JP2010016184A - シリコンウェーハ裏面の突起検査方法およびシリコンウェーハの製造方法 - Google Patents
シリコンウェーハ裏面の突起検査方法およびシリコンウェーハの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010016184A JP2010016184A JP2008174785A JP2008174785A JP2010016184A JP 2010016184 A JP2010016184 A JP 2010016184A JP 2008174785 A JP2008174785 A JP 2008174785A JP 2008174785 A JP2008174785 A JP 2008174785A JP 2010016184 A JP2010016184 A JP 2010016184A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon wafer
- back surface
- protrusion
- wafer
- cell
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【課題】シリコンウェーハ裏面生じた突起を容易かつ高精度に判別できるシリコンウェーハ裏面の突起検査方法およびこれを用いたシリコンウェーハの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンウェーハWの裏面に生じた突起を検査する方法であって、シリコンウェーハ裏面を所定の半径幅ごとおよび所定の中心角範囲ごとに区切ることによって、シリコンウェーハ裏面を複数のセルCeの集合体として仮想分割する準備ステップと、セルCeごとに、光照射により形成される干渉縞をもとに前記突起の有無を判別する評価ステップと、を含むことを特徴とする。
【選択図】図3
【解決手段】シリコンウェーハWの裏面に生じた突起を検査する方法であって、シリコンウェーハ裏面を所定の半径幅ごとおよび所定の中心角範囲ごとに区切ることによって、シリコンウェーハ裏面を複数のセルCeの集合体として仮想分割する準備ステップと、セルCeごとに、光照射により形成される干渉縞をもとに前記突起の有無を判別する評価ステップと、を含むことを特徴とする。
【選択図】図3
Description
本発明は、シリコンウェーハの裏面に生じる突起を判別する突起検査方法およびこの突起検査方法を使用したシリコンウェーハの製造方法に関するものである。
シリコンウェーハにイオン注入するイオンインプラ装置には、ウェーハのエッジおよび裏面にピン等の支持体を当接させてウェーハを支持する構成のものがある。このような構成のイオンインプラ装置によって、シリコンウェーハにイオン注入すると、上記支持体に当接していたウェーハ裏面部分に多数の突起を生じることがある。
上記ウェーハ裏面に生じる突起の有無については、従来は目視によって検査していた。しかしながら、目視検査では、突起であるのか、凹みであるのかを判別することが困難であった。ウェーハ裏面に突起があると、ウェーハの平坦度を悪くする要因となり、フォトリソ,ドライエッチング,CVD等においてシリコンウェーハをステージ等にチャッキングすることができないことがある(例えば特許文献1参照)。しかし、凹みについては、チャッキングすることができないことの要因にはなり難い。このため、凹みを除いて突起のみを容易に判別可能な検査方法(評価方法)の要望が高まっている。
特開2007−220974号公報
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、シリコンウェーハ裏面に生じた突起を容易かつ高精度に判別できるシリコンウェーハ裏面の突起検査方法およびこの突起検査方法を用いたシリコンウェーハの製造方法を提供するものである。特に、ウェーハエッジ近傍の裏面部分に生じた突起を短時間で高精度に判別可能な検査方法を提供することを目的とする。
本発明のシリコン裏面の突起検査方法は、シリコンウェーハ裏面に生じた突起を検査する方法であって、前記シリコンウェーハ裏面を所定の半径幅ごとおよび所定の中心角範囲ごとに区切ることによって、前記シリコンウェーハ裏面を複数のセルの集合体として仮想分割する準備ステップと、前記セルごとに、光照射により形成される干渉縞をもとに前記突起の有無を判別する評価ステップと、を含むことを特徴とすることを特徴とする。
本発明のシリコンウェーハの製造方法は、上記シリコン裏面の突起検査方法を実施し、その結果をもとに、前記突起が高さ0.01μm以下であれば良品、そうでなければ不良品として、前記シリコンウェーハの良否判定をする選別ステップを含むことを特徴とすることを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
本発明によれば、シリコンウェーハ裏面のセルごとに、光照射による干渉縞をもとに突起を判別することにより、シリコンウェーハ裏面に生じた突起を容易かつ高精度に判別できるという効果がある。
以下、本発明を、図面を参照して詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
[イオン注入]
図1はシリコンウェーハをイオンインプラ装置にセットした様子を説明する平面図である。図1に示すように、イオンインプラ装置のウェーハステージには、ストッパーSと、2本のチャックピンPa,Pbと、2つの裏面ピンUa,Ubとが設けられている。
図1はシリコンウェーハをイオンインプラ装置にセットした様子を説明する平面図である。図1に示すように、イオンインプラ装置のウェーハステージには、ストッパーSと、2本のチャックピンPa,Pbと、2つの裏面ピンUa,Ubとが設けられている。
シリコンウェーハWが上記ステージにセットされたとき、ストッパーSおよびチャックピンPa,Pbはウェーハの周端面(エッジ)に当接しており、裏面ピンUa,Ubはエッジ近傍のウェーハ裏面に当接している。
シリコンウェーハの中心からストッパーSが配置されている半径r方向を中心角θ(ウェーハの中心Oと半径r方向のなす角)=0°の基準位置として、チャックピンPaは中心角θ=150°の位置、チャックピンPbは中心角θ=210°の位置にそれぞれ配置されている。また、ストッパーSの位置を基準として、裏面ピンUaは中心角140°の位置、裏面ピンUbは中心角θ=220°の位置にそれぞれ配置されている。
1枚のシリコンウェーハにつき、合計3回のイオン注入をする。ウェーハWに形成されたノッチWnの上記ステージ上での位置を変えて、第1回目のイオン注入(M1イオン注入とする)、第2回目のイオン注入(M2イオン注入とする)、第3回目のイオン注入(M3イオン注入とする)をそれぞれ実施する。
M1イオン注入では、ノッチWnが中心角θ=270°の位置(図1のノッチWn(M1))になるように、ウェーハWをステージにセットする。また、M2イオン注入では、ノッチWnが中心角θ=90°の位置(図1のノッチWn(M2))になるようにウェーハWをステージにセットする。また、M3イオン注入では、ノッチWnが中心角θ=180°の位置(図1のノッチWn(M3))になるようにウェーハWをステージにセットする。
図2は3回のイオン注入においてのシリコンウェーハの位置を説明する平面図であり、M1〜M3イオン注入時においてのウェーハWのノッチWnの位置が一致するようにした合成図である。
図2において、M1イオン注入時のストッパーSの位置はS(M1)、チャックピンPaの位置はPa(M1)、チャックピンPbの位置はPb(M1)、裏面ピンUaの位置はUa(M1)、裏面ピンUbの位置はUb(M1)である。M2イオン注入時およびM3イオン注入時のストッパーの位置およびピンの位置の表記も、上記M1イオン注入時と同様である。
図2に準じると、ストッパーS(M1)の位置を中心角θ=0°の基準位置として、チャックピンPb(M2)の位置は中心角θ=30°、裏面ピンUb(M2)の位置は中心角θ=40°、ストッパーS(M3)の位置は中心角θ=90°、裏面ピンUa(M1)の位置は中心角θ=140°、チャックピンPa(M1)の位置は中心角θ=150°、ストッパーS(M2)の位置は中心角θ=180°、チャックピンPb(M1)の位置は中心角θ=210°、裏面ピンUb(M1)の位置は中心角θ=220°、裏面ピンUa(M3)の位置は中心角θ=230°、チャックピンPa(M3)の位置は中心角θ=240°、ノッチWnの位置は中心角θ=270°、チャックピンPb(M3)の位置は中心角θ=300°、裏面ピンUb(M3)の位置は中心角θ=310°、裏面ピンUa(M2)の位置は中心角θ=320°、チャックピンPa(M2)の位置は中心角θ=330°である。
[セル分割の準備]
図3はシリコンウェーハ裏面を突起検査の検査単位となる複数のセルに仮想分割した様子を説明する図である。図3のように、上記のイオン注入をしたシリコンウェーハ裏面を、突起の検査単位となる複数のセルCeに仮想設定する。
図3はシリコンウェーハ裏面を突起検査の検査単位となる複数のセルに仮想分割した様子を説明する図である。図3のように、上記のイオン注入をしたシリコンウェーハ裏面を、突起の検査単位となる複数のセルCeに仮想設定する。
シリコンウェーハ裏面に生じる突起は、イオンインプラ装置の裏面ピンとの当接等に起因して生じ、裏面ピンはウェーハエッジの近傍でウェーハ裏面に当接するので(図1および図2参照)、ウェーハ裏面においてのエッジの近傍領域でその発生頻度が高いと考えられる。従って、図3に示すように、突起の有無を検査するセルCeを、ウェーハ裏面全域ではなく、ウェーハエッジの近傍領域に設定することは有効である。なお、上記裏面ピンに付いていた異物が上記突起を生じる一因と考えられることから、突起が発生したら、イオンインプラ装置の裏面ピンを交換することは、上記突起の発生を防止するための有用な手段である。
具体的には、所定の半径幅(半径方向の所定幅)および所定の中心角範囲ごとにウェーハ裏面を区切ることによって、複数のセルを仮想的に設定する。この検査単位セルの設定は、図3に示すように、半径方向の範囲を10mm、中心角範囲を5°として、幅10mmの1つの円環領域に、合計72セルを設定することが望ましい。
図3では、上記イオンインプラ装置の裏面ピンの当接する位置が、ウェーハエッジより3mm〜23mm内側の範囲内にあることから、ウェーハエッジより3mm〜13mm内側の円環領域R1、ウェーハエッジより13mm〜23mm内側の円環領域R2のそれぞれを中心角範囲5°ごとに区切って、合計144セルを検査単位セルとして設定している。なお、円環領域R2のさらに内側の1または複数の円環領域に検査単位セルを追加設定することも勿論可能である。
なお、これらのセルについて、例えば、中心角範囲357.5°〜2.5°のセルを角度0°のセル、中心角範囲307.5°〜312.5°のセルを角度310°のセル、等と表記する。従って、円環領域R1の角度310°のセルと表記した場合には、ウェーハエッジより3mm〜13mm内側の半径範囲の中心角範囲307.5°〜312.5°のセルを意味する。
[突起の評価]
シリコンウェーハ裏面に光を照射し、これによって形成される干渉縞をもとに、セルCeごとに突起の有無を判別する。例えば、ウェーハ裏面の中央領域を基準面として、基準面からのセルの高さがあらかじめ設定した閾値以上であればそのセル内に前記突起を生じており、そうでなければそのセル内に前記突起を生じていないと判別する。
シリコンウェーハ裏面に光を照射し、これによって形成される干渉縞をもとに、セルCeごとに突起の有無を判別する。例えば、ウェーハ裏面の中央領域を基準面として、基準面からのセルの高さがあらかじめ設定した閾値以上であればそのセル内に前記突起を生じており、そうでなければそのセル内に前記突起を生じていないと判別する。
シリコンウェーハ裏面に生じる突起は、イオンインプラ装置の裏面ピンから付いた異物等が考えられ、高さ100nm以上の大きなものもあるが、フォトリソ時等のウェーハ平坦度を確保するためには、例えば10nm以上の突起を見つける必要がある。
このような突起を高精度に計測するには、静電容量を計測する手法よりも光照射による干渉縞を計測する手法のほうが望ましい。ここでは、光照射による干渉縞をもとに突起を計測する計測装置として、KLA-Tencor社製の「WaferSight」を使用する。
図4は図1および図2において説明した上記イオン注入をした1枚のシリコンウェーハ裏面の円環領域R1,R2について上記計測をしたときの計測値を示す図である。この図4では、円環領域R1の角度310°のセルの計測値が15nmを超えている。このセル位置は、M3イオン注入時にインプラ装置の裏面ピンUb(M3)が当接する位置である。このため、裏面ピンUb(M3)に当接したことに起因して、上記円環領域R1の角度310°のセル位置に突起を生じたものと考えられる。
また、図4より、基準面(0nm)から高さ10nmを閾値としてあらかじめ設定しておき、上記光照射の干渉縞によるセルの計測値が10nm以上であれば、そのセルには突起を生じており、セルの計測値が10nm未満であれば、そのセルには突起を生じていないとすることにより、それぞれのセルの突起の有無を判別できることが判る。
図5は本発明のシリコンウェーハ裏面の突起検査方法を合計1343枚のシリコンウェーハに適用したときの突起の発生位置および発生数を示す図である。図5では、円環領域R1の角度40°の位置で突起の発生数6であるが、この位置はM2イオン注入時に裏面ピンUb(M2)の位置に相当する。また、円環領域R1の角度135°の位置で突起の発生数7であるが、この位置は、M1イオン注入時の裏面ピンUa(M1)の位置(中心角θ=140°)の近隣である。
また同様に、円環領域R1の角度220°の位置で突起の発生数3、円環領域R2の同じ角度220°の位置で突起の発生数1であって、この角度での突起の合計発生数4であるが、これらの位置は、M1イオン注入時の裏面ピンUb(M1)の位置に相当する。
さらに、円環領域R1の角度310°の位置で突起の発生数7であり、円環領域R1の角度320°の位置で突起の発生数6であるが、これらの位置はそれぞれ、M3イオン注入時の裏面ピンUb(M3)の位置、M2イオン注入時の裏面ピンUa(M2)の位置に相当する。また、円環領域R1の角度315°の位置でも突起の発生数6であるが、この位置は、裏面ピンUb(M3)と裏面ピンUa(M2)の間であって、これらの裏面ピンの近隣位置である。
以上のように本発明のシリコンウェーハ裏面の突起検査方法によれば、シリコンウェーハ裏面のセルごとに、光照射による干渉縞をもとに突起を判別することにより、図5のように、シリコンウェーハ裏面に生じた突起を容易かつ高精度に判別することができる。
また、ウェーハ裏面領域の内、突起を生じる頻度が高い領域、例えばイオン注入をしたシリコンウェーハについてはインプラ装置の裏面ピンが当接するウェーハエッジ近傍の円環領域のセルのみを検査することによって、検査の時間を短くすることができる。
さらには、イオン注入をするにあたっては、一般に、インプラ装置の裏面ピンに対するシリコンウェーハのノッチ位置があらかじめ定められているので、ウェーハ裏面領域の内、裏面ピンが当接する領域およびその近傍領域のセルのみを検査することによって、検査の時間をさらに短縮することができる。
[ウェーハの選別]
この本発明のシリコンウェーハ裏面の突起検査方法は、シリコンウェーハの製造に使用される。例えば、イオン注入したシリコンウェーハについて、本突起検査方法を実施し、その検査結果をもとに、突起のない良品と、突起を生じている不良品とに選別する。あるいは、微小突起が許容される場合には、例えば、上記突起検査において閾値を下げて(例えば5nm)突起の有無を判別し、突起数が所定数以内であれば良品とし、突起数が上記所定個数を超える場合には不良品として選別する。
この本発明のシリコンウェーハ裏面の突起検査方法は、シリコンウェーハの製造に使用される。例えば、イオン注入したシリコンウェーハについて、本突起検査方法を実施し、その検査結果をもとに、突起のない良品と、突起を生じている不良品とに選別する。あるいは、微小突起が許容される場合には、例えば、上記突起検査において閾値を下げて(例えば5nm)突起の有無を判別し、突起数が所定数以内であれば良品とし、突起数が上記所定個数を超える場合には不良品として選別する。
このように、突起についての良品規格をあらかじめ設定しておき、本発明によるシリコン裏面突起の検査結果をもとに、突起が上記規格に適合していれば良品、そうでなければ不良品として、シリコンウェーハの良否判定をすることにより、裏面に突起を生じている不良品を簡易かつ高精度に選別することができる。例えば、突起が高さ0.01μm以下であれば良品、そうでなければ不良品として、シリコンウェーハの良否判定をする。
また、ウェーハ裏面領域の内、突起を生じる頻度が高い領域、例えばイオン注入したシリコンウェーハについてはインプラ装置の裏面ピンが当接するウェーハエッジ近傍の円環領域のセルを優先的に検査し、その検査結果をもとに1回目の良否選別を実施し、良品と判定されたウェーハのみについて、ウェーハ裏面領域の内の他の領域について突起検査をし、その検査結果をもとに2回目の良否選別をすることも可能である。また、上記他の領域については突起検査および良否判定をしないようにすることも可能である。このように、突起を生じる頻度が高い領域について優先的に突起検査をすることにより、シリコンウェーハ製造の効率化を図ることができる。
さらには、ウェーハエッジ近傍の円環領域の内、裏面ピンが当接するセルおよびその近傍のセルを優先的に検査し、その検査結果をもとに1回目の良否選別を実施し、良品と判定されたウェーハのみについて、ウェーハ裏面領域の内の他の領域について突起検査をし、その検査結果をもとに2回目の良否選別をすることも可能である。また、上記他の領域については突起検査および良否判定をしないようにすることも可能である。これにより、上記円環領域の全セルを検査する場合よりもさらに、シリコンウェーハ製造の効率化を図ることができる。
以上、イオン注入したシリコンウェーハに本発明を適用した場合について説明したが、本発明はイオン注入していないシリコンウェーハの裏面突起の検査にも適用できることは言うまでもない。
Ce ウェーハ裏面の仮想セル、 O ウェーハ中心、 R1,R2 ウェーハ裏面の仮想円環領域、 Ua,Ub 裏面ピン、 W シリコンウェーハ、 We シリコンウェーハエッジ、 Wn シリコンウェーハのノッチ。
Claims (6)
- シリコンウェーハ裏面に生じた突起を検査する方法であって、
前記シリコンウェーハ裏面を所定の半径幅ごとおよび所定の中心角範囲ごとに区切ることによって、前記シリコンウェーハ裏面を複数のセルの集合体として仮想分割する準備ステップと、
前記セルごとに、光照射により形成される干渉縞をもとに前記突起の有無を判別する評価ステップと、
を含むことを特徴とするシリコン裏面の突起検査方法。 - 前記評価ステップは、基準面からの高さがあらかじめ設定した閾値以上であればそのセル内に前記突起を生じており、そうでなければそのセル内に前記突起を生じていないと判別することを特徴とする請求項1に記載のシリコン裏面の突起検査方法。
- 前記複数のセルは、半径幅10mmごと、および中心角範囲5°ごとに、前記シリコンウェーハ裏面を区切ったものであることを特徴とする請求項1または2に記載のシリコン裏面の突起検査方法。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載のシリコンウェーハ裏面の突起検査方法を実施し、その結果をもとに、前記突起が高さ0.01μm以下であれば良品、そうでなければ不良品として、シリコンウェーハの良否判定をする選別ステップを含むことを特徴とするシリコンウェーハの製造方法。
- シリコンウェーハのエッジ近傍の所定幅の円環領域について、優先的に前記評価ステップおよび前記良否判定ステップを実施することを特徴とする請求項4に記載のシリコンウェーハの製造方法。
- イオン注入したシリコンウェーハのエッジ近傍の所定幅の円環領域内の所定のセルについて、優先的に前記評価ステップおよび前記選別ステップを実施することを特徴とする請求項4に記載のシリコンウェーハの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008174785A JP2010016184A (ja) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | シリコンウェーハ裏面の突起検査方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008174785A JP2010016184A (ja) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | シリコンウェーハ裏面の突起検査方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010016184A true JP2010016184A (ja) | 2010-01-21 |
Family
ID=41702012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008174785A Pending JP2010016184A (ja) | 2008-07-03 | 2008-07-03 | シリコンウェーハ裏面の突起検査方法およびシリコンウェーハの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010016184A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013162600A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Toyota Industries Corp | 超音波モータと固定対象部材との固定構造 |
-
2008
- 2008-07-03 JP JP2008174785A patent/JP2010016184A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013162600A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Toyota Industries Corp | 超音波モータと固定対象部材との固定構造 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10379061B1 (en) | Systems, methods and metrics for wafer high order shape characterization and wafer classification using wafer dimensional geometry tool | |
US7975245B2 (en) | Computer-implemented methods for determining if actual defects are potentially systematic defects or potentially random defects | |
CN102738029B (zh) | 检测特定缺陷的方法和用于检测特定缺陷的系统 | |
CN104425302B (zh) | 半导体器件的缺陷检测方法和装置 | |
CN104428882B (zh) | 半导体晶片的评价方法及制造方法 | |
JP2003254741A (ja) | 半導体エピタキシャルウェーハの測定方法、半導体エピタキシャルウェーハの測定装置、半導体エピタキシャルウェーハの製造方法及びコンピュータプログラム | |
TW202133007A (zh) | 半導體晶圓的評定方法、半導體晶圓的選別方法及元件的製造方法 | |
WO2020021871A1 (ja) | ワークの両面研磨装置および両面研磨方法 | |
CN110197797B (zh) | 一种缺陷检测用标准片 | |
JP2010016184A (ja) | シリコンウェーハ裏面の突起検査方法およびシリコンウェーハの製造方法 | |
CN107045259B (zh) | 包含有监测图形的掩膜版以及监测方法 | |
TWI823780B (zh) | 一種檢測晶圓邊緣形貌的方法及系統 | |
US8487644B2 (en) | Method and pattern carrier for optimizing inspection recipe of defect inspection tool | |
TW202140990A (zh) | 矽晶圓的微分干涉相差缺陷之形狀測定方法及研磨方法 | |
KR20210020340A (ko) | 실리콘 웨이퍼의 평가 방법 | |
WO2015129157A1 (ja) | 半導体ウェーハの製造方法及び工程異常の検出方法 | |
JP2006041188A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
KR102595552B1 (ko) | 프로브 스테이션 챔버 내의 파티클 제거 방법 | |
US11037842B2 (en) | Semiconductor device with inspection patterns | |
KR20240001252A (ko) | 워크의 양면 연마 장치 및 양면 연마 방법 | |
CN117631464A (zh) | 浸润式光刻机机台缺陷检测方法 | |
JP2004053612A5 (ja) | 基板の検査方法及び装置 | |
KR20080076426A (ko) | 검사 영역 설정 방법 | |
KR20010018786A (ko) | 반도체 웨이퍼의 취약부 검사방법 | |
Maynard et al. | Modeling and optimization of wafer radial yield |