JP2010010661A - カーボンナノチューブベースの水平相互接続アーキテクチャ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本装置はボンディングパッドの垂直壁を接続する水平なカーボンナノチューブを備え、ボンディングパッドは少なくとも二つの物質を積層させることによって形成されていて、その一つはナノチューブ成長に触媒作用をもたらし、他の一つはナノチューブ成長に触媒作用をもたらす物質の層間のスペーサとして機能する。
【選択図】図2
Description
‐ 構造体の側面上におけるナノチューブの局所的成長;
‐ 1つのボンディングパッドから近接するパッドへナノチューブを誘導すること;
‐ 超高密度の電気的に接続されたCNTを備えた接続部を生成すること。
・ 基板上に上述の少なくとも二つの物質の積層体を堆積させる;
・ この積層体に基づいてボンディングパッドを画定する;
・ ボンディングパッドを誘電体マトリクス中に埋め込む;
・ ボンディングパッド間に相互接続線を画定するためにまたボンディングパッド間のナノチューブ成長を誘導させるために、誘電体マトリクス中にチャネルを形成する;
・ チャネル内にカーボンナノチューブを成長させて、ボンディングパッド間に水平接続部を形成する。
‐ 接続されるべき電子部品となり得る基板1上の20層のアルミナ(誘電体=スペーサ4)/鉄(金属=導電性触媒5)層の多層構造を堆積させるためにイオンビームスパッタリング(ion beam sputtering,IBS)を用いる(図5A)。これらの層の厚さは0.25から2ナノメートルの範囲である。
‐ これによって構成された積層体上に樹脂10を堆積させて、そして、乾式エッチング又は湿式エッチング(例えば、鉄及びアルミナをアタックするH3PO4溶液を用いる)によって触媒ボンディングパッド2を形成するためにリソグラフィーを用いる(図5B)。
‐ 積層体の一番目の絶縁層、その最後の層、又はその両方の層は、触媒システムの絶縁層よりも厚くなり得る。
‐ エッチングが完了したら、サンプル全体にわたるスパッタリングによってアルミナ(第二の誘電体6)を堆積させて、ボンディングパッドを埋める(図5C)。
‐ 化学機械研磨(chemo‐mechanical polishing,CMP)によって堆積物質を平坦化する(図5D)。
‐ サンプル全体にわたって第二の樹脂11を広げて、所望の接続パターンを形成する(図6A)。
‐ これによって画定されたパターンを開口させるためにH3PO4溶液又はプラズマエッチングを用いるが、厚さ略20ナノメートルのチャネルの底面にアルミナ層6を残す(図6B)。
‐ 厚さ2から5ナノメートルのパラジウム層8を堆積させるためにグレージング入射角で電子銃スパッタリングを用いる(図6C)。サンプルは回転しない。入射平面(入射フラックス方向及びサンプルに対する垂線を含む)は、溝の方向の一つにおいて、サンプル平面と交差する(下記の図7を参照)。
‐ サンプルを90°回転させた後に、二番目の同じ層を堆積させる。
‐ 樹脂11をリフトオフする(図6D)。
‐ 第二の誘電体層6をリフトオフする(図6E)。
‐ 50%水素/50%ヘリウムの混合物中に希釈させたアセチレンを用いて、400から650℃の温度でナノチューブ3を成長させる。ナノチューブ3はパラジウム8を伴う対面に接続する(図6F)。
2 ボンディングパッド
3 カーボンナノチューブ
8 接触金属
10、 11 樹脂
Claims (11)
- 少なくとも二つのボンディングパッド(2)間の水平方向の電気接続を確立するための装置であって、前記ボンディングパッドの垂直壁を接続する水平なカーボンナノチューブ(3)を備え、前記ボンディングパッドが少なくとも二つの物質の積層体によって形成されていて、前記二つの物質の一つ(5)はナノチューブ成長に触媒作用をもたらし、前記二つの物質の他の一つ(4)は前記ナノチューブ成長に触媒作用をもたらす物質の層間のスペーサとして機能する、装置。
- 前記ナノチューブ成長に触媒作用をもたらす物質(5)が連続的な層の形状又はクラスターを備えた層の形状であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 触媒物質(5)が導電性であり、有利には金属、特に鉄又は金属合金であることを特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
- 前記スペーサとして機能する物質(4)が誘電体であり、有利には、アルミナ、シリカ、酸化マグネシウム等の酸化物であることを特徴とする請求項3に記載の装置。
- 前記スペーサとして機能する物質(4)が導電性であり、有利には、シリコン等の半導体、又は、錫をドープした酸化インジウムや酸化ルテニウム等の導電性酸化物であることを特徴とする請求項3に記載の装置。
- 触媒物質(5)が誘電体であり、有利には、絶縁性の酸化鉄であり、また、前記スペーサとして機能する物質(4)が導電性であり、有利には、鉄やパラジウムやチタン等の物質又は錫をドープした酸化インジウムや酸化ルテニウム等の導電性酸化物であることを特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
- 前記ボンディングパッド(2)が菱側の断面を有することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の装置。
- 接続される二つの前記ボンディングパッド(2)の少なくとも一方が、前記カーボンナノチューブ(3)と接触する領域において、有利にはパラジウムである接触物質(8)で覆われている、請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記ボンディングパッド(2)が、有利には銅等の金属製の導電性垂直フィードスルー(12)を含むことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか一項に記載の装置。
- 請求項1から請求項9のいずれか一項に記載の装置を製造するための方法であって、
‐ 少なくとも二つの物質であってその一つ(5)がナノチューブ成長に触媒作用をもたらし他の一つ(4)が前記ナノチューブ成長に触媒作用をもたらす物質の層間のスペーサとして機能するものである少なくとも二つの物質の積層体を基板(1)上に堆積させる段階と、
‐ 前記積層体に基づいてボンディングパッド(2)を画定する段階と、
‐ 有利には低誘電率の物質又は窒化物又は酸化物から成る誘電体マトリクス(6)中に前記ボンディングパッド(2)を埋め込む段階と、
‐ 絶縁マトリクス中にチャネル(7)を形成する段階と、
‐ 前記チャネル内にカーボンナノチューブを成長させて、前記ボンディングパッド(2)間に水平方向の接続部(3)を形成する段階とを備えた方法。 - パラジウム等の導電性物質(8)の層を、ナノチューブを成長させる前に、前記ボンディングパッド(2)の垂直面の少なくとも一つの上に堆積させることを特徴とする請求項10に記載の方法。
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