堆積膜形成装置において、
   前記反応容器が、導電性棒状体を備え、
   前記導電性棒状体が、前記基体ホルダ保持手段に保持された前記基体ホルダの長手方向に移動または伸縮して、前記基体ホルダの長手方向の一端側とは逆側となる前記基体ホルダの長手方向の他端側に位置する前記反応容器に電気的に接続しうることを特徴とする堆積膜形成装置。
2. 前記導電性棒状体が、前記基体ホルダ保持手段に保持された前記基体ホルダの長手方向に移動または伸縮して、前記基体ホルダの長手方向の他端側にも電気的に接続しうる請求項１に記載の堆積膜形成装置。
3. 前記導電性棒状体が、前記基体ホルダ保持手段に保持された前記基体ホルダの長手方向の他端側に電気的に接続された状態で、前記基体ホルダの長手方向に移動または伸縮しうる請求項１に記載の堆積膜形成装置。
4. 前記堆積膜形成装置が、前記基体ホルダ保持手段に保持された前記基体ホルダの長手方向に前記導電性棒状体を移動または伸縮させる手段を更に有する請求項１〜３のいずれか１項に記載の堆積膜形成装置。
5. 前記導電性棒状体が、前記基体ホルダ保持手段が配置されている側から、前記基体ホルダ保持手段に保持された前記基体ホルダの内部を貫通しうる請求項１〜４のいずれか１項に記載の堆積膜形成装置。
6. 前記反応容器が、前記基体ホルダの長手方向の他端側に、前記反応容器の内部と外部とを連通させるための開閉部を有する請求項１乃至５のいずれか１項に記載の堆積膜形成装置。
7. 前記基体ホルダ保持手段に保持される前記基体ホルダに装着される前記基体が、円筒状基体である請求項１乃至６のいずれか１項に記載の堆積膜形成装置。
8. 前記堆積膜形成装置が、前記基体ホルダを回転させるための回転手段を更に有し、前記導電性棒状体と前記基体ホルダの長手方向の他端側とが、導電性の摺動体を介して接触しうる請求項１乃至７のいずれか１項に記載の堆積膜形成装置。
9. 前記摺動体が、ベアリングまたは固体潤滑材で構成されている請求項８に記載の堆積膜形成装置。
10. 基体上に堆積膜を形成して電子写真感光体を製造する方法において、
    請求項１〜９のいずれか１項に記載の堆積膜形成装置を用いて前記基体上に前記堆積膜を形成することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。