JP2009522809A - 流量アシスト素子による電気化学機械的処理のための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
本発明において電気化学機械的処理のための流量アシスト素子による装置及び方法が提供される。一実施形態において、装置には、上面が基板に接触するように適合された第一導電層と、第一導電層の下に配置された第二導電層と、導電層の間に配置された絶縁層と、それぞれの第一端が第一導電層を通って形成され、第二端が第二導電層を通って形成されている複数のアパーチャとが含まれ、ここで、少なくとも二つのアパーチャの第二端がチャネルによって横に結合されている。
【選択図】 図2
【選択図】 図2
Description
発明の分野
[0001]本発明の実施形態は、一般的には、基板を平坦化するか又は研磨するための処理装置に関する。より詳細には、本発明は、電気化学機械的平坦化によって半導体ウエハを平坦化するか又は研磨するための流量アシスト素子を持つ研磨パッド設計に関する。
[0001]本発明の実施形態は、一般的には、基板を平坦化するか又は研磨するための処理装置に関する。より詳細には、本発明は、電気化学機械的平坦化によって半導体ウエハを平坦化するか又は研磨するための流量アシスト素子を持つ研磨パッド設計に関する。
関連技術の説明
[0002]集積回路や基板上の他の電子デバイスの製造において、導電材料、半導電材料、誘電材料の多層が半導体ウエハのような基板上に堆積されるか又は基板から除去される。材料層が連続して堆積され除去されるので、基板は平面でなくなり、平坦化が必要とされ、以前に堆積した材料は、基板から除去され、大体、平坦か、平面か又は水平な面を形成する。このプロセスは、粗い表面、集合した材料、結晶格子損傷、引掻き傷のような望まれない表面トポグラフィーや表面欠陥を除去するのに有用である。平坦化プロセスは、また、特徴部を充填するとともに続いての堆積や処理のために表面を平坦に又は水平にするために用いられる過剰の堆積材料を除去することによって基板上に特徴部を形成するのに有用である。
[0002]集積回路や基板上の他の電子デバイスの製造において、導電材料、半導電材料、誘電材料の多層が半導体ウエハのような基板上に堆積されるか又は基板から除去される。材料層が連続して堆積され除去されるので、基板は平面でなくなり、平坦化が必要とされ、以前に堆積した材料は、基板から除去され、大体、平坦か、平面か又は水平な面を形成する。このプロセスは、粗い表面、集合した材料、結晶格子損傷、引掻き傷のような望まれない表面トポグラフィーや表面欠陥を除去するのに有用である。平坦化プロセスは、また、特徴部を充填するとともに続いての堆積や処理のために表面を平坦に又は水平にするために用いられる過剰の堆積材料を除去することによって基板上に特徴部を形成するのに有用である。
[0003]電気化学機械的平坦化(ECMP)は、基板から物質を除去するために用いられる例示的な一プロセスである。ECMPは、典型的には、導体素子を持つ研磨パッドを用い、材料の除去を促進させる電気化学活性を有する物理的磨耗を組み合わせている。研磨パッドは、パッドを電源に結合させるように適合される回転するプラテンアセンブリを持つ装置に取り付けられる。装置は、また、基板を保持するパッドの上のキャリヤアセンブリ上に取り付けられている研磨ヘッドのような基板キャリヤを持つ。研磨ヘッドによって研磨パッドと接触させて基板が置かれ、下向きの圧力を加えるように適合され、研磨パッドに対して基板を制御可能に押し付ける。研磨パッドは、外部駆動力によって基板に相対して移動する。電解液のような研磨液は、典型的には、研磨パッドと基板の間の電気化学活性を高める研磨パッドの表面に供給される。ECMP装置は、摩擦運動から磨耗及び/又は研磨活性に影響してもよく、研磨パッドの導電特性と組み合わせた電解液が基板から材料を選択的に除去する。
[0004]図8は、簡易化した従来のパッド806を示す図である。多くの基板を研磨するにつれて、電気化学的研磨反応と関係した汚染物質や副生成物が生じることがある。汚染物質810は、研磨パッド806のアパーチャ808及び/又は導電性電極804の上面上に蓄積することがある。汚染物質810は、プロセス液から導電性電極804を絶縁し、それにより、導電性電極804と基板の間の電気化学活性に不利に影響する。アパーチャ808がブラインドホールであるので、パッド806からアパーチャ808内に配置された汚染物質810を洗い流すことが難しい。蓄積した汚染物質810が研磨パッド806の表面までアパーチャ808内に配置された場合、汚染物質810によって研磨中に基板表面にひどい欠損が生じる。更に、蓄積した汚染物質によって、導電性電極の導電性と研磨パッドの品質が不都合なほどに劣化することがあり、消耗部分の寿命が短くなり、プロセスコストがより高くなる。
[0005]それ故、研磨パッドの改善が求められている。
[0006]電気化学機械的処理のための装置及び方法は、本発明の実施形態で示される。一実施形態において、装置は、上面が基板と接触するように適合された第一導電層と、第一導電層に結合され、その下に配置された導電性とキャリヤ、それらの間の絶縁層とともに導電性キャリヤの下に配置された第二導電層と、第二導電層の下に配置された複数の流量アシスト素子とを含む。
[0007]他の実施形態において、装置は、取り外し可能なパッドアセンブリがその上に配置された回転できるプラテンを含む。液体分配は、パッドアセンブリの上面にプロセス液を供給するように位置決めできる。パッドアセンブリは、基板と接触するように適合された第一導電層と、第二導電層と、導電層を分離する絶縁層と、パッドアセンブリとプラテンの間に画成された横のフローネットワークを画成する複数の流量アシスト素子を含む。
[0008]なお、他の実施形態において、方法は、プラテン上に配置されたパッドアセンブリの表面と基板とを接触させるステップと、プロセス液をパッドアセンブリの表面からアパーチャを通ってプラテンへ向かって電極と接触させて流すステップと、アパーチャを排出させるステップと、電極に相対して基板を偏らせるステップと、を含む。
[0009]本発明の上記特徴、利点、目的を達成し、詳細に理解され得るように、上でまとめた本発明のより具体的な説明は、添付の図面に示される本発明の実施形態によって参照することができる。しかしながら、添付の図面は、本発明の典型的な実施形態のみを示し、それ故、本発明の範囲を制限するとみなすべきでなく、本発明は他の等しく有効な実施形態を許容することができることは留意すべきである。
[0016]理解を容易にするために、可能な場合には、図面に共通する同一要素を示すために同一の符号が用いられている。一実施形態の要素や特徴部が、詳述せずに他の実施形態に有益に組み込むことができると考えられる。
[0017]しかしながら、添付の図面は、本発明の例示的実施形態のみを示すので、本発明の範囲を制限するとみなされるべきでなく、本発明は他の等しく有効な実施形態を許容することができることは留意すべきである。
[0018]本発明の実施形態は、一般的には、パッドアセンブリを通ってプロセス液の動的流れと循環を援助する流量アシスト素子を持つパッドアセンブリを記載する。流量アシスト素子は、流量アシスト素子の間に画成されるチャネルを設けることによってプロセス副生成物の放出と洗浄を容易にし、これにより、パッドアセンブリからの副生成物を一掃し、システム内により安定な電気化学的環境を維持する。
[0019]図1は、一般にファクトリインタフェース120、装填ロボット116、一つ以上の研磨モジュール105を持つ処理システム100の一実施形態の平面図である。一般的には、装填ロボット116は、ファクトリインタフェース120と研磨モジュール105に近接して配置され、それらの間の基板114の搬送を容易にする。研磨モジュール105は、一般に、少なくとも第一電気化学機械的平坦化(ECMP)ステーション102を含み、所望により、環境的に制御されたエンクロージャ188内に配置された少なくとも一つの従来の化学機械平坦化(CMP)ステーション106を含んでもよい。本発明を実施するように適合することができる処理システム100の一例は、カリフォルニア州サンタクララにあるAppliedMaterials社から入手できるREFLEXION(登録商標)LK Ecmpシステムである。他の製造者からのそれを含む他の平坦化モジュールも、本発明を実施するように適合することができる。
[0020]図1に示した平坦化モジュール105は、第一ECMPステーション102と、第二ECMPステーション103と、一つのCMPステーション106と、を含む。本発明がこの構成を限定せず、ステーション102、103、106の全てが基板上に堆積した種々の層を除去するECMPプロセスを用いるように適合することができることは理解されるべきである。或いは、平坦化モジュール105は、CMPプロセスを行うように適合される二つのステーションを含むことができ、一方のステーションはECMPプロセスを行ってもよい。一つの例示的プロセスにおいて、特徴部の画成部にバリア層を並べるとともにバリア層の上に配置される導電材料を充填した基板は、二つのECMPステーション102、103の二つのステップで除去される導電材料をもつのがよく、バリア層は従来のCMPステーション106で処理されて基板上に平坦化された表面を形成する。上述の組み合わせのいずれかのステーション102、103、106もまた、電気化学的及び/又は電気化学機械的めっきプロセスによって基板上に材料を堆積させるように適合させることができることは留意すべきである。
[0021]例示的システム100は、一般的には、一つ以上のECMPステーション102、103と、一つ以上のCMPステーション106と、搬送ステーション110と、調整デバイス182と、カルーセル112とを支持するベース108と、を含む。搬送ステーション110は、一般的には、装填ロボット116によってシステム100へ、また、システム100から基板114の搬送を容易にする。装填ロボット116は、典型的には、搬送ステーション110とファクトリインタフェース120間で基板114を搬送する。
[0022]ファクトリインタフェース120は、一般的には、洗浄モジュール122と、計測デバイス104と、一つ以上の基板貯蔵カセット118と、を含む。インタフェースロボット198は、基板カセット118と、洗浄モジュール122と、導入モジュール196の間に基板114を搬送するために使われる。導入モジュール196は、装填ロボット116によって研磨モジュール106とファクトリインタフェース122の間での基板114の搬送を容易にするように位置決めされる。例えば、インタフェースロボット120によってカセット118から取り出される研磨されていない基板114は、導入モジュール196に搬送されるのがよく、そこで、研磨モジュール105へ装填する装填ロボット116が基板114に接近し、研磨モジュール105から戻る研磨した基板114は装填ロボット116によって導入モジュール内に入ることができる。研磨した基板114は、典型的には、導入モジュール196から洗浄モジュール122を通過した後、ファクトリインタフェースロボット198が洗浄した基板114をカセット118に戻す。有利に用いることができるようなファクトリインタフェース122の一例は、2002年3月26日発行の米国特許第6,361,422号に開示されている。
[0023]装填ロボット116は、一般的には、ロボット116が示す運動範囲がその間の基板114の搬送を容易にするようにファクトリインタフェース122と研磨モジュール105に近接して位置決めされる。装填ロボット104の一例は、カリフォルニア州リッチモンドにあるKensingtonLaboratoriesが製造した4-リンクロボットである。
[0024]例示的装填ロボット116は、遠位端にロータリーアクチュエータ192を持つ連接されたアーム192を持つ。エッジ接触グリッパ190は、ロータリーアクチュエータ192に結合している。ロータリーアクチュエータ192は、基板114の特徴部側面と接触せず、おそらく、さらされた特徴部に引掻き傷又は損傷を引き起こさずに、グリッパ190によって固定された基板114が垂直か又は水平の向きに向けることを可能にする。更に、エッジ接触グリッパ190は、搬送の間、基板114を固定して保持するので、基板114が取り外れる可能性が減少する。任意で、静電グリッパ、真空グリッパ、機械的クランプのような他のタイプのグリッパに置き換えることができる。
[0025]搬送ステーション110は、少なくとも導入バッファステーション124と、出力バッファステーション126と、搬送ロボット132と、ロードカップアセンブリ128を備える。装填ロボット116は、導入バッファステーション124に基板114を置く。搬送ロボット132は、二つのグリッパアセンブリを持ち、それぞれが基板のエッジによって基板114を保持する空気グリッパフィンガーを持つ。搬送ロボット132は、基板114を導入バッファステーション124から持ち上げ、グリッパと基板114を回転させ、基板114をロードカップアセンブリ128の上に位置決めし、その後、基板114をロードカップアセンブリ128に置く。用いることができる搬送ステーションの一例は、“WaferTransfer Station for a ChemicalMechanical Polisher”と称する、2000年12月5日発行の米国特許第6,156,124号に記載されている。
[0026]カルーセル112は、一般的には、複数のキャリヤヘッド152を支持し、処理の間、それぞれが一つの基板を保持している。カルーセル112は、キャリヤヘッド152を搬送ステーション110とステーション102、103、106の間を移動させる。用いることができる一つのカルーセルは、一般的には、“RadiallyOscillating Carousel Processing System forChemical Mechanical Polishing”と称する、1998年9月8日発行の米国特許第5,804,507号に記載されている。
[0027]研磨システム100とそこで行われるプロセスの制御を容易にするために、中央処理装置(CPU)142と、メモリ144と、支援回路146を備えるコントローラ140は、研磨システム100に接続される。CPU142は、種々の駆動と圧力を制御する工業設定で用いることができるコンピュータプロセッサのあらゆる形の一つであるのがよい。メモリ144はCPU142に接続される。メモリ144、又はコンピュータ可読媒体は、一つ以上の容易に利用できるメモリ、例えば、ランダムアクセスメモリ(RAM)、読み出し専用メモリ(ROM)、フロッピーディスク、ハードディスク、又はデジタル保存、ローカル又はリモートの他のあらゆる形であるのがよい。支援回路146は、従来の方法でプロセッサを支持するCPU142に接続される。これらの回路は、キャッシュメモリ、電源、クロック回路、導入/出力回路、サブシステム等を含む。
[0028]図2Aは、例示的ECMPステーション102を示す断面図である。キャリヤヘッドアセンブリ152は、一般的には、キャリヤヘッド186に結合した駆動システム202を備える。駆動システム202は、一般的には、キャリヤヘッド186に少なくとも回転運動を与える。駆動システム202は、少なくとも回転運動、軌道運動、掃引運動又はそれらの組み合わせによりキャリヤヘッド186を移動させる。
[0029]一般に、キャリヤヘッド186は、ハウジング296と基板114が保持される中央凹部を画成する保持リング294を備える。保持リング294は、キャリヤヘッド186内に配置された基板114を囲み、処理しつつ基板がキャリヤヘッド186から滑り出ることを防止する。保持リング294は、PPS、PEEK等のプラスチック材料、又はステンレス鋼、Cu、Au、Pd等の導電材料、又はそれらのある組み合わせで製造され得る。導電性保持リング294は、処理の間、電界を制御するために電気的にバイアスをかけることができることも企図される。一実施形態において、キャリヤヘッドは、AppliedMateriaksが製造したTITAN HEADTM又はTITAN PROFILERTMウエハキャリヤであるのがよい。他のキャリヤヘッド186も、研磨システム100に用いるように利用することができることが企図される。
[0030]プラテンアセンブリ230は、ベース108上に回転配置され、パッドアセンブリ222を支持する。プラテンアセンブリ230は、プラテンアセンブリ230がベース108に相対して回転することができる軸受238によってベース108の上に支持される。軸受238によって囲まれたベース108領域は、開放され、電気的、機械的、空気制御信号とプラテンアセンブリ230と連通する接続部のためのコンジットが設けられる。
[0031]まとめて回転カプラー260と呼ばれる従来の軸受、回転ユニオン、スリップリングは、電気的、機械的、流動的、空気制御信号と接続部がベース108と回転するプラテンアセンブリ230の間に結合することができるように設けられる。プラテンアセンブリ230は、典型的には、プラテンアセンブリ230に回転運動を与えるモータ290に結合される。モータ290は、回転速度とプラテンアセンブリ230の回転速度と方向を制御する。
[0032]プロセス液分配システム255は、一般的には、プラテンアセンブリ230に隣接して配置される。プロセス液分配システム255は、プロセス液ソース248に結合したノズル又は排出口204を含む。排出口204は、電解液のようなプロセス液をプロセス液ソース248からパッドアセンブリ222のプロセス面125に流す。処理中、プロセス液は、たいてい、基板114を偏らせるとともに基板114上の材料を除去及び/又は堆積するために電気化学プロセスを駆動させるための電気経路を与える。或いは、プロセス液は、パッドアセンブリの表面上にプロセス液を一様に分配するためにシステムの他の部分、例えば、プラテン230の底からパッドアセンブリ222の処理面125に分配することができることも企図される。
[0033]処理パッドアセンブリ222は、プラテンアセンブリ230に結合され、めっきプロセス及び/又は電気化学機械的研磨/平坦化プロセスを駆動させるために電気バイアスをかけるように構成される。一実施形態において、処理パッドアセンブリ222は、プラテンアセンブリ230の上面260に解放可能に結合するように適合させることができる。パッドアセンブリ222は、圧力及び/又は温度感受性接着剤の使用によって上面260に結合することができ、上面260からパッドアセンブリを剥がすことによってパッドアセンブリ222の取替えを可能にする。他の実施形態において、処理パッドアセンブリ222がそれに結合したプラテンアセンブリ230の上面260は、特に、ねじ、クランプ、磁力、真空、静電引力のようなファスナによってプラテンアセンブリ230に解放可能に結合するように適合させることができる。
[0034]図2Aに示した実施形態において、排出口204から供給されたプロセス液は、回転しつつプロセス液の適切な処理レベルを含有するように適合されたプラテンリップ258によって固定される浴を形成することができる。或いは、プロセス液は、処理パッドアセンブリ222のアパーチャ内のプロセス液の適切なレベルを維持するように連続して又は間隔をおいて排出口204から供給することができる。プロセス液がその処理能力に達し、取替えの準備ができた後、プラテンアセンブリ230は、より速い回転速度で回転することができ、使用済みのプロセス液は、プラテンリップ258の上の遠心力の作用によって放出される。他の実施形態において、プラテンアセンブリ230は、より速い回転速度で回転し、使用済みプロセス液は、オペレータ又はコントローラによって開閉することができるプラテンリップ258内の貫通部288を通って放出される。他の実施形態において、使用済みのプロセス液は、パッドアセンブリ222及び/又はプラテンアセンブリ230の種々の層を通って形成された通路によって排出することができる。
[0035]図2Bは、図2Aのパッドアセンブリ222の一部を抜き出した図である。パッドアセンブリ222は、一般的には、絶縁層214が第一導電層と第二導電層211、212を電気的に絶縁するためにそれらの間に配置された、第一導電層211と第二導電層212を含む。複数のアパーチャ209は、パッドアセンブリ222の上面上の第一導電層211の開放領域によって形成される。それぞれのアパーチャは、プロセル液を受け取るように構成される機能セル207を画成する、第一導電層211の開放領域を通って形成される第一端と第二導電層212を通って形成される第二端を持つ。機能セル207のそれぞれは、プロセス液がパッドアセンブリ222に供給され、且つ微分電気バイアスが第一導電層211と第二導電層212に印加される場合に、電気化学セルとして行うように適合される。
[0036]第一導電層211と第二導電層212は、一般に、高導電性材料、例えば、特に、貴金属、耐食性軟質金属、ステンレス鋼、ポリマー導電材料、アルミニウム、銅から製造される。或いは、第一導電層211は、上面205内のグルーブにはめ込まれ、パッドアセンブリ222の上面から電気バイアスを伝達するように構成された導電性材料から製造される。一実施形態において、第一導電層205の上面は、従来の研磨材料、例えば、プロセス化学と適合できるポリマーベースのパッド材料から製造することができ、それらの例としては、ポリウレタン、ポリカーボネート、フルオロポリマー、PTFE、PTFA、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、又はそれらの組み合わせが挙げられる。従来の研磨材料は、プロセス適合性導電材料及び/又は粒子で被覆されるか、ドープされるか、又は浸透させることができる。或いは、導電材料は、導電性ポリマーマトリックス又は導電性遷移に配置された導電材料又は誘電充填材料のような導電性ポリマーであってもよい。一実施形態において、導電材料は、複数の導電性粒子がその中に配置されたポリマーマトリックスである。
[0037]絶縁層214は、パッドアセンブリ222に圧縮性を与えるように構成される軟質材料から製造することができる。絶縁層は、ポリマー材料、例えば、開放気泡発泡ポリマー、独立気泡発泡ポリマー、MYLAR(登録商標)材料、加熱によって活性化される接着剤、又はそれらの組み合わせから製造することができる。絶縁層214は、約60ショアA〜約100ショアAの硬さを持つのがよい。
[0038]アパーチャ209の第一端は、溝内の上面205の下の第一導電層211から出る。電気的機能セル207内に画成された少なくとも二つのアパーチャ209の第二端は、チャネル286を通って互いに横に結合される。チャネル286は、第二導電層212、複数のポスト298、パッドベース210によって画成された内部通路として形成される。或いは、パッドベースが存在しない実施形態において、チャネル286は、第二導電層212とポスト298とプラテンアセンブリ260の間で画成されてもよい。複数のポスト298は、隙間を開けた関係でパッドベース210と第二導電層212を維持し、それにより、その中に画成されたチャネル286が少なくともポスト298によって部分的に固定されることを可能にする。チャネル286は、第二導電層212の外側に向かって伸長する流路を持ち、プロセス液の循環と動的流れを容易にする流量アシスト素子として作用し、それにより、第二導電層212上に使用済みのプロセス液の蓄積が防止される。チャネル286は、パッドアセンブリ222に形成される少なくとも二つのアパーチャ209と横に結合する。図2A-図2Bに示した実施形態において、ポスト298の直径及び/又は幅は、第二導電層212の幅及び/又は直径よりかなり小さい直径を持ち、ポスト298間でチャネル286を画成するための第二導電層212の底面とポスト298の側面の間に凹部の領域を生じる。チャネル286は、機能セル207内の使用済みのプロセス液と副生成物が、プラテンリップ258内の貫通部288を通って洗浄され洗い流されることを援助する。このようにして、使用済みのプロセス液又は電気化学反応と関連がある汚染物質又は副生成物を効率よく洗い流すことができ、それにより、第二導電層212の周辺上に蓄積され捕捉されることが防止される。
[0039]複数のチャネル286のそれぞれのサイズと分布は、ポスト298の構成に従って異なってもよい。例えば、チャネル286を画成するポスト298の高さは、必要に応じて異なってもよい。数、サイズ、断面形状、分布、開放領域、ポスト298のパターン密度は、必要に応じて選択され分配されてもよい。一実施形態において、ポスト298の形状は、ほぼ円筒形である。
[0040]ポスト298は、プロセス副生成物の蓄積から抵抗する材料から製造することができる。一実施形態において、ポスト198は、ポリマー材料、例えば、ポリマー又はプラスチック材料から製造することができる。材料の適切な例としては、PPS、PVC、塩素化したPVC等が挙げられるが、これらに限定されない。他の実施形態において、ポスト298は、導電材料、例えば、特に、貴金属、ステンレス鋼、磁石、アルミニウム、銅から製造することができる。なお更に他の実施形態において、ポストは、必要に応じてあらゆる材料から製造することができる。
[0041]パッドベース298は、パッドアセンブリ222に追加の剛性を与える支持層であるのがよい。一実施形態において、パッドベース210は、ポリマー材料、例えば、ポリウレタン、充填剤を混合したポリウレタン、ポリカーボネート、ポリフェニレンサルファイド(PPS)、エチレン-プロピレン-ジエン-メチレン(EPMD)、フルオロポリマー、又はそれらの組み合わせ、また、研磨基板面に用いられる他の研磨材料、例えば、開放気泡発泡ポリマー又は独立気泡発泡ポリマー、エラストマー、フェルト、含浸フェルト、プラスチック、又は処理化学と適合できる同様の材料から製造することができる。一実施形態において、パッドベース210は、ポリエチレンテレフタレート(PET)材料、又はその誘導体、例えば、MYLAR(登録商標)ポリマーシートである。PET材料は、約1.25グラム/cm2〜約1.45グラム/cm2の密度と700,000psi〜約760,000psiの弾性率を持つ。パッドベース材料210は、約30ショアA〜約90ショアAの硬さを持つのがよく、典型的には、絶縁層214より硬い。
[0042]図3は、流量アシスト素子がその中に画成されたパッドアセンブリ300の一実施形態の一部の側面概略図である。パッドアセンブリ300は、第一端が第一導電層311を通って形成され第二端が第二導電層312を通って形成された複数のアパーチャ309と、第一導電層と第二導電層311、312の間に配置された絶縁層314と、少なくとも二つのアパーチャ309と横に結合するように画成されたチャネル386を持つ複数のアパーチャ309と、を備える。第一導電層と第二導電層311、312のそれぞれは、第一導電層と第二導電層のそれぞれに異なる電圧を供給するように適合される電源342に結合するように適合される。第二導電層312は、それぞれの層内に全体的に分配される一つの電気信号を与えることができ、又は互いに絶縁した複数の独立した電気的ゾーンを備えてもよい。独立したゾーンは別々の独立した電圧を受け取り、隣接したゾーンは、それぞれの層の特定の部分に種々の電圧を与えるために互いに絶縁される。
[0043]任意のパッドベースが存在しない図3に示した実施形態において、複数のポスト398は、第二導電層312とプラテンアセンブリ330の間に結合することができ、間隔を開けた関係でプラテンアセンブリ330と第二導電層312を維持する。複数のポスト398は、ポストの側面で凹部394の領域を生じ、それにより、プロセス液の流れを容易にするために流量アシスト素子としてチャネル386を画成する。その中に画成されたチャネル386は、ポスト398によって少なくとも部分的に固定される。ポスト398は、第二導電層312に混合、接着、磁力、クランプ、ファスナ、締め付け又は他の適切な方法で固定される。
[0044]ポスト398は、第二導電層350の幅より小さい直径352及び/又は幅350を持つように構成され、それにより、プラテンアセンブリ330の上面と第二導電層の底面の間にチャネル386を形成するために伸長した凹部の領域354が画成される。
[0045]典型的なECMP研磨プロセスにおいて、副生成物、例えば、基板から除去される材料及び/又は基板との接触によってパッドアセンブリ300から除去される材料は、パッドアセンブリ300の下の部分に蓄積する傾向がある。これらの副生成物は、ECMPプロセスにおいてカソードとして働く導電層312上に、又は導電層近く、例えば、チャネル386に蓄積することがあるので、電気化学活性が低下し、基板からの材料の除去が減少する。副生成物と使用済みのプロセス液がチャネル386内に蓄積されるにつれて、プラテンアセンブリ330は、より速い回転速度で周期的に回転することができ、副生成物と使用済みのプロセス液は、必要に応じてプラテンリップ358内の貫通部390を通って放出することができる。チャネル386は、そこから副生成物が放出されることを可能にし、プラテンアセンブリ330が回転するので汚染物質が第二導電層312上に拘束、蓄積又は捕捉されるのを防止し、従って、複数の機能セル307のそれぞれの中でより安定な電気化学活性が維持される。更に、チャネル386は、汚染物質やパーティクルが第一導電層311の表面上に蓄積されるのを防止し、その上で処理される基板に欠陥が生じることが排除される。或いは、副生成物や使用済みのプロセス液は、パッドベース310及び/又はプラテンアセンブリ330を通って形成されるドレインとして働く少なくとも一つの貫通部302を通って放出されてもよい。一貫した電気化学活性は、より速い除去速度、及び/又は除去速度の一貫性の改善を与え、従って、プロセス時間が短縮され、処理能力が高められる。
[0046]図4-図7は、流量アシスト素子がその中に画成されたパッドアセンブリを示す異なる実施形態である。図4に示した実施形態において、パッドアセンブリ400は、第一導電層408と、第二導電層404と、第一導電層と第二導電層404、408の間に配置された絶縁層406とを含む。複数のアパーチャ412は、第一導電層と第二導電層408、404の開放領域によって形成される。流量アシスト素子として役に立つ複数のチャネル402は、第二導電層404の底面に形成される。チャネル402は、第二導電層404内に形成された少なくとも二つのアパーチャ412と横に結合される。或いは、複数のチャネル502は、図5に示したように、プロセス液の動的フローと循環を容易にする流量アシスト素子として役に立つ第二導電層504のエッジに形成されてもよい。チャネル502は、アパーチャ512内の使用済みのプロセス液がそれらを通って洗い流され洗浄することが可能である第一導電層と第二導電層508、504を通って形成されるアパーチャ512に横に結合する。
[0047]図6は、流量アシスト素子がパッドベース614内に画成されたパッドアセンブリ600を示す他の実施形態である。パッドベース614は、流量アシスト素子として役に立つパッドベース614の上面に組込まれた複数のチャネル602を持つ。パッドベース614に組込まれたチャネル602の一部は、第一導電層と第二導電層608、604内に形成されたアパーチャにさらされた開口を持つ。更に、第二導電層604の下に形成されたチャネルの他の部分は、第二導電層604を通って形成されたアパーチャの第二端に横に結合される。図7に示したパッドベースが存在しない実施形態において、チャネル702は、必要に応じてプラテンアセンブリ714に組込むことができる。本発明におけるチャネルの構造、分布、数、側面及び形状は、必要に応じて異なってもよいことは留意されるべきである。
[0048]それ故、本発明において電気化学機械的研磨のための流量アシスト素子による装置が提供される。流量アシスト素子は、プロセス液の動的流れと循環を容易にし、それにより、システム内の安定な電気化学活性と消耗部品のメンテナンスのより良好な制御を維持する。
[0049]上記は、本発明の説明的実施形態に関し、本発明の他の多くの実施形態を本発明の基本的範囲から逸脱せずに構成することができ、本発明の範囲は以下の特許請求の範囲によって決定される。
100…処理システム、102…第一電気化学機械的平坦化ステーション、103…第二電気化学機械的平坦化ステーション、105…研磨モジュール、106…化学機械的平坦化ステーション、108…ベース、110…搬送ステーション、112…カルーセル、114…基板、116…装填ロボット、118…カセット、120…ファクトリインタフェース、122…洗浄モジュール、124…導入バッファステーション、128…ロードカップアセンブリ、132…搬送ロボット、140…コントローラ、142…中央処理装置、144…メモリ、152…キャリヤヘッドアセンブリ、186…キャリヤヘッド、190…グリッパ、192…回転アクチュエータ、196…導入モジュール、202…駆動システム、205…上面、207…機能コントローラ、209…アパーチャ、210…パッドベース、211…第一導電層、212…第二導電層、214…絶縁層、222…パッドアセンブリ、230…プラテンアセンブリ、248…プロセス液ソース、255…プロセス液分配システム、258…プラテンリップ、260…回転カップラ、286…チャネル、288…貫通部、298…ポスト、290…モータ、294…保持リング、300…パッドアセンブリ、302…貫通部、307…機能セル、309…アパーチャ、311…第一導電層、312…第二導電層、314…絶縁層、330…プラテンアセンブリ、342…電源、350…幅、352…直径、354…凹部領域、386…チャネル、394…凹部、398…ポスト、400…パッドアセンブリ、404…第二導電層、408…第一導電層、406…絶縁層、412…アパーチャ、502…チャネル、504…第二導電層、508…第一導電層、512…アパーチャ、600…パッドアセンブリ、602…チャネル、604…第二導電層、608…第一導電層、614…パッドベース、714…プラテンアセンブリ、806…パッド、808…アパーチャ、810…汚染物質。
Claims (24)
- 電気化学機械的処理のための装置であって:
上面が基板と接触するように適合された第一導電層と;
該第一導電層の下に配置された第二導電層と;
該導電層の間に配置された絶縁層と;
複数のアパーチャであって、それぞれが該第一導電層を通って形成される第一端と該第二導電層を通って形成される第二端を持ち、ここで、少なくとも二つのアパーチャの該第二端がチャネルによって横に結合されている、前記アパーチャと;
を備える、前記装置。 - チャネルが、該第二導電層内に形成される、請求項1に記載の装置。
- 該第二導電層に結合したパッドベースであって、該チャネルがそれらの間に形成されている、前記パッドベースと;
該パッドベースと該第二導電層を間隔を開けた関係で維持する少なくとも一つのポストと;
を更に備える、請求項1に記載の装置。 - 該チャネルが、該第二導電層の外側に伸長する流路を持つ、請求項1に記載の装置。
- 該第一導電層が、該上面の前方に溝が付けられ;該アパーチャの該第一端が該溝内の該上面の下の該第一導電層から出る、請求項1に記載の装置。
- 該第二導電層に結合したプラテンであって、該チャネルがそれらの間に形成されている、前記プラテンを更に備える、請求項1に記載の装置。
- 該プラテンと該第二導電層を間隔を開けた関係で維持する少なくとも一つのポストを更に備える、請求項6に記載の装置。
- 該第一導電層と第二導電層が、貴金属、耐食性軟質金属、ポリマー導電材料、ステンレス鋼、アルミニウム及び銅からなる群より選ばれる導電層から製造される、請求項1に記載の装置。
- 電気化学機械的処理のための装置であって:
回転できるプラテンと;
該プラズマラテン上に配置された取り外しできるパッドアセンブリと;
該パッドアセンブリの上面にプロセス液を供給するように位置決めできる液体分配システムと;
を備え、該パッドアセンブリが:
基板と接触するように適合された第一導電層と;
第二導電層と;
該導電層を分離する絶縁層と;
該第二導電層の下の横のフローネットワークを画成する複数の流量アシスト素子と;
を更に備える、前記装置。 - 流量アシスト素子が、該第二導電層内に形成されたチャネルである、請求項9に記載の装置。
- 該第二導電層に結合したパッドベースであって、該流量アシスト素子がそれらの間に形成されている、前記パッドベースを更に備える、請求項10に記載の装置。
- 該パッドベースと該第二導電層を間隔を開けた関係で維持する少なくとも一つのポストを更に備える、請求項11に記載の装置。
- 該プラテンと該第二導電層を間隔を開けた関係で維持する該プラテン上に配置された複数のポストを更に備える、請求項9に記載の装置。
- 電気化学機械的処理のための装置であって:
上面が基板と接触するように適合された第一導電層と;
該第一導電層の下に配置された第二導電層と;
該導電層の間に配置された絶縁層と;
プラテン上に配置された第一端と該第二導電層の下に配置された第二端を持ち且つ該プラテンと該第二導電層を間隔を開けた関係で維持する複数のポストと;
を備える、前記装置。 - 基板を処理するためのパッドアセンブリであって:
上面が該基板と接触するように適合された第一導電層と;
該第一導電層に結合され且つ該第一導電層の下に配置された導電性キャリヤと;
それらの間に絶縁層を持つ該導電性キャリヤの下に配置された第二導電層であって、該第二導電層が該上面に直交する複数の反応面を含む、前記第二導電層と;
該第二導電層の下に形成される複数の凹部と;
を備える、前記パッドアセンブリ。 - それらの間に結合層を持つ該第二導電層の下に配置されたパッドベースを更に備える、請求項15に記載のパッドアセンブリ。
- 該パッドアセンブリが、約10〜約90パーセントの開放領域を画成する複数の機能セルを持つ、請求項15に記載のパッドアセンブリ。
- 基板を処理するためのパッドアセンブリであって:
それらの間に複数の機能セルを画成するベースに結合した複数の不連続の部材と;
第二導電層を該ベースに付着させて該ベースの上の凹部を画成する結合層であって、該複数の不連続の部材のそれぞれが、該基板と接触するように適合された第一導電層と該絶縁層によって分離された第二導電層とを第二導電層の下に形成された複数の凹部とともに含む、前記結合層と;
を備える、前記パッドアセンブリ。 - 該第二導電層が、該ベースに直交する複数の反応面を含む、請求項18に記載のパッドアセンブリ。
- 該第一導電層が、
導電性キャリヤに結合した導電性複合体であって、該導電性複合体が複数の除去粒子を含み、該複数の除去粒子が研磨粒子、導電性粒子、又はそれらの組み合わせであり、また、該導電性複合体が複数の交差するチャネルを含む、前記導電性複合体;
を更に備える、請求項18に記載のパッドアセンブリ。 - 基板を研磨するためのパッドアセンブリであって:
該基板と接触するように適合された処理面を備え、該処理面が:
それらの間に複数の機能セルを画成する複数の不連続の部材であって;該複数の不連続の部材のそれぞれが第一導電層と第二導電層をそれらの間の絶縁層とともに含み、また、該第二導電層が該処理面と直交する複数の反応面を備える、前記不連続の部材;
を備える、前記パッドアセンブリ。 - 該複数の不連続の部材のそれぞれが、パッドベースに結合され、副生成物蓄積の凹部が該パッドベースの上に形成される、請求項21に記載のパッドアセンブリ。
- 電気化学機械的処理の方法であって:
プラテン上に配置されたパッドアセンブリの最上面と基板とを接触させるステップと;
プロセス液を該パッドアセンブリの該最上面から該パッドアセンブリを通って形成されたアパーチャを通ってプラテンに向かって電極と接触させて流すステップと;
該アパーチャを該パッドアセンブリの底面又は側面の少なくとも一つを通って排出させるステップと;
該基板を該電極に相対して偏らせるステップと;
を含む、前記方法。 - プロセス液を流すステップが、
該プロセス液を該パッドアセンブリの表面の下と該プラテンの上で画成された横のフローネットワークを通って流す工程;
を更に含む、請求項23に記載の方法。
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