JP2010025808A - 結露量の制御可能な環境試験装置およびその結露量制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】環境試験装置100は調節器5を有している。この調節器5は、結露量センサ9のセンサ部温度を検出する第1温度センサ92と冷却加熱プレート4に内蔵された第2温度センサ13との間の測定温度差の変化率が所定値に達したら、結露量センサ9の結露量設定値を所定値まで下げる。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る環境試験装置100のブロック図である。図2は、図1に示す結露量センサ9の詳細図である。
次に、試験室1内の温湿度の制御について説明する。調節器5は、温湿度の設定値および乾球11・湿球12からの信号に基づき、温湿度発生器3を制御して空調室2内で空気の温湿度を調整する。そして、空調室2内の空気は、送風機14が作動することにより、試験室1内に供給される。その後、試験室1の空気は空調室2に戻される。このようにして温湿度の伝達媒体である空気が循環することにより、試験室1内の温湿度が設定温湿度に維持される。例えば試験室1内の温湿度を、25℃50%RHに制御する。
次に、被試験物W表面の結露量の制御について説明する。なお、本実施形態においては、単位面積当たりの結露質量([μg/mm2])を制御している。例えば、3μg/mm2、5μg/mm2、10μg/mm2、というように被試験物W表面の結露量を設定し、その結露量(結露状態)が設定値±0.2μg/mm2を維持するように、調節器5は、冷却加熱プレート4を制御する。実際の被試験物W表面の結露量[μg/mm2]と、結露量センサ9の信号との関係は、マイクロスコープによる画像観察(画像処理)などにより予めもとめ、記憶部53に入力しておく。そして、結露量センサ9と被試験物W(伝熱シート10を介した被試験物W)との間の密着性が悪化していない状態(正常時)のときは、調節器5は、結露量の設定値および結露量センサ9からの信号に基づき、結露量センサ9による結露量測定値が、その設定値±0.2μg/mm2となるように、冷却加熱プレート4の温度をPID制御する。なお、冷却加熱プレート4の温度制御はPID制御に限られるものではない。
2:空調室
3:温湿度発生器(空調手段)
4:冷却加熱プレート(冷却加熱器)
5:調節器(制御手段)
8:固定治具(固定手段)
9:結露量センサ
13:第2温度センサ
92:第1温度センサ
100:環境試験装置
W:被試験物
Claims (5)
- 被試験物が入れられる試験室と、
前記試験室内の空気を所定の温湿度に調節する空調手段と、
前記試験室内に収容されるとともに前記被試験物が上面に配置され、当該被試験物を冷却加熱する冷却加熱器と、
前記被試験物の上に載置される結露量センサと、
少なくとも前記結露量センサからの信号に基づき前記冷却加熱器を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記結露量センサのセンサ部温度を検出する第1温度センサと前記冷却加熱器に内蔵された第2温度センサとの間の測定温度差の変化率または当該測定温度差が所定値に達したら、前記結露量センサの結露量設定値を所定値まで下げることを特徴とする、環境試験装置。 - 前記制御手段は、前記測定温度差の変化率の大きさに応じ、前記結露量センサの結露量設定値から下げる所定値を選択することを特徴とする、請求項1に記載の環境試験装置。
- 前記被試験物を前記冷却加熱器に対して押圧して固定する固定手段を備えていることを特徴とする、請求項1または2に記載の環境試験装置。
- 被試験物が入れられる試験室と、
前記試験室内の空気を所定の温湿度に調節する空調手段と、
前記試験室内に収容されるとともに前記被試験物が上面に配置され、当該被試験物を冷却加熱する冷却加熱器と、
前記被試験物の上に載置される結露量センサと、
少なくとも前記結露量センサからの信号に基づき前記冷却加熱器を制御する制御手段と、を具備する環境試験装置の結露量制御方法であって、
前記結露量センサのセンサ部温度を検出する第1温度センサと前記冷却加熱器に内蔵された第2温度センサとの間の温度差を測定するセンサ密着度検出工程と、
測定された前記温度差の変化率または当該温度差が所定値に達したら、前記結露量センサの結露量設定値を所定値まで下げる結露量設定値変更工程と、
を備えていることを特徴とする、環境試験装置の結露量制御方法。 - 前記冷却加熱器制御工程において、測定された前記温度差の変化率の大きさに応じ、前記結露量センサの結露量設定値から下げる所定値を選択することを特徴とする、請求項4に記載の環境試験装置の結露量制御方法。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
JP2011247751A (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-08 | Suga Test Instr Co Ltd | 腐食試験機 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56155351U (ja) * | 1980-04-22 | 1981-11-19 | ||
JPS63243857A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-11 | Nok Corp | 温度センサ内蔵型感湿素子 |
JPH0727694A (ja) * | 1993-07-09 | 1995-01-31 | Suga Test Instr Co Ltd | 耐候性試験装置 |
JPH07104262B2 (ja) * | 1987-01-30 | 1995-11-13 | タバイエスペツク株式会社 | 結露試験器 |
JPH09301129A (ja) * | 1996-05-13 | 1997-11-25 | Mitsuba Corp | 結露検出装置及びこれを用いた結露防止装置 |
US5692557A (en) * | 1995-03-09 | 1997-12-02 | Framatome | U-tube heat exchanger, equipped with a tube antivibration stabilizing system and a hold-down system |
JPH1078387A (ja) * | 1996-09-03 | 1998-03-24 | Tabai Espec Corp | 結露制御式環境試験装置 |
JPH11142469A (ja) * | 1997-11-05 | 1999-05-28 | Nec Corp | 低高温電気特性測定方法および装置 |
JP2001281294A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-10-10 | Nec Corp | デバイス温度特性測定装置 |
JP2003296987A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-17 | Victor Co Of Japan Ltd | 結露検出装置 |
JP2004308999A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Toto Ltd | 防露換気装置 |
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Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56155351U (ja) * | 1980-04-22 | 1981-11-19 | ||
JPH07104262B2 (ja) * | 1987-01-30 | 1995-11-13 | タバイエスペツク株式会社 | 結露試験器 |
JPS63243857A (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-11 | Nok Corp | 温度センサ内蔵型感湿素子 |
JPH0727694A (ja) * | 1993-07-09 | 1995-01-31 | Suga Test Instr Co Ltd | 耐候性試験装置 |
US5692557A (en) * | 1995-03-09 | 1997-12-02 | Framatome | U-tube heat exchanger, equipped with a tube antivibration stabilizing system and a hold-down system |
JPH09301129A (ja) * | 1996-05-13 | 1997-11-25 | Mitsuba Corp | 結露検出装置及びこれを用いた結露防止装置 |
JPH1078387A (ja) * | 1996-09-03 | 1998-03-24 | Tabai Espec Corp | 結露制御式環境試験装置 |
JPH11142469A (ja) * | 1997-11-05 | 1999-05-28 | Nec Corp | 低高温電気特性測定方法および装置 |
JP2001281294A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-10-10 | Nec Corp | デバイス温度特性測定装置 |
JP2003296987A (ja) * | 2002-04-03 | 2003-10-17 | Victor Co Of Japan Ltd | 結露検出装置 |
JP2004308999A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Toto Ltd | 防露換気装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011247751A (ja) * | 2010-05-27 | 2011-12-08 | Suga Test Instr Co Ltd | 腐食試験機 |
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