JP2009540296A - ナノチューブアレイに基づく触覚センサ及び聴覚センサ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1A
Description
ナノ構造化材料は、従来の材料では達成することができなかった超小型及び超低消費電力のデバイスを実現することへの扉を開いた。ナノ構造化材料は、結晶の大きさが100nm未満である材料と定義することができ、典型的には、「ボトムアップ」工程又は「トップダウン」工程いずれかによって合成される。ボトムアップ工程は、「構成要素」として原子、イオン又は分子から開始し、それらの構成要素からナノスケールクラスタ又はバルク材料を組み立てる。ナノ構造化材料を加工するための「トップダウン」方法は、バルク固体で開始し、構造的に分解することによってナノ構造体を得ることを含む。1つのそのような手法は、半導体業界において用いられる工程と同じようにバルク材料をリソグラフィ/エッチングすることを含み、この工程では、ナノスケールの構造を形成するために、パターン形成(電子ビームリソグラフィ等)及びパターン転写工程(反応性イオンエッチング等)によって、デバイスが電子基板から形成される。
パターン化されたセンサアレイをAl2O3基板上に準備し、それは、図10Aに示されるように、16個の個別のセンサプローブを有している。センサユニットをアドレス指定するために、センサプローブの真下に金パディング基板を予め配置している。パターン化された各センサプローブ内で、垂直方向に整列されたCNTの成長を支持するために、初期のAl2O3基板上の図10Bに示されるパターン化されたエリア内に、クロム(Cr)を、フォトリソグラフィパターニングによって最初に選択的に堆積した。次いで、Crで覆われた正方形のパターン化された領域(図10B)内の小さな正方形のエリア304上に鉄(Fe)触媒を選択的に堆積した。次いで、金属でパターン化された基板が炉に入れられ、CNTアレイを合成した。CNTアレイの合成は、750℃でアセチレンガス及び水素ガスを流しながら減圧された状態で行った。こうして準備された垂直方向に整列されたCNTアレイを図10Cに示す。CNTアレイは、鉄(Fe)を堆積したエリア上にのみ成長した。電極領域を覆うために、物理的なマスクを用いて、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)内に分散したポリフッ化ビニリデン(PVDF)を、センサプローブエリア上に堆積した。PVDFコーティングは90℃で加熱することによって乾燥した。最後に、銀粉末及びエチレン酢酸ビニルコポリマーを含む混合溶液を、PVDF上にフレキシブル電極として塗布した。最後に、DC電圧供給源を用いて、90℃において50Vμm−1までの電界の下で、センサユニットのためのポーリング処理を行った。
2.電圧信号検出試験
図11のセンサユニットを用いて、電圧信号検出試験を行った。このセンサユニットは、1つの共通電極306を含み、他方の電極は、1〜16の番号を付された端子308から選択した。センサユニット上の電極の一方の側は、測定された全ての信号を集約することによって出力信号を高めるために、アルミニウム箔で覆われた。手動で荷重をかけた小さな棒を用いることによって、触覚刺激を与えた。図12は、電圧検出試験からの結果を示しており、それは、「押す」動作及び「離す」動作にそれぞれ応答する「オン」信号及び「オフ」信号を示す。手動で荷重をかけるため、電圧信号は均一ではないが、信号の範囲は概ね約0.1mV〜−0.2mVにある。
Claims (27)
- センサであって、
少なくとも1つのセンサプローブを備え、該センサプローブは、
一対の電極と、
前記一対の電極間に配置される、垂直方向に整列されるナノチューブと、
任意選択で、前記ナノチューブ上にある圧電ポリマーと、
任意選択で、電磁界を生成するための電磁界源であって、前記一対の電極に動作可能に接続される、電磁界源と、
を備え、
それによって、前記センサプローブが接触されると、前記電磁界の変化が引き起こされるか、又は電気が生成される、センサ。 - 前記センサは、前記少なくとも1つのセンサプローブに動作可能に接続される検出器をさらに備え、該検出器は、前記電磁界の変化又は前記電気を検出する、請求項1に記載のセンサ。
- 前記検出器は、電圧検出器、電流検出器、光検出器又はそれらの組み合わせから選択される、請求項2に記載のセンサ。
- 前記ナノチューブは、真直ぐなナノチューブ、ヘリカルナノチューブ、又はそれらの組み合わせから選択される、請求項1〜3のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記ナノチューブは、個別のナノチューブ、束状ナノチューブ、又はそれらの組み合わせから選択される、請求項1〜4のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記ナノチューブは、カーボンナノチューブ、金属ナノチューブ、金属酸化物ナノチューブ、金属炭化物ナノチューブ、金属窒化物ナノチューブ、金属ホウ化物ナノチューブ、セラミックナノチューブ、ポリマーナノチューブ、若しくはシリコンナノチューブ、又はそれらの組み合わせから選択される、請求項1〜5のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記一対の電極の上下に配置される一対の基板をさらに備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記一対の基板は、エラストマ、又はその組み合わせから選択される材料から形成される、請求項7に記載のセンサ。
- 前記ナノチューブ上に前記圧電ポリマーが存在する、請求項1〜8のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記圧電ポリマーは、ポリフッ化ビニリデン、又はその組み合わせから選択される、請求項9に記載のセンサ。
- 複数のセンサプローブが第1のポリマーに埋め込まれる、請求項9又は10に記載のセンサ。
- 前記第1のポリマーはエラストマである、請求項11に記載のセンサ。
- 前記複数の埋め込まれたセンサプローブは第2のポリマーに埋め込まれ、前記第1のポリマーは該第2のポリマーとは異なる弾性率を有する、請求項11又は12に記載のセンサ。
- 電磁界源が存在し、該電磁界源は、一対の磁石、電圧源、若しくは光源、又はそれらの組み合わせから選択される、請求項1〜13のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記センサは触覚センサであり、前記ナノチューブはヘリカルナノチューブであり、前記電磁界源は、該ナノチューブに対して平行に、前記センサプローブの両側に配置される一対の磁石であり、前記センサは、前記電極の上下に配置される一対のエラストマ基板をさらに備え、それによって、前記センサプローブが接触されると、磁界の変化が生じる、請求項1〜14のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記センサは触覚センサであり、前記ナノチューブはヘリカルナノチューブであり、前記電磁界源は前記電極に電気的に接続される電圧源であり、それによって、前記センサプローブが接触されると、電界の変化が生じる、請求項1〜14のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記電極の上下に配置される一対のエラストマ基板をさらに備える、請求項16に記載のセンサ。
- 前記センサは触覚センサであり、前記ナノチューブ上に圧電ポリマーが存在し、複数のセンサプローブが第1のポリマーに埋め込まれ、該複数の埋め込まれたセンサプローブが第2のポリマーに埋め込まれ、該第1のポリマーは該第2のポリマーとは異なる弾性率を有し、それによって、前記センサプローブが接触されると、電界の変化が生じる、請求項1〜14のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記センサは聴覚センサであり、異なる形状を有する複数のセンサプローブが存在し、前記電磁界源は、該センサプローブの下に配置される光源であり、前記センサは、前記一対の電極の上下に配置される一対の基板をさらに備え、該一対の基板のそれぞれは複数の開口部を有し、前記センサプローブは、上側基板及び下側基板内の該開口部にわたって配置され、前記センサは、該上側基板上に配置される光検出器をさらに備え、該光検出器は、前記上側基板及び下側基板内の前記開口部を通過する光を検出し、それによって、前記センサプローブは接触されると、該センサプローブが共振し、光場の変化を引き起こす、請求項1〜14のいずれか一項に記載のセンサ。
- 前記センサは聴覚センサであり、異なる形状を有する複数のセンサプローブが存在し、前記ナノチューブ上に圧電ポリマーが存在し、前記センサは、基板をさらに含み、前記センサプローブの一端が該基板上に配置されると共に該基板に固定され、前記センサプローブの他端は自由に共振し、それによって、前記センサプローブが音波によって共振すると、電気が生成される、請求項1〜14のいずれか一項に記載のセンサ。
- 接触又は音声を検出する方法であって、
センサを設けることであって、該センサは、
少なくとも1つのセンサプローブを備え、該センサプローブは、
一対の電極と、
前記一対の電極間に配置される、垂直方向に整列されるナノチューブと、
任意選択で、前記ナノチューブ上にある圧電ポリマーと、
任意選択で、電磁界を生成するための電磁界源であって、前記一対の電極に動作可能に接続される、電磁界源と、
を備え、
それによって、前記センサプローブが接触されると、前記電磁界の変化が引き起こされるか、又は電気が生成される、設けること、
前記センサプローブを接触させることであって、前記電磁界の変化を引き起こすか、又は電気を生成する、接触させること、及び
前記電磁界の変化、又は前記電気の生成を検出すること、
を含む、方法。 - 前記センサは触覚センサであり、前記ナノチューブはヘリカルナノチューブであり、前記電磁界源は、前記ナノチューブに対して平行に、前記センサプローブの両側に配置される一対の磁石であり、前記センサは、前記電極の上下に配置される一対のエラストマ基板をさらに備え、それによって、前記センサプローブが接触されると、磁界の変化が生じる、請求項21に記載の方法。
- 前記センサは触覚センサであり、前記ナノチューブはヘリカルナノチューブであり、前記電磁界源は前記電極に電気的に接続される電圧源であり、それによって、前記センサプローブが接触されると、電界の変化が生じる、請求項21に記載の方法。
- 前記センサは、前記電極の上下に配置される一対のエラストマ基板をさらに備え、前記センサプローブは、該エラストマ基板に触れることによって接触される、請求項23に記載の方法。
- 前記センサは触覚センサであり、前記ナノチューブ上に圧電ポリマーが存在し、複数のセンサプローブが第1のポリマーに埋め込まれ、該複数の埋め込まれたセンサプローブが第2のポリマーに埋め込まれ、該第1のポリマーは該第2のポリマーとは異なる弾性率を有し、それによって、前記センサプローブが接触されると、電界の変化が生じる、請求項21に記載の方法。
- 前記センサは聴覚センサであり、異なる形状を有する複数のセンサプローブが存在し、前記電磁界源は、該センサプローブの下に配置される光源であり、前記センサは、前記一対の電極の上下に配置される一対の基板をさらに備え、該一対の基板のそれぞれは複数の開口部を有し、前記センサプローブは、上側基板及び下側基板内の該開口部にわたって配置され、前記センサは、該上側基板上に配置される光検出器をさらに備え、該光検出器は、前記上側基板及び下側基板内の前記開口部を通過する光を検出し、それによって、前記センサプローブは接触されると、該センサプローブが共振し、前記光検出器によって検出される光場の変化を引き起こす、請求項21に記載の方法。
- 前記センサは聴覚センサであり、異なる形状を有する複数のセンサプローブが存在し、前記ナノチューブ上に圧電ポリマーが存在し、前記センサは、基板をさらに含み、前記センサプローブの一端が前記基板上に配置されると共に前記基板に固定され、前記センサプローブの他端は自由に共振し、それによって、前記センサプローブが音波によって共振すると、電気が生成される、請求項21に記載の方法。
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