JP2010018504A5 - - Google Patents
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Description
本発明は、主として、（ａ）次世代トランジスタデバイスのチャネル面、（ｂ）自己組織化ナノ構造（量子細線、量子ドット）作製のテンプレート、（ｃ）不斉分子の不斉合成反応の不均一触媒等に利用可能な、Ｓｉ（１１０）表面の一次元ナノ構造及びその製造方法に関するものである。
本明細書、特許請求の範囲及び要約書において、「＜１−１２＞」及び「＜−１１２＞」とはそれぞれ原子配列方向
をそれぞれ意味する。
本明細書、特許請求の範囲及び要約書において、「＜１−１２＞」及び「＜−１１２＞」とはそれぞれ原子配列方向
をそれぞれ意味する。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008182426A JP2010018504A (ja) | 2008-07-14 | 2008-07-14 | Ｓｉ（１１０）表面の一次元ナノ構造及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2008182426A JP2010018504A (ja) | 2008-07-14 | 2008-07-14 | Ｓｉ（１１０）表面の一次元ナノ構造及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2010018504A JP2010018504A (ja) | 2010-01-28 |
| JP2010018504A5 true JP2010018504A5 (ja) | 2011-04-07 |
Family
ID=41703780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2008182426A Pending JP2010018504A (ja) | 2008-07-14 | 2008-07-14 | Ｓｉ（１１０）表面の一次元ナノ構造及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2010018504A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003115587A (ja) * | 2001-10-03 | 2003-04-18 | Tadahiro Omi | ＜１１０＞方位のシリコン表面上に形成された半導体装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2789301B2 (ja) * | 1994-07-21 | 1998-08-20 | 住友シチックス株式会社 | 半導体基板とその製造方法 |
| JP2710275B2 (ja) * | 1995-09-28 | 1998-02-10 | 工業技術院長 | 結晶基板の表面平坦化方法 |
| JP2003115587A (ja) * | 2001-10-03 | 2003-04-18 | Tadahiro Omi | ＜１１０＞方位のシリコン表面上に形成された半導体装置およびその製造方法 |
| JP4190906B2 (ja) * | 2003-02-07 | 2008-12-03 | 信越半導体株式会社 | シリコン半導体基板及びその製造方法 |
| JP3985044B2 (ja) * | 2003-11-07 | 2007-10-03 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 単結晶珪素ナノチューブとその製造方法 |
| JP4714889B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2011-06-29 | 国立大学法人 香川大学 | シリコン角柱およびその製造法 |
-
2008
- 2008-07-14 JP JP2008182426A patent/JP2010018504A/ja active Pending
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